Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Betrieb einer Kühlflüssigkeitsver- sorgungseinrichtung einer Bearbeitungsmaschine, insbesondere

thermischen Bearbeitungsmaschine, sowie eine solche Kühlflüssigkeits- versorgungseinrichtung.

Zur Materialbearbeitung, insbesondere zur Bearbeitung von platten- und rohrförmigen Materialien, werden Bearbeitungsmaschinen eingesetzt, welche durch einen Schneidprozess Werkstücke aus dem Material herstellen oder Werkstücke durch Schneiden weiter bearbeiten. Insbesondere bei einem thermischen Schneidprozess, wie beispielsweise Laserschneiden, können zwischen einem Anfang und einem Ende der Kontur des Werkstücks große Temperaturunterschiede entstehen. Auch kann eine Überhitzung im Schnittspalt erfolgen. Durch die Kühlung eines solchen thermischen

Bearbeitungsprozesses, beispielsweise durch Aufsprühen eines

Kühlmittelnebels, können die durch die Temperaturunterschiede oder Überhitzung entstehenden Nachteile erheblich reduziert oder verhindert werden. Das Kühlmittel wird durch eine Kühlflüssigkeitsversorgungs- einrichtung, welche über eine Schlauchleitung mit einem Bearbeitungskopf für den Schneidprozess verbunden ist, zugeführt, so dass unmittelbar die Bearbeitungsstelle beziehungsweise Schnittstelle mit Kühlflüssigkeit gekühlt wird. Die Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung weist hierfür einen

Druckbehälter zur Aufnahme der Kühlflüssigkeit auf, welcher nach dem Befüllen mit der Kühlflüssigkeit mit Überdruck beaufschlagt wird, um einen gleichmäßigen Druck zur verzögerungsfreien Ausgabe der Kühlflüssigkeit sicherzustellen.

Die Druckbehälter solcher Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtungen werden bislang manuell befüllt. Um die Anzahl der Füllvorgänge für einen längeren Betrieb zu begrenzen, muss der Behälter ein ausreichend großes Volumen besitzen, wodurch die Einrichtung viel Platz verbraucht. Die Füllung des Druckbehälters mit Kühlflüssigkeit erfolgt über einen Trichter. Dies bedarf der besonderen Sorgfalt, um das Einbringen von Verschmutzungen zu vermeiden. Zudem ist die Bereitstellung der Kühlflüssigkeit in

handhabbaren Behältnissen erforderlich, um das manuelle Einfüllen zu ermöglichen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Betrieb einer Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung einer Bearbeitungsmaschine sowie eine Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung vorzuschlagen, welche zumindest ein teilautomatisiertes Befüllen, insbesondere ein automatisches Befüllen, eines Druckbehälters der Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung ermöglicht und die o.g. Nachteile vermeidet.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren zum Betrieb einer Kühlflüssigkeits- versorgungseinrichtung einer Bearbeitungsmaschine, insbesondere thermischen Bearbeitungsmaschine, dadurch gelöst, dass ein Vorratsbehälter mit einer Kühlflüssigkeit über eine Zuführleitung

unmittelbar oder mittelbar mit dem Druckbehälter verbunden und gemäß einer ersten erfindungsgemäßen Ausführungsform in dem Druckbehälter ein Unterdruck zum Befüllen mit Kühlflüssigkeit erzeugt wird oder gemäß einer weiteren Ausführungsform durch einen Druckaufbau in der zum

Druckbehälter führenden Druckleitung ein Prozessgas und die

Kühlflüssigkeit gemeinsam dem Druckbehälter zugeführt werden. Diese Betriebsmöglichkeiten ermöglichen einen teilautomatisierten oder vollautomatisierten Befüllvorgang des Druckbehälters mit einer

Kühlflüssigkeit aus einem Vorratsbehälter, welcher quasi-stationär bis zur vollständigen Entleerung an die Machine gestellt, oder mobil nur temporär nach Bedarf an die Einrichtung angeschlossen werden kann. Unabhängig davon können beliebige Vorratsbehälter zur Bereitstellung der

Kühlflüssigkeit eingesetzt werden. Das Bedienpersonal muss nur noch den Nachschub der Kühlflüssigkeit sicherstellen, sofern dieser im

Vorratsbehälter bereitgestellt wird. Somit ist keine manuelle Handhabung von Gebinden zum manuellen Befüllen des Druckbehälters der

Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung mehr erforderlich. Zudem ist es möglich mehrere Maschinen an denselben Vorratsbehälter anzuschließen. Bei der bevorzugten Verwendung von demineralisiertem Wasser als

Kühlflüssigkeit, kann die Kühlflüssigkeit auch durch einen Wasseranschluss, insbesondere vom öffentlichen Versorgungsnetz, bezogen werden, wobei dann vorzugsweise zwischen dem Wasseranschluss und dem Druckbehälter eine Wasseraufbereitungsanlage, insbesondere ein Ionentauscher, vorgesehen ist, um demineralisiertes Wasser zu erzeugen. Ein

vollautomatisierter Befüllvorgang weist des Weiteren den Vorteil auf, dass kleinere Druckbehälter verwendet werden können, die kostengünstiger und leichter in der Bearbeitungsmaschine integrierbar sind. Durch diese

Alternativen werden ein kompakterer Aufbau, eine verbesserte Ergonomie und eine Reduzierung in der Verschmutzungsgefahr erzielt.

Die Kühlmittelversorgungseinrichtung kann je nach Ausführung mehrere Zustände einnehmen. Üblicherweise befindet sich die Vorrichtung, wenn Sie nicht genutzt wird, in einer Entlüftungskonfiguration, d.h. im Druckbehälter herrscht Umgebungsdruck. Im Betriebszustand wird der Behälter mit Überdruck durch ein Prozessgas beaufschlagt, wodurch das Kühlmittel über eine Schlauchleitung am Schneidkopf vorzugsweise als Sprühnebel ausgetrieben wird.

Gemäß einer ersten Ausführungsform des Verfahrens kann ein Entlüften, Befüllen oder Betrieb der Einrichtung durch ein steuerbares Ventil in einer zum Druckbehälter führenden Druckleitung zum Zuführen von Prozessgas geschaltet werden. In der Entlüftungsstellung des steuerbaren Ventils steht eine vom steuerbaren Ventil zum Druckbehälter führende Druckleitung mit der Umgebung in Verbindung, so dass ein Abblasen eines Überdrucks im Druckbehälter ermöglicht wird. Zum Befüllen des Druckbehälters mit Kühlflüssigkeit wird das steuerbare Ventil in eine Befüllstellung überführt, wodurch zumindest ein Ejektor mit einem Arbeitsdruck beaufschlagt wird, wobei eine Steuerleitung von dem steuerbaren Ventil zur Eingangsöffnung des Ejektors führt und ein Unterdruckanschluss des Ejektors mit einer ersten Öffnung des Druckbehälters verbunden wird. Somit wird durch das Venturi-Prinzip des Ejektors in dem Druckbehälter ein Unterdruck erzeugt, durch welchen über eine zweite Öffnung des Druckbehälters die

Kühlflüssigkeit aus einem Vorratsbehälter in den Druckbehälter eingesaugt wird.

Zum Betrieb der Kühlmittelversorgungseinrichtung wird das steuerbare Ventil in eine Betriebsstellung übergeführt, so dass dem Druckbehälter über die Druckleitung Prozessgas zur Erzeugung eines Überdrucks im

Druckbehälter zugeführt wird.

Der Druckbehälter ist bevorzugt stehend angeordnet, so dass die zweite Öffnung für die Kühlflüssigkeit unten am Druckbehälter vorgesehen und eine einfache Zuführung sowie Entnahme des Prozessgases im oberen Bereich des Druckbehälters über die erste Öffnung ermöglicht wird. Bei einem bevorzugt länglichen Druckbehälter ist zudem bei einer stehenden Anordnung die Flüssigkeitssäule höher und schmaler, dadurch wird eine bessere Auflösung für die Füllstandsmessung erreicht. Gemäß einer alternativen Ausführungsform des Verfahrens zum Betrieb der Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung, wird durch einen Druckaufbau in der Druckleitung Prozessgas und Kühlflüssigkeit gemeinsam dem

Druckbehälter zugeführt. Die verschiedenen Betriebszustände der

Einrichtung können wiederum durch das steuerbare Ventil geschaltet werden. Vorteilhafterweise wird der Ejektor in einer zum Druckbehälter führenden Leitung angeordnet, wobei die Ausgangsöffnung des Ejektors an eine separate Einfüllöffnung des Druckbehälters angeschlossen wird.

Als Prozessgas wird bevorzugt ein Edelgas, insbesondere Stickstoff, eingesetzt. Alternativ kann auch Druckluft oder ein anderes Gas eingesetzt werden.

Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe wird durch eine

Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung gelöst, bei der ein Vorratsbehälter zur Aufnahme von Kühlflüssigkeit über eine Zuführleitung mit einem

Druckbehälter verbunden ist und Prozessgas über eine Druckleitung dem Druckbehälter zugeführt werden kann, wobei zum Befüllen des

Druckbehälters mit Kühlflüssigkeit ein Ejektor vorgesehen ist, der in einer Steuerleitung oder in der Druckleitung positioniert ist. Durch ein

vorzugsweise in der Druckleitung angeordnetes steuerbares Ventil kann die Einrichtung in verschiedene Zustände überführt werden. Gemäß einer ersten Alternative kann ein Befüllen des Druckbehälters mittels durch den Ejektor erzeugten Unterdrucks im Druckbehälter erfolgen. Ebenso kann gemäß einer zweiten Alternative durch den Einsatz des Ejektors in der Druckleitung eine Befüllung des Druckbehälters erfolgen, indem der Ejektor über dessen Unterdruckanschluss Kühlflüssigkeit in den Ejektor einsaugt und weiter in den Druckbehälter fördert.

Bevorzugt ist die Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung als ein

Anbaumodul ausgebildet, an welchem eine zum Schneidkopf führende Schlauchleitung an der Zuführleitung oder einer Öffnung am Druckbehälter anschließbar ist. Dadurch ist eine einfache und schnelle Integration einer Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung an einer Bearbeitungsmaschine möglich. Die Erfindung sowie weitere vorteilhafte Ausführungsformen und Weiterbildungen derselben werden im Folgenden anhand der in den

Zeichnungen dargestellten Beispiele näher beschrieben und erläutert. Die der Beschreibung und den Zeichnungen zu entnehmenden Merkmale können einzeln für sich oder zu mehreren in beliebiger Kombination erfindungsgemäß angewandt werden. Es zeigen :

Figur 1 eine perspektivische Ansicht einer

Laserbearbeitungsmaschine mit einer

Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung,

Figur 2 einen Schaltplan einer ersten Ausführungsform der

Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung,

Figur 3 einen Schaltplan einer alternativen Ausführungsform der

Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung.

In Figur 1 ist eine schematische Ansicht einer Bearbeitungsmaschine 11 dargestellt, die für die Bearbeitung von Materialien 12, insbesondere plattenförmigen Materialien zur Herstellung von Werkstücken, eingesetzt wird. Diese Bearbeitungsmaschine 11 ist beispielsweise eine

Laserschneidmaschine oder eine Plasmaschneidmaschine, durch welche ein thermisches Bearbeiten, insbesondere Schneiden, der Materialien 12 ermöglicht ist. Eine solche Laserbearbeitungsmaschine umfasst eine Laseranordnung mit einem Lasergerät 13, insbesondere einem C0 ₂ -Laser, das eine elektromagnetische Strahlung, insbesondere einen Laserstrahl 14, erzeugt. Der Laserstrahl wird über eine Strahlführung 16, 23 zur

Bearbeitungsstelle 17 am Material 12 geführt. Der Bearbeitungskopf wird in einer X-/Y- und Z-Richtung durch Linearachsen bewegt, um eine

Schnittkontur in das Material 12 zur Herstellung eines Werkstücks einzubringen. Zur Kühlung der Bearbeitungsstelle 17 sprüht eine nicht näher dargestellte Düse am Bearbeitungskopf 21 eine Kühlflüssigkeit auf das Material 12, wobei insbesondere ein Wassernebel kreisrund um den Laserstrahl 14 an der Bearbeitungsstelle 17 auf das Material 12 gesprüht wird. Die Verdampfungsenergie des Wassers bewirkt, dass das Material um die Bearbeitungsstelle gekühlt wird und dadurch die Temperatur während des Schneidprozesses am Material 12 nahezu konstant bleibt, wodurch neue Werkstückgeometrien ermöglicht und die Prozesssicherheit erhöht werden.

