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Title:
METHOD FOR MONITORING A MACHINING PROCESS IN A MACHINE TOOL, AND MONITORING DEVICE AND COMPUTER PROGRAM FOR SAME
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2024/052219
Kind Code:
A1
Abstract:
In a method for monitoring a machining process in a machine tool, values of a measured variable are received, said values having been determined during a machining stroke in the machining of a workpiece. At least one test value based on the values of the measured variable is compared with a tolerance limit (U i, L i). The tolerance limit is automatically determined by performing a statistical analysis of a plurality of reference values (R į) determined by measurements taken during the machining of a plurality of previous workpieces, each reference value being based on one or more values of the measured variable obtained during the machining of one of the previous workpieces.

Inventors:
DIETZ CHRISTIAN (CH)
Application Number:
PCT/EP2023/073991
Publication Date:
March 14, 2024
Filing Date:
September 01, 2023
Export Citation:
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Assignee:
REISHAUER AG (CH)
International Classes:
B23F23/12; B23Q17/09; G05B19/406; B23F1/02; B23F5/04
Domestic Patent References:
WO2022100972A22022-05-19
WO2021048027A12021-03-18
WO2020193228A12020-10-01
Foreign References:
EP1342534A22003-09-10
US10359356B22019-07-23
EP1407853A12004-04-14
DE102014015587A12016-04-21
US5523701A1996-06-04
US20120156963A12012-06-21
US20200310393A12020-10-01
CH070373S1
CH718264B12022-11-30
Attorney, Agent or Firm:
DETKEN, Andreas (CH)
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Claims:
PATENTANSPRÜCHE 1. Verfahren zur Überwachung eines Bearbeitungsprozesses in einer Werkzeugmaschine (1), bei dem ein Werkstück (23) mit einem Werkzeug (16) in einem oder mehreren Bearbeitungshüben bearbeitet wird, aufweisend die folgenden Schritte: Empfangen von Werten einer Messgrösse (^(^)), wobei die Werte der Messgrösse (^(^)) durch Messungen an der Werkzeugmaschine während des Bearbeitungshubes ermittelt wurden; und Vergleichen mindestens eines auf den Werten der Messgrösse (^(^)) basierenden Prüfwerts (^^, ^^) mit einer Toleranzgrenze (^^, dadurch gekennzeichnet, dass die Toleranzgrenze (^^, ^^) ermittelt wird, indem eine statistische Analyse einer Vielzahl von Referenzwerten (^^) ausgeführt wird, die durch Messungen während der Bearbeitung einer Vielzahl früherer Werkstücke ermittelt wurden, wobei jeder Referenzwert (^^) auf einem oder mehreren Werten der Messgrösse (^(^)) basiert, die während der Bearbeitung eines der früheren Werkstücke ermittelt wurden, und wobei bei der statistischen Analyse der Referenzwerte (^^) ein Streuungsmass (^^; IQR) für die Referenzwerte (^^) ermittelt wird und die Toleranzgrenze (^^, ^^) basierend auf dem Streuungsmass (^^; IQR) festgelegt wird. 2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die Referenzwerte (^^) in einer Datenbank (46) abgespeichert sind und das Verfahren das Abrufen der Referenzwerte (^^) aus der Datenbank (46) umfasst. 3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei das Verfahren umfasst: Berechnen eines neuen Referenzwerts (^^) basierend auf einem oder mehreren der Werte der Messgrösse (^(^)), und Updaten der Datenbank, indem der neue Referenzwert (^^) in der Datenbank (46) abgespeichert wird. 4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei jeder Referenzwert (^^) einem Prüfwert (^^, ^^) entspricht, der für ein früheres Werkstück ermittelt wurde. 5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei zeitabhängige Werte der Messgrösse (^(^)) für eine Vielzahl von Zeitpunkten während eines Bearbeitungshubes empfangen werden, wobei der Prüfwert (^^, ^^) zeitunabhängig ist und aus den genannten zeitabhängigen Werten der Messgrösse (^(^)) berechnet wird, wobei jeder Referenzwert (^^) zeitunabhängig ist und auf zeitabhängigen Werten der Messgrösse (^(^)) während eines Bearbeitungshubs bei der Bearbeitung eines der früheren Werkstücke basiert, wobei durch die statistische Analyse der zeitunabhängigen Referenzwerte (^^) mindestens eine zeitunabhängige Toleranzgrenze (^^, ^^) ermittelt wird, und wobei der zeitunabhängige Prüfwert (^^, ^^) mit der mindestens einen zeitunabhängigen Toleranzgrenze (^^, ^^) verglichen wird. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, wobei zeitabhängige Werte der Messgrösse (^(^)) für eine Vielzahl von Zeitpunkten während des Bearbeitungshubes empfangen werden, wobei eine Mehrzahl von Zeitintervallen des Bearbeitungshubs vorgegeben wird, wobei für jedes der Zeitintervalle mindestens ein zugeordneter Prüfwert (^^) bestimmt wird, der auf den Werten der Messgrösse (^(^)) im betreffenden Zeitintervall basiert, wobei für jedes der Zeitintervalle mindestens eine Toleranzgrenze (^^, ^^) ermittelt wird, wobei jeder Referenzwert (^^) spezifisch für eines der Zeitintervalle ist und auf zeitabhängigen Werten der Messgrösse (^(^)) während der Bearbeitung eines der früheren Werkstücke im betreffenden Zeitintervall basiert, und wobei für jedes der Zeitintervalle der mindestens eine Prüfwert (^^) mit der mindestens einen Toleranzgrenze (^^, ^^) für das betreffende Zeitintervall verglichen wird. 7. Verfahren nach Anspruch einem der Ansprüche 1-4, wobei zeitabhängige Werte der Messgrösse (^(^)) für eine Vielzahl von Zeitpunkten während des Bearbeitungshubes empfangen werden, wobei eine Frequenzanalyse der zeitabhängigen Werte der Messgrösse (^(^)) durchgeführt wird, um eine Vielzahl von Frequenzkomponenten (^(^)) der Messgrösse (^(^)) zu ermitteln, wobei eine Mehrzahl von Frequenzintervallen vorgegeben wird, wobei für jedes der Frequenzintervalle mindestens ein zugeordneter Prüfwert (^^) bestimmt wird, der auf den Frequenzkomponenten (^(^)) im betreffenden Frequenzintervall basiert, wobei für jedes der Frequenzintervalle mindestens eine Toleranzgrenze (^^, ^^) ermittelt wird, wobei jeder Referenzwert (^^) spezifisch für eines der Frequenzintervalle ist und auf Frequenzkomponenten im betreffenden Frequenzintervall basiert, die durch eine Frequenzanalyse von zeitabhängigen Werten der Messgrösse (^(^)) während der Bearbeitung eines der früheren Werkstücke ermittelt wurden, und wobei für jedes der Frequenzintervalle der mindestens eine Prüfwert (^^) mit der mindestens einen Toleranzgrenze (^^, ^^) für das betreffende Frequenzintervall verglichen wird. 8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Werkstück (23) in mindestens zwei Bearbeitungshüben bearbeitet wird, und wobei die Toleranzgrenze (^^, ^^) spezifisch für den jeweiligen Bearbeitungshub ist. 9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Streuungsmass (^^; IQR) eine Standardabweichung oder eine Grösse eines Werteintervalls, in dem ein vorgegebener Anteil aller Referenzwerte (^^) liegt, ist, und wobei die Toleranzgrenze (^^, ^^) optional relativ zu einem Lageparameter ^(0.5)) der Referenzwerte (^^) als ein Vielfaches der Standardabweichung oder der Grösse des Werteintervalls festgelegt wird. 10. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Streuungsmass (^^; IQR) ein Werteintervall, in dem ein vorgegebener Anteil aller Referenzwerte liegt, ist, und wobei eine Grenze des genannten Werteintervalls die Toleranzgrenze bildet. 11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Toleranzgrenze ermittelt wird, indem mindestens zwei statistische Analyseverfahren kombiniert werden, oder wobei der mindestens eines Wert der Messgrösse oder der daraus abgeleitete Prüfwert mit mindestens zwei Toleranzgrenzen verglichen wird, die durch unterschiedliche statistische Analyseverfahren ermittelt wurden. 12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Messgrösse (^(^)) mindestens eine der folgenden Grössen ist oder von mindestens einer der folgenden Grössen abgeleitet ist: ein Leistungsindikator, welcher ein Mass für eine momentane Leistungsaufnahme einer Werkzeugspindel (15) oder Werkstückspindel (21) der Werkzeugmaschine (1) ist; oder ein Schwingungsindikator, der mit mindestens einem Schwingungssensor (18) ermittelt wurde und Schwingungen der Werkzeugmaschine (1) repräsentiert. 13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Verfahren ausserdem aufweist: Durchführen einer Normierungsoperation, um den mindestens einen Prüfwert (^^, zu normieren, wobei die Normierungsoperation von mindestens einem Prozessparameter abhängt, wobei der mindestens eine Prozessparameter ausgewählt ist aus geometrischen Parametern des Werkzeugs (16), geometrischen Parametern des Werkstücks (23) und Einstellparametern der Werkzeugmaschine (1), derart, dass der normierte Prüfwert (^^, weniger stark von dem mindestens einen Prozessparameter abhängt als ohne die Normierungsoperation. 14. Verfahren nach Anspruch 13, umfassend: Ändern mindestens eines der Prozessparameter; und Neuberechnen der Normierungsoperation bezogen auf die Prozessparameter nach der Änderung, wobei die Neuberechnung der Normierungsoperation insbesondere die Anwendung eines Modells umfasst, das eine erwartete Abhängigkeit der Messgrösse (^(^)) von den Prozessparametern beschreibt, insbesondere eines Modells einer Prozesskraft oder Prozessleistung. 15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Verfahren aufweist: Ausgeben einer Information, die auf dem Vergleich des mindestens einen Prüfwerts (^^, ^^) mit der Toleranzgrenze (^^, ^^) basiert; und/oder Beeinflussen des Bearbeitungsprozesses in Abhängigkeit von einem Ergebnis des Vergleichs des Prüfwerts (^^, mit der Toleranzgrenze (^^, ^^). 16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das Verfahren ausserdem aufweist: Ermitteln eines Prozessabweichungsindikators auf der Basis des Vergleichs des mindestens einen Prüfwerts (^^, mit der Toleranzgrenze (^^, ^^); und optional, Ausgeben des Prozessabweichungsindikators oder einer Information, die auf dem Prozessabweichungsindikator basiert. 17. Verfahren nach Anspruch 16, wobei das Verfahren ausserdem aufweist: Einlesen eines Maschinenzustandsindikators, der durch eine Zustandsdiagnose der Werkzeugmaschine ermittelt wurde, wobei bei der Zustandsdiagnose Zustandsdaten mit mindestens einer Referenzzustandsgrösse verglichen wurden, um mindestens einen Maschinenzustandsindikator zu ermitteln, und wobei die Zustandsdaten durch Messungen in einem Maschinenprüfzyklus ermittelt wurden, bei dem mindestens ein Teil der Maschinenachsen gezielt betätigt wurde und dieser Betätigung zugeordnete Zustandsdaten durch Messungen ermittelt wurden; und Ermitteln eines Fehlerquellenindikators aus dem Prozessabweichungsindikator und dem Maschinenzustandsindikator, wobei der Fehlerquellenindikator Information darüber enthält, welche Art von Fehlerquelle für eine unzulässige Prozessabweichung vorliegt. 18. Verfahren zur Überwachung eines Bearbeitungsprozesses in einer Werkzeugmaschine (1), bei dem ein Werkstück (23) mit einem Werkzeug (16) in einem oder mehreren Bearbeitungshüben bearbeitet wird, aufweisend die folgenden Schritte: Empfangen von Werten einer Messgrösse (^(^)), wobei die Werte der Messgrösse (^(^)) durch Messungen an der Werkzeugmaschine während des Bearbeitungshubes ermittelt wurden; und Vergleichen mindestens eines auf den Werten der Messgrösse (^(^)) basierenden Prüfwerts (^^, ^^) mit einer Toleranzgrenze (^^, Ermitteln eines Prozessabweichungsindikators auf der Basis des Vergleichs des mindestens einen Prüfwerts (^^, ^^) mit der Toleranzgrenze (^^, ^^); Einlesen eines Maschinenzustandsindikators, der durch eine Zustandsdiagnose der Werkzeugmaschine ermittelt wurde, wobei bei der Zustandsdiagnose Zustandsdaten mit mindestens einer Referenzzustandsgrösse verglichen wurden, um mindestens einen Maschinenzustandsindikator zu ermitteln, und wobei die Zustandsdaten durch Messungen in einem Maschinenprüfzyklus ermittelt wurden, bei dem mindestens ein Teil der Maschinenachsen gezielt betätigt wurde und dieser Betätigung zugeordnete Zustandsdaten durch Messungen ermittelt wurden; und Ermitteln eines Fehlerquellenindikators aus dem Prozessabweichungsindikator und dem Maschinenzustandsindikator, wobei der Fehlerquellenindikator Information darüber enthält, welche Art von Fehlerquelle für eine unzulässige Prozessabweichung vorliegt.

19. Verfahren nach Anspruch 17 oder 18, aufweisend: Ausgeben einer Information, die auf dem Fehlerquellenindikator basiert. 20. Überwachungsvorrichtung zur Überwachung eines Bearbeitungsprozesses in einer Werkzeugmaschine (1), bei dem ein Werkstück (23) mit einem Werkzeug (16) bearbeitet wird, dadurch gekennzeichnet, dass die Überwachungsvorrichtung dazu konfiguriert ist, das Verfahren eines der vorhergehenden Ansprüche auszuführen. 21. Überwachungsvorrichtung nach Anspruch 20, aufweisend ein Benutzerinterface, das dazu konfiguriert ist, einem Benutzer zu erlauben, mindestens einen Parameter zu verändern, der vom Rechner für die automatische Festlegung der Toleranzgrenze verwendet wird, und/oder eine automatisch festgelegte Toleranzgrenze zur verändern. 22. Überwachungsvorrichtung nach Anspruch 20, aufweisend ein Benutzerinterface, das dazu konfiguriert ist, eine Information auszugeben, die auf dem Vergleich des mindestens einen Prüfwerts (^^, ^^) mit der Toleranzgrenze (^^, ^^) basiert. 23. Computerprogramm, umfassend Befehle, die bei der Ausführung des Computerprogramms durch einen Rechner diesen veranlassen, das Verfahren eines der Ansprüche 1-19 auszuführen.

