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Title:
METHOD FOR MEASURING THE CONCENTRATION OF A GAS COMPONENT IN A MEASUREMENT GAS, AND LASER SPECTROMETER
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2013/127657
Kind Code:
A1
Abstract:
To measure the concentration of a gas component in a measurement gas, the intensity of the light from a wavelength-tunable laser diode is detected after irradiation of the measurement gas and a reference gas, and the concentration of the gas component is determined on the basis of the reduction of light intensity by the absorption of light at the position (iabs, λabs) of a selected absorption line of the gas component, the position (iabs, λabs) of the absorption line of the gas component being referenced on the basis of a selected absorption line of the reference gas. In the method according to the invention or in the laser spectrometer according to the invention, there is a mixed operation consisting of the actual measurement (periodic microscan 17') of fast concentration changes of the gas component to be measured and a short reference/standardisation phase (18', 19', 20') for wavelength referencing, line locking and standardisation. The duration of the actual measurement is measured such that the measuring conditions remain constant and do not deviate from those during the reference/standardisation phase.

Inventors:
HANKIEWICZ THOMAS (DE)
STRAUCH PIOTR (DE)
Application Number:
PCT/EP2013/053247
Publication Date:
September 06, 2013
Filing Date:
February 19, 2013
Export Citation:
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Assignee:
SIEMENS AG (DE)
International Classes:
G01J3/433; G01N21/35; G01N21/39
Foreign References:
US20080304066A12008-12-11
EP2072979A12009-06-24
US20050046852A12005-03-03
GB2153994A1985-08-29
EP2072979A12009-06-24
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Claims:
Patentansprüche

1. Verfahren zur Messung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Messgas (1), indem die Intensität (I) des Lichts (4) einer wellenlängendurchstimmbaren Laserdiode (3) nach Durchstrahlen des Messgases (1) und eines Referenzgases (5) detektiert und die Konzentration der Gaskomponente anhand der Minderung der Lichtintensität (I) durch die Absorption des Lichts (4) an der Stelle (iabs / ^abs) einer ausgewählten Ab- sorptionslinie der Gaskomponente bestimmt wird, wobei die

Stelle ( i a s / ^abs) der Absorptionslinie der Gaskomponente an¬ hand einer ausgewählten Absorptionslinie des Referenzgases (5) referenziert wird und wobei

- die Laserdiode (3) periodisch mit einem ersten ansteigenden und/oder abfallenden Stromsignal (17') angesteuert wird, um die Absorptionslinie der Gaskomponente wellenlängenabhängig in einem Abtastbereich abzutasten, der außerhalb der Absorptionslinie des Referenzgases (5) liegt und auf die un¬ mittelbare Umgebung der Absorptionslinie der Gaskomponente beschränkt ist,

- die Laserdiode (3) regelmäßig mit einem zweiten ansteigen¬ den und/oder abfallenden Stromsignal (18') angesteuert wird, um die Absorptionslinie des Referenzgases (5) wellen¬ längenabhängig in einem Abtastbereich abzutasten, der ent- weder die beiden Absorptionslinien der Gaskomponente und des Referenzgases (5) beinhaltet oder außerhalb der Absorp¬ tionslinie der Gaskomponente liegt und auf die unmittelbare Umgebung der Absorptionslinie des Referenzgases (5) be¬ schränkt ist,

- die Laserdiode (3) regelmäßig mit mindestens einem Burst- Stromsignal (19', 20') mit einer außerhalb der Werteberei¬ che des ersten und zweiten Stromsignals (17', 18') liegen¬ den Amplitude angesteuert wird, um die an der Stelle (iabs, Xabs) der Absorptionslinie detektierte Lichtintensität (I) mit der an der Stelle des mindestens einen Burst-Strom- signals (19', 20') detektierten Intensität (I) zu normie¬ ren, und - das erste Stromsignal (17'), das zweite Stromsignal (18') und das Burst-Stromsignal (19', 20') nacheinander in der Weise erzeugt werden, dass sich einzelne oder wenige unmit¬ telbar nacheinander erzeugte zweite Stromsignale (18') und Burst-Stromsignale (19', 20') mit einer Vielzahl von unmit¬ telbar nacheinander erzeugten ersten Stromsignalen (17') abwechseln .