Zur Versorgung des Bearbeitungskopfes 21 mit einer Kühlflüssigkeit ist eine Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung 26 vorgesehen, welche über eine Schlauchleitung 27 mit dem Bearbeitungskopf 21 verbunden ist. Zur Steuerung der Bearbeitungsmaschine 11 und Überwachung einzelner Komponenten der Bearbeitungsmaschine 11 ist eine Steuerungseinrichtung 28 vorgesehen.

Die beschriebene Bearbeitungsmaschine dient hier nur beispielhaft. Wie dem Fachmann bekannt, ist der Einsatz einer Kühlflüssigkeitsversor- gungseinheit bei allen Arten von thermischen Bearbeitungsmaschinen denkbar. So sind im Besonderen auch Maschinen mit anderen Laserquellen, wie z.B. Festkörperlaser, möglich, bei denen sich auch der Maschinenaufbau von obigem Beispiel unterscheiden kann. Es ist zudem ein Einsatz bei der Fertigung von stabförmigem Material oder Rohren möglich. Ebenso muss eine Zuführung der Kühlflüssigkeit an die Bearbeitungsstelle nicht notwendigerweise über eine Düse am Bearbeitungskopf geschehen, sondern kann auch durch eine separate Einrichtung erfolgen.

In Figur 2 ist schematisch ein Aufbau einer ersten Ausführungsform der Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung 26 in Form eines Schaltplanes dargestellt. Die Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung 26 umfasst einen Druckbehälter 30 zur Aufnahme der Kühlflüssigkeit und deren Ausgabe unter Druck an den Bearbeitungskopf 21. Der Druckbehälter 30 weist zwei Öffnungen 31, 41 auf. An der ersten Öffnung ist ein Verteiler 42

anschließbar, über den eine Druckleitung 43 mit der ersten Öffnung 41 verbunden ist, welche mit einem steuerbaren Ventil 44 in Verbindung steht. In dieser Druckleitung 43 ist ein Druckbegrenzungsventil 46 vorgesehen, welches auf betriebsbedingte Einstelldrücke im Druckbehälter 30 einstellbar ist. Bevorzugt liegt der Betriebsdruck bei 2,2 bar.

An die zweite Öffnung 31 ist eine Zuführleitung 32 anschließbar, welche zu einem Vorratsbehälter 33 führt, in welchem Kühlflüssigkeit zur Entnahme drucklos bevorratet ist. Als Kühlflüssigkeit wird bevorzugt demineralisiertes Wasser eingesetzt. In der Zuführleitung 32 ist ein Rückschlagventil 34 vorgesehen, welches einen Rückfluss der Kühlflüssigkeit in den

Vorratsbehälter 33 sperrt. Dadurch wird während des Betriebes die im Druckbehälter 30 gespeicherte Kühlflüssigkeit ausschließlich dem

Bearbeitungskopf 21 zugeführt. An der Zuführleitung 32 ist eine

Anschlussleitung 35 angeschlossen, welche über eine beispielhaft dargestellte Schnittstelle 36 mit der zum Schneidkopf 21 führenden Schlauchleitung 27 verbindbar ist. In der Anschlussleitung 35 ist ein Rückschlagventil 37 angeordnet, welches nur eine Strömungsrichtung der Kühlflüssigkeit zum Bearbeitungskopf 21 freigibt. Alternativ kann dieses auch als schaltbares Ventil ausgebildet sein. Durch das Ventil wird beim Befüllvorgang des Druckbehälters 30 ein Zuführen von Luft über die Anschlussleitung 35 beziehungsweise die Schlauchleitung 27 des

Bearbeitungskopfes 21 verhindert. Die Anschlussleitung 35 und die

Schlauchleitung 27 können alternativ auch einstückig ausgebildet werden.

