Verfahren zur Herstellung eines Folienstapels und Anlage zur Herstellung eines Folienstapels

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Folienstapels und eine Anlage zur Herstellung eines

Folienstapels. Solch ein Folienstapel kann ein Zwischenprodukt bei der Herstellung elektronischer Bauelemente sein und beispielsweise Keramikfolien, wie Grünkeramikfolien, umfassen.

Folienstapel umfassen aufeinander geschichtete Folienblätter. Folienstapel können durch händische beziehungsweise manuelle oder automatisierte Verfahren hergestellt werden. Nachteil der händischen Stapelherstellung ist das mögliche Beschädigen der oft sehr dünnen und empfindlichen Folien durch das Handling, wobei Risse, Beulen, Druckstellen, Perforationen, umgeknickte Kanten, Verschiebungen der Folien usw. entstehen können. Die Abfolge der Folienblätter im Stapel kann sehr komplex sein, was Training und eine lang anhaltende und hohe Konzentration der stapelnden Person erfordert. Nichtsdestotrotz ist die Gefahr von Stapelfehlern durch das Abstapeln einer falschen

Folienblattreihenfolge gegeben. Bei händischen Verfahren kann der Ausschuss relativ hoch sein.

Automatisierte Abstapelsysteme haben eine aufwändige Prozess ^¬ technik, um die Folienblätter vor dem eigentlichen Abstapeln auszurichten. Dabei muss die Istposition des Folienblatts mit hochgenauen Visionsystemen über Fiducials bzw. Zentriermarken erfasst und durch hochgenaue Ausrichttische in die benötigte Sollposition zum lagerichtigen Abstapeln gebracht werden.

Zusätzlich ist das Abstapeln dünner Folien gleich oder kleiner 120 μπι, insbesondere gleich oder kleiner 60 μπι, nur

eingeschränkt beziehungsweise überhaupt nicht möglich. Ein weiteres Verfahren zum automatischen Abstapeln sieht vor, dass die Folie direkt in eine Abstapelform gestanzt wird.

Nachteilig wirkt sich dabei aus, dass dadurch Stanzschnipsel leicht mit in die Abstapelform gelangen können, was zu

Qualitätsmängeln und Ausschuss führen kann.

Es stellt sich die Aufgabe ein verbessertes Verfahren

anzugeben, um einen Stapel aus bedruckten und unbedruckten Folien, insbesondere Grünkeramikfolien, in einer gewünschten variablen Höhe mit einer hohen Stapelgenauigkeit und Qualität herzustellen. Zudem soll eine entsprechende Anlage zur

Herstellung eines Stapels angegeben werden.

Die Aufgabe wird durch die in den nebengeordneten

Patentansprüchen angegebenen Maßnahmen gelöst. Weitere

vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den untergeordneten

Patentansprüchen angegeben.

Das Verfahren zur Herstellung eines Folienstapels umfasst: Bereitstellen von Folie, Heraustrennen eines Folienblatts aus der Folie, sodass das Folienblatt in einer vorgegebenen

Position auf einer Trägerplatte positioniert wird, Halten des Folienblatts auf der Trägerplatte in der vorgegebenen

Position, Bewegen der Trägerplatte mit dem gehaltenen

Folienblatt über eine Stapelform, wobei das Folienblatt in der vorgegebenen Position verbleibt, Ablegen des Folienblatts in die Stapelform.

Diese Schritte werden mehrfach wiederholt, dass die in der Stapelform abgestapelten Folienblätter einen Folienstapel bilden .

Die vorgegebene Position ist derart, dass das Folienblatt aus dieser Position genau in der Stapelform beziehungsweise kantengenau auf die abgestapelten Folienblätter in der

Stapelform abgelegt werden kann, nachdem die Trägerplatte über die Stapelform bewegt worden ist. Das Verfahren ermöglicht, einen Stapel aus bedruckten und unbedruckten Folienblättern, insbesondere Grünkeramikfolien- blättern, in einer gewünschten variablen Höhe mit einer hohen Stapelgenauigkeit und Qualität herzustellen. Die Abfolge der Folienblätter im Stapel (gedreht, nicht gedreht, bedruckt, unbedruckt, als Sicherheitslayer ausgebildet usw.) kann dabei frei gewählt werden.