Description:
TITEL VERFAHREN ZUR ÜBERWACHUNG EINES BEARBEITUNGSPROZESSES IN EINER WERKZEUGMASCHINE TECHNISCHES GEBIET Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Überwachung eines Bearbeitungsprozesses in einer Werkzeugmaschine. Bei der Werkzeugmaschine kann es sich um eine Verzahnmaschine zur spanenden Bearbeitung von verzahnten Werkstücken handeln, insbesondere um eine Verzahnungsschleifmaschine. STAND DER TECHNIK Bei der Bearbeitung von Werkstücken in einer Werkzeugmaschine treten naturgemäss Fertigungsabweichungen auf, die sich in Abweichungen der tatsächlich gefertigten Ist- Geometrie der Werkstücke von einer vorgegebenen Soll-Geometrie äussern. Die Fertigungsabweichungen können dadurch bedingt sein, dass es im Bearbeitungsprozess zu Abweichungen vom vorgesehenen Prozess kommt. Zu Prozessabweichungen kann es unter anderem durch Fehlbedienungen, durch Fehlfunktionen oder durch Verschleiss der unterschiedlichen Komponenten der Werkzeugmaschine kommen. Aus Zeit- und Kostengründen können die bearbeiteten Werkstücke meist nur stichprobenhaft auf Bearbeitungsfehler überprüft werden. Wenn es sich bei dem Bearbeitungsprozess beispielsweise um einen Wälzschleifprozess handelt, mit dem Verzahnungen feinbearbeitet werden, dauert die Verzahnungsprüfung eines einzelnen Werkstücks typischerweise deutlich länger als die eigentliche Bearbeitung. Eine Einzelprüfung jedes Werkstücks wäre daher nicht wirtschaftlich. Bearbeitungsfehler werden daher häufig erst erkannt, nachdem das Werkstück in ein Getriebe eingebaut wurde, bei einer sogenannten End-of-Line-Prüfung (EOL-Prüfung). In diesem Stadium zieht ein fehlerhaftes Werkstück hohe Kostenfolgen nach sich. Es ist daher erwünscht, Prozessabweichungen möglichst schon während der Bearbeitung ("online") oder zumindest unmittelbar daran anschliessend ("inline") zu erkennen, um fehlerhaft gefertigte Werkstücke rechtzeitig ausschleusen zu können und korrigierend in den Prozess eingreifen zu können. Dazu ist es bekannt, laufend Messwerte an der Werkzeugmaschine zu ermitteln und diese Messwerte mit Toleranzgrenzen zu vergleichen. Bei den Messwerten kann es sich z.B. um die Leistungsaufnahme einer Werkzeug- oder Werkstückspindel oder um ein Signal eines Schwingungssensors handeln. Wenn der durch die Toleranzgrenzen begrenzte Toleranzbereich verlassen wird, deutet das auf eine Prozessabweichung hin. In diesem Fall kann das gerade bearbeitete Werkstück als fehlerhaft ausgeschleust werden, und gegebenenfalls kann regulierend in den Prozess eingegriffen werden. Die Festlegung der Toleranzgrenzen ist eine sehr anspruchsvolle Aufgabe, die viel Expertenwissen erfordert. Die Festlegung der Toleranzgrenzen ist zudem ein iterativer Prozess, der fehleranfällig ist. In WO2022100972A2 wird vorgeschlagen, beim Schleifen einer Verzahnung mittels eines Schleifwerkzeugs zwei Maschinenparameter zu messen. Falls mindestens einer der Maschinenparameter unter Berücksichtigung eines Toleranzbandes einen vorgegebenen Wert über- oder unterschreitet, wird ein Signal ausgegeben. Mindestens einer der Maschinenparameter beinhaltet periodische Signalanteile. Diese Signalanteile werden durch eine Frequenzanalyse in die einzelnen Frequenzanteile zerlegt, und die Frequenzanteile werden hinsichtlich ihrer Frequenz und/oder Amplitude zum Vergleich herangezogen. Dabei können für jeden Frequenzanteil individuelle Grenzwerte festgelegt werden. Die Festlegung individueller Toleranzgrenzen für die einzelnen Frequenzanteile benötigt ganz besonders viel Expertenwissen. Beispielweise muss der Bediener, der die Toleranzgrenzen festlegt, die Bedeutung der einzelnen Frequenzanteile für mögliche Bearbeitungsfehler einordnen können. Häufig fehlt dem Bediener einer Werkzeugmaschine dieses Expertenwissen. Aufgrund der hohen Zahl von Frequenzanteilen ist die Festlegung solcher Grenzwerte zudem extrem zeitaufwändig. Die unvermeidliche Prozessstreuung erschwert diese Aufgabe zusätzlich. Ein vollständiges Bild der Streuung aller Frequenzanteile ergibt sich oft erst nach der Fertigung von mehreren Tausend Werkstücken. In der Praxis werden daher die Grenzwerte häufig falsch gesetzt. Beispielsweise werden Grenzwerte zu weit gesetzt, so dass unzulässige Prozessabweichungen gar nicht erst erkannt werden, oder sie werden zu eng gesetzt, so dass Werkstücke als fehlerhaft ausgeschleust werden, obwohl sie eigentlich die Anforderungen an die Fertigungsgenauigkeit erfüllen. WO2021048027A1 offenbart ein Verfahren zur Überwachung eines Bearbeitungsprozesses, bei dem eine Vielzahl von Messwerten erfasst wird, während ein Werkzeug in einem Bearbeitungseingriff mit einem Werkstück steht, darunter Werte eines Leistungsindikators, der eine momentane Leistungsaufnahme der Werkzeugspindel während der Bearbeitung angibt. Auf mindestens einen Teil dieser Messwerte oder auf Werte einer aus den Messwerten abgeleiteten Grösse wird eine Normierungsoperation angewendet, um normierte Werte zu erhalten. Die Normierungsoperation hängt von mindestens einem der folgenden Parameter ab: geometrische Parameter des Werkzeugs, geometrische Parameter des Werkstücks und Einstellparameter der Werkzeugmaschine. Dadurch werden Messwerte miteinander vergleichbar, die mit unterschiedlichen Prozessparametern gewonnen wurden. Auch in diesem Dokument wird vorgeschlagen, die Messwerte einer Frequenzanalyse zu unterziehen. Das Dokument befasst sich nicht mit der Festlegung von Toleranzgrenzen. WO 2020/193228 A1 offenbart ein Verfahren zur automatischen Prozessüberwachung beim kontinuierlichen Wälzschleifen von vorverzahnten Werkstücken, das eine Früherkennung von Schleifscheibenausbrüchen ermöglicht. Während der Bearbeitung von Werkstücken wird mindestens eine Messgrösse überwacht. Aus dieser wird ein Warnindikator für einen Schleifscheibenausbruch ermittelt. Wenn der Warnindikator auf einen Schleifscheibenausbruch hindeutet, wird die Schleifscheibe automatisch auf einen Schleifscheibenausbruch untersucht. Auch dieses Dokument befasst sich nicht mit der Festlegung von Toleranzgrenzen. Vor dem Hintergrund von stets steigenden Anforderungen an die Bearbeitungsqualität und einer entsprechend sinkenden Fehlertoleranz sind Methoden erwünscht, die schon kleinste Abweichungen oder Unregelmässigkeiten im Bearbeitungsprozess zielsicher entdecken. Beispielsweise ist es beim Wälzschleifen erwünscht, nicht nur ganze Schleifscheibenscheibenausbrüche zu erkennen, sondern auch schon Hinweise auf Mikrorisse der Schleifscheibe zu erhalten. Es werden also Verfahren zur automatischen Prozessüberwachung benötigt, die Prozessabweichungen in einer objektiveren und sichereren Weise erkennen können als bisherige Verfahren. DARSTELLUNG DER ERFINDUNG In einem ersten Aspekt ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Überwachung eines Bearbeitungsprozesses in einer Werkzeugmaschine anzugeben, das eine objektive und zuverlässige Erkennung von Prozessabweichungen ermöglicht, ohne dass besonderes Expertenwissen für die Festlegung von Toleranzgrenzen benötigt wird. Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren nach Anspruch 1 gelöst. Weitere Ausführungsformen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben. Es wird also ein Verfahren zur Überwachung eines Bearbeitungsprozesses in einer Werkzeugmaschine vorgeschlagen, bei dem ein Werkstück mit einem Werkzeug in einem oder mehreren Bearbeitungshüben bearbeitet wird, aufweisend die folgenden Schritte: Empfangen von Werten einer Messgrösse (Messwerten), die durch Messungen an der Werkzeugmaschine während des Bearbeitungshubes ermittelt wurden; und Vergleichen mindestens eines auf den Werten der Messgrösse basierenden Prüfwerts mit einer Toleranzgrenze. Erfindungsgemäss wird die Toleranzgrenze ermittelt, indem eine statistische Analyse einer Vielzahl von Referenzwerten ausgeführt wird, die durch Messungen während der Bearbeitung einer Vielzahl früherer Werkstücke ermittelt wurden, wobei jeder Referenzwert auf einem oder mehreren Werten der Messgrösse basiert, die während der Bearbeitung eines der früheren Werkstücke ermittelt wurden, und wobei bei der statistischen Analyse der Referenzwerte ein Streuungsmass für die Referenzwerte ermittelt wird und die Toleranzgrenze basierend auf dem Streuungsmass festgelegt wird. In dem vorgeschlagenen Verfahren liegt eine grosse Zahl von Referenzwerten vor, die während früherer Bearbeitungsprozesse durch Messungen an anderen Werkstücken, vorzugsweise auf derselben Maschine, gewonnen wurden. Die Referenzwerte können in einer Datenbank abgelegt sein und im Rahmen des Verfahrens aus der Datenbank ausgelesen werden. Der Begriff "Referenzwerte" soll nicht etwa suggerieren, dass es sich bei diesen Werten um besonders zuverlässige Werte handelt. Vielmehr wird dieser Begriff lediglich dazu gebraucht, die in früheren Bearbeitungsprozessen gewonnenen Daten logisch von den aktuellen Werten der Messgrösse, die während des zu überwachenden Bearbeitungsprozesses gewonnen wurden, bzw. den daraus gewonnenen Prüfwerten zu unterscheiden. Dabei besteht ein wesentlicher Gedanke der vorliegenden Erfindung darin, Werte derselben Messgrösse während früherer Bearbeitungsprozesse für die Beurteilung des aktuellen Bearbeitungsprozesses nutzbar zu machen, indem die Toleranzgrenzen für den aktuellen Bearbeitungsprozess auf der Basis einer statistischen Analyse von auf diesen früheren Werten beruhenden Referenzwerten berechnet werden. Dem liegt die Annahme zugrunde, dass in der Praxis der allergrösste Teil der früheren Messwerte bzw. der daraus gewonnenen Referenzwerte in Bearbeitungsprozessen ermittelt wurde, für die keine unzulässigen Prozessabweichungen vorlagen. Nur wenige Bearbeitungsprozesse werden in der Praxis "schlechte" Prozesse sein, da solche "schlechten" Prozesse in der Regel bald anhand von Fertigungsabweichungen erkannt werden und Massnahmen zur Korrektur ergriffen werden. So wird in der Praxis meist ein bestimmter Teil aller Werkstücke nach dem Bearbeitungsprozess vermessen (z.B. jedes hundertste Werkstück), so dass sich nach einer bestimmten Zahl von Werkstücken eine unzulässige Prozessabweichung durch eine Fertigungsabweichung der betreffenden Werkstücke bemerkbar machen würde. Wenn es sich bei den Werkstücken beispielsweise um verzahnte Werkstücke handelt, werden die Werkstücke zudem in der Regel nach dem Bearbeitungsprozess in Getriebe eingebaut, und mindestens ein Teil der fertigen Getriebe werden in einem sogenannten EOL-Prüfstand (EOL = End of Line) geprüft. Auch hier würden Werkstücke mit unzulässigen Fertigungsabweichungen bald erkannt, insbesondere durch eine störende Geräuschentwicklung im Getriebe. Referenzwerte, die bei der Bearbeitung von Werkstücken mit Fertigungsabweichungen gewonnen wurden, können nachträglich in der Datenbank entsprechend gekennzeichnet werden und so von der Bestimmung der Toleranzgrenzen ausgeschlossen oder sogar gezielt bei der Bestimmung der Toleranzgrenzen berücksichtigt werden. Im statistischen Mittel über viele Bearbeitungsprozesse hinweg repräsentieren die Referenzwerte daher im Wesentlichen einen "guten" Bearbeitungsprozess, d.h. einen Bearbeitungsprozess ohne unzulässige Prozessabweichungen, und die statistische Verteilung der Referenzwerte repräsentiert die typische Verteilung, die bei einem "guten" Bearbeitungsprozess zu erwarten ist. Diese Erkenntnis wird ausgenutzt, um eine automatische Festlegung der Toleranzgrenzen durchzuführen. Im Ergebnis werden automatisch Toleranzgrenzen anhand von objektiven Kriterien festgelegt, ohne dass der Bediener vertiefte Kenntnisse des Bearbeitungsprozesses benötigt. Die so ermittelten Toleranzgrenzen können im Bearbeitungsprozess auf zweierlei Weise nutzbar gemacht werden. Zum einen kann anhand des Vergleichs des Prüfwerts mit der Toleranzgrenze der Bearbeitungsprozess direkt gesteuert werden. Insbesondere kann der Bearbeitungsprozess unterbrochen oder automatisch modifiziert werden, wenn der Vergleich eine unzulässige Prozessabweichung anzeigt. Zum anderen stellen die Toleranzgrenzen selbst auch eine wertvolle Interpretationshilfe für den Bediener dar. Der Bediener kann anhand der Toleranzgrenzen "gute" von "schlechten" Prüfwerten unterscheiden. Er kann sich also auf objektive Weise selbst ein Bild von der Qualität eines aktuellen Bearbeitungsprozesses machen. Im Idealfall ermöglicht dies dem Bediener, direkt Rückschlüsse auf die Ursache von festgestellten Fertigungsabweichungen zu ziehen. Die Schritte des Empfangens von Messwerten und des Vergleiches der