Technisches Gebiet

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer

Hartstoffschicht auf einem Substrat, wobei eine TiCNB Hartstoffschicht auf dem Substrat abgeschieden wird. Das Verfahren dient bevorzugt zur Herstellung von Zerspanwerkzeugen zum Drehen, Fräsen oder anderen spanenden

Bearbeitungsverfahren.

Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung eine Hartstoffschicht sowie ein Zerspanwerkzeug, bevorzugt einen Schneidkörper oder eine

Wendeschneidplatte.

Stand der Technik Es ist bekannt, zur Erhöhung der Verschleißbeständigkeät auf

verschietßbeanspruchten Zerspanwerkzeugen und anderen Bauteilen

TiCNB Hartstoffbeschichtungen aufzubringen. Entsprechende

Zerspanwerkzeuge werden beispielsweise in Form von Schneidkörpern oder Wendeschneidplatten in Dreh- und Fräsvorrichtungen verwendet.

Die jeweilige Hartstoffbeschichtung wird dabei üblicherweise mittels

physikalischer oder chemischer Schichtabscheidung aus der Dampfphase beziehungsweise der Gasphase auf ebenfalls verschleißbeständige

Substratwerkstoffe abgeschieden. Ais Substratwerkstoffe werden hier beispielsweise Hartmetalle, Cermets, Hartstoffe oder Werkzeugstähle verwendet.

Unter Hartmetall wird ein Verbundwerkstoff verstanden, welcher üblicherweise eine Hauptphase aus Wolframcarbid (WC) sowie gegebenenfalls Phasen von weiteren Carbiden und einen metaliischen Binder beziehungsweise eine entsprechende metallische Matrix umfasst. Als metallische Matrix werden üblicherweise Cobalt, Nickel und/oder Eisen eingesetzt. Als weitere Carbide können Carbide von Metallen der vierten (Titangruppe), fünften

(Vanadiumgruppe) und sechsten (Chromgruppe) Nebengruppe, also

beispielsweise von Tantal, Niob, Hafnium, Zirkon, etc., verwendet werden.

Unter Cermets werden Verbundwerkstoffe verstanden, die bezüglich der Carbide Titancarbid als Hauptphase enthalten. Typischerweise wird der Hauptanteil des Binders durch Nickel und/oder Cobalt gebildet.

Unter Hartstoffen versteht man Werkstoffe mit einer Härte von mehr als

10 GPa. Werkzeugstähle wiederum sind nach DIN 17300 Stähle, welche durch ihre Anwendung in Werkzeugen definiert werden.

Bei den Beschichtungsverfahren kann die Beschichtung der entsprechenden Substrate zur Herstellung der Zerspanwerkzeuge auf chemischem oder auf physikalischem Wege erfolgen. Entsprechende Beschichtungsverfahren sind das CVD-Verfahren, welches auch als chemische Gasphasenabscheidung (englisch: chemtcal vapour deposition) bekannt ist, sowie das PVD-Verfahren, welches auch als physikalische Gasphasenabscheidung (englisch: physical vapour deposition), bekannt ist.

Beim CVD-Verfahren, welches im Nachfolgenden hauptsächlich betrachtet werden wird, werden im Wesentlichen drei unterschiedliche Arten der

Prozessführung unterschieden. Das HT-CVD Verfahren, welches auch als Hochtemperatur-CVD Verfahren bekannt ist, wird bei Temperaturen von ca. 900 °C bis 1100 °C durchgeführt. Das MT-CVD Verfahren, welches auch als Mitteltemperatur-CVD Verfahren bekannt ist, wird bei Temperaturen von ca. 700 °C bis 900 °C durchgeführt. Weiterhin ist ein PA-CVD Verfahren, oder auch Plasmaaktiviertes-CVD Verfahren, bekannt, welches bei Temperaturen von 450 °C bis 650 °C durchgeführt wird, welches aber im Nachfolgenden nicht weiter betrachtet wird.

Bei dem CVD-Verfahren werden unter Grobvakuumbedingungen (10 ³ bis 10 ⁵ Pa) und unter Zufuhr von Wärme- oder Strahlungsenergie chemische Reaktionen ausgelöst, weiche neben den flüchtigen Produkten die dann technisch nutzbare Hartstoffschicht auf dem entsprechenden Substrat ergeben.

Bezüglich der TiCNB Hartstoffbeschichtungen ist es bekannt, diese aus einem Gassystem bestehend aus TiCU, CH , N ₂ , H ₂ und BCI ₃ in einem HT-CVD Verfahren auf einem Substrat abzuscheiden, wobei hier Temperaturen von 950 °C bis 1050 °C verwendet werden. Dieses Verfahren ist beispielsweise in H. Hofzschuh, in: G. Kneringer, P. Rödhammer, H. Wildner (Herausgeber), Plansee Seminar, Plansee Holding AG, Reutte, 2001, Vol. 2, Seiten 441 ff., beschrieben.

Aus der genannten Veröffentlichung ist auch ein T-CVD Verfahren bekannt, mittels welchem eine TiCNB Hartstoffschicht bei Temperaturen von 700 °C bis 900 °C auf einem Substrat abgeschieden wird. Das Gassystem ist gegenüber dem HT-CVD Verfahren dahingehend verändert, dass anstelle des im HT-CVD Verfahren verwendeten Methans (CH ₄ ) nun Acetonitn! (CH ₃ CN), also ein Nitril, als organischer Precursor verwendet wird. Durch die Verwendung des gegenüber dem Methan deutisch reaktiveren Aceton itrils kann auf diese Weise eine Abscheidung der TiCNB Hartstoffschicht auch bei den im

MT-CVD Verfahren verwendeten niedrigeren Temperaturen erreicht werden.

Bei dem genannten MT-CVD Verfahren zum Abscheiden einer TiCNB

Hartstoff besch ichtung auf einem Substrat unter Verwendung von Acetonitn! ist jedoch das Atomverhältnis von Kohlenstoff C zu Stickstoff N in dem TiC _x N _y Bi. _x-y System auf 0,50 <X£ 0,67 beschränkt. Durch die Verwendung des Acetonitriis als organischen Precursor ist zwar aufgrund dessen höherer Reaktivität eine Abscheidung des TiCNB bei den im MT-CVD niedrigeren Temperaturen von 700 °C bis 900 °C möglich, das Atomverhältnis von Kohlenstoff zum Stickstoff kann jedoch in dem TiC _x N _1-x System nicht über X=0,67 hinaus erhöht werden (siehe auch A. Larsson, S. Ruppi, Thin Solid Films 402/1-2 (2002),

Seiten 203 ff.). Diese Begrenzung der möglichen Zusammensetzungen der TiCNB Hartstoffschicht im MT-CVD Verfahren ergibt sich aus dem durch das Acetonitri! beschränkten Angebotsverhältnis aus Kohlenstoff zu Stickstoff. im MT-CVD Verfahren kann aufgrund der gegenüber dem HT-CVD Verfahren niedrigeren Temperaturen eine Entkohlung der Grenzfläche des Substrats während der Abscheidung im CVD-Reaktor reduziert werden und entsprechend kann die Ausbildung einer spröden Eta-Phase (η-Phase) im Bereich der

Grenzfläche des Substrats auf diese Weise verringert oder vermieden werden. Durch die Verringerung oder Vermeidung der Ausbildung der Eta-Phase können die Haftungseigenschaften der TiCNB Hartstoffschicht auf dem Substrat verbessert werden und damit können die Eigenschaften des auf diese Weise hergestellten Zerspanwerkzeugs verbessert werden .

Weiterhin ist es bekannt, dass das Dotieren eines TiCN-Systems mit Bor die Härte der abgeschiedenen Hartstoffschicht weiter erhöhen kann (siehe auch H. Holzschuh, in: G. Kneringer, P. Rödhammer, H. Wildner (Herausgeber),

Plansee Seminar, Plansee Holding AG, Reutte, 2001, Vol. 2, Seiten 441 ff.). Bekannt ist es aber auch, dass bei Beschichtungstemperaturen oberhalb von 900 °C durch Bordiffusion eine spröde Cobalt-Wo!fram-Bor Phase an der entsprechenden Grenzfläche auftritt, welche sich negativ auf die

Zerspanungseigenschaften der auf diese Weise hergestellten Hartstoffschicht auswirken kann (siehe auch H. Holzschuh, in: G. Kneringer, P. Rödhammer, H. Wildner (Herausgeber), Plansee Seminar, Plansee Holding AG, Reutte, 2005, Seiten 80W.).

Darstellung der Erfindung

Ausgehend von dem bekannten Stand der Technik ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zur Herstellung einer Hartstoffschicht auf einem Substrat, sowie eine Hartstoffschicht und ein Zerspanwerkzeug mit weiter verbesserten Eigenschaften bezüglich der Verschleißfestigkeit anzugeben.

Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den abhängigen

Unteransprüchen.

Entsprechend wird in dem Verfahren zur Herstellung einer Hartstoffschicht auf einem Substrat eine TiCNB Hartstoffschicht durch chemische

Gasphasenabscheidung (CVD) aus einem Gassystem umfassend einen

Titanträger, einen Borträger, mindestens einen Stickstoffträger und mindestens einen Kohlenstoffträger abgeschieden. Erfindungsgemäß umfasst der

Kohlenstoffträger ein Alkan mit mindestens zwei C-Atomen, ein Alken oder ein Alkin.

Bevorzugt ist der Kohlenstoffträger ein Alkan mit mindestens zwei C-Atomen, ein Alken oder ein Alkin.

Unter einem Alkan mit mindestens zwei C-Atomen werden die Alkane ab Ethan (C2H ₆ ) verstanden, entsprechend mit einer allgemeinen Summenformel C _n H2n+2 mit n=2, 3, 4, ... .

Alkene werden durch die allgemeine Summenformel C _n H2n mit n=2, 3, 4, ... beschrieben.

Alkine werden durch die allgemeine Summenformel C _n H _2n -2 mit n=2, 3, 4, ... beschrieben.

Durch die Verwendung eines Alkans mit mindestens zwei C-Atomen, eines Alkens oder eines Alkins kann mit dem CVD Verfahren eine

TiCNB Hartstoffschicht auf dem Substrat abgeschieden werden, wobei das Kohlenstoff-zu-Stickstoff Verhältnis frei eingestellt werden kann. Gegenüber dem üblicherweise verwendeten Methan weisen die genannten Alkane, Alkene und AJkine eine höhere Reaktivität auf, so dass die Abscheidung der TiCNB Schicht bereits bei niedrigeren Temperaturen und besonders auch im MT-CVD Verfahren stattfinden kann. Weiterhin ergibt sich auch bei niedrigeren Reaktionstemperaturen nicht die Beschränkung des Kohlenstoff-zu-Stickstoff Verhältnisses, welches durch die herkömmliche Verwendung von Acetonitril vorgegeben war, sondern das Koh!enstoff-zu-Stickstoff Verhältnis im auf dem Substrat abgeschiedenen TiC _x N _y Bi. _x-y System kann prinzipiell zwischen 0 <X< 1 eingestellt werden.

Bevorzugt ist es 0,70 < X < 1 ,0, besonders bevorzugt 0,75 < X < 0,85, bei einer Reaktionstemperatur von 750 °C bis 930 °C. Die genaue Zusammensetzung der auf dem Substrat abgeschiedenen Hartstoffschicht kann beispielsweise mittels des GDOES Verfahrens ermittelt werden. Dadurch, dass eine TiCNB Hartstoffschicht auf dem Substrat abgeschieden werden kann, bei welcher der Kohlenstoff zu Stickstoff Anteil innerhalb eines deutlich größeren Bereichs eingestellt werden kann als in den herkömmlichen MT-CVD Verfahren, und gleichzeitig die Vorteile des MT-CVD Verfahrens beibehalten werden können, nämlich dass durch die niedrigere Temperatur im Reaktor eine Verringerung oder Vermeidung einer Unterkühlung des Substrats stattfindet, kann eine besonders leistungsfähige Hartstoffschicht ausgebildet werden. Durch die mögliche Verringerung der Reaktionstemperaturen wird weiterhin die Ausbildung einer spröden Eta-Phase an der Grenzfläche zwischen dem Substrat und der Beschichtung reduziert beziehungsweise im

Wesentlichen vermieden. Auch auf diese Weise können die

Zerspanungseigenschaften einer auf diese Weise hergestellten Hartstoffschicht auf dem Substrat verbessert werden. Insbesondere werden auch die

Haftungseigenschaften der Hartstoffschicht auf dem Substrat auf diese Weise verbessert, da die Haftung zwischen der Hartstoffschicht und dem Substrat auf einer Grenzschicht stattfindet, welche im Wesentlichen frei von einer Eta-Phase ist.

Der Kohlenstoffträger ist in dem oben beschriebenen Verfahren bevorzugt Ethan (C ₂ H ₆ ), Ethen (C ₂ H ₄ ), oder Ethin {C2H2). Diese Kohlenstoffträger weisen eine entsprechend hohe Reaktivität auf, um eine Abscheidung der TiCNB Hartstoffschicht bei niedrigeren Temperaturen zu erreichen. Besonders bevorzugt wird Ethan (C ₂ H ₆ ) als Kohlenstoffträger verwendet. Ethan bietet neben seiner hohen Reaktivität auch eine einfache Handhabung im MT-CVD Verfahren. Aufgrund dem gegenüber dem herkömmlichen MT-CVD Verfahren verwendeten Acetonitril ist Ethan ungleich reaktiver. Entsprechend führen bereits geringe Dosierungsänderungen des Ethans zu großen Änderungen in der Reaktion zur Abscheidung der TiCNB Hartstoffschicht auf dem Substrat. Bevorzugt ist der Kohienstoffträger bei Raumtemperatur flüssig oder gasförmig, um die Verarbeitung im MT-CVD-Verfahren zu vereinfachen. Unter

Raumtemperatur wird hier eine Temperatur von 293K (20 °C) verstanden.

Bevorzugt wird als Titanträger TiCI ₄ , als Borträger BCI ₃ und als

Stickstoffträger N2 verwendet. Das Gassystem kann weiter bevorzugt H ₂ als Ausgleichsgas sowie besonders bevorzugt mindestens ein weiteres

Ausgleichsgas wie beispielsweise Argon aufweisen.

Das Verfahren wird bevorzugt bei einer Temperatur von 750 °C bis 930 °C, bevorzugt von 800°C bis 900 °C, durchgeführt, um eine Ausbildung einer spröden Eta-Phase an der Grenzfläche des Substrats zu reduzieren

beziehungsweise ganz zu verhindern. Aufgrund der höheren Reaktivität des verwendeten Kohlenstoffträgers findet dennoch eine zuverlässige Abscheidung der TiCNB Hartstoffschicht auf dem Substrat statt, insbesondere bei einem voreingesteliten Kohlenstoff-zu-Stickstoff Verhältnis.

Mit Vorteil wird das Verfahren bei einem Druck von 50 mbar bis 1000 mbar, bevorzugt von 80 mbar bis 500 mbar, durchgeführt. Hierbei handelt es sich um bevorzugte Drücke, um in einem CVD Prozess die gewünschten

Hartstoffschichten abzuscheiden.

Bevorzugt wird vor dem Aufbringen der TiCNB Hartstoffschicht auf das Substrat eine Diffusionsbarriere, bevorzugt Titannitrid (TiN), aufgebracht. Die Dicke der Diffusionsbarriere ist dabei bevorzugt 0,4 pm bis 1 pm. Auf diese Weise kann eine Diffusion von Bor in das Substrat verringert beziehungsweise verhindert werden und entsprechend eine spröde Wolfram-Cobalt-Bor Phase an der Grenzfläche vermieden beziehungsweise verringert werden. Dadurch kann das Haftvermögen der TiCNB Hartstoffschicht auf dem Substrat verbessert werden und die Zerspanungseigenschaften eines auf diese Weise hergestellten

Zerspanwerkzeugs verbessert werden.

Auf der TiCNB Haftstoffschicht können weiterhin bevorzugt eine oder mehrere Deckschichten und/oder Funktionsschichten angebracht werden, beispielsweise eine Aluminiumoxid (Al ₂ O ₃ )-Schicht, besonders bevorzugt eine Korundschicht (α-Αί ₂ θ ₃ ) oder eine Zr(C,N)-Schicht. Auf diese Weise kann die Härte der Oberflächen noch besser an die jeweilig beabsichtigten

Anwendungen angepasst werden. Weiterhin können als Funkttons- und/oder Deckschichten oberhalb der TiCNB-Schicht auch Schicht(en) aus Nitriden, Carbiden, Carbon itriden, Carboxynitriden und/oder Bomitriden basierend auf Ti ausgebiidet sein, die zusätzlich auch noch Anteile von AI, Zr, Hf, Ta und/oder Nb enthalten können.

Je nach Anwendungsbereich des jeweiligen Zerspanwerkzeugs werden bevorzugt unterschiedliche Schichtdicken der TiCNB Schicht abgeschieden, wobei die TiCNB Schicht bevorzugt in einem Bereich von 1 pm bis 15 pm, bevorzugt in einem Bereich von 2 pm bis 12 pm, auf dem Substrat

abgeschieden wird. Für Zerspanwerkzeuge für Fräsanwendungen wird bevorzugt eine TiCNB Schicht der Dicke in einem Bereich von 3 pm bis 4 pm abgeschieden, für Zerspanwerkzeuge zum Drehen von Werkstücken wird bevorzugt eine TiCNB Hartstoffschicht der Dicke 10 pm abgeschieden.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung des Verfahrens wird als Substrat ein Hartmetall, ein Cermet, ein Hartstoff oder ein Werkzeugstahl verwendet, wobei das Substrat vor dem Aufbringen der jeweiligen Beschichtung bevorzugt vorbehandelt, besonders bevorzugt poliert, wird.

Die TiCNB Schicht beziehungsweise die aufgebrachte Hartstoffschicht, bevorzugt in Verbindung mit der jeweiligen Deckschicht, wird bevorzugt nachbehandelt, beispielsweise durch Nassstrahlen, Trockenstrahlen oder Färben, wobei hier bevorzugt die Oberflächenstruktur und/oder die

Oberflächenrauhigkeit an den jeweiligen vorgesehenen Anwendungsbereich angepasst wird.

Die Härte der TiCNB Schicht kann durch das Einstellen des Borgehaltes in dem Gassystem weiter erhöht werden. Die TiCNB Hartstoffschicht auf dem Substrat weist dann einen Borgehalt von bis zu 5 At.-%, bevorzugt bis zu 1 At -%, mindestens aber 0,01 At.-% auf, gemessen mit dem GDOES Verfahren.

Bezogen auf die Summenformel TiC _x NyB _1-x-y bedeutet dies:

0,01 At.-% < 1-x-y 5 5 At-%, bevorzugt 0,01 At-% < 1-x-y £ 1 At-%.

Die oben genannte Aufgabe wird weiterhin durch eine Hartstoffschicht auf einem Substrat gelöst, wobei die Hartstoffschicht nach dem vorbeschriebenen Verfahren hergestellt ist.

Die oben genannte Aufgabe wird weiterhin auch durch ein Zerspanwerkzeug, bevorzugt einen Schneidkörper oder eine Wendeschneidplatte, umfassend ein Substrat gelöst, wobei eine Hartstoffschicht nach dem vorbeschriebenen Verfahren auf dem Substrat aufgebracht ist.

Die Aufgabe wird weiterhin durch ein Zerspanwerkzeug mit den Merkmalen des Anspruchs 11 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den von diesem Anspruch abhängigen Unteransprüchen.

Entsprechend weist das Zerspanwerkzeug ein Substrat aus Hartmetall auf, auf welchem eine TiCHB Hartstoffschicht aufgebracht ist, wobei das Verhältnis der Kohlenstoffatome zu den Stickstoffatomen in dem auf dem Substrat

abgeschiedenen TiC _x N _y B _1-x-y System 0,70 < X < 1 ,0, bevorzugt 0,75 .s X < 0,85, ist. Erfindungsgemäß ist das Schliffbild nach einer Murakami-Ätzung im

Wesentlichen frei von einer Eta-Phase.

Der Schliff wird dabei in einer Ebene, welche im Wesentlichen senkrecht zur Ebene der Grenzfläche zwischen Substrat und Beschichtung liegt, angelegt Der Schliff wird anschließend poliert und dann einer Murakami-Ätzung unterzogen, wobei der Schliff bei Raumtemperatur bei einer kurzen Einwirkzeit von 1-2s mit der Standard Murakami Ätzflüssigkeit bestehend aus 10 g KOSH, 10 g K ₃ Fe(CN) ₆ , und 10 mml H ₂ 0 behandelt wird. Die nachfolgende

Betrachtung des so vorbereiteten Schliffbildes erfolgt mitteis eines

Lichtmikroskops bei 1.000 facher Vergrößerung.