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Erzeugung des ersten Stromsignals (17'), des zweiten

Stromsignals (18') und des Burst-Stromsignals (19', 20') durch einen Zeitgeber (24) nach Maßgabe einer Tabelle (25) gesteuert wird, in der die Anzahl und Reihenfolge der zu er¬ zeugenden Signale (17', 18', 19', 20') gespeichert sind.

3. Laserspektrometer zur Messung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Messgas (1),

- mit einer wellenlängendurchstimmbaren Laserdiode (3) deren Licht (4) nach Durchstrahlen des Messgases (1) und eines Referenzgases (5) auf einen Detektor (6) mit nachgeordneter

Auswerteeinrichtung (8) fällt, in der die Konzentration der Gaskomponente anhand der Minderung der Lichtintensität (I) durch die Absorption des Lichts (4) an der Stelle (ia s / Xabs) einer ausgewählten Absorptionslinie der Gaskomponente bestimmt wird, wobei die Stelle (ia s / ^abs) der Absorptions¬ linie der Gaskomponente anhand einer Absorptionslinie des Referenzgases (5) referenziert wird,

- mit einem ersten Signalgenerator (12) zur periodischen An- steuerung der Laserdiode (3) mit einem ersten ansteigenden und/oder abfallenden Stromsignal (17'), um die Absorptions¬ linie der Gaskomponente wellenlängenabhängig in einem Abtastbereich abzutasten, der außerhalb der Absorptionslinie des Referenzgases (5) liegt und auf die unmittelbare Umge¬ bung der Absorptionslinie der Gaskomponente beschränkt ist, - mit einem zweiten Signalgenerator (13) zur regelmäßigen An- steuerung der Laserdiode (3) mit einem zweiten ansteigenden und/oder abfallenden Stromsignal (18'), um die Absorptions¬ linie des Referenzgases (5) wellenlängenabhängig in einem Abtastbereich abzutasten, der entweder die beiden Absorp- tionslinien der Gaskomponente und des Referenzgases (5) be¬ inhaltet oder außerhalb der Absorptionslinie der Gaskom¬ ponente liegt und auf die unmittelbare Umgebung der Absorp¬ tionslinie des Referenzgases (5) beschränkt ist,

- mit mindestens einem dritten Signalgenerator (14, 15) zur regelmäßigen Ansteuerung der Laserdiode (3) mit mindestens einem Burst-Stromsignal (19', 20') mit einer außerhalb der Wertebereiche des ersten und zweiten Stromsignals (17', 18') liegenden Amplitude, um die an der Stelle (ia s / ^abs ) der Absorptionslinie detektierte Lichtintensität (I) mit der an der Stelle des mindestens einen Burst-Stromsignals (19', 20') detektierten Intensität zu normieren, und

- mit einem die Signalgeneratoren (12, 13, 14, 15) derart steuernden Zeitgeber (24), dass das erste Stromsignal

(17'), das zweite Stromsignal (18') und das Burst-Strom¬ signal (19', 20') nacheinander erzeugt werden, wobei sich einzelne oder wenige unmittelbar nacheinander erzeugte zweite Stromsignale (18') und Burst-Stromsignale (19', 20') mit einer Vielzahl von unmittelbar nacheinander erzeugten ersten Stromsignalen (17') abwechseln.

4. Laserspektrometer nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Zeitgeber (24) Zugriff auf eine Tabelle (25) hat, in der die Anzahl und Reihenfolge der zu erzeugenden ersten und zweiten Stromsignale (17', 18') und Burst-Stromsignale (19', 20') gespeichert sind.

5. Laserspektrometer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Tabelle (25) programmierbar ist.

Description:
Beschreibung

Verfahren zur Messung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Messgas und Laserspektrometer

Laserspektrometer werden insbesondere für die optische Gas ¬ analyse in der Prozessmesstechnik eingesetzt. Dabei erzeugt eine Laserdiode Licht im Infrarotbereich, das durch das zu messende Prozessgas (Messgas) geführt und anschließend detek- tiert wird. Die Wellenlänge des Lichts wird auf eine spezifi ¬ sche Absorptionslinie der jeweils zu messenden Gaskomponente abgestimmt, wobei die Laserdiode die Absorptionslinie perio ¬ disch abtastet. Dazu wird die Laserdiode periodisch mit einem rampen- oder dreieckförmigen (steigende und fallende Rampe) Stromsignal angesteuert. Aus der an der Stelle der Absorp ¬ tionslinie detektierten Absorption kann die Konzentration der interessierenden Gaskomponente bestimmt werden.

