VERFAHREN ZUM AUSSORTIEREN VON AUSGEWÄHLTEN BAUELEMENTEN

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aussortieren von ausgewählten Bauelementen gemäß Patentanspruch 1 und eine Vorrichtung zum Aussortieren von ausgewählten Bauelementen gemäß Patentanspruch 15.

Im Stand der Technik ist aus US 2014/0061687 AI eine Vorrichtung bekannt, mit der Bauelemente von einem Quellträger auf einen Zielträger übertragen werden können.

Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein verbessertes Verfahren zum Aussortieren von ausgewählten Bauelementen und eine verbesserte Vorrichtung zum Aussortieren von ausgewählten Bauelementen bereitzustellen.

Die Aufgaben der Erfindung werden durch die Gegenstände der unabhängigen Patentansprüche gelöst.

In den abhängigen Ansprüchen sind weitere Ausführungsformen des Verfahrens beziehungsweise der Vorrichtung angegeben.

Sämtliche Ansprüche sind hiermit durch Rückbezug in die Be ^¬ schreibung mitaufgenommen.

Es wird ein Verfahren zum Aussortieren von ausgewählten Bauelementen mit wenigstens einem vorgegebenen Merkmal aus einer Vielzahl von Bauelementen vorgeschlagen, wobei Bauelemente auf mehreren Quellträgern in vorgegebenen Rasteranordnungen angeordnet sind, wobei wenigstens ein Zielträger vorgesehen ist, wobei Rasterplätze, auf denen ausgewählte Bauelemente auf einem Quellträger angeordnet sind, in einem Datenspeicher abgelegt sind, wobei mithilfe eines Transporthalters in einem ersten Schritt alle ausgewählten Bauelemente eines ersten Quellträgers aufgenommen und auf einem ersten Zielträger in der Rasteranordnung des ersten Quellträgers abgelegt werden, wobei in einem zweiten Schritt, insbesondere wenn der erste Zielträger noch mindestens einen freien Platz in der Rasteranordnung aufweist, die ausgewählten Bauelemente eines zwei ^¬ ten Quellträgers, die auf einem Rasterplatz angeordnet sind, der einem freien Rasterplatz des ersten Zielträgers ent- spricht, vom Transporthalter aufgenommen werden und in der

Rasteranordnung des zweiten Quellträgers auf den ersten Zielträger abgelegt werden,

wobei in einem dritten Schritt, insbesondere wenn der erste Zielträger noch wenigstens einen freien Platz in der Raster- anordnung aufweist, die ausgewählten Bauelemente eines drit ^¬ ten Quellträgers, die auf einem Rasterplatz angeordnet sind, der einem freien Rasterplatz des ersten Zielträgers entspricht, vom Transporthalter aufgenommen und in der Rasteranordnung des dritten Quellträgers auf den ersten Zielträger abgelegt werden,

wobei dieses Verfahren so lange mit weiteren Quellträgern durchgeführt wird, bis eine gewünschte Anzahl von ausgewähl ^¬ ten Bauelementen auf dem ersten Zielträger angeordnet sind oder bis eine vorgegebene Anzahl von Übertragungsschritten mit dem Transporthalter durchgeführt wurde.

Bei dem Verfahren weist insbesondere im zweiten Schritt der erste Zielträger noch mindestens einen freien Platz in der Rasteranordnung auf, sodass ausgewählte Bauelemente des zwei- ten Quellträgers, die auf einem Rasterplatz angeordnet sind, der einem freien Rasterplatz des ersten Zielträgers entspricht, vom Transporthalter aufgenommen werden und in der Rasteranordnung des zweiten Quellträgers auf freie Plätze in der Rasteranordnung des ersten Zielträgers auf den ersten Zielträger abgelegt werden.

Ein Vorteil des beschriebenen Verfahrens besteht darin, dass mit wenigen Verfahrensschritten ein prozentual hoher Anteil von ausgewählten Bauelementen von mehreren Quellträgern auf einem Zielträger angeordnet werden kann. Dadurch können in kurzer Zeit eine Vielzahl von Bauelementen von Quellträgern auf Zielträger aussortiert werden. Dadurch wird ein hoher Durchsatz der pro Stunde aussortierten Bauelemente erreicht. Beim Aussortieren werden ausgewählte Bauelemente vom Quell ^¬ träger zum Zielträger übertragen, wobei die ausgewählten Bauelemente wenigstens ein vorgegebenes Merkmal aufweisen. Das vorgegebene Merkmal kann eine technische Eigenschaft wie zum Beispiel eine gute Funktionsweise, eine schlechte Funktions ^¬ weise, eine vorgegebene Leistung, einen vorgegebenen Spannungsabfall des Bauelements, eine vorgegebene Kapazität, ei ^¬ nen vorgegebenen Wellenlängenbereich der vom Bauelement emittierten oder detektieren elektromagnetischen Strahlung usw. darstellen.

Mithilfe des beschriebenen Verfahrens können gleichzeitig mehrere ausgewählte Bauelemente mit dem vorgegebenen Merkmal von den Quellträgern auf die Zielträger transferiert werden. Abhängig von der gewählten Ausführungsform wird die Übertragung von Bauelementen auf einen Zielträger beendet, wenn eine gewünschte Anzahl von ausgewählten Bauelementen auf dem Zielträger angeordnet ist. Beispielsweise kann das Verfahren be ^¬ endet werden, wenn 80 % der auf dem Zielträger bereitgestell- ten Rasterplätze mit ausgewählten Bauelementen belegt ist. In einer weiteren Ausführungsform kann das Verfahren zum Übertragen von ausgewählten Bauelementen auf einen Zielträger beendet werden, nachdem eine vorgegebene Anzahl von Übertra ^¬ gungsschritten stattgefunden hat. Zudem kann abhängig von der gewählten Ausführungsform die Übertragung von ausgewählten Bauelementen von Quellträgern auf einen Zielträger nach einer vorgegebenen Transferzeit von beispielsweise 10 Sekunden be ^¬ endet werden.

In einer Ausführungsform weisen die Quellträger die gleiche Rasteranordnung für die Bauelemente auf. Abhängig von der gewählten Ausführungsform ist nicht jeder Rasterplatz eines Quellträgers mit einem Bauelement belegt. In einer weiteren Ausführungsform weist ein Quellträger eine Rasteranordnung der Bauelemente auf, die wenigstens teilweise eine abgerunde ^¬ te Seitenkontur aufweist. Die Rasteranordnung kann beispielsweise eine Kreisscheibenform aufweisen. Dies ist beispielsweise bei der Verwendung eines Wafers als Quellträger der Fall. Wenigstens ein Anteil der ausgewählten Bauelemente wird vom Transporthalter bei dieser Ausführungsform in einer Rasteranordnung mit rechteckiger Fläche aufgenommen. Die Bauelemente werden vom Transporthalter in der Rasteranordnung mit der rechteckigen Fläche auf einem Zielträger abgelegt. Auf diese Weise kann wiederum eine rechteckige Rasteranordnung auf dem Zielträger erzeugt werden. Ein weitere Anteil der ausgewählten Bauelemente wird vom Transporthalter von dem Quellträger mit einer Rasteranordnung mit einer dreieckigen Fläche im Randbereich der abgerundeten Rasteranordnung des Quellträgers aufgenommen und in der dreieckigen Rasteranord ^¬ nung auf dem Zielträger abgelegt. Mithilfe von zwei entspre ^¬ chend zueinander ausgerichteten dreieckigen Rasteranordnungen der Bauelemente kann auf dem Zielträger eine rechteckförmige Rasteranordnung der Bauelemente hergestellt werden. Dazu ist der Transporthalter ausgebildet, um die aufgenommene drei ^¬ eckige Rasteranordnung der Bauelemente vor dem Ablegen auf den Zielträger zu drehen. Dadurch wird eine kompakte Anordnung der Bauelemente in Form einer rechteckigen Rasteranordnung auf dem Zielträger mit einfachen Mitteln erreicht. In einer weiteren Ausführungsform wird wenigstens ein Bauelement auf dem Zielträger lateral verschoben, um eine Anordnung von Bauelementen mit möglichst wenig freien Plätzen in der Rasteranordnung des Zielträgers zu erreichen. Auf diese Weise kann mit einfachen Mitteln die Dichte von ausgewählten Bauelementen in der Rasteranordnung des Zielträgers erhöht werden .

In einer weiteren Ausführungsform wird die Rasteranordnung der ausgewählten Bauelemente von mehreren Quellträgern er- fasst und analysiert. Abhängig von den Rasteranordnungen der ausgewählten Bauelemente der Quellträger werden die Quellträger in zwei Gruppen von Quellträgern unterteilt, um mit möglichst wenigen Übertragungen des Transporthalters eine vorge- gebene Dichte von ausgewählten Bauelementen auf den Zielträgern zu ermöglichen. Anschließend werden die ausgewählten Bauelemente der Quellträger gemäß dem Ergebnis der Analyse vom Transporthalter gemäß dem beschriebenen Verfahren auf die Zielträger umverteilt.

In einer weiteren Ausführungsform werden die Rasteranordnungen der ausgewählten Bauelemente von mehreren Quellträgern erfasst, anschließend werden die Rasteranordnungen der Bau ^¬ elemente der Quellträger dahingehend analysiert, in welcher Reihenfolge welche Untergruppen von ausgewählten Bauelementen von den Quellträgern auf wenigstens einen Zielträger übertragen werden sollten, um möglichst wenig Arbeitsschritte des Transporthalters zu benötigen. Anschließend werden die ausge ^¬ wählten Bauelemente vom Transporthalter in der ermittelten Reihenfolge und in den ermittelten Untergruppen der Bauelemente von den Quellträgern auf den wenigstens einen Zielträ ^¬ ger übertragen. Auf diese Weise kann die Anzahl der Übertragungsschritