Title:
METHOD FOR SEPARATING BONDED BODIES USING EXCIMER LIGHT IRRADIATION
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/158654
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is a method for separating a bonded body, whereby the bonded body can be separated easily. Specifically disclosed is a method for separating bonded bodies that includes a step that irradiates excimer light with a central wavelength of 1 to 300 nm on to a bonded body that has been formed by using an adhesive composition to bond substrates together, which includes and is formed by one type or two or more types of meth (acrylate) that have one or more (meth)acryloyl groups, and by hardening of said adhesive composition. At least one of the substrates is permeable to the excimer light.
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Inventors:
GOTO,Yoshitsugu (Electronic Materials Institute1135,Nakamura,Shibukawa-cit, Gunma 20, 〒3778520, JP)
後藤 慶次 (〒20 群馬県渋川市中村１１３５番地 電気化学工業株式会社 電子材料総合研究所内 Gunma, 〒3778520, JP)
WATANABE,Jun (Electronic Materials Institute1135,Nakamura,Shibukawa-cit, Gunma 20, 〒3778520, JP)
渡辺 淳 (〒20 群馬県渋川市中村１１３５番地 電気化学工業株式会社 電子材料総合研究所内 Gunma, 〒3778520, JP)
SHIMIZU,Norihiro (Electronic Materials Institute1135,Nakamura,Shibukawa-cit, Gunma 20, 〒3778520, JP)
清水 紀弘 (〒20 群馬県渋川市中村１１３５番地 電気化学工業株式会社 電子材料総合研究所内 Gunma, 〒3778520, JP)
KURIMURA,Hiroyuki (Electronic Materials Institute1135,Nakamura,Shibukawa-cit, Gunma 20, 〒3778520, JP)
後藤 慶次 (〒20 群馬県渋川市中村１１３５番地 電気化学工業株式会社 電子材料総合研究所内 Gunma, 〒3778520, JP)
WATANABE,Jun (Electronic Materials Institute1135,Nakamura,Shibukawa-cit, Gunma 20, 〒3778520, JP)
渡辺 淳 (〒20 群馬県渋川市中村１１３５番地 電気化学工業株式会社 電子材料総合研究所内 Gunma, 〒3778520, JP)
SHIMIZU,Norihiro (Electronic Materials Institute1135,Nakamura,Shibukawa-cit, Gunma 20, 〒3778520, JP)
清水 紀弘 (〒20 群馬県渋川市中村１１３５番地 電気化学工業株式会社 電子材料総合研究所内 Gunma, 〒3778520, JP)
KURIMURA,Hiroyuki (Electronic Materials Institute1135,Nakamura,Shibukawa-cit, Gunma 20, 〒3778520, JP)
Application Number:
JP2011/062628
Publication Date:
December 22, 2011
Filing Date:
June 01, 2011
Export Citation:
Assignee:
DENKI KAGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA (1-1Nihonbashi-Muromachi 2-chome, Chuo-ku Tokyo, 38, 〒1038338, JP)
電気化学工業株式会社 (〒38 東京都中央区日本橋室町ニ丁目１番１号 Tokyo, 〒1038338, JP)
GOTO,Yoshitsugu (Electronic Materials Institute1135,Nakamura,Shibukawa-cit, Gunma 20, 〒3778520, JP)
後藤 慶次 (〒20 群馬県渋川市中村１１３５番地 電気化学工業株式会社 電子材料総合研究所内 Gunma, 〒3778520, JP)
WATANABE,Jun (Electronic Materials Institute1135,Nakamura,Shibukawa-cit, Gunma 20, 〒3778520, JP)
渡辺 淳 (〒20 群馬県渋川市中村１１３５番地 電気化学工業株式会社 電子材料総合研究所内 Gunma, 〒3778520, JP)
SHIMIZU,Norihiro (Electronic Materials Institute1135,Nakamura,Shibukawa-cit, Gunma 20, 〒3778520, JP)
清水 紀弘 (〒20 群馬県渋川市中村１１３５番地 電気化学工業株式会社 電子材料総合研究所内 Gunma, 〒3778520, JP)
電気化学工業株式会社 (〒38 東京都中央区日本橋室町ニ丁目１番１号 Tokyo, 〒1038338, JP)
GOTO,Yoshitsugu (Electronic Materials Institute1135,Nakamura,Shibukawa-cit, Gunma 20, 〒3778520, JP)
後藤 慶次 (〒20 群馬県渋川市中村１１３５番地 電気化学工業株式会社 電子材料総合研究所内 Gunma, 〒3778520, JP)
WATANABE,Jun (Electronic Materials Institute1135,Nakamura,Shibukawa-cit, Gunma 20, 〒3778520, JP)
渡辺 淳 (〒20 群馬県渋川市中村１１３５番地 電気化学工業株式会社 電子材料総合研究所内 Gunma, 〒3778520, JP)
SHIMIZU,Norihiro (Electronic Materials Institute1135,Nakamura,Shibukawa-cit, Gunma 20, 〒3778520, JP)
清水 紀弘 (〒20 群馬県渋川市中村１１３５番地 電気化学工業株式会社 電子材料総合研究所内 Gunma, 〒3778520, JP)
International Classes:
C09J5/00; B32B27/00; C09J4/02
Attorney, Agent or Firm:
AXIS Patent International (Yushi Kogyo Kaikan, 13-11Nihonbashi 3-chome,Chuo-k, Tokyo 27, 〒1030027, JP)
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Claims: