Die Erfindung betrifft ein Verfahren, das zur planaren Her¬ stellung von pneumatischen und fluidischen Miniaturmanipulato¬ ren genutzt werden kann, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.

Die Erfindung kann zur Herstellung von Manipulatoren genutzt werden, die z. B. zum Erreichen von schwer zugänglichen Gebie¬ ten angewandt und in der Mechanik, Kybernetik, Fluidtechnik, Pneumatik, Bewegungsphysik, Medizintechnik verwendet werden, und beispielsweise als Minimanipulator in der minimal invasi- ven Chirurgie und Neurochirurgie einsetzbar sind.

Die Verwendung von Flüssigkeiten oder Gasen als Antriebsmedium für Aktoren hat den Vorteil, daß große Energiemengen extern erzeugt und verlustfrei über feinste Übertragungsstrecken zum Wirkungsort transportiert werden können, um dort Arbeit zu verrichten.

Manipulatoren mit diesen Antriebsarten werden aus dreidimen¬ sionalen Komponenten mit einer dreidimensional arbeitenden Fertigungstechnologie hergestellt. Die technologische Be- herrschbarkeit von z. B. schlauchförmigen Manipulatoren für die Neurochirurgie, beschränkt sich auf Durchmesser von ca. 2 - 5 mm, wobei mit bis zu drei Freiheitsgraden nur ein einge¬ schränkter Bewegungskreis zur Verfügung steht.

[R. Trapp, B. Neisius, HIT, E. Holler, IAI, M. Englert, Ing.- Büro für technische Kybenetik: Telemanipulator für die minimal invasive Chirurgie, Nachrichten, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Jahrgang 27, 2-3/95, S. 145 - 154. A. Guber, W. Menz, IMT: MINOP - Entwicklung eines miniaturisierten neuroendosko- pischen Operationssystems, Nachrichten, Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Jahrgang 27, 2-3/95, S. 155 - 160.]

Nachteile des derzeitigen Stands der Technik sind:

Der feinwerktechnischen Herstellung von pneumatisch- bzw. flüssigkeitsangetriebenen Manipulatoren sind Grenzen gesetzt in Bezug auf Miniaturisierung, Komplexität und Materialbela¬ stung. Für viele Anwendungsgebiete wie z. B. in der Neurochi¬ rurgie, sind die herstellbaren Manipulatoren noch zu groß und zu unbeweglich.

Der technologische Aufwand steigt mit kleiner werdenden Struk¬ turen, da entsprechend präzisere Werkzeuge für die Bearbeitung benötigt werden. Besonders die maschinelle Montage mehrerer dreidimensionaler Einzelkomponeten setzt sehr genaue Automaten mit vielen Freiheitsgraden voraus. Dadurch ist die automati¬ sche Produktion eingeschränkt und eine Massenproduktion behin¬ dert. Der technologische Aufwand steigt auch mit zunehmender Komplexität der hergestellten Manipulatoren, z. B. durch die steigende Anzahl der Freiheitsgrade, da eine größere Anzahl von Einzelkomponenten montiert werden muß.

Der im Patentanspruch 1 angegebenen Erfindung liegt das Pro¬ blem zugrunde, ein Verfahren zur planaren Herstellung von pneumatischen und fluidischen Miniaturmanipulatoren vorzu¬ schlagen, mit dem ein Miniaturaktor durch ein gasförmiges oder flüssiges Medium angetrieben wird und mit dem beispielsweise wurmähnliche Manipulatoren mit vielen Aktoren herstellbar sind, deren Durchmesser nur einige Millimeter und kleiner als ein Millimeter betragen.

Erfindungsgemäß wird dieses Problem durch den in den Pa¬ tentansprüchen angegebenen Merkmale gelöst.

Mit der Erfindung werden folgende Vorteile erzielt:

1. daß sich mit dem beschriebenen Verfahren sehr kleine Mani¬ pulatoren herstellen lassen, die über viele Freiheitsgrade verfügen;

2. daß eine Montage kleinster Einzelkomponenten nicht möglich ist;

3. daß ohne erheblichen technologischen Mehraufwand eine zu¬ nehmende Anzahl von Freiheitsgraden und eine Umstellung auf eine neue Form realisierbar ist;

4. daß Form und Funktion des Manipulators in einem großem Rah¬ men frei gestaltbar sind;

5. daß bei steigender Komplexität des Bewegungsapparates der technologische Aufwand unverändert bleibt;

6. daß mit jedem technologischen Schritt mehrere Manipulatoren gleichzeitig bearbeitet werden können;

7. daß die Massenherstellung die Realisierung eines Einmalpro¬ duktes mit seinen Vorteilen, z. B. keine Wartung und Reini¬ gung, ermöglicht;

8. daß für die zweidimensionale Konstruktion und Bearbeitung eine Vielzahl von rechnergestützten Gestaltungshilfen zur Verfügung stehen;

9. daß der Manipulator aus preiswertem Folienmaterial her¬ stellt wird;

10.daß der Manipulator vollständig aus Kunststoff gefertigt werden kann und somit keine Beeinträchtigung für durchstrah¬ lende Aufnahmen darstellt;

11.daß sich der Manipulator durch seine flache Bauform und seine flexible Eigenschaft im drucklosen Zustand durch kleine Öffnungen in Hohlräumen bringen, sowie platzsparend transportieren und lagern läßt.

Die Erfindung wird nachstehend an mehreren Ausführungsbeispie¬ len näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 den Verfahrensablauf allgemein,

Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel des Verfahrens,

Fig. 3 eine schematische Darstellung der Heizung,

Fig. 4 Darstellung eines Miniaturaktors mit einem Bewegungs¬ prinzip, das auf Kontraktion beruht,

Fig. 5 Darstellung eine Miniaturaktors mit einem Bewegungs¬ prinzip, das auf Expansion beruht.

Die Wirkungsweise wird, wie folgt, beschrieben:

Nach Figur 1 ist das Verfahren zur planaren Herstellung von pneumatischen und fluidischen Miniaturmanipulatoren, entspre¬ chend Patentanspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens zwei oder mehr Folien übereinander geschichtet sind und mit¬ einander zu einer Ebene verbunden werden, so daß Kammern und Kanäle entstehen, die in ihrer Gestalt beliebig sind.

Fig. 1/Abb. A zeigt, wie Folie 1 und Folie 2 übereinander ge¬ schichtet, und im Anschluß entlang der gestrichelten Linie miteinander verbunden werden.

Die Verbindung aus Folie 1 und Folie 2 wird in Fig. 1/Abb. B als Ebene 1 dargestellt. Diese Ebene besitzt nun eine, über einen Kanal aufpumpbare Kammer.

Nach Figur 2 erfolgt die Verbindung zweier Folien entlang ei¬ ner in Fig. 1/Abb. A gestrichelt gezeichneten Linie durch Ver¬ schweißen. Zwei Folien werden zwischen Heizung und Grundplatte gepreßt. Die flexible Schicht stellt einen guten Kontakt her zwischen den Folien und der Heizung. Die Heizung besitzt, ver-

gleichbar einem Stempel, die gewünschte Form der zu erzeu¬ genden Struktur z.B. Kanäle und Kammern. Folie 1 und Folie 2 verschmelzen entlang der Heizstruktur miteinander. Eine mögli¬ che Ausführung der Heizung ist in Fig. 3 dargestellt.

Nach Figur 3 kann die unter Figur 2 beschriebene Heizung durch eine Leiterplattenstruktur realisiert werden.

Die Struktur des Leiterzuges wird durch die zu realisierenden Folienverbindung bestimmt. Wird der Leiterzug vom Strom durch¬ flössen, heizt sich der Leiterzug auf. Diese Erwärmung führt zum Verschmelzen der Folien entlang des Leiterzuges und damit zum festen Verbund der Folien an der gewünschten Stelle.

Nach Figur 4 werden drei, entsprechend Patentanspruch 1 herge¬ stellte Ebenen, entsprechend Patentanspruch 2 zu einem Manipu¬ lator verbunden. Die Verbindung erfolgt entlang der in Fig. 4/Abb. D gezeichneten breiten Linien. Die Ebene 2 stellt dabei entsprechend Patentanspruch 7 und 8 ein Stütztelement dar.

Durch Aufpumpen und Entleeren der Folienelemente entsprechend Fig. 4/Abb. E wird nach Patentanspruch 3 bis 5 eine Bewegung des Manipulators dadurch erzielt, daß die mit der Verformung der Folien verbundene Kontraktion der Kammern für eine zusam¬ menführend Bewegung genutzt wird.

Nach Figur 5 werden fünf, entsprechend Patentanspruch 1 herge¬ stellte Ebenen, entsprechend Patentanspruch 2 zu einem Manipu¬ lator verbunden. Die Verbindung erfolgt entlang der in Fig. 5/Abb. F gezeichneten breiten Linien. Die Ebenen 1, 3 und 5 stellen, entsprechend Patentanspruch 7 und 8, Stützelemente dar.

Durch Aufpumpen und Entleeren der Folienelemente entsprechend Fig. 5/Abb. G wird nach Patentanspruch 3, 4 und 6 eine Bewe¬ gung des Manipulators dadurch erzielt, daß die mit der Verfor-

mung der Folien verbundene Volumenzunahme für die Auseinander¬ bewegung zweier Punkte genutzt wird.