Die vorliegende Anmeldung betrifft ein Verfahren zur

Herstellung eines Bauteils und ein nach dem Verfahren

hergestelltes Bauteil.

Es sind Verfahren zur Herstellung von Bauteilen bekannt, in denen Bauteile mit einer Schutzschicht versehen werden.

Insbesondere sind Verfahren bekannt, in denen Metallbauteile einer Passivierung unterzogen werden. Dabei werden

Metalloberflächen mit einer Passivierungsschicht versehen, um sie vor äußeren Einflüssen, insbesondere Kontamination bzw. vor Oxidation zu schützen.

Eine Aufgabe der vorliegenden Anmeldung ist es, ein

Herstellverfahren zur Herstellung eines Metallbauteils anzugeben, das eine einfache und kostensparende Herstellung des Metallbauteils erlaubt. Es ist auch eine Aufgabe, ein Metallbauteil bereitzustellen, das einfach und kostensparend herstellbar ist.

Gemäß einem ersten Aspekt wird ein Verfahren zur Herstellung eines Bauteils bereitgestellt, das folgende

Verfahrensschritte umfasst:

- Bereitstellen eines Bauteilkörpers,

- Erzeugen einer Schutzschicht an einer Oberfläche des

Bauteilkörpers durch Eloxieren,

- lokales Entfernen der Schutzschicht mit einem Laser, so dass eine freigelegte Stelle des Bauteilkörpers erzeugt wird.

- lokales Auftragen einer Passivierungsschicht zur

Passivierung der freigelegten Fläche des Bauteilkörpers mit einem an die Form und an die Größe der freigelegten Stelle angepassten und mit einer dünnflüssigen

Passivierungslösungsschicht versehenen Werkzeug.

Durch die Anpassung des Werkzeugs an die freigelegte Stelle des Bauteils kann das Bauteil kostengünstig und

materialsparend hergestellt werden. Insbesondere kann dadurch ein nachfolgender Tauchschritt zur Auftragung der

Passivierungsschicht vermieden werden.

Durch Dünnflüssigkeit, sprich durch niedrige Viskosität der Lösung der Passivierungslösungsschicht, kann die Qualität der Passivierungsschicht erhöht werden. Bei einer niedrigen Viskosität der Passivierungslösungsschicht, die insbesondere niedriger als die Wasserviskosität ist, kann Bildung von Tropfnasen und Unebenheiten auf der Passivierungsschicht vermieden werden.

Durch die Verwendung des Laserstrahls können vordefinierte Stellen der Oberfläche des Bauteilkörpers präzise freigelegt werden .

Der Bauteilkörper kann als ein Aluminium-Blechkörper

ausgebildet sein. Der Bauteilkörper kann auch als Aluminium- Gusskörper ausgebildet sein. Das Verfahren eignet sich sowohl für Aluminium-Blechteile als auch für Aluminium-Gussteile, so dass mit dem Verfahren Aluminium-Gussbauteile als auch

Aluminium-Blechbauteile gefertigt werden können.

Insbesondere wenn der Bauteilkörper als Aluminium-Blechkörper ausgebildet ist, kann vor dem Eloxieren ein Beizschritt durchgeführt werden. Als Beizmittel kann dabei NaOH,

insbesondere mit einer Konzentration von etwa 70 g/1, und Steinverhinderer, insbesondere Alfisatin 338 mit einer

Konzentration von etwa 45 g/1 eingesetzt werden. Der Beizvorgang kann bei einer Temperatur von 40°C durchgeführt werden .

Durch den Beizschritt kann die Qualität der Eloxalschicht, insbesondere bei den Aluminium-Blechbauteilen, erhöht werden.

Der Bauteilkörper kann im Wesentlichen flächig, insbesondere plattenförmig ausgebildet sein.

Flächig ausgebildete Bauteile finden breite Verwendung in der Industrie, und können beispielswese als Platten bzw. als flache Deckel verwenden werden.

Das Eloxieren kann in einem sogenannten Normaleloxalverfahre durchgeführt werden. Bei einem Normaleloxalverfahren liegen Eloxaltemperaturen während des Eloxalprozesses bei einer Temperatur von etwa 18 °C bis 20 °C und die Schichthärten der Eloxalschicht erreichen etwa 300 bis 400 HV.

Das Nomraleloxalverfahrn kann somit auf einfache Weise bei Raumtemperatur durchgeführt werden.

