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Patent Searching and Data


Title:
METHOD FOR PRODUCING A PLANAR COIL ASSEMBLY AND A SENSOR HEAD PROVIDED WITH SAME
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2019/197500
Kind Code:
A1
Abstract:
The aim of the invention is to improve the precision when using inductive components. According to the invention, this is achieved by a method for producing a planar coil assembly (32) which has n planar coil units (10) arranged one over the other, wherein n is a natural number greater than 1, having the steps of a) producing an i-th planar coil unit (10) by manufacturing at least one planar coil (12) made of an electric conductor with the aid of a computer, said planar coil having a thickness di,PS on an insulating material layer (14) made of electric insulating material with a layer thickness di, IM, where i equals 1 to n, and b) assembling the planar coil units (10) in layers with the interposition of the insulating material layer (14) between the planar coils (12), wherein the thickness di.PS and the thickness di,IM are selected such that (formula I) applies.

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Inventors:
SCHWERSENZ, Anatol (Zeilbaumweg 18, Öhringen, 74613, DE)
RIESLING, Viktoria (Silvanerweg 13/1, Niedernhall, 74676, DE)
SCHWIERTZ, Sebastian (Thomas-Mann-Straße 22/1, Schwäbisch Hall, 74523, DE)
Application Number:
EP2019/059162
Publication Date:
October 17, 2019
Filing Date:
April 10, 2019
Export Citation:
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Assignee:
TRAFAG AG (Industriestrasse 11, 8608 Bubikon, 8608, CH)
International Classes:
H01F5/00; G01L3/10; H01F41/04
Domestic Patent References:
WO2012152515A12012-11-15
WO2018019859A12018-02-01
WO2010065113A12010-06-10
WO2011138232A12011-11-10
WO2011152994A12011-12-08
Foreign References:
US20150302967A12015-10-22
US20170365386A12017-12-21
DE4105999A11992-06-25
US20100194513A12010-08-05
DE102016122172A12018-01-25
US3311818A1967-03-28
EP0384042A21990-08-29
DE3031997A11982-03-11
US3011340A1961-12-05
US4135391A1979-01-23
DE102009008074A12010-08-12
DE8511143U11985-06-27
EP2107577A12009-10-07
DE102017112913A12018-12-13
Other References:
"Sensors: Magnetic sensors", 1989, VCH-VERL.-GES., article "Magnetoelastic sensors", pages: 97 - 152
Attorney, Agent or Firm:
KASTEL PATENTANWÄLTE PARTG MBB et al. (St. Cajetan Str. 41, München, 81669, DE)
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Claims:
Ansprüche:

1. Verfahren zum Herstellen einer Planarspulenanordnung (32), die n übereinander angeordnete Planarspuleneinheiten (10) aufweist, wobei n eine natürliche Zahl größer 1 ist, umfassend

a) Herstellen einer i-ten Planarspuleneinheit (10) durch computergestützte Fertigung wenigstens einer aus einem elektrischen Leiter gebildeten Planarspule (12) mit einer Planarspulendicke di.ps auf einer Isoliermaterialschicht (14) aus elektrischen Isolationsmaterial mit einer Schichtdicke di, IM, für i gleich 1 bis n und b) schichtweises Anordnen der Planarspuleneinheiten (10) unter

Zwischenlage der Isoliermaterialschicht (14) zwischen den Planarspulen (12), wobei die Dicken di.ps und di.iM derart gewählt werden, dass gilt:

0,6 < DPS < 0,9,

Dm+Dps

wobei Dps=Ef=i di,ps die Summe der Dicken di.ps der Planarspulen und

DIM= ?=I diJM die Summe der Dicken der Isoliermaterialschichten ist.

2. Verfahren nach Anspruch 1 ,

gekennzeichnet durch

c) elektrisches Verbinden übereinander angeordneter Planarspulen (12) der Planarspuleneinheiten (10), um wenigstens eine Magnetspule zu bilden.

3. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche, dadurch

gekennzeichnet, dass in Schritt b) zwischen jeder Planarspule (12) nur eine einzelne Isoliermaterialschicht (14) mit ihrer Dicke di, IM angeordnet wird.

4. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet, dass Schritt a) wenigstens einen, mehrere oder alle der folgenden Schritte umfasst: a1 ) computergestütztes Herstellen mehrerer in einer Ebene liegenden

Planarspulen (12) pro Planarspuleneinheit (10),

a2) symmetrisches computergestütztes Herstellen mehrerer in einer Ebene liegenden Planarspulen (12) pro Planarspuleneinheit (10);

a3) computergestütztes Herstellen von Planarspulen (12) unterschiedlicher Planarspuleneinheiten (10) symmetrisch zueinander;

a4) symmetrisches Aufbauen von Planarspulen (12) einer Planarspuleneinheit (10) und der Planarspulen (12) mehrerer der Planarspuleneinheiten (10) durch das computergestützte Herstellen;

a5) Durchführen des computergestützten Herstellens durch lithografisches Herstellen der wenigstens einen Planarspule (12),

a6) computergestütztes Herstellen der wenigstens einen Planarspule (12) pro Planarspuleneinheit (10) auf einer Isoliermaterialschicht (14), die ausgewählt ist aus der Gruppe von Isoliermaterialien, die ein Leiterplattenbasismaterial, eine Prepregschicht und ein Kunststoffmaterial umfasst;

a7) Herstellen der wenigstens einen Planarspule (12) mit mehreren

voneinander getrennten Spulenbahnen;

a8) Herstellen einer zentralen Generatorplanarspule und wenigstens einer ersten, einer zweiten und einer dritten Messplanarspule pro Planarspuleneinheit in punktsymmetrischer Anordnung zueinander;

a9) Herstellen einer zentralen Generatorplanarspule und wenigstens einer ersten, einer zweiten, einer dritten und einer vierten Messplanarspule pro

Planarspuleneinheit in achsensymmetriescher oder punktsymmetrischer

Anordnung zueinander.

5. Verfahren nach einem der voranstehenden Ansprüche,

gekennzeichnet durch

d) Schaffen wenigstens einer Durchgangsöffnung (26) durch ein Zentrum übereinanderliegender Planarspulen (12) der Planarspuleneinheiten (10).

6. Verfahren nach Anspruch 5,

gekennzeichnet durch einen, mehrere oder alle der folgenden Schritte:

6.1 elektrisches Verbinden übereinanderliegenden Planarspulen (12) mittels wenigstens einer Durchkontaktierung (24) an der wenigstens eine

Durchgangsöffnung (26);

6.2 Einfügen eines Flusskonzentrators in die wenigstens eine

Durchgangsöffnung (26);

6.3 Durchführen von Schritt d) derart, dass die Isoliermaterialschichten (14) vor Schritt a) und/oder vor Schritt b) oder nach Schritt b) mit dem jeweiligen Bereich der Durchgangsöffnung (26) versehen werden.

7. Verfahren zum Herstellen eines Sensorkopfes für einen Drehmoment- oder Kraftsensor, der eine Generatorspule zum Erzeugen eines Magnetfeldes und wenigstens eine erste und eine zweite Messspule zum Messen einer Änderung eines in einen Messkörper induzierten Magnetfeldes aufweist, umfassend

Durchführen des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6 zum Herstellen der Generatorspule und der Messspulen.

8. Sensorkopf, erhältlich mit einem Verfahren nach Anspruch 7.

Description:
Verfahren zum Herstellen einer Planarspulenanordnung sowie eines damit versehenen Sensorkopfes

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen einer Planarspulenanordnung mit mehreren übereinander angeordneten Planarspuleneinheiten. Weiter betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines Sensorkopfes für einen

Drehmomentsensor oder Kraftsensor unter Durchführung des Verfahrens zum Herstellen einer Planarspulenanordnung. Schließlich betrifft die Erfindung einen durch solche Verfahren erhältlichen Sensorkopf.

Insbesondere befasst sich die Erfindung mit einer besonders vorteilhaften

Herstellung eines Sensorkopfes für einen Drehmomentmessgeber und einen Drehmomentsensor, mit dem Drehmoment an einer Welle unter Erfassung von Magnetfeldänderungen gemessen werden können. Derartige

Drehmomentsensoren, die Drehmomente in Wellen aufgrund von

Magnetfeldänderungen erfassen, sowie die wissenschaftlichen Grundlagen hierfür sind in folgenden Literaturstellen beschrieben:

D1 HINZ, Gerhard; VOIGT, Heinz; BOLL, R.; OBERSHOTT, K. J. (Hrsg.):

Chapter 4 - Magnetoelastic sensors. In: Sensors: Magnetic sensors.

Weinheim [u. a.]: VCH-Verl.-Ges., 1989 (Sensors: A comprehensive survey; 5). S. 97-152. - ISBN 3-527-26771-9

D2 US 3 311 818 A

D3 EP 0 384 042 A2

D4 DE 30 31 997 A1

D5 US 3 011 340 A

D6 US 4 135 391 A

D7 DE 10 2009 008 074 A1

D8 WO 2012/152515 A1

D9 DE 85 11 143 U1 Insbesondere eine Bauart von Drehmomentmessgebern, wie sie in der D4 (DE 30 31 997 A1 ) beschrieben ist, hat sich als besonders wirkungsvoll für die Messung von Drehmomenten in Wellen und anderen Messstellen herausgestellt.

Eine besonders vorteilhafte Herstellweise zum Herstellen eines Sensorkopfes für einen derartigen Kraftsensor oder Drehmomentsensor ist in der folgenden

Literaturstelle beschrieben und dargestellt:

D10 WO 2018/019859.

Demnach werden eine Generatorspule zum Erzeugen eines Magnetfeldes sowie Messspulen zum Messen von Magnetfeldänderungen durch übereinander liegende und miteinander über Vias oder Durchkontaktierungen verbundene Planarspulen gebildet. Demnach ist in dem Dokument D10 ein Verfahren zum Herstellen einer Planarspulenanordnung, die n übereinander angeordneten Planarspuleneinheiten aufweist, beschrieben, wobei n eine natürliche Zahl größer 1 ist, wobei das Verfahren die Schritte umfasst:

a) Herstellen einer i-ten Planarspuleneinheit wenigstens einer aus einem elektrischen Leiter gebildeten Planarspule mit einer Planarspulendicke di.ps auf einer Isoliermaterialschicht aus elektrischen Isolationsmaterial mit einer

Schichtdicke di , IM, für i gleich 1 bis n und

b) schichtweises Anordnen der Planarspuleneinheiten unter Zwischenlage der Isoliermaterialschicht zwischen den Planarspulen,

Auch aus den folgenden Literaturstellen sind Verfahren zum Herstellen von Planarspulenanordnungen bekannt:

D11 EP 2 107 577 A1

D12 WO 2010/065113 A1

D13 WO 2011/138232 A1

Eine besonders bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung sieht die Nutzung von flexiblen Leiterplatten (Englisch: flexible printed circuits) und deren Anwendung vor. Als Literaturstelle hierzu wird insbesondere auf die

D14 WO 2011/152994 A1 verwiesen.

Die Erfindung hat sich zur Aufgabe gestellt, ein Verfahren zum Herstellen einer Planarspulenanordnung zur Verwendung in derartigen Sensorköpfen von

Drehmomentsensoren oder Kraftsensoren derart zu verbessern, dass unter kostengünstiger Fertigung genauere Messungen ermöglicht sind.

Zum Lösen dieser Aufgabe schafft die Erfindung ein Verfahren mit den Schritten des Anspruches 1. Gemäß einem weiteren Aspekt schafft die Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines Sensorkopfes unter Verwendung des

Planarspulenanordnungsherstellverfahrens gemäß dem Nebenanspruch. Weiter schafft die Erfindung ein mit einem derartigen Sensorkopfherstellverfahren erhältlichen Sensorkopf.

Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der Unteransprüche.

Die Erfindung schafft gemäß einem Aspekt davon ein Verfahren zum Herstellen einer Planarspulenanordnung, die n übereinander angeordnete

Planarspuleneinheiten aufweist, wobei n eine natürliche Zahl größer 1 ist, umfassend

a) Herstellen einer i-ten Planarspuleneinheit durch computergestützte

Fertigung wenigstens einer aus einem elektrischen Leiter gebildeten Planarspule mit einer Planarspulendicke di.ps auf einer Isoliermaterialschicht aus elektrischen Isolationsmaterial mit einer Schichtdicke di , IM, für i gleich 1 bis n und

b) schichtweises Anordnen der Planarspuleneinheiten unter Zwischenlage der Isoliermaterialschicht zwischen den Planarspulen,

wobei die Dicken di.ps und di.iM derart gewählt werden, dass gilt:

0,6 < D PS < 0,9,

D m +Dps

wobei Dps=Ef=i d i ,p s die Summe der Dicken di.ps der Planarspulen und

DIM= ?=I d iJM die Summe der Dicken der Isoliermaterialschichten ist.

Mit anderen Worten werden 60 bis 90% der Gesamtdicke der wenigstens einen durch die einzelnen Planarspulen gebildeten Spule durch das elektrische Leitermaterial und entsprechend nur 40 bis 10% der Gesamtdicke durch das Isoliermaterial gebildet.

Vorzugsweise umfasst das Verfahren elektrisches Verbinden übereinander angeordneter Planarspulen der Planarspuleneinheiten, um wenigstens eine Magnetspule zu bilden.

Es ist bevorzugt, dass in Schritt b) zwischen jeder Planarspule nur eine einzelne Isoliermaterialschicht mit ihrer Dicke di, IM angeordnet wird.

Es ist bevorzugt, dass Schritt a) den Schritt umfasst:

a1 ) computergestütztes Herstellen mehrerer in einer Ebene liegenden

Planarspulen pro Planarspuleneinheit.

Es ist bevorzugt, dass Schritt a) den Schritt umfasst:

a2) symmetrisches computergestütztes Herstellen mehrerer in einer Ebene liegenden Planarspulen pro Planarspuleneinheit.

Es ist bevorzugt, dass Schritt a) den Schritt umfasst:

a3) computergestütztes Herstellen von Planarspulen unterschiedlicher

Planarspuleneinheiten symmetrisch zueinander.

