Das Verfahren ist vorteilhaft bei der Herstellung elektronischer Bauelemente im Sub-4m-Bereich und im nm-Bereich anwendbar und eignet sich dort insbesondere zum Erzeugen nanostrukturierter Ätzmasken, deren Struktur auf darunterliegende Schichten übertragen werden sollen. Außerdem kann das erfindungsgemäße Verfahren für das Eintragen von Information in amorphen Kohlenstoffschichten für den Zweck der Speicherung von Informationen angewandt werden.

Stand der Technik Bisher werden Masken, die zur Strukturübertragung in darunterliegende Schichten durch Atzen bzw. zur Anwendung des Lift-off-Verfahrens dienen sollen, mit Photo-und mit Elektronenstrahl-Lithographie hergestellt. Außerdem sind verschiedene Möglichkeiten bekannt, mit Rastersondenmikroskopen Strukturen mit Strukturgrößen im Bereich von Nanometern zu erzeugen. So können zum Beispiel mit Rastertunnelmikroskopen elektronenstrahlempfindliche Lacke belichtet werden (E. A.

Dobisz and C. R. K. Marrian, Appl. Phys. Lett. 58,2526 (1991)), und Rasterkraftmikroskope (RKM) werden zum

mechanischen Modifizieren von Schichten (V. Bouchiat and D.

Esteve, Appl. Phys. Lett. 69,3098 (1996)) oder von metallischen Leiterbahnen (R. Rank, H. Brückl, J. Kretz, I.

Mönch, and G. Reiss, Vacuum 48,467 (1997)) sowie zur feldinduzierten, lokalen Oxidation von Silizium verwendet (C.

Schönenberger, N. Kramer, Microelectron. Eng. 32,203 (1996)) Innerhalb der Gruppe der anorganischen Resistmaterialien belegen amorphe Kohlenstoff-Schichten einen wichtigen Platz (K. Kragler, E. Günther, R. Leuschner, G. Falk. A.

Hammerschmidt, H. von Seggern, and G. Saemann-Ischenko, Appl.

Phys. Lett. 67,1163 (1995)). Vorteile sind u. a. : Die Reaktionsfreudigkeit des amorphen Kohlenstoffs mit den meisten Substraten ist vernachlässigbar, amorpher Kohlenstoff ist widerstandsfähig gegen Halogen-Plasma, so daß strukturierte Kohlenstoff-Filme als Atzmaske für das Halogen-Plasma-Atzen zur Strukturübertragung in darunter liegende Schichten geeignet sind. Kohlenstoff-Filme können problemlos mittels reaktivem Ionen-Ätzen mit Sauerstoff oder Wasserstoff entfernt werden.

Es ist bekannt, daß amorphe Kohlenstoffschichten strukturiert werden können, indem die Struktur einer über dem Kohlenstoff liegenden Schicht in den Kohlenstoff durch Atzen übertragen wird.

Bekannt ist auch die direkte Strukturierung amorpher Kohlenstoff-Filme mittels Ätzen im Elektronenstrahl in einer definierten Sauerstoffumgebung. Mit dieser Methode wurden Strukturgrößen bis hinab zu 0,5 um erreicht (D. Wang, P. C.

Hoyle, J. R. A. Cleaver, G. A. Porkolab, and N. C. MacDonald, J.

Vac. Sci. Technol. B 13,1984 (1995)). Hierbei sind die Reaktionsprodukte zwar in vorteilhafter Weise flüchtig, jedoch besteht ein wesentlicher Nachteil dieses Verfahrens darin, daß auf diese Weise erzeugte Strukturen im amorphen Kohlenstoff nicht in darunter befindliche Siliziumsubstrate übertragen werden können, da bei der Strukturierung eine ätzresistente Schicht an der Siliziumoberfläche entsteht.

Es ist auch bekannt,"diamond-like carbon"-Filme im Fokus eines Lasers lokal zu graphitisieren und durch Nutzung der unterschiedlichen Sauerstoff-Plasma-Atzraten von Graphit und "diamond-like carbon"Masken herzustellen. Auf diese Weise konnten Strukturen mit Größen im Bereich von 5 um erzeugt werden (J. Seth, S. V. Babu, V. G. Ralchenko, T. V. Kononenko, V. P. Ageev, and V. E. Strelnitsky, Thin Solid Films, 254,92 (1995)).

Darstellung der Erfindung Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, in amorphen Kohlenstoffschichten auf dem Wege einer direkten Strukturierung Strukturen mit Größen im Bereich von Nanometern zu erzeugen.

Diese Aufgabe ist mit dem in den Patentansprüchen beschriebenen Verfahren zur Nanostrukturierung von amorphen Kohlenstoffschichten gelöst.

Dabei wird erfindungsgemäß mit einer elektrisch leitfähigen oder halbleitenden Sonde, die sich in einem Abstand, in dem der elektrische Leitungsmechanismus der Feldemission oder des Tunnelns möglich ist, über der amorphen Kohlenstoffschicht befindet oder über diese geführt wird, und an die eine elektrische Spannung gegenüber der Schicht angelegt wird, an den Stellen, an denen Vertiefungen in die Schicht eingebracht oder die Schicht entfernt werden soll, eine lokale, feldinduzierte Reaktion des Kohlenstoffs aktiviert. Die hierbei entstehenden Reaktionsprodukte sind in vorteilhafter Weise flüchtig, so daß ohne einen weiteren Technologieschritt die gewünschte Struktur entsteht.

Zweckmäßigerweise befindet sich die elektrisch leitfähige oder halbleitende Sonde in einem Abstand von bis zu 10 nm über der amorphen Kohlenstoffschicht oder wird über diese geführt.

Die an die Sonde angelegte elektrische Spannung kann erfindungsgemäß ein negatives Gleichspannungspotential mit einer Mindestspannung im Bereich von 3 bis 8 Volt gegenüber der Schicht oder eine Wechselspannung sein.

Entsprechend einer zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung kann der Abstand zwischen der elektrisch leitfähigen oder halbleitenden Sonde und der amorphen Kohlenstoffschicht durch eine elektrisch isolierende Schicht von bis zu einigen Nanometern Schichtdicke, die sich auf der Oberfläche der Sonde befindet, definiert werden.

Erfindungsgemäß kann die Reaktion in einer Sauerstoffumgebung durchgeführt werden, wobei als Reaktionsprodukte Oxide des Kohlenstoffs entstehen, oder die Reaktion wird in einer Wasserstoff-oder einer Stickstoffumgebung durchgeführt.

Gemäß einer zweckmäßigen Ausgestaltung der Erfindung kann die Nanostrukturierung mittels eines Rastersondenmikroskops durchgeführt werden, wobei die elektrisch leitende oder halbleitende Sonde des Mikroskops zur feldinduzierten Reaktion des Kohlenstoffs verwendet wird.

Als elektrisch leitfähige Sonde kann erfindungsgemäß auch eine strukturierte Elektrode verwendet werden, deren Struktur als das Negativ der in der Schicht zu erzielenden Nanostruktur ausgeführt ist. Eine solche Elektrode arbeitet sich dann in die amorphe Kohlenstoffschicht ein und überträgt dabei ihre Struktur.

Entsprechend einer Ausgestaltung der Erfindung kann der Abstand zwischen der elektrisch leitfähigen oder halbleitenden Sonde und der amorphen Kohlenstoffschicht während der Strukturierung zeitlich periodisch verändert werden.

Entsprechend einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann das negative Gleichspannungspotential während der Strukturierung auch zeitlich periodisch verändert werden.

Erfindungsgemäß kann auch eine elektrisch leitfähige oder halbleitende Sonde aus Silizium verwendet werden, wobei die Polarität des Gleichspannungspotentials während der Strukturierung in bestimmten Intervallen für bestimmte Zeit umgekehrt wird. Hierbei entsteht auf der Oberfläche der Sonde durch feldinduzierte Oxidation eine Schicht Siliziumoxid oder wird eine derartige Schicht wiederhergestellt.

Statt einer Gleichspannungsquelle kann nach der Erfindung auch eine Konstantstromquelle verwendet werden, wobei der Obergangswiderstand zwischen elektrisch leitfähiger oder halbleitender Sonde und der amorphen Kohlenstoffschicht so einzustellen ist, daß während der Strukturierung eine bestimmte Mindestspannung erreicht wird.

Die Erfindung sieht weiterhin vor, daß das erfindungsgemäße Verfahren für den Zweck der Speicherung digitaler oder analoger Informationen angewandt wird, indem mit der erfindungsgemäßen Nanostrukturierung in amorphe Kohlenstoffschichten solche Strukturen eingebracht werden, die digitale oder analoge Informationen repräsentieren.

Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich gegenüber dem Stand der Technik durch einige wesentliche Vorteile aus.

Besonders vorteilhaft ist, daß in den Kohlenstoffschichten die Strukturen auf dem Wege einer direkten Strukturierung erzeugt werden können, da bei dem angewandten Verfahren die Reaktionsprodukte des Kohlenstoffs flüchtig sind. Vorteilhaft ist weiterhin, daß mit dem Verfahren präzise Strukturen mit Größen im Bereich von Nanometern erzeugt werden können. Darüber hinaus bietet das Verfahren Gestaltungsmöglichkeiten für die dritte räumliche Dimension der zu strukturierenden Schicht, das heißt, in die Tiefe der Schicht hinein.

