Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bereitstellen von kalibrierten Druckmessumformern.

Druckmessumformer weisen ein Sensormodul, einen Prozessanschluss und ein mit dem Prozessanschluss gekoppeltes Elektronikmodul aufweist; wobei das Sensor- modul ein Sensormodulgehäuse, eine Messschaltung, einen Drucksensor mit einem Verformungskörper, insbesondere in Form einer Messmembran, und einem Mess- wandler zum Bereitstellen eines ersten analogen Primärsignals, und eines zweiten analogen Primärsignals, der mit dem Verformungskörper funktional verbunden ist, wobei der Drucksensor und die Messschaltung in dem Gehäuse angeordnet sind; wobei der Verformungskörper mit einem Druck beaufschlagbar ist, wobei das erste Primärsignal S1 eine erste Abhängigkeit von einer druckabhängigen Verformung des Verformungs- körpers und einer Temperatur des Drucksensors aufweist, wobei das zweite Primär- signal S2 eine zweite Abhängigkeit von der druckabhängigen Verformung des Verfor- mungskörpers und der Temperatur des Drucksensors aufweist, die von der ersten Abhängigkeit abweicht, wobei die Messschaltung dazu eingerichtet ist, abhängig von dem ersten Primärsignal S1 und dem zweiten Primärsignal S2, einen Sensormesswert pS(S1 , S2) zu ermitteln und an einer Sensormodulschnittstelle bereitzustellen; wobei das Elektronikmodul ein Elektronikgehäuse und eine Signalisierungsschaltung aufweist, welche in dem Elektronikgehäuse angeordnet ist, eine Elektronikmodulschnittstelle zum Empfangen des Sensormesswerts pS von der Sensormodulschnittstelle und eine Signalisierungsschnittstelle zum Ausgeben eines Messwertsignals SM(pS) in

Abhängigkeit von dem empfangenen Sensormesswert aufweist. Derartige

Druckmessumformer sind beispielsweise von Endress+Hauser unter den

Bezeichnungen Cerabar, Deltabar, und Deltapilot erhältlich.

Der modulare Aufbau der Druckmessumformer bietet die Gelegenheit, für ver- schiedene Messaufgaben und Einsatzorte geeignete Kombinationen von Sensormo- dulen und Elektronikmodulen zu kombinieren, wobei die meisten Druckmessumformer dazu eingerichtet sind ein analoges Messwertsignal, insbesondere als Stromsignal zwischen 4 und 20 mA auszugeben. Als Nachweis der Messgenauigkeit ist ein

Kalibrierprotokoll erforderlich, welches vom Elektronikmodul ausgegebene Messwert- Signale definierten Druckwerten p, zuordnet, mit denen das Sensormodul bei der Kali- brierung beaufschlagt wurde.

Insofern, als die Fertigung und Kompensation von Sensormodulen einerseits und die Fertigung von Elektronikmodulen andererseits getrennt erfolgen, und die Kombi- nation eines Elektronikmoduls mit einem Sensormodul in einer Endmontage ein weite- rer, unabhängiger Vorgang ist, erfordert die Kalibrierung des Druckmessumformers, die eine gemessene Beziehung zwischen anliegenden Druckwerten und tatsächlich ausge- gebenen Messwertsignalen dokumentiert, einen großen logistischen Aufwand.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, hier Abhilfe zu schaffen. Die Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch das Verfahren gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1.

Das erfindungsgemäße Verfahren dient zum Bereitstellen von kalibrierten Druck- messumformern, wobei ein verfahrensgemäß bereitgestellter Druckmessumformer ein Sensormodul, einen Prozessanschluss und ein mit dem Prozessanschluss gekoppeltes Elektronikmodul aufweist; wobei das Sensormodul ein Sensormodulgehäuse, eine Messschaltung, einen Drucksensor mit einem Verformungskörper, insbesondere in Form einer Messmembran, und einem Messwandler zum Bereitstellen eines ersten analogen Primärsignals, und eines zweiten analogen Primärsignals, der mit dem Ver- formungskörper funktional verbunden ist, wobei der Drucksensor und die Messschaltung in dem Gehäuse angeordnet sind; wobei der Verformungskörper mit einem Druck beauf- schlagbar ist, wobei das erste Primärsignal S1 eine erste Abhängigkeit von einer druck- abhängigen Verformung des Verformungskörpers und einer Temperatur des Drucksen- sors aufweist, wobei das zweite Primärsignal S2 eine zweite Abhängigkeit von der druckabhängigen Verformung des Verformungskörpers und der Temperatur des Druck- sensors aufweist, die von der ersten Abhängigkeit abweicht, wobei die Messschaltung dazu eingerichtet ist, abhängig von dem ersten Primärsignal S1 und dem zweiten Primärsignal S2, einen Sensormesswert pS(S1 , S2) zu ermitteln und an einer Sensor- modulschnittstelle bereitzustellen; wobei das Elektronikmodul ein Elektronikgehäuse und eine Signalisierungsschaltung aufweist, welche in dem Elektronikgehäuse ange- ordnet ist, eine Elektronikmodulschnittstelle zum Empfangen des Sensormesswerts pS von der Sensormodulschnittstelle und eine Signalisierungsschnittstelle zum Ausgeben eines Messwertsignals SM(pS) in Abhängigkeit von dem empfangenen Sensormesswert aufweist; wobei das Verfahren umfasst:

Kalibrieren des Sensormoduls, wobei das Kalibrieren des Sensormoduls umfasst:

Beaufschlagen des Sensormoduls mit mehreren definierten Druckwerten p, und Erfassen der von dem Sensormodul ausgegebenen Sensormesswerte pS(p,); und

Speichern von Sensorkalibrierdaten, wobei die Sensorkalibrierdaten bei der Kalibrierung angelegte Druckwerte p, und die zugehörigen Sensormesswerte pS(p,) umfassen; separates Kalibrieren eines dem Sensormodul zugeordneten Elektronikmoduls, wobei das Kalibrieren des Elektronikmoduls umfasst:

Verbinden einer Schnittstelle des Elektronikmoduls mit einer Kalibriersignalquelle, wobei die Schnittstelle des Elektronikmoduls beispielsweise eine so genannte

Fertigungsschnittstelle oder die Elektronikmodulschnittstelle sein kann;

Ausgeben der aufgezeichneten Sensormesswerte pS der Sensorkalibrierdaten an die Elektronikmodulschnittstelle mittels der Kalibriersignalquelle;

Erfassen von Messwertsignalen SM(pS), insbesondere bei Raumtemperatur, an der Signalisierungsschnittstelle; und Erstellen eines Kalibrierprotokolls, welches die bei der Kalibrierung des Elektro- nikmoduls erfassten Messwertsignale den definierten Druckwerten p, zuordnet, mit denen das Sensormodul bei der Sensorkalibrierung beaufschlagt wurde.

In einer Weiterbildung der Erfindung wird der Sensormesswert als ein digitales Signal an der Sensormodulschnittstelle ausgegeben. In einer Weiterbildung der Erfindung ist das Messwertsignal ein Stromsignal, insbesondere ein 4 ... 20 mA Stromsignal. In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das Verfahren weiterhin das Verbin- den des Elektronikmoduls mit dem Sensormodul, insbesondere Verbinden der Sensor- modulschnittstelle mit der Elektronikmodulschnittstelle und/oder Montieren des Elek- tronikgehäuses an dem Sensormodulgehäuse. In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das Verfahren weiterhin das

Kompensieren des Sensormoduls, wobei das Kompensieren vor dem Kalibrieren des Sensormoduls erfolgt.

In einer In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das Verfahren weiterhin das Montieren eines Prozessanschlusses; und das Nachjustieren des Sensormoduls; Wobei das Montieren eines Prozessanschlusses und das Nachjustieren zwischen dem Kompensieren und dem Kalibrieren des Sensormoduls erfolgt.

In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das Kompensieren des

Sensormoduls:

Einbringen des Sensormoduls in eine Kompensationsvorrichtung; Beaufschlagen mindestens eines Sensormoduls mit mehreren Druckwerten p, bei mehreren Temperaturen T _j ;

Erfassen der zugehörigen ersten und zweiten Primärsignale S1 (p,, T _j ) und S2(pi,

Tj);

Ermitteln einer Wandlerübertragungsfunktion W(S1 , S2) auf Basis der erfassten Signale zum Berechnen von Sensormesswerten; pS(S1 , S2) = W(S1 (p, T), S2(p, T)) so dass für alle i, j der Sensormesswert pS(S1 (p,, T _j ), S2(p,, T _j )) bis auf einen spezifizierten Toleranzwert dpi einer vorgegebenen linearen Sensorübertragungs- funktion S(p) des Drucks p entspricht, mit dem der Drucksensor beaufschlagt wurde, wobei S(p) = a _s ^* p + S ₀ ;

Implementieren der ermittelten Wandlerübertragungsfunktion W(S1 , S2) in der Messschaltung; und Entfernen des Sensormoduls aus der Kompensationsvorrichtung.