Im Schliffbild wird die Eta-Phase durch die entsprechende Murakami-Ätzung sichtbar gemacht. Durch das oben beschriebene Beschichtungsverfahren wird, wie bereits diskutiert, eine Abscheidung von TiCNB mit einem TiC _x N _y Bi _-x-y

System bei 0,70 X -S 1 ,0, bevorzugt bei 0,75 < X < 0,85 bereits bei geringeren Temperaturen möglich. Entsprechend kommt es im Wesentlichen zu keiner Ausbildung einer Eta-Phase an der Grenzfläche des Substrats durch eine temperaturgetriebene Unterkohlungsreaktion, wodurch eine Verbesserung der Eigenschaften der Hartstoffbeschichtung erreicht werden kann.

Bevorzugt ist im Schliffbild in einem Tiefenbereich im Substrat von 0,4 pm bis 1 pm ab der Grenzfläche zwischen dem Substrat und der Besch ichtung keine Eta-Phase nachweisbar. Besonders bevorzugt ist überhaupt keine Eta-Phase im entsprechend behandelten Schliffbild nachweisbar.

Mit Vorteil weist das Zerspanwerkzeug eine TiCNB Schicht mit einer Dicke von 1 pm bis 15 pm, bevorzugt eine Dicke von 2 pm bis 12 pm auf, und besonders bevorzugt für Fräsanwendungen eine Dicke von 3 pm bis 4 pm, und besonders bevorzugt für Drehanwendungen eine Dicke von 10 pm.

Vorteilhaft ist das Substrat des Zerspanwerkzeugs vor dem Aufbringen der jeweiligen Beschichtung vorbehandelt, bevorzugt poliert. Um eine besonders vorteilhafte Anwendbarkeit des Zerspanwerkzeugs zu erreichen, ist die TiCNB Hartstoffschicht bevorzugt nachbehandelt und die Oberflächenstruktur und/oder die Oberflächenrauhigkeit an die jeweilige Anwendung angepasst, besonders bevorzugt durch Nassstrahlen,

Trockenstrahlen und/oder Färben. Kurze Beschreibung der Figuren

Bevorzugte weitere Ausführungsformen und Aspekte der vorliegenden

Erfindung werden durch die nachfolgende Beschreibung der Figuren näher erläutert. Dabei zeigen:

Figur 1 die Oberflächenstrukturen und Schnittstrukturen der TiCNB

Hartstoffschicht bei unterschiedlichen Borgehalten, Figur 2 Diagramme bezüglich Dreh- und Frästests, welche an den mit unterschiedlichen Borgehalten hergestellten TiCNB Hartstoffschichten durchgeführt wurden, und

Schliffbilder von mit unterschiedlichen Borgehalten hergestellten TiCNB Hartstoffschichten auf einem Substrat.

Detaillierte Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele Im Folgenden werden bevorzugte Ausführungsbeispiele anhand der Figuren beschrieben. Dabei werden gleiche, ähnliche oder gleichwirkende Elemente mit identischen Bezugszeichen bezeichnet und auf eine wiederholte Beschreibung dieser Elemente wird teilweise verzichtet, um Redundanzen in der

Beschreibung zu vermeiden.

Nachfolgend wird das Verfahren zur Herstellung von TiCNB Hartstoffschichten auf einem Substrat noch einmal exemplarisch anhand eines Beispieles erläutert. Grundsätzlich wird die TiCNB Hartstoffschicht auf dem Substrat durch chemische Gasphasenabscheidung, also CVD, aus einem Gasgemisch umfassend einen Titanträger, bevorzugt TiCU, einen Borträger, bevorzugt BCI ₃ , einen Stickstoffträger, bevorzugt N ₂ , und einen Kohlenstoffträger, hergestellt. Ais Kohlenstoffträger wird ein Alkan mit mindestens zwei C-Atomen, also ab C ₂ H ₆ (Ethan), ein Alken, bevorzugt Ethen (C ₂ H ₄ ), oder ein Alkin, bevorzugt Ethin (C ₂ H ₂ ), verwendet. Eine Abscheidung einer TiCNB Schicht mit einem freieinstellbaren

Atomverhältnis der Kohlenstoffatome zu den Stickstoffatomen in dem

TiC _x NyB _-x . _y System von 0 <> X < 1 , bevorzugt 0, 10 < X 0,90, ist auf diese Weise auch bei Temperaturen unterhalb von 930 °C möglich. Durch die Verwendung eines besonders reaktiven organischen Precursors in Form des Ethans, Ethens oder Ethins können auf diese Weise auch TiCNB

Hartstoff schichten hergestellt werden, welche einen hohen Kohlenstoffgehalt aufweisen. Der höhere Kohlenstoffgehalt führt zu einer weiteren

Härtesteigerung der TiCNB Hartstoffschicht, wobei eine solche

Zusammensetzung durch die Verwendung von Alkanen, Alkenen oder Alkinen als dem organischen Precursor und der damit verbundenen erhöhten

