Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erzeugen von kleinen Bohrungen in Werkstücken unter Verwendung eines Elektronenstrahles .

Richtet man einen Elektronenstrahl auf ein insbesondere metallisches Werkstück, so trägt der Elektronenstrahl sehr konzentriert Energie in das Material ein, wodurch dieses aufgeschmolzen wird. Dabei kann auch Material verdampfen, so dass sich im Material eine Vertiefung ergibt, die kleine transversale Abmessungen aufweist und umso tiefer in das Material hineinreicht, je länger dieses vom Elektronenstrahl an der betreffenden Stelle bestrahlt wurde.

Man kann die Effektivität des Bohrens dadurch erhöhen, dass man das geschmolzene Metall durch ein Gas aus dem Material heraustreibt, welches der Elektronenstrahl aus einer Unterlage erzeugt, die hinter dem Werkstück angeordnet ist.

Ein solches Verfahren ist Gegenstand des Anspruches 1.

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass mindestens ein

Arbeitsparameter geändert wird, der aus der nachstehenden Parametergruppe ausgewählt ist: Strahldurchmesser,

Strahlstrom, Impulsdauer, Strahlfokussierung, relative Ablage des Elektronenstrahles von einer Geräteachse,

Bahngeschwindigkeit des Elektronenstrahles über dem

Werkstück und Streckenergie. Dadurch wird erreicht, dass

BESTÄTIGUNGSKOPIE die Geometrie des Bohrloches variiert werden kann. Die Änderung erfolgt dabei innerhalb eines Strahlimpulses.

Dies ist auch im Hinblick darauf von Vorteil, dass die Bearbeitung innerhalb möglichst kurzer Zeit durchführbar ist. Dadurch kann auch gewährleistet werden, dass

abgesehen von den gewünscht geänderten Parametern die übrigen Arbeitsbedingungen gleich bleiben. Auf diese Weise ist die Auswirkung der Änderung gut vorhersehbar.

Den angegebenen Varianten ist gemeinsam, dass sie die Art und Weise des Energieeintrages variieren und durch diese Variation ein entsprechend unterschiedliches Aufschmelzen von Material und damit eine unterschiedliche Geometrie der Bohrung ermöglichen.

Unter Kontur soll hierbei die Erzeugende verstanden werden, die bei Rotation um die Strahlachse die Wand der Bohrung ergibt. Anders gesagt ist die Kontur die Linie, die in axialer Schnittansicht des Bohrloches die Wand der Bohrung darstellt. Konturen können insbesondere schräg zur Strahlachse verlaufende Linien sein, die einer

kegelförmigen oder kegelstumpfförmigen Bohrung

entsprechen, oder konvexe oder konkave Linien sein, die aufgebauchten Bohrungen oder Taillen aufweisenden

Bohrungen entsprechen.

Unter Form soll hierbei die Form des transversalen

Querschnittes der Bohrung verstanden werden.

Die Unteransprüche betreffen vorteilhafte Weiterbildungen eines solchen Verfahrens. Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 2 erlaubt ein noch feineres Einstellen der Abweichung der Bohrungswand von einer Zylinderform.

Dem gleichen Ziel dienen die Verfahren nach den Ansprüche 3 und 4.

Dabei ist die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch im Hinblick auf eine kurze Bearbeitungszeit zur Herstellung einer Bohrung bei guter Wandqualität von Vorteil.

Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 6 kann im Hinblick auf besonders effektives und rasches Ausblasen gerschmolzenen Metalles aus dem Bohrloch von Vorteil sein.

Die Weiterbildung gemäß Anspruch 7 ist im Hinblick auf besonders gute Oberflächenqualität der Bohrungswand von Vorteil.

Mit der Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 8 wird erreicht, dass konturierte Bohrungen auch in dickeren Materialien erzeugt werden können.

Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 9 ist wieder im Hinblick auf ein gutes Entfernen flüssigen Materiales aus dem Bohrloch von Vorteil.

Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 10 ist im Hinblick auf erhöhte Variabilität der Erzeugung einer Bohrung von Vorteil. So könnte man die Eigenschaften der aufeinander folgenden Strahlimpulse stärker unterschiedlich wählen als im Verlauf eines Impulses möglich, um stärker unterschiedliche gewünschte Eigenschaften von Bohrungsabschnitten zu erhalten.

Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 11 ist im Hinblick auf gute Oberflächenqualität der Bohrlochwand von Vorteil .

Das Verfahren gemäß Anspruch 12 erlaubt es zum einen für die Führung des Elektronenstrahles Techniken zu verwenden, wie sie vom digitalen Zeichnen her geläufig sind. Darüber hinaus kann man durch inkrementweises

Weiterbewegen des Elektronenstrahles die Verweilzeiten des Eletronenstrahles an einer vorgegebenen Stelle auf

einfache Weise ändern, indem man die Ablenkung zum nächstem Bahnpunkt hinausschiebt bzw. verkürzt.

Die Weiterbildung der Erfindung gemäß Anspruch 13 ist im Hinblick auf die Nutzbarmachung von Prozeduren, die beim digitalen Zeichnen verwendet werden, von Vorteil. Hier können Kurven, die sich geometrisch ähnlich sind, jedoch nur im Maßstab unterscheiden, auf sehr einfache Weise voneinander abgeleitet werden. Die angegebene Abstimmung des Abstandes der verschiedenen Bahnen zum

Strahldurchmesser sind im Hinblick auf ein ausreichendes Aufschmelzen des Materiales des Werkstückes unter Vermeidung unnötiger Überführung dieses Materiales in die Gasphase von Vorteil.

Das Verfahren gemäß Anspruch 14 reduziert die Gefahr thermisch bedingter innerer Spannungen in der Umgebung der Bohrung.

Nachstehend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher

erläutert. In dieser zeigen: Figur 1: eine schematische Darstellung einer Elektronen- Strahlmaschine sowie der zu ihrem Betreiben notwendigen Elektronik;

Figur 2: schematisch verschiedene Phasen in der Erzeugung einer Bohrung mittels eines Elektronenstrahles; und

Figur 3: verschiedene Bahnkurven und Diagramme, die zur

Erläuterung der Herstellung konturierter und unrunder Bohrungen verwendet werden.

Die in Figur 1 gezeigte Elektronenstrahlmaschine hat eine insgesamt mit 10 bezeichnete Elektronenkanone, die einen Elektronenstrahl 12 erzeugt. Hinter der Elektronenkanone 10 ist eine Fokussiereinheit 14 vorgesehen, welche eine oder mehrere elektrostatische oder elektromag netische Linsen umfassen kann.

Hinter der Fokussiereinheit 14 befindet sich im Strahlengang eine Ablenkeinheit 20, welche den Elektronenstrahl 12 im Wesentlichen parallel zur Achse 17 der Elektronenkanone 10 in zwei unabhängigen Koordinatenrichtungen versetzt. Für die Zwecke der vorliegenden Beschreibung wird angenommen, dass diese Versetzung durch Polarkoordinaten beschrieben werden kann, also den Radius R, unter dem der Elektronenstrahl 12 angetroffen wird und der Winkel W, der in einer senkrecht auf der Strahlrichtung z denkenden Referenzebene gegenüber einer in der Referenzebene liegenden Referenzrichtung gemessen wird.

Hinter der Ablenkeinheit 20 ist eine Umlenkeinheit 16 vorgesehen, welche den Elektronenstrahl 12 auf eine

Geräteachse 18 umlenkt.

Der Elektronenstrahl 12 trifft hinter der Umlenkeinheit 16 auf ein Werkstück 24 auf, hinter dem sich eine Unterlage 24 befindet.

Mit, der Elektronenkanone 10 ist eine Kanonensteuereinheit 26 verbunden, welche die Beschleunigungsspannung U und den Strahlstrom I vorgibt und bereitstellt.

Für die Fokussiereinheit 14 ist eine Fokussteuereinheit 28 vorgesehen, welche ein die Fokuslage vorgebendes

Signal S bereitstellt.

Eine Umlenk-Steuereinheit 30 stellt für die Umlenkeinheit

16 ein konstantes Signal K bereit, welches den Kippwinkel des Elektronenstrahles 12 in der Umlenkeinheit 16 vorgibt.