Das Eloxieren kann in einem sogenannten Harteloxalverfahren durchgeführt werden. Bei einem Harteloxalverfahren liegen die Eloxaltemperaturen beim Eloxieren bei etwa 0 bis 5°C.

Das Harteloxalverfahren erlaubt es, Eloxalschichten mit großer Härte zu erhalten. Darüber hinaus kann durch die Verwendung des Harteloxalverfahrens ein nachfolgender Schritt mit

Heißverdichten entfallen.

Für das Passivieren kann eine Cr(III)-Passivierung verwendet werden. Insbesondere kann surTec® 650 der Firma SurTec oder JUBOCoat 1300 der Firma Jubo Technologies eingesetzt werden. Mit der Cr ( III ) -Passivierung kann die Passivierung zuverlässig und kostengünstig durchgeführt werden.

Für das Passivieren kann eine Multimetallpassivierung d.h eine für Multimetallflächenbehandlung geeignete Passivierung, insbesondere auf Basis von Chrom(III), wie beispielswese SurTec® 609 GV bzw. ZetaCoat der Firma SurTec verwenden werden .

Durch die Multimetallpassivierung können auch Bauteilkörper mit Multimetalloberflächen zuverlässig passiviert werden.

Für die Passivierung kann auch eine auf Metallfluoride basierte Passivierung, insbesondere eine Zr/F-Passivierung verwenden werden.

Die Verwendung der auf Metallfluoride basierten Passivierung ermöglicht eine chromfreien Passivierung, wodurch die

Umweltbelastung bzw. der Aufwand bei der Abwasseraufbereitung minimiert werden kann.

Zum lokalen Entfernen der Schutzschicht kann ein fokussierter Laserstrahl auf die Schutzschicht gerichtet und die

Schutzschicht derart lokal abgescannt wird, dass auf der Oberfläche des Bauteilkörpers die freigelegte Stelle mit einer vordefinierter Fläche und mit einer vordefinierten Form erzeugt wird.

Durch das Abscannen der Oberfläche des Bauteilkörpers mit dem fokussierten Laserstrahl können vordefinierte Stellen

beliebiger Form präzise freigelegt werden. Insbesondere bei flächigen Bauteilen können die freizulegenden Stellen ohne Änderung der fokalen Ebene des Laserstrahls abgescannt werden. Das Werkzeug kann als ein Tamponierwerkzeug bzw. Stempel- oder Tupfwerkzeug ausgebildet sein und das Auftragen der

Passivierungsschicht kann durch Tamponprint bzw. durch

Aufstempeln oder Auftupfen erfolgen. Durch die Ausbildung des Werkzeugs als Tamponierwerkzeug bzw. Stempel- oder Tupfwerkzeug kann die Passivierungsschicht auf einfache Weise lokal auf der freigelegten Fläche des

Bauteilkörpers aufgebracht werden, ohne dabei das Bauteil zu beschädigen .

Die Menge der verwendeten Passivierung und das Werkzeug sind so angepasst, dass die Passivierungsschicht lateral auf die freigelegte Fläche des Bauteilkörpers begrenzt ist. Durch die laterale Begrenzung der Passivierungsschicht auf die freigelegte Fläche entfällt ein weiterer Tauchschritt zur Beseitigung von Passivierungsüberresten .

Das Verfahren kann eine oder mehrere Kontrollschritte zur Kontrolle der Schutzschichtqualität und/oder der

Passivierungsqualität umfassen.

Durch die Kontrollschritte kann die Qualität der

entsprechenden Schichten sichergestellt werden.

Nach dem Auftragen der Passivierung kann Abtrocknen mit

Warmluft durchgeführt werden. Nach dem Abtrocknen mit Warmluft kann der Bauteil verpackt und verschifft werden.

Nach einem weiteren Aspekt der Anmeldung ist ein Bauteil vorgesehen. Das Bauteil weist einen flächig ausgebildeten Bauteilkörper mit einer Oberfläche auf, die eine durch

Eloxieren hergestellte geschlossene Schutzschicht sowie wenigstens eine von der Schutzschicht freigelegte Stelle mit Rändern aufweist, wobei an den Rändern der wenigstens einen von der Schutzschicht freigelegten Stellen

Laserabtragungsspuren vorgesehen sind, und wobei die

wenigstens eine freigelegte Stelle eine geschlossene

Passivierungsschicht aufweist, deren Leitfähigkeit größer ist als diejenige der Schutzschicht.