Reaktivität im MT-CVD Verfahren auf dem Substrat abgeschieden werden kann. Die niedrigeren Temperaturen des MT-CVD Verfahrens führen aber gleichzeitig dazu, dass die Ausbildung einer spröden Eta-Phase verringert oder ganz vermieden wird, so dass im Vergleich die Zähigkeit des Schneideinsatzes der auf diese Weise hergestellten TiCNB Hartstoffschicht gegenüber der im herkömmlichen HT-CVD Verfahren hergestellten verbessert ist. Auf diese Weise lassen sich entsprechend Schneidkörper für Zerspanwerkzeuge mit verbesserten Eigenschaften herstellen. Nachfolgend wird ein konkretes Ausführungsbeispiel angegeben:

Beispiel Vier unterschiedliche Beschichtungen wurden mittels einer kommerziell erhältlichen SuCoTec SCT600 TH CVD Einheit auf Substraten aufgebracht. Die unterschiedlichen Beschichtungen unterschieden sich im Gehalt des Borträgers im zur Abscheidung der TiCNB verwendeten Gassystem. Als Substrat wurde ein Hartmetall mit 12 Gew.-% Cobalt und 11 Gew.% Mischkarbiden verwendet, welches vor der Beschichtung poliert wurde. Auf dem Substrat wurde eine 0,4 μιη starke TiN Diffusionsbarriere abgeschieden. Dann wurde eine TiC _x N _y B _1-x-y Schicht auf der TiN Diffusionsbarriere

abgeschieden. Die Abscheidung wurde mittels eines Gassystems unter Verwendung von TiCI ₄ , C ₂ H ₆ , H ₂ , N ₂ , BCI ₃ bei 920 °C und bei einem Druck von 1 ,6 x 10 ⁴ Pa durchgeführt. Die Grundzusammensetzung des Gassystems zur Herstellung der TiC _x N _y Bi. _x . _y Schicht war 23,3 vol.-% N ₂ , 1 ,2 vol.-% TiCf ₄ , 1 ,5 vol.-% C ₂ H ₆ , und H ₂ zum Ausgleich. Der gesamte Gasfluss war 65,4 l/min. Als organischer Precursor wurde entsprechend Ethan verwendet.

Vier unterschiedliche Besch ichtungen wurden durch das Hinzufügen von steigenden BCI ₃ Anteilen zu dem genannten Gassystem von Oppm, 150 ppm, 380 ppm und 1070 ppm hergestellt. Eine Abscheidungszeit von 60 Minuten für die TiN Diffusionsbarriere und von 470 Minuten für die TiCNB Lage wurde für alle erzeugten Beschichtungen konstant gehalten.

Die auf diese Weise hergestellten, beschichteten Substrate wurden wie nachfolgend beschrieben analysiert.

Die Beschichtungsdicke wurde mittels optischer Lichtmikroskopie an polierten Querschnitten von Substraten an drei Positionen innerhalb des CVD-Reaktors bestimmt. Die Massenzunahme wurde unter Verwendung von einer

Präzisionswaage an 33 Proben aus der Gesamtprobenanzahl gemessen.

Eine Bestimmung der Oberflächentopographie und der Struktur eines

Bruchquerschnitts wurde unter Verwendung eines Zeiss ULTRA 55 plus Scanning Electron Microscops (SEM) durchgeführt. Die entsprechenden Ergebnisse sind in Figur 1 zu erkennen.

In Figur 1 steigen die Borgehalte von links nach rechts an, in Übereinstimmung mit den im Gassystem verwendeten BCI ₃ Anteilen von 0, 150, 380 und 1070 ppm. Diese im Gassystem verwendeten Borg ehalte resultieren in den in der Figur genannten Borgehalten der TiCNB Schicht von < 0,01 , 0,04, 0,12 und 3,96 At.-%. Die entsprechenden chemischen Zusammensetzungen der TiCN basierten Beschichtungen, und insbesondere die Bestimmung des Borgehaltens in den jeweiligen Beschichtungen, wurde unter Verwendung eines Jobin-Yvon Horiba JY 10000 Glow Discharge Optica! Emission Spectroscope (GDOES) gemessen. Aus der Figur 1 ergeben sich unterschiedliche Oberflächentopographien, wobei bei bis zu 0, 2 At.-% Borgehalt der Hartstoffschicht gleichförmige Körner erkannt werden können, welche auf eine stabile Oberfläche schließen lassen. Bei 3,96 At.-% Borgehalt kippt die Oberflächentopographie hin zu einer lameliaren Struktur. Hierbei wird entsprechend bezüglich der

Kristallmorphologie ein Übergang von der äquiaxialen, gleichförmigen

Körnergröße zu einer lameliaren Struktur beobachtet, bei welcher die Körner vollständig aufgebrochen werden. Eine solche lamellare Struktur ist zur

Beschichtung von Zerspanwerkzeugen nur eingeschränkt geeignet. Entsprechend wird in dem hier vorgestellten Verfahren zur Herstellung einer TiCNB Hartstoffschicht der Borgehalt bevorzugt so eingestellt, dass er in der Schicht einen Anteil von bis zu 5 At-%, bevorzugt bis zu 1 At.-%, mindestens aber 0,01 At-% aufweist, gemessen mit GDOES. Die auf die oben genannte Weise hergesteilten Substrate, welche als

Schneidkörper ausgebildet sind, wurden sowohl einem Drehtest als auch einem Frästest unterzogen. Der Drehtest war als ein Segmentdrehtest ausgebildet, welcher eine Kombination von Stirnflächen- und Längsdrehvorgang darstellt, und wurde an einem niedrig legierten Stahl nach DIN 1 225(42CR O4) mit einer Schneidgeschwindigkeit v _c =220 m/min, einer Vorschubgeschwindigkeit f = 0,4 mm unter Verwendung einer Kühlflüssigkeit durchgeführt.