darauf basierenden Prüfwerte mit der Toleranzgrenze werden vorzugsweise repetitiv ausgeführt, d.h., diese Schritte werden im Verlauf eines Bearbeitungsvorgangs vorzugsweise laufend wiederholt. Die Referenzwerte können in einer Datenbank abgespeichert sein. Das Verfahren kann dann das Abrufen der Referenzwerte, die statistisch analysiert werden sollen, aus der Datenbank umfassen. Die Messwerte des aktuellen Bearbeitungsprozesses können selbst wieder für spätere Bearbeitungsprozesse nutzbar gemacht werden. Dazu kann basierend auf diesen Messwerten ein neuer Referenzwert berechnet werden, und die Datenbank kann upgedatet werden, indem der neue Referenzwert in der Datenbank abgespeichert wird. Indem die Datenbank laufend um neue Referenzwerte ergänzt wird, wird das Verfahren gewissermassen selbstlernend und verbessert sich durch die immer grösser werdende Zahl von Referenzwerten ständig selbst. Insbesondere kann im erfindungsgemässen Verfahren jeder Referenzwert einem Prüfwert entsprechen, der für ein früheres Werkstück basierend auf Messwerten, die während der Bearbeitung des früheren Werkstücks gemessen wurden, ermittelt wurde, d.h., die Referenzwerte werden direkt durch Prüfwerte früherer Werkstücke gebildet. Es ist aber auch denkbar, dass die Referenzwerte auf andere Weise aus den Messwerten früherer Bearbeitungsvorgänge abgeleitet wurden. Insbesondere kann es sich bei den Prüfwerten, die mit den Toleranzgrenzen verglichen werden, direkt um die eigentlichen Messwerte handeln, und es können mehrere zeitlich nacheinander ermittelte Messwerte mit ein und derselben Toleranzgrenze verglichen werden. Die Referenzwerte, aus denen diese Toleranzgrenze ermittelt wird, können dagegen durch einen Mittelwert (oder einen anderen Lageparameter), Maximalwert, Minimalwert oder anderen Wert, der den früheren Bearbeitungsvorgang charakterisiert, gebildet sein. Es genügt, wenn diese Referenzwerte in der Datenbank abgespeichert sind. Dadurch wird in der Datenbank weniger Speicherplatz benötigt, als wenn alle früheren Messwerte in der Datenbank abgespeichert und jedes Mal bei der Berechnung der Toleranzgrenzen abgerufen würden. Dabei können Referenzwerte für jede Kombination aus Werkstückgeometrie und Art des Werkzeugs in getrennten Bereichen der Datenbank abgelegt werden, d.h. die Referenzwerte in einem bestimmten Bereich der Datenbank sind immer spezifisch für eine bestimmte Werkstückgeometrie und eine bestimmte Werkzeugart. Für jeden dieser Bereiche der Datenbank kann dann zusätzlich Information über die Werkstückgeometrie und über die Art des Werkzeugs in der Datenbank abgelegt werden. Gegebenenfalls können die Referenzwerte zudem spezifisch für eine bestimmte Werkzeuggeometrie sein. Bei abrichtbaren Werkzeugen wird das Werkzeug nach jedem Abrichtvorgang kleiner. In diesem Fall ist es denkbar, die Referenzwerte, die aus Bearbeitungsvorgängen gewonnen wurden, die nach einem bestimmten Abrichtvorgang stattfanden, jeweils in einem separaten Bereich der Datenbank abzuspeichern. In diesem Fall kann zusätzlich Information über die aus diesem Abrichtvorgang resultierenden Werkzeugdimensionen in der Datenbank abgespeichert werden. Die Toleranzgrenzen können dann nach jedem Abrichtvorgang neu festgelegt werden, wobei für die Berechnung der Toleranzgrenzen nur solche Referenzwerte verwendet werden, die unter Verwendung eines Werkzeugs mit gleichen oder ähnlichen Werkzeugdimensionen nach dem Abrichten ermittelt wurden. Unter "ähnlichen" Werkzeugdimensionen werden dabei Dimensionen verstanden, die in einem vorgegebenen Band um die aktuellen Dimensionen des Werkzeugs herum liegen. Es ist aber auch denkbar, die kleiner werdenden Werkzeugdimensionen dadurch zu berücksichtigen, dass eine Normierungsoperation durchgeführt wird, wie das nachfolgend beschrieben wird. Auch eine Kombination aus beiden Massnahmen ist möglich. Wie schon erwähnt, kann es sich bei dem Werkstück beispielsweise um ein verzahntes Werkstück handeln, insbesondere ein Zahnrad, konkret ein Stirnrad, ein Kegelzahnrad oder ein beliebiges anderes rotationssymmetrisches Werkstück mit einer regelmässigen Abfolge von Zähnen und Zahnlücken. Beim Bearbeitungsprozess kann es sich insbesondere um ein Schleifverfahren handeln, konkret um ein Verzahnungsschleifverfahren wie Wälz- oder Profilschleifen. Die Erfindung ist aber nicht auf die Bearbeitung von verzahnten Werkstücken oder auf Schleifverfahren beschränkt. So kann die Erfindung beispielsweise im Rahmen der Verzahnungsbearbeitung auch beim Wälzfräsen, beim Wälzschälen oder Verzahnungshonen eingesetzt werden. Der Bearbeitungsprozess kann auch ein Abrichtprozess sein, bei dem das Werkzeug ein Abrichtwerkzeug (insbesondere eine rotierende Abrichtscheibe oder ein rotierendes Abrichtzahnrad) ist und bei dem das Werkstück ein Schleifwerkzeug (insbesondere eine Schleifschnecke oder eine Profilschleifscheibe) ist. Die Messgrösse kann zeitlich veränderlich sein, so dass im erfindungsgemässen Verfahren zeitabhängige Werte der Messgrösse für eine Vielzahl von Zeitpunkten während eines Bearbeitungshubes empfangen werden. Mit diesen zeitabhängigen Werten kann dann auf verschiedene Weisen verfahren werden. In einer ersten, besonders einfachen Variante wird aus den zeitabhängigen Werten der Messgrösse ein zeitunabhängiger Prüfwert berechnet, der die Werte der Messgrösse über den gesamten Bearbeitungshub hinweg repräsentiert. Jeder Referenzwert ist ebenfalls zeitunabhängig und basiert auf zeitabhängigen Werten der Messgrösse über einen Bearbeitungshub bei der Bearbeitung eines der früheren Werkstücke hinweg. Durch die statistische Analyse der zeitunabhängigen Referenzwerte wird mindestens eine zeitunabhängige Toleranzgrenze ermittelt, und der zeitunabhängige Prüfwert wird mit der mindestens einen zeitunabhängigen Toleranzgrenze verglichen. In einer zweiten, komplexeren Variante wird eine Mehrzahl von Zeitintervallen des Bearbeitungshubs vorgegeben, wobei die Zeitintervalle alle dieselbe Länge oder unterschiedliche Längen aufweisen können und nicht notwendigerweise unmittelbar aneinander angrenzen müssen. Für jedes der Zeitintervalle wird mindestens ein zugeordneter Prüfwert bestimmt, der auf den Werten der Messgrösse basiert, die während der Bearbeitung im betreffenden Zeitintervall ermittelt wurden. Bei dem Prüfwert kann es sich beispielsweise um den Wert der Messgrösse in der Mitte des betreffenden Zeitintervalls, um einen Mittelwert (oder um einen anderen Lageparameter im Sinne der deskriptiven Statistik) der Messgrösse im betreffenden Zeitintervall oder um einen beliebigen anderen Wert, der das Verhalten der Messgrösse im betreffenden Zeitintervall charakterisiert, handeln. Für jedes der Zeitintervalle wird mindestens eine Toleranzgrenze ermittelt. Dies erfolgt auf der Basis von Referenzwerten, die jeweils spezifisch für das betreffende Zeitintervall sind, d.h. jeder der Referenzwerte basiert auf zeitabhängigen Werten der Messgrösse während der Bearbeitung eines der früheren Werkstücke im betreffenden Zeitintervall. Der mindestens eine Prüfwert für jedes der Zeitintervalle wird dann mit der mindestens einen Toleranzgrenze für das betreffende Zeitintervall verglichen. In einer weiteren Variante wird eine Frequenzanalyse der zeitabhängigen Werte der Messgrösse durchgeführt, um eine Vielzahl von Frequenzkomponenten der Messgrösse zu ermitteln. Es wird eine Mehrzahl von Frequenzintervallen vorgegeben, wobei die Frequenzintervalle alle dieselbe Grösse oder unterschiedliche Grössen aufweisen können und nicht notwendigerweise unmittelbar aneinander angrenzen müssen. Für jedes der Frequenzintervalle wird mindestens ein zugeordneter Prüfwert bestimmt, der auf den Frequenzkomponenten im betreffenden Frequenzintervall basiert. Bei dem Prüfwert kann es sich beispielsweise um eine ausgewählte Frequenzkomponente im betreffenden Frequenzintervall, um das Maximum oder Integral der Frequenzkomponenten im betreffenden Frequenzintervall oder um einen beliebigen anderen Wert, der den Frequenzgehalt der Messgrösse im betreffenden Frequenzintervall charakterisiert, handeln. Für jedes der Frequenzintervalle wird mindestens eine Toleranzgrenze ermittelt. Dies erfolgt auf der Basis von Referenzwerten, die jeweils spezifisch für das betreffende Frequenzintervall sind, d.h. jeder Referenzwert basiert auf Frequenzkomponenten im betreffenden Frequenzintervall, die durch eine Frequenzanalyse von zeitabhängigen Werten der Messgrösse während der Bearbeitung eines der früheren Werkstücke ermittelt wurden. Der mindestens eine Prüfwert für jedes der Frequenzintervalle wird dann mit der mindestens einen Toleranzgrenze für das betreffende Frequenzintervall verglichen. In einigen Ausführungsformen wird das Werkstück nacheinander in mindestens zwei Bearbeitungshüben bearbeitet. Es ist dann von Vorteil, wenn die Toleranzgrenze spezifisch für den jeweiligen Bearbeitungshub ist, d.h., wenn individuell unterschiedliche Toleranzgrenzen pro Bearbeitungshub bestimmt werden. Vorzugsweise basieren die Referenzwerte auf Messwerten, die bei der Bearbeitung früherer Werkstücke im selben Bearbeitungshub auf derselben Werkzeugmaschine ermittelt wurden. Es ist aber auch denkbar, Referenzwerte heranzuziehen, die bei der Bearbeitung früherer Werkstücke in anderen Bearbeitungshüben und/oder auf anderen, gleichartigen Werkzeugmaschinen ermittelt wurden. Die statistische Analyse der Referenzwerte kann auf verschiedene Weisen erfolgen. Das Streuungsmass kann z.B. eine Standardabweichung oder die Grösse eines Werteintervalls sein, in dem ein vorgegebener Anteil aller Referenzwerte liegt (z.B. der Interquartilabstand). In einigen Ausführungsformen kann die Toleranzgrenze dann relativ zu einem Lageparameter der Referenzwerte (z.B. relativ zum arithmetischen Mittel oder zum Median) als ein Vielfaches der Standardabweichung oder als ein Vielfaches der Grösse des genannten Werteintervalls festgelegt werden. In anderen Ausführungsformen kann direkt eine Grenze des genannten Werteintervalls die Toleranzgrenze bilden, z.B. die Grenze desjenigen Werteintervalls, in dem die unteren 99% oder 99.9% aller Werte liegen. Um die Empfindlichkeit des Verfahrens auf Besonderheiten eines bestimmten statistischen Analyseverfahrens zu vermindern, kann vorgesehen sein, dass die Toleranzgrenze ermittelt wird, indem mindestens zwei statistische Analyseverfahren kombiniert werden. Alternativ oder zusätzlich kann vorgesehen sein, dass der mindestens eine Wert der Messgrösse oder der daraus abgeleitete Prüfwert mit mindestens zwei Toleranzgrenzen verglichen wird, die durch unterschiedliche statistische Analyseverfahren ermittelt wurden. Die zeitabhängige Messgrösse kann beispielsweise mindestens eine der folgenden Grössen sein oder von mindestens einer der folgenden Grössen abgeleitet sein: ein Leistungsindikator, welcher ein Mass für eine momentane Leistungsaufnahme einer Werkzeugspindel oder Werkstückspindel der Werkzeugmaschine ist; oder ein Schwingungsindikator, der mit mindestens einem Schwingungssensor ermittelt wurde und Schwingungen der Werkzeugmaschine repräsentiert. Um die Abhängigkeit des Prüfwerts von Prozessparametern wie beispielsweise Werkzeugdurchmesser, Werkstückdurchmesser und –modul oder Zustellung zu verringern, kann vorgesehen sein, dass bei der Bestimmung des Prüfwerts eine Normierungsoperation durchgeführt wird, um den Prüfwert zu normieren. Die Normierungsoperation hängt dabei von mindestens einem Prozessparameter ab, wobei es sich bei dem Prozessparameter um mindestens einen geometrischen Parameter des Werkzeugs, mindestens einen geometrischen Parameter des Werkstücks und/oder mindestens einen Einstellparameter der Werkzeugmaschine handelt. Dabei wird die Normierungsoperation derart durchgeführt, dass der normierte Prüfwert weniger stark von dem mindestens einen Prozessparameter abhängt als ohne die Normierungsoperation. Eine solche Normierungsoperation ist besonders wertvoll, wenn es sich bei der Messgrösse um ein Mass für die Leistungsaufnahme der Werkzeugspindel oder Werkstückspindel handelt. Sobald sich mindestens eine der genannten Prozessparameter ändert, wird die Normierungsoperation vorzugsweise neu berechnet. Die Neuberechnung der Normierungsoperation kann insbesondere die Anwendung eines Modells umfassen, das eine erwartete Abhängigkeit der Referenzwerte von den Prozessparametern beschreibt, insbesondere eines Modells einer Prozesskraft oder Prozessleistung. Für weitere Überlegungen zur Normierungsoperation wird auf die