Zur Herstellung hochintegrierter elektronischer Schaltungen (Mikrochips) werden unter anderem extrem hochreine Gase und wässrige Chemikalienlö- sungen benötigt. Bedeutende Lösungen sind : Ammoniaklösung aus Ammo- niakgas, Flusssäurelösung aus Fluorwasserstoff, Salzsäurelösung aus Chlorwasserstoff.

Reine Lösungen werden im allgemeinen hergestellt, indem technische Che- mikalienqualitäten durch statische Filtration von partikulären Verunreinigun- gen befreit und mit Ultra-Reinstwasser zu einer Lösung mit einer gewünsch- ten Konzentration eingestellt werden. In dieser Weise wird beispielsweise ein Aufreinigungsverfahren von Salzsäure in US 5846387 beschrieben.

Die Ultrafiltration stellt bisher heute das einzige und effektivste Verfahren dar, durch das kleinste Teilchen aus Gasen abgetrennt werden können. Jedoch werden nach literaturbekannten Daten durch Ultrafiltrationen lediglich Partikel hochmolekularer organischer Verbindungen abgetrennt, so dass nurTeilchen mit einer Partikelgröße > 10 Dalton auf diese Weise entfernt werden können.

Dagegen besitzen Metallionen aber auch salzhaltige Teilchen Partikelgrößen von < 1 bis 5 Dalton. Diese Teilchengrößen können durch eine Ultrafiltration nicht abgetrennt werden. Teilchen mit Durchmessern kleiner 10 Dalton las- sen sich bisher lediglich über eine Hyperfiltration oder durch Umkehrosmose abtrennen. Die Umkehrosmose ist sowohl für die Aufreinigung von Gasen als auch von hochaggressiven Chemikalien aufgrund der notwendigen ver- fahrenstechnischen Vorkehrungen nicht geeignet. Versuche mit verschiede- nen Umkehrosmoseanlagen zeigten, dass bei größeren Abweichungen des pH-Werts vom neutralen Wert, die Membranen quellen und undurchlässig werden, d. h."verblocken". Auch bedarf es zur eigentlichen Teilchenabtren- nung durch Umkehrosmoseanlagen, Lösungen unterschiedlicher Konzentra- tionen an der semipermeablen Trennmembrane.

Auch die üblichweise eingesetzten Absorptionskolonnen sind zu einer sol- chen Aufreinigung nicht geeignet. Es besteht einmal die Gefahr des Gas- durchbruches bei Randgängigkeit der Kolonne. Ein anderes Problem besteht in einer inhomogenen Schichtung der Füllkörper in der Kolonne, welche zur Oberflächenvergrößerung der Grenzschichten eingesetzt werden. Auch be- steht in der eigentlichen Auslegung der Kolonnen ein großes Problem, da diese vorwiegend intuitive erfolgt. Es gibt keine rechnerische Methode zur Auslegung entsprechender Kolonnen, die eine Vorhersage der Reinigungs- wirkung im ppt-Bereich erlauben, zumal die zu reinigenden aggressiven Gase sowohl mit den Füllkörpern als auch mit den eingesetzten Lösungsmitteln und dem Material der Kolonnen in Wechselwirkung treten.

Es ist bekannt, aufgereinigte und druckverflüssigte Gase zusätzlich über Ver- dampfer zu leiten und das Gas anschließend durch Absorption von metall- schen Verunreinigungen über einen oder mehrere Wäscher zu reinigen. Als Waschflüssigkeit wird dabei eine mit Reinstwasser gesättigte Lösung der gleichen Chemikalie eingesetzt.

In EP 856715 A2 wird ein Verfahren zur Entfernung von metallischen Verun- reinigungen aus korrosiven Gasen beschrieben, indem nach der Erzeugung der Gasphase letztere in eine Vorlage geleitet wird. Es wird durch dieses Verfahren sowohl eine Verringerung der Metallionenkonzentration als auch der Partikeizahl erzielt, da das Überleiten der Gasphase ohne mechanisches Pumpen zwangsläufig durch den Druckunterschied erfolgt.

Alle bekannten Verfahren oder Verfahrensanordnungen zur Gewinnung hochreiner, partikelarmer Lösungen weisen sehr ähnliche Probleme auf Wird das gereinigte Gas direkt in eine Vorlage mit Reinstwasser eingeleitet, ergeben sich an der Einleitdüse sehr hohe Gasgeschwindigkeiten, die einen Abrieb in und an der Düse bewirken und damit eine erneute partikuläre und kationische Verunreinigung der Lösung zur Folge haben.

Da das Lösen der gereinigten Gase in Wasser eine exotherme Reaktion dar- stellt, sind Vorkehrungen für eine gute Wärmeabfuhr zu treffen.

Mit einer ungenügenden Wärmeabfuhr in der Vorlage sind starkeTempera- turschwankungen und damit auch erhebliche Druckschwankungen verbun-

den. Dieses wiederum führt zu Konzentrationsabweichungen in der Lösung.

In der Regel wird deshalb versucht, die Lösung zu homogenisieren, indem das Gas direkt in die Lösung eingeleitet wird und gleichzeitig über eine By- passstrecke die Lösung umgepumpt wird. Dies gelingt jedoch nur unvollstän- dig, da einfaches Umpumpen ein statischer Vorgang ist, wodurch eine Schichtung der Lösung im Lagertank erfolgt. Ein vollkommen homogenes Mi- schen der Lösung erfolgt hierdurch nicht.

Um Chemikalien wie Ammoniak, Flußsäure und Salzsäure in der Elektronik- industrie und Halbleiterherstellung einsetzen zu können, müssen möglichst metallionenfreie Qualitäten zur Verfügung stehen.

Entsprechende Verunreinigungen werden oft mit Hilfe von Füllkörperkolon- nen durch Absorption aus dem Gas ausgewaschen. Füllkörper werden bei diesem Vorgang eingesetzt, um die Austauschfläche zwischen Waschflüssig- keit und Gas zu erhöhen und die Verweilzeit des Gases in der Kolonne zu verlängern. Es besteht bei Füllkörperkolonnen die Gefahr, dass ungereinigtes Gas durchbricht (Randgängigkeit des Gases), sowie dass Aerosole in den reinen Kreislauf übergeleitet werden aufgrund eines begrenzten Abscheid- grades des im Kolonnenkopf eingebauten Demisters. Der Reinigungsgrad bei Kolonnen, insbesondere beim Stoffaustausch im ppt-Bereich, lässt sich meist nur intuitiv durch Zuschläge einstellen. Der Idealzustand möglichst gleich langer Wege der einzelnen Stromfäden, gleicher Strömungsgeschwin- digkeiten und gleichbleibende Mengenverhältnisse zwischen Flüssigkeit und Gas wird in keiner Kolonne vollständig erreicht. Folglich werden zur Optimie- rung oft mehrere Kolonnen hintereinander geschaltet, um eine konstante Auf- reinigung im hochreinen Bereich gewährleisten zu können.

Durch die bekannten Aufreinigungsverfahren zur Herstellung von hochreinen Chemikalien lassen sich organische Verunreinigungen, wie z. B. in druckver- flüssigen technischen Ammoniakgasen immer enthaltene Öle, nicht entfer- nen. Typische Gehalte von Ölen im technischen Ammoniakgas liegen zwi- schen 10 bis 50 ppm/w. Ohne eine Entfernung der Öle kommt es daher zu keiner nennenswerten Abreicherung von organischen Verunreinigungen ("TOC"total organic carbon) in den aufgereinigten Lösungen.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es somit, ein in einfacher Weise ein- setzbares Mittel bzw. ein in einfacher Weise durchführbares, preiswertes Verfahren zur Aufreinigung von korrosiv wirkenden Gasen und zur Herstel- lung von aufgereinigten Lösungen dieser Gase zur Verfügung zu stellen, wel- ches in einer einfachen Anlage durchführbar ist und zu Produkten mit kon- stanter, hochreiner, partikelarmer Qualität führt und welches die vorher be- schriebenen Nachteile nicht aufweist. Aufgabe der Erfindung ist es auch, ein entsprechendes Verfahren zur Verfügung zu stellen, welches angewendet werden kann, um druckverflüssigte Gase, wie z. B. Ammoniak, Flusssäure o- der Salzsäure aufzureinigen.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt durch ein kontinuierliches Verfahren zur Entfernung von partikulären, metallischen, ionischen anorganischen, ioni- schen organischen aber auch von nichtionischen organischen Verunreini- gungen und in Spuren vorhandener Salze oder Öle aus korrosiv wirkenden Gasen, indem in mindestens einem Verfahrensschritt das Gas mit einem Ab- sorptionsmittel angereichert wird, welches mit dem Gas gut mischbar ist und in dem die im Gas enthaltenen Verunreinigungen gut löslich sind, und an- schließend das Gas einer Membranfiltration unterzogen wird, wobei der ge- reinigte Gasstrom die Membran durchströmt und das mit Verunreinigungen angereicherte Absorptionsmittel kontinuierlich abgezogen wird.

Dieses erfindungsgemäße Reinigungsverfahren weist an sich die folgenden Verfahrensschritte auf : a) Eine im flüssigen Zustand vorliegende Chemikalie wird in einem Ver- dampfer in den gasförmigen Zustand überführt. b) Die so erhaltene Gasphase wird mittels eines Vorfilter von groben parti- kulären Verunreinigungen und zum Teil von als Aerosol vorliegenden Ver- unreinigungen befreit, wobei letztere einem Auffangbehälter (7) zugeführt werden, c) Durch Einstellung des Drucks auf einen Wert in einem Bereich zwischen 2 bis 8 bar, vorzugsweise 3 bis 8 bar, und gleichzeitiger Erniedrigung der Temperatur auf einen Wert im Bereich von 20 bis 50°C werden weitere im Gasstrom enthaltene organische Verunreinigungen abgeschieden. d) Der so vorgereinigte Gastrom wird durch mindestens zwei hintereinander

geschaltete Feinstfilter mit abnehmender Porengröße geführt, wobei in der Gasphase vorliegende feinste Partikel über eine Membran abgeschieden werden. e) Noch enthaltene organische Verunreinigungen werden mit Hilfe eines Organikabscheiders abgetrennt und in einen Auffangbehälter (7) geleitet. f) Dem Gasstrom wird über einen Sättigungsbehälter ein Absorptionsmittel zugeführt, wobei letzteres mit dem zu reinigenden Gas gut mischbar ist, eine Oberflächenspannung >50 dynes aufweist. g) Der Gasstrom wird einer Membranfiltration unterzogen, wobei Absorp- tionsmittel entzogen wird, und wird anschließend in einem Mischer in eine ständig zirkulierende Lösung eingeleitet, deren Konzentration mittels Schallgeschwindigkeitsmessung überwacht und geregelt wird.

Erfindungsgemäß wird das Verfahren durchgeführt, indem eine im flüssigen Zustand vorliegende Chemikalie ausgewählt aus der Gruppe Ammoniak, Flu- orwasserstoff und Salzsäure eingesetzt wird.

Die Durchführung des Verfahrens erfolgt, indem die Einstellung des Drucks und der Sättigung des Gases mit Absorptionsmittel mit Hilfe ei- nes Druckminderers und eines Wärmetauschers erfolgt.

Im Organikabscheider erfolgt durch Druck-und Temperatureinstellung aus dem entstandenen Mehrphasengemisch eine Trennung von leicht siedenden und schwer siedenden organischen Verunreinigungen, so dass die leicht siedenden Verunreinigungen als Gas-bzw. Dampfge- misch und die schwer siedenden als kondensiertes Öl oder in Aerosol- form vorliegen, die anschließend mittels geeigneter Membranen abge- trennt werden.

Erfindungsgemäß ist dem Organikabscheider ein weiterer Druckminderer zur Einstellung des Drucks auf einen Wert im Bereich zwischen 1 bis 6 bar nachgeschaltet.

Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist somit ein entsprechendes- Verfahren, in dem zur Abtrennung von feinsten partikulären, metall- schen, ionischen anorganischen, ionischen organischen aber auch von nichtionischen organischen Verunreinigungen und in Spuren vorhande- ner Salze oder Öle Membrane aus einem hydrophoben Trägermaterial

verwendet werden, weiches dem mit g) gekennzeichneten Verfahrens- schritt entspricht.

In einer bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens wird als Absorpti- onsmittel Ultra-Reinstwasser verwendet wird.

In einer besonderen Ausgestaltung des Verfahrens kann der Membran- filtration des Verfahrensschritts g) ein Gaswäscher in Form einer Füll- körperkolonne mit eingebautem Demister nachgeschaltet sein, welcher im Störfall als Puffervolumen dient.

Der Gasstrom kann im Verfahrensschritt g) in einen Mischer mit mehre- ren Einleitrohren geführt werden, worin die Lösung zirkuliert und beim Lösen entstehende exotherme Wärme in einer Schlaufe oder einem o- der mehreren Wärmetauschern abgeführt wird.

Zur Durchführung des Verfahrens wird die Konzentration des gelösten gereinigten Gases durch Schallgeschwindigkeitsmessung kombiniert mit einer genauen Bestimmung der Lösungstemperatur überwacht und ge- regelt.

Insbesondere wird die Aufgabe der vorliegenden Erfindung gelöst durch die Verwendung einer Membran, welche einen Flüssigkeitsfilm aufweist, zur Abtrennung sowohl von gelösten als auch partikulären Verunreini- gungen aus korrosiv wirkenden Gasen.

Das erfindungsgemäße Reinigungsverfahren erfolgt kontinuierlich in ver- schiedenen, nacheinander geschalteten Verfahrensschritten, wobei die Ver- fahrensschritte so gewählt sind, dass sie zusammen zu einer optimalen Ent- fernung sowohl von von partikulären, metallischen, ionischen anorganischen, ionischen organischen aber auch von nichtionischen organischen Verunreini- gungen und in Spuren vorhandener Salze oder Öle führen. Bei den einzel- nen Verfahrensschritten handelt es sich sowohl um dem Fachmann an sich bekannte Schritte als auch um neuartige Reinigungsstufen, die in Kombinati- on miteinander zu einer bisher nicht erzielten Aufreinigung von korrosiv wir- kenden Gasen führt. Durch das Verfahren lassen sich Verunreinigungen so weit entfernen, dass sie nicht mehr nachweisbar sind, bzw. die Konzentratio- nen <10 ppt sind.

Vereinfacht lässt sich das erfindungsgemässe Verfahren als ein Verfahren darstellen, in welches folgende Trennmethoden integriert sind : 1. Abtrennung von organischen Verunreinigungen im Rohgas unter Verwen- dung von speziellen Abscheidern.

2. Impfen des Gasstromes mittels speziellem Absorptionsmittel zum Aufbau einer geeigneten Grenzschicht.

3. Abscheidung von flüchtigen Säuren, anionischen Verunreinigungen wie z. B. Chloride, Nit- rate, von Spurenverunreinigungen, wie Metallionen oder minderflüchtige Salze oder sonstigen Verunreinigungen der Gase mittels eines Flüssigkeitsfilms.

4. Abscheidung von verunreinigten Flüssigkeiten nach erfolgter Aufreinigung durch eine hydrophobe Membran.

5. Reglung der Anlage zur Herstellung einer hochreinen sub ppt Lösung.

6. Konzentrationsmessung mittels Schallwandler in einer speziellen Rohr- sonde und hiermit gekoppelter Regelung der übrigen Verfahrensparameter (Druck, Temperatur, Strömungsgeschwindigkeiten).

An sich erfolgt die erfindungsgemäße Aufreinigung, indem unter Druck ver- flüssige Chemikalien in einem Verdampfer (1) in den gasförmigen Zustand überführt werden. Dieses erfolgt bei HF bei einer Temperatur > 19°C bei Normaldruck, Durch einen Vorfilter (2) wird dieses Rohgas von groben parti- kelförmigen Verunreinigungen, die sich an der Filteroberfläche absetzen, be- freit. Gleichzeitig wird durch den Vorfilter (2) bereits ein Teil der im Gas ent- haltenen Aerosole abgetrennt. Die so abgeschiedenen Aerosole werden in einem Auffangbehälter (7) gesammelt.

In Gasen bzw. in den druckverflüssigten Gasen liegen schwer siedende or- ganische Verunreinigungen, vorzugsweise Öle und Wässer aus dem Her- stellprozess in Bulk-oder Aerosolfom vor, während leichtsiedende Verunrei- nigungen als Gas-oder Dampfgemisch vorliegen. Die Entfernung von sol-

chen organischen Verunreinigungen erfolgt unter Ausnutzung unterschiedli- cher Dampfdruckwerte einzelner Stoffe in Mehrstoffgemischen. Zu diesem Zweck wird mit Hilfe eines Druckminderers (3) und eines Wärmetauschers (4) in der Gasphase ein bestimmter Vordruck und eine bestimmte Temperatur eingestellt. Es hat sich gezeigt, dass eine gute Abtrennung organischer Ver- unreinigungen aus der Gasphase erzielt wird, wenn hierbei der Druck im Be- reich zwischen 3 bis 8 bar liegt und die Temperatur auf einen Wert im Be- reich von 20 bis 50°C eingestellt wird.

Eine erste Abtrennung von organischen Verunreinigungen erfolgt, nachdem partikelförmige Verunreinigungen, welche in Form von Röhrenablagerungen oder Schmutzpartikeln vorliegen, in einer ersten Stufe abgetrennt worden sind. Die Abtrennung der partikelförmigen Verunreinigungen erfolgt, indem das Gas durch mindestens zwei hintereinander geschaltete Feinstfilter (5), welche in Richtung des Gasstroms abnehmende Porengrößen aufweisen, geführt wird.

Nachdem der Gasstrom die Feinstfilter bzw. Filtermembrane durchlaufen hat tritt er in einen Organikabscheider (6) ein. Zur Abscheidung der als Aerosol vorliegenden Verunreinigungen wird der Gasstrom über verschiedenartige, in Abhängigkeit vom Herstellprozess der einzelnen Gase ausgewählte Memb- ranen geleitet. Dabei werden die Aerosole so in den einzelnen Membranen umgeleitet, dass sich beim Zusammenfluss der Aerosolströme Tropfen bil- den. Durch Auswahl geeigneter Membranmaterialien, welche eine geeignete Porenstruktur aufweisen, wird ein"Mitreisen"der Tropfen verhindert. Die zu- rückgehaltenen Tropfen fallen der Schwerkraft folgend in Richtung des Kon- densatableiters und werden in einem Auffangbehälter (7) gesammelt.

Es wurde gefunden, dass im Gasstrom nach dem Passieren des Organikab- scheiders der Gehalt an schwersiedenden Verunreinigungen, d. h. an soge- nannten Restölen, unterhalb der Nachweisgrenze liegt, d. h. <1 ppb liegt.

Beispielsweise sind in Ammoniakgas, welches nach dem erfindungsgemäßen Verfahren gereinigt wurde, mit den heute gebräuchlichen Analysemethoden keine Öle mehr nachweisbar.

Gasförmige Öldämpfe bzw. organische Verunreinigungen, in Form von ge- bundenen flüchtigen Säuren, sowie anionische Verunreinigungen wie Chlori-

de, Nitrat, in Spuren enthaltene Metallionen und minderflüchtige Salze aber evtl. auch noch in geringsten Spuren enthaltene feinste partikelförmige Ver- unreinigungen unterschiedlicher chemischer Natur lassen sich in einer nach- folgenden Reinigungsstufe abtrennen. Die Abtrennung dieser Verunreinigun- gen erfolgt in einem abgewandelten Membranfiltrationsverfahren (10). Zur Durchführung dieser abgewandelten Membranfiltration wird der Druck des Gasstroms in einem zusätzlichen Druckminderer (8) weiter erniedrigt, vor- zugsweise auf einen Wert im Bereich zwischen 1 bis 6 bar.