Die Frästests wurden mit WC-Co Substraten mit 10 Gew.-% Cobalt in einer RPHX 1204 MO-ENM 31 Geometrie durchgeführt. Der Frästest war ein Einkantenfrästest mit einer Schnittgeschwindigkeit v _c =220 m/min und einer Vorschubgeschwindigkeit pro Zahn von f ₂ =0,4mm, einer Schnitttiefe a _p 2,5 mm, und einer Kontaktbreite von a _e =40mm an einem martensitischen Stahl nach DIN 1.4021(X20Cr13) in einem Trockenfräsvorgang.

In Figur 2 sind die aus den Dreh- und Frästests erhaltenen Ergebnisse dargestellt, wobei in dem oberen Diagramm die Drehtests und in dem unteren Diagramm die Frästests dargestellt sind. Dabei ist jeweils der

Freiflächenverschleiß der Hauptschneide (VbH) in Millimeter über der Standzeit (Anzahl der Segmente bei Drehtest; Fräszeit bei Frästest) aufgetragen. Bei einem Freiflächenverschleiß von 0,3 mm wird von einer Unbrauchbarkeit des Schneideinsatzes ausgegangen. Wie aus den Diagrammen ersichtlich ist, zeigen die Tests gute Ergebnisse der erfindungsgemäßen Schneideinsätze. Eine Verbesserung der Abnutzungseigenschaften konnte bei dem

kontinuierlichen Drehvorgang bei einem niedrigen Borgehalt von 0,04 At.-% der TiCNB Hartstoffbeschichtung gefunden werden. Bei einem maximalen Anteil von 3,96 At-% wurde eine steigende Tendenz der Kraterabnutzung beziehungsweise Flankenabnutzung beobachtet.

Auch beim Fräsen konnte eine Verbesserung bei 0,04 At.-% und bei 0,12 Ai.-% Borgehalt in der TiCNB Beschichtung gefunden werden. Die Leistungsfähigkeit nahm für den höchsten Anteil von 3,96 At.-% Bor deutlich ab. In einem weiteren Versuch wurden die in Figur 3 gezeigten Schliffbilder hergestellt. Hierzu wurden jeweils die bei 0 ppm, 150 ppm, 380 ppm und 070 ppm hergestellten Substrate in einem Schiiffbiid präpariert und nach dem urakami Verfahren angeätzt. Mittels dieses selektiven Ätzvorganges kann die Eta-Phase an der Grenzfläche 3 zwischen dem Substrat 1 und der TiCNB Schicht 2 herausgearbeitet werden.

Die Durchführung einer Murakami-Ätzung ist im Bereich der Metallurgie bekannt. Die Standard Murakami Ätzflüssigkeit ist aus 10 g KOH, 10 g

K ₃ Fe(CN) ₆ , und 10 mml H ₂ 0 ausgebildet. Die mittels dieser Ätzflüssigkeit angeätzten Schliffbilder zeigen beispielsweise deutliche Abätzungen im Bereich der jeweiligen Sigma-Phase. im durchgeführten Ätzprozess wird die spröde Eta-Phase durch die Murakami Ätzflüssigkeit abgeätzt, so dass diese in der nachfolgenden Lichtmikroskopbetrachtung deutlich sichtbar wird.

Die Murakami Ätzflüssigkeit ist auch das bekannteste Reagenz zur

Herausarbeitung der Struktur in WC-Co Legierungen, Murakami's Reagenz betont dabei die Karbidkörner und verdunkelt sie leicht, wohingehend die Co-Bindermatrix unberührt bleibt. Es ist bekannt, die Murakami Ätzflüssigkeit bei WC-Co und anderen komplex gesinterten Karbiden zu verwenden und die jeweilige Probe Sekunden bis zu Minuten einzutauchen, um die Gefügestruktur sichtbar zu machen. Bei einer Verwendung von 2 bis 10 Sekunden kann die Eta-Phase farbig markiert werden. Bei längeren Ätzzeiten wird die Eta-Phase angegriffen. Die Ätzflüssigkeit wird üblicherweise bei 20 °C verwendet.

Um die Eta-Phase in dem Schliffbild sichtbar zu machen, wurde der Schliff dabei in einer Ebene, welche im Wesentlichen senkrecht zur Ebene der Grenzfläche 3 zwischen Substrat 2 und Beschichtung 1 lag, angelegt. Der Schliff wurde poliert und dann einer Murakami-Ätzung unterzogen, wobei der Schliff bei Raumtemperatur bei einer kurzen Einwirkzeit von 1 -2s mit der

Standard Murakami Ätzflüssigkeit bestehend aus 10 g KOH, 10 g K ₃ Fe(CN) ₆ , und 10 mm! H ₂ 0 behandelt wurde. Die nachfolgende Betrachtung des so vorbereiteten Schliffbildes erfolgte mittels eines Lichtmikroskops bei 1.000 facher Vergrößerung.