Veröffentlichungsschrift WO2021048027A1 verwiesen, deren Inhalt durch Verweis vollständig in die vorliegende Offenbarung aufgenommen wird. Das Verfahren kann die Ausgabe einer Benutzerinformation an einen Benutzer der Werkzeugmaschine umfassen, wobei die Benutzerinformation auf dem Vergleich des mindestens einen Prüfwerts mit der Toleranzgrenze basiert. Beispielsweise kann das Ergebnis des Vergleichs visuell angezeigt werden, z.B. auf einem Display einer Maschinensteuerung der Werkzeugmaschine oder auf einem Display eines mobilen Endgeräts, beispielsweise eines Laptop- oder Tabletcomputers, wobei das mobile Endgerät nicht notwendigerweise am selben Ort wie die Werkzeugmaschine angeordnet zu sein braucht, und/oder es kann eine akustische Ausgabe erfolgen. Eine visuelle Ausgabe kann z.B. graphisch erfolgen. Selbstverständlich gibt es unzählige andere Möglichkeiten, eine Benutzerinformation auszugeben. Alternativ oder zusätzlich kann das Verfahren umfassen, dass der Bearbeitungsprozess in Abhängigkeit von einem Ergebnis des Vergleichs des Prüfwerts mit der Toleranzgrenze beeinflusst wird. Insbesondere kann vorgesehen sein, dass der Bearbeitungsprozess gestoppt wird, wenn der Vergleich zeigt, dass eine unzulässige Prozessabweichung vorliegt, oder dass ein Werkstück, bei dessen Bearbeitung eine unzulässige Prozessabweichung festgestellt wurde, automatisch ausgeschleust wird. Auf der Basis des Vergleichs des mindestens einen Prüfwerts mit der Toleranzgrenze kann ein numerischer Prozessabweichungsindikator ermittelt werden. Im einfachsten Fall ist der Prozessabweichungsindikator eine boolesche Variable, die durch einen ihrer beiden möglichen Werte anzeigt, dass eine unzulässige Prozessabweichung vorliegt (z.B. TRUE = unzulässige Prozessabweichung, FALSE = keine unzulässige Prozessabweichung). Beim Prozessabweichungsindikator kann es sich aber auch im einen komplexeren Indikator handeln, beispielsweise ein Array mit booleschen, ganzzahligen oder reellwertigen Variablen, wobei jede dieser Variablen den Grad der Abweichung einer Prüfgrösse von der zugeordneten Toleranzgrenze angibt. Der Prozessabweichungsindikator oder eine darauf basierende Benutzerinformation kann ausgegeben werden. Das Verfahren kann ausserdem vorsehen, dass automatisch der Maschinenzustand überprüft wird. Dies kann jeweils ad hoc erfolgen, wenn eine unzulässige Prozessabweichung festgestellt wird, oder die Überprüfung des Maschinenzustands kann unabhängig von der eigentlichen Überwachung des Bearbeitungsprozesses in regelmässigen Abständen erfolgen, z.B. in Bearbeitungspausen. Zur Überprüfung des Maschinenzustands kann das Verfahren aufweisen: Durchführen eines Maschinenprüfzyklus, bei dem mindestens ein Teil der Maschinenachsen gezielt betätigt wird und dieser Betätigung zugeordnete Zustandsdaten durch Messungen ermittelt werden; und Durchführen einer Zustandsdiagnose, bei der die Zustandsdaten mit mindestens einer Referenzzustandsgrösse verglichen werden, um mindestens einen Maschinenzustandsindikator zu ermitteln, wobei aus dem Prozessabweichungsindikator und dem Maschinenzustandsindikator ein Fehlerquellenindikator ermittelt wird, der Information darüber enthält, welche Art von Fehlerquelle für eine unzulässige Prozessabweichung vorliegt. Das Verfahren muss die Durchführung des Maschinenprüfzyklus und der Zustandsdiagnose nicht notwendig mit umfassen. Es kann auch vorgesehen sein, dass ein Maschinenzustandsindikator, der in einer früheren Zustandsdiagnose ermittelt wurde, aus einer Datenbank ausgelesen wird. Beispielsweise kann der Fehlerquellenindikator angeben, welche Maschinenachse betroffen ist und/oder ob es sich wahrscheinlich um einen Maschinenfehler (z.B. aufgrund einer fehlerhaft arbeitenden Maschinenachse), um einen Prozessfehler (z.B. aufgrund einer fehlerhaften Aufspannung des Werkstücks) oder um einen Bedienerfehler handelt. Die Überprüfung des Maschinenzustands kann dabei mit einem Verfahren erfolgen, wie es in der Anmeldung CH 070373/2021 vom 11.10.2021 (Patent Nr. CH 718264) der Anmelderin der vorliegenden Anmeldung beschrieben ist. Der Inhalt der Anmeldung CH 070373/2021 bzw. Patent Nr. CH718264 wird durch Verweis vollständig in die vorliegende Offenbarung aufgenommen. Die Ermittlung eines Fehlerquellenindikators ist auch dann von Vorteil, wenn die Toleranzgrenze, auf deren Basis der Prozessabweichungsindikator bestimmt wurde, auf eine andere Weise als durch eine statistische Analyse von Referenzwerten festgelegt wurde. Insbesondere ist die Ermittlung des Fehlerquellenindikators auch dann von Vorteil, wenn die Toleranzgrenze zuvor manuell festgelegt wurde. In jedem Fall stellt der Fehlerquellenindikator eine sehr starke Interpretationshilfe dar, mit der ein Bediener auch ohne vertiefte Fachkenntnisse schnell eine vermutete Fehlerquelle identifizieren kann. Die Stärke dieses Vorgehens liegt dabei darin, dass Informationen aus zwei ganz unterschiedlichen Quellen kombiniert werden, nämlich einerseits aus einer Überwachung eines Bearbeitungsprozesses (d.h. aus einer Prozessdiagnose) und andererseits aus einer Überprüfung des Maschinenzustands (d.h. aus einer Zustandsdiagnose). Diese Kombination von Informationen liefert Hinweise, die eine Prozessdiagnose alleine oder eine Zustandsdiagnose alleine jeweils nicht liefern könnten. Erst indem die Prozessdiagnose und die Zustandsdiagnose in eine Beziehung zueinander gesetzt werden, entstehen neue Erkenntnisse, die es dem Bediener erleichtern, eine Fehlerquelle zu identifizieren. In einem weiteren Aspekt stellt die vorliegende Erfindung eine Überwachungsvorrichtung zur Überwachung eines Bearbeitungsprozesses in einer Werkzeugmaschine zur Verfügung, bei dem ein Werkstück mit einem Werkzeug bearbeitet wird. Die Überwachungsvorrichtung ist dazu konfiguriert, dass sie das vorstehend dargestellte Verfahren ausführt. Dazu kann die Überwachungsvorrichtung einen Rechner aufweisen, der dazu konfiguriert ist, das Verfahren auszuführen. Der Rechner kann lokal an einem einzigen physischen Ort, verteilt über mehrere physische Orte oder in der Cloud implementiert sein. Der Rechner kann eine nichtflüchtige Speichereinrichtung aufweisen, in der ein Computerprogramm gespeichert ist, das den Rechner bei seiner Ausführung dazu veranlasst, das genannte Verfahren auszuführen. Die Überwachungsvorrichtung kann eine oder mehrere der folgenden Einrichtungen aufweisen, wobei diese Einrichtungen durch das Computerprogramm, das durch den genannten Rechner ausgeführt wird, implementiert sein können: ^ eine Datenbankschnittstelle, die dazu konfiguriert ist, die Referenzwerte aus einer Datenbank auszulesen und gegebenenfalls neue Referenzwerte an die Datenbank zu übertragen; ^ eine Grenzermittlungseinrichtung, die dazu konfiguriert ist, die statistische Analyse der Referenzwerte auszuführen, um die Toleranzgrenze zu ermitteln; ^ eine Messwertschnittstelle, die dazu konfiguriert ist, die Werte der Messgrösse zu empfangen, z.B. indem sie die Werte der Messgrösse aus einer Speichereinrichtung einer Maschinensteuerung ausliest oder indem sie direkt einen Detektor zur Ermittlung der Messgrösse ausliest; ^ eine Prüfwertbestimmungseinrichtung, die dazu konfiguriert ist, basierend auf den Werten der Messgrösse einen Prüfwert zu bestimmen; ^ eine Vergleichseinrichtung, die dazu konfiguriert ist, den Prüfwert mit der Toleranzgrenze zu vergleichen; und ^ ein Benutzerinterface, das dazu konfiguriert ist, eine Benutzerinformation, z.B. im Form des Prozessabweichungsindikators oder des Fehlerquellenindikators, auszugeben. Diese Einrichtungen können in unterschiedlichen physischen Einheiten implementiert sein. Beispielsweise kann die Berechnung der Toleranzgrenze in der Cloud erfolgen, d.h. die Datenbankschnittstelle und die Grenzermittlungseinrichtung können durch einen Dienst in der Cloud implementiert sein. Der Empfang von Messwerten, die Bestimmung des Prüfwerts, der Vergleich mit der Toleranzgrenze und die Ausgabe des Benutzerinformation können dagegen lokal in einer Maschinensteuerung der Werkzeugmaschine erfolgen. Zum Datenaustausch zwischen dem Dienst in der Cloud und der Maschine kann dann eine Datenschnittstelle dienen, über die insbesondere die Toleranzgrenze an die Maschine übertragen werden kann und über die Messwerte und/oder Referenzwerte zurück an die Datenbankschnittstelle übertragen werden. Diese Datenschnittstelle kann drahtlos oder drahtgebunden implementiert sein. Die Überwachungsvorrichtung kann ausserdem ein Benutzerinterface aufweisen, das dazu konfiguriert ist, mindestens einen Parameter zu verändern, der vom Rechner für die automatische Festlegung der Toleranzgrenze verwendet wird, z.B. einen Faktor, mit dem bei der Festlegung der Toleranzgrenze ein Schwankungsmass der Referenzwerte multipliziert wird. Das Benutzerinterface kann ausserdem dazu konfiguriert sein, eine automatisch festgelegte Toleranzgrenze zu verändern. Das Benutzerinterface kann beispielsweise lokal auf einer Bedientafel der Werkzeugmaschine oder dezentral auf einem mobilen Gerät wie einem Laptop- oder Tabletcomputer implementiert sein, z.B. durch einen Touchscreen. Die vorliegende Erfindung stellt ausserdem eine Werkzeugmaschine zur Verfügung, die eine Überwachungsvorrichtung der vorstehend genannten Art aufweist. Die Werkzeugmaschine kann zudem mindestens eine der folgenden Einrichtungen aufweisen: ^ eine Werkzeugspindel zum rotierenden Antrieb eines Werkzeugs um eine Werkzeugspindelachse; ^ eine Werkstückspindel zum rotierenden Antrieb eines Werkstücks um eine Werkstückspindelachse; ^ einen Bewegungsapparat, der dazu ausgebildet ist, die Werkzeugspindel und die Werkstückspindel relativ zueinander zu bewegen, um einen Bearbeitungshub auszuführen; ^ mindestens einen Detektor zur Ermittlung von Werten einer Messgrösse während des Bearbeitungshubs. Bei dem Detektor kann es sich insbesondere um einen Leistungsdetektor zur Ermittlung eines Masses für die Leistungsaufnahme der Werkzeugspindel oder Werkstückspindel oder um einen Schwingungsdetektor zur Ermittlung eines Masses für Schwingungen der Werkzeugmaschine handeln. In einem weiteren Aspekt stellt die Erfindung ein Computerprogramm zur Verfügung, umfassend Befehle, die bei der Ausführung des Computerprogramms durch einen Rechner einer Überwachungseinrichtung, insbesondere der vorstehend definierten Überwachungseinrichtung, diesen Rechner veranlassen, das vorstehend dargestellte Verfahren auszuführen. Das Computerprogramm kann auf einem nichtflüchtigen Speichermedium gespeichert sein. Die vorstehenden Ausführungen zu den erfindungsgemässen Verfahren gelten sinngemäss auch für die erfindungsgemässe Vorrichtung und das erfindungsgemässe Computerprogramm. KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN Bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung werden im Folgenden anhand der Zeichnungen beschrieben, die lediglich zur Erläuterung dienen und nicht einschränkend auszulegen sind. In den Zeichnungen zeigen: Fig.1 eine schematische Ansicht einer Wälzschleifmaschine; Fig.2 ein schematisches Diagramm zur Erläuterung eines zeitlichen Verlaufs einer Messgrösse während eines Bearbeitungshubs; Fig.3 ein Diagramm, das eine statistische Verteilung des Maximums einer Messgrösse für eine Vielzahl von Bearbeitungsvorgängen unterschiedlicher Werkstücke auf derselben Wälzschleifmaschine illustriert; Fig.4 ein Diagramm, das eine mögliche statistische Verteilung von Referenzwerten für eine Vielzahl von Bearbeitungsvorgängen unterschiedlicher Werkstücke auf derselben Wälzschleifmaschine illustriert; Fig.5 ein Diagramm, das eine andere statistische Verteilung von Referenzwerten für eine Vielzahl von Bearbeitungsvorgängen unterschiedlicher Werkstücke auf derselben Wälzschleifmaschine illustriert; Fig.6 ein Diagramm, das den zeitlichen Verlauf einer Messgrösse über einen Bearbeitungshub hinweg und dessen Auswertung im Zeitbereich illustriert; Fig.7 ein Spektrum, wie es durch eine Frequenzanalyse des zeitlichen Verlaufs einer Messgrösse gewonnen wurde; Fig.8 ein Diagramm, das den Vergleich von Prüfwerten, die aus Frequenzkomponenten einer Messgrösse gewonnen wurden, mit frequenzabhängigen Toleranzgrenzen illustriert; Fig.9 eine Skizze eines Netzwerks mit mehreren gleichartigen Wälzschleifmaschinen, die über einen Diensteserver mit einer Datenbank kommunizieren; Fig.10A ein Flussdiagramm zur Bestimmung einer Toleranzgrenze aus Referenzwerten; Fig.10B ein Flussdiagramm zur Überwachung eines Bearbeitungsprozesses unter Verwendung der Toleranzgrenze; Fig.10C ein Flussdiagramm zur Ermittlung eines Fehlerquellenindikators; Fig.10D ein Flussdiagramm zum Update der Datenbank mit neuen Referenzwerten; Fig.11 ein schematisches Beispiel für ein Benutzerinterface zum Modifizieren der automatisch berechneten Toleranzgrenzen; und Fig.12 ein schematisches Beispiel für ein Benutzerinterface zum Ausgeben einer Information über den Bearbeitungsprozess. BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGSFORMEN Beispielhafter Aufbau einer Wälzschleifmaschine In der Fig. 1 ist als Beispiel für eine Werkzeugmaschine beispielhaft eine Wälzschleifmaschine 1 dargestellt, die im Folgenden auch verkürzt als "Maschine" bezeichnet wird. Die Maschine 1 weist ein Maschinenbett 11 auf, auf dem ein Werkzeugträger 12 entlang einer radialen Zustellrichtung X verschiebbar geführt ist. Der Werkzeugträger 12 trägt einen Axialschlitten 13, der entlang einer Vorschubrichtung Z gegenüber dem Werkzeugträger 12 verschiebbar geführt ist. Auf dem Axialschlitten 13 ist ein Schleifkopf 14 montiert, der zur Anpassung an den Schrägungswinkel der zu bearbeitenden Verzahnung um eine parallel zur X-Richtung verlaufende Schwenkachse (die sogenannte A-Achse) verschwenkbar ist. Der Schleifkopf 14 wiederum trägt einen Shiftschlitten, auf dem eine Werkzeugspindel 15 entlang einer Shiftrichtung Y gegenüber dem Schleifkopf 14 verschiebbar ist. Auf der Werkzeugspindel 15 ist eine schneckenförmig profilierte Schleifscheibe (Schleifschnecke) 16 aufgespannt. Die Schleifschnecke 16 wird von der Werkzeugspindel 15 zu einer Drehung um eine Werkzeugachse B angetrieben. Das Maschinenbett 11 trägt des Weiteren einen schwenkbaren Werkstückträger 20 in Form eines Drehturms, der um eine Schwenkachse C3 zwischen mindestens drei Stellungen verschwenkbar ist. Auf dem Werkstückträger 20 sind einander diametral gegenüberliegend zwei identische Werkstückspindeln montiert, von denen in der Fig.1 nur eine Werkstückspindel 21 mit zugehörigem Reitstock 22 sichtbar ist. Auf jeder der Werkstückspindeln ist jeweils ein Werkstück aufspannbar und zu einer Rotation um eine Werkstückachse C1 bzw. C2 antreibbar. Die in der Fig.1 sichtbare Werkstückspindel 21 befindet sich in einer Bearbeitungsposition, in der ein auf ihr aufgespanntes Werkstück 23 mit der Schleifschnecke 16 bearbeitet werden kann. Die andere, um 180° versetzt angeordnete und in der Fig.1 nicht sichtbare Werkstückspindel befindet sich in einer Werkstückwechselposition, in der ein fertig bearbeitetes Werkstück von dieser Spindel entnommen und ein neues Rohteil aufgespannt werden kann. Um 90° zu den Werkstückspindeln versetzt ist eine Abrichteinrichtung 30 montiert. Die Maschine 1 weist somit eine Vielzahl beweglicher Komponenten wie Schlitten oder Spindeln auf, die durch entsprechende Antriebe gesteuert bewegbar sind. Diese Antriebe werden in der Fachwelt häufig als "NC-Achsen", "Maschinenachsen" oder verkürzt als "Achsen" bezeichnet. Teilweise schliesst diese Bezeichnung auch für die von den Antrieben angetriebenen Komponenten wie Schlitten oder Spindeln ein. Die Maschine 1 weist des Weiteren eine Vielzahl von Sensoren auf. Beispielhaft sind in der Fig.1 nur zwei Sensoren 18 und 19 schematisch angedeutet. Beim Sensor 18 handelt es sich um einen Schwingungssensor zur Erfassung von Schwingungen des Gehäuses der Schleifspindel 15. Der Sensor 19 ist ein Positionssensor zur Erfassung der Position des Axialschlittens 13 relativ zum Werkzeugträger 12 entlang der Z-Richtung. Darüber hinaus umfasst die Maschine 1 aber noch eine Vielzahl weiterer Sensoren. Unter diesen Sensoren befinden sich insbesondere weitere Positionssensoren zur Erfassung einer Ist-Position von jeweils einer Linearachse, Drehwinkelsensoren zur Erfassung einer Drehposition von jeweils einer Drehachse, Stromaufnehmer zur Erfassung eines Antriebsstroms von jeweils einer Achse und weitere Schwingungssensoren zur Erfassung von Schwingungen von jeweils einer angetriebenen Komponente. Alle angetriebenen Achsen der Maschine 1 werden durch eine Maschinensteuerung 40 digital gesteuert. Die Maschinensteuerung 40 umfasst mehrere Achsmodule 41, einen Steuerrechner 42 und eine Bedientafel 43. Der Steuerrechner 42 empfängt Bedienerbefehle von der Bedientafel 43 sowie Sensorsignale von verschiedenen Sensoren der Maschine 1 und errechnet daraus Steuerbefehle für die Achsmodule 41. Er gibt des Weiteren Betriebsparameter an die Bedientafel 43 zur Anzeige aus. Die Achsmodule 41 stellen an ihren Ausgängen Steuersignale für jeweils eine Maschinenachse bereit. Mit dem Steuerrechner 42 ist eine Überwachungseinrichtung 44 verbunden. Die Überwachungseinrichtung 44 kann eine separate Hardware-Einheit sein, die der Maschine 1 zugordnet ist. Sie kann über eine an sich bekannte Schnittstelle mit dem Steuerrechner 42 verbunden sein, z.B. über den bekannten Profinet-Standard, oder über ein Netzwerk, z.B. über das Internet. Sie kann räumlich Teil der Maschine 1 sein, oder sie kann räumlich entfernt von der Maschine 1 angeordnet sein. Die Überwachungseinrichtung 44 empfängt im Betrieb der Maschine eine Vielzahl unterschiedlicher Messdaten vom Steuerrechner 42. Unter den vom Steuerrechner empfangenen Messdaten befinden sich Sensordaten, die direkt vom Steuerrechner 42 erfasst wurden, und Daten, die der Steuerrechner 42 aus den Achsmodulen 41 ausliest, z.B. Daten, die die Sollpositionen der verschiedenen Maschinenachsen und die Soll- Stromaufnahmen in den Achsmodulen beschreiben. Die Überwachungseinrichtung 44 kann optional eigene analoge und/oder digitale Sensoreingänge aufweisen, um direkt Sensordaten von weiteren Sensoren als Messdaten zu empfangen. Bei den weiteren Sensoren handelt es sich typischerweise um Sensoren, die nicht direkt für die Steuerung des eigentlichen Bearbeitungsprozesses benötigt werden, z.B. Beschleunigungssensoren, um Vibrationen zu erfassen, oder Temperatursensoren. Die Überwachungseinrichtung 44 kann alternativ auch als Softwarekomponente der Maschinensteuerung 40 implementiert sein, die z.B. auf einem Prozessor des Steuerrechners 42 ausgeführt wird, oder sie kann als Softwarekomponente des nachstehend näher beschriebenen Diensteservers 45 ausgebildet sein. In der Fig.1 sind entsprechend ein Prozessor 451 und eine Speichereinrichtung 452 des Diensteservers 45 angedeutet. Die Überwachungseinrichtung 44 kommuniziert direkt oder über das Internet und einen Webserver 47 mit dem Diensteserver 45. Der Diensteserver 45 wiederum kommuniziert mit einem Datenbankserver 46 mit Datenbank DB. Diese Server können entfernt von der Maschine 1 angeordnet sein. Bei den Servern braucht es sich nicht um eine einzige physische Einheit zu handeln. Insbesondere können die Server als virtuelle Einheiten in der sogenannten "Cloud" realisiert sein. Der Diensteserver 45 kommuniziert via den Webserver 47 mit einem mobilen Endgerät 48. Das Endgerät 48 kann insbesondere einen Webbrowser ausführen, mit dem die empfangenen Daten und ihre Auswertung visualisiert werden. Das Endgerät braucht keine besonderen Anforderungen an die Rechenleistung zu erfüllen. Beispielsweise kann es sich bei dem Endgerät um einen Desktopcomputer, einen Notebookcomputer, einen Tabletcomputer, ein Mobiltelefon usw. handeln. Bearbeitung eines Werkstückloses Der Vollständigkeit halber wird im Folgenden beschrieben, wie mit der Maschine 1 typischerweise Werkstücke bearbeitet werden. Um ein noch unbearbeitetes Werkstück (Rohteil) zu bearbeiten, wird das Werkstück durch einen automatischen Werkstückwechsler auf derjenigen Werkstückspindel aufgespannt, die sich in der Werkstückwechselposition befindet. Der Werkstückwechsel erfolgt zeitparallel zur Bearbeitung eines anderen Werkstücks auf der anderen Werkstückspindel, die sich in der Bearbeitungsposition befindet. Wenn das neu zu bearbeitende Werkstück aufgespannt ist und die Bearbeitung des anderen Werkstücks abgeschlossen ist, wird der Werkstückträger 20 um 180° um die C3-Achse geschwenkt, so dass die Spindel mit dem neu zu bearbeitenden Werkstück in die Bearbeitungsposition gelangt. Vor und/oder während des Schwenkvorgangs wird mit Hilfe der zugeordneten Einzentriersonde eine Einzentrieroperation durchgeführt. Dazu wird die Werkstückspindel 21 in Drehung versetzt, und die Lage der Zahnlücken des Werkstücks 23 wird mit Hilfe der Einzentriersonde 24 vermessen. Auf dieser Basis wird der Wälzwinkel festgelegt. Wenn die Werkstückspindel, die das zu bearbeitende Werkstück 23 trägt, die Bearbeitungsposition erreicht hat, wird das Werkstück 23 durch Verschiebung des Werkzeugträgers 12 entlang der X-Achse kollisionsfrei mit der Schleifschnecke 16 in Eingriff gebracht. Das Werkstück 23 wird nun durch die Schleifschnecke 16 im Wälzeingriff bearbeitet. Dies erfolgt durch einen oder mehrere Bearbeitungshübe, beispielsweise einen oder mehrere Schrupphübe, gefolgt von einem oder mehreren Schlichthüben. Optional können sich einer oder mehrere Polierhübe anschliessen. Während jedes Bearbeitungshubs wird die Schleifschnecke 16 bei konstanter oder variabler radialer X- Zustellung laufend entlang der Z-Achse relativ zum Werkstück 23 vorgeschoben (sogenannter Axialhub). Gleichzeitig wird die Werkzeugspindel 15 langsam kontinuierlich entlang der Shiftachse Y verschoben, um laufend noch unverbrauchte Bereiche der Schleifschnecke 16 bei der Bearbeitung zum Einsatz kommen zu lassen (sogenannte Shiftbewegung). Zwischen zwei Bearbeitungshüben kann ein sogenannter Shiftsprung erfolgen, der bewirkt, dass beim nächsten Bearbeitungshub ein Bereich der Schleifschnecke zum Einsatz kommt, der sich nicht unmittelbar an den vorherigen Bereich anschliesst. Typischerweise unterscheidet sich die radiale X-Zustellung von Bearbeitungshub zu Bearbeitungshub. Dadurch unterscheiden sich auch die Bearbeitungskräfte zwischen den einzelnen Bearbeitungshüben. Zeitparallel zur Werkstückbearbeitung wird das fertig bearbeitete Werkstück von der anderen Werkstückspindel entnommen, und es wird ein weiteres Rohteil auf dieser Spindel aufgespannt. Wenn nach der Bearbeitung einer bestimmten Zahl von Werkstücken die Nutzung der Schleifschnecke 16 so weit fortgeschritten ist, dass die Schleifschnecke zu stumpf und/oder die Flankengeometrie zu ungenau ist, dann wird die Schleifschnecke abgerichtet. Dazu wird der Werkstückträger 20 um ±90° geschwenkt, so dass die Abrichteinrichtung 30 in eine Stellung gelangt, in der sie der Schleifschnecke 16 gegenüber liegt. Die Schleifschnecke 16 wird nun mit dem Abrichtwerkzeug 33 abgerichtet. Überwachung einer Messgrösse In der Fig.2 ist stark schematisch der zeitliche Verlauf einer zeitabhängigen Messgrösse ^(^) während eines Bearbeitungshubs von ca.2 Sekunden Dauer in beliebigen Einheiten (a.u.) dargestellt. Bei der Messgrösse kann es sich beispielsweise um die Stromaufnahme der Werkzeugspindel 15 oder um das Signal des Schwingungssensors 18 handeln. Der genaue zeitliche Verlauf der Messgrösse über einen Bearbeitungshub hinweg hängt stark von der Art der Messgrösse ab; insofern ist die Fig.2 nur beispielhaft zu verstehen. Die Messgrösse wird durch die Überwachungseinrichtung 44 digital erfasst. Dazu wird die Messgrösse in bekannter Weise mit einer vorgegebenen Samplingfrequenz abgetastet (gesampelt) und mit Hilfe eines Analog-Digital-Wandlers (ADC) digitalisiert. Daraus resultiert eine Folge von diskreten gesampelten Werten der Messgrösse für aufeinanderfolgende Zeitpunkte. Diese digitalisierten Werte der Messgrösse werden im Folgenden als Messwerte bezeichnet. Im Beispiel der Fig. 2 sind diese Messwerte über die Zeit hinweg Schwankungen unterworfen. Über einen Bearbeitungshub hinweg nehmen die Messwerte einen Maximalwert ^ ^^^ und einen Minimalwert ^ ^^^ an. Der arithmetische Mittelwert der Messwerte über den Bearbeitungshub hinweg beträgt ^ ^^^ . Die Grössen ^ ^^^ , ^ ^^^ und ^ ^^^ sind Beispiele für zeitunabhängige Prüfwerte, die aus Werten einer zeitabhängigen Messgrösse abgeleitet wurden. Stattdessen oder zusätzlich können als Prüfwerte auch andere zeitunabhängige Werte ermittelt werden, z.B. ein Mass für die Schwankung der Messwerte während des Bearbeitungshubs. Wie nachstehend noch näher erläutert wird, können auch für unterschiedliche Zeitintervalle des Bearbeitungshubs separate Prüfwerte ermittelt werden, oder die Prüfwerte können aus Frequenzkomponenten bestimmt werden, die durch eine Frequenzanalyse des zeitlichen Verlaufs der Messwerte ermittelt wurden. Ein so ermittelter Prüfwert wird in der Regel von Werkstück zu Werkstück schwanken. Dies ist in der Fig. 3 illustriert. Entlang der horizontalen Achse ist eine fortlaufende Werkstücknummer ^ aufgetragen, entlang der vertikalen Achse der zugehörige Prüfwert ^ ^ (^). Der Prüfwert ^ ^ (^) wird für jedes Werkstück mit einer oberen Toleranzgrenze ^ ^ und einer unteren Toleranzgrenze ^ ^ verglichen. Im vorliegenden Beispiel befindet sich der Prüfwert ^ ^ (^) für fast alle Werkstücke im Toleranzband zwischen diesen beiden Toleranzgrenzen, mit Ausnahme der Werte für die Werkstücke mit den Werkstücknummern ^ = 34 und ^ = 44. Diese Abweichungen vom Toleranzband deuten auf unzulässige Prozessabweichungen bei der Bearbeitung dieser Werkstücke hin. Die entsprechenden Werkstücke können entsprechend aus dem Prozess ausgeschleust werden, und es können Massnahmen getroffen werden, um den Prozess wieder in den Bereich innerhalb der Toleranzgrenzen zurückzuführen. Automatische Festlegung der Toleranzgrenzen Die Toleranzgrenzen ^ ^ , werden automatisch durch eine statistische Analyse einer Vielzahl von Werten einer Referenzgrösse (Referenzwerten) ermittelt. Diese Referenzwerte wurden durch Messungen während der Bearbeitung einer Vielzahl früherer Werkstücke ermittelt. Jeder Referenzwert basiert dabei auf Werten der Messgrösse, die während eines früheren Bearbeitungsvorgangs an einem der früheren Werkstücke im selben Bearbeitungshub auf derselben Maschine ermittelt wurden. Insbesondere kann als Referenzwert der Prüfwert ^ ^ verwendet werden, der während des betreffenden Bearbeitungshubs bei der Bearbeitung des jeweiligen früheren Werkstücks ermittelt wurde. Dem liegt die Überlegung zugrunde, dass im Mittel über eine grosse Zahl von Bearbeitungsvorgängen an vielen Werkstücken hinweg der weit überwiegende Teil der Bearbeitungsvorgänge keine unzulässigen Prozessabweichungen aufweisen wird, denn ansonsten würden die unzulässigen Prozessabweichungen früher oder später anhand von Fertigungsabweichungen an den so bearbeiteten Werkstücken erkannt. Wenn die Zahl der Werkstücke, für die die Referenzwerte ermittelt wurden, genügend gross ist (beispielsweise grösser als 1'000 oder gar grösser als 10'000), entspricht die Verteilung der Referenzwerte über die Gesamtheit der Werkstücke hinweg daher in guter Näherung der zu erwartenden Verteilung für einen einwandfreien Fertigungsprozess. Durch eine statistische Analyse dieser Werte können somit die Toleranzgrenzen anhand objektiver Kriterien automatisch festgelegt werden. Dies wird beispielhaft anhand der Fig. 4 erläutert, in der eine empirische Häufigkeitsverteilung von Werten einer Referenzgrösse (Referenzwerten) ^ ^ in beliebigen Einheiten (a.u.) dargestellt ist. Auf der horizontalen Achse sind die Referenzwerte ^ ^ aufgetragen, auf der vertikalen Achse als Balkendiagramm die relative Häufigkeit für jeweils gleich grosse Werteintervalle ("bins"). Im vorliegenden Fall entspricht diese Häufigkeitsverteilung annähernd einer Gaussschen Normalverteilung, deren Dichtefunktion mit einer gepunkteten Linie ebenfalls in der Fig. 4 eingetragen ist. Für diese Häufigkeitsverteilung können das arithmetische Mittel der Referenzwerte und die empirische Varianz (definiert als mittlere quadratischen Abweichung der Referenzwerte vom arithmetischen Mittel sowie die empirische Standardabweichung (definiert als Quadratwurzel der empirischen Varianz) berechnet werden. Die Toleranzgrenzen können nun automatisch anhand dieser statistischen Grössen festgelegt werden. Beispielsweise wird im vorliegenden Beispiel die obere Toleranzgrenze als ^ ^ = ^ ^ + ^ ^ ^ ^ festgelegt, die untere Toleranzgrenze als ^ ^ = − ^ ^ ^ ^ . Dabei ist der Faktor ^ ^ eine frei wählbare positive reelle Zahl, die angibt, um wie viele Standardabweichungen die Toleranzgrenzen vom Mittelwert entfernt sind. In Anlehnung an das bekannte 6σ-Konzept (das allerdings normalerweise zu einem anderen Zweck eingesetzt wird) kann z.B. ^ ^ = 6 gewählt werden. Je nach Toleranzempfindlichkeit des Kunden kann auch ein anderer Faktor ^ ^ gewählt werden. Der Faktor ^ ^ kann dabei optional durch den Bediener vorgegeben werden. Im Beispiel der Fig.4 sind die Werte der Referenzgrösse ^ ^ nahezu normalverteilt. In vielen Fällen ist das allerdings nicht der Fall. Beispielsweise ist in der Fig. 5 eine empirische Häufigkeitsverteilung von Referenzwerten ^ ^ dargestellt, die stark von einer Normalverteilung abweicht. So ist die Häufigkeitsverteilung der Fig. 5 bimodal und stark asymmetrisch. Eine solche Verteilung wird durch den arithmetischen Mittelwert und die Standardabweichung nur unzureichend charakterisiert. In solchen Fällen können andere statistische Analysemethoden erfolgsversprechender sein. Zwei solche Methoden werden im Folgenden erläutert. Anstelle des arithmetischen Mittels kann beispielsweise der Median ^(0.5) (d.h. das ^- Quantil ^(^) für ^ = 50%) der Referenzwerte als eine robustere Form eines Lageparameters berechnet werden. Anstelle der Standardabweichung, die stark von einzelnen "Ausreissern" beeinflusst sein kann, kann als robusteres Schwankungsmass beispielsweise der Interquartilabstand IQR der Referenzwerte berechnet werden, d.h. dasjenige Werteintervall, in dem die mittleren 50% aller Werte der Referenzwerte liegen, oder anders ausgedrückt der Abstand ^(0.75) − ^(0.25) zwischen den ^-Quantilen der Häufigkeitsverteilung für ^ = 75% und ^ = 25% (auch als oberes und unteres Quartil bezeichnet). Dabei wird der Begriff "^-Quantil" in der Weise verstanden, in der das in der deskriptiven Statistik für Stichprobenquantile üblich ist, nämlich als der kleinste Wert, unterhalb dessen ein vorgegebener Anteil ^ aller Werte der Stichprobe liegt, wobei ^ eine reelle Zahl zwischen 0 und 1 ist und als Unterschreitungsanteil bezeichnet wird. Dementsprechend können die Toleranzgrenzen anhand von ^-Quantilen der Verteilung der Referenzwerte festgelegt werden. Insbesondere können die Toleranzgrenzen anhand von Median und Interquartilabstand festgelegt werden. So können die obere und untere Toleranzgrenze beispielsweise wie folgt festgelegt werden: wobei der Faktor ^ wiederum eine frei wählbare positive reelle Zahl ist. Eine alternative Festlegung kann anhand des Medians und dessen Abstand zum oberen und unteren Quantil wie folgt erfolgen: ^ ^ = ^(0.5) + ^ ^ ^^ ( 0.75 ) − ^ ( 0.5 ) ^, ^ ^ = ^(0.5 − ^ ^ ^ ^ ( 0.5 ) − ^ ( 0.25 )^ , Eine nochmals andere Festlegung kann allein anhand des oberen und unteren Quartils wie folgt erfolgen: In diesem Fall wird kein Lageparameter wie der Median benötigt. In einer noch einfacheren Ausführungsform kann beispielsweise direkt ein vorgegebenes Quantil der Häufigkeitsverteilung der Referenzwerte als Toleranzgrenze verwendet werden. Beispielsweise können das 99%-Quantil ^(0.99) (oft auch als das "letzte Perzentil" bezeichnet) als obere Toleranzgrenze und das 1%-Quantil ^(0.01) (das "erste Perzentil") als untere Toleranzgrenze festgelegt werden. In diesem Fall kann der Unterschreitungsanteil ^, durch den das entsprechende Quantil bestimmt ist, durch den Bediener vorgebbar sein. Bei der Bestimmung einer Toleranzgrenze können auch mehrere statistische Methoden kombiniert werden. Beispielsweise kann die obere Toleranzgrenze als ein gewichteter Mittelwert aus den oberen Toleranzgrenzen, die mit zwei unterschiedlichen Methoden berechnet wurden, definiert werden. Alternativ können auch für einen Prüfwert zwei oder mehr obere und/oder untere Toleranzgrenzen definiert werden, wobei die Toleranzgrenzen durch unterschiedliche statistische Methoden bestimmt wurden. Beispielsweise kann der Prüfwert einerseits mit einer ersten oberen Toleranzgrenze verglichen werden, der als ^ ^ = berechnet wurde, und andererseits mit einer zweiten oberen Toleranzgrenze verglichen werden, der als ^ ^ = ^(0.75) + ^ ^ ^ ^ ( 0.75 ) − ^ ( 0.25 )^ berechnet wurde. Wenn nur eine dieser beiden oberen Toleranzgrenzen überschritten wird, kann auf eine unzulässige Prozessabweichung geschlossen werden. Umsetzung mit Datenbank Die Referenzwerte können vorab bestimmt und in der Datenbank 46 abgelegt werden. Die automatische Festlegung der Toleranzgrenzen erfolgt dann durch die Überwachungseinrichtung 44, indem diese auf die Datenbank 46 zugreift, die Referenzwerte aus dieser Datenbank ausliest und diese statistisch analysiert. Nach der erfolgreichen Bearbeitung eines Werkstücks kann die Überwachungseinrichtung 44 aus den Messwerten für dieses Werkstück einen neuen Wert der Referenzgrösse berechnen und in der Datenbank 46 abspeichern. Auf diese Weise wird die Datenbank laufend um neue Referenzwerte ergänzt, die dann für die Festlegung der Toleranzgrenzen nachfolgender Werkstücke zur Verfügung stehen. Dadurch wird die Überwachungseinrichtung gewissermassen selbstlernend. Zeitlich veränderliche Toleranzgrenzen Im Beispiel der Fig. 3 wurde für eine zeitabhängige Messgrösse ein zeitunabhängiger Prüfwert bestimmt, und dieser Prüfwert wurde mit einer oberen und unteren Toleranzgrenze verglichen. Stattdessen oder zusätzlich ist es auch möglich, Prüfwerte, die spezifisch für bestimmte Zeitintervalle während eines Bearbeitungshubs ermittelt wurden, mit Toleranzgrenzen zu vergleichen. Dabei können diese Toleranzgrenzen selbst zeitabhängig sein, d.h. für unterschiedliche Zeitintervalle können unterschiedliche Toleranzgrenzen vorgesehen sein. Das ist in der Fig. 6 illustriert. Diese zeigt mit einer durchgezogenen Linie einen Verlauf einer zeitabhängigen Messgrösse ^(^) für ein bestimmtes Werkstück (im vorliegenden Beispiel das Werkstück mit der Werkstücknummer ^ = 12). Im vorliegenden Beispiel steigt die Messgrösse während eines Bearbeitungshubs zunächst an, erreicht dann ein Plateau und fällt anschliessend wieder ab. Einen solchen Verlauf kann beispielsweise die Leistungsaufnahme der Werkzeugspindel zeigen, wenn das Werkzeug zunächst allmählich mit dem Werkstück in Eingriff kommt, das Werkstück im Volleingriff bearbeitet und anschliessend allmählich wieder ausser Eingriff gerät. Typischerweise ist diesem Verlauf noch ein Rauschanteil überlagert, der in der Fig.6 aus Gründen der Übersichtlichkeit jedoch nicht dargestellt wurde. Ebenfalls in der Fig.6 illustriert sind obere und untere Toleranzgrenzen ^ ^ und ^ ^ , die für eine Mehrzahl von Zeitintervallen ^ jeweils separat festgelegt wurden. Im vorliegenden Beispiel existieren insgesamt 8 derartige Zeitintervalle mit zugeordneten oberen und unteren Toleranzgrenzen. Während des Bearbeitungshubs wird die Messgrösse ^(^) digital erfasst, und aus den Werten der Messgrösse abgeleitete Prüfwerte ^ ^ werden laufend mit diesen Toleranzgrenzen verglichen, um unzulässige Prozessabweichungen feststellen zu können. Im Beispiel der Fig. 6 dient als Prüfwert ^ ^ einfach der jeweilige Wert der Messgrösse ^(^) in der Mitte des betreffenden Zeitintervalls. Die Kreise in der Fig. 6 illustrieren, welchen Schwankungen die Prüfwerte ^ ^ in den Intervallen ^ von Werkstück zu Werkstück unterworfen sind. Im vorliegenden Beispiel liegen diese Werte grösstenteils zwischen den zugeordneten Toleranzgrenzen ^ ^ und ^ ^ . Lediglich für eines der Werkstücke (hier das Werkstück mit der Werkstücknummer ^ = 87) überschreitet der Wert der Messgrösse ^(^) während des Zeitintervalls ^ = 2 die obere Toleranzgrenze ^ ^ . Der gestrichelt eingezeichnete vollständige Verlauf der Messgrösse ^(^) für dieses Werkstück zeigt, dass die Messgrösse unerwartet schnell angestiegen ist. Die Überschreitung der oberen Toleranzgrenze deutet auf eine unzulässige Prozessabweichung hin. Entsprechend kann das betreffende Werkstück ausgeschleust und näher untersucht oder verworfen werden, und gegebenenfalls kann der Maschinenzustand untersucht werden, oder der Prozess kann angepasst werden. Die Toleranzgrenzen ^ ^ und ^ ^ können wiederum automatisch durch eine statistische Analyse bestimmt werden. Dazu werden wiederum Werte der Messgrösse ^(^) herangezogen, die in früheren Bearbeitungsvorgängen ermittelt wurden. Für jedes Zeitintervall ^ wird als Referenzgrösse ein charakteristischer Wert der Messgrösse ^(^) bestimmt, beispielsweise der Mittelwert der digitalisierten Werte der Messgrösse ^(^) während dieses Zeitintervalls oder der Wert der Messgrösse ^(^) in der Mitte des Zeitintervalls. Die Verteilung dieser Referenzwerte wird nun in einer ähnlichen Weise statistisch analysiert, wie das vorstehend im Zusammenhang mit den Figuren 3-5 beschrieben wurde. Insbesondere können wiederum statistische Kenngrössen für diese Referenzwerte bestimmt werden, insbesondere ein Lageparameter und ein Streuungsmass, und daraus können die Toleranzgrenzen berechnet werden. Auf diese Weise werden für jedes der Zeitintervalle ^ eine separate obere Toleranzgrenze ^ ^ und eine separate untere Toleranzgrenze ^ ^ bestimmt. In einer Weiterbildung ist es auch denkbar, dass für jedes Zeitintervall ein Prüfwert bestimmt wird, der das Verhalten der Messgrösse ^(^) in diesem Zeitintervall auf eine andere Weise charakterisiert als nur durch einen aktuellen Wert in der Mitte des Zeitintervalls. Beispielsweise kann für jedes Zeitintervall als Prüfwert ein Mittelwert der Messwerte ermittelt werden, oder es kann eine Regressionsanalyse der Messwerte ausgeführt werden, um einen Prüfwert zu ermitteln, der die zeitliche Veränderung der Messwerte im betreffenden Intervall charakterisiert. Beispielsweise kann als Prüfwert eine Steigung der Messwerte im betreffenden Zeitintervall bestimmt werden. Für diesen Prüfwert können dann automatisch Toleranzgrenzen bestimmt werden, indem als Referenzgrössen die entsprechend berechneten Prüfwerte während der Bearbeitung früherer Werkstücke statistisch analysiert werden. Frequenzabhängige Toleranzgrenzen Für eine zeitabhängige Messgrösse kann der Vergleich mit Toleranzgrenzen statt im Zeitbereich auch im Frequenzbereich erfolgen. Dazu wird zunächst eine Frequenzanalyse der digitalisierten zeitabhängigen Werte der Messgrösse vorgenommen, um eine Vielzahl von Frequenzkomponenten der Messgrösse zu ermitteln. Dies kann erfolgen, indem auf die zeitabhängigen Werte der Messgrösse eine geeignete Transformation angewandt wird, insbesondere eine diskrete Fouriertransformation (DFT), die konkret als schnelle Fouriertransformation (FFT) implementiert sein kann. Jedoch können auch andere Verfahren angewendet werden, um eine Frequenzanalyse vorzunehmen, beispielsweise eine Wavelet-Analyse. Das Ergebnis einer solchen Frequenzanalyse ist in der Fig. 7 schematisch illustriert. Die Fig. 7 zeigt ein Spektrum einer Messgrösse in Form von einer Vielzahl von Frequenzkomponenten (spektralen Werten) ^(^) als Funktion der Frequenz ^. Das Spektrum wurde durch Filterung und DFT einer zeitabhängigen Messgrösse gewonnen. In dem Spektrum sind mehrere Peaks erkennbar, die durch Kreise gekennzeichnet sind. Die Frequenzkomponenten im Bereich dieser Peaks sind für die nachfolgende Analyse von besonderem Interesse. Für dieses Spektrum werden nun verschiedene Frequenzintervalle vorgegeben. Für jedes der Frequenzintervalle wird mindestens ein Prüfwert mit einer oder mehreren frequenzabhängigen Toleranzgrenzen verglichen. Dies wird in der Fig.8 illustriert. In dieser Figur sind für eine Vielzahl von Frequenzintervallen ^ jeweils eine obere Toleranzgrenze ^ ^ (durchgezogene Linie) und eine untere Toleranzgrenze ^ ^ (gestrichelte Linie) dargestellt. Ausserdem sind für jedes Frequenzintervall als Kreise mehrere Prüfwerte dargestellt, die anhand von Messungen an unterschiedlichen Werkstücken aus den Frequenzkomponenten der Messgrösse im jeweiligen Frequenzintervall bestimmt wurden. Bei dem jeweiligen Prüfwert kann es sich z.B. um das Integral oder das Maximum der Frequenzkomponenten im betreffenden Frequenzintervall handeln. Die Frequenzintervalle können z.B. so schmal gewählt werden, dass sich in jedem Frequenzintervall genau ein Peak befindet, und als Prüfwert kann die Intensität des betreffenden Peaks dienen. Die zugeordneten Toleranzgrenzen definieren dann den zulässigen Bereich, in dem sich die Intensität bewegen darf. Die Intensität des Peaks kann dabei z.B. durch Integration des Spektrums im betreffenden Frequenzintervall oder als Maximalwert der Frequenzkomponenten im betreffenden Frequenzintervall ermittelt werden. Die Frequenzintervalle können jedoch auch breiter gewählt werden, so dass sich mehrere Peaks in einem Frequenzintervall befinden. Der Prüfwert kann dementsprechend auch komplexer definiert sein. Die Frequenzintervalle müssen nicht notwendigerweise unmittelbar aneinander angrenzen. Beispielsweise ist es möglich, nur die Intensitäten ausgewählter Peaks mit Toleranzgrenzen zu vergleichen, z.B. Peaks bei bestimmten Vielfachen der Werkstück- oder Werkzeugdrehzahl. So lassen die Intensitäten von Peaks bei gewissen Vielfachen dieser Frequenzen direkte Rückschlüsse auf bestimmte Arten von Prozessabweichungen zu, wie nachstehend noch näher diskutiert wird. Im Beispiel der Fig. 8 wurde für jedes Frequenzintervall als Prüfwert das Integral der Frequenzkomponenten im betreffenden Frequenzintervall gewählt. Im vorliegenden Beispiel befinden sich die meisten Prüfwerte im Bereich zwischen den zugeordneten Toleranzgrenzen. Einzig der Prüfwert für das Werkstück mit der Werkstücknummer ^ = 27 für das Frequenzintervall ^ = 6 unterschreitet die untere Toleranzgrenze ^ ^ , und der Prüfwert für das Werkstück mit der Werkstücknummer ^ = 51 für das Frequenzintervall ^ = 14 überschreitet die obere Toleranzgrenze ^ ^^ . Wiederum deutet das auf gewisse Prozessabweichungen hin. Unter Umständen lässt dabei das Frequenzintervall, in dem die Abweichung auftritt, sogar direkte Rückschlüsse auf die Art der Prozessabweichung zu. Jede obere und/oder untere Toleranzgrenze ^ ^ bzw. ^ ^ kann wiederum durch eine statistische Analyse von Referenzwerten, die für frühere Bearbeitungsvorgänge ermittelt wurden, bestimmt werden. Als Referenzwert kann beispielsweise der betreffende Prüfwert für das betreffende Frequenzintervall dienen, der für ein früheres Werkstück bestimmt wurde. Der Vergleich mit den Toleranzgrenzen kann dabei für jeden Bearbeitungsvorgang repetitiv (zyklisch) erfolgen, indem laufend neue Prüfwerte ermittelt und mit den Toleranzgrenzen verglichen werden. Beispielsweise kann während der Bearbeitung laufend eine Frequenzanalyse vorgenommen werden, und die resultierenden Frequenzkomponenten bzw. die daraus gewonnenen Prüfwerte können laufend mit den Toleranzgrenzen verglichen werden. Normierungsoperation Eine Schwierigkeit der Prozessüberwachung insbesondere bei der Verzahnungsbearbeitung ist die Tatsache, dass die überwachten Messgrössen in einer hochkomplexen Weise von einer Vielzahl von geometrischen Eigenschaften des Werkzeugs (bei einer Schleifschnecke z.B. Durchmesser, Modul, Gangzahl, Steigungswinkel usw.), geometrischen Eigenschaften des Werkstücks (z.B. Modul, Zähnezahl, Schrägungswinkel usw.) und Einstellparametern an der Maschine (z.B. radiale Zustellung, axialer Vorschub, Drehzahlen der Werkzeug- und Werkstückspindeln usw.) abhängen. Durch diese vielfältigen, komplexen Abhängigkeiten ist es zum einen äusserst anspruchsvoll, aus den überwachten Messgrössen direkte Rückschlüsse auf konkrete Prozessabweichungen und die dadurch verursachten Bearbeitungsfehler zu ziehen. Zum anderen ist es äusserst schwierig, die Messgrössen aus unterschiedlichen Bearbeitungsvorgängen miteinander zu vergleichen. Eine zusätzliche Herausforderung ergibt sich beim Einsatz von abrichtbaren Werkzeugen. Durch das Abrichten verändert sich der Durchmesser des Werkzeugs im Verlauf der Bearbeitung einer Serie von Werkstücken, und damit verändern sich auch die Bearbeitungsbedingungen. Dadurch sind die überwachten Messgrössen aus unterschiedlichen Abrichtzyklen selbst innerhalb derselben Serie von Werkstücken nicht direkt miteinander vergleichbar, selbst wenn alle anderen Rahmenbedingungen gleich bleiben. Um Unterschiede in den Bearbeitungsbedingungen unterschiedlicher Werkstücke auszugleichen, auf die Messwerte bzw. auf die daraus ermittelten Prüfwerte eine Normierungsoperation angewendet werden. Die Normierungsoperation berücksichtigt den Einfluss von einem oder mehreren Prozessparametern auf die Messwerte bzw. Prüfwerte, insbesondere den Einfluss von geometrischen Parametern des Feinbearbeitungswerkzeugs (insbesondere seinen Abmessungen, konkret insbesondere seinem Aussendurchmesser), geometrischen Parametern des Werkstücks und/oder Einstellparametern der Feinbearbeitungsmaschine (insbesondere radialer Zustellung, axialem Vorschub und Drehzahlen der Werkzeug- und Werkstückspindeln). Die resultierenden normierten Prüfwerte sind dadurch unabhängig oder zumindest wesentlich weniger stark abhängig von den genannten Prozessparametern als ohne Normierung. Dank der Normierungsoperation sind die normierten Werte selbst dann zwischen unterschiedlichen Bearbeitungsvorgängen vergleichbar, wenn sich diese Prozessparameter unterscheiden. Insbesondere kann dadurch die Notwendigkeit entfallen, Toleranzgrenzen zu definieren, die von den Prozessparametern abhängen. Die Normierungsoperation basiert vorzugweise auf einem Modell, das eine erwartete Abhängigkeit der Messgrösse von den genannten Parametern beschreibt. Wenn die Messgrösse ein Leistungsindikator ist, beschreibt das Modell vorzugweise die Abhängigkeit der Prozessleistung (d.h. der für den durchgeführten Bearbeitungsprozess benötigten mechanischen oder elektrischen Leistung) von den genannten Parametern. Das Modell der Prozessleistung kann insbesondere auf einem Kraftmodell beruhen, das eine erwartete Abhängigkeit der Schnittkraft, die am Ort des Kontakts zwischen Feinbearbeitungswerkzeug und Werkstück wirksam ist, von geometrischen Parametern des Feinbearbeitungswerkzeugs, geometrischen Parametern des Werkstücks und Einstellparametern der Feinbearbeitungsmaschine beschreibt. Das Modell der Prozessleistung kann zudem die Länge eines Hebelarms berücksichtigen, der zwischen der Werkzeugachse und einem Kontaktpunkt zwischen dem Feinbearbeitungswerkzeug und dem Werkstück wirksam ist. Die Hebelarmlänge kann insbesondere durch den Aussendurchmesser des Feinbearbeitungswerkzeugs angenähert werden. Zudem kann das Modell der Prozessleistung die Drehzahl der Werkzeugspindel berücksichtigen. Die Normierungsoperation kann beispielsweise eine Multiplikation der erfassten Messwerte oder daraus abgeleiteter Grössen mit einem Normierungsfaktor umfassen. Es sind aber auch komplexere Normierungsoperationen denkbar. Wenn die Messwerte die Werte eines Leistungsindikators umfassen, kann der Normierungsfaktor insbesondere eine inverse Leistungsgrösse sein, die anhand des Modells der Prozessleistung für die konkret vorliegende Bearbeitungssituation berechnet wurde, oder eine daraus abgeleitete Grösse. Die Normierungsoperation wird vorzugsweise direkt auf die erfassten Werte der Messgrösse, gegebenenfalls nach einer Filterung, angewendet. Die Normierungsoperation erfolgt vorteilhaft in Echtzeit, d.h. noch während des Bearbeitungsprozesses, insbesondere noch während der Bearbeitung des jeweiligen Werkstücks, d.h. noch während das Werkzeug in einem Bearbeitungseingriff mit dem Werkstück steht. Dadurch stehen normierte Werte unmittelbar während des Bearbeitungsprozesses zur Verfügung und können in Echtzeit zur Überwachung des Bearbeitungsprozesses eingesetzt werden. Die Normierungsoperation kann jedes Mal neu berechnet werden, wenn sich mindestens einer der Prozessparameter ändert. Die Neuberechnung der Normierungsoperation umfasst dann vorzugsweise die Anwendung des erwähnten Modells mit den geänderten Prozessparametern. Bezüglich weitere Überlegungen zur Normierungsoperation wird auf die Veröffentlichungsschrift WO2021048027A1 verwiesen, deren Inhalt durch Verweis vollständig in die vorliegende Offenbarung aufgenommen wird. Durchführung einer Zustandsdiagnose beim Vorliegen unzulässiger Prozessabweichungen Wenn eine Prozessabweichung festgestellt wird, kann es sinnvoll sein, der Ursache für die Prozessabweichung nachzugehen. Dazu kann eine automatische Diagnose des Maschinenzustands durchgeführt werden, oder es kann auf schon vorhandene Daten, die bei einer solchen Diagnose ermittelt wurden, zurückgegriffen werden. Für die Diagnose des Maschinenzustands wird ein Prüfzyklus durchgeführt, bei dem mindestens ein Teil der Maschinenachsen gezielt betätigt wird und dieser Betätigung zugeordnete Zustandsdaten durch Messungen ermittelt werden. Anhand dieser Zustandsdaten kann dann eine Zustandsdiagnose durchgeführt werden, bei der die Zustandsdaten mit mindestens einer Referenzzustandsgrösse verglichen werden, um mindestens einen Maschinenzustandsindikator zu ermitteln. Aus dem Prozessabweichungsindikator und dem Maschinenzustandsindikator kann dann ein Fehlerquellenindikator ermittelt werden, der beispielsweise angibt, ob ein Maschinenfehler, ein Vorbearbeitungsfehler oder ein Bedienungsfehler vorliegt. Beispielsweise kann bei der Verzahnungsbearbeitung eine festgestellte Prozessabweichung darin bestehen, dass die Intensität des Frequenzanteils der Antriebsleistung der Werkzeugspindel bei der Drehzahl der Werkstückspindel eine obere Toleranzgrenze überschreitet. Diese Prozessabweichung kann verschiedene Ursachen haben. So kann eine Ursache ein unzulässiger Summenteilungsfehler des Werkstückrohlings aufgrund einer fehlerhaften Vorbearbeitung sein. Die Prozessabweichung kann aber auch das Resultat einer Unwucht aufgrund einer fehlerhaften Werkstückaufspannung oder das Resultat einer fehlerhaften Werkstückspindel sein. Um der Ursache dieser Prozessabweichung nachzugehen, kann nun eine Diagnose der Werkstückspindel mit dem darauf aufgespanntem Werkstück, aber ohne Bearbeitungseingriff mit dem Werkzeug durchgeführt werden. Wenn diese keine Auffälligkeiten ergibt, lässt das den Rückschluss zu, dass die Prozessabweichung das Resultat eines Vorbearbeitungsfehlers des Werkstücks war. Andernfalls kann sich eine Zustandsdiagnose der Werkstückspindel ohne darauf aufgespanntem Werkstück anschliessen. Wenn diese keine Auffälligkeiten ergibt, lässt das den Rückschluss zu, dass die Prozessabweichung das Resultat eines Aufspannungsfehlers des Werkstücks war. Andernfalls kann der Rückschluss gezogen werden, dass die die Prozessabweichung durch eine fehlerhafte Werkstückspindel verursacht wurde. Auf diese Weise erhält der Bediener auch ohne eigene vertiefte Fachkenntnisse direkte Hinweise, die ihm eine differenzierte Bewertung des Bearbeitungsprozesses und des Maschinenzustands erlauben. Dieses Vorgehen ist auch dann vorteilhaft, wenn die Toleranzgrenzen auf eine andere Weise festgelegt wurden, als dies vorstehend beschrieben wurde, beispielsweise, wenn die Toleranzgrenzen rein manuell festgelegt wurden. Realisierung in der Cloud Die Berechnung und Überwachung der Toleranzgrenzen kann lokal in einer Überwachungseinrichtung erfolgen, die direkt der Werkzeugmaschine zugeordnet ist. Es ist aber auch denkbar, mindestens einen Teil dieser Verfahren in der Cloud auszuführen. Ein Beispiel ist in der Fig.9 illustriert. Über einen Webserver 47 sind die zu überwachende Maschine 1 und eine Vielzahl von weiteren Maschinen 2, 3, …, N mit einem Diensteserver 45 und mit einer Datenbank 46 verbunden. Der Diensteserver 45 und die Datenbank 46 befinden sich in der Cloud. Jede dieser Maschinen weist eine Überwachungseinrichtung auf, die im Betrieb der jeweiligen Maschine laufend bestimmte Daten an die Datenbank 46 übermittelt. Diese Daten umfassen insbesondere eine eindeutige Kennung der Maschine, einen Zeitstempel und eine Mehrzahl von Prüfwerten, wie sie vorstehend beschrieben wurden. Die Daten können optional auch noch weitere Daten umfassen, beispielsweise Daten zu anschliessend an die Fertigung erfolgen Messungen an den Werkstücken, z.B. Indikatoren für die erzielte Werkstückqualität. Diese Daten werden in der Datenbank DB gespeichert. Dadurch enthält die Datenbank mit der Zeit eine sehr grosse Menge von Prozessdaten, die für mehrere Maschinen in vielen unterschiedlichen Bearbeitungsvorgängen gewonnen wurden. Für zukünftige Bearbeitungsprozesse kann auf diese Daten zurückgegriffen werden. Beispielsweise können die gespeicherten Prüfwerte als Referenzwerte bei der Bestimmung von Toleranzgrenzen für zukünftige Bearbeitungsprozesse dienen. Die Ergebnisse der Überwachung können dezentral von einem beliebigen Standort aus abgerufen und visualisiert werden. Dazu dient der Webserver 47, der mit dem dezentralen mobilen Endgerät 48, z.B. einem Tabletcomputer, kommuniziert. Flussdiagramme In den Figuren 10A bis 10D sind Flussdiagramme dargestellt, die das oben geschilderte Verfahren in knapper Weise grafisch zusammenfassen. Dabei illustriert die Fig.10A Schritte zur Ermittlung einer Toleranzgrenze. In Schritt 101 liest eine Überwachungseinrichtung Referenzwerte aus einer Datenbank aus. In Schritt 102 führt die Überwachungseinrichtung eine statistische Analyse der Referenzwerte durch und bestimmt so eine Toleranzgrenze. In Schritt 103 speichert die Überwachungseinrichtung die Toleranzgrenze in einer Speichereinrichtung der Überwachungseinrichtung ab, damit später auf diese Toleranzgrenze zurückgegriffen werden kann. Die Fig.10B illustriert Schritte zur Ermittlung eines Abweichungsindikators. In Schritt 111 werden durch Messungen Werte einer Messgrösse bestimmt. In Schritt 112 empfängt die Überwachungseinrichtung diese Messwerte. Im optionalen Schritt 113 ermittelt die Überwachungseinrichtung zugehörige Prozessparameter, z.B. durch Auslesen aus einer Maschinensteuerung, und wendet eine Normierungsoperation an, die diese Prozessparameter berücksichtigt. Im optionalen Schritt 114 führt die Überwachungseinrichtung eine Frequenzanalyse durch. Im Schritt 115 berechnet die Überwachungseinrichtung aus den (optional normierten) Messwerten bzw. deren Frequenzkomponenten einen Prüfwert. In Schritt 116 vergleicht die Überwachungseinrichtung den Prüfwert mit der zuvor ermittelten Toleranzgrenze und bestimmt dadurch einen Abweichungsindikator. In Schritt 117 gibt die Überwachungseinrichtung den Abweichungsindikator an die Maschinensteuerung oder an ein Benutzerinterface aus. Die Schritte 111-117 werden während der Bearbeitung eines Werkstücks zyklisch wiederholt. Die Fig.10C illustriert Schritte zur Ermittlung eines Fehlerquellenindikators. In Schritt 121 führt die Überwachungseinrichtung einen Prüfzyklus aus. In Schritt 122 führt die Überwachungseinrichtung anhand der Messergebnisse des Prüfzyklus eine Zustandsdiagnose aus, um einen Maschinenzustandsindikator zu ermitteln. Alternativ liest die Überwachungseinrichtung einen Maschinenzustandsindikator, der schon in einer früheren Zustandsdiagnose ermittelt wurde, aus einer Datenbank aus. In Schritt 123 vergleicht die Überwachungseinrichtung den Maschinenzustandsindikator mit dem zuvor ermittelten Prozessabweichungsindikator. In Schritt 124 gibt die Überwachungseinrichtung den Fehlerquellenindikator aus. Die Fig. 10D illustriert, wie die Messwerte, die bei der Überwachung eines aktuellen Bearbeitungsprozesses ermittelt wurden, zur Bestimmung und Abspeicherung neuer Referenzgrössen verwendet werden können. In Schritt 131 wird ein Bearbeitungsprozess überwacht. Dies geschieht in der Weise, wie das in Fig. 10B dargestellt ist. Im Rahmen dieses Bearbeitungsprozesses werden laufend Werte einer Messgrösse (Messwerte) ermittelt. Aus den Messwerten wird in Schritt 132 ein neuer Referenzwert berechnet. In Schritt 133 wird dieser Referenzwert in der Datenbank abgespeichert, aus der in Fig.10A zuvor die vorherigen Referenzwerte ausgelesen worden waren. Auf diese Weise wird die Datenbank bei jedem Bearbeitungsprozess um neue Referenzwerte ergänzt. Benutzerinterface Die Überwachungseinrichtung 44 kann ein Benutzerinterface bereitstellen, das es einem Benutzer ermöglicht, einen oder mehrere Parameter festzulegen, die die Überwachungseinrichtung benötigt, um die automatische Festlegung der Toleranzgrenzen durchzuführen, beispielsweise den oben genannten Parameter ^ ^ oder einen bestimmten Unterschreitungswert ^, für den das entsprechende ^-Quantil der Verteilung der Referenzwerte als Toleranzgrenze dienen soll. Das Benutzerinterface kann es dem Benutzer zudem ermöglichen, die automatisch berechneten Toleranzgrenzen manuell zu verändern. In der Fig. 11 ist ein stark vereinfachtes Benutzerinterface in einer stark schematischen Weise illustriert. Für jedes Frequenzintervall kann hier der Bediener in einer Box 201 den Faktor ^ ^ eingeben. Die resultierenden Toleranzgrenzen werden dem Bediener grafisch angezeigt. Durch Ziehen eines Pfeils 202 kann der Bediener jede Toleranzgrenze manuell verändern. Die Überwachungseinrichtung 44 kann zudem ein Benutzerinterface bereitstellen, das eine Ausgabe einer Benutzerinformation, die auf dem Vergleich der Prüfwerte mit den Toleranzgrenzen basiert, ermöglicht. In der Fig.12 ist ein solches Benutzerinterface in stark vereinfachter Form und in stark schematischer Weise illustriert. Das hier illustrierte Benutzerinterface zeigt für zwei Maschinen "A" und "B" jeweils die Qualität des aktuellen Bearbeitungsprozesses und den Zustand der Werkzeugmaschine an. Diese Anzeige erfolgt hier nach Art eines Ampelsystems: Ein Bearbeitungsprozess, bei dem alle Prüfwerte einen Mindestabstand zu den Toleranzgrenzen aufweisen, wird durch eine grün anzeigende Ampel dargestellt, ein Prozess mit unzulässigen Prozessabweichungen durch eine rot anzeigende Ampel, und ein Prozess, bei dem sich Prüfwerte sehr nahe bei den Toleranzgrenzen befinden, durch eine gelb anzeigende Ampel. In ähnlicher Weise wird auch der Maschinenzustand angezeigt. Im Beispiel der Fig.12 steht die Ampel 212 für den Bearbeitungsprozess auf der Maschine A auf Grün, und auch die Ampel für den Maschinenzustand der Maschine A steht auf Grün. Der Benutzer sieht so auf den ersten Blick, dass bei der Maschine A alles in Ordnung ist. Die Ampel 214 für den Bearbeitungsprozess auf der Maschine B steht dagegen auf Rot, d.h., bei diesem Bearbeitungsprozess wurde eine unzulässige Prozessabweichung festgestellt. Die Ampel 215 für den Maschinenzustand der Maschine B steht auf Gelb, d.h., mindestens eine Achse der Maschine B hat sich bei der Maschinendiagnose als kritisch herausgestellt. Im vorliegenden Beispiel wird angenommen, dass dies die C1-Achse ist (d.h. eine der beiden Werkstückspindeln). Beispielsweise kann der Prozessabweichungsindikator zeigen, dass Frequenzkomponenten der Antriebsleistung der Werkzeugspindel oder eines Schwingungssignals des Schwingungssensors 18 bei der Drehzahl der Werkstückspindel und deren Vielfachen ausserhalb der Toleranzgrenzen liegen, und die Zustandsdiagnose kann ergeben haben, dass bei einer Betätigung der Werkstückspindel auch dann verstärkte Schwingungen auftreten, wenn kein Werkstück auf der Werkstückspindel aufgespannt ist. Wie oben erläutert wurde, deutet das gemeinsam auf eine fehlerhafte C1-Achse hin. Der Vergleich des Prozessabweichungsindikators und des Maschinenzustandsindikators zeigt hier also, dass die C1-Achse mit hoher Wahrscheinlichkeit für die festgestellte Prozessabweichung verantwortlich ist, d.h. durch den Vergleich wurde ein Fehlerquellenindikator ermittelt, der als Fehlerquelle auf die C1-Achse hindeutet. Dementsprechend gibt das Benutzerinterface an den Benutzer eine Warnung "Achtung: C1-Achse prüfen!" aus. Der Benutzer hat dann die Möglichkeit, diesem Hinweis im Detail nachzugehen. Beispielsweise kann dazu das Benutzerinterface eine Darstellung zur Verfügung stellen, in der ein Vergleich von Prüfwerten mit den zugehörigen Toleranzgrenzen in ähnlicher Weise wie in Fig. 3, 6 oder 8 grafisch dargestellt wird, so dass leicht erkennbar wird, welche Frequenzkomponenten die zugehörigen Toleranzgrenzen in welchem Ausmass überschreiten. Die Benutzerinterfaces können beispielsweise in der Bedientafel 43 oder in dem mobilen Endgerät 48 implementiert sein. Selbstverständlich sind auch unzählige andere Implementierungen derartiger Benutzerinterfaces möglich. Abwandlungen Die Erfindung ist nicht auf die vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt, und es sind vielfältige Abwandlungen möglich, ohne den Bereich der Erfindung, wie er in den Ansprüchen definiert ist, zu verlassen. Insbesondere können auch andere statistische Verfahren als die vorstehend geschilderten Verfahren eingesetzt werden, um die Toleranzgrenzen zu bestimmen. Dazu gehören auch maschinelle Lernalgorithmen. Als Trainingsdatensatz für einen solchen maschinellen Lernalgorithmus können beispielsweise die Referenzwerte gemeinsam mit jeweils einem zugeordneten Qualitätsindikator dienen, wobei der Qualitätsindikator ein Mass für die Qualität des Bearbeitungsprozesses angibt, mit dem der jeweilige Referenzwert gewonnen wurde. Der Qualitätsindikator kann z.B. nachträglich durch (taktile oder berührungslose) Messungen an dem Werkstück, für dessen Bearbeitung die Referenzwerte gewonnen wurden, ermittelt werden. Alternativ kann der Qualitätsindikator durch Messungen in einem EOL-Prüfstand ermittelt werden. Nach Vorgabe einer gewünschten Bearbeitungsqualität kann ein so trainierter maschineller Lernalgorithmus beispielsweise automatisch Toleranzgrenzen bestimmen, deren Einhaltung voraussichtlich zur gewünschten Bearbeitungsqualität führen wird. Während die Erfindung anhand der Wälzschleifbearbeitung von Verzahnungen erläutert wurde, ist die Erfindung auch auf andere Arten der Verzahnbearbeitung wie beispielsweise Wälzfräsen, Wälzschälen, Verzahnungshonen, Profilschleifen usw. anwendbar. Auch ist die Erfindung auf Verfahren zur Bearbeitung anderer Arten von Werkstücken als Verzahnungen anwendbar.