Da die Intensität und Wellenlänge des erzeugten Lichts nicht- lineare Funktionen des Injektionsstromes und der Betriebstem ¬ peratur der Laserdiode sind, ist in vielen Fällen eine Wel- lenlängenreferenzierung erforderlich. Dazu wird in den Lichtweg zusätzlich ein Referenzgas in bekannter Konzentration eingebracht und eine Absorptionslinie des Referenzgases ge- messen. Die Temperatur der Laserdiode kann dann über die Position der Absorptionslinie des Referenzgases derart geregelt werden, dass sich die Absorptionslinie der zu messenden Gas ¬ komponente immer an einer bestimmten Stelle der Rampe des Stromsignals befindet. Dabei muss die Stromrampe groß genug sein, damit der daraus resultierende Abtastbereich der Laserdiode sowohl die Absorptionslinie der zu messenden Gaskompo ¬ nente als auch die des Referenzgases umfasst.

Beim Durchstrahlen des Mess- und Referenzgases findet neben der wellenlängenabhängigen Absorption durch infrarotaktive Gaskomponenten auch eine wellenlängenunabhängige Absorption durch optische Bauelemente (z. B. Fenster) oder Aerosole (z. B. Rauchpartikel) statt. Dies macht eine Normierung der Messung erforderlich. Dazu kann die Laserdiode regelmäßig mit mindestens einem Burst-Stromsignal angesteuert werden, dessen Amplitude außerhalb des Wertebereichs des rampen- oder drei- eckförmigen Stromsignals liegt, so dass die mit dem Burst- Stromsignal erzeugten Wellenlängen des Lichts außerhalb der Wellenlängenbereiche der Absorptionslinien der zu messenden und anderer infrarotaktiver Gaskomponenten liegen. Dies macht es möglich, die der Stelle der zu messenden Absorptionslinie detektierte Lichtintensität durch Division mit der an der Stelle des Burst-Stromsignals detektierten Lichtintensität zu normieren (EP 2 072 979 AI) .

Wie oben erläutert, wird bei aktuellen Laserspektrometern ein Wellenlängenbereich abgetastet, der sowohl die Absorptions- linien der zu messenden Gaskomponenten als auch die Absorptionslinien für die Wellenlängenreferenzierung umfasst. Zusätzlich wird ein Zeitfenster für die Normierung der Messung benötigt. Jede Abtastperiode beansprucht daher deutlich mehr Zeit als für die Erfassung einer einzelnen Absorptionslinie erforderlich ist. Dadurch wird die zeitliche Auflösung der Messung bei sich schnell ändernden Gaskonzentrationen limitiert .

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Messge- schwindigkeit bei der laserspektrometrischen Bestimmung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Messgas zu erhöhen .

Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe durch das in Anspruch 1 angegebene Verfahren und in Anspruch 3 angegebene Laserspek- trometer gemäß gelöst, von denen vorteilhafte Weiterbildungen in den Unteransprüchen angegeben sind.

Gegenstand der Erfindung ist somit ein Verfahren zur Messung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Messgas, indem die Intensität des Lichts einer wellenlängendurchstimmbaren Laserdiode nach Durchstrahlen des Messgases und eines Refe ¬ renzgases detektiert und die Konzentration der Gaskomponente anhand der Minderung der Lichtintensität durch die Absorption des Lichts an der Stelle einer ausgewählten Absorptionslinie der Gaskomponente bestimmt wird, wobei die Stelle der Absorp ¬ tionslinie der Gaskomponente anhand einer ausgewählten Ab- sorptionslinie des Referenzgases referenziert wird und wobei

- die Laserdiode periodisch mit einem ersten ansteigenden und/oder abfallenden Stromsignal angesteuert wird, um die Absorptionslinie der Gaskomponente wellenlängenabhängig in einem Abtastbereich abzutasten, der außerhalb der Absorp- tionslinie des Referenzgases liegt und auf die unmittelbare

Umgebung der Absorptionslinie der Gaskomponente beschränkt ist,

- die Laserdiode regelmäßig mit einem zweiten ansteigenden und/oder abfallenden Stromsignal angesteuert wird, um die Absorptionslinie des Referenzgases wellenlängenabhängig in einem Abtastbereich abzutasten, der entweder die beiden Absorptionslinien der Gaskomponente und des Referenzgases be ¬ inhaltet oder außerhalb der Absorptionslinie der Gaskompo ¬ nente liegt und auf die unmittelbare Umgebung der Absorp- tionslinie des Referenzgases beschränkt ist,

- die Laserdiode regelmäßig mit mindestens einem Burst-Strom- signal mit einer außerhalb der Wertebereiche des ersten und zweiten Stromsignals liegenden Amplitude angesteuert wird, um die an der Stelle der Absorptionslinie detektierte

Lichtintensität mit der an der Stelle des mindestens einen

Burst-Stromsignals detektierten Intensität zu normieren, und

- das erste Stromsignal, das zweite Stromsignal und das

Burst-Stromsignal nacheinander in der Weise erzeugt werden, dass sich einzelne oder wenige unmittelbar nacheinander erzeugte zweite Stromsignale und Burst-Stromsignale mit einer Vielzahl von unmittelbar nacheinander erzeugten ersten Stromsignalen abwechseln.

Gegenstand der Erfindung ist ferner ein Laserspektrometer zur Messung der Konzentration einer Gaskomponente in einem Messgas,

- mit einer wellenlängendurchstimmbaren Laserdiode deren

Licht nach Durchstrahlen des Messgases und eines Referenz- gases auf einen Detektor mit nachgeordneter Auswerteeinrichtung fällt, in der die Konzentration der Gaskomponente anhand der Minderung der Lichtintensität durch die Absorption des Lichts an der Stelle einer ausgewählten Absorptionslinie der Gaskomponente bestimmt wird, wobei die Stel ¬ le der Absorptionslinie der Gaskomponente anhand einer Ab ¬ sorptionslinie des Referenzgases referenziert wird, mit einem ersten Signalgenerator zur periodischen Ansteue- rung der Laserdiode mit einem ersten ansteigenden und/oder abfallenden Stromsignal, um die Absorptionslinie der Gas ¬ komponente wellenlängenabhängig in einem Abtastbereich abzutasten, der außerhalb der Absorptionslinie des Referenz ¬ gases liegt und auf die unmittelbare Umgebung der Absorp ¬ tionslinie der Gaskomponente beschränkt ist,

mit einem zweiten Signalgenerator zur regelmäßigen Ansteue- rung der Laserdiode mit einem zweiten ansteigenden und/oder abfallenden Stromsignal, um die Absorptionslinie des Refe ¬ renzgases wellenlängenabhängig in einem Abtastbereich abzutasten, der entweder die beiden Absorptionslinien der Gaskomponente und des Referenzgases beinhaltet oder außerhalb der Absorptionslinie der Gaskomponente liegt und auf die unmittelbare Umgebung der Absorptionslinie des Referenz ¬ gases beschränkt ist,

mit mindestens einem dritten Signalgenerator zur regelmäßigen Ansteuerung der Laserdiode mit mindestens einem Burst- Stromsignal mit einer außerhalb der Wertebereiche des ers ¬ ten und zweiten Stromsignals liegenden Amplitude angesteu ¬ ert wird, um die an der Stelle der Absorptionslinie detek- tierte Lichtintensität mit der an der Stelle des mindestens einen Burst-Stromsignals detektierten Intensität zu normie ¬ ren, und

mit einem die Signalgeneratoren derart steuernden Zeitgeber, dass das erste Stromsignal, das zweite Stromsignal und das Burst-Stromsignal nacheinander erzeugt werden, wobei sich einzelne oder wenige unmittelbar nacheinander erzeugte zweite Stromsignale und Burst-Stromsignale mit einer Viel ¬ zahl von unmittelbar nacheinander erzeugten ersten Stromsignalen abwechseln. Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren bzw. bei dem erfindungsgemäßen Laserspektrometer findet ein Mischbetrieb bestehend aus der eigentlichen Messung (periodischer Micro-Scan) schneller Konzentrationsänderungen der zu messenden Gaskompo- nente und einer kurzen Referenz-/Normierungsphase für die

Wellenlängenreferenzierung, das Line-Locking und die Normalisierung statt. Die Dauer der kontinuierlichen Messung muss so bemessen sein, dass die Messbedingungen konstant bleiben und nicht von denen während der Referenz-/Normierungsphase abwei- chen. Dies betrifft vor allem die Transmissionsbedingungen sowie Temperatur und Druck.

Im Weiteren wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die Figu ¬ ren der Zeichnung anhand von Ausführungsbeispielen erläutert; im Einzelnen zeigen

Figur 1 eine schematische Darstellung eines Bei ¬ spiels für das erfindungsgemäße Spektrometer mit Laserdiode und die

Figuren 2 bis 6 unterschiedliche Beispiele für die Ansteue- rung der Laserdiode.

Figur 1 zeigt ein Laserspektrometer zur Messung der Konzen- tration mindestens einer interessierenden Gaskomponente eines Messgases 1, das in einem Messvolumen 2, beispielsweise einer Messküvette oder einer Prozessgasleitung, enthalten ist. Das Spektrometer enthält eine Laserdiode 3, deren Licht 4 durch das Messgas 1 und eine nachgeordnete, mit einem Referenzgas 5 gefüllte Referenzgasküvette 6 auf einen Detektor 7 mit nach ¬ geordneter Auswerteeinrichtung 8 zur Lieferung des Messergebnisses 9 fällt. Die Laserdiode 3 wird von einer steuerbaren Stromquelle 10 mit einem Injektionsstrom i angesteuert, wobei die Intensität I und Wellenlänge λ des erzeugten Lichts 4 von dem Strom i und der Betriebstemperatur der Laserdiode 3 abhängen. Der Injektionsstrom i wird in Form unterschiedlicher Stromsignale erzeugt. Dazu wird die Stromquelle 10 über einen Summierer 11 von unterschiedlichen Signalgeneratoren 12, 13, 14, 15, 16 angesteuert, von denen ein erster Signalgenerator 12 ein erstes rampen- oder dreieckförmiges Signal 17, ein zweiter Signalgenerator 13 ein zweites rampen- oder dreieck- förmiges Signal 18, ein dritter Signalgenerator 14 ein erstes Burst-Signal 19, ein vierter Signalgenerator 15 ein zweites Burst-Signal 20 und ein fünfter Signalgenerator 16 ein Sinussignal 21 erzeugt. Ein Digital-/Analog-Umsetzer 22 erzeugt ein Bias-Signal 23, anhand dessen die Stromquelle 10 einen Bias-Strom für die Laserdiode 3 erzeugt. Die Signalgenerato- ren 12, 13, 14, 15, 16 werden von einem Zeitgeber 24 nach Maßgabe einer Tabelle 25 gesteuert, in der festgelegt ist, welcher der Signalgeneratoren 12, 13, 14, 15, 16 das betreffende Signal 17, 18, 19, 20 oder 21 wann und wie oft un ¬ mittelbar hintereinander, also mit welcher Anzahl von Perio- den, erzeugt. Die Erzeugung der rampen- oder dreieckförmigen Signale 17, 18 und Burst-Signale 19, 20 erfolgt abwechselnd, d. h. nicht gleichzeitig, während das Sinussignal 21 nur zu ¬ sammen mit dem jeweiligen rampen- oder dreieckförmigen Signale 17, 18 erzeugt werden kann. Die Tabelle 25 ist program- mierbar und kann, wie gezeigt, in dem Zeitgeber 24 oder beispielsweise einer übergeordneten Steuereinrichtung 26 des La- serspektrometers implementiert sein.

Die Ansteuerung der Laserdiode 3 kann im Rahmen der Erfindung unterschiedlich realisiert werden. So kann beispielsweise der Summierer 11 durch eine von dem Zeitgeber 24 gesteuerte

Schalteinrichtung (Multiplexer) ersetzt werden, die die Signale 17, 18, 19, 20 nach Maßgabe der Tabelle 25 in eine Sig ¬ nalfolge umwandelt und damit die Stromquelle 10 ansteuert. Auch können die Signale 17, 18 andere ansteigende und/oder abfallende Signalverläufe, z. B. einen Sinusverlauf, aufwei ¬ sen .

