Title:
METHOD FOR MANUFACTURING A RADIATION DETECTOR
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2012/004908
Kind Code:
A1
Abstract:
In the disclosed method for manufacturing a radiation detector, even if chlorine stops being supplied in the middle of a first process in which a detection layer comprising a polycrystalline film or a polycrystalline layered film is formed by deposition or sublimation, an additional source (a chlorine-containing gas such as hydrogen chloride) separate from a source S is supplied at the beginning of or in the middle of the first step. This makes it possible to dope the detection layer with chlorine uniformly in the thickness direction from the beginning of the film-forming process to the end thereof, said detection layer being a CdTe (cadmium telluride), ZnTe (zinc telluride), or CdZnTe (cadmium zinc telluride) polycrystal or polycrystalline layered film. As a result, crystal grains can be made uniform and detection characteristics can be made uniform.
Inventors:
TOKUDA, Satoshi (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
徳田 敏 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
TANABE, Koichi (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
田邊 晃一 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
YOSHIMUTA, Toshinori (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
吉牟田 利典 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
KISHIHARA, Hiroyuki (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
岸原 弘之 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
徳田 敏 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
TANABE, Koichi (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
田邊 晃一 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
YOSHIMUTA, Toshinori (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
吉牟田 利典 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
KISHIHARA, Hiroyuki (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
岸原 弘之 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
Application Number:
JP2011/000733
Publication Date:
January 12, 2012
Filing Date:
February 09, 2011
Export Citation:
Assignee:
SHIMADZU CORPORATION (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
株式会社島津製作所 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 Kyoto, 〒6048511, JP)
Institute of National Colleges of Technology, Japan (701-2, Higashiasakawamachi Hachioji-sh, Tokyo 34, 〒1930834, JP)
独立行政法人国立高等専門学校機構 (〒34 東京都八王子市東浅川町７０１番２ Tokyo, 〒1930834, JP)
TOKUDA, Satoshi (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
徳田 敏 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
TANABE, Koichi (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
田邊 晃一 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
YOSHIMUTA, Toshinori (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
吉牟田 利典 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
株式会社島津製作所 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 Kyoto, 〒6048511, JP)
Institute of National Colleges of Technology, Japan (701-2, Higashiasakawamachi Hachioji-sh, Tokyo 34, 〒1930834, JP)
独立行政法人国立高等専門学校機構 (〒34 東京都八王子市東浅川町７０１番２ Tokyo, 〒1930834, JP)
TOKUDA, Satoshi (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
徳田 敏 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
TANABE, Koichi (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
田邊 晃一 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
YOSHIMUTA, Toshinori (1 Nishinokyo-Kuwabaracho, Nakagyo-ku, Kyoto-sh, Kyoto 11, 〒6048511, JP)
吉牟田 利典 (〒11 京都府京都市中京区西ノ京桑原町１番地 株式会社島津製作所内 Kyoto, 〒6048511, JP)
International Classes:
H01L31/09; G01T1/24; H01L27/14; H01L27/146
Attorney, Agent or Firm:
SUGITANI, Tsutomu (Nishitenma No.11 Matsuya Bldg, 10-8 Nishitenma 1-chome, Kita-ku, Osaka-sh, Osaka 47, 〒5300047, JP)
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Claims: