Verfahren zur Vereinzelung von gestapelten, scheibenförmigen Elementen und Vereinzelungsvorrichtung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Vereinzelung von gestapelten, scheibenförmigen Elementen, sowie eine Vereinzelungsvorrichtung .

In vielen Produktionsabläufen ist es erforderlich, gleiche Elemente, die in gestapelter Form vorliegen, voneinander zu trennen und einzeln der weiteren Verarbeitung zu zuführen. Dabei wird in der Regel von einem Stapel das jeweils oberste Element abgenommen. In vielen Prozessabläufen, insbesondere in solchen, bei denen die gestapelten scheibenförmigen Elemente empfindlich sind, wird hierzu eine Person eingesetzt, die in Handarbeit das jeweils erste Element eines Stapels abnimmt. Unter scheibenförmig werden dabei Elemente verstanden, deren Dicke deutlich kleiner ist als ihre Ausmaße in Länge und Breite. Die scheibenförmigen Elemente müssen auch nicht rund sein, sondern können beliebige Umfangsformen aufweisen.

Es ist weiterhin bekannt, das Abheben des jeweils ersten Elements mit Hilfe einer Vakuumeinrichtung zu bewirken. Dabei wird eine Saugvorrichtung auf die Oberfläche des ersten Elements aufgesetzt, der Zwischenraum evakuiert, und so das jeweils erste Element des Stapels abgehoben.

Beide Vorgehensweisen weisen erhebliche Nachteile auf. So ist es beispielsweise bei der manuellen Vereinzelung der

Elemente aus einem Stapel nachteilig, dass die Leistung eines Mitarbeiters im Laufe eines Arbeitstages nachlässt.

Dies kann dazu führen, dass die Anzahl an vereinzelten

Elementen im Laufe eines Arbeitstages sinkt, oder aber der Ausschuss steigt. Zudem entstehen hohe laufende

Personalkosten .

Beim Abheben der jeweils ersten Elemente mit Hilfe einer Saugvorrichtung ist es nachteilig, dass für größere oder

nicht ganz ebene Elemente zur Abdichtung der Saugglocke gegenüber dem Element ein erheblicher Aufwand oder eine erhebliche Saugleistung erforderlich ist, um eine sichere Handhabung der Elemente zu gewährleisten. Für den Fall, dass eine solche Anlage für leichte Elemente hoher Oberflächengüte verwendet werden soll, ist es nachteilig, dass die Leistung einer solchen Maschine die Anforderungen bei Weitem übersteigt und daher entsprechend hohe Kosten nicht zurechtfertigen sind.

Bei spröden Werkstoffen besteht zudem ein erhebliches Risiko, dass Elemente beim überwinden der Adhäsionskräfte brechen. Die Beseitigung der Bruchstücke und die Reinigung der Anlage führen dann zum Stillstand der Produktion.

Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, eine Vereinzelungsvorrichtung sowie ein Verfahren zur Vereinzelung von scheibenförmigen Elementen aus einem Stapel zu schaffen, dass in einfacher Weise eine automatisierte Vereinzelung mit hoher Zuverlässigkeit und Konstanz ermöglicht.

Die Aufgabe wird durch das Verfahren nach Anspruch 1 sowie die Vereinzelungsvorrichtung nach Anspruch 11 gelöst.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird zunächst ein Stapel von scheibenförmigen Elementen einer Beschleunigungsvorrichtung zugeführt. Der Stapel besteht aus gestapelten, scheibenförmigen Elementen. Das jeweils erste Element des Stapels wird durch Erhöhen seiner Fördergeschwindigkeit von dem Stapel abgehoben. Zum Erhöhen der Fördergeschwindigkeit wird das Element an einem Teil seiner Umfangskante in Richtung der Stapelachse von dem Stapel weg durch eine Beschleunigungsvorrichtung beschleu- nigt. Das so von dem Stapel abgehobene Element wird auf einer Transportvorrichtung abgelegt und durch die Transportvorrichtung anschließend abgefördert. Durch das Beschleunigen des Elements an einem Teil seiner Umfangs-

kante kann auf eine komplizierte Vakuumtechnik verzichtet werden.

Die Vereinzelungsvorrichtung weist hierzu neben einer Zuführungsvorrichtung zum Zuführen des Stapels eine Beschleunigungsvorrichtung auf, mit der das jeweils erste Element des Stapels an einem Teil seiner Umfangskante eine Beschleunigungskraft erfährt. Durch eine Transportvorrichtung wird das beschleunigte Element abgefördert und so von dem übrigen Stapel zunehmend entfernt. Das Beschleunigen an dem Teil der Umfangskante des ersten Elements erfolgt dabei für die Elemente des Stapels jeweils mit einer gleichbleibenden Kraft, woraus sich sowohl hinsichtlich der Qualität als auch des zeitlichen Abstands der vereinzelten Elemente eine konstante Vereinzelung ergibt.

Die Unteransprüche betreffen vorteilhafte Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung sowie des erfindungsgemäßen Verfahrens .

Insbesondere ist es vorteilhaft, die Beschleunigung mit Hilfe eines Förderelements zu bewirken. Dabei bewegt sich ein Förderelement mit einer bezüglich der axialen Geschwindigkeit der Umfangskante des ersten Elements des Stapels erhöhten Geschwindigkeit. Trifft nun die Umfangskante des ersten Elements auf das Förderelement der Beschleunigungsvorrichtung, so wird dieser Teil der Umfangskante durch das Fördereiement mitgenommen und in Richtung der Stapelachse von dem Stapel weg beschleunigt.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform des Verfahrens beziehungsweise der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung erfolgt die Beschleunigung des Teils der Umfangkante des ersten Elements in wenigstens zwei Beschleunigungsstufen. Dies hat den Vorteil, dass die Beschleunigungskräfte und die Biegemomente, die auf das Element durch die einseitig angreifende Beschleunigungskraft wirken, gering sind. Das zu vereinzelnde Element

wird zunächst einseitig ein Stück weit abgehoben, bevor in dem zweiten Schritt eine weitere Beschleunigung an der selben Umfangskante erfolgt. Diese wirkt jedoch auf das bereits gelöste Element, so dass Effekte, wie beispiels- weise Adhäsion, zwischen den einzelnen Elementen des Stapels an diesem Punkt keine Rolle mehr spielen.

Das Beschleunigen des Elements an einem Teil seiner Umfangskante hat weiterhin den Vorteil, dass durch die einseitige Beschleunigung eine Drehbewegung des zu vereinzelnden Elements ausgelöst wird. Wird der Stapel beispielsweise mit seiner Stapelachse in horizontaler Richtung zugeführt, so wird aufgrund der Drehbewegung das zu vereinzelnde Element in der Horizontalen abgelegt. Die Drehbewegung wird allein aufgrund der einseitigen Beschleunigung des Elements eingeleitet, so dass die der beschleunigten unteren Umfangskante entgegengesetzt liegende obere Umfangskante des ersten Elements aufgrund der Schwerkraft nachgeführt und das vereinzelte Element beispielsweise auf einem Förderband abgelegt wird.

In Abhängigkeit von der Dicke der zu vereinzelnden scheibenförmigen Elemente ist es vorteilhaft, die Zuführung des Stapels zu der Beschleunigungsvorrichtung getaktet vorzunehmen. Durch eine solche Taktung wird sichergestellt, dass das zunächst von dem Stapel abgelöste Element bereits weit genug von dem Stapel entfernt ist, um bei Vereinzelung des nächsten Elements nicht mit diesem zu kollidieren.

Um zu verhindern, dass aufgrund von Adhäsion nicht nur das an seiner Umfangskante beschleunigte Element von dem Stapel abgehoben wird, sondern versehentlich auch das nachfolgende Element des Stapels aufgrund von Adhäsion mit von dem Stapel abgehoben wird, ist es vorteilhaft, eine Bremsvorrichtung vorzusehen, mit der zumindest das benachbarte Element des abzuhebenden ersten Elements mit einer der Beschleunigungskraft entgegen gerichteten Haltekraft beaufschlagt wird.

Zwischen den einzelnen Elementen des Stapels können erhebliche Adhäsionskräfte auftreten. Diese können dazu führen, dass die an der Umfangskante des ersten Elements aufgebrachte Kraft nicht ausreicht, um das erste Element abzuheben. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform wird daher kurz vor dem Beginn der Beschleunigung begonnen, einen Fluidstrahl in den Bereich einer Kontaktfläche zwischen dem ersten, abzuhebenden Element und dessen benachbartem Element einzublasen oder einzuspritzen. Hierzu sind vorzugsweise eine oder mehrere um den Stapel angeordnete Düsen vorgesehen, die jeweils zumindest einen Fluidstrahl auf den Stapel richten, wobei der Fluidstrahl den Stapel an der Kontaktfläche zwischen dem ersten Element und seinem benachbarten Element zumindest unmittelbar vor der Beschleunigung der Umfangskante des ersten Elements trifft. Ein solcher Fluidstrahl kann durch eine oder mehrere Düsen auch aus verschiedenen Richtungen auf den Stapel gerichtet sein, wobei die Strahlen mit einer Stapelachse auch einen von 90° abweichenden Winkel aufweisen können.

Um zu verhindern, dass durch das Abgleiten der der beschleunigten Umfangskante gegenüberliegenden Kante des ersten Elements eine Oberflächenbeschädigung an dem benachbarten Element auftritt, wird zwischen dem bereits leicht abgehobenen ersten Element und dem Stapel ein Fluidpolster durch wiederum zumindest einen Fluidstrahl erzeugt, durch den das Fluidpolster in dem Zwischenraum zwischen dem ersten Element und dem Stapel entsteht, auf dem das erste Element abgleitet. Auf diese Weise wird eine Berührung zwischen der der beschleunigten Umfangskante gegenüberliegenden Umfangskante des ersten Elements und dem benachbarten Element des Stapels verhindert bzw. minimiert.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung sowie des erfindungsgemäßen Verfahrens ist in der Zeichnung dargestellt und wird in

der nachfolgenden Beschreibung detailliert erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Darstellung einer erfin- dungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung zu einem ersten Zeitpunkt;

Fig. 2 eine perspektivische Darstellung der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung zu einem zweiten Zeitpunkt;

Fig. 3 eine perspektivische Darstellung der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung zu einem dritten Zeitpunkt;

Fig. 4 eine perspektivische Darstellung der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung zu einem vierten Zeitpunkt;

Fig. 5 ein Ausschnitt der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung;

Fig. 6 ein Ausschnitt eines Ausführungsbeispiels mit einer Bremsvorrichtung;

Fig. 7 eine vergrößerte Darstellung des übernahmebereichs gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel;

Fig. 8 weitere Ausführungsbeispiele zur Ausgestaltung des übernahmebereichs und

Fig. 9 eine Darstellung einer alternativen Zuführungsvorrichtung.

In der Fig. 1 ist eine erfindungsgemäße Vereinzelungsvorrichtung 1 in perspektivischer Darstellung gezeigt. Die Darstellung der Fig. 1 zeigt die erfindungsgemäße Vereinzelungsvorrichtung 1 zu einem ersten Zeitpunkt, zu

dem von einem Stapel 2 bereits ein erstes Element 3 geringfügig abgehoben wurde. Der Stapel 2 besteht aus einer Vielzahl von Elementen 3, 3 ',..., die jeweils gleiche Abmessungen aufweisen. Es sind auch Stapel mit Elementen verwendbar, die unterschiedlichen Größen aufweisen, wobei die Vereinzelung mit einem Sortiervorgang kombiniert werden kann. Solche Elemente 3, 3 ' , 3 '',... können beispielsweise Silizium-Wafer für die Herstellung von photovoItaischen Anlagen sein. Silizium-Wafer weisen typischer Weise eine Dicke von etwa 50 μm bis 300μm auf. Die erfindungsgemäße Vereinzelungsvorrichtung 1 sowie das entsprechende Verfahren zur Vereinzelung sind jedoch nicht auf solch dünne Elemente 3, 3", 3 '';... beschränkt. Die Vereinzelungsvorrichtung ist z. B. auch für die Vereinzelung von gestapelten Leiterplatten oder anderen zu vereinzelnden Elementen einsetzbar.

Um das jeweils erste Element 3 von dem Stapel 2 abzuheben, wird zunächst der Stapel 2 durch eine Zuführungs- Vorrichtung 4 in Richtung einer Beschleunigungsvorrichtung 5 transportiert. Die Zuführungsvorrichtung 4 weist hierzu in dem dargestellten Ausführungsbeispiel ein erstes Paar von Transportbändern bestehend aus einem ersten Transportband 6a und einem zweiten Transportband 6b auf. Das erste und das zweite Transportband 6a und 6b bilden gemeinsam ein Förderelement der Zuführungsvorrichtung 4 aus. Das erste Transportband 6a und das zweite Transportband 6b werden über ein erstes Paar Rollen 7a, 7b sowie ein zweites Paar Rollen 8a, 8b geführt, wobei in der Fig. 1 nur die Rolle 8b des zweiten Paars Rollen 8a, 8b erkennbar ist. Der Antrieb der Transportbänder 6a und 6b erfolgt beispielsweise über eine zwischen den Rollen 7a, 7b gezeigte, fest mit den Rollen 7a, 7b verbundene Antriebsachse .

Die den Stapel 2 bildenden, scheibenförmigen Elemente 3 weisen eine Umfangskante 9 auf, die in dem dargestellten Ausführungsbeispiel für alle Elemente 3, 3',... des Stapels 2 identisch ist und diese im dargestellten

Ausführungsbeispiel rechteckig begrenzt. Die Vereinzelung der Elemente ist auch bei Elementen durchführbar, die von voneinander in ihrer Geometrie abweichenden Umfangskanten begrenzt werden. Mit ihren jeweiligen unteren Umfangs- kanten 9' liegen die Elemente 3, 3 ¹ , 3' ¹ des Stapels 2 auf den Transportbändern 6a, 6b der Zuführungsvorrichtung 4 auf und werden somit durch die Zuführungsvorrichtung 4 in der in der Fig. 1 durch einen Pfeil angegebenen Richtung gefördert.

Aufgrund dieser Zuführbewegung wird zu einem bestimmten Zeitpunkt das erste Element 3 des Stapels 2 in der Figur 1 so weit nach rechts gefördert, dass dessen untere Umfangskante 9' den Kontakt mit den Transportbändern 6a, 6b verliert. Wie es unter Bezugnahme auf Fig. 5 noch ausführlich erläutert wird, weisen die Transportbänder 6a, 6b der Zuführungsvorrichtung 4 und die weiteren Transportbänder in dem dargestellten Ausführungsbeispiel hierzu unterschiedliche Niveaus auf. In einer einfacheren Ausführung können die Niveaus auch identisch sein. Die Beschleunigung des ersten Elements 3 wird durch ein weiteres Förderelement bewirkt. Das weitere Förderelement besteht aus einem dritten Transportband IIa und einem vierten Transportband IIb, die als drittes Paar Transportbänder zusammenwirken. Das dritte und das vierte Transportband IIa, IIb bewegen sich an der die unteren Umfangskante 9 ' des ersten Elements 3 berührenden Seite mit einer Geschwindigkeit in Pfeilrichtung, die größer ist als die Zuführgeschwindigkeit des Stapels 2 und die damit größer ist als die axiale Geschwindigkeit der Elemente 3, 3 ' , 3 ^■ ',... des Stapels 2 in Richtung der Stapelachse 10. Die untere Umfangskante 9 ' des ersten Elements 3 wird dadurch durch das zweite Paar Transportbänder IIa, IIb in Pfeilrichtung beschleunigt und entfernt sich zunehmend von dem benachbarten Element 3' des Stapels 2. Das zweite Paar Transportbänder IIa, IIb bildet dabei ein erstes Förderelement der Beschleunigungsvorrichtung 5.

Das zweite Paar Transportbänder IIa, IIb befindet sich im wesentlichen in axialer Verlängerung zu dem ersten Paar Transportbänder 6a, βb. Durch die höhere Fördergeschwindigkeit wird die untere Umfangskante 9 ' des ersten Elements 3 gegenüber den unteren Umfangskanten der übrigen Elemente des Stapels 2 in einer ersten Beschleunigungsstufe beschleunigt. In dem bevorzugten, dargestellten Ausführungsbeispiel der Fig. 1 schließt sich an das zweite Paar Transportbänder IIa, IIb ein drittes Paar Transportbänder 12a, 12b als weiteres Förderelement an, welches erneut eine gegenüber dem zweiten Paar Transportbänder IIa, IIb erhöhte Fördergeschwindigkeit aufweisen. Aufgrund dieser zweiten Beschleunigungsstufe wird die untere Umfangskante 9 ' des ersten Elements 3 weiter beschleunigt.

Das zweite Paar Transportbänder IIa, IIb und das dritte Paar Transportbänder 12a, 12b laufen wie schon das erste Paar Transportbänder 6a, 6b über entsprechende Paare von Rollen 14 bis 17, wobei entsprechende Buchstabenzusätze a, b zu den Bezugszeichen die jeweilige Seitenzugehörigkeit kennzeichnen, wobei ein Teil der Rollen in den Figuren verdeckt ist. Das erste Paar Rollen 14a, 14b des zweiten Paars Transportbänder IIa, IIb und das zweite Paar Rollen 8a, 8b des ersten Paars Transportbänder 6a, 6b sind paarweise auf einer gemeinsamen Achse angeordnet. Um unterschiedliche Fördergeschwindigkeiten des ersten Paars Transportbänder 6a, 6b und des zweiten Paars Transportbänder IIa, IIb realisieren zu können, sind die Rollen dabei jeweils zueinander drehbar gelagert. In entsprechender Weise sind auch das zweite Paar Rollen 15a, 15b des zweiten Paars Transportbänder IIa, IIb und das erste Paar Rollen 16a, 16b des dritten Paars Transportbänder 12a, 12b jeweils paarweise auf einer gemeinsamen Achse angeordnet.

Durch das Beschleunigen der unteren Umfangskante 9 ' des ersten Elements 3 wird eine Drehbewegung um den Teil der Umfangskante 9' des ersten Elements 3 eingeleitet. Im Vergleich zu der beschleunigten untere Umfangskante 9 '

bleibt eine gegenüberliegende Umfangskante 9 ' ' zurück und gleitet der Schwerkraft folgend auf der Oberfläche des dem ersten Element 3 benachbarten Elements 3' ab.

Sowie die untere Umfangskante 9 ' des ersten Elements 3 durch das zweite Paar Transportbänder IIa, IIb und das dritte Paar Transportbänder 12a, 12b weit genug von dem übrigen Stapel 2 entfernt ist, liegt das nunmehr in die Horizontale gedrehte erste Element 3 mit seiner ursprünglich dem Stapel 2 zugewandten Oberfläche flach auf den Transportbändern. Durch das dritte Paar Transportbänder 12a, 12b wird zudem das bereits vereinzelte Element 3 einer Transporteinrichtung 32 zugeführt, die aus einem vierten Paar Transportbänder 13a, 13b besteht. Die Transportbänder 13a und 13b werden wiederum durch zwei Rollenpaare 18a, 18b und 19a, 19b geführt. Am Ende des vierten Paars Transportbänder 13a, 13b kann das so vereinzelte Element 3 beispielsweise im Falle von Silizium-Wafern entweder einzeln in einer Kassette abgelegt werden, oder aber direkt in einen weiteren Verarbeitungsprozess beschickt werden. Anders als in dem dargestellten Ausführungsbeispiel kann die zweite Beschleunigungsstufe gleichzeitig auch als Transportvorrichtung ausgebildet sein.

Während der Zuführung des Stapels 2 durch die Zuführungsvorrichtung 4 wird der Stapel 2 zumindest an zwei Seiten der Zuführungsvorrichtung 4 durch sich in axialer Richtung erstreckende Führungselemente gehalten. Die Führungselemente sind der besseren Darstellung wegen in den Figuren nicht gezeigt.

Wie es bereits einleitend erläutert wurde, ist die gezeigte Vereinzelungsvorrichtung 1 besonders geeignet zum Vereinzeln von Silizium-Wafern. Solche Silizium-Wafer gibt es in unterschiedlichen Ausführungen. Bezüglich der Vereinzelung muss hier in erster Linie zwischen zwei Typen von Wafern unterschieden werden. Zum einen gibt es sogenannte gezogene Wafer, deren Oberfläche leicht wellig

ist. Hiervon zu unterscheiden sind monokristalline oder multikristalline Wafer, bei denen in gestapelter Form wegen ihrer glatten Oberfläche erhebliche Adhäsionskräfte auftreten. Um das Ablösen des jeweils ersten Elements 3 vom Stapel 2 zu ermöglichen, sind daher zusätzlich zu der Beschleunigung der unteren Umfangskanten 9 ¹ des jeweils ersten Elements 3 weitere Maßnahmen erforderlich bzw. möglich.

Erfindungsgemäß wird das Ablösen des ersten Elements 3 von dem Stapel 2 dadurch herbeigeführt, dass seitlich in einem übernahmebereich von der Zuführungsvorrichtung 4 zu der Beschleunigungsvorrichtung 5 mehrere Fluiddüsen 27a, 27b, 27c angeordnet sind, mit deren Hilfe mehrere Fluidstrahlen 21a, 21b und 21c auf den Stapel 2 gerichtet werden. Kurz bevor die Beschleunigung der unteren Umfangskanten 9 ' einsetzt, hat das erste Element 3 mit seiner Umfangskante 9 die Fluidstahlen 21a, 21b und 21c passiert. Das Fluid wird durch die Fluiddüsen 27a, 27b und 27c in den Bereich einer Kontaktfläche zwischen dem ersten Element 3 und dem benachbarten Element 3" eingeblasen bzw. eingespritzt und bewirkt so ein leichtes Abheben der aneinander "klebenden" Wafer.

Die Fluiddüsen 27a, 27b und 27c sind vorzugsweise bewegbar angeordnet. Die bewegbare Anordnung ermöglicht entweder eine lineare Bewegung in und entgegengesetzt zur Transportrichtung des Stapels 2 oder aber eine Drehung der Fluiddüsen 27a, 27b, und 27c. Bei einer drehbaren Anordnung verändert sich der Winkel, in dem das Fluid auf die zu vereinzelnden Elemente 3 des Stapels 2 trifft. Zur Verbesserung der Vereinzelung werden die Fluiddüsen 27a, 27b und 27c gemeinsam oszillierend bewegt, so dass eine stufenweise Auffächerung der Elemente des Stapels 2 erfolgt. Dabei kann entweder das Fluid durch die Fluiddüsen 27a, 27b und 27c kontinuierlich zugeführt werden oder aber getaktet, wobei im Falle einer getakteten Zuführung von Fluid der Fluidstrom vorzugsweise für eine

Bewegung der Fluiddüsen 27a, 27b und 27c entgegen der Förderrichtung des Stapels 2 ausgesetzt wird.

Als Fluid wird im einfachsten Fall Luft verwendet. Eine höhere Integration in ein Fertigungsverfahren ist jedoch möglich, indem ein auf einen Bearbeitungsprozess abgestimmtes Fluid verwendet wird. Insbesondere ist es denkbar als Fluid eine Reinigungsflüssigkeit zu verwenden.

Das Einblasen oder Einspritzen des Fluids kann auch schon vor dem Eintritt des Stapels 2 in den übernahmebereich begonnen werden. So wird der Stapel 2 im Idealfall bereits während der Zuführung kontinuierlich gelockert.

In den Figuren ist eine besonders bevorzugte Ausführungsform dargestellt, bei der sowohl zu beiden Seiten des Stapels 2 als auch an der Unterseite des Stapels 2 jeweils eine Fluiddüse 27a, 27b, 27c vorgesehen ist, die mit jeweils einem scharfen Strahl 21a, 21b, 21c das Abheben des ersten Elements 3 bewirken. Die Geometrie der Strahlen 21a, 21b, 21c entspricht im Wesentlichen jeweils einem Kreissegment, wobei die Ausdehnung in Richtung der Stapelachse 10 scharf begrenzt ist. Gute Ergebnisse lassen sich auch mit einem zylindrischen Strahl erzielen, der vorzugsweise scharf begrenzt ist. In den Figuren ist dargestellt, dass die Strahlrichtung näherungsweise senkrecht auf der Stapelachse 10 steht. Es kann jedoch auch vorteilhaft sein, die Fluidstrahlen 21a, b, c leicht in Richtung der Förderrichtung zu führen, um das Abheben des ersten Elements 3 durch die Fluidstrahlen 21a bis 21c zu begünstigen.

In der Fig. 2 ist die erfindungsgemäße Vereinzelungsvorrichtung 1 zu einem späteren Zeitpunkt dargestellt. Während das erste Element 3 bereits nahezu vollständig auf dem dritten Paar Transportbänder 12a, 12b abgelegt ist, wurde das benachbarte Element 3 ¹ an seiner unteren Umfangskante bereits beschleunigt und seine Drehbewegung eingeleitet. Das weitere Element 3 ^{1 1} hat dagegen noch Kontakt zu dem ersten Paar Transportbänder

6a, 6b, so dass dessen untere Umfangskante noch keine beschleunigende Kraft erfährt. Der besseren übersichtlichkeit wegen sind in der Fig. 2 die weiteren Elemente des Stapels 2 nicht mehr dargestellt.

Wie es bereits erläutert wurde, ergibt sich ein besonders schonendes Verfahren der Vereinzelung, bei dem insbesondere die Oberfläche des jeweils benachbarten Elements, in dem dargestellten Beispiel die Oberflächen der benachbarten Elemente 3', 3 ^{1 1} nicht durch die obere Umfangskante 9 ' ' beschädigt wird, indem die Drehbewegung des ersten Elements 3 mit Unterstützung durch ein Fluidpolster vorgenommen wird. Hierzu sind weitere Fluiddϋsen 23 bis 26 vorgesehen, mit denen auf der dem Stapel 2 zugewandten Seite der sich drehenden Elemente 3, 3' ein Fluidpolster geschaffen wird. Dieses stützt die sich drehenden Elemente 3, 3', so dass die jeweilige obere Umfangskante der sich drehenden Elemente 3, 3' nicht in Anlage mit der Oberfläche des nachfolgenden Elements 3 ' bzw. 3' ¹ des Stapels 2 kommt.

Die einzelnen Fluiddüsen 23 bis 27 können auch mit unterschiedlichen Fluidmedien betrieben werden. Insbesondere kann auch eine Mischung von unterschiedlichen Fluidmedien bei einem Teil oder allen Fluiddüsen 23 bis 27 verwendet werden. Beispielsweise kann eine Reinigungsflüssigkeit als Spray zusammen mit Luft durch die Fluiddüsen 23 bis 27 geblasen werden.

Die erste Fluiddüse 23 des Fluidpolsters ist bereits kurz nach oder in dem übernahmebereich von der Zuführungsvorrichtung 4 zu der Beschleunigungsvorrichtung 5 im Bereich des ersten Paars Transportbänder IIa, IIb angeordnet. Das von der ersten Fluiddüse 23 zur Erzeugung des Fluidpolsters eingeblasene bzw. eingespritzte Fluid strömt in den sich im Bereich der unteren Umfangskante 9 ' des ersten Elements 3 ausbildenden Zwischenraum zwischen dem ersten Element 3 und dem benachbarten Element 3 ' bzw. zum Zeitpunkt der Fig. 2 zwischen das benachbarte Element

3 ' und das weitere Element 3 ' ' . Durch Verwendung unterschiedlicher Fluiddüsen 23 bis 26 und Fluidmedien ist die Vereinzelungsvorrichtung 1 in leichter Weise auf unterschiedliche gestapelte Elemente 3, 3', 3'', ... einstellbar. Insbesondere ist es dadurch möglich, die Vereinzelungsvorrichtung 1 in einfacher Weise an beispielsweise unterschiedliche Waferdicken einzustellen. Entsprechend der zunehmenden Angriffsfläche bei fortschreitender Drehbewegung der Elemente 3, 3', 3'' ist es außerdem vorteilhaft, von den Fluiddüsen 23 bis 26 erzeugte Fluidstrahlen 28 bis 31 hinsichtlich ihrer Geometrie bzw. ihrer Strahlstärke anzupassen. Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel, bei dem die Beschleunigungsvorrichtung 5 und die Transportvorrichtung 32 jeweils ein parallel geführtes Paar Transportbänder IIa, IIb, 12a, 12b und 13 a, b für zwei Beschleunigungsstufen und das Abfördern der Elemente 3, 3 ' , 3 '",... umfasst, werden die Fluiddüsen 23 bis 26 vorzugsweise in einem zwischen den jeweiligen Transportbänderpaaren ausgebildeten Zwischenraum angeordnet .

In der Fig. 3 ist die Vereinzelungsvorrichtung 1 zu einem noch einmal späteren Zeitpunkt dargestellt. Hierbei ist auch das weitere benachbarte Element 3 ' ' an seiner unteren Umfangskante beschleunigt worden und das erste Element 3 liegt bereits in einer horizontalen Ebene auf den Transportbändern 13a, 13b der Transportvorrichtung 32 auf. Hier kann bereits eine Vorrichtung zur Kontrolle der korrekten Vereinzelung integriert werden. Denkbar ist z.B. eine Gewichtserfassung oder eine optische Dickenkontrolle. Die Integration kann auch eine automatische Sortierung der Elemente oder andere Vorrichtungen betreffen. Bei nicht korrekter Vereinzelung wird das bzw. die nicht korrekt vereinzelten Elemente aus dem weiteren Transport ausgefasst und erneut dem Vereinzelungsprozess zugeführt. Bei dem benachbarten Element 3 ' ist dessen Drehbewegung fast abgeschlossen.

Bei der Beschleunigung durch die Beschleunigungsvorrichtung 5 muss sichergestellt werden, dass ein ausreichender Abstand zwischen der jeweiligen unteren Umfangskante 9 ' der aufeinanderfolgenden Elemente 3 , 3 ' , 3 ¹ ', ... besteht, um ein überlappen beim Abfördern nacheinander abgelegten Elemente 3, 3', 3 ¹ ' zu verhindern. Hierzu ist es beispielsweise bei besonders dünnen Elementen 3, 3 ¹ , 3 ¹ ' möglich, die Zuführvorrichtung 4 zu takten. Durch eine entsprechende Taktung der Zuführungs- Vorrichtung 4 wird bewirkt, dass der Kontakt der unteren Umfangkante 9' des benachbarten Elements 3' bzw. des weiter benachbarten Elements 3 ' ' mit den Transportbändern IIa, IIb der Beschleunigungsvorrichtung 5 erst dann erfolgt, wenn die untere Umfangskante des vorausgehenden Elements 3 bzw. 3' bereits einen ausreichenden Abstand aufweist. Auf eine solche getaktete Zuführungsvorrichtung 4 kann dagegen beispielsweise verzichtet werden, wenn es sich bei den zu vereinzelnden Elementen um vergleichsweise dicke Elemente handelt. Solche dickeren Elemente sind beispielsweise gestapelte Leiterplatten. Aufgrund der eigenen Dicke bleibt bei entsprechend gewählter, konstanter Zuführgeschwindigkeit hier solange der Kontakt mit den Transportbändern 6a, 6b der Zuführungsvorrichtung 4 bestehen ehe eine Beschleunigung eintritt, bis die untere Umfangskante 9 ' des vorangegangenen ersten Elements 3 bereits ausreichend weit transportiert wurde.

In der Fig. 4 ist es schließlich gezeigt, wie drei Elemente 3, 3' und 3 ¹ ' des Stapels 2 zur weiteren Verarbeitung einzeln und nacheinander auf dem vierten Paar Transportbänder 13a, 13b angeordnet sind, die ein Förderelement der Transportvorrichtung 32 bilden. Auf die Darstellung weiterer Elemente wurde verzichtet, so dass noch einmal deutlich die bevorzugte Anordnung der Fluiddüsen 27 und 23-26 zu erkennen ist.

Die Fig. 5 zeigt noch einmal eine vergrößerte Darstellung des übernahmebereichs von der Zuführungsvorrichtung 4 zu der Beschleunigungsvorrichtung 5. Es ist zu erkennen, dass

der Stapel 2 mit den unteren Umfangskanten 9 ' der Elemente 3, 3", 3' ¹ usw. auf dem Paar Transportbänder 6a, 6b aufliegt, wobei in der Seitendarstellung nur das zweite Transportband 6b der Zuführungsvorrichtung 4 erkennbar ist. Aufgrund der Auflage der unteren Umfangskante 9' der einzelnen Elemente 3, 3 ¹ , 3 ^{1 1} des Stapels 2 auf dem Paar Transportbänder 6a, 6b ergibt sich ein erster Abstand d _x des Transportbandes 6b von der Stapelachse 10. Im Unterschied dazu ist ein zweiter Abstand d ₂ der Transportbänder IIa, IIb des zweiten Paars Transportbänder IIa, IIb gegenüber dem ersten Abstand d _x vergrößert. Eine Vergrößerung des Abstandes des zweiten Paars der Transportbänder IIa, IIb kann beispielsweise dadurch erreicht werden, dass der Durchmesser der Rollen 14a, 14b gegenüber dem Durchmesser der Rollen 8a, 8b, des ersten Paars Transportbänder 6a, 6b, die auf dem selben Achsenpaar 20 angeordnet sind, verringert ist.

In der Fig. 5 ist eine besonders vorteilhafte Ausführungsform dargestellt, bei der der zweite Abstand d ₂ gegenüber dem ersten Abstand d _x vergrößert ist. Ebenso ist es auch möglich, bei der Zuführung des Stapels 2 das erste Element 3 in Richtung der Beschleunigungsvorrichtung 5 zu bewegen, wobei das erste Paar Transportbänder IIa, IIb der Beschleunigungsvorrichtung 5 einem gegenüber dem ersten Abstand d _x der Transportbänder 6a, 6b der Zuführungsvorrichtung 4 verringerten Abstand d ₂ aufweist. In diesem Fall wird der Stapel 2 mit dem ersten Element 3 gegen das zweite Paar Transportbänder IIa, IIb bewegt, woraufhin die untere Umfangskante 9 ' des ersten Elements 3 ebenfalls zu einem definierten Zeitpunkt Kontakt mit den schneller laufenden Transportbändern IIa, IIb hat.

Zudem ist in der Fig. 5 noch einmal anschaulich die Lage der Kontaktfläche 22 zwischen dem ersten Element 3 und seinem benachbarten Element 3 ' gezeigt .

In der Fig. 6 ist noch einmal ein Ausschnitt der erfindungsgemäßen Vereinzelungsvorrichtung dargestellt. In

dem übernahmebereich zwischen der Zuführvorrichtung 4 sowie der Beschleunigungsvorrichtung 5 ist ein Beispiel für eine Bremsvorrichtung 33 dargestellt. Ein durch die Transportbänder 6a, 6b der Zuführungsvorrichtung 4 in Pfeilrichtung transportierter Stapel 2 erreicht dabei mit seinen ersten Elementen die Bremsvorrichtung 33. Der besseren Darstellung wegen sind jeweils nur die mit den Zusatz "a" bezeichneten Transportbänder und Rollen dargestellt. Die Bremsvorrichtung 33 weist an ihrer dem zu transportierenden Stapel 2 zugewandten Seite eine einseitige, in Förderrichtung angeordnete Erhöhung 34 auf, gegen welche durch die Zuführungsvorrichtung 4 der zu transportierende Stapel 2 gefördert wird. Anstelle der in der Fig. 6 dargestellten gekrümmten Kontur der dem Stapel 2 zugewandten Seite der Bremsvorrichtung 33 kann alternativ z. B. auch eine keilförmige Geometrie der Bremsvorrichtung 33 gewählt werden. Während des Transports in Pfeilrichtung verringert sich der Abstand der Bremsvorrichtung 33 bezüglich der Stapelachse 10. In Förderrichtung ist die Bremsvorrichtung 33 dabei so angeordnet, dass eine hintere Kante 35 durch das erste Element 3 des Stapels 2 zu einem Zeitpunkt erreicht wird, in dem ein weiterer Kontakt mit den Transportbändern 6a, 6b der Zuführungsvorrichtung 4 nicht mehr erfolgt. Stattdessen gleitet das jeweils erste Element 3 des Stapels 2 bei überschreiten der Hinterkante 35 der Bremsvorrichtung 33 zu einem definierten Zeitpunkt ab und wird an seiner unteren Umfangskante 9 ' durch das Transportband IIa der Beschleunigungsvorrichtung 5 beschleunigt.

In der Fig. 6 ist weiterhin zu erkennen, dass im Gegensatz zu den Ausführungsbeispielen der Fig. 1 bis 5 auch ein vergrößerter übernahmebereich ausgebildet sein kann, in dem die jeweiligen Achsen 20 der Rollen 14a und 20' der Rolle 8a in Förderrichtung zueinander versetzt angeordnet sind. Wie es bereits unter Bezugnahme auf das Ausführungsbeispiel der Fig. 5 ausführlich erläutert wurde, ist auch in dem Ausführungsbeispiel der Fig. 6 das

Transportbandpaar IIa, IIb mit einem gegenüber dem ersten Abstand d _x des ersten Transportbandpaares 6a, 6b von der Stapelachse 10 vergrößerten zweiten Abstand d ₂ angeordnet.

In den Figuren bilden jeweils zwei Transportbänder gemeinsam ein Förderelement der Zuführungsvorrichtung 4 , der Beschleunigungsvorrichtung 5 sowie der Transportvorrichtung 32. Die Verwendung anderer Förderelemente ist ebenso möglich.

In Fig. 7 ist eine vergrößerte Darstellung eines übernahmebereichs zwischen der Zuführungsvorrichtung 4 sowie der Beschleunigungsvorrichtung 5 dargestellt. Wie bereits in den vorangegangenen Beispielen ist das Niveau bezüglich der Stapelachse in der Zuführungsvorrichtung 4 sowie in der Beschleunigungsvorrichtung 5 unterschiedlich. Um das Abheben des jeweils ersten Elements 3 eines Stapels 2 zu verbessern, ist zusätzlich ein gezähntes Rad 36 vorgesehen. In dem in Fig. 7 dargestellten Ausführungsbei- spiel ist das gezähnte Rad 36 als Zahnrad ausgeführt. Hiervon abweichende Flankengeometrien können jedoch erforderlich sein, um das gezähnte Rad 36 auf die Dicke der zu vereinzelnden Elemente 3 anzupassen. Das gezähnte Rad 36 weist vorzugsweise einen äußeren Durchmesser auf, der größer ist als der Durchmesser der Rollen des zweiten Paars Rollen 8a, 8b plus der zweifachen Stärke des ersten bzw. zweiten Transportbandes 6a, 6b. Wie es in der Fig. 7 ersichtlich ist, hat dies zur Folge, dass eine Bewegung des Stapels 2 in Pfeilrichtung noch vor dem Erreichen des Endes der Zuführvorrichtung 4 das erste Element 3 des Stapels 2 in Kontakt mit dem sich drehenden gezähnten Rad 36 bringt. Durch das gezähnte Rad 36 wird damit das jeweils erste Element 3 des Stapels 2 an der jeweils unteren Umfangskante 9 ' erfasst und von dem Stapel abge- hoben. Aufgrund des geringfügig größeren Durchmessers des gezähnten Rades 36 wird dabei mit dem Element 3 eine Hubbewegung ausgeführt .

Wie es bereits erläutert wurde, ist die Geometrie der Zähne des gezähnten Rades 36 auf die Dicke der zu vereinzelnden Elemente 3 abgestimmt, so dass jeweils ein Element 3 sicher durch zwei aufeinanderfolgende Zähne des gezähnten Rades 36 in Richtung auf die Beschleunigungsvorrichtung 5 hin transportiert wird. Die jeweils untere Umfangskante 9' wird durch das gezähnte Rad 36 solange transportiert, bis die untere Umfangskante 9 ¹ des transportierten Elements 3 in Kontakt mit dem dritten und vierten Transportband IIa, IIb kommt. Zu diesem Zeitpunkt übernimmt das dritte und vierte Transportband IIa, IIb den weiteren Transport der unteren Umfangskante 9', wodurch es in bereits beschriebener Weise zu einer Ablage der nacheinander vereinzelten Elemente des Stapels 2 kommt.

Bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel dreht sich das gezähnte Rad 36 vorzugsweise mit derselben Winkelgeschwindigkeit wie das erste Paar Rollen 14a, 14b des zweiten Paars Transportbänder IIa, IIb wodurch eine Beschleunigung der unteren Umfangskante 9' erreicht wird. Abweichend von der in der in Fig. 7 dargestellten Ausführungsform kann das gezähnte Rad 36 jedoch auch einen eigenen Antrieb aufweisen, wodurch insbesondere das erste Paar Rollen 14a, 14b des zweiten Paars Transportbänder IIa, IIb auf einer eigenen Achse drehbar gelagert sein kann. Auch bei der Verwendung eines gezähnten Rads 36 zum Anheben des jeweils ersten Elements von dem Stapel 2 ist es möglich, dass das Niveau des dritten und vierten Transportbandes IIa, IIb das Niveau des ersten und zweiten Transportbandes 6a, 6b übersteigt und die entstehende Höhendifferenz durch ein Anheben des jeweils ersten Elementes mittels des gezähnten Rades 36 überwunden wird.

Insbesondere wenn es sich bei den zu vereinzelnden Elementen 3 um Silizium-Wafer handelt, werden bevorzugt KunststoffZahnräder als gezähnte Räder 36 eingesetzt. Eine weitere Möglichkeit ist es, Aluminiumzahnräder zu verwenden, wobei zumindest die in Kontakt mit den zu vereinzelnden Elementen 3 stehenden Flächen der Aluminium-

zahnräder beschichtet sind. Als Beschichtung der Kontaktflächen der Aluminiumzahnräder wird vorzugsweise eine Eloxierung verwendet.

In Fig. 8 ist der übernahmebereich von der Zuführungsvorrichtung 4 zu der Beschleunigungsvorrichtung 5 noch einmal für drei alternative Ausführungsbeispiele gezeigt, bei denen die Anordnung des bzw. der gezähnten Räder 36, 36a und 36b unterschiedlich ist. Bei dem einfachsten Ausführungsbeispiel, welches in Fig. 8a) dargestellt ist, wird ein einzelnes gezähntes Rad 36 verwendet, welches mittig zwischen den ersten Rollen 14a, 14b des zweiten Paars Transportbänder IIa, IIb angeordnet ist. Um einen eigenen Antrieb für das gezähnte Rad 36 entbehrlich zu machen, ist anders als in den vorangegangenen Ausführungsbeispielen das gezähnte Rad 36 auf einer Triebwelle 20" angeordnet, welche zwischen den Rollen 14a, 14b des ersten Paars Rollen des zweiten Paars Transportbänder IIa, IIb angeordnet ist. Diese Triebwelle 20' ist drehfest mit zumindest mit einer der beiden Rollen 14a, 14b verbunden und überträgt so ein Antriebsmoment auf das gezähnte Rad 36. Die in Fig. 8a) dargestellte Anordnung ermöglicht es, ein zusätzliches gezähntes Rad 36 nachträglich in bereits vorhandene Anlagen zu integrieren, da der Abstand und der Verlauf des ersten Paars Transportbänder 6a, 6b sowie des zweiten Paars Transportbänder IIa, IIb unverändert bleibt.

Eine weitere mögliche Anordnung ist in Fig. 8b) darge- stellt. Um eine, bei nicht mittiger Lage des zugeführten Stapels 2, sichere Erfassung des jeweils ersten Elements ohne Erzeugung eines Kippmoments zu ermöglichen, ist im Gegensatz zu dem Ausführungsbeispiel der Fig. 8a) jedem der Rollen des ersten Paars Rollen 14a, 14b des zweiten Paars Transportbänder IIa, IIb ein gezähntes Rad 36a bzw. 36b zugeordnet. Die gezähnten Räder 36a und 36b können dabei unmittelbar mit dem ersten Paar Rollen 14a bzw. 14b verbunden sein, so dass ein Antrieb indirekt über das zweite Paar Transportbänder IIa, IIb erfolgt. In diesem

Fall kann die gemeinsame Achse 20 feststehend ausgeführt sein, wobei sich das zweite Paar Rollen 8a, 8b des ersten Paars Transportbänder 6a, 6b sowie das erste Paar Rollen 14a, 14b gemeinsam mit dem Paar gezähnte Räder 36a, 36b unabhängig voneinander auf der gemeinsamen Achse 20 drehen .

In Fig. 8c) ist ein weiteres Ausführungsbeispiel gezeigt, bei dem die zu vereinzelnden Elemente 3 an ihrer jeweils unteren Umfangskante 9 ' noch weiter zum äußeren Rand hin durch die gezähnten Räder 36a, 36b gegriffen und abgehoben werden. Die gezähnten Räder 36a, 36b sind hierzu wiederum mit dem ersten Paar Rollen 14a, 14b des zweiten Paars Transportbänder IIa, IIb verbunden. Im Unterschied zu dem in Fig. 8b) gezeigten Ausführungsbeispiel sind die gezähnten Räder 36a, 36b nun jedoch zwischen dem zweiten Paar Rollen 8a, 8b des ersten Paars Transportbänder 6a, 6b und dem ersten Paar Rollen 14a, 14b des zweiten Paars Transportbänder IIa, IIb angeordnet. Auf diese Weise verlaufen die Transportbänder des zweiten Paars IIa, IIb weiter zur Mitte versetzt.

In der Fig. 9 ist eine alternative Zuführvorrichtung 4' in einer Seitenansicht dargestellt. Die alternative Zuführvorrichtung 4 ' weist an Stelle der ersten Transportbänder 6a, 6b einen Stapelhalter 37 auf, mit Hilfe dessen ein Stapel 2 in Richtung auf die Beschleunigungsvorrichtung 5 hin gefördert wird. Der Stapelhalter 37 ist gleitend auf einer Laufschiene 38 angeordnet und kann mit Hilfe eines Antriebelements 39 in Pfeilrichtung auf der Laufschiene 38 verschoben werden. Der Stapelhalter 37 weist ein Stützelement 40 auf, an dem eine Anlagefläche 41 ausgebildet ist. An der Anlagefläche 41 liegt das letzte Element eines Stapels 2 an, welcher auf einer Auflagefläche 42 des Stapelhalters 35 aufliegt. Der Transport des Stapels 2 erfolgt damit nicht über das erste Paar Transportbänder wie in den vorangegangenen Ausführungsbeispielen, sondern mit Hilfe des Stapelhalters 37.

Das Stützelement 40 besteht vorzugsweise aus zwei parallel zueinander angeordneten Bauelementen, deren Stirnseiten gemeinsame die Anlagefläche 41 ausbilden. In Verlängerung der Anlagefläche 41 in etwa horizontaler Richtung zu der Beschleunigungsvorrichtung 5 hin geht die Anlagefläche 41 in die Auflagefläche 42 über, welche ebenfalls aus zwei parallelen Bauelementen besteht. Durch die gabelförmige Anordnung der Auflagefläche 42 greift die Auflagefläche 42 soweit in den Bereich der Beschleunigungsvorrichtung 5, das auch die letzten Elemente des Stapels 2 durch die Beschleunigungsvorrichtung 5 an ihrer jeweiligen unteren Umlaufkante 9' erfasst werden können. Die gabelförmigen Auflagefläche 42 ist hierbei in den Zwischenräumen der Transportbänder 111, IIb und 12a, 12b der Beschleunigungsvorrichtung 5 positioniert.

Gegenüberliegend der Anlagefläche 41 ist eine Rückhaltedüse 43 vorgesehen, welche des jeweils vorderste Element 3 des Stapels 2 in Richtung auf die Anlagefläche 41 hin mit einem Fluidstrahl beaufschlagt. Dadurch werden die einzelnen Elemente des Stapels 2 mit einer durch den Fluidstrahl einstellbaren Kraft in Anlage mit der Anlagefläche 41 gehalten und ein Umkippen der Elemente 3 bei einer Bewegung des Stapelhalters 37 wird verhindert. In der Fig. 9 sind die Fluiddüsen 27a, 27b, 27c aus Gründen der übersichtlichkeit nicht dargestellt. An Stelle der bereits beschriebenen bewegbaren Düsen können die Düsen auch fixiert sein, wobei eine Relativbewegung zwischen dem Fluidstrahl und dem Stapel 2 durch eine oszillierende Bewegung des Stapelhalters 37 erzeugt wird. Dabei kann erneut vorzugsweise eine getaktete Zuführung von Fluid über die Fluiddüsen 27a bis 27c erfolgen. Die seitliche Ausrichtung des Stapels 2 auf dem Stapelhalter 37 erfolgt durch eine Anschlagfläche 48, die an einer Stütze 49 ortsfest montiert ist.

In der Fig. 9 ist ferner ein Führungselement 45 zu erkennen, welches beidseitig der

Beschleunigungsvorrichtung 5 angeordnet ist und mit seinen senkrechten Wänden eine exakte Ausrichtung der einzelnen Elemente 3 auf den Transportbändern der Beschleunigungsvorrichtung 5 bewirkt. Der Abstand der beiden Wände des Führungselernents 45 nimmt in Transportrichtung ab. Weiterhin sind in der Seitenansicht zwei Lagerböcke 46, 47 dargestellt, in welchen die Achsen bzw. Wellen zur Aufnahme der Rollen der Beschleunigungsvorrichtung 5 vorgesehen sind.

Die Erfindung ist nicht auf das dargestellte, bevorzugte Ausführungsbeispiel beschränkt. Vielmehr sind die einzelnen Merkmale des Ausführungsbeispiels in beliebiger Weise untereinander kombinierbar.