Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Festlegen eines Bondguts in einem

Arbeitsbereich eines Bonders mittels einer Klemmvorrichtung. Die Klemmvorrichtung sieht eine Mehrzahl von Klemmfingern vor, welche korrekt positioniert werden müssen, um den Bondvorgang ordnungsgemäß durchführen zu können.

Aus der US 9 393 641 B1 ist bekannt, mittels einer Kamera ein Live-Bild der

Klemmeinrichtung oder eines Teilbereichs derselben zu erfassen und auf einem Bildschirm darzustellen. Auf dem Bildschirm wird dann zusätzlich zu dem Live-Bild der Kamera über Grafikelemente eine Sollposition für die Klemmeinrichtung eingeblendet. Die Grafikelemente sind dabei in Form einer Überblendung unmittelbar auf das Live- Bild der Kamera gelegt. Der Maschinenführer kann insofern bei der Einrichtung der Maschinen und insbesondere bei der Positionierung der Klemmeinrichtung deren Position so lange korrigieren, bis die Klemmeinrichtung in der Sollposition vorgesehen ist.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein verbessertes Verfahren zur

Positionierung der Klemmeinrichtung für das Bondgut anzugeben, bei dem der Maschinenführer zusätzlich unterstützt und der Einrichtungsprozess weiter vereinfacht wird.

Zur Lösung der Aufgabe weist die Erfindung die Merkmale des Patentanspruchs 1 auf. Insbesondere ist es so, dass das erfindungsgemäße Verfahren eine

Initialisierungsroutine und eine nach dem Durchführen der Initialisierungsroutine wiederholt durchzuführende Übernahmeroutine umfasst. Während der

Initialisierungsroutine wird die Klemmeinrichtung bevorzugt von einem sehr erfahrenen Maschinenführer oder einem anderen technisch geschulten Fachmann erstmalig für ein spezifisches Bondgut eingerichtet. Es werden insofern das Bondgut und die Klemmeinrichtung im Arbeitsbereich des Bonders platziert. An dem Bondgut vorgesehene Bondgut-Referenzmarken werden mittels einer Kamera des Bonders erfasst und gespeichert. Anhand der Lage der Bondgut-Referenzmarken werden die Position und/oder die Orientierung des Bondguts relativ zum Bonder bestimmt. Des Weiteren werden Klemmfinger der Klemmeinrichtung so in eine Klemmposition verbracht und an den Klemmfingern der Klemmeinrichtung vorgesehene Klemmflächen derart gegen das Bondgut angelegt, dass in einem nachfolgenden Arbeitsschritt an vorbestimmten Anschlussflächen des Bondguts ein Anschlusskontakt hergestellt werden kann, ohne dass das Bondgut in unzulässiger Weise zu Schwingungen angeregt wird und/oder es beim Verfahren beziehungsweise Positionieren eines Bondwerkzeugs des Bonders zu einer Kollision mit der Klemmeinrichtung kommt. Die Klemmposition der Klemmfinger wird dann mittels der Kamera erfasst und es wird die Klemmposition relativ zur Position und/oder Orientierung des Bondguts als

Klemmfinger-Sollposition berechnet und gespeichert.

Nach der erstmaligen Einrichtung der Klemmeinrichtung ist die Klemmfinger- Sollposition bekannt. Es kann insofern im Rahmen der Übernahmeroutine bei einer wiederholten Verarbeitung des gleichen Bondguts die bekannte Klemmfinger- Sollposition übernommen und die Positionierung der Klemmeinrichtung

rechnerunterstützt sehr einfach durchgeführt werden. Beispielsweise kann ein

Maschinenführer das Bondgut und die Klemmeinrichtung mit den Klemmfingern im Arbeitsbereich des Bonders positionieren und die aktuelle Position und Orientierung des Bondguts und der Klemmeinrichtung mittels der Kamera erfassen. Anhand der aktuellen Position und Orientierung des Bondguts und der Klemmeinrichtung und anhand der gespeicherten Klemmfinger-Sollposition wird eine initiale Fehlstellung der Klemmfinger berechnet und angezeigt. Iterativ wird dann die aktuelle Position und/oder Orientierung der Klemmfinger solange korrigiert und mittels der Kamera neu erfasst und eine neue Fehlstellung der Klemmfinger berechnet und angezeigt, bis die Position und Orientierung der Klemmfinger der Klemmfinger-Sollposition entspricht. Es ist hierbei ausreichend, wenn die Klemmfinger in einem zulässigen Toleranzbereich vorgesehen sind. Maßgeblich ist insofern, dass die nachfolgenden Arbeitsschritte zuverlässig durchgeführt werden können und es insbesondere zu keiner unzulässigen Schwingungsanregung des Bondguts kommt und dass das an einem Bondkopf des Bonders gehaltene Bondwerkzeug kollisionsfrei verfahren und positioniert werden kann.

Der besondere Vorteil der Erfindung besteht darin, dass zunächst einmalig eine besonders vorteilhafte Sollposition für die Klemmeinrichtung bestimmt wird. Die Sollposition wird gespeichert und nachfolgend verwendet, um die Klemmeinrichtung später für dasselbe Bondgut erneut zu positionieren. Dabei wird mittels des

erfindungsgemäßen Verfahrens der Maschinenführer insbesondere dadurch unterstützt, dass die Fehlstellung berechnet und angezeigt wird. Der Maschinenführer ist insofern präzise über die aktuelle Position beziehungsweise Orientierung der Klemmeinrichtung informiert. Darüber hinaus wird ihm die Fehlstellung angezeigt, sodass er das Maß der notwendigen Korrektur sehr schnell erfassen und die

Positionierung in kurzer Zeit zuverlässig und fehlerfrei durchführen kann.

Im Rahmen der Erfindung ist vorgesehen, dass zur Einrichtung und Positionierung der Klemmeinrichtung insbesondere das gleiche Kamerasystem eingesetzt wird, welches konventionelle Bonder beispielsweise zum Erfassen der Lage und/oder der

Orientierung eines Chips aufweisen. Über Bildverarbeitungsroutinen können diese Kamerasysteme die Lage der Anschlussflächen an dem Chip sehr exakt bestimmen. Mittels derartiger Bildauswerteroutinen wird im Rahmen des vorliegenden

erfindungsgemäßen Verfahrens die Lage und/oder Orientierung des Bondguts beziehungsweise der Klemmfinger erfasst.

Die Klemmeinrichtung kann beispielsweise die Mehrzahl an Klemmfingern und eine Klemmplatte vorsehen, welche dazu dient, die Klemmeinrichtung auf eine Arbeitsfläche des Bonders aufzulegen und die Klemmfinger zu tragen. Die Klemmeinrichtung kann einteilig ausgebildet sein beziehungsweise eine lagefeste Zuordnung der Klemmfinger zur Klemmplatte vorsehen. Beispielsweise kann die Klemmeinrichtung mehrteilig ausgebildet sein mit der Möglichkeit, jeden einzelnen Klemmfinger individuell relativ zu den anderen und zu der Klemmplatte zu verschieben oder eine Gruppe von

Klemmfingern relativ zur Klemmplatte und den anderen Klemmfinger einzustellen.

Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens kann beispielsweise zunächst nur das Bondgut in dem Arbeitsbereich des Bonders platziert werden. Bevor die Klemmeinrichtung ebenfalls im Arbeitsbereich des Bonders platziert wird, werden zunächst die Bondgut-Referenzmarken bestimmt. Nachdem die Bondgut- Referenzmarken bestimmt sind und die Klemmeinrichtung im Arbeitsbereich positioniert wird, werden dann die Klemmeinrichtung insgesamt oder die einzelnen Klemmfinger so ausgerichtet und gegen das Bondgut angelegt, dass der Bondprozess anschließend korrekt durchgeführt werden kann. Vorteilhaft ist die Erfassung der Bondgut-Referenzmarken einfach, wenn die Klemmeinrichtung noch nicht im

Arbeitsbereich positioniert ist, da eine Überdeckung vermieden werden kann. Alternativ kann vorgesehen sein, das Bondgut und die Klemmeinrichtung zunächst im

Arbeitsbereich zu positionieren und dann die Referenzmarken zu erfassen.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird die aktuelle Position und/oder Orientierung der Klemmfinger und/oder die Klemmfinger-Sollposition mittels der Kamera bestimmt, indem eine an den Klemmfingern vorgesehene Positioniermarke (Klemmfinger-Positioniermarke) und/oder - jedenfalls abschnittsweise - eine Kontur der Klemmfinger erfasst und als Klemmfinger-Referenzmarke abgespeichert wird. Vorteilhaft kann durch das Erfassen der Klemmfinger-Positioniermarke und/oder der jedenfalls teilweisen Konturerfassung die Position und Orientierung der Klemmfinger schnell und zuverlässig ermittelt werden.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung wird die Kamera zur Bestimmung der Bondgut- Referenzmarken und/oder der Klemmfinger-Sollposition und/oder der Klemmfinger- Referenzmarken über den Bondgut-Referenzmarken und/oder den Klemmfinger- Referenzmarken positioniert und/oder manuell verfahren. Indem die Kamera über den Referenzmarken positioniert wird, werden die Genauigkeit des Verfahrens und insbesondere die Genauigkeit der Bildverarbeitung weiter verbessert. Darüber hinaus ist das erfindungsgemäße Verfahren besonders intuitiv bedienbar, wenn die Kamera manuell verfahren wird. Alternativ kann die Kamera automatisch verfahren werden. Beispielsweise kann die Kamera im Rahmen der Initialisierungsroutine manuell und im Rahmen der Übernahmeroutine automatisiert verfahren werden.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung wird in der Initialisierungsphase mittels der Kamera ein Referenzbild aufgenommen und gespeichert, nachdem die Klemmfinger in der Klemmfinger-Sollposition vorgesehen sind. Vorteilhaft kann durch das Bereitstellen des Referenzbilds der Maschinenführer insbesondere während der Übernahmeroutine weiter entlastet werden, da er optisch die Sollposition erfassen und insofern die Klemmfinger jedenfalls näherungsweise in die vorgesehene Position verbringen kann.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung kann die Positionierung der Klemmfinger insbesondere in der Übernahmeroutine weiter vereinfacht werden, wenn an dem Bondgut Klemmmarken an den Stellen vorgesehen sind, an denen die Klemmflächen der Klemmfinger zu positionieren sind. Die Klemmmarken können beispielsweise ebenso wie die Bondgut-Positioniermarken und/oder die Klemmfinger- Positioniermarken während des Fertigungsprozesses des Bondguts oder bei der Herstellung der Klemmeinrichtung an dem Bondgut beziehungsweise den

Klemmfingern vorgesehen sein. Sofern eine einteilige Klemmeinrichtung vorgesehen wird, bei der die Klemmfinger nicht relativ zur Klemmplatte verstellt werden können, können die Klemmfinger-Positioniermarken auch an der Klemmplatte vorgesehen sein.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung können in der Übernahmeroutine ein Live-Bild der Kamera oder das Referenzbild und/oder eine Referenzdarstellung der

Klemmfinger-Sollposition einerseits und örtlich getrennt hiervon die Fehlstellung der Klemmfinger andererseits angezeigt werden. Auf das Einblenden von

Positioniermarken, Konturen oder anderen Justagehilfsmitteln in das Life-Bild wird insofern im Rahmen der Erfindung verzichtet. Als Referenzdarstellung dient beispielsweise ein Auszug einer CAD-Zeichnung oder ein anderes geeignetes grafisches Modell der Klemmeinrichtung beziehungsweise des Klemmfingers.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung werden bei einer Klemmeinrichtung, welche wenigstens einzelne relativ zur Klemmplatte einstellbare Klemmfinger aufweist, die einstellbaren Klemmfinger nacheinander positioniert beziehungsweise justiert. Die Auswahl der Reihenfolge, in der die Klemmfinger justiert werden, kann beispielsweise manuell vom Maschinenführer vorgenommen werden. Nach einer Weiterbildung der Erfindung kann die Fehlstellung der Klemmfinger visualisiert werden, indem die aktuelle Position und/oder Orientierung der Klemmfinger einerseits und getrennt davon die Klemmfinger-Sollposition angezeigt wird und/oder indem eine Verstellrichtung angezeigt wird, in die die Klemmfinger verschoben beziehungsweise verschwenkt werden müssen, um sie in die Klemmfinger-Sollposition zu verbringen. Beispielsweise kann die Fehlstellung relativ zur Klemmfinger- Sollposition berechnet und angezeigt werden. Vorteilhaft vereinfacht sich die korrekte Positionierung der Klemmfinger durch die vorstehend beschriebenen Mittel zur Visualisierung der Fehlstellung weiter. Insbesondere können das Maß der Fehlstellung zahlenmäßig dargestellt beziehungsweise erfasst werden und durch die

gekennzeichnete Verstellrichtung der Einrichtungsprozess signifikant beschleunigt werden.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung wird die Fehlstellung visualisiert, indem die Klemmfinger-Sollposition und die aktuelle Position beziehungsweise Orientierung der Klemmfinger addiert und als Summenbild angezeigt werden. Vorteilhaft ergibt sich durch die Summenbilddarstellung für den Maschinenführer ein optisches Maß für die Fehlstellung. Sofern im Summenbild letztlich nur noch die Geometrie des

Klemmfingers selbst angezeigt wird, ist der Klemmfinger in der Klemmfinger- Sollposition. In diesem Fall kann beispielsweise das Summenbild in einer anderen Farbe angezeigt werden. Sofern die Fehlstellung unzulässig groß ist, kann das Summenbild beispielsweise in rot angezeigt werden. Sobald der Klemmfinger ausreichend exakt positioniert ist, kann das Summenbild grün dargestellt werden. Der Maschinenführer wird hierdurch weiter entlastet.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung kann zur Visualisierung der Fehlstellung ein Differenzbild angezeigt werden, welches sich durch Subtraktion der Klemmfinger- Sollposition von der aktuellen Position und/oder Orientierung der Klemmfinger ergibt. Analog zur Realisierung der Summenbilddarstellung kann auch das Differenzbild farbig variabel gestaltet sein etwa mit der Maßgabe, dass das Differenzbild grün angezeigt wird, wenn der Klemmfinger ausreichend exakt positioniert ist, und bei einer unzulässig großen Abweichung zur Klemmfinger-Sollposition das Differenzbild in rot angezeigt wird. Nach einer Weiterbildung der Erfindung können im Rahmen der Initialisierungsroutine vor dem Speichern der Klemmfinger-Sollposition testweise einzelne oder alle

Anschlusskontakte für das Bondgut hergestellt werden. Vorteilhaft kann hierdurch verifiziert werden, dass Schadschwingungen und Kollisionen vermieden sind.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung wird das Bondgut mittels einer

Fördereinrichtung in den Arbeitsbereich des Bonders positioniert. Durch das Vorsehen einer Fördereinrichtung, insbesondere einer in der Bond- beziehungsweise

Halbleitertechnik üblichen Fördereinrichtung, kann das Bondgut wiederkehrend mit einer derartigen Genauigkeit im Arbeitsbereich des Bonders positioniert werden, dass die Klemmeinrichtung mit besonders wenig Aufwand positioniert und insbesondere während der Verarbeitung einer großen Stückzahl gleicher Bondgüter nicht nachjustiert werden muss.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung wird im Rahmen der Übernahmeroutine eine zur Anlage der Kontaktfläche der Klemmeinrichtung vorgesehenen Montagestelle an dem Bondgut mittels eines Lasers markiert. Vorteilhaft vereinfacht sich durch das Markieren der Montagestelle die Justage der Klemmeinrichtung weiter.

Aus den weiteren Unteransprüchen und der nachfolgenden Beschreibung sind weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung zu entnehmen. Dort erwähnte Merkmale können jeweils einzeln für sich oder auch in beliebiger Kombination erfindungswesentlich sein. Die Zeichnungen dienen lediglich beispielhaft der

Klarstellung der Erfindung und haben keinen einschränkenden Charakter.

Es zeigen:

Fig. 1 eine Aufsicht auf ein Bondgut in einer Teildarstellung,

Fig. 2 eine Prinzipdarstellung einer Klemmeinrichtung mit einer Grundplatte und insgesamt zwölf relativ zur Grundplatte verstellbaren Klemmfingern,

Fig. 3 eine Prinzipdarstellung einer Klemmsituation, in der das Bondgut nach Fig.

1 mittels der Klemmeinrichtung nach Fig. 2 fixiert ist, Fig. 4 die Darstellung nach Fig. 3 in einer Aufsicht, wobei auf die Darstellung nicht sichtbarer Konturen verzichtet ist,

Fig. 5 ein erstes Beispiel einer Darstellung einer Fehlstellung von drei

Klemmfingern der Klemmeinrichtung,

Fig. 6 ein zweites Beispiel für die Darstellung der Fehlstellung der drei

Klemmfinger und

Fig. 7 ein drittes Beispiel für die Darstellung der Fehlstellung der drei Klemmfinger.

In Fig. 1 ist exemplarisch ein Bondgut 1 dargestellt mit insgesamt zwölf Stegen 2 sowie einer Anlagefläche 3 für einen nicht dargestellten Chip, der elektrisch leitend mit dem Bondgut 1 verbunden werden soll. Jedem Steg 2 sind darüber hinaus Klemm-Marken 4 zugeordnet. Schließlich sind zwei Bondgut-Referenzmarken 5 dargestellt, welche durch eine charakteristische Kontur des Bondguts 1 im Bereich der Anlagefläche 3 gebildet sind.

Fig. 2 zeigt eine Klemmeinrichtung 6 mit einer Klemmplatte 7, welche eine zentrale Aussparung 8 für das Bondgut 1 aufweist. Des Weiteren sind insgesamt zwölf

Klemmfinger 9, 10, 11 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20 vorgesehen. Die Klemmfinger 9, 10, 1 1 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20 sind jeweils über zwei Schrauben 21 an der Klemmplatte 7 festgelegt. Da die Schrauben 21 funktionsnotwendigerweise etwas Spiel aufweisen, kann die Klemmeinrichtung 6 insgesamt durch Verdrehen der Klemmplatte 7 einerseits verstellt beziehungsweise positioniert werden. Andererseits können die einzelnen Klemmfinger 9, 10, 11 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20 im Rahmen des Spiels relativ zur Klemmplatte 7 positioniert werden.

An den Klemmfingern 9, 10, 1 1 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20 ist jeweils ein

Klemmfinger-Referenzmarker 22 vorgesehen. Der Klemmfinger-Referenzmarker 22 ist hierbei exemplarisch durch eine Positioniermarke des Klemmfingers gebildet, welche die Form eines in einem Kreis vorgesehenen Kreuzes besitzt.

Fig. 3 zeigt die Klemmeinrichtung 6 mit dem in der Aussparung 8 vorgesehen Bondgut 1 nach Fig. 1. Es ist hierbei - ebenso wie in Fig. 2 - zur Kennzeichnung der Zuordnung die Darstellung lediglich prinzipartig dergestalt, dass unsichtbare Linien dargestellt sind zur Verdeutlichung der Lagezuordnung des Bondguts 1 einerseits zur

Klemmeinrichtung 6 andererseits beziehungsweise zur Zuordnung der Klemmfinger 9, 10, 1 1 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20 einerseits zu den Stegen 2 des Bondguts 1 andererseits. Insbesondere ist die Zuordnung so vorgesehen, dass sich im

vorliegenden Ausführungsbeispiel der Erfindung die an den Klemmfingern 9, 10, 1 1 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20 vorgesehenen Klemmfinger-Referenzmarker 22 gerade oberhalb der Bondgut-Referenzmarker 5 befinden, welche an den Stegen 2 des Bondguts 1 vorgesehen sind.

Die Klemmfinger 9, 10, 11 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20 der Klemmeinrichtung 6 sind im vorliegenden Beispiel dem Bondgut 1 so zugeordnet, dass mittels eines geeigneten Handhabungsgeräts der nicht dargestellte Chip auf die Anlagefläche 3 des Bondguts 1 gelegt und dann elektrisch leitende Bondverbindungen zwischen dem Chip einerseits und dem Bondgut 1 andererseits hergestellt werden können. Es ist insofern insbesondere die Lage der Klemmfinger 9, 10, 11 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20 relativ zur Orientierung und Ausgestaltung des Bondguts 1 so gewählt, dass das Bondgut 1 während des Bondprozesses nicht in unzulässiger Weise zu Schwingungen angeregt wird und insbesondere nicht in einer Eigenschwingungsform schwingt und dass ein nicht dargestelltes Bondwerkzeug des Bonders, welches üblicherweise an einem in drei kartesische Koordinaten verfahrbaren und drehbaren Bondkopf gehalten ist, kollisionsfrei verfahren und bewegt werden kann.

Fig. 4 zeigt eine analoge Darstellung der Bondanordnung nach Fig. 3. Verdeckte Kanten der Klemmplatte 7 und des Bondguts 1 sind hierbei anders als in Fig. 3 nicht dargestellt.

Um die Klemmfinger 9, 10, 11 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20 der Klemmplatte 7 relativ zum Bondgut 1 zu positionieren, wird in einer Initialisierungsroutine zunächst von einem besonders erfahrenen Mitarbeiter eine geeignete Klemmkonfiguration bestimmt. Beispielsweise werden zur Verifikation wenigstens einzelne

Anschlusskontakte und bevorzugt alle Anschlusskontakte für das Bondgut 1

hergestellt. Es kann hierdurch geprüft werden, ob das Bondgut 1 in unzulässiger Weise zu Schwingungen angeregt wird beziehungsweise kollisionsfrei gebondet werden kann. Sofern die Klemmkonfiguration den Ansprüchen an den Bondprozess genügt, wird sie als Klemmfinger-Sollposition gespeichert. Die Erfassung erfolgt dabei mittels einer Kamera und nachgelagerten Bildverarbeitungsroutinen.

Im Ausführungsbeispiel der Erfindung nach den Fig. 1 bis 4 können insbesondere die Klemmfinger-Referenzmarken 22 erfasst werden zur Bestimmung der Lage und/oder Orientierung der Klemmfinger 9, 10, 1 1 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20. Die

Erfassung eines einzelnen Punkts je Klemmfinger 9, 10, 1 1 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20 ist hierbei ausreichend, da aufgrund der Festlegung der Klemmfinger 9, 10, 1 1 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20 über die Schrauben 21 letztlich allein eine

geringfügige rotatorische beziehungsweise lineare Verschiebung der Klemmfinger 9, 10, 1 1 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20 vorgesehen werden kann mit der Folge, dass die Lage der Klemmfinger 9, 10, 11 , 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 20 durch einen einzigen Klemmfinger-Referenzmarker 22 je Klemmfinger ausreichend genau bestimmt ist.

Selbstverständlich kann bei einer anderen Ausgestaltung der Klemmeinrichtung es notwendig sein, mehr als einen Klemmfinger-Positioniermarker je Klemmfinger optisch zu erfassen, um dann die Position und Orientierung der Klemmfinger mit ausreichender Genauigkeit zu bestimmen. Maßgeblich ist hierbei insbesondere die Art der Festlegung der Klemmfinger an der Klemmplatte der Klemmeinrichtung.