Weiterhin wird dem Gastrom ein Absorptionsmittel zugeführt, indem er durch einen Sättigungsbehälter (9) geführt wird. In Verbindung mit einem definier- ten Druckabfall und einer geeigneten Temperaturregelung lässt sich bei ge- eigneter Membranauswahl anschließend eine kondensierte Phase (Absor- bens) an der Membranoberfläche (10) aufbauen. Hierbei spielt neben der Einstellung des Drucks und der Temperaturregelung des Gasstroms die Strömungsrichtung des Gases eine besondere Rolle, um auf der Membran- oberfläche ein Druckgefälle von oben nach unten zu erreichen. Dieses ist von Bedeutung für die Ausbildung eines gleichmäßigen Flüssigkeitsfilms, der wiederum einen wesentlichen Einfluss auf die Entfernung der Verunreinigun- gen hat.

Unter geeigneten Bedingungen bildet sich ein gesättigter Flüssigkeitsfilm als kondensierte Phase auf der Membranoberfläche, wobei sich die Sättigungs- konzentration entsprechend der Gastemperatur und dem Differenzdruck zwi- schen Phasengrenzfläche und Membrandruck einstellt.

Diese kondensierte Phase auf der Membranoberfläche wirkt ähnlich wie eine semipermeable Trennmembran in einer Umkehrosmoseanlage.

Es entsteht auf der Membranoberfläche im Flüssigkeitsfilm eine Wanderbe- wegung von oben nach unten. Infolge der kontinuierlichen Anströmung durch mit Absorbens versetztem, ungereinigten Gas findet durch Tropfenbildung im Flüssigkeitsfilm zum Kondensatableiter hin laufend eine Abtrennung von Ver- unreinigungen statt. Bei kontinuierlicher Prozessführung durchdringt das an- strömende Gas im Gleichgewichtszustand die Flüssigkeitsschicht auf der Membranoberfläche, wobei an der Grenzschicht ein Stoffaustausch mit dem Absorbens stattfindet. Dem gesättigten Gas wiederum wird beim Durchströ- men der hydrophoben Membran Feuchtigkeit, bzw. Absorbens entzogen.

Durch diese abgewandelte Membranfiltration können neben feinsten parti- kelförmigen Verunreinigungen unterschiedlicher Natur, einschließlich metall- scher Partikel, sowohl anorganischer als auch organischer ionischer Verun- reinigungen aber auch in Spuren vorhandene Salze oder Öle abgeschieden werden.

Zur Durchführung dieses Verfahrensschritts sind handelsübliche Membranfo- lien einsetzbar. Diese können aus unterschiedlichen Materialien bestehen und werden in Abhängigkeit von der zu reinigenden Chemikalie ausgewählt.

Angepaßt an das zu reinigende korrosive Gas, der darin enthaltenen Verun- reinigungen und an das eingesetzte Absorbtionsmittel stehen dem Fachmann verschiedenste Membranen zur Auswahl. Es können Membranfilter sowohl mit hydrophilen als auch mit hydrophoben, mikroporösen, dünnen Trenn- schichten verwendet werden. Die Wahl des Membranfilters ist insbesondere von dem eingesetzten Absorptionsmittel abhängig, da sich eine wirksame Abtrennung der noch im Gas enthaltenen Verunreinigungen nur dann durch- führen läßt, wenn das Material des Membranfilters für das Absorbtionsmittel, in welchem die Verunreinigungen löslich sind, undurchlässig ist, jedoch das zu reingende Gas den Membranfilter ohne weiteres passieren kann. In die- sem Fall läßt sich das Absorptionsmittel gemeinsam mit den Verunreinigun- gen vor dem Membranfilter vom Gasstrom abtrennen.

Es hat sich gezeigt, dass insbesondere zur Abtrennung von polaren und ioni- schen Verunreinigungen hydrophile Absorptionsmittel geeignet sind. Mit Ver- unreinigungen und Gas gesättigtes hydrophiles Absorptionsmittel ist beson- ders gut vom Gasstrom abzutrennen, wenn Membranfilter verwendet werden, die aus hydrophobem Material bestehen. Es sind Membranen geeignet, wel- che aus einem Material ausgewählt aus der Gruppe Polytetrafluorethylen, Perfluorethylenpropylen und Polyethylen, welches eine geeignete Porenweite und-struktur aufweist, hergestellt sind. Geeignet sind insbesondere entspre- chende Materialien mit einer Porengröße kleiner als 3,5 um, vorzugsweise einer Porengröße im Bereich von 2,5 bis 1 um. Entsprechende Membranfilter sind im Handel in verschiedenen Ausführungsformen erhältlich, so dass es dem Fachmann ohne weiteres möglich ist, je nach Anforderungen einen ge- eigneten Membranfilter auszuwählen. Bei der Auswahl eines geeigneten Fil- ters sind die Porengröße, bzw. die Porenweite, ebenso von Bedeutung wie der molekulare und strukturelle Aufbau der Membran. In Kombination mit den

hydrophoben Eigenschaften des Materials tragen insbesondere diese Grö- ßen zu der Trenn-und Reinigungswirkung bei.

Als hydrophile Absorptionsmittel sind sowohl hydrophile organische als auch anorganische Lösungsmittel einsetzbar. Die Wahl des Absorptionsmittels ist von den im Gasstrom enthaltenen Verunreinigungen abhängig. Sofern es die enthaltenen Verunreinigungen erlauben, wird bevorzugt Ultra-Reinstwasser als preiswertes und leicht herstellbares Absorptionsmittel eingesetzt. Es kann aber auch jede andere Flüssigkeit in Verbindung mit einem hydrophoben Membranfilter verwendet werden, deren Oberflächenspannung >50 dynes/cm beträgt, die mit dem zu reinigenden Gas in jeder Konzentration sehr gut mischbar ist und eine ausreichende Absorptionskapazität gegenüber den enthaltenen Verunreinigungen aufweist. So können beispielsweise auch mit Wasser mischbare, hydrophile organische Lösungsmittel, wie niedermoleku- lare Alkohole verwendet werden. Dieses kann beispielsweise i-oder n- Propanol sein.

Flüssigkeiten mit einer Oberflächenspannung kleiner 50 dynes/cm sind in Kombination mit einem hydrophoben Membranfilter ungeeignet. Sie benetzen das hydrophobe Trägermaterial und machen es dadurch für Flüssigkeiten durchgängig. Die erwünschte Trennwirkung der Membran geht verloren.

Empfiehlt es sich für den gewünschten Trenneffekt Membranfilter mit hydrophilen Materialeigenschaften einzusetzen, ist es dem Fachmann ohne weiteres möglich, ein geeignetes Absorptionsmittel auszuwählen, welches den Membranfilter nicht durchdringt, gleichzeitig aber eine ausreichende Lös- lichkeit gegenüber den im Gasstrom enthaltenen Verunreinigungen aufweist und mit dem Gas gut mischbar ist.

Da ständig Absorptionsmittel, welches einen Flüssigkeitsfilm vor der Memb- ran bildet, aus dem kontinuierlichen Prozess abgezogen wird und dem an- strömenden ungereinigten Gasstrom laufend ungesättigtes Absorptionsmittel neu zugeführt wird, findet an der Phasengrenzfläche des Flüssigkeitsfilms ein ständiger Stoffaustausch statt, wodurch aus der Gasphase die oben ge- nannten Verunreinigungen sehr effektiv entfernt werden können.

Nachdem das Gas den Flüssigkeitsfilm passiert hat, durchdringt es die Membran unter Abgabe von Absorptionsmittel. Nach dem Passieren der

Membran sind in dem so vorgereinigten Gas organische Verunreinigungen nicht mehr nachweisbar bzw. bis auf den sub-ppt-Bereich entfernt worden und liegen in Konzentrationen von <10 ppt vor.

Betrachtet man den Gasdurchsatz durch die Membran von oben nach unten, stellt man fest, dass der Durchsatz nach untern hin infolge von Flüssigkeits- ansammlungen und der damit verbundenen Zunahme des Strömungswider- standes auf Null abfällt. In diesem Bereich der Membran entsteht eine"be- ruhigte Zone", in der das Absorbens zum Kondensatableiter geführt wird und aus dem Prozess ausgeschleust wird.

Um eine optimale Prozessführung zu erzielen, ist es notwendig, die Prozess- parameter Temperatur, Gasstömungsgeschwindigkeit, Zufuhr von Absorpti- onsmittel, Gasdruck und Druckdifferenz zwischen Membranoberfläche und Phasengrenzfläche aufeinander abzustimmen, wobei zu berücksichtigen ist, dass diese Werte auf die Eigenschaften der zu reinigenden Chemikalie ab- zustimmen sind. Auch ist durch geeignete Mess-und Regelvorrichtungen ei- ne durchgehende Einhaltung dieser Parameter zu gewährleisten, um konti- nuierlich eine Aufreinigung der Chemikalien im sub-ppt-Bereich durchführen zu können.

Es hat sich gezeigt, dass in einer technischen Anlage gute Ergebnisse erzielt werden können, wenn der Gasstrom im Bereich von 100 bis 500 kg/h einge- stellt wird. Die zur Aufreinigung notwendigen Temperatur-bzw. Druckwerte lassen sich mit herkömmlichen Rechnerprogrammen sehr gut vorausbestim- men und an die erfindungsgemäße Membranfiltration anpassen. Auch ein geeignetes Absorptionsmittel lässt sich für den Fachmann aus der Literatur ermitteln, da im allgemeinen aufgrund der Vorgeschichte des zu reinigendes Gases Rückschlüsse auf die enthaltenen Verunreinigungen gezogen werden können.

Das Gas wird nach der Membranfiltration einem Gaswäscher (12), der im Störfall als Puffer dient, zugeführt. Bei regulärem Prozessablauf in der Membranfiltration wird das Gas im Gaswäscher nicht mehr weiter aufgerei- nigt. Insbesondere im Fall eines Membranbruchs dient diese Stufe dem Schutz der nachfolgenden Anlagenteile vor Verunreinigungen mit kontami- niertem, nicht gereinigtem Gas.