Die erste Öffnung 41 und die zweite Öffnung 31 des Druckbehälters 30 sind durch eine Bypassleitung 48 miteinander verbunden. Dieser können Sensorelemente 49 zugeordnet sind, um einen Mindestfüllstand, der nicht unterschritten werden sollte, und einen maximalen Füllstand, der nicht überschritten werden sollte, oder einen für den Betrieb hinreichenden Füllstand zu erkennen. Unter Verwendung einer transparenten Leitung ist zudem eine visuelle Füllstandskontrolle möglich. Als kostengünstige Alternative kann so auch ganz auf die Füllstandsensoren 49 verzichtet werden; in diesem Fall ist jedoch keine vollautomatische Befüllung mehr möglich. Die Sensorelemente 49 können alternativ auch dem Behälter 30 direkt zugeordnet sein, wenn keine visuelle Kontrolle gewünscht ist, kann die Bypassleitung 48 in diesem Fall auch entfallen.

Das steuerbare Ventil 44 ist beispielsweise als 5/3-Wegeventil ausgebildet, welches ausgangsseitig neben der Druckleitung 43 mit einer Steuerleitung 52 verbunden ist. Diese Steuerleitung 52 ist mit einer Eingangsöffnung 53 eines Ejektors 54 verbunden. Eine Ausgangsöffnung 55 des Ejektors 54 ist mit einem Schalldämpfer 56 versehen und steht in Kontakt mit der Atmosphäre. Ein Unterdruckanschluss 57 des Ejektors 54 ist mit einem Schaltventil 58, insbesondere einem 2/2-Wegeventil, verbunden, welches über eine weitere Anschlussleitung 59 mit der ersten Öffnung 41 bzw. dem Verteiler 42 verbunden ist. Das Schaltventil 58 wird über eine

Abzweigleitung 61 der Steuerleitung 52 angesteuert. Dadurch kann in einfacher Weise eine Verbindung zwischen dem Unterdruckanschluss 57 des Ejektors und der ersten Öffnung 41 des Druckbehälters 30 geöffnet und geschlossen werden, ohne dass eine manuelle Betätigung des Schaltventils 58 erforderlich ist.

Das steuerbare Ventil 44 weist eingangsseitig einen Anschluss 63 auf, durch den ein Prozessgas aus einem nicht näher dargestellten Speicher zugeführt wird. Des Weiteren weist das steuerbare Ventil 44 Anschlüsse 66 und 67 auf, die jeweils mit einem Schalldämpfer 56 verbunden sind.

Das steuerbare Ventil 44 ist in drei Einstellungen schaltbar. Bei der dargestellten Schaltstellung, der Entlüftungsstellung 72, wird ein Entlüften des Druckbehälters 30 bewirkt. Die obere Schaltstellung betrifft die

Befüllstellung 73 und führt ein Befüllen des Druckbehälters 30 mit

Kühlflüssigkeit herbei. Die untere Schaltstellung des steuerbaren Ventils 44 entspricht einer Betriebsstellung 74 und erzeugt einen Überdruck im

Druckbehälter 30 zur Ausgabe der Kühlflüssigkeit.

Das steuerbare Ventil 44 kann manuell in die einzelnen Schaltstellungen übergeführt werden oder elektrisch durch Ansteuerung der

Steuerungseinrichtung 28. Unabhängig davon ergibt sich folgende

Funktionsweise der Kühlflüssigkeitsversorgungseinrichtung 26:

In der Entlüftungsstellung 72 des steuerbaren Ventils 44, ist der Druckbehälter 30 in einem drucklosen Zustand. Dieser herrscht üblicherweise, wenn die Einrichtung abgeschaltet ist.