Figur 2 zeigt ein erstes Beispiel für die Ansteuerung der La- serdiode 3 mit dem Injektionsstrom i. In seinem zeitlichen Verlauf besteht der Injektionsstrom i aus unterschiedlichen Stromsignalen 17', 18', 19', 20' 21', die aus der Ansteuerung der Stromquelle 10 mit den Signalen 17, 18, 19, 20, 21 resul- tieren. Die Wellenlänge λ des erzeugten Lichts 4 folgt mehr oder weniger linear dem Verlauf des Stromes i. Die Absorptionslinie der zu messenden Gaskomponente liegt an der Stelle i abs bzw. X abs und die des Referenzgases an der Stelle i ref bzw. r ef .

Mit dem ersten rampen- oder dreieckförmigen Stromsignal 17' wird die Absorptionslinie der Gaskomponente in einem Abtast ¬ bereich abgetastet, der außerhalb der Absorptionslinie des Referenzgases 5 liegt und auf die unmittelbare Umgebung der

Absorptionslinie der Gaskomponente beschränkt ist. Die Abtas ¬ tung erfolgt dabei über eine längere Zeit von beispielsweise einer Minute mit einer Vielzahl von unmittelbar aufeinander folgenden Abtastperioden. Aufgrund der vergleichsweise gerin- gen Amplitude des Stromsignals 17' ist die Periodendauer ent ¬ sprechend kurz, so dass die Messung der Absorptionslinie der Gaskomponente auch schnellen Konzentrationsänderungen der zu messenden Gaskomponente folgen kann. Die Abtastung der Absorptionslinie der Gaskomponente wird re ¬ gelmäßig, hier z. B. im Minutenabstand, von einer Messung der Absorptionslinie des Referenzgases 5 unterbrochen. Dazu wird die Laserdiode 3 mit dem zweiten rampen- oder dreieckförmigen Stromsignal 18' angesteuert, dessen Amplitude bei dem in Fi- gur 2 gezeigten Beispiel so groß ist, dass der resultierende Abtastbereich die beiden Absorptionslinien der Gaskomponente und des Referenzgases 5 beinhaltet. Diese zweite Stromsignal 18' wird nur für kurze Dauer im Sekundenbereich oder darunter für eine einzige oder sehr wenige Perioden erzeugt.

Vor und/oder hinter dem zweiten Stromsignal 18' werden die zur Normierung der Messung dienenden Burst-Stromsignale 19' bzw. 20' erzeugt. Zur Erhöhung der Messgenauigkeit können die rampen- oder dreieckförmigen Stromsignale 17' und 18' in bekannter Weise mit dem Sinus-Stromsignal 21' der Frequenz f moduliert wer ¬ den. Aufgrund der Nichtlinearität der Absorptionslinien re- sultiert aus der Modulation des Injektionsstromes i mit der Frequenz f eine entsprechende Variation der detektierten Lichtintensität I mit mehr oder weniger starken harmonischen Verzerrungen. An der Extremstelle (Absorptionsmaximum) in der Mitte der Absorptionslinie dominiert die erste Oberschwingung mit der Frequenz 2f, während in Wellenlängenbereichen außerhalb des Absorptionsmaximums der Anteil der ersten Ober ¬ schwingung in der Intensität I stark abnimmt. Die an der Stelle des Absorptionsmaximums stattfindende Absorption kann daher in der Auswerteeinrichtung 8 sehr genau und störungsfrei durch Auswertung des 2f-Signalanteils ermittelt werden.

Die Figuren 3 bis 6 zeigen weitere Ausführungsbeispiele für die Ansteuerung der Laserdiode 3, bei denen das zweite Strom- signal 18' und/oder die Burst-Stromsignale 19', 20' oder nur ein Burst-Stromsignal in unterschiedlicher Folge erzeugt wer ¬ den. Auch kann das zweite Stromsignal 18' rampenförmig (Figu ¬ ren 4 und 6) anstatt dreieckförmig und/oder mit einer kleinen, die Abtastung auf die unmittelbare Umgebung der Absorp- tionslinie des Referenzgases 5 beschränkenden Amplitude (Fi ¬ gur 3) erzeugt werden, um die Unterbrechung der schnellen periodischen Abtastung der Absorptionslinie der interessie ¬ renden Gaskomponente möglichst kurz zu halten. Eine rampen- förmige Signalform ist natürlich auch für das erste Strom- signal 17' möglich.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist für Spektrometer in allen Bandbreiten (UV, VIS, IR) geeignet.




 
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