Das angegebene Bauteil kann auf einfache und besonders kostengünstige Weise nach einem Verfahren gemäß dem ersten Aspekt hergestellt werden. Zudem zeichnet sich das Bauteil durch hohe Korrosionsbeständigkeit aus.

Flächig ausgebildete Bauteile finden breite Verwendung in der Industrie, und können beispielswese als Platten oder flache Deckel verwenden werden.

Der Bauteilkörper kann als ein Aluminium-Blechkörper

ausgebildet sein. Der Bauteilkörper kann auch als ein

Aluminium-Gusskörper ausgebildet sein.

Das Bauteil lässt sich sowohl auf Basis eines Aluminium- Blechkörpers als auch auf Basis eines Aluminium-Gusskörpers auf einfache und kostengünstige Weise herstellt.

Die Passivierungsschicht kann als eine Cr (III)- Passivierungsschicht ausgebildet sein. Die Cr ( III ) -Passivierungsschicht ermöglicht eine zuverlässige und kostengünstige Passivierung des Bauteils.

Die Passivierungsschicht kann auch als eine auf Metallfluoride basierte Passivierungsschicht, insbesondere Zr/F- Passivierungsschicht ausgebildet sein.

Die auf Metallfluoride basierte Passivierungsschicht

ermöglicht eine chromfreie Passivierung, wodurch die

Umweltbelastung bzw. der Aufwand bei der Abwasseraufbereitung minimiert werden kann.

Die beispielhaften Ausführungsformen werden nachfolgend anhand der Figuren näher erläutert.

Fig. 1 zeigt schematisch einen ersten Schritt eines

Herstellverfahrens gemäß einem Ausführungsbeispiel,

Fig. 2 zeigt schematisch einen weiteren Schritt eines

Herstellverfahrens gemäß einem Ausführungsbeispiel,

Fig. 3 zeigt schematisch einen weiteren Schritt eines

Herstellverfahrens gemäß einem Ausführungsbeispiel,

Fig. 4 zeigt schematisch einen Passivierungsschritt nach einem Ausführungsbeispiel ,

Fig. 5 zeigt schematisch ein Bauteil nach einem

Passivierungsschritt nach einem Ausführungsbeispiel, und

Fig. 6 zeigt schematisch ein Bauteil nach einem

Passivierungsschritt nach einem weiteren Ausführungsbeispiel. Fig. 1 zeigt schematisch einen ersten Schritt eines

Herstellverfahrens gemäß einem Ausführungsbeispiel.

In dem ersten Schritt wird ein Grundkörper 2 des Bauteils 1 bereitgestellt.

In Fig. 1 wird ein schematischer Ausschnitt des Bauteilkörpers 2 des Bauteils 1 mit einer glatten Oberfläche 3 unmittelbar nach der Durchführung des ersten Verfahrensschrittes gezeigt.

Als Grundkörper 2 wird in diesem Beispiel ein Aluminium- Blechkörper vorgesehen. In einem anderen Ausführungsbeispiel wird als Bauteilkörper ein Aluminium-Gusskörper vorgesehen. Als Bauteilmaterial kann auch eine Aluminiumlegierung

vorgesehen werden. Alternativ oder zusätzlich kann der

Bauteilkörper 2 auch andere Metalle bzw. Metalllegierungen aufweisen . In einem Ausführungsbeispiel wird in einem

Vorbehandlungsschritt der Bauteilkörper 2 einem

Reinigungsschritt und/oder einem Beizschritt unterzogen.

Fig. 2 zeigt schematisch einen weiteren Schritt eines

Herstellverfahrens gemäß einem Ausführungsbeispiel.

In dem weiteren Verfahrensschritt wird eine Schutzschicht 4 an der Oberfläche 3 des Bauteilkörpers 2 durch elektrolytische Oxidation der Oberfläche 3 des Bauteilkörpers 2 erzeugt.

Dabei wird der Bauteilkörper 2 in einem elektrolytischen Oxidationsbad oxidiert, so dass im Wesentlichen die gesamte Oberfläche 3 des Bauteilkörpers 2 mit einer die Schutzschicht 4 bildenden Eloxalschicht versehen wird. Man spricht daher von einem Eloxalprozess , der neben dem unmittelbaren Oxidationsprozess eine oder mehrere Vorbehandlungsschritte und eine oder mehrere Nachbehandlungsschritte umfasst.

Die Vorbehandlungsschritte können insbesondere einen oder mehrere der folgenden Schritte umfassen: Entfetten, Spülen und Dekapieren .

Das Entfetten kann chemisch in einer mildalkalischen Umgebung, beispielsweise mit einem pH-Wert von etwa 9 bis 10

durchgeführt werden. Insbesondere kann das Entfetten in einer Alficlean-139-Lösung mit einer Konzentration von etwa 50 g/1 erfolgen .

Das Spülen während der Vorbehandlung, d.h. vor dem Eloxieren, kann mit einfachem Leitungswasser bzw. technisch reinem Wasser erfolgen .

Das Dekapieren kann in einer Schwefelsäure mit einer

Konzentration von etwa 230 g/1 und mit einem

Deoxidationsmittel, insbesondere mit Ammoniumpersulfat mit einer Konzentration von etwa 10 g/1 bei etwa 23°C erfolgen.

Bei Aluminium-Blechkörpern kann vor dem Eloxieren zusätzlich ein Beizschritt durchgeführt werden. Als Beizmittel kann dabe Natronlauge, insbesondere mit einer Konzentration von etwa 70 g/1, und Steinverhinderer, insbesondere Alfisatin 338 mit einer Konzentration von etwa 45 g/1 eingesetzt werden. Der Beizvorgang kann bei einer Temperatur von etwa 40°C

durchgeführt werden.

Durch den Beizschritt kann bei den Aluminium-Blechbauteilen die Qualität der Eloxalschicht erhöht werden. Die Nachbehandlungsschritte können insbesondere einen oder mehrere der folgenden Schritte umfassen: Spülen,

Heißverdichten, Warmspülen und Trocknen.

Das Spülen während der Nachbehandlung, d.h. nach dem

Eloxieren, kann mit demineralisiertem bzw. vollentsalztem Wasser durchgeführt werden und bei einer Temperatur von etwa 20°C bis 35°C, insbesondere bei Raumtemperatur erfolgen

Das Heißverdichten kann in einem schwach sauren Konzentrat, insbesondere BONDERITE M-ED 11007 ANODIZING SEAL, das auch unter dem Namen P3 Almeco SLT bekannt ist, mit einer

Konzentration von etwa 1 bis 3 g/1, bei einer Temperatur von über etwa 90°C erfolgen.

Das Warmspülen kann mit demineralisiertem bzw vollentsalztem Wasser bei einer Temperatur von etwa 60°C bis 70°C erfolgen.

Beim Eloxieren wird Schwefelsäure mit einer Konzentration von etwa 180 g/1 und Oxalsäure mit einer Konzentration von etwa 7 g/1 eingesetzt.

In einem Ausführungsbeispiel wird für das Eloxieren ein sogenanntes Normaleloxalverfahren angewandt. Dabei liegen Eloxaltemperaturen während des Eloxalprozesses bei etwa 18°C bis 20°C und die Schichthärten der Eloxalschicht erreichen etwa 300 bis 400 HV.

In einem weiteren Ausführungsbeispiel wird für das Eloxieren ein sogenanntes Harteloxalverfahren angewandt. Dabei liegen die Eloxaltemperaturen während des Eloxierprozesses bei einer Temperatur von etwa 0°C bis 5°C und die Schichthärten der Eloxalschicht erreichen dabei etwa 350 bis 550 HV. Bei Verwendung des Harteloxalverfahrens fällt ein weiterer thermischer Schritt des „Heissverdichtens" weg.

Die Schutzschicht 4 an der Oberfläche 3 ist in Fig. 2

abschnittsweise dargestellt. Die Schutzschicht 4 wird durch eine Eloxal-Schicht der Dicke von 5μιη gebildet.

In anderen Ausführungsbeispiele, können dickere Eloxal- Schichten, insbesondere mit einer Dicke bis zu 20 μιη, und noch insbesondere in einem Dickenbereich von etwa 5 μιη bis 10, vorgesehen werden.

Die Konzentration der Elektrolytlösung wird so niedrig gewählt, dass das Bauteil 1 nach dem Eloxieren nicht mehr abgespült zu werden braucht.