Figur 3 zeigt die entsprechenden Schliffbilder. Wie sich aus den Schliffbildern ergibt, ist eine Eta-Phase an der Grenzfläche 3 zwischen dem Substrat 1 und der TiCNB Hartstoffschicht 2 bei einem Boranteii von 0 ppm im Wesentlichen nicht nachweisbar. Hieraus kann geschlossen werden, dass eine

Unterkohlungsreaktion durch die Ha rtstoffbesch ichtu ng im Wesentlichen nicht stattfindet, so dass sich die spröde Eta-Phase nicht ausbildet. Ein Fehlen der Unterkohlungsreaktion beziehungsweise ein Fehlen der Eta-Phase wird der Durchführung des Verfahrens als MT-CVD Verfahren mit den entsprechenden niedrigen Temperaturen zugeschrieben. Es wird daher auch bei den anderen Schliffbildem davon ausgegangen, dass die etwaige Ausbildung einer

Eta-Phase nicht durch eine temperaturinduzierte Unterkohlungsreaktion an der Grenzfläche 3 stattfindet.

Auch aus den Schnittbildern in Figur 3 für die 150ppm und 380ppm lässt sich ebenfalls im Wesentlichen keine Eta-Phase erkennen.

Mit steigendem Boranteil steigt allerdings die Wahrscheinlichkeit dafür, dass sich eine spröde Wolfram-Cobalt-Bor-Phase an der Grenzfläche 3 ausbildet. Die sich so ausbildende Wolfram-Cobalt-Bor-Phase ist jedoch nicht auf eine Unterkohlungsreaktion durch die erhöhten Temperaturen innerhalb des

CVD-Reaktors zurückzuführen, da in dem vorgeschlagenen Verfahren die eigentlichen Reaktionstemperaturen niedrig liegen.

Insbesondere kann das vorgeschlagene Verfahren auch als MT-CVD Verfahren bei Temperaturen von 750 °C bis 930 °C durchgeführt werden, wobei aufgrund des verwendeten organischen Precursors in Form der Alkane mit mindestens zwei C-Atomen, der Alkene oder Alkine dann immer noch die jeweiligen Kohlenstoffgehaite in der TiCNB Schicht frei eingestellt werden können.

Durch die Verwendung der Alkane, Alkene beziehungsweise Alkine kann auf diese Weise erreicht werden, dass zum einen eine harte TiCNB Schicht auf dem Substrat 1 aufgebracht wird, und andererseits kann aber die Ausbildung einer spröden Eta-Phase im Bereich der Grenzfläche 3 im Wesentlichen vermieden werden. Hieraus ergeben sich verbesserte Eigenschaften des auf diese Weise hergestellten Schneidwerkzeugs.

Zerspanwerkzeug

Entsprechend wird ein Zerspanwerkzeug für eine Zerspanvorrichtung hergestellt, welches ein geeignetes Substrat, bevorzugt ein Hartmetallsubstrat, in der vorgegebenen Geometrie aufweist. Das Zerspanwerkzeug kann beispielsweise in Form eines Schneidkörpers für Dreh- und Fräsvorrichfungen oder in Form einer Wendeschneidplatte vorgesehen sein.

Auf dieses Substrat wird dann mit dem oben angegeben Verfahren eine TiCNB Hartstoffbeschichtung aufgebracht, wobei die TiCNB

Hartstoffbeschichtung ein TiC _x N _y B _1-x-y System mit einem

Kohlenstoff-zu-Stickstoff Verhältnis von 0,70 < X 1,0, bevorzugt

0,75 < X < 0,85, aufweist. Nach Präparation eines Schliffbildes und Murakami-Ätzung in der oben beschriebenen Form zeigt das Schliffbild im Wesentlichen keine Eta-Phase.

Zur Herstellung eines Zerspanwerkzeugs wird bevorzugt auf der TiCNB Hartstoffschicht mindestens eine Deckschicht und/oder eine Funktionsschicht aufgebracht, bevorzugt eine Aluminiumoxidschicht, besonders bevorzugt eine Korundschicht und/oder eine Zirkonschicht, um die Oberflächeneigenschaften weiter an die jeweiligen Anwendungen anzupassen.

Weiterhin kann, um eine Anpassung der Oberflächenstruktur und/oder der Oberflächenrauhigkeit an die jeweilige Anwendung zu erreichen, die TiCNB Hartstoffschicht einer Nachbehandlung unterzogen werden. Diese Nachbehandlung kann beispielsweise durch Nassstrahlen, Trockenstrah ien und/oder Färben durchgeführt werden. Auch eine eventuell aufgebrachte Deckschicht und/oder Funktionsschicht kann einer solchen Nachbehandlung unterzogen werden.

Soweit anwendbar können alle einzelnen Merkmale, die in den einzelnen Ausführungsbeispielen dargestellt sind, miteinander kombiniert und/oder ausgetauscht werden, ohne den Bereich der Erfindung zu verlassen.