Nachstehend ist die Erfindung an Hand von Ausführungsbeispielen und zugehörigen Abbildungen näher erläutert.

Beispiel 1 Das Beispiel betrifft die Erzeugung eines Grabens in einer bei Raumtemperatur mit Argon RF-gesputterten amorphen Kohlenstoffschicht mit einem kommerziellen Rasterkraft- mikroskop.

Als Sonde dient ein"contact mode"-Cantilever aus dotiertem Silizium-Einkristall mit einer Federkonstante von etwa 0.5 N/m.

Sowohl die Probe mit der Schicht aus amorphem Kohlenstoff als auch der Cantilever werden elektrisch kontaktiert und mit einer regelbaren Konstantstromquelle verbunden, die aber zunächst noch ausgeschaltet ist.

Die Topographie der Probenoberfläche wird in dem zu strukturierenden Bereich im üblichen Abbildungsmodus des Rasterkraftmikroskopes aufgenommen. Mit Hilfe einer Lithographiesoftware wird die Linie definiert, entlang der ein Graben in den Kohlenstoff geschrieben werden soll. Der Cantilever wird zum Startpunkt der gewünschten Linie bewegt. Ab dem Zeitpunkt, wenn er sich mit einer gewählten Geschwindigkeit von z. B. 1 um/s über die Kohlenstoffoberfläche entlang der programmierten Linie zu deren Endpunkt bewegt, wird der Gleichstrom zugeschaltet, wobei die Spannung an der Probe positiv gegenüber dem Cantilever ist. Die Spannung der Konstantstromquelle kann z. B. auf max. 10 Volt begrenzt werden, der Strom kann im Bereich weniger nA liegen. Die gewünschte Struktur kann ein-oder mehrmals abgefahren werden.

Nach Abschluß der Strukturierung wird die Gleichspannung abgeschaltet.

Das Ergebnis der Strukturierung kann mittels einer Topographieaufnahme im üblichen Abbildungsmodus im gleichen

Rasterkraftmikroskop mit der gleichen Sonde, die auch zur Strukturierung verwendet wurde, sofort nachgewiesen werden.

Die erhaltene Linienstruktur ist in Abb. 1 gezeigt. Der durch feldinduzierte Oxidation im Rasterkraftmikroskop erzeugte Graben hat eine Halbwertsbreite von 35 nm und eine Tiefe von 20 nm.

Beispiel 2 Dieses Beispiel betrifft das vollständige Abtragen einer 250 nm dicken amorphen Kohlenstoffschicht in einem ausgewählten Bereich. Die Kohlenstoffschicht befindet sich hierbei auf einem Silizium-Einkristall-Substrat und wird mittels eines kommerziellen Rasterkraftmikroskopes abgetragen, indem der abzutragende Bereich unter 12 Volt Gleichspannung mit 3 um/s abgerastert wird.

Das Rasterkraftmikroskop-Bild gemäß Abb. 2 zeigt das Ergebnis der erfolgten Strukturierung. Die Stufenhöhe in der Rasterkraftmikroskop-Abbildung stimmt mit der mit dem Profilometer bestimmten Schichtdicke des amorphen Kohlenstoffs überein.

Beispiel 3 Dieses Beispiel betrifft die Erzeugung einer schmalen Unterbrechung einer AuPd-Leiterbahn unter Verwendung einer durch lokale feldinduzierte Oxidation im Rasterkraftmikroskop hergestellten Atzmaske aus amorphem Kohlenstoff.

Hierbei wurde eine durch optische und Elektronenstrahl- Lithographie gefertigte Leiterbahnstruktur mit einer amorphen Kohlenstoffschicht von etwa 8 nm Schichtdicke überzogen. Dazu wurde der Kohlenstoff durch Sputtern von einem Graphittiegel

mit Krypton als Arbeitsgas abgeschieden. In dieser Schicht wurde dann mit dem erfindungsgemäßen Verfahren zur lokalen Oxidation von Filmen aus amorphem Kohlenstoff über eine der Leiterbahnen ein schmaler Graben in einem Winkel von etwa 60 Grad zu dieser Leiterbahn geschrieben. Die Kohlenstoffschicht diente als Atzmaske für das anschließende Argon-Ionen-Atzen, so daß die Leiterbahn nur an der Stelle geätzt wurde, an der sie nicht von Kohlenstoff bedeckt war. Der Atzprozeß wurde während des Ätzens mittels einer Messung des elektrischen Widerstandes der Leiterbahn kontrolliert.

In Abb. 3 ist das Ergebnis der Strukturierung gezeigt. Die Leiterbahnunterbrechung ist etwa 30 nm breit.