In einem Ausführungsbeispiel wird nach dem Eloxieren ein Kontrollschritt zur Kontrolle der Schutzschichtqualität durchgeführt, in dem die Schutzschicht 4 auf

Durchschlagfestigkeit und/oder auf Wirbelstrombildung

elektrisch kontrolliert wird.

In einem darauffolgenden Verfahrensschritt wird die

Schutzschicht 4 lokal derart entfernt, dass der Bauteilkörper 2 an einer oder an mehreren Stellen lokal freigelegt wird.

In Fig. 3 ist eine solche freigelegte Stelle 5 mit einer freigelegten Fläche 6 des Bauteilkörpers 2 gezeigt. Das lokale Entfernen der Schutzschicht 4 erfolgt in diesem Beispiel durch einen Laser. Dabei wird ein fokussierter

Laserstrahl mit einer Leistungsdichte von etwa 10 ⁷ W/cm ² auf die eloxierte Oberfläche 3 des Bauteilkörpers 2 gerichtet und die freizulegende Stelle der Oberfläche 3 derart abgescannt, dass auf der Oberfläche 3 des Bauteilkörpers 2 die freigelegte Stelle 5 mit vordefinierter Fläche und Form erzeugt wird.

Um die hohen Leistungsdichten zu erreichen, können als

Laserlichtquellen gütegeschaltete Gas-, Festkörper- bzw.

Halbleiterlaser eingesetzt werden.

Durch die Verwendung des scannenden Laserstrahls können vordefinierte Stellen der Oberfläche 3 präzise freigelegt werden .

Die so freigelegte Fläche 6 ist kurzzeitig aktiv und wird in dem unmittelbar darauffolgenden Passivierungsschritt

passiviert .

Fig. 4 zeigt schematisch einen Passivierungsschritt nach einem Ausführungsbeispiel .

In diesem Verfahrensschritt wird die freigelegte Fläche 6 an der freigelegten Stelle 5 des Bauteilkörpers 2 passiviert.

Für das Passivieren der freigelegten Stelle 5 wird ein

Werkzeug 7 mit einer Werkzeugoberfläche 8 verwenden, das vorher mit einer ein Passivierungsmaterial aufweisenden

Passivierungslösungsschicht 9 versehen wird.

Die Passivierungslösungsschicht 9 enthält in einem

Lösungsmittel aufgelöstes Passivierungsmaterial.

Als Passivierungsmaterial wird SurTec® 650 der Firma SurTec mit einer Konzentration von etwa 100 ml/1 verwendet. In einem anderen Ausführungsbeispiel wird JUBOCoat 1300 der Firma Jubo Technologies in einer Konzentration von etwa 40 verwendet .

Das Werkzeug 7 wird an die freigelegte Stelle 5

Bauteilkörpers 2 derart aufgelegt, dass das

Passivierungsmaterial an die freiliegende Fläche

Bauteilkörpers 2 übertragen wird. Die Konzentration der Lösung wird so gewählt, dass sich eine dünnflüssige Lösung für die Passivierungslösungsschicht 9 ergibt. Durch Dünnflüssigkeit der Lösung der

Passivierungslösungsschicht 9 kann eine Bildung von Tropfnasen und Unebenheiten bei der Passivierung vermieden werden.

Fig. 5 zeigt schematisch ein Bauteil nach einem

Passivierungsschritt .

Das Bauteil 1 weist einen Bauteilkörper 2 mit einer Oberfläche 3 auf, die eine durch Eloxieren hergestellte geschlossene

Schutzschicht 4 sowie eine von der Schutzschicht freigelegte Stelle 5 aufweist. Die freigelegte Stelle 5 ist mit einer Passivierungsschicht 10 versehen, die an die Schutzschicht 4 angrenzt .

In einem Ausführungsbeispiel ist das Werkzeug 7 als ein

Tamponierwerkzeug bzw. Stempel- oder Tupfwerkzeug ausgebildet. Das Auftragen der Passivierungsschicht 10 erfolgt dabei durch Tamponprint bzw. durch Aufstempeln oder Auftupfen.

Durch die Verwendung des Tamponierwerkzeugs bzw. Stempel- oder Tupfwerkzeugs kann ein separater Tauchschritt zur Passivierung sowie Passivierungsmaterial gespart werden. In einem Ausführungsbeispiel wird die Menge der verwendeten Passivierung so angepasst, dass das Bauteil nach dem Auftragen der Passivierung nicht mehr gespült werden muss .

In einem Ausführungsbeispiel werden die Form bzw. die Größe des Werkzeugs 7 der Form bzw. der Größe der freigelegten Stellen 5 derart angepasst, dass das Passivierungsmaterial im Wesentlichen nur die freiliegende Fläche 6 des Bauteilkörpers 2 bedeckt und die Trenngrenze 1 1 im Wesentlichen der

Konturlinie bzw. den Rändern der freigelegten Stelle 5 entspricht .

In diesem Ausführungsbeispiel beträgt

Passivierungsschichtdicke etwa 150 nm.

Mit dem Tamponierverfahren können Passivierungsschichten bis zu einer Schichtdicke von etwa 200 nm bis 400 nm erzeugt werden .

In einem Ausführungsbeispiel werden die Form bzw. die Größe des Werkzeugs 7 der Form bzw. der Größe der freigelegten Stellen 5 derart angepasst, dass das Passivierungsmaterial etwas über die freiliegende Fläche 6 des Bauteilkörpers 2 hinausreicht und die Trenngrenze 11 wenigstens teilweise auf der eloxierten Oberfläche 3 des Bauteilkörpers 2 liegt, wie dies in Fig. 6 gezeigt ist.

In einem Ausführungsbeispiel werden bei der Durchführung von wenigstens einigen Verfahrensschritten, mehrere Bauteile auf einem Gestell angeordnet und so als eine Charge gleichzeitig bearbeitet . In einem Ausführungsbeispiel laufen wenigstens einige der Verfahrensschritte automatisch oder halbautomatisch ab, so dass Bauteile mit hohem Durchsatz gefertigt werden können. In einem Ausführungsbeispiel werden die Bauteile nach der Eloxierung dem Gestell automatisch entnommen und in eine Laserstation zur lokalen Entfernung der Eloxalschicht

befördert . Anhand von charakteristischen Laserabtragungsspuren, die der Laserstrahl an der freigelegten Stelle hinterlässt, kann auf die Verwendung des Laserabtrags für die lokale Entfernung der Schutzschicht zurückgeschlossen werden. Insbesondere kann man in der Nähe der Trenngrenze 11 zwischen der

Passivierungsschicht 10 und der Schutzschicht 4 eine

charakteristische durch den Laserabtrag verursachte wellige Struktur erkennen.

Außerdem können die Laserabtragungsspuren als mikroskopische Unebenheiten in dem zur Passivierungsschicht senkrechtem

Querschliff erkannt werden. Diese mikroskopischen Unebenheiten können während des Tamponierverfahrens zu Haftverbesserung zwischen der freigelegten Fläche und dem

Passivierungslösungsschicht beitragen.

In einem Ausführungsbeispiel wird das Bauteil 1 abschließend mit Warmluft abgetrocknet und in eine kundenspezifische

Verpackung verpackt. In einem Ausführungsbeispiel wird vor der Verpackung des

Bauteils ein Kontrollschritt zur Kontrolle der Passivierung durchgeführt, in dem die Passivierungsschicht 9 optisch und/oder elektrisch geprüft wird. Obwohl zumindest eine beispielhafte Ausführungsform in der vorhergehenden Beschreibung gezeigt wurde, können verschiedene Änderungen und Modifikationen vorgenommen werden. Die

genannten Ausführungsformen sind lediglich Beispiele und nicht dazu vorgesehen, den Gültigkeitsbereich, die Anwendbarkeit oder die Konfiguration der vorliegenden Offenbarung in irgendeiner Weise zu beschränken. Vielmehr stellt die

vorhergehende Beschreibung dem Fachmann einen Plan zur

Umsetzung zumindest einer beispielhaften Ausführungsform zur Verfügung, wobei zahlreiche Änderungen in der Funktion und der Anordnung von in einer beispielhaften Ausführungsform

beschriebenen Elementen gemacht werden können, ohne den

Schutzbereich der angefügten Ansprüche und ihrer rechtlichen Äquivalente zu verlassen.

Bezugszeichenliste

1 Bauteil

2 Bauteilkörper

3 Oberfläche

4 Schutzschicht

5 freigelegte Stelle

6 freigelegte Fläche

7 Werkzeug

8 Werkzeugoberfläche

9 Passivierungslösungsschicht

10 Passivierungsschicht

11 Trenngrenze