Es ist bevorzugt, dass Schritt a) den Schritt umfasst:

a4) symmetrisches Aufbauen von Planarspulen einer Planarspuleneinheit und der Planarspulen mehrerer der Planarspuleneinheiten durch das computergestützte Herstellen;

Es ist bevorzugt, dass Schritt a) den Schritt umfasst:

a5) Durchführen des computergestützten Herstellens durch lithografisches

Herstellen der wenigstens einen Planarspule,

Es ist bevorzugt, dass Schritt a) den Schritt umfasst:

a6) computergestütztes Herstellen der wenigstens einen Planarspule pro

Planarspuleneinheit auf einer Isoliermaterialschicht, die ausgewählt ist aus der Gruppe von Isoliermaterialien, die ein Leiterplattenbasismaterial, eine

Prepregschicht und ein Kunststoffmaterial umfasst.

Es ist bevorzugt, dass Schritt a) den Schritt umfasst:

a7) Herstellen der wenigstens einen Planarspule mit mehreren voneinander getrennten Spulenbahnen.

Es ist bevorzugt, dass Schritt a) den Schritt umfasst:

a8) Herstellen einer zentralen Generatorplanarspule und wenigstens einer ersten, einer zweiten und einer dritten Messplanarspule pro Planarspuleneinheit in punktsymmetrischer Anordnung zueinander.

Es ist bevorzugt, dass Schritt a) den Schritt umfasst:

a9) Herstellen einer zentralen Generatorplanarspule und wenigstens einer ersten, einer zweiten, einer dritten und einer vierten Messplanarspule pro

Planarspuleneinheit in achsensymmetriescher oder punktsymmetrischer

Anordnung zueinander.

Eine besonders bevorzugte Ausgestaltung des Verfahrens ist gekennzeichnet durch

d) Schaffen wenigstens einer Durchgangsöffnung durch ein Zentrum

übereinanderliegender Planarspulen der Planarspuleneinheiten.

Vorzugsweise umfasst das Verfahren den Schritt:

elektrisches Verbinden übereinanderliegenden Planarspulen mittels wenigstens einer Durchkontaktierung an der wenigstens eine Durchgangsöffnung.

Vorzugsweise umfasst das Verfahren den Schritt:

Einfügen eines Flusskonzentrators in die wenigstens eine Durchgangsöffnung. Vorzugsweise umfasst das Verfahren den Schritt:

Durchführen von Schritt d) derart, dass die Isoliermaterialschichten vor Schritt a) und/oder vor Schritt b) oder nach Schritt b) mit dem jeweiligen Bereich der Durchgangsöffnung versehen werden. Gemäß einem weiteren Aspekt schafft die Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines Sensorkopfes für einen Drehmoment- oder Kraftsensor, der eine

Generatorspule zum Erzeugen eines Magnetfeldes und wenigstens eine erste und eine zweite Messspule zum Messen einer Änderung eines in einen Messkörper induzierten Magnetfeldes aufweist, umfassend Durchführen des Verfahrens gemäß einer der voranstehenden Ausgestaltungen zum Herstellen der

Generatorspule und der Messspulen.

Weiter schafft die Erfindung einen Sensorkopf, der mit einem solchen

Sensorkopfherstellverfahren erhältlich ist.

Bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung schaffen verbesserte Verfahren zur Herstellung von Planarspulenanordnungen. Besonders bevorzugt wird dabei eine neue PCB-Spulentechnologie eingesetzt.„PCB“ ist die Abkürzung für den englischen Begriff„printed Circuit board“. Demnach ist insbesondere eine

Herstellweise der Spulen in Leiterplattentechnologie vorgesehen.

Vorzugsweise werden die Planarspulen auf einer flexiblen Leiterplatte hergestellt.

Vorzugsweise werden mehrere Planarspulen auf einer Ebene gemeinsam einer flexiblen Leiterplatte hergestellt.

Allgemein ist eine Idee, die Spulen mittels computergestützter Fertigung herzustellen. Unter computergestützter Herstellung werden Herstellverfahren verstanden, aus denen unmittelbar unter Verwendung von CAD-Daten die

Herstellung durchgeführt wird. Besonders bevorzugt werden hierzu

Lithographieverfahren verwendet, bei denen aus CAD-Daten erhältliche Muster auf ein Substrat, wie insbesondere ein Leiterplattensubstrat belichtet werden und so Schichten selektiv aufgetragen oder abgetragen werden.

Durch die computergestützte Herstellung lassen sich die Planarspulen auch in Großserie stets in gleicher Qualität und exakt baugleich zueinander hersteilen. Dies hat insbesondere die im Folgenden noch näher erläuterten Vorteile bei der gleichzeitigen Verwendung mehrerer solcher Spulen, wie sie insbesondere in den Sensorköpfen gemäß den oben bezeichneten Literaturstellen D1-D10 einzusetzen sind.

Eine Verfahrensweise zum Herstellen von Planarspulenanordnungen in

Leiterplattentechnik wie sie zum Beispiel aus D10 oder D11 bekannt sind, sieht die Übereinanderanordnung der einzelnen Planarspulen in Form von Faltspulen vor. Hierzu werden die Spulen auf einer flexiblen Leiterplatte erzeugt, die daraufhin gefaltet wird, um die Planarspulen aufeinander anzuordnen. Dadurch befinden sich zwischen jeder der Planarspulen wenigstens zwei Lagen Isoliermaterial aus Leiterplattenbasismaterial.

Bei der Erfindung ist dagegen vorgesehen, das Verhältnis der Dicken des

Planarspulen bildenden elektrisch leitfähigen Materials und der Dicken des dazwischen eingefügten Isoliermaterials wie in Anspruch 1 definiert vorgegeben ist. Somit wird im Bereich der übereinander liegenden Planarspulen deutlich mehr elektrisch leitfähiges Material als Isoliermaterial vorgesehen. Somit kann eine besonders hohe magnetische Leistung auf besonders kleinem Raum erzeugt werden. Dies ist insbesondere durch die computergestützte Herstellung möglich, wodurch die Anordnung des leitfähigen Materials und des Isoliermaterials höchst genau reproduzierbar vorgegeben werden kann.

Bei einer besonders bevorzugten Ausgestaltung wird dabei derart vorgegangen, dass sich zwischen jeder der Planarspulen nur eine Lage Isoliermaterial befindet. Als Isoliermaterial wird beispielsweise eine auf einem Prepreg basierendes elektrisches Isoliermaterial eingefügt.

Bei einer besonders bevorzugten Vorgehensweise werden mehrere Planarspulen pro Schicht in einer Ebene gleichzeitig hergestellt und dann die Schichten übereinandergelegt, um so die Planarspulenanordnung zu bilden. Insbesondere werden so eine erste Planarspule zum Bilden einer Lage einer Generatorspule sowie eine zweite Planarspule zum Bilden einer Lage einer ersten Messspule sowie eine dritte Planarspule zum Bilden einer Lage einer zweiten Messspule gleichzeitig erzeugt. Vorzugsweise werden drei, vier oder fünf Planarspulen pro Ebene erzeugt, um die in den Literaturstellen D1 -D10 näher erläuterten

unterschiedlichen Konzepte von Sensorköpfen mittels der PCB-Spulentechnologie aufzubauen. Die Planarspuleneinheiten der verschiedenen Spulen werden somit in einem Prozess zusammen strukturiert und positioniert. Der Fertigungsprozess bringt es mit sich, dass ein Spulenträger und ein mechanischer, hochpräziser Halter in einem Stück ausgebildet werden.

