Title:
METHOD FOR PRODUCING CU-GA ALLOY POWDER, CU-GA ALLOY POWDER, METHOD FOR PRODUCING CU-GA ALLOY SPUTTERING TARGET, AND CU-GA ALLOY SPUTTERING TARGET
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/126092
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed are: a method for producing a Cu-Ga alloy powder, by which a high quality Cu-Ga alloy powder can be easily produced; a Cu-Ga alloy powder; a method for producing a Cu-Ga alloy sputtering target; and a Cu-Ga alloy sputtering target. Specifically, a Cu-Ga alloy powder is obtained by stirring and alloying a mixed powder, in which a Cu powder and Ga are blended at a mass ratio from 85:15 to 55:45, in an inert atmosphere at a temperature of 30-700˚C. A Cu-Ga alloy sputtering target is obtained by molding and sintering the Cu-Ga alloy powder.
Inventors:
MORIMOTO, Toshio (ADVANCED MATERIALS DIV., SAGAMI PLANT, 3860, Shimotsuruma, Yamato-sh, Kanagawa 01, 〒2420001, JP)
森本 敏夫 (〒01 神奈川県大和市下鶴間３８６０ 住友金属鉱山株式会社 機能性材料事業部 相模工場内 Kanagawa, 〒2420001, JP)
TAKAHASHI, Tatsuya (ADVANCED MATERIALS DIV., SAGAMI PLANT, 3860, Shimotsuruma, Yamato-sh, Kanagawa 01, 〒2420001, JP)
高橋 辰也 (〒01 神奈川県大和市下鶴間３８６０ 住友金属鉱山株式会社 機能性材料事業部 相模工場内 Kanagawa, 〒2420001, JP)
ANDO, Isao (ICHIKAWA RESEARCH LABORATORIES, 18-5, Nakakokubun 3-chome, Ichikawa-sh, Chiba 88, 〒2728588, JP)
安東 勲雄 (〒88 千葉県市川市中国分３－１８－５ 住友金属鉱山株式会社 市川研究所内 Chiba, 〒2728588, JP)
KOMUKAI, Tetsufumi (ICHIKAWA RESEARCH LABORATORIES, 18-5, Nakakokubun 3-chome, Ichikawa-sh, Chiba 88, 〒2728588, JP)
森本 敏夫 (〒01 神奈川県大和市下鶴間３８６０ 住友金属鉱山株式会社 機能性材料事業部 相模工場内 Kanagawa, 〒2420001, JP)
TAKAHASHI, Tatsuya (ADVANCED MATERIALS DIV., SAGAMI PLANT, 3860, Shimotsuruma, Yamato-sh, Kanagawa 01, 〒2420001, JP)
高橋 辰也 (〒01 神奈川県大和市下鶴間３８６０ 住友金属鉱山株式会社 機能性材料事業部 相模工場内 Kanagawa, 〒2420001, JP)
ANDO, Isao (ICHIKAWA RESEARCH LABORATORIES, 18-5, Nakakokubun 3-chome, Ichikawa-sh, Chiba 88, 〒2728588, JP)
安東 勲雄 (〒88 千葉県市川市中国分３－１８－５ 住友金属鉱山株式会社 市川研究所内 Chiba, 〒2728588, JP)
KOMUKAI, Tetsufumi (ICHIKAWA RESEARCH LABORATORIES, 18-5, Nakakokubun 3-chome, Ichikawa-sh, Chiba 88, 〒2728588, JP)
Application Number:
JP2011/058846
Publication Date:
October 13, 2011
Filing Date:
April 07, 2011
Export Citation:
Assignee:
SUMITOMO METAL MINING CO., LTD. (11-3, Shimbashi 5-chome Minato-k, Tokyo 16, 〒1058716, JP)
住友金属鉱山株式会社 (〒16 東京都港区新橋５丁目１１番３号 Tokyo, 〒1058716, JP)
MORIMOTO, Toshio (ADVANCED MATERIALS DIV., SAGAMI PLANT, 3860, Shimotsuruma, Yamato-sh, Kanagawa 01, 〒2420001, JP)
森本 敏夫 (〒01 神奈川県大和市下鶴間３８６０ 住友金属鉱山株式会社 機能性材料事業部 相模工場内 Kanagawa, 〒2420001, JP)
TAKAHASHI, Tatsuya (ADVANCED MATERIALS DIV., SAGAMI PLANT, 3860, Shimotsuruma, Yamato-sh, Kanagawa 01, 〒2420001, JP)
高橋 辰也 (〒01 神奈川県大和市下鶴間３８６０ 住友金属鉱山株式会社 機能性材料事業部 相模工場内 Kanagawa, 〒2420001, JP)
ANDO, Isao (ICHIKAWA RESEARCH LABORATORIES, 18-5, Nakakokubun 3-chome, Ichikawa-sh, Chiba 88, 〒2728588, JP)
安東 勲雄 (〒88 千葉県市川市中国分３－１８－５ 住友金属鉱山株式会社 市川研究所内 Chiba, 〒2728588, JP)
住友金属鉱山株式会社 (〒16 東京都港区新橋５丁目１１番３号 Tokyo, 〒1058716, JP)
MORIMOTO, Toshio (ADVANCED MATERIALS DIV., SAGAMI PLANT, 3860, Shimotsuruma, Yamato-sh, Kanagawa 01, 〒2420001, JP)
森本 敏夫 (〒01 神奈川県大和市下鶴間３８６０ 住友金属鉱山株式会社 機能性材料事業部 相模工場内 Kanagawa, 〒2420001, JP)
TAKAHASHI, Tatsuya (ADVANCED MATERIALS DIV., SAGAMI PLANT, 3860, Shimotsuruma, Yamato-sh, Kanagawa 01, 〒2420001, JP)
高橋 辰也 (〒01 神奈川県大和市下鶴間３８６０ 住友金属鉱山株式会社 機能性材料事業部 相模工場内 Kanagawa, 〒2420001, JP)
ANDO, Isao (ICHIKAWA RESEARCH LABORATORIES, 18-5, Nakakokubun 3-chome, Ichikawa-sh, Chiba 88, 〒2728588, JP)
安東 勲雄 (〒88 千葉県市川市中国分３－１８－５ 住友金属鉱山株式会社 市川研究所内 Chiba, 〒2728588, JP)
International Classes:
B22F1/00; B22F1/02; B22F3/14; C22C9/00; C23C14/34
Attorney, Agent or Firm:
KOIKE, Akira et al. (32F St. Luke's Tower, 8-1 Akashi-cho, Chuo-k, Tokyo 44, 〒1040044, JP)
Claims: