Titel VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES STRESSENTKOPPELTEN

MIKROMECHANISCHEN DRUCKSENSORS Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen

Drucksensors. Die Erfindung betrifft ferner einen mikromechanischen Drucksensor.

Stand der Technik

Mikromechanische Drucksensoren, bei denen eine Druckdifferenz in Abhängigkeit von einer Verformung einer Sensormembran gemessen wird, sind beispielsweise aus DE 10 2004 006 197 A1 bekannt. Halbleiterwiderstände, die bei bekannten mikromechanischen Drucksensoren als mechanisch-elektrische Wandler verwendet werden, nehmen nicht nur den mechanischen Stress auf, der sich durch den Druckeinfluss auf die Membran ergibt, sondern auch Stress durch mechanische Störeinflüsse. Die beiden wichtigsten Störeinflüsse sind dabei folgende:

- Eingekoppelter Stress seitens der Aufbau- und Verbindungstechnik (AVT) durch:

- Verformung der Leiterplatte, auf die der Sensor montiert ist

- Verformung des Gehäuses über Temperatur, z.B. durch Löten

- Temperaturverhalten eines verwendeten Klebers

- Intrinsischer Stress aus dem Sensorelement durch Temperaturverhalten von Deckschichten Teilweise sind die genannten Effekte durch einen geeigneten Abgleich zu beherrschen, zum Beispiel bei den dielektrischen Deckschichten. Der Einfluss der Metallisierung sowie des AVT-seitig eingekoppelten Stresses unterliegt einer erheblichen Abhängigkeit von einer Historie des Bauteils (z.B. aufgrund von Kriechen des Metalls, insbesondere beim/nach dem Löten). Dies kann nicht durch einen Abgleich vor Auslieferung der Bauelemente kompensiert werden.

DE 10 2015 1 16 353 A1 offenbart einen mikrointegrierten gekapselten MEMS- Sensor mit mechanischer Entkopplung und ein Herstellungsverfahren hierfür. Dabei wird der auf einem SOI-Substrat hergestellte Drucksensor von der Rückseite durch Herausätzen der vergrabenen Oxidschicht, z.B. mittels HF- Gasphasenätzen freigestellt. Die Zuleitung des Ätzgases erfolgt dabei durch zuvor in das Silizium der Waferrückseite getrenchte Zugangslöcher.

Offenbarung der Erfindung

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein alternatives Herstellverfahren für einen mikromechanischen Drucksensor mit verbessertem

Betriebsverhalten bereit zu stellen.

Die Aufgabe wird gemäß einem ersten Aspekt gelöst mit einem Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Drucksensors, aufweisend die Schritte:

Bereitstellen eines MEMS-Wafers mit einem Siliziumsubstrat und einer darin ausgebildeten ersten Kavität unter einer Sensormembran;

Bereitstellen eines zweiten Wafers;

Bonden des MEMS-Wafers mit dem zweiten Wafer;

Ausbilden einer Sensormembran im Siliziumsubstrat; und

Freistellen eines Sensorkerns von der Rückseite her, wobei eine zweite Kavität zwischen dem Sensorkern und der Oberfläche des Siliziumsubstrats ausgebildet wird, wobei die zweite Kavität mittels eines Ätzprozesses, der mit definiert geänderten Ätzparametern durchgeführt wird, ausgebildet wird.

Auf diese Weise wird ein mikromechanischer Drucksensor mit einer allseitig freigestellten Drucksensormembran bereitgestellt, wodurch eine effiziente Stressentkopplungsstruktur realisiert ist. Durch eine Änderung eines Ätzregimes ist die Bereitstellung der dazu erforderlichen zweiten Kavität innerhalb des Siliziumsubstrats möglich. Auf diese Weise werden zugleich ein wirksamer Schutz vor Verschmutzung und ein Medienzugang für den mikromechanischen Drucksensor geschaffen. Fehlsignale des mikromechanischen Drucksensors können auf diese Weise stark reduziert werden, wodurch eine Betriebscharakteristik des Drucksensors verbessert ist. Mittels der Stützwirkung des zweiten Wafers, der mit dem MEMS-Wafer gebondet ist, kann der gesamte

Prozess von der Rückseite her auf komfortable Weise durchgeführt werden.

Gemäß einem zweiten Aspekt wird die Aufgabe gelöst mit einem mikromechanischen Drucksensor, aufweisend:

- einen in einem Siliziumsubstrat ausgebildeten Drucksensorkern mit einer

Sensormembran, wobei in der Sensormembran eine erste Kavität ausgebildet ist;

eine im Siliziumsubstrat oberhalb des Sensorkerns ausgebildete zweite Kavität;

- wobei die zweite Kavität mittels eines Ätzprozesses erzeugt wurde,

dessen Ätzparameter während des Ätzprozesses definiert geändert wurden.

Bevorzugte Ausführungsformen des Verfahrens zum Herstellen eines mikro- mechanischen Drucksensors sind Gegenstand von abhängigen Ansprüchen.

Eine vorteilhafte Weiterbildung des Verfahrens sieht vor, dass zum Ausbilden der zweiten Kavität der Ätzprozess ein reaktiver lonen-Tiefätzprozess mit anisotropem Beginn und definiert isotroper Fortsetzung ist. Auf diese Weise werden an sich bekannte Ätzprozesse in vorteilhafter Weise zur Ausbildung der zweiten

Kavität verwendet.

Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung des Verfahrens sieht vor, dass zum Ausbilden der zweiten Kavität mittels eines senkrechten Ätzprozesses

Zugangsöffnungen im Siliziumsubstrat erzeugt werden, wobei der senkrechte

Ätzprozess in einen seitlichen Ätzprozess geändert wird, wobei aus dem seitlichen Ätzprozess resultierende kugelförmige Ätzfronten zusammenwachsen. Dadurch werden auf vorteilhafte Weise spezifische Eigenschaften von an sich bekannten Ätzprozessen zur Bereitstellung der zweiten Kavität ausgenutzt.

Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung des Verfahrens zeichnet sich dadurch aus, dass nach dem reaktiven lonen-Tiefätzprozesses ein Passivier- und Sputter- Anteil des Ätzprozesses abgeschaltet wird. Dadurch werden auf wirkungsvolle Weise Maßnahmen zur Anpassung von an sich bekannten Ätzprozessen zur Schaffung der zweiten Kavität getroffen.

Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung des Verfahrens sieht vor, dass der gesamte Ätzprozess von Beginn an definiert isotrop ausgebildet ist. Auf diese Weise wird vorteilhaft eine alternative Herstellungsmethode bereitgestellt.

Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung des Verfahrens sieht vor, dass mittels des Ätzprozesses von Beginn an nach unten aufweitende, trapezartige Ätzfronten ausgebildet werden. Auf diese Weise wird vorteilhaft ein nach unten ausgebildetes trapezförmig aufweitendes Ätzregime bereitgestellt, wodurch vorteilhaft ein Einführen von Ätzgas erleichtert ist. Zudem können dadurch Ätzzeiten reduziert und der gesamte Prozess besser kontrolliert werden.

Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung des Verfahrens sieht vor, dass der zweite Wafer ein passiver Substratwafer oder ein ASIC-Wafer ist. Dadurch werden vorteilhaft unterschiedliche Möglichkeiten für die Ausbildung des zweiten Wafers realisiert.

Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung des Verfahrens sieht vor, dass der mikromechanische Drucksensor als ein piezoresistiver Drucksensor oder als ein kapazitiver Drucksensor ausgebildet wird. Auf diese Weise können unterschiedliche technologische Typen von mikromechanischen Drucksensoren realisiert werden.

Die Erfindung wird im Folgenden mit weiteren Merkmalen und Vorteilen anhand von mehreren Figuren im Detail beschrieben. Gleiche oder funktionsgleiche Elemente haben gleiche Bezugszeichen. Die Figuren sind insbesondere dazu gedacht, die erfindungswesentlichen Prinzipien zu verdeutlichen und sind nicht unbedingt maßstabsgetreu ausgeführt. Der besseren Übersichtlichkeit halber kann vorgesehen sein, dass nicht in sämtlichen Figuren sämtliche Bezugszeichen eingezeichnet sind.

Offenbarte Verfahrensmerkmale ergeben sich analog aus entsprechenden offenbarten Vorrichtungsmerkmalen und umgekehrt. Dies bedeutet insbe- sondere, dass sich Merkmale, technische Vorteile und Ausführungen betreffend das Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Drucksensors in analoger Weise aus entsprechenden Ausführungen, Merkmalen und technischen Vorteilen des mikromechanischen Drucksensors ergeben und umgekehrt.

In den Figuren zeigt:

Fig. 1 ...4 Querschnittsansichten zur Erläuterung des vorgeschlagenen

Verfahrens zum Herstellen eines mikromechanischen

Drucksensors;

Fig. 5 und 6 Querschnittsansichten zur Erläuterung eines alternativen

Verfahrens zum Herstellen eines mikromechanischen

Drucksensors;

Fig. 7 und 8 mögliche Endbearbeitungen des vorgeschlagenen mikromechanischen Drucksensors; und

Fig. 9 einen prinzipiellen Ablauf einer Ausführungsform eines

Verfahrens zum Herstellen eines mikromechanischen

Drucksensors.

Beschreibung von Ausführungsformen

Ein Kerngedanke der vorliegenden Erfindung ist die Bereitstellung eines verbesserten Herstellungsverfahrens für einen mikromechanischen Drucksensor. Dazu wird ein spezifisch ausgebildetes Ätzverfahren vorgeschlagen, welches mit einem einfachen, kostengünstigen Si-Substrat durchgeführt werden kann.

Erreicht wird auf diese Weise eine effiziente Stressentkopplungsstruktur, die für den mikromechanischen Drucksensor auch eine Schutzeinrichtung für externe Partikel bzw. externe Feuchte realisiert.

Der besseren Übersichtlichkeit halber sind nachfolgend für die Erfindung unwesentliche Strukturen bzw. Elemente nicht näher erläutert. Fig. 1 zeigt eine Querschnittsansicht eines ersten Wafers 10 mit einem

Siliziumsubstrat 1 1 , auf dem eine dielektrische Deckschicht 15 angeordnet ist. Innerhalb des Siliziumsubstrats 1 1 sind erste Zugangsöffnungen 14 und ferner eine erste Kavität 13 ausgebildet. Unterhalb der ersten Kavität 13 ist Bulk- Silizium 13a erkennbar. Ein Metallisierungselement 16 dient zur nachfolgenden

Ausbildung einer eutektischen Bondverbindung 20 mit einem zweiten Wafer 30.

Fig. 2 zeigt die Anordnung von Fig. 1 um 180 Grad verdreht, wobei der erste Wafer 10 nunmehr mit einem zweiten Wafer 30 vorzugsweise eutektisch gebondet ist, wodurch eine Bondverbindung 20 geschaffen wurde. Der zweite

Wafer 30 kann als ein ASIC-Wafer oder alternativ als ein passiver Substratwafer (nicht dargestellt) ausgebildet sein. Im Falle eines ASIC-Wafers umfasst der zweite Wafer 30 ein ASIC-Substrat 31 und eine darauf angeordnete

Funktionsschicht 32. Der derart gebildete Stapel kann rückgedünnt werden (z. B. durch Schleifen), um die Bearbeitungszeit im darauffolgenden Strukturierungs- schritt zu verkürzen und um die Bauteilhöhe zu reduzieren.

Fig. 3 zeigt eine Querschnittsansicht durch die beiden gebondeten Wafer 10, 30. In einem nächsten Schritt wird mittels Fotolithographie ein Lochmuster im

Siliziumsubstrat 1 1 erzeugt. Das genannte Lochmuster wird anschließend geätzt, vorzugweise mittels eines senkrechten bzw. anisotropen Ätzprozesses, vorzugsweise in Form eines reaktiven lonentiefätzens (engl, deep reactive ion etching, DRIE). Dadurch werden zweite Zugangsöffnungen 17 im Siliziumsubstrat 1 1 ausgebildet. Die Ätzung der der zweiten Zugangsöffnungen 17 stoppt im Bulk-Silizium des Siliziumsubstrats 1 1 . Dieser Strukturierungsschritt kann auch verwendet werden, um in anderen Bereichen großflächige Ätzlöcher zu erzeugen, die zum Beispiel einen Zugang zu Bondbereichen (engl, bondlands) oder Sägegräben schaffen. Im weiteren Ablauf wird durch ein Ausschalten des Passivier- und Sputteranteils im genannten DRIE-Ätzprozess mit einer ungerichteten bzw. isotropen

Weiterätzung am Grund der zweiten Zugangsöffnungen 17 eine Unterätzung erreicht. Aus einem Bereich mit Sacklöchern wird auf diese Weise ein

freistehendes Gitter ohne mechanischen Kontakt zum Sensorkern. Ein

Drahtbond- bzw. Sägegrabenbereich kann in diesem Schritt freigeätzt werden. Fig. 4 zeigt eine Konsequenz des genannten, geänderten Ätzregimes während der Ausbildung der zweiten Zugangsöffnungen 17. Man erkennt, dass aufgrund der geänderten Ätzparameter im Siliziumsubstrat 1 1 nunmehr kugelförmige Ätzfronten zusammengewachsen sind und auf diese Weise eine zweite Kavität 18 bilden. Die zweite Kavität 18 wird durch ein Gitter, das im Siliziumsubstrat 1 1 durch die ersten Zugangsöffnungen 17 gebildet wurde, vom restlichen Substrat getrennt. Der Drucksensorkern ist mittels Federn 19, die elektrische Zuleitungen (nicht dargestellt) aufweisen, an das restliche Substrat angebunden. Im Ergebnis ist damit durch die nunmehr durchgängigen ersten Zugangsöffnungen 14, die zweite Kavität 18 und die durchgängigen zweiten Zugangsöffnungen 17 für die Sensormembran 12 eine allseitige Freistellung und damit eine mechanische Entkopplungsstruktur gegen extern einwirkenden mechanischen Stress geschaffen. Dadurch wird, abgesehen von elektrischen Zugängen und einer mechanischen Fixierung des Drucksensorkerns, eine allseitige mechanische Entkopplung des Drucksensorkerns geschaffen, um auf vorteilhafte Weise mechanische Einflüsse vom Chiprand auf den Drucksensorkern zu minimieren.

Durchmesser der zweiten Zugangsöffnungen 17 werden dabei vorzugsweise derart dimensioniert, dass für Medienzugänge des Drucksensors geeignete

Zugangskanäle geschaffen werden. Die zweiten Zugangsöffnungen 17 realisieren auf diese Weise auch einen wirkungsvollen Schutz des Drucksensorkerns vor Partikel und/oder Feuchte (z.B. aufgrund von Spritzwasser). Auf einfache Weise wurde damit der für die genannte Struktur erforderliche

Hohlraum in Form der zweiten Kavität 18 mittels eines Ätzprozesses mit während der Durchführung geänderten Ätzparametern bereitgestellt. Erkennbar ist, dass innerhalb der zweiten Kavität 18 als Folge der isotropen Ätzphase teilsphärische Flächen ausgebildet sind.

Fig. 5 zeigt eine Querschnittansicht durch einen mikromechanischen Drucksensor 100, der nach einem alternativen Verfahren hergestellt wurde. Man erkennt, dass in diesem Fall die zweiten Zugangsöffnungen 17 mit gleichmäßig aufweitenden Ätzfronten ausgebildet werden, die sich trapezartig von der Oberfläche des Siliziumsubstrats 1 1 nach unten aufweiten. Dies kann dadurch erreicht werden, dass der oben genannte DRIE-Prozess derart gesteuert wird, dass einzelne Atzfronten, die durch die zweiten Zugangsöffnungen 17 auf der Substratrückseite definiert sind, im Verlaufe des Prozesses zusammenlaufen und als eine einheitliche Ätzfront den Drucksensorkern von der Rück- bzw. Oberseite des Siliziumsubstrats 1 1 trennen.

Im Ergebnis ist somit, wie in Fig. 6 erkennbar, die zweite Kavität 18 gegen die Oberfläche des Siliziumsubstrats 1 1 und seitlich hin aus den trapezförmigen Ätzfronten gebildet. Im Ergebnis können auf diese Weise Ätzgase leichter eingeführt werden und der gesamte Ätzprozess ist vorteilhaft gut steuerbar.

Die Figuren 7 und 8 zeigen Ergebnisse von anschließenden finalen Bearbeitungsschritten für den mikromechanischen Drucksensor 100. In Fig. 7 ist ein elektrisches Anschließen des mikromechanischen Drucksensors 100 mittels einer elektrischen Durchkontaktierung 41 und Lötbällen 50 angedeutet.

Fig. 8 zeigt einen mikromechanischen Drucksensor 100, der mit Moldmasse umspritzt ist, wodurch für den mikromechanischen Drucksensor 100 ein stabiles und widerstandsfähiges Gehäuse bereitgestellt wird. Vorteilhaft ist auf diese Weise ein stressentkoppelter Drucksensor mit einem kostengünstigen ersten Wafer 10 mit einem Siliziumsubstrat 1 1 bereitgestellt. Eine Verwendung von kostenintensiven Substraten, z.B. in Form eines SOI-Substrats für den ersten MEMS-Wafer 10, ist auf diese Weise nicht erforderlich. Dadurch können beim Herstellen eines stressentkoppelten, mikromechanischen Drucksensors vorteilhaft Kostenvorteile erreicht werden.

Vorzugweise wird der mikromechanische Drucksensor 100 als ein piezoresistiver Drucksensor ausgebildet, denkbar ist aber auch eine Realisierung als kapazitiver mikromechanischer Drucksensor.

Fig. 9 zeigt einen prinzipiellen Ablauf eines Verfahrens zum Herstellen eines mikromechanischen Drucksensors 100.

In einem Schritt 200 wird ein MEMS-Wafer 10 mit einem Siliziumsubstrat 1 1 und einer darin ausgebildeten ersten Kavität 13 unter einer Sensor-Siliziummembran 12 bereitgestellt. ln einem Schritt 210 wird ein zweiter Wafer 30 bereitgestellt.

In einem Schritt 220 wird ein Bonden des MEMS-Wafers 10 mit dem zweiten Wafer 30 durchgeführt.

Schließlich wird in einem Schritt 240 ein Freistellen eines Sensorkerns 12, 13, 13a von der Rückseite her durchgeführt, wobei eine zweite Kavität 18 zwischen dem Sensorkern 12, 13, 13a und der Oberfläche des Siliziumsubstrats 1 1 ausgebildet wird, wobei die zweite Kavität 18 mittels eines Ätzprozesses, der mit definiert geänderten Ätzparametern durchgeführt wird, ausgebildet wird.

Zusammenfassend wird mit der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Drucksensors vorgeschlagen, mit dem auf kostengünstige Weise eine Stressentkopplungsstruktur bereitstellbar ist. Erreicht wird dies durch eine Änderung eines Ätzregimes bei einer Ausbildung einer zweiten Kavität innerhalb des ersten Wafers oberhalb der Drucksensormembran.

Obwohl die Erfindung vorgehend anhand von konkreten Anwendungsbeispielen beschrieben worden ist, kann der Fachmann vorgehend auch nicht oder nur teilweise offenbarte Ausführungsformen der Erfindung realisieren, ohne vom Kern der Erfindung abzuweichen.