Vorzugsweise umfasst das Verfahren den Schritt:

Symmetrischer Aufbau durch Verwendung von Planarspulen durch Lithographie.

Durch die computergestützte Fertigung, insbesondere Lithographie, existieren per Design kaum Symmetriebrüche. So kann man zum Beispiel symmetrisch aufgebaute Planarspulen oder Planarspulenpakete zu einer perfekt abgeglichenen Brückenschaltung zusammenschalten. Insbesondere werden symmetrisch aufgebaute übereinandergelegte Planarspuleneinheiten zu einer H- Brückenschaltung verschaltet. So lässt sich eine sehr gut ausgeglichene

Brückenschaltung bauen, mit denen sehr genaue Messungen auch kleinerer Signale durchführbar sind. Von Hand gewickelte Spulen oder Spulen, die einzeln platziert werden, können durch Herstellungstoleranz Symmetrieunterschiede aufweisen, die zu einer nicht ausgeglichenen Brücke führen.

Vorzugsweise werden Durchkontaktierungen innerhalb der Spulen (insbesondere innerhalb von spiralförmig angeordneten Leiterbahnen von Planarspulen) vorgesehen, um die einzelnen Planarspulen jeweils übereinander angeordnet zu je einer Gesamtspule zu verbinden. Durch die Verwendung von

Durchkontaktierungen auch innerhalb der Spule können so genannte Burried Vias vermieden werden. Hierdurch können hohe Produktionskosten bei den

Planarspulen vermieden werden.

Die Idee der Durchkontaktierung an Durchbrüche oder Durchgangsöffnung bildet eine eigenständige Erfindung und wird auch ohne die in Anspruch 1 angegebenen Angaben zur Dicke beansprucht. Vorzugsweise wird eine Anordnung vorgesehen, wie sie als bevorzugte

Ausgestaltung in dem Dokument D10 erläutert ist. Demnach ist wenigstens eine Generatorspule zentral vorgesehen, um die herum sternförmig mehrere

Messspulen angeordnet sind. Vorzugsweise wird hierbei ein punktsymmetrischer Aufbau der Spule oder der Spulen um den Generator herum vorgesehen. Bei einer Ausgestaltung ist der Sensorkopf hinsichtlich der Spulenanordnung punktsymmetrisch ausgebildet.

Besonders bevorzugt ist die Verwendung von nur einer Zwischenlage (z.B.

Prepreg) zwischen dem Innenlagenkernen, um eine möglichst dünne und kompakte Planarspule zu erzeugen.

Vorzugsweise besitzt der Innenlagenkern eine Schicht Isoliermaterial mit einer Dicke in der Größenordnung von etwa 40 mΐti und auf dessen Ober- und

Unterseite Schichten aus leitfähigen Material, wie insbesondere Kupfer, welche lithografisch belichtet und strukturiert werden.

Vorzugsweise werden die Innenlagenkerne im Anschluss an die lithografische Behandlung zueinander registriert gestapelt, wobei eine Prepreg-Zwischenlage als Isolator dazwischen geschichtet wird.

Dadurch entstehen Lagen von übereinander angeordneten Planarspuleneinheiten, welche zusammen in einer Vakuumpresse laminiert werden.

Vorzugsweise weisen die Zwischenlagen nach dem Laminieren in der

Vakuumpresse jeweils eine Dicke von 30pm und 70pm und vorzugsweise in der Größenordnung um 50 mΐti auf.

Bei einer besonders bevorzugten Ausgestaltung werden Kontaktpads und

Kontakte mit nicht-ferromagnetischen Materialien aufgebaut. Insbesondere sind die Kontakte, Kontaktpads und Verbindungen, wie insbesondere Lötverbindungen oder dergleichen, nickel-frei ausgeführt. Bevorzugt wird somit kein Nickel im Aufbau verwendet, da Nickel magnetisch ist und entsprechend die Felder unsymmetrisch lenken kann. Bei der üblichen elektrischen Kontaktierung von Sensoren wird im Normalfall Nickel auf die Pads aufgebracht (etwa in der

Anordnung Cu-Ni-Au), um die Anschlüsse langzeitstabil gegen Korrosion zu gestalten. Dies wird bei der bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung nicht durchgeführt; vielmehr erfolgt die Kontaktierung der Spulen mit nicht- magnetischen Materialien.

Vorzugsweise weist der Sensorkopf um die Spulenwindungen herum lediglich unterbrochene Leitungsbahnen oder Leitungsbereiche auf. Beispielsweise sind Kupferbereiche um die Spulen herum unterbrochen ausgeführt. Unterbrochene Kupferleitungen um die Spulenwindungen haben den Vorteil, dass Wirbelströme um die Spulen herum vermieden werden. Vorzugsweise befinden sich somit um die Spulen herum keine geschlossenen Leiterbahnen, um Wirbelstromverluste zu minimieren.

Im Folgenden werden bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung und deren Vorteile näher erläutert.

Die Erfindung betrifft insbesondere die Herstellung induktiver Bauelemente.

Induktive Bauelemente zeichnen sich durch das Ausprägen eines Magnetfelds aus. Diese Induktivitäten werden vorzugsweise gezielt als Sensoren und

Aktuatoren eingesetzt.

Vorzugsweise wird bei den Sensoren die Veränderung im magnetischen Umfeld registriert.

Vorzugsweise wird bei der Verwendung in Aktuatoren eine Veränderung im magnetischen Umfeld induziert.

Bei einer Ausgestaltung einer möglichen Verwendung der Erfindung können auch beide Anwendungen in einem System zum Tragen kommen. Vorzugsweise wird dann die Veränderung im magnetischen Transferweg bewertet.

Das Magnetfeld wird durch den in Leiterschleifen eingeprägten Strom ausgebildet. Bei bisherigen Sensorköpfen werden die Leiterschleifen zum Beispiel durch gewickelten Draht gebildet. Bei der Erfindung werden die Leiterschleifen planar, vorzugsweise in Leiterplatten, auf mehreren Lagen ausgebildet, um die geeignete Windungszahl für ein erwünschtes auszuprägendes Magnetfeld zu erreichen.

Der Vorteil einer computergestützten Fertigung liegt in der durch Daten

vorgegebenen Definition der Spulen und der damit verbundenen Wiederholbarkeit in der Gesamtperformance. Zum Beispiel werden die Planarspulen im

Leiterplattentechnik aufgebaut. Vorteilhaft ergibt die lithographische Definition der Spulen die Wiederholbarkeit in der Gesamtperformance. Zu dem sind in

Leiterplattentechnik hergestellte Produkte im Volumen sehr gut skalierbar herzustellen.

Vorzugsweise werden beim Aufbau der Spulen in Leiterplattentechnik

unterschiedliche besondere Merkmale vorgesehen, welche die

Gesamtperformance im Bezug auf die Anwendung und Herstellbarkeit verbessern.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der durch übereinandergelegten

Planarspulen ausgebildeten Spulen werden zur Verstärkung der Magnetfelder magnetische leitende Materialien eingesetzt. Zum Beispiel werden in die Spulen Ferrite eingesetzt. Diese werden typischerweise durch die Spulen hindurchgeführt.

Hierzu werden vorzugsweise Durchgangsöffnungen in den Spulen vorgesehen.

Andererseits werden bei Ausführungen der Spulen in Leiterplattentechnik bisher größere Flächen für die Durchkontaktierungen benötigt. Hierdurch ist der für die Wicklungen zur Verfügung stehende Platz gering; mit anderen Worten führen die Durchkontaktierungen und eventuell die hindurch zu führenden magnetisch leitenden Materialien zur Verstärkung der Magnetfelder zu einer deutlichen

Einschränkung in dem in Draufsicht für den Platz der Wicklungen vorgesehenen Wicklungsfenster.

Bei einer Ausgestaltung werden die Durchkontaktierungen an dem Durchbruch für die einzusetzenden magnetisch leitenden Materialien zur Verstärkung der

Magnetfelder versetzt. Die Durchkontaktierungen laufen vorzugsweise entlang der Wandung von Durchgangsöffnungen für die magnetisch leitenden Materialien entlang. Hierdurch kann der Flächenbedarf deutlich reduziert werden.

Bei besonders bevorzugten Ausgestaltungen werden besondere

Symmetrieeigenschaften im Aufbau einer Spule vorgesehen. Diese lassen sich besonders einfach durch die parallele computergestützte Fertigung mehrerer Planarspulen erreichen.

Für Spulen in einer Sensoranwendung oder einer Aktuatoranwendung steht oftmals die Verschaltung der Spulen zu einem System im Vordergrund. Hier ist ein besonders hohes Maß an Symmetrieeigenschaften von Spulen von Vorteil.

Insbesondere bei differenziellen Messanwendungen steht die Symmetrie des Messsignals zur Messanwendung im Vordergrund. Hier kann mit der Abbildung der Spulengeometrie in den Designdaten im Voraus über die Symmetrie des Messeffekts Einfluss genommen werden.

Eine besonders bevorzugte Ausgestaltung der Erfindung sieht somit den Schritt vor:

Entwerfen von Spulen mittels einer CAD-Datenverarbeitungsanlage in

Abhängigkeit von einer vorgegebenen Symmetrie des Messeffekts.

Da auch eine Planarspule eine Tiefe hat, kann hier auf die Spiegelsymmetrie, die Punktsymmetrie und die Achsensymmetrie Einfluss genommen werden.

Somit weist eine bevorzugte Ausgestaltung des Verfahrens den Schritt auf: - Auswahl wenigstens einer Form von Spiegelsymmetrie, Punktsymmetrie und Achsensymmetrie im Design der planaren Spulen.

Derartige Symmetrien sind erfindungsgemäß durch die Spulen prozesssicher erreichbar, welche durch das datenbasierende Verfahren hergestellt werden.

Mit der sich einstellenden Symmetrie werden auch die Ausgangssignale in einem sehr engen Band festgehalten. Oft werden erst dadurch für viele Anwendungen differenzielle Ausführverfahren ermöglicht. Die Planarspulen können jeweils monofiler ausgebildet sein. Durch die Herstellung der Planarspulen und die Abbildung der Spulengeometrie in entsprechenden Fertigungsdaten, wie zum Beispiel lithographischen Fertigungsdaten, werden außerdem

Gestaltungsfreiräume für bifilare Spulen und auch für Spulen mit multiplen

Filaritäten erreichbar. Zum Beispiel können bifilare Spulen oder Spulen mit multiplen Filaritäten zum Aufbau von differenziellen Sensoren ausgenutzt werden. Zum Beispiel können mehrere differenzielle Sensoren als mehrfach filare Spule zum Generator vorgesehen sein.

Auch kann im Weiteren durch eine Schachtelung der Wicklungsrichtung im

Spulenstapel ein magnetisches Residium ausgebildet werden, welches zum Beispiel mit extremen Sensorausgangssignalen bei einer geringen magnetischen Veränderung reagiert. Dies führt zu Sensoren, welche ohne merkliches nach außen propagiertes Feld als Abstandssensor oder auch als Materialsensor eingesetzt werden kann.

Diese Messung kann auch durch ein magnetisches Reference Target auf der dem Messobjekt abgewandten Seite unterstützt werden.

Bei einer besonders bevorzugten Ausgestaltung sind äußere Flächenelemente außerhalb einer Spulenanordnung oder um eine Planarspule herum sektoriert, so dass keine geschlossene Leiterschleife um die jeweilige Spule oder deren Bereich herum ausgebildet ist. Die Vorteile derartiger Ausgestaltungen werden im

Folgenden näher erläutert.

Magnetfelder werden durch Spulen induziert. Die Feldlinien laufen

charakteristischerweise senkrecht aus der Spulenmitte heraus und außen herum geschlossen. Damit werden auch außenliegende Flächenelemente magnetisch durchflutet. Bei der Verwendung magnetischer Wechselfelder können sich in den angrenzenden elektrisch leitenden Bereichen Wirbelströme ausbilden, die eigene Magnetfelder ausbilden, welche dem eigentlichen Magnetfeld entgegenstehen.

Diesem Effekt kann über geeignete Sektorierung der äußeren Flächenelemente zielgerecht entgegengewirkt werden. Eine starke Sektorierung (vielfältige Unterbrechung, beispielsweise in mehr als zwei, mehr als fünf, mehr als acht, mehr als zehn Sektoren) lässt hohe Frequenzen im Magnetfeld zu. Dem

gegenüber dämpfen geschlossene Flächenelemente das höher frequente

Verhalten.

Bei einer besonders bevorzugten Ausgestaltung wird für die Verwendung als Sensorspulen die Verwendung aller im Nahbereich der Spulen verwendeten Materialien auf deren magnetisches Verhalten hin ausgewählt. Insbesondere werden elektrische Leitungsmaterialien zum Kontaktierungen derart ausgewählt, dass sie nicht ferromagnetisch sind. Zum Beispiel ist eine Verwendung von Nickel- Gold als Lötoberfläche oft nicht zu empfehlen, da durch amorphe Ausbildung des Nickels im Abscheidungsprozess eine ferritische Folie entstehen kann. Dies führt zu einer unerwarteten Remanenz und damit zu einer Hysterese im Messignal.

Eine solche kann durch die konsequente Verringerung oder Vermeidung von ferromagnetischen Materialien als Kontakt oder Verbindungsmaterialien verringert oder vermieden werden.

Durch geeignete Ausführung der Anschlüsse auf dem leiterplattengefertigten Spulenbauteil kann auch auf weitere Pins oder Kontakte oder

Stecker/Buchsensysteme verzichtet werden. Beispielsweise werden an einem Leiterplattenelement direkte Kontaktierungspads vorgesehen. Derartige

Kontaktierungspads können an einer Kante, z. B. dort rechtwinklig, oder an einer Ebene, insbesondere auf einer der Hauptebenen oder an einer der Ebenen der Stirnkanten, vorgesehen sein. Bei einer Ausgestaltung sind derartige Kontaktpads innerhalb einer Aussparung in einer Hauptkante des Leiterplattenelements vorgesehen.

Durch eine unmittelbare Ausführung der Anschlüsse auf dem

leiterplattengefertigten Spulenbauteil kann auch auf weitere Pins oder Kontakte oder sonstige Stecker-/Buchsensysteme verzichtet werden. Dies führt nicht nur zu einer Reduzierung der gesamten Bauteile, sondern steigert auch das

Gesamtsystem der Lebensdauer, da das nicht verwendete Bauteil auch nicht ausfallen kann. Bei einer bevorzugten Ausgestaltung wird durch eine weitere Flächenabgrenzung auf einem Anschlusspad zusätzlich ein Testpad zur elektrischen und funktionalen

Prüfung bereitgestellt, welches in einem Lötbereich nicht das Aufsetzen eines

Testkontakts erfahren hat.

Ein Ausführungsbeispiel wird im Folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert. Darin zeigt:

Fig. 1 ein CAD-Ausdruck für eine Planarspule zum Bilden eines

Planarspulenpakets aus mehreren übereinander angeordneten Planarspulen, wobei ebenfalls die Stellen für Durchkontaktierungen dargestellt sind;

Fig. 2 ein CAD-Ausdruck wie in Fig. 1 für eine weitere, besonders

bevorzugte Ausführungsform;

Fig. 3 eine schematische Darstellung eines Innenlagenkerns;

Fig. 4 eine schematische Darstellung eines in einem ersten Schritt eines lithografischen Verfahrens behandelten Innenlagenkerns;

Fig. 5 eine schematische Darstellung eines in einem zweiten Schritt eines lithografischen Verfahrens behandelten Innenlagenkerns;

Fig. 6 eine schematische Darstellung eines nach einem lithografischen

Verfahren behandelten Innenlagenkerns;

Fig. 7 eine schematische Darstellung eines weiteren Verfahrensschritts zur

Herstellung einer Spule;

Fig. 8 eine schematische Darstellung eines Innenlagenkerns bestehend aus einer Mehrzahl von Elementen;

Fig. 9 eine schematische Darstellung eines Elements des Innenlagenkerns; Fig. 10 eine Fotografie eines Schnitts durch ein Planarspulenpaket;

Fig. 1 1 a-1 1 d Unterschiedliche Ausführungsformen für CAD-Ausdrücke monofilarer und mehrfachfilarer Planarspulen;

Fig. 12 eine Fotografie, die induktive Bauelemente zum Bilden eines

Sensorkopfes für einen Kraftsensor oder einen Drehmomentsensor von unterschiedlichen Seiten zeigt, wobei das induktive Bauteil eine Planarspulenanordnung mit mehreren übereinander angeordneten Planarspuleneinheiten aufweist;

Fig. 13 eine Fotografie eines induktiven Bauelements von oben und von unten dargestellt für einen Sensorkopf eines Kraftsensors oder Drehmomentsensors gemäß einer weiteren Ausführungsform; und

Fig. 14 eine vergrößerte Darstellung aus Fig. 6.

Im Folgenden werden unterschiedliche Ausführungsformen für Verfahren zum Fierstellen einer Planarspulenanordnung 32 mit übereinander angeordneten Planarspuleneinheiten 10 anhand der Darstellungen der Figuren 1 -7 näher erläutert. Bei dem Verfahren werden mehrere Planarspuleneinheiten 10

hergestellt, bei denen wenigstens eine Planarspule 12 oder vorzugsweise mehrere Planarspulen 12 gemeinsam auf einer Ebene auf einer Isoliermaterialschicht 14 durch computergestützte Fertigung hergestellt werden.

Bei einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung werden für die computergestützte Fertigung lithographische Verfahren verwendet, bei denen Oberflächen eines Substrats, insbesondere einer flexiblen Leiterplatte 16 gemäß Mustern belichtet werden, die aus CAD-Daten erzeugt werden. Anschließend werden belichtete oder unbelichtete Bereiche weggeätzt, um so die Planarspule 12 als Muster aus einem elektrischen Leiter auf der Isoliermaterialschicht 14 der flexiblen Leiterplatte 16 zu bilden. Vorzugsweise werden dabei gleich mehrere Planarspulen 12 auf einer

gemeinsamen, vorzugsweise flexiblen, Leiterplatte 16 erzeugt. Durch

vorzugsweise maschinelles, ebenfalls CAD-gestütztes Übereinanderschichten der so gebildeten Planarspuleneinheiten 10 werden die jeweiligen Planarspulen 12 computergestützt exakt positioniert übereinander angeordnet, um so Spulen 20 zu bilden, die jeweils aus mehreren übereinander angeordneten Planarspulen 12 gebildet sind, wobei die Windungen 22 der jeweils übereinander angeordneten Planarspulen 12 mittels Durchkontaktierungen 24 miteinander verbunden werden.

Fig. 1 zeigt hierbei ein erstes Ausführungsbeispiel für einen Ausdruck aus einer CAD-Datei, die das Design einer der Planarspulen 12 und die Anordnung von Durchkontaktierungen 24 auf einer Isoliermaterialschicht 14 zeigt.

Um das Magnetfeld der Spule 20 zu verstärken, soll dann innerhalb der Spule 20 noch ein (nicht dargestellter) magnetischer Flusskonzentrator aus einem

ferromagnetischen Material eingefügt werden. Somit ist im Inneren der Spule 20 eine Durchgangsöffnung 26 vorgesehen, die das ferromagnetische Material aufnehmen soll.

Bei der in Fig. 1 dargestellten Ausführungsform sind äußere Durchkontaktierungen 24a außerhalb der Spule 20 vorgesehen und innere Durchkontaktierungen 24b innerhalb der Spule 20 vorgesehen. Die Durchgangsöffnung 26 ist innerhalb des Ringbereichs, wo sich die inneren Durchkontaktierungen 24b befinden

vorgesehen. Die Fläche, auf der die Windungen 22 für die Planarspulen 12 angeordnet werden können, befindet sich zwischen dem Ringbereich, auf denen die äußeren Durchkontaktierungen 24a angeordnet werden, und dem inneren Ringbereich, auf dem die innere Durchkontaktierung 24b angeordnet werden. Die Windungen 22 sind durch die computergestützte Fertigung optimiert auf dem verbleibenden Zwischenbereich angeordnet, so dass ein minimaler Abstand zwischen den einzelnen Windungen 22 verbleibt und die Fläche optimal mit dem Material aus dem elektrischen Leiter 18 belegt ist.

Fig. 2 zeigt eine Ansicht vergleichbar derjenigen zu Fig. 1 für eine gegenüber der Ausführungsform in Fig. 1 bevorzugte Ausführungsform der Planarspule 12. Bei der Ausführungsform der Fig. 2 ist wenigstens die innere Durchkontaktierung 24b nicht in einem Ringbereich zwischen der Durchgangsöffnung 26 und der Planarspule 12 vorgesehen, sondern direkt am Rand der Durchgangsöffnung 26 vorgesehen. Die innere Durchkontaktierung 24b verläuft somit auf der Innenseite der Durchgangsöffnung 26.

Alternativ oder zusätzlich ist vorgesehen, dass die äußere Durchkontaktierung 24a nicht innerhalb einer Fläche eines äußeren Ringbereichs um die Planarspule 12 herum vorgesehen ist, sondern an der äußeren Seite der Isoliermaterialschicht 14.

Flierdurch ist der Flächenbereich, der für die Windungen 22 der Planarspulen 12 genutzt werden kann, gegenüber der Ausgestaltung der Fig. 1 deutlich vergrößert. Außerdem kann der Durchmesser für die Durchgangsöffnung gegenüber der Ausgestaltung von Fig. 2 deutlich vergrößert werden, ohne den

Gesamtflächenbereich der Planarspule 12 zu vergrößern. Flierdurch kann eine größere Menge an ferromagnetischen Material innerhalb der Spule 20 angeordnet werden.

Bei einer Ausgestaltung des Verfahrens werden die einzelnen

Planarspuleneinheiten 10, die jeweils eine Isoliermaterialschicht 14 und

wenigstens eine oder mehrere darauf angeordnete Planarspulen 12, insbesondere gemäß der Ausgestaltung in Fig. 2, aufweisen, computergesteuert aufgrund von CAD-Daten und unter exakter Positionierung aufeinandergelegt. Dies erfolgt derart, dass zwischen jeder Planarspule 12 nur eine einzelne

Isoliermaterialschicht 14, beispielsweise gebildet aus einem Prepreg, vorgesehen wird.

Der lithografische Prozess ist in Fig. 3 bis 6 veranschaulicht. Dabei wird ein Innenlagenkern 40 lithografisch behandelt. Der Innenlagenkern 40 besteht üblicherweise im Innern aus einer Schicht 42 aus Epoxidharz und Glasgewebe. Auf der Ober- und Unterseite des Innenlagenkerns 40 liegt eine Schicht

Leitermaterial 44. Im ersten Schritt des Lithografieverfahrens wird, wie in Fig. 4 gezeigt, ein lichtempfindlicher Film 46 und das Fotoelement 48 auf beiden Seiten zum

Belichtungselement 50 aufgetragen.

Danach wird das Belichtungselement 50 belichtet. Dabei härtet der

lichtempfindliche Film 46 an den belichteten Stellen aus, die unbelichteten Stellen des lichtempfindlichen Films 46 bleiben ungehärtet.

Im Anschluss an die Belichtung wird das Fotoelement 48 und die unbelichteten Stellen des lichtempfindlichen Films 46, wie in Fig. 5 gezeigt, abgetragen.

Im folgenden Ätzprozess wird das freiliegende Leitermaterial 44 üblicherweise mit einer alkalischen Lösung schließlich abgeätzt und der restliche ausgehärtete, lichtempfindliche Film 46 abgetragen. Zurück bleibt eine Struktur 52, die die Schicht 42 aus Epoxidharz und Glasgewebe mit einem darauf liegenden Schema aus Leitermaterial 44 enthält, wie es in Fig. 6 veranschaulicht ist.

In Fig. 7 werden nun mehrere, hier zwei, bevorzugt 3 bis 15, dieser Strukturen 52 übereinandergestapelt. Dabei wird zwischen den Strukturen 52 eine Prepreg- Zwischenlage 54 aufgetragen. Die derart gestapelten Strukturen 52 werden schließlich in einer Presse zusammengedrückt. So entstehen abwechselnd eine Mehrzahl von Lagen aus Isoliermaterial und Leitermaterial.

Üblicherweise werden eine Mehrzahl von Elementen 56 auf einem gemeinsamen Innenlagenkern 40 gefertigt, wie es in Fig. 3-8 angedeutet ist. Dies ermöglicht eine Volumenfertigung bis in große Stückzahlen.

Im Anschluss an die großflächige, lithografische Behandlung wird ein

Innenlagenkern 40 in die einzelnen Elemente 56 geschnitten. In den einzelnen Elementen 56 sind dann üblicherweise mehrere, bevorzugt drei oder fünf Spulen 20, wie in Fig. 9 angedeutet, angeordnet.

Fig. 10 zeigt eine Fotografie eines Schnitts durch eine Spule 20, wobei die Spule 20 nach einer Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Verfahrens hergestellt worden ist.. Dabei ist das Zentrum der Spule mit der Durchgangsöffnung 26 links dargestellt, wobei die einzelnen Planarspulen 12 mit Isoliermaterial dazwischen zu sehen sind. Dieses Paket aus übereinander angeordneten Planarspulen 12 ist beispielsweise innerhalb einer Öffnung in einer als Trägersubstrat dienenden Leiterplatte - starres Leiterplattenelement 38 - angeordnet. Die Herstellung kann gemäß dem hier erläuterten Verfahren erfolgen. Wie in Fig. 10 ersichtlich ergeben sich dadurch Lagen von Planarspuleneinheiten, die übereinander geschichtet angeordnet sind. Zwischen den einzelnen aus elektrischen Leiter 18 gebildeten Planarspuleneinheiten ist jeweils eine Lage Isoliermaterial vorgesehen, welche beispielsweise eine Dicke von 40-50 mΐti aufweist.

Bei der Erfindung sind durch eine com putergestützte Fertigung der Planarspulen 12 in stets exakter gleichbleibender Weise und/oder durch eine computergestützte Aufeinanderanordnung - sei es durch computergestütztes Aufeinanderliegen und die exakte Positionierung, sei es durch schichtweise Herstellung der

Planarspuleneinheiten 10 übereinander - stets eine exakte Symmetrie der einzelnen Planarspulen 12 zueinander als auch die Möglichkeit einer weitaus dünneren Isoliermaterialschicht dazwischen geschaffen.

Die Planarspulendicke di.ps aus dem elektrischen Leiter 18 der i-ten

Planarspuleneinheit 10 von n übereinander angeordneten Planarspuleneinheiten 10 und die Schichtdicke di, IM der Isoliermaterialschicht 14 der i-ten

Planarspuleneinheit 10 wird dabei derart gewählt, dass vorzugsweise die

Planarspulendicke di.ps größer oder gleich der Schichtdicke di.iM ist. Jedenfalls werden die Dicken di.ps und di.iM derart gewählt, dass gilt:

0,6 < D PS < 0,9,

D m +Dps

wobei Dps=Ef=i d i ,p s die Summe der Dicken di.ps der Planarspulen und

DIM= ?=I d iJM die Summe der Dicken der Isoliermaterialschichten darstellt.

Hierdurch ergibt sich auf dem Flächenbereich, auf dem sich die Windungen 22 der Planarspulen 12 befinden, über das gesamte Spulenpaket hin gesehen einen größeren Anteil von Material des elektrischen Leiters 18 (z. B. Kupfer) im

Vergleich zu dem Isoliermaterial der Isoliermaterialschicht 14. Dadurch kann auf einem kleineren Volumen bei gleichem auf die Spule 20 aufgeprägtem Strom eine größere Stromdichte und damit ein stärkeres Magnetfeld erzeugt werden.

Die computergestützte Fertigung der Spulen 20 bietet weiter noch die Möglichkeit, die einzelnen Planarspulen 20 sowohl monofilar, wie in Fig. 11 a gezeigt, als auch mit mehreren Filaritäten, wie in den Figuren 11 b-11 d gezeigt herzustellen.

Flierdurch können Planarspulen 12 mit einer Windungsspirale oder mit mehreren elektrisch voneinander isolierten und unterschiedlich verschaltbaren

Windungsspiralen, die vorzugsweise ineinandergreifen, hergestellt werden.

Hierdurch können konzentrisch zueinander angeordnete Spulen 20a, 20b hergestellt werden, die unterschiedlich kontaktiert werden können. Beispielsweise werden die unterschiedlichen Filaritäten einer mehrfach filaren Spule 20 zum differenziellen Messen verwendet. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel kann eine der ineinander geschalteten Spulen 20a als Generatorspule und die andere als Messspule verwendet werden. Bei noch einer weiteren Ausgestaltung können mehrere ineinander geschaltete Spulen zur differenziellen Messung herangezogen werden. Bei noch einer weiteren Ausgestaltung können die unterschiedlichen ineinandergeschaltelten Spulen als unterschiedliche Elemente einer

Brückenschaltung verwendet werden.

Fig. 12 zeigt ein erstes Ausführungsbeispiel eines induktiven Bauelements 30, welches eine gemäß dem zuvor erläuterten Verfahren hergestellte

Planarspulenanordnung 32 aufweist, um eine erste Spule 20a, eine zweite Spule 20b und eine dritte Spule 20c zu bilden.

Das induktive Bauelement 30 kann als Teil eines Aktuators oder eines Sensors verwendet werden. Insbesondere kann das induktive Bauelement 30 als wesentlicher Bestandteil eines Sensorkopfes für einen Drehmomentsensor oder Kraftmesssensor der in den Literaturstellen D1 -D10 erläuterten Art verwendet werden. Der Sensorkopf weist dann noch das ferromagnetische

Verstärkungsmaterial auf. Für weitere Einzelheiten zum Aufbau wird des

Sensorkopfes wird auf D10 verwiesen. Im Falle der Verwendung für einen Sensorkopf kann die erste Spule 20a beispielsweise als Generatorspule zum Erzeugen eines Magnetfeldes in einem hinsichtlich einer Kraftbeaufschlagung zu messenden Element, beispielsweise einer Drehwelle, verwendet werden, während die zweite Spule 20b als erste Messspule und die dritte Spule 20c als zweite Messspule dient zum Messen einer Magnetfeldänderung, insbesondere eine Richtungsänderung eines Magnetfeldes unter Einfluss einer Kraft.

Wie aus Fig. 12 ersichtlich, ist in jeder der Spulen 20a, 20b, 20c, welche jeweils aus übereinander gelegten Planarspulen 12 gebildet ist, eine Durchgangsöffnung 26 vorgesehen, durch welches ein Material zur magnetischen Verstärkung hindurchgesteckt werden kann. Weiter sind an der Innenwand jeder

Durchgangsöffnung 26 mehrere Durchkontaktierungen 24, 24b vorgesehen.

Weitere Ausführungsformen des induktiven Bauelements 30 sind in den Figuren 13 und 14 dargestellt, wo zusätzlich zu der ersten Spule 20a, der zweiten Spule 20b und der dritten Spulen 20c noch eine vierte Spule 20d und eine fünfte Spule 20e vorgesehen sind. Die zweite bis fünfte Spule 20b bis 20e sind um die erste Spule 20a verteilt herum vorgesehen. Die vierte Spule 20d kann eine dritte

Messspule bilden, und die fünfte Spule 20e kann eine vierte Messspule bilden.

Die Verschaltung der Messspulen - z. B. zweite Spule 20b bis fünfte Spule 20e - kann so erfolgen, wie dies im Einzelnen der deutschen Patentanmeldung DE 10 2017 112 913.8, auf welche für weitere Einzelheiten ausdrücklich verwiesen wird, beschrieben und gezeigt ist.

Insbesondere sind die Messspulen hier in einer so genannten X-Anordnung um die als Generatorspule wirkende erste Spule 20a herum angeordnet.

Kontaktpads 34b zum elektrischen Anschließen der einzelnen Spulen 20 und/oder von in den induktiven Bauelementen 30 sonst noch eventuell vorgesehene

Elektronikbausteine sind vorzugsweise an wenigstens einer Außenkante des induktiven Bauelements 30 angeordnet. Bei dem in Fig. 12 dargestellten Ausführungsbeispiel sind Kontaktpads an einer Seite angeordnet. Bei dem in Figuren 13 und 14 dargestellten Ausführungsbeispiel des induktiven Bauelements 30 sind die Kontaktpads 34 an gegenüberliegenden Seiten innerhalb einer reckteckförmigen Aussparung 36 an gegenüberliegenden Seiten des induktiven Bauelements 30 vorgesehen. Wie in Fig. 14 durch das Detail A angedeutet, kann eines der Kontaktpads als Testpad ausgebildet sein.

Eine bevorzugte Ausgestaltung eines Verfahrens zum Flerstellen des für einen Sensorkopf einzusetzenden induktiven Bauelements 30 gemäß den Figuren 12 und 13 sieht vor, dass, wie dies vom Grundprinzip her aus der D11 bekannt ist, in einem starren Leiterplattenelement 38 Flohlräume für die einzelnen Spulen 20, 20a-20e ausgebildet werden.

Die einzelnen Planarspulen 12, die die einzelnen Lagen der Spulen 20a-20e bilden, werden gemeinsam als Planarspuleneinheit 10 auf der flexiblen Leiterplatte 16 wie zuvor erläutert hergestellt, und die n Planarspuleneinheiten 10 mit den jeweiligen Planarspulen 12 werden computergesteuert übereinander angeordnet oder computergesteuert übereinander hergestellt. So wird eine

Planarspulenanordnung 32 gebildet, die die aus einzelnen übereinander gelegten Planarspulen 12 gebildeten Spulen 20, 20a-20e aufweist.

Bei einer Ausgestaltung der Erfindung werden die einzelnen Spulen mittels eines Schneidstempels gemeinsam ausgeschnitten und in einzelne Flohlräume des starren Leiterplattenelements 38 überführt.

Bei einer anderen Ausgestaltung der Erfindung wird die Planarspulenanordnung 32, die durch Übereinanderschichten der Planarspuleneinheiten 10 gebildet ist, als induktives Bauelement 30 verwendet, so dass kein starres Leiterplattenelement 38 benötigt wird.

Wie beispielsweise in den Figuren 1 und 2 dargestellt, können die Spulen 20 beispielsweise aus insgesamt 4-100, z. B. 15, Windungen pro Planarspule 12 hergestellt werden, wobei zum Beispiel n=8 Lagen übereinander verwendet werden. Bevorzugt liegt n im Bereich von 3-15. Werden, wie dies in Fig. 1 dargestellt ist, Durchkontaktierungen in Ringbereichen, die innerhalb und außerhalb der Fläche der Windungen liegen, eingesetzt, lässt sich beispielsweise das Maß Kupfer zur Kontur auf typischerweise 0,3 mm einstellen.

Wenn man wie in Fig. 2 dargestellt, die Durchkontaktierungen in die Kontur aufnimmt, wird der Flächennutzungsanteil durch die Windungen 22 erheblich verbessert.

Bezugszeichenliste:

10 Planarspuleneinheit

12 Planarspule

14 Isoliermaterialschicht

16 flexible Leiterplatte

18 elektrischer Leiter

20 Spule

20a erste Spule

20b zweite Spule

20c dritte Spule

20d vierte Spule

20e fünfte Spule

22 Windung

24 Durchkontaktierung

24a äußere Durchkontaktierung

24b innere Durchkontaktierung

26 Durchgangsöffnung

30 induktives Bauelement

32 Planarspulenanordnung

34 Kontaktpad

36 Aussparung

38 starres Leiterplattenelement

40 Innenlagenkern

42 Schicht aus Epoxidharz und Glasgewebe

44 Leitermaterial lichtempfindlicher Film Fotoelement

Belichtungselement Struktur

Prepreg-Zwischenlage Element