Es wurde gefunden, dass durch das erfindungsgemäße Verfahren eine Gasaufreinigung zu einer sub ppt Qualität ermöglicht wird, die durch eine üb- licherweise mittels Gaswäscher durchgeführte Aufreinigung nicht erreichbar ist.

Der nachgeschaltete Gaswäscher ist als einstufige Kolonne mit Füllkörper und Demister ausgelegt. Als Waschflüssigkeit wird eine gesättigte Lösung, hergestellt aus Ultra-Reinstwasser und aufgereinigtem Gas, verwendet. Die Waschflüssigkeit wird in einem separaten Tank (13) gelagert und im Kreis gefahren.

Nach erfolgter Aufreinigung des Gases kann sich sowohl eine Druckverdich- tung des Gases und Abfüllung in Druckflaschen als auch die Herstellung ge- sättigter Lösungen des Gases anschließen.

Letzteres erfolgt in einer sogenannten"Mischstrecke".

Diese kann als Schlaufenreaktor ausgebildet sein, kann aber auch eine an- dere Ausgestaltung aufweisen. Wesentlich ist, dass das aufgereinigte Gas mit dem Lösungsmittel bei geregelten Temperatur und Druckverhältnissen mit einer möglichst großen Oberfläche des Lösungsmittels in Kontakt ge- bracht wird. Dieses erfolgt, indem das Gas in einen speziellen Mischer (14), welcher auf das jeweilige Lösungsvermögen des Gases angepasst ist, einer ständig zirkulierenden Lösung zugeführt wird.

Es wurde gefunden, dass gute Ergebnisse erzielt werden, wenn die Konzent- rationsänderung am Mischungspunkt ca. 1-3 % beträgt. Dies wird durch die Einstellung eines entsprechenden Verhältnisses zwischen zirkulierender Lö- sungsmenge und Gasstrom erreicht. Üblicherweise wird in diesem Fall als Lösungsmittel Ultra-Reinstwasser verwendet.

Zur Herstellung gesättigter Lösungen stehen dem Fachmann verschiedene Ausführungsformen von Mischern zur Auswahl zur Verfügung. Üblicherweise weist ein geeigneter Mischer mehrere Einleitrohre auf, die sowohl in der An- zahl, der Form als auch der Länge auf das jeweilige Gas konstruktiv abge- stimmt sind. Über die Einleitrohre wird der Gasstrom getrennt und an ver- schiedenen Stellen im Mischer in die ständig mit gleichem Druck und Durch- satz zirkulierende, niedrigkonzentrierte Lösung eingetragen und gelöst. Durch

den exotherme Lösevorgang entsteht Wärme, die über einen oder mehrere Wärmetauscher abgeführt werden muss. Ist der Mischer als Schlaufenreaktor ausgestaltet, lassen sich solche Wärmetauscher in einfacher Weise integrie- ren.

In dem kontinuierlich durchgeführten Prozess ist eine regelmäßige Konzent- rationsbestimmung notwendig, um gegebenenfalls Prozessparameter korri- gieren zu können bzw. Störungen im Prozess zu beheben bzw. zu vermei- den.

Für den erfindungsgemäßen Aufreinigungsprozess ist wesentlich, dass die Konzentrationsregelung nicht wie üblich über den Gastrom erfolgt sondern ü- ber das Lösungsmittel, in der Regel Ultra-Reinstwasser. Erfolgt die Regelung der Konzentrationseinstellung über den Gasstrom, kommt es zu Änderungen der Prozessparameter wie Druck und Durchsatz und damit zu Prozessände- rungen an der Membrane der Aufreinigungsstufe (10). Eine geregelte Kon- zentrationseinstellung mittels Messung und Regelung des Drucks und des Volumenstroms ist nicht ohne weiteres zuverlässig durchführbar.

Eine einfache, schnelle und direkte Methode zur Konzentrationsbestimmung basiert auf Schallgeschwindigkeitsmessungen in der Lösung und deren on- line Auswertung.

Die Schallgeschwindigkeit ist von der Dichte und der adiabatischen Kom- pressibilität der Lösung abhängig. Um die geforderte Konzentrationsabwei- chung von < 0,5% in der Lösung einhalten zu können, ist sowohl eine genaue Bestimmung der Lösungstemperatur als auch eine auf die Rückkopplung der Schallgeschwindigkeit erforderliche genaue Rohrsonde notwendig.

Erfindungsgemäß wird dieses Problem gelöst, indem die notwendige Tempe- raturmessung nicht in der Rohrsonde selbst erfolgt sondern in einer Beruhi- gungsstrecke. Die Beruhigungsstrecke ist als Rohrleitung mit einem "schlecht"wärmeableitenden Kunststoff ausgelegt. Das bei Druck-und Tem- peraturänderungen unterschiedliche Sättigungsverhalten von Kunststoffen in Lösungen mit hohen Dampfdrücken führt zu einem differenzierten Messver- halten in der Schallrückkopplung der Rohrsonde. Dieses Verhalten der Kunststoffe wird dadurch berücksichtigt, dass der Prozess in der Schlaufe immer unter den gleichen Prozessbedingungen gefahren wird.

Um der Trägheit des Regelungssystems beim Anfahren der Anlage entge- genzuwirken, ist im Schlaufenreaktor ein Pufferbehälter (15) eingebaut. Da die in der Schlaufe befindliche Lösung immer den gleichen Prozessbedin- gungen unterworfen ist, kann die Konzentrationsreglung sich über die bereits eingestellte Lösung angleichen, ohne dass es zu den sonst üblichen Kon- zentrationsschwankungen beim Anfahren der Anlage im System kommt. Der Pufferbehälter führt insgesamt zu einem besseren Regelverhalten und gleicht kleine Schwankungen im Zulauf des Lösungsmittels aus.

Die Ausschleusung der Lösung erfolgt über eine fest eingestellte Mengen- reglung kontinuierlich in die Lagertanks (17).

Zur Herstellung der einzelnen Bauteile der Anlage sind Werkstoffe auszu- wählen, welche gegenüber dem korrosiven Angriff des zu reinigenden Gas- stroms inert verhalten, aber auch den Reinheitsanforderungen in den einzel- nen Stufen entsprechen. Eingesetzt werden können hochwertige Edelstähle, Kunststoffe wie PTFE, PVDF, PFA, PE. Insbesondere nach den ersten Rei- nigungsstufen im reinen Bereich ist die Anlage in hochwertigen Kunststoffen ausgeführt.

Zum besseren Verständnis und zur Verdeutlichung der Erfindung wird im fol- genden beispielhaft ein Fließschema einer möglichen Anordnung einer Anla- ge wiedergegeben, die im Rahmen des Schutzbereichs der vorliegenden Er- findung liegt. Diese ist jedoch aufgrund der allgemeinen Gültigkeit des be- schriebenen Erfindungsprinzips nicht geeignet, den Schutzbereich der vorlie- genden Anmeldung nur auf dieses Beispiel zu reduzieren, da es dem Fach- mann ohne weiteres möglich ist, je nach zu reinigendem Gas Variationen im Aufbau der Anlage vorzunehmen und einzelne Teile der Anlage durch gleichwirkende Einrichtungen zu ersetzen.

Im Fließschema 1 wird beispielhaft der Aufbau einer erfindungsgemäßen Anlage wiedergegeben. Diese Anlage weist folgende Bestandteile auf : (1) Verdampfer (2) Vorfilter

(3) Druckregelung (4) Wärmetauscher (5) Feinstfilter (6) Organikabscheider (7) Auffangbehälter (8) Druckbehälter (9) Sättigungsbehälter <BR> <BR> (10) Membranfiltration (11) Kondensatbehälter (12) Gaswäscher (13) Tank (14) Mischer (15) Pufferbehälter (16) Wärmetauscher (17) Lagertank Tabelle 1 : Produktqualität einer erfindungsgemäß hergestellten 28% igen wässrigen Ammoniaklösung

Rohprodukt gereinigtes NH3 100% [ppb] NH40H 28% [pPb] Al 3,8 <0,01 As <1 <0, 01 Au <1 <0, 01 B 2, 3 <0, 01 Ba <1 <0, 01 Be <1 <0, 01 Bi <1 <0, 01 Ca 7,4 <0,01 Cd <1 <0, 01 Co 1,0 <0,01 Cr 1,0 <0,01 Cu 1,5 <0,01 Fe 16,0 <0,01 Ga <1 <0, 01 Ge <1 <0, 01 In <1 <0, 01 K 4, 6 <0, 01 Li <1 <0, 01 Mg 2,1 <0,01 Mn 1,0 <0,01 Mo <1 <0, 01 Na 5, 7 <0, 01 Ni 1, 0 <0, 01 Pb <1 <0, 01 Pd <1 <0, 01 Pt <1 <0, 01 Sb <1 <0, 01 Sn <1 <0, 01 Sr <1 <0, 01 Ti <1 <0, 01 Ti <1 <0, 01 V <1 <0, 01 Zn 2,3 <0,01 Zr TOC >10.000 <501 Tabelle 2 : Zusammensetzung von Filterrückständen und Verunreinigungen enthalten im Kondensat, welches am Membranfilter abgeführt worden ist.

Auffangbehälter Filter des Abscheiders [ppb] [ppb] Al 30 230 As Au <1 <1 B 14 1250 Ba 4 <1 Be <1 <1 Bi <1 <1 Ca 560 85 Cd 4 270 Co 1 9 Cr 19 140 Cu 180 7860 Fe 75 240 Ga <1 <1 Ge <1 <1 In <1 <1 K 170 1950 Li <1 28 Mg 220 75 Mn 27 1000 Mo 39 440 Na 760 3270 Ni 240 900 Pb 1 1 Pd Pt <1 <1 Sb Sn <1 <1 Sr 2 <1 Ti <1 <1 TI <1 <1 V <1'1 Zn 380 8780 Zr <1 <1 TOC 7000 218000