In einer Weiterbildung der Erfindung umfasst das Nachjustieren des

Sensormoduls:

Montieren des Sensormoduls mittels des Prozessanschlusses an einer

Sensormodulkalibrierstation;

Beaufschlagen des Sensormoduls mit mindestens zwei Druckwerten p,, Erfassen der zugehörigen Sensormesswerte pS(p,); und

Ermitteln und Implementieren einer nachjustierten Wandlerübertragungsfunktion W(S1 , S2) bzw. W(S1 , S2, ST) in der Messschaltung so dass die Sensormesswerte pS(pi) für die mindestens zwei Druckmesswerte p, bis auf einen Toleranzwert dp2 der vorgegebenen Sensorübertragungsfunktion S(p) = a _s ^* p + S ₀ ; entsprechen.

In einer Weiterbildung der Erfindung erfolgt das Kalibrieren des Sensormoduls in der Sensormodulkalibrierstation erfolgt durch erneutes Beaufschlagen des Sensormoduls mit mindestens zwei Druckwerten p,; Erfassen der zugehörigen Sensormesswerte pS(p,);

und Speichern der Kalibrierdaten mit den Wertepaaren p,, pS(p,) in einem

Datenspeicher.

In einer Weiterbildung der Erfindung wird das Drucksensormodul über minde- stens zwei definierte Messbereiche kompensiert und/oder kalibriert.

wobei sich ein erster Messbereich von einem zweiten Messbereich hinsichtlich der Spanne unterscheidet, und/oder wobei sich die mittlere Druckdifferenz zwischen den bei der Kalibrierung des Sensormoduls verwendeten Druckwerten im ersten Mess- bereich von der mittleren Druckdifferenz zwischen den bei der Kalibrierung des

Sensormoduls verwendeten Druckwerten im zweiten Messbereich unterscheidet.

Die Erfindung wird nun anhand des in den Zeichnungen dargestellten

Ausführungsbeispiels näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 : Eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels eines mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens bereitgestellten Druckmessumformers; Fig. 2: Eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels eines

Drucksensors eines mittels des erfindungsgemäßen Verfahrens bereitgestellten

Druckmessumformers; und

Fig. 3: Ein Flussdiagramm eines Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Verfahrens.

Der in Fig. 1 dargestellte Druckmessumformer D umfasst ein Drucksensormodul 100 und ein Elektronikmodul 200, das auf dem Drucksensormodul montiert ist.

Das Drucksensormodul 100 umfasst einen Drucksensor 1 , ein Gehäuse 21 , einen Prozessanschluss 41 und eine Messschaltung 61. Der Drucksensor 1 umfasst, wie nä- her in Fig. 2 dargestellt, einen Verformungskörper in Form einer kreisscheibenförmige, keramische Messmembran 2, die mit einem erheblich steiferen kreisplattenförmigen, keramischen Gegenkörper 3 entlang einer umlaufenden Fügestelle 4 unter Bildung einer Messkammer 5 zwischen dem Gegenkörper 3 und der Messmembran 2 druckdicht ge- fügt ist. Der Drucksensor umfasst einen kapazitiven Messwandler mit zwei Kondensa- toren die, zwei durch die druck- und temperaturabhängigen Kapazitäten bestimmte Primärsignale S1 , S2 ausgeben. Flierzu weist die Messmembran 2 auf ihrer gegenkör- perseitigen Oberfläche eine vollflächige Membranelektrode 7 auf, die beispielsweise eine Metallschicht umfasst, Auf der messmembranseitigen Oberfläche des Gegenkör- pers ist eine zentrale, kreisflächenförmige Messelektrode 8 angeordnet, die von einer bezüglich der Membranelektrode 7 in der Ruhelage der Messmembran 2 im wesentli- chen kapazitätsgleichen kreisringförmigen Referenzelektrode 9 umgeben ist. Die Refe- renzelektrode 9 und die Messelektrode 8 sind über metallische Durchführungen 10, 1 1 durch den Grundkörper mit der Messschaltung 61 verbunden. Die Membranelektrode 7 kann beispielsweise über die Fügestelle auf Schaltungsmasse gelegt sein. Die Messschaltung 61 treibt die Elektroden und verarbeitet deren Signale. Ein erstes der Primärsignale S1 repräsentiert eine Messkapazität c _p zwischen der Mess- elektrode 8 und der Membranelektrode 7, während ein zweites der Primärsignale S2 eine Referenzkapazität c _r zwischen der Referenzelektrode 8 und der Membranelektrode 7 repräsentiert. Die Primärsignale gehen beispielsweise in Form von Hilfsgrößen H1 = (S1 -S2) /

S1 und H2 = S2 als Argumente in eine Übertragungsfunktion W(S1 ,S2) ein, für die also gilt W(S1 , S2) := V(H1 ,H2), wobei die Hilfsübertragungsfunktion V(H1 , H2) insbesondere ein Polynom in H1 und H2. Gegebenenfalls weisen die Übertragungsfunktion W(S1 , S2) und die Hilfsübertragungsfunktion noch temperaturabhängige Terme auf, die von dem Signal eines zusätzlichen Temperatursensors abhängen, der eine Temperatur des Ge- genkörpers erfasst. Mittels der Übertragungsfunktion berechnet die Messschaltung 61 einen digitale auszugebenden Sensormesswert pS und stellt diese an einer Sensor- modulschnittstelle 64 bereit.

Beim Kompensieren des Drucksensors, wird der Drucksensor mit einen Feld von Druckwerten über eine Für den Drucksensor definierte Messspanne bei zwei oder mehr Temperaturen über einen für den Drucksensor definierten Temperatureinsatzbereich beaufschlagt, um beispielsweis Koeffizienten für die Funktion V(H1 ,H2) zu bestimmen, so dass für alle Druckwerte p, der jeweils berechnete Sensormesswert pS(p,) = W(S1 (pi, Tj), S2(pi, Tj)) bzw. pS(pi) = V(H1 (pi, T _j ),H2(pi, Tj)) bis auf einen spezifizierte Toleranz- wert dem angelegten Druckwert p, entspricht. Je nach Zahl der Koeffizienten in den Funktionen kann dies beispielsweise fünf bis zehn Druckwerte bei jeweils drei bis fünf verschiedenen Temperaturen erfordern. Die ermittelten Koeffizienten werden in einem Speicher der Messchaltung hinterlegt um die somit die ermittelte Übertragungsfunktion zu implementieren.

Zweckmäßig wird eine Vielzahl von Sensormodulen (100) synchron in einer Kompensationsanlage kompensiert, die einen vergleichsweise kompakten Aufbau haben kann, da nur die Sensormodule ohne Elektronikmodul und vorzugsweise auch ohne Prozessanschluss kompensiert werden.

In einem späteren Fertigungsschritt kann an einem Sensormodul 100 ein Pro- zessanschluss 41 montiert werden, welcher beispielsweise als Flansch ausgebildet ist und mit dem Gehäuse 21 durch eine stirnseitige Schweißnaht verbunden ist, wie in Fig.

1 dargestellt. Das Schweißen soll zwar rückwirkungsarm erfolgen, aber völlig ohne Aus- wirkungen auf die Übertragungsfunktion ist dies kaum möglich. Wenn diese Auswirkun- gen korrigiert werden sollen, reicht eine Zweipunktmessung bei Raumtemperatur bei beispielsweise am Nullpunkt und an einer spezifizierten oberen Messbereichsgrenze aus, um dann beispielsweise eine korrigierte Konstante und einen korrigierten Koeffi- zienten eines linearen Terms in H1 zu ermitteln, mit denen die implementierte Übertra- gungsfunktion nachzujustieren ist. Hierzu ist das Drucksensormodul in einer in einer Kalibrierstation mit den beiden Druckwerten zu beaufschlagen, und die Abweichungen der Sensormesswerte pS(p,) von den p, sind zu erfassen.

Zweckmäßig wird unmittelbar im Anschluss an die Implementierung nachjus- tierten Übertragungsfunktion eine Kalibrierung durchgeführt, wozu das Drucksensor- modul mit mehreren Druckwerten p, beaufschlagt wird, und die zugehörigen Sensor- messwerte pS(p,) in einer Kalibrierdatenbank erfasst werden. Damit ist die tatsächlich erzielte Messgenauigkeit eines ersten Teils eines Signalpfades durch den Messum- former dokumentiert.

Das Drucksensormodul wurde zuvor mit einem Drucksensor mit kapazitivem Wandler beschrieben. Grundsätzlich können auch beliebige andere Wandlerprinzipien zum Einsatz kommen zum Beispiel (piezo-)resistive Wandler insbesondere in Form einer Vollbrückenschaltung bei denen die Diagonalspannung ein in erster Näherung druckproportionales erstes Signal S1 bildet und die Längsspannung ein im Wesent- lichen temperaturabhängiges zweites Signal S2 bildet. Die Art des Wandlers ändert nichts daran, dass nach der Kalibrierung des Sensormoduls ein Kalibrierdatensatz pS(pi) bereitgestellt ist.

Ein Elektronikmodul dient bei Feldgeräten der Prozessmesstechnik im Wesent- lichen dazu, die Sensormesswerte in einem Format zu signalisieren, das in der jewei- ligen Prozessanlage verwendet wird. Flierzu weist ein Elektronikmodul 200 ein Gehäuse 221 und eine Kommunikationsschaltung 261 auf, die in dem Gehäuse angeordnet ist.

Die Kommunikationsschaltung 261 des betriebsbereiten Druckmessumformers ist mittels einer Elektronikmodulschnittstelle 262 an eine Sensormodulschnittstelle 64 des Sensormoduls 100 angeschlossen um in Abhängigkeit von den Sensormesswerten pS ein Messwertsignal SM(pS) zu ermitteln und dieses an ihrer Signalisierungsschnittstelle 264 auszugeben. Vorliegend ist die Kommunikationsschaltung dazu eingerichtet, zunächst einen Stromwert zu berechnen der den Sensormesswert repräsentiert, und dann ein Gleichstromsignal zu stellen, welches dem berechneten Stromwert entspricht, beispielsweise im Wertebereich 4 ... 20 mA.

Um zu überprüfen und zu dokumentieren, dass eine Gesamtübertragungsfunktion des Druckmessumformers zu korrekten Messwertsignalen führt, wird erfindungsgemäß ein zweiter Teil des Signalpfads, der durch die Kommunikationsschaltung realisiert ist, unabhängig vom Sensormodul aber mit den bei der Kalibrierung des Sensormoduls ermittelten Sensormesswerten pS(p,) durchgeführt. Dazu wird die Elektronikmodul- schnittstelle an eine Kalibriersignalquelle angeschlossen, über welche die Kommuni- kationsschaltung mit den bei der Kalibrierung des Sensormoduls aufgezeichneten Sensormesswerten pS(p,) beaufschlagt werden. Die an der Kommunikationsschnittstelle 264 ausgegebenen Messwertsignale SM(pS(pi)), werden erfasst und als Wertepaare

SM(pi), pi in einem Kalibrierprotokoll aufgezeichnet.

Damit ist der Messgenauigkeit des kompletten Signalpfads dokumentiert, ohne dass der komplette Signalpfad jemals durchgängig getestet werden musste. Dies bedingt im Ergebnis eine große logistische Vereinfachung und Kostenreduzierung bei der Bereitstellung von kalibrierten Messumformern, ohne hinsichtlich der Validität der Kalibrierung Kompromisse eingehen zu müssen.

Der Ablauf einer Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens soll nochmals kurz anhand von Fig. 3 zusammengefasst werden.

Zunächst erfolgt das Kompensieren 310 des Sensormoduls mit dem Imple- mentieren der Übertragungsfunktion W(S1 , S2) in der Messschaltung des Sensor- moduls, welche in Abhängigkeit von Primärsignalen S1 ,S2, Sensormesswerte pS generiert.

Bei einer späteren Sensorkalibrierung 320 werden an der Sensormodul- schnittstelle bereitgestellte Sensormesswerte pS(p,) als Funktion von anliegenden Druckwerten p, erfasst und in einer Kalibrierdatenbank gespeichert.

Bei einer späteren Elektronikmodulkalibrierung 330 werden an der

Signalisierungsschnittstelle bereitgestellte Messwertsignalen SM(pS) als Funktion von mittels einer Kalibriersignalquelle angelegten Sensormesswerte pS erfasst und in einer Kalibrierdatenbank gespeichert, wobei die angelegten Sensormesswerte den pS(p,) der Sensorkalibrierung entsprechen.

Schließlich folgt die Kalibrierprotokollerstellung (340) in welchem den bei der Sensorkalibrierung anliegenden Druckwerten p, die bei der Elektronikmodulkalibrierung 330) ermittelten Messwertsignale SM(pS(p,)) zugeordnet werden.