Mit der Ablenkeinheit 20 arbeitet eine Ablenksteuerung 32 zusammen, welche zwei unabhängige Steuersignale R und W bereitstellt, von denen das eine (R) den radialen Abstand des Elektronenstrahles 12 von der Kanonenachse

17 vorgibt und das andere (W) die Winkellage des Elektronenstrahles 12 in der senkrecht auf der Strahlrichtung stehenden Referenzebene bezüglich der in dieser Ebene liegenden Referenzrichtung vorgibt.

Die verschiedenen Steuereinheiten 26 bis 32 sind mit einer Hauptsteuerung 34 verbunden, welche das Arbeiten der Elektronenstrahlmaschine steuert. Das Arbeiten der Hauptsteuerung 34 kann an einem Bildschirm 36 kontrolliert werden und durch eine Tastatur 38 bee ^' influsst werden. Ein Datenspeicher 40 kann Daten und Programme für unterschiedliche Bearbeitungen enthalten.

In der Zeichnung nicht näher dargestellte Fühler, wie der beispielhaft bei 42 gezeigte können mit der Hauptsteuerung 34 verbunden sein, um das Vakuum in der Elek- tronenstrahlmaschine und andere Betriebsparameter derselben zu messen. Auch sind an die Hauptsteuerung 34 nicht gezeigte weitere gesteuerte Lasten angeschlossen, die zum Betreiben der Elektronenstrahlenmaschine notwendig sind, z.B. Vakuumpumpen, Servomotoren zum Betätigen von Schleusen, Transporteinrichtungen für Werkstücke usw.

Figur 2 zeigt vier verschiedene Phasen der Erzeugung einer Bohrung.

Bei a) hat der Elektronenstrahl auf der Geräteachse einen ersten Materialbereich des Werkstückes 22 angeschmolzen.

Bei b) ist schon eine materialfreie Seele einer im Entstehen begriffenen Bohrung vorhanden, deren Randbereich noch durch eine hohle geschmolzene Metallschicht 46 gebildet wird, die schlanke kegelförmige Gestalt hat.

Bei c) hat der Elektronenstrahl 12 das Material des

Werkstückes 22 bis zur Rückseite durchgeschmolzen und den obersten Bereich der Unterlage 24 erreicht.

Da die Unterlage 24 aus einem Material gefertigt ist, welches durch den Elektronenstrahl leicht verdampfbar ist, z.B. ein bei niederen Temperaturen verdampfendes Metall, entsteht nun eine größere Menge Metalldampf, welche die flüssige Metallschicht 46 ausbläst, wie bei d) gezeigt. Als Material für die Unterlage 24 kommen insbesondere in Frage: Kunststoffe, insbesondere Epoxid-Harze, Silikonverbindungen, Gips oder kristalline Materialien, welche Kristallwasser enthalten, Messing, Lackschichten, Folien oder Platten, welche einen Festkörper-Füllstoff aus

Partikeln der vorgenannten Materialien umfassen, sowie Mischungen der vorgenannten Materialien.

Besonders bevorzugt sind Silikonplatten mit einer Dicke von einigen mm mit einem hohen Füllstoffanteil an Quarzmehl .

Die Unterlage wird typischerweise in Form einer 2-3 mm dicken Platte, die durch ein Luftkissen (nicht gezeigt) in Anlage an der Unterseite des Werkstückes 22 gehalten wird. Die Dicke der Unterlage 22 ist so bemessen, dass sie beim Bearbeitungsvorgang nur zu einem Bruchteil vom Elektronenstrahl durchquert werden kann, wozu dessen Länge nur um eine sehr kleine Zeitspanne länger gewählt ist als die Zeit, die vom Elektronenstrahl zum Erreichen der Unterlage benötigt wird.

Es ist wichtig, dass die Unterlage 24 einen guten flächigen Formschluss zur Rückseite des Werkstückes 22 hat.

Das so fertiggestellte Bohrloch ist bei d) mit 48 bezeich net .

In Figur 2 erkennt man bei d) die Kontur der Bohrung, als die Schnittlinie seiner Umfangsfläche mit der Zeichenebene. Von der Kontur zu unterscheiden ist, wie gesagt, der Querschnitt bzw. die Form, worunter hier die Gestalt eines transversalen Schnittes durch das Bohrloch 48 verstanden wird. Typischerweise hat das Bohrloch 48, wel- ches in Figur 2 gezeigt ist, im Wesentlichen kreisrunden Querschnitt.

Bei dem Erzeugen der Bohrung gemäß Figur 2 steht der

Elektronenstrahl 12 von der Phase a) bis zur Phase b) exakt auf der Geräteachse.

Der Elektronenstrahl 12 wird in Form von Strahlimpulsen erzeugt, die unter zeitlichem Abstand regelmäßig aufeinander folgen. Die in Figur 2 gezeigten Phasen a) bis d) werden durch einen einzigen Impuls des Elektronenstrahles durchlaufen, der in seiner Stärke und Dauer gerade so bemessen ist, dass er zum Bohren der Bohrung 48 ausreicht.

Die Konturierung und der Querschnitt einer so erzeugten Bohrung sind beeinflussbar über a) die Geometrie des Elektronenstrahles 12 (Querschnitt und Kaustik) ,

b) den Strahlstrom,

c) die Länge des Strahlimpulses,

d) die Geometrie der Bahn, längs der der Elektronenstrahl über das Werkstück 22 bewegt wird,

e) die Geschwindigkeit, mit der der Elektroenstrahl 12

über das Werkstück geführt wird,

f) die Materialeigenschaften des Werkstückes 22,

g) sowie in geringerem Umfange (bei den hier gerade

betrachteten Bedingungen) von den Materialeigenschaften der Unterlage 24.

Nunmehr wird auf Figur 3 Bezug genommen, welche das

Erzeugen von Bohrungen unterschiedlicher Geometrie in einem Werkstück durch Führung des Elektronenstrahles auf unterschiedlichen Bahnen über das Werkstück hinweg auch unter Abänderung von Arbeitsparametern der Elek- tronenstrahlmaschine darstellen.

In diese Figur sind durchgehend B, Bl und B2 Bahnen, die der Elektronenstrahl 12 auf der Werkstückoberfläche um die Geräteaches 18 ausführt, Q der Strahlquerschnitt bzw. D der Strahldurchmesser, I der Strahlstrom, R der Radius der Bahn, W der Winkel zum betrachteten Bahnpunkt und 48 die Bohrung.

Wünscht man Bohrungen, die eine andere Konturierung oder einen anderen Querschnitt aufweisen, wird der Elektronenstrahl 12 in seiner Geometrie und/oder einem oder mehreren anderen Arbeitsparametern geändert und/oder auf einer von der Geräteachse 18 beabstandeten Bahn B geführt.

Links in der Reihe (a) von Figur 3 ist eine kreisförmige Bahn B dargestellt.

Der Strahlstrom I wird über zwei Umläufe (zwei Perioden) des Strahlumlaufes aufrecht erhalten. Innerhalb dieser zwei Umläufe ist das Material des Werkstückes gerade voll durchgeschmolzen. Die Größe des Strahlstromes ist so bemessen, dass das Material innerhalb des Kreises und eine querschnittsmäßig symmetrische Materialmenge auf der Außenseite der Kreisbahn B aufgeschmolzen werden.

In Abwandlung kann man den Strahlstrom auch verkleinern oder vergrößern, wie gestrichelt angedeutet.

Nach Ausblasen der Schmelze erhält man so ein Bohrloch mit einer leichten Schräge, wie sie sich aus der Tatsache ergibt, dass das Material auf der Eintrittsseite des

Elektronenstrahles länger erwärmt wird als bei der Austrittstelle des Elektronenstrahles in das Substrat.

In der zweiten und dritten Darstellung der Reihe (a) von Figur 3 sind die Variation des Abstandes R und des Winkels W über der Zeit T aufgetragen, wobei die Zeiteinheit einem Umlauf des Strahles entspricht.

Man sieht aus der mittleren Darstellung von (a) , dass man das Signal R, das den Radius einstellt, auch über die Impulszeit hinaus anhalten lassen kann. Ähnliches gilt für die letzte Darstellung der Reihe (a) , da das

Winkelsignal W kontinuierlich weiterlaufen kann, so dass auch hier keine steilen Signalflanken erzeugt werden müssen. Die Darstellung in ausgezogenen Linien entspricht nur der üblichen Darstellung periodischer Vorgänge, bei denen man Vielfache von 2n abzieht, um den Platzbedarf der Darstellung klein zu halten.

Beim soeben beschriebenen Ausführungsbeispiel war der

Radius des Kreises, auf welchem der Elektronenstrahl

12 bewegt wurde, gleich dem halben Strahldurchmesser.

In Abwandlung kann man den Elektronenstrahl auch auf

Kreisbahnen führen, deren Durchmesser kleiner ist, z.B.

10 bis 50% des Strahldurchmessers beträgt. Man erhält dann kleinere Löcher, deren Umfangswand ebenfalls schräg geneigt verläuft.

In der Reihe (b) von Figur 3 sind die entsprechenden

Verhältnisse für die Erzeugung einer Bohrung mit vergrößerter Konizität dargestellt. Der Elektronenstrahl 12 startet an einem Punkt, der mit einem kleinen Kreuz gekennzeichnet ist und endet an einem Punkt, der durch einen kleinen Kreis gekennzeichnet ist.

Der Elektronenstrahl 12 wird zunächst über 360° auf einer ersten kreisförmigen Bahn Bl geführt, auf der er das Werkstück auf eine erste Tiefe aufschmilz, die etwa 1/3 der Dicke des Werkstückes 22 beträgt.

Bei einem zweiten und dritten Umlauf nimmt der Radius r kontinuerlich ab, wie sich aus der dritten Darstellung der Reihe (b) ergibt. Die Schnittiefe nimmt dabei so zu, dass bei Ende des dritten Umlaufes die Oberseite der Unterlage 24 erreicht wird.

Die Winkeldarstellung entspricht der der Reihe (a) .

Man erkennt, dass man auf diese Weise beginnend von der Oberfläche eine Bohrung erzeugen kann, die größere Konizität hat als der Konizität entspricht, welche durch Strahlgeometrie und thermische Effekte vorgegeben ist. Man arbeitet dabei so, dass der Strahl innerhalb zweier Umlaufzeiten nach innen läuft.

Das doppelte oder auch häufigere Vorbeibewegen des Elektronenstrahles am ersten, oberen Teil der Bohrungswand stellt auch sicher, dass deren Oberflächenbeschaffenheit gut ist.

In Abwandlung des Ausführungsbeispieles (b) von Figur 3 kann man auch die Stärke des Elektronenstrahles variieren in dem Sinne, dass die Stromstärke mit der Zeit abnimmt (gestrichelt eingezeichnet) . Auch dies wirkt in Richtung auf eine Vergrößerung der Konizität.

In Abwandlung des Beispieles (a) von Figur 3 kann man die Stromstärke ansteigen oder abnehmen lassen, und so die Konizität der Bohrung erhöhen oder reduzieren, wie gestrichelt angedeutet.

Die Reihe (c) von Figur 3 zeigt die Verhältnisse beim

Erzeugen einer im Wesentlichen quadratischen Öffnung. Bei konstanter Winkelgeschwindigkeit (4. Diagramm) muss der Ablenkstrom so moduliert werden, dass der Strahl unter wachsendem Abstand in eine Ecke hinein und unter abnehmendem Abstand R von einer Ecke zurückbewegt wird. Man kann dies z.B. annähernd durch eine sinusförmige Modulation erreichen, wie sie in der dritten Darstellung der Reihe (c) von Figur 3 angegeben ist.

Durch die Führung längs einer im Wesentlichen quadratischen Bahn Bl ändert sich bei vorgegebener Winkelgeschwindigkeit W die Intensität des Elektronenstrahles pro Bahnstück.

Um dies auszugleichen, kann man den Strom in denjenigen Bereichen der Bahn, in denen eine Ecke des Quadrates ausgefahren wird, kurzfristig erhöhen, wie schematisch in der zweiten Darstellung der Reihe (c) dargestellt.

Der Einfachheit halber sind scharfe aufgesetzte Peaks

P dargestellt, welche in der Praxis verschmierte Kurven sein können, die einer Glockenkurve ähnlich sind.

Nach einem Umlauf auf der Bahn Bl wird der Elektronenstrahl 12 so lange auf die Geräteachse gestellt, dass dort das Material genauso weit aufgeschmolzen wird, wie längs der Bahn Bl. Dieses Stehen auf der Geräteachse kann man formal als zweite Bahn B2 ansehen. Die Gesamtzeit zum

Durchfahren der Bahnen Bl und B2 ist eine Taktzeit T.

Wieder erfolgt die gesamte Erzeugung der Durchbrechung mit einem Impuls des Elektronenstrahles, der zwei Taktzeiten lang ist. Dies kann so erfolgen, dass die Tiefe der vom Strahl erzeugten Nut nach dem ersten Takt etwas weiter als bis zur Mitte des Werkstückes vorgedrungen ist und beim zweiten Umlauf dann vollends bis zur Oberseite des Substrates durchstößt.

Die Reihe (d) zeigt die Erzeugung einer kleinen Durchmesse aufweisenden Bohrung mit stärkerer Konizität. Hierzu lässt man den Elektronenstrahl 12 bleibend auf der Geräteachse 18 auf die Werkstückoberfläche fallen. Im Laufe der Einwirkung wird der Strahldurchmesser D verkleinert, wie aus der rechten Teilfigur der Reihe (d) ersichtlich.

Gleichzeitig wird der Strahlstrom I verringert, wie aus de mittleren Figur ersichtlich. Zum Beginn der Bearbeitung kann der Strahldurchmesser D für eine bestimmte Zeit konstant gehalten werden, bevor er dann abnimmt, wie aus der dritten Teilfigur der d) ersichtlich. Die Breite des Plateaus in der Kurve D(T) gestattet es, die Konizität der Bohrung einzustellen. Die Querschnittsänderung des Elektronenstrahles kann z.B. über eine Defokussierung und Fokussierung des Elektronenstrahles erzeugt werden.

Weiter oben war unter Bezugnahme auf (b) von Figur 3 dargelegt worden, wie man Bohrungen erzeugen kann, deren Querschnitt größer ist als der Strahlquerschnitt.

Die Reihe (e) von Figur 3 zeigt eine weitere Möglichkeit der Erzeugung eines großen Bohrloches mit starker Konizität, bei der der Elektronenstrahl 12 auf zwei konzentrischen Kreisbahnen geführt wird. Zuerst auf einer äußeren Kreisbahn Bl, danach auf einer inneren Kreisbahn B2. Auch bei dieser Bahnbewegung wird das Material innerhalb des Bohrloches aufgeschlossen, und das flüssige

Metall wird dann, wenn der Elektronenstrahl 12 die Oberseite der Unterlage 24 erreicht, durch das dann erzeugte Gas ausgetrieben.

Wie in der zweiten Teilfigur der Reihe (e) von Figur

3 dargestellt, wird der Strahlstrom für die innere Kreisbahn B2 reduziert. Die Reduktion erfolgt so, dass die Strahlenergie, besser die Strahlleistung, die pro Wegeinheit für das Aufschmelzen von Metall zur Verfügung steht (Streckenenerige) , auf allen Bahnabschnitten gleich ist.

Ein solches Arbeiten mit konstanter Streckenenergie ist in der Regel für die Erzeugung von Bohrlöchern bevorzugt .

Dabei kann man auch berücksichtigen, dass bei gebogenen Abschnitten der Strahlführungsbahn, die Materialbereiche, die auf der konkaven Seite der Strahlbahn liegen bzw. von dieser umgeben werden, mehr aufgewärmt werden, als die Materialbereiche auf der konvexen Seite der Strahlführungsbahn .

In der Regel wird es einfacher sein die konstante Strecke: energie über eine Regelung der Strahlgeshcwindigkeit einzustellen als über den Strahlstrom.

Für manche Anwendungen kann es vorteilhaft sein, mit nicht konstanter Streckenergie zu arbeiten, um z.B. in bestimmten Abschnitten der Strahlführungsbahn vermehrt Material des Werkstückes zu verdampfen. Man kann auch die Streckenleistung im Laufe des Bearbeitungsweges variieren, um z.B. bei auszufahrenden

Ecken die Bahnkurven einfach zu halten und trotzdem das Material lokal stärker aufzuschmelzen, was eine Ausbauchung des Bohrloches ergibt. Ein solches Verfahren könnte man z.B. bei der Erzeugung eines Loches gemäß Reihe (c) von Figur 3 verwenden, um trotz einer Führung des Elektronenstrahles auf einer Kreisbahn die vier Ecken des an sich gewünschten Quadrates herauszuarbeiten.

Bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen wurde durchweg mit einer solchen Anpassung zwischen Bahngeschwindigkeit des Elektronenstrahles und Länge des Strahlimpulses gearbeitet, dass das Werkstück 22 in zwei oder drei

Umläufen des Elektronenstrahles fertig bearbeitet war.

Es versteht sich, dass man auch mit einem Umlauf oder mit mehr als drei Umläufen arbeiten kann.

Generell gilt, dass beim Erzeugen einer Bohrung mit

nur einem Umlauf des Elektronenstrahles eine Bohrungswand erhalten wird, deren Oberflächenqualität nicht gleichförmig ist. Bei zwei Umläufen hat man schon eine deutlich bessere Oberflächenqualität, und bei höheren Ansprüchen an die Oberflächenqualität der Bohrungswand kann man auch mit zwei bis zehn Umläufen eine Bohrung erzeugen.

Bei einer größeren Anzahl von Umläufen stellt sich dann bei Werkstücken, die nur durchschnittlichen Anforderungen zu genügen haben, die Frage, dass der Zuwachs an Bearbeitungszeit und Bearbeitungskosten und die Verbesserung der Oberflächenqualität der Bohrlochwand nicht mehr in einem guten Verhältnis stehen. Für hochwertige Werkstücke, bei denen die Qualität der Bohrungswand die wichtigste Rolle spielt, kann man durchaus aber auch mit umd die 10, um die 20 oder bis hin zu 50 Umläufen arbeiten. In diesem Falle kann man dann die Strahlleistung für diejenigen Umläufe, bei denen keine wesentlichen Materialmengen mehr abgebaut werden und die eher der Glättung der Bohrungswand dienen, die Strahlleistung herabsetzen.

Bei den vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen wurde der Strahl dann ganz abgeschaltet, wenn die Bohrung fertig erzeugt war. In manchen Fällen, in denen es darauf ankommt, dass im Material um die Bohrung herum keine größere Spannungen aufgebaut werden, die später zu einem Materialbruch führen könnten, kann es vorteilhaft sein, den Elektronenstrahl noch einen oder mehrere Umläufe über die dem Bohrloch benachbarten Bereiche des Werkstückes durchführen zu lassen, um dort das Absinken der Temperatur zu verlangsamen.

Derartige Temper-Zyklen werden mit verminderter Strahlleistung durchgeführt, so dass kein nennenswerter weiterer Materialabtrag vom Werkstück erfolgt. Eine entsprechende Temperierbahn ist in Reihe (e) von Figur 3 bei B3 über 180° dargestellt. Für eine solche Temperierung wird der Strahlstrom verkleinert und/oder die Strahlgeschwindigkeit erhöht und/oder der Strahlquerschnitt vergrößert.

Nachstehend werden beispielhaft noch einige Zahlenbeispiele für Arbeitsparameter gegeben:

Dicke des Werkstückes 0,8 mm bis 4 mm

Beschleunigungsspannung 120 kV

Länge des Strahlimpulses lps bis 1 ms

Strahldurchmesser >40 μια

Material der Unterlage: 2 bis 3 mm dicke Platte aus Silikonmasse mit 80 bis 90 % FüllstoffPartikeln aus Gips und/oder Messing

Typischer Durchmesser erzeugter Bohrungen 80 μπι bis 1200 μπι

Folgende Sätze beschreiben weitere erfindungsgemäße

Aspekte des Verfahrens in verallgemeinerter Form. Der Anmelder behält sich das Recht vor, auf irgendeinen der in den nachfolgenden Sätzen beschriebenen Aspekte Ansprüche zu richten:

1. Verfahren zum Erzeugen von kleinen Bohrungen (48)

in Werkstücken (22) unter Verwendung eines Elektronen Strahles (12), bei dem a) das Werkstück (22) auf eine Unterlage (24) gelegt wird, die bei Energiezufuhr ein Gas freisetzt; und b) der Elektronenstrahl (12) so lange auf das Werkstück (22) gerichtet wird, bis er die Unterlage (24) erreicht

2. Verfahren nach Satz 1, dadurch gekennzeichnet,

dass mindestens ein Arbeitsparameter geändert wird, der aus der nachstehenden Parametergruppe ausgewählt ist: Strahldurchmesser, Strahlstrom, Impulsdauer, Strahl- fokussierung, relative Ablage des Elektronenstrahles (12) von einer Geräteachse (18), Bahngeschwindigkeit des

Elektronenstrahles (12) über dem Werkstück (22) ,

Streckenenergie .

3. Verfahren nach Satz 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass zwei oder mehrere Arbeitsparameter der

Parametergruppe geändert werden. 4. Verfahren nach Satz 3, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei der geänderten Arbeitsparameter gleichzeitig geändert werden.

5. Verfahren nach Satz 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens zwei der geänderten Arbeitsparameter nacheinander geändert werden.

6. Verfahren nach einem der Sätze 1 bis 5, dadurch

gekennzeichnet, dass die Änderung innerhalb eines

Strahlimpulses erfolgt.

7. Verfahren nach einem der Sätze 1 bis 6, dadurch

gekennzeichnet, dass die Bearbeitungszeit zwei oder mehr Bewegungszyklen des Elektronenstrahles (12) über das Werkstück (22) hinweg umfasst, vorzugsweise 2 bis 50 Bewegungzyklen, nochmal vorzugsweise 2 bis 20 Bewegungszyklen, nochmals vorzugsweise 2 bis 10 Bewegungszyklen.

8. Verfahren nach Satz 7, dadurch gekennzeichnet,

dass in einem ersten Strahllauf das Werkstück (22) nur unvollständig über seine Dicke aufgeschmolzen wird und die Oberfläche der Unterlage in einem letzten Strahlumlauf erreicht wird, vorzugsweise gegen dessen Ende.

9. Verfahren nach Satz 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass in mindestens einem der letzten Zyklen, vorzugsweise der letzten fünf Zyklen, der Elektronenstrahl (12) in radialer Auswärtsrichtung um eine Strecke zugestellt wird, die einem kleinen Bruchteil des Strahldurchmessers entspricht, vorzugsweise etwa 2% bis etwa 5% des Strahldurchmessers

10. Verfahren nach einem der Sätze 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Bohrung (48) mit zwei, drei, usw. aufeinanderfolgenden Strahlimpulsen erzeugt wird.

11. Verfahren nach Satz 10, dadurch gekennzeichnet,

dass mit dem ersten Strahlimpuls das Werkstück bis in eine Tiefe aufgeschmolzen wird, die mindestens etwa die Hälfte, ein Drittel usw. der Werkstückdicke ist, wobei die Unterlage (24) aber noch nicht erreicht wird, und mit dem zweiten, dritten usw. Strahlimpuls das Durchschmelzen des verbleibenden Materialsteges bis zur Unterlage (24) erfolgt und die Wände des von ersten vorhergehenden

Strahlimpulsen erzeugten Teiles des Bohrunges (48) überfahren werden.

12. Verfahren nach Satz 11 und Satz 2, dadurch

gekennzeichnet, dass der zweite, dritte usw. Strahlimpuls sich durch einen seiner Parameter vom ersten

Strahlimpuls unterscheidet, der aus der genannten Parametergruppe ausgesucht ist.

13. Verfahren nach Satz 12, dadurch gekennzeichnet,

dass die Bewegungsgeschwindigkeit und die Bahn, auf welcher der Elektronenstrahl (12) zum Zwecke der

Bearbeitung geführt wird, so aufeinander abgestimmt sind, dass zumindest ein Abschnitt der Bohrung bei der Erzeugung desselben zweimal überstrichen wird.

14. Verfahren nach einem der Sätze 1 bis 13, dadurch

gekennzeichnet, dass die Bahn des Elektronenstrahles

(2) inkrementweise durchlaufen wird.

15. Verfahren nach einem der Sätze 1 bis 14, dadurch

gekennzeichnet, dass der Elektronenstrahl (12) nacheinander auf Bahnen geführt wird, deren Abstand in zur Bewegungsrichtung des Strahles senkrechter Richtung kleiner ist als der Strahldurchmesser, vorzugsweise 10 bis 40% desselben, nochmals vorzugsweise 15 bis 25% desselben beträgt.

16. Verfahren nach einem der Sätze 1 bis 15, dadurch

gekennzeichnet, dass der Elektronenstrahl (12) nach Fertigstellung der Bohrung über den Rand des die Bohrung umgebenden Materials geführt wird, vorzugsweise mit

derart verminderter Energie, dass das Material des Werkstückes nicht geschmolzen und nicht verdampft wird.