Der Heraustrennen kann vorteilhafterweise mittels Stanzen erfolgen, aber auch andere Trennverfahren, z.B. mittels Laser, sind denkbar. Das Stanzen kann derart erfolgen, dass das

Folienblatt aus der Folie auf die Trägerplatte gestanzt wird, sodass Heraustrennen und Ablegen in einem Schritt erfolgen. Es ist auch denkbar Stanzen und Ablegen beim Heraustrennen in aufeinander folgenden Schritten auszuführen.

Das abzustapelnde Folienblatt wird ab dem Trennschritt, der beispielsweise Ausstanzen vorsieht, auf der Trägerplatte festgehalten und verändert seine Position bis zum Abstapeln in die Stapelform nicht mehr. Damit fallen aufwändige Prozess- schritte zum Ausrichten weg. Zentriermarken für ein solches Ausrichten sind nicht erforderlich. Weitere Verarbeitungs ^¬ schritte zwischen Trennen, beispielsweise durch Ausstanzen, und Ablegen erfolgen auf der Trägerplatte ohne dass die

Position des Folienblatts verändert wird. Solche Schritte können beispielsweise Bedrucken, Trocknen der Bedruckung, Kontrollieren der Bedruckung mit einem Visionsystem sein.

Vorteilhafterweise wird das Folienblatt durch Unterdruck auf der Trägerplatte in seiner vorgegebenen Position gehalten, beispielsweise mittels Unterdruck- oder Vakuumdüsen in der Trägerplatte oder durch Verwendung eines offenporigen, porösen Materials als Trägerplatte. Zum Schutz des Folienblatts und zur Verweidung der Verschmutzung der Trägerplatte kann ein Luft durchlässiges, leicht wechselbares Papier auf der

Trägerplatte fixiert sein, beispielsweise mittels

Randverklebung .

Der Boden der Stapelform ist in einer Ausführung höhenver- stellbar und wird in Richtung der Trägerplatte bewegt, d.h. angehoben, sodass die bereits abgestapelten Folienblätter mit dem von der Trägerplatte gehaltene Folienblatt in Kontakt gebracht werden. Mit anderen Worten: die abgestapelten

Folienblätter werden in der Stapelform auf das von der

Trägerplatte gehaltene Folienblatt zubewegt bis die

abgestapelten Folienblätter das gehaltene Folienblatt

berühren. Somit kann das Folienblatt beim Auflegen auf die abgestapelten Folienblätter nicht seine Position verändern, sodass die Folienblätter im Stapel exakt ausgerichtet sind und deren Kanten übereinander liegen.

Beim Ablegen wird Überdruck zwischen der Trägerplatte und dem Folienblatt eingebracht, beispielsweise durch Druckluft.

Dadurch wird das Folienblatt von der Trägerplatte gelöst.

Der Boden der Stapelform wird nach dem Ablegen des Folienblatts abgesenkt, um das Folienplatt von der Trägerplatte wegzubewegen. Beim Ablegen hat das Folienblatt keine Fallhöhe zu überwinden, was Verschiebungen des Folienblatts beim

Ablegen verhindert.

Der Boden wird nach dem Anheben um dieselbe Wegstrecke, die er angehoben wird, um die abgestapelten Folienblätter in Richtung der Trägerplatte zu bewegen, sowie die Dicke des Folienblatts wieder abgesenkt, sodass die Oberseite der abgestapelten

Folienblätter zwischen den Ablegevorgängen in einer

vorgegebenen Position relativ zur Oberseite der Stapelform sind, unabhängig von der Höhe der bereits abgestapelten

Folienblätter.

Ein erstes Hubmodul kann den Boden um die Wegstrecke anheben und absenken, und ein zweites Hubmodul kann den Boden, schrittweise jeweils, um die Dicke des Folienblatts absenken.

Zwischen den Abstapelvorgängen kann die Stapelform um eine Längsachse gedreht werden, vorteilhafterweise um 90°, 180° oder 270°. Dies ermöglicht gleiche Folien in verschiedener Ausrichtung abzulegen.

Eine Anlage zur Herstellung eines Folienstapels umfasst eine Trennvorrichtung zum Heraustrennen eines Folienblatts aus einer Folie sowie eine Stapelform mit höhenverstellbarem

Boden, dessen Grundfläche mit der des Folienblatts korres- pondiert. Ferner ist eine Trägerplatte vorgesehen, die

geeignet ist, das ausgestanzte Folienblatt in einer

vorgegebenen Position auf der Trägerplatte zu halten und die von der Trennvorrichtung in eine Position über der Stapelform bewegt werden kann, um das Folienblatt zum Abstapeln zu transportieren. Die Anlage, mit der das Verfahren ausgeführt wird, hat geringen Platz- und Flächenbedarf.

Die Trennvorrichtung kann als Stanzvorrichtung ausgebildet sein. In einem Ausführungsbeispiel wird das Folienblatt in die vorgegebene Position auf der Trägerplatte gestanzt.

Die Trägerplatte ist in einer Ausführung ausgebildet, das Folienblatt durch Unterdruck zu halten, beispielsweise durch Vakuum- oder Unterdruckdüsen. Ferner ist Trägerplatte in einer Ausführung ausgebildet, dass Folienblatt durch Überdruck von der Trägerplatte zu lösen, beispielsweise durch Düsen, die zwischen Unterdruck beziehungsweise Vakuum und Druckluft umschaltbar sind. In einem Ausführungsbeispiel sind sowohl Vakuum- oder Unterdruckdüsen als auch Druckluftdüsen

vorgesehen .

Ein erstes Hubmodul ist vorgesehen, um den Boden um eine

Wegstrecke anzuheben und absenken, und ein zweites Hubmodul ist vorgesehen, um den Boden schrittweise jeweils um die Dicke des Folienblatts abzusenken. Das erste Hubmodul kann einen Kurzhubzylinder, beispielsweise einen Pneumatikkurzhubzylinder, umfassen, und das zweite Hubmodul kann einen Servomotor umfassen .

Die Stapelform kann um eine Längsachse drehbar sein,

beispielsweise mittels eines Drehtellers. Damit die

Folienblätter nicht verkanten, hat die Stapelform eine mit einer Fase versehene Innenkante.

Nachfolgend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die

Zeichnung anhand von Ausführungsbeispielen erklärt.

Die Figur 1 zeigt schematisch ein Ausführungsbeispiel einer Anlage zur Herstellung eines Folienstapels.

Die Figur 2 zeigt schematisch ein Ausführungsbeispiel einer Trennvorrichtung .

Die in der Figur 1 veranschaulichte Anlage umfasst eine bewegliche Trägerplatte 1 mittels derer ein Folienblatt 2, vorzugsweise aus einer Keramikfolie, insbesondere aus

Grünkeramikfolie, wie sie in elektronischen Bauelementen verwendet wird, gehalten wird. Die Trägerplatte 1 kann als Metallplatte ausgebildet sein.

In der Trägerplatte 1 können Öffnungen oder Düsen vorgesehen sein, an denen Luft angesaugt und/oder aus denen Druckluft abgegeben werden kann. Die Öffnungen sind im Bereich

vorgesehen, in dem das Folienblatt 2 gehalten wird. Das Halten erfolgt durch Unterdruck beziehungsweise Vakuum, welches entsteht, wenn in den Öffnungen der Druck reduziert wird. Wird aus den Öffnungen Druckluft abgegeben, löst sich das

Folienblatt 2 von der Trägerplatte 1.

Es ist ein Stanzkopf 10 als Trennvorrichtung vorgesehen, mit dem das Folienblatt 2 aus einer Folie gestanzt wird. Das Prinzip ist schematisch in Figur 1 veranschaulicht. Während des Austanzens sind die Trägerplatte 2 und der Stanzkopf benachbart .

Figur 2 zeigt ein Ausführungsbeipiel einer Trennvorrichtung mit einem Stanzstempel 11 und einer Matrize 12. Die Matrize 12 hat eine Öffnung, die mit der Größe der Unterseite des

Stanzstempels 11 und des Folienblattes 2 korrespondiert und durch die sich der Stanzstempel 11 beim Stanzvorgang bewegt. Stanzstempel 11, Matrize 12 und Trägerplatte 1 können mit kombinierten Vakuum-Druckluft-Düsen (nicht dargestellt) versehen sein, die zwischen Druckluft und Vakuum umschaltbar sind. Die Folie 14 kann beispielsweise über eine Folienrolle 13 zugeführt werden, sodass sie vor dem Stanzen zwischen

Stanzstempel 11 beziehungsweise Matrize 12 und Trägerplatte 1 positioniert ist. Die bahnförmige Folie 14 kann über die

Düsen, an denen Luft angesaugt wird, an der Matrize 12 und am Stanzstempel 11 gehalten werden. Der Stanzstempel 11 stanzt das Folienblatt 2 aus der Folie 14 aus und die Düsen am

Stanzstempel 11 werden zum Lösen des Folienblatt 2 auf Druckluft umgeschaltet, sodass das Folienblatt 2 in einer vorgegebenen Position auf der Trägerplatte 1 positioniert wird. Nach dem Stanzen wird der Bereich, aus dem das

Folienblatt 2 gestanzt worden ist und der nunmehr Abfall ist, entgegen der Richtung zur Rolle 13 wegbewegt, sodass Folie 14 von der Rolle 13 gezogen wird und die Öffnung in der Matrize 12 von der Folie 14 bedeckt ist, damit ein weiteres

Folienblatt 2 ausgestanzt werden kann. Ein Transfer des Folienblatts 2 auf die Trägerplatte oder ein Justieren der Position des Folienblatts 2 auf der Trägerplatte

1 entfällt. Alternativ kann auch ein Transfer des Folienblatts

2 auf die Trägerplatte 1 unmittelbar nach dem Ausstanzen erfolgen. Das ausgestanzte Folienblatt 2 wird durch die

Trägerplatte 1 gehalten, wie in Figur 1 gezeigt. Seine

Position auf der Trägerplatte 1 bleibt während möglicher

Zwischenschritte und während der, durch den waagerechten Pfeil angedeuteten, Bewegung der Trägerplatte 1 unverändert. Die Anlage umfasst ferner eine Stapelform 5 oder Kaverne mit einem höhenverstellbaren Boden 4, wie in Figur 1 dargestellt. In der Stapelform 5 befinden sich die abgestapelten Folienblätter 3. Der Boden 4 kann über eine Hubeinrichtung in der Höhe schnell verstellt werden, welches ein erstes und ein zweites Hubmodul umfasst. Die Hubeinrichtung umfasst einen Servomotor 8 mit einer Spindel 7, beispielsweise einer

Kugelumlaufspindel , im zweiten Hubmodul und einen Kurzhub ^¬ zylinder 6, beispielsweise einen Pneumatik-Kurzhubzylinder, im ersten Hubmodul, die beide hintereinander geschaltet sind. Der Servomotor 8 und die Spindel 7 dienen als Spindelhubmodul 9, durch das der Boden 4 und der Kurzhubzylinder 6 vertikal bewegt werden können. Der Kurzhubzylinder 6 ist mit dem Boden 4 der Stapelform 5 verbunden, beispielsweise über eine Stange. Sowohl der Kurzhubzylinder 6 als auch der Servomotor 8 sind geeignet, den Boden 4 relativ zu den Seitenwänden der Stapelform 5 zu bewegen.

Die Verarbeitungsabfolge zur Herstellung eines Folienstapels kann Ausstanzen, Bedrucken, Trocknen der Bedruckung,

Kontrollieren der Bedruckung mit einem Visionsystem und

Abstapeln in der Stapelform 5 umfassen. Das abzustapelnde und ausgestanzte Folienblatt 2 wird nach dem Ausstanzen von der Folienrolle durch Unterdruck beziehungsweise Vakuum auf der Trägerplatte 1 festgehalten und verändert seine Position auf der Trägerplatte 1 bis zum Abstapeln in die hochgenaue

Stapelform 5 nicht mehr. Damit fallen aufwändige Prozess ^¬ schritte und Maßnahmen zum Ausrichten des Folienblatts 2 weg. Zentriermarken auf den Folienblättern 2 sind nicht erforder- lieh. Die Bewegung der Trägerplatte 1 kann auf dem Weg von der Trennvorrichtung 10, 11, 12 bis zur Stapelform 5 sowohl

Translation als auch Rotation umfassen. Rotation tritt auf, wenn die Trägerplatte 1 mit dem obenauf befindlichen

Folienblatt 2 um 180° beziehungsweise nahezu 180° gedreht wird, sodass das Folienblatt 2 auf den unter der Trägerplatte 1 befindlichen Stapel gelegt werden kann. Die dem Austanzen folgenden Prozessschritte können beispielsweise an einzelnen Prozessstationen (nicht dargestellt) erfolgen, zu denen die Trägerplatte 1 mit dem Folienblatt 2 bewegt wird.

In einem Ausführungsbeispiel sind eine Vielzahl von

Trägerplatten 1 vorgesehen, von denen jeweils eine oder mehrere gleichzeitig an den einzelnen Prozessstationen

befinden, was die Herstellungsgeschwindigkeit für den

Folienstapel erhöht. Die Trägerplatten 1 werden schrittweise von der Trennvorrichtung 10, 11, 12 über die verschiedenen Prozessstationen zur Stapelform 5 bewegt, wobei die

Folienblätter 2 auf den einzelnen Trägerplatten 1 in ihrer vorgegebenen Position verbleiben. Das Abstapeln der Folienblätter 2 in die Stapelform 5 oder Kaverne ist ein zentraler Punkt. Die Abstapelform 5 verfügt über einen beweglichen Boden 4, der über die Hubeinrichtung mit Kurzhubzylinder 6 und Spindelhubmodul 9 in der Höhe schnell verstellt werden kann. Der Kurzhubzylinder 6 vollführt das Abholen des Folienblatts 2 von der Trägerplatte 1. Der Boden 4 mit den darauf abgestapelten Folienblättern 3 wird zur Trägerplatte 1 gefahren, vorteilhafterweise ohne dass der Servomotor 8 einen Betrag zu dieser Bewegung leistet. Nach dem Ablegen des Folienblatts 2 wird der Boden 4 durch den

Kurzhubzylinder 6 abgesenkt. Der Auf- und Abwärtshub, d.h. die Wegstrecken, die der Boden 4 durch den Kurzhubzylinder 6 auf- und abwärts bewegt wird, sind gleich groß. Nach dem Ablegen jedes abgestapelten Folienblatts 2 korrigiert der Servomotor 8 die Position des Bodens 4 in der Stapelform 5 um die

Foliendicke, um trotz zunehmender Stapelhöhe die gleichen Abstapelbedingungen zu erreichen. Dadurch ist die

Stapelqualität auch bei hohen Stapeln gleichmäßig, und die Stapelung ist exakt.