Sofern die Klemmfinger-Sollposition bekannt ist, kann die korrekte Positionierung der Klemmeinrichtung in der nachfolgenden Übernahmeroutine insbesondere grafisch unterstützt werden. Fig. 5 zeigt hierzu ein erstes Beispiel. Es ist in Fig. 5 ein

mehrteiliges Anzeigeelement eines Bonders dargestellt. In einem oberen Bildsegment ist zum einen in einem ersten Bildschirmabschnitt 23 ein Referenzbild angezeigt, welches die Klemmfinger-Sollposition für drei Klemmfinger 9, 10, 1 1 darstellt.

Beispielsweise ist das Referenzbild mittels der Kamera aufgenommen worden. In einem zweiten Bildschirmabschnitt 24 des oberen Bildsegments, welcher sich rechts neben dem ersten Bildschirmabschnitt 23 befindet, ist zum einen eine Fehlstellung für einen dritten Klemmfinger 1 1 dargestellt, der im ersten Bildschirmabschnitt 23 dargestellt ist. Zur Verdeutlichung der Fehlstellung ist zum einen ein Abweichwert 27 in eine X-Richtung und zum anderen Abweichwert 28 in eine Y-Richtung als Zahlenwert angezeigt. Darüber hinaus ist eine Verstellrichtung 29 für den dritten Klemmfinger 11 angezeigt. Der Maschinenführer kann also anhand der Informationen im zweiten Bildschirmabschnitt 24 die Fehlstellung zahlenmäßig und richtungsmäßig sehr schnell erfassen und insofern die Klemmeinrichtung 6 zügig korrekt positionieren. Ferner ist eine Identifikationsnummer 26 für den gerade in der Justage befindlichen Klemmfinger 1 1 vorgesehen.

In einem dritten Bildschirmabschnitt 25 (unteres Bildsegment) ist überdies die aktuelle Position und Orientierung der drei Klemmfinger 9, 10, 11 dargestellt. Ein Vergleich der Darstellung im ersten Bildschirmabschnitt 23 und im dritten Bildschirmabschnitt 25 erlaubt es dem Maschinenführer insofern, die Fehlstellung schnell zu erfassen und zu korrigieren.

Eine alternative Visualisierung der Fehlstellung ist in Fig. 6 gezeigt. Während in dem ersten Bildschirmabschnitt 23 und in dem zweiten Bildschirmabschnitt 24 die gleichen Informationen beziehungsweise Bildinhalte dargestellt werden, wird im dritten

Bildschirmabschnitt 25 ein Summenbild für den dritten Klemmfinger 1 1 dargestellt. In dem Summenbild sind die Klemmfinger-Sollposition für den dritten Klemmfinger 1 1 und die aktuelle Position und Orientierung des dritten Klemmfingers 1 1 addiert mit der Folge, dass der dritte Klemmfinger 11 größer beziehungsweise breiter dargestellt ist, wenn die Klemmfinger-Sollposition nicht korrekt eingestellt ist. Es ist insofern nur ein Überschneidungsbereich eingefärbt beziehungsweise dargestellt.

In analoger Weise ist in Fig. 7 für den dritten Klemmfinger 11 eine Differenzbild- Darstellung gewählt. In der Differenzbild-Darstellung sind die Klemmfinger-Sollposition und die aktuelle Position und Orientierung des dritten Klemmfinger 11 subtrahiert mit der Folge, dass der dritte Klemmfinger 11 in der Darstellung nach Fig. 7 schlanker erscheint als er in der Realität ist, solange die Klemmfinger-Sollposition nicht korrekt eingestellt ist.

Jeweils sind in den Fig. 6 und 7 allein zur Orientierung die Klemmfingerkonturen 30, 31 , 32 gestrichelt dargestellt, welche die Geometrie des dritten Klemmfingers 11 in der Klemmfinger-Sollposition beziehungsweise der aktuellen Position angeben. Die Klemmfingerkonturlinien 30, 31 , 32 sind in der tatsächlichen Darstellung nicht erkennbar. Sie sind hier allein zur Verdeutlichung der Visualisierung dargestellt und zur Erläuterung des dem Summenbild und dem Differenzbild zugrunde liegende Prinzips. Gleiche Bauteile und Bauteilfunktionen sind durch gleiche Bezugszeichen gekennzeichnet.