Beim Erfordernis, den Druckbehälter 30 mit Kühlflüssigkeit zu füllen, wird das steuerbare Ventil 44 in die Befüllstellung 73 übergeführt. Die

Steuerleitung 52 wird mit Prozessgas beaufschlagt, welches zum einen den Ejektor 54 durchströmt und einen Unterdruck am Unterdruckanschluss 57 erzeugt und zum anderen das Schaltventil 58 in eine Freigabe- Schaltstellung überführt, so dass die Anschlussleitung 59 eine direkte Verbindung zwischen der ersten Öffnung 41 und dem Unterdruckanschluss 57 des Ejektors 54 bildet. Dadurch wird im Druckbehälter 30 ein Unterdruck erzeugt, der auf die Zuführleitung 32 übertragen wird, welche zum

Vorratsbehälter 33 führt. Die Kühlflüssigkeit wird aus dem Vorratsbehälter 33 in den Druckbehälter 30 eingesaugt. Durch das Rückschlagventil 37 in der Anschlussleitung 35 wird keine Fremdluft über den Bearbeitungskopf 21 eingesaugt. Während dem Befüllen steigt das Flüssigkeitsniveau der Kühlflüssigkeit im Druckbehälter 30 gleichermaßen wie in der Bypassleitung 48. Im Falle einer visuellen Überwachung durch den Bediener wird dieser bei genügendem Füllstand das Steuerventil 44 in eine Betriebsstellung 74 oder Belüftungsstellung 72 überführen. Bei einer elektronischen

Überwachung wird, nachdem das obere Sensorelement 49 die Befüllung des Druckbehälters 30 erkennt, ein Signal an die Steuerungseinrichtung 28 weitergeleitet, welche eine entsprechende Information ausgibt. Im Falle der manuellen Bedienung des steuerbaren Ventils 44 wird dies durch ein akustisches Signal oder ein optisches Signal in einer Anzeige der

Steuerungseinrichtung 28 erfolgen. Bei einem elektrisch gesteuerten Ventil 44 wird die Steuerungseinrichtung 28 dieses ansteuern, so dass das Ventil 44 von der Befüllstellung 73 in die Betriebsstellung 74 oder

Belüftungsstellung 72 übergeführt wird.

In der Betriebsstellung 74 wird das Prozessgas über die Druckleitung 43 in den Druckbehälter 30 gefördert. Aufgrund der Drucklosschaltung der Steuerleitung 52 geht das Schaltventil 58 in die in Figur 2 dargestellte Sperrstellung über und schließt die Abzweigleitung 59. Ein Zurückströmen der Kühlflüssigkeit in den Vorratsbehälter 33 wird durch das

Rückschlagventil 34 unterbunden. Das Rückschlagventil 37 ist bevorzugt bezüglich des Öffnungsdrucks einstellbar, so dass erst ab einem

vorbestimmten Öffnungsdruck eine Ausgabe der Kühlflüssigkeit an den Bearbeitungskopf 21 erfolgt. Alternativ kann statt dem Rückschlagventil 37 in der Anschlussleitung 35 oder der Schlauchleitung 27 ein weiteres nicht dargestelltes schaltbares Ventil vorgesehen sein. Die Ausgabe der

Kühlflüssigkeit erfolgt dann nicht automatisch bei einer Betriebsstellung 74 des ersten steuerbaren Ventils 44, sondern kann durch das nicht dargestellte schaltbare Ventil in der Leitung 27 zum Bearbeitungskopf 21 freigegeben werden. Sobald der Druckbehälter 30 entleert ist, wird das steuerbare Ventil 44 aus der Betriebsstellung 74 in die Befüllstellung 73 übergeführt, um ein Befüllen einzuleiten.

Die in Figur 2 beschriebenen Komponenten, mit Ausnahme des

Vorratsbehälters 33 und der Schlauchleitung 27, können in einem Gehäuse 69 angeordnet sein, welches beispielhaft strichliniert dargestellt ist.

Vorzugsweise sind jeweils Schnittstellen zum Anschluss der Schlauchleitung 27 und des Vorratsbehälters 33 vorgesehen. Alternativ zum Vorratsbehälter 33 kann eine Versorgungsleitung oder eine Wasseraufbereitungsanlage vorgesehen sein, welche mit einem Wasseranschluss eines örtlichen

Wasseranschlussnetzes verbindbar ist.

In Figur 3 ist eine alternative Ausführungsform der Kühlflüssigkeitsversor- gungseinrichtung 26 dargestellt. Diese Kühlflüssigkeitsversorgungsein- richtung 26 umfasst einen Druckbehälter 30 mit einer ersten Öffnung 41 und einer zweiten Öffnung 31, die mit der Bypassleitung 48 verbunden sind, und einer dritten Öffnung 45. Die zweite Öffnung 31 des

Druckbehälters 30 ist mit der Anschlussleitung 35 verbunden, in welcher ein nicht dargestelltes Ventil, insbesondere ein Rückschlagventil,

vorgesehen sein kann. Abweichend zur vorstehenden Ausführungsform gemäß Figur 2 ist nunmehr eine Ejektorleitung 60 vorgesehen, welche zur dritten Öffnung 45 des Druckbehälters 30 führt. Der Ejektor 54 ist in der Ejektorleitung 60 so angeordnet, dass seine Ausgangsöffnung 55 mit der dritten Öffnung 45 des Druckbehälters 30 in Verbindung steht. Der

Vorratsbehälter 33 ist an dem Unterdruckanschluss 57 des Ejektors 54 angeschlossen. Des Weiteren ist eine Entlüftungsleitung 50 zwischen dem steuerbaren Ventil 44 und dem Druckbehälter 30 vorgesehen, um den Druckbehälter 30 entlüften zu können. Wie in der vorhergehenden

Ausführungsform ist ein steuerbares Ventil 44, welches vorzugsweise als 5/3-Wegeventil ausgebildet ist, vorgesehen, welches eine

Entlüftungsstellung 72, eine Befüllstellung 73, und eine Betriebsstellung 74 aufweist. Ein Druckbegrenzungsventil 46 ist bevorzugt so angeordnet, dass im Falle eines unzulässigen Überdrucks nur Prozessgas und keine

Kühlflüssigkeit in die Umgebung abgelassen werden.

Bei einer Entlüftungsstellung 72 des steuerbaren Ventils 44 ist die

Gaszuführung verschlossen und die Entlüftungsleitung 50 ist freigegeben. Die erste Öffnung 41 des Druckbehälters 30 steht also mit der Atmosphäre in Kontakt, wodurch eine Entlüftung ermöglicht wird. Zum Befüllen des Behälters 30 wird das steuerbare Ventil 44 in eine Befüllstellung 73 überführt. Dabei wird die Entlüftungsleitung 50 freigegeben und der Anschluss 63 mit der Ejektorleitung 60 verbunden. Der Ejektor 54 wird mit dem Prozessgas durchströmt, wodurch am Unterdruckanschluss 57 des Ejektors 54 die Kühlflüssigkeit aus dem Vorratsbehälter 33 angesaugt wird. Das Prozessgas und die Kühlflüssigkeit werden dem Druckbehälter 30 gemeinsam durch die dritte Öffnung 45 zugeführt. Das Prozessgas kann durch die erste Öffnung 41 des Druckbehälters 30 entweichen, weshalb kein Druckaufbau im Behälter 30 erfolgt und keine Kühlflüssigkeit zum Schneidkopf 21 befördert wird. Der Füllstand kann in derselben Weise wie bei der ersten Ausführungsform überwacht werden. Zum Betrieb der Einrichtung wird das steuerbare Ventil 44 in eine Betriebsstellung 74 überführt, wodurch der Gasanschluss 63 mit der Druckleitung 43 verbunden wird, wodurch das Prozessgas in den Druckbehälter 30 geleitet wird. Die Entlüftungsleitung 50 und die Ejektorleitung 60 sind beide durch das Ventil 44 gesperrt. Eine Strömung des Gases zum Vorratsbehälter 33 wird durch ein Rückschlagventil 34 verhindert. Durch den resultierenden Druckaufbau im Druckbehälter 30 wird das Kühlmittel durch die zweite Öffnung 31 zum Schneidkopf 21 ausgetrieben.