Zusätzlich kann die Stapelform 5 eine schnelle Drehbewegung um 180° ausführen. Diese Drehbewegung erfolgt zwischen dem

Abstapeln zweier Folienblätter 2. Die geometrische Genauigkeit der Stapelform 5 bestimmt die

Stapelgenauigkeit. Die Grundfläche des Bodens 4 entspricht der der Folienblätter 2. Auch sind die Seitenflächen der

Stapelform 5 über die komplette Höhe der Stapelform 5 sehr maßgenau und mit geringer Streuung gefertigt, typischerweise besser als +/-8 μπι. Ein anderes Merkmal der Stapelform 5 ist, dass die Innenkante mit einer Fase 0,05x45° bis 0,1x45° versehen wird, um das Abstapeln beziehungsweise Übergeben des Folienblatts 2 zur Stapelform 5 zu stabilisieren und

prozesssicher zu gestalten. Das Abstapeln der Folienblätter 2 erfolgt in folgender Weise: Die Trägerplatte 1, welche das Folienblatt 2 mittels

Unterdruck beziehungsweise Vakuum hält, wird zum Abstapeln über die Stapelform 5 bewegt. Die Trägerplatte 1 wird mit einem konusförmigen Stift und Buchse (nicht dargestellt) positionsrichtig zentriert und mit der Stapelform 5 in Kontakt gebracht, beispielsweise indem die Trägerplatte 1 auf dem Rand der Stapelform 5 aufliegt. Anschließend wird der Boden 4 mit den eventuell schon abgestapelten Folienblättern 3 vom

Kurzhubzylinder 6 soweit hochgefahren (z.B. um 3 mm), bis er mit dem abzustapelnden Folieblatt 2 in Kontakt kommt.

Alternativ kann die Übergabe des Folienblatts 2 auch

eingeleitet werden, indem die Trägerplatte 1 über der

Stapelform 5 abgesenkt wird und gleichzeitig der Boden 4 mit Hilfe des Kurzhubzylinders 6 angehoben wird bis die

abgestapelten Folienblätter 3 an das Folienblatt 2 an der Trägerplatte 1 anschlagen. Durch diesen Presskontakt

einerseits und durch das Umschalten vom Plattenvakuum auf Druckluft, indem beispielsweise die Düsen vom Unterdruckbe- trieb auf Druckluftausgabe umgeschaltet werden, andererseits wird das Folienblatt 2 von der Trägerplatte 1 zur Stapelform 2 prozesssicher und mit hoher Genauigkeit übergeben. Die

Folienblattübergabe erfolgt durch Umschalten von Unterdruck beziehungsweise Vakuum auf Druckluft in der Trägerplatte 1 und gleichzeitiges Absenken des Bodens 4 mit dem Kurzhubzylinder 6 und Foliendickenkorrektur durch den Servomotor 8. Mit anderen Worten: Der Kurzhubzylinder 6 senkt den Boden 4 wieder, z.B. um 3 mm, ab. Zusätzlich korrigiert der Servomotor 8 die

Position des Bodens 4 um die abgestapelte Foliendicke nach unten. Die Trägerplatte 1 wird wieder von der Stapelform 5 abgehoben und weitergetaktet. Optional kann auch die

Stapelform 5 um 180° gedreht werden. Die nächste Trägerplatte 1 wird an die Position über die Stapelform 5 gebracht und der Ablauf beginnt von vorne, bis die gewünschte Stapelhöhe erreicht ist.

Das beschriebene Verfahren erlaubt das sichere und genaue Abstapeln auch sehr dünner Folien, beispielsweise mit einer Dicke bis hinab zu 15 μπι. Die Folienformate können 4 -f- 12 Zoll, vorzugsweise 4 -^ 8 Zoll, betragen.

Es sei bemerkt, dass die Merkmale der Ausführungsbeispiele kombinierbar sind.

Bezugszeichen

1 Trägerplatte

2 Folienblatt

3 abgestapelte Folienblätter

4 Boden

5 Stapelform

6 Pneumatikkurzhubzylinder

7 Spindel

8 Servomotor

9 Spindelhubmodul

10 Stanzkopf

11 Stanzstempel

12 Matrize

13 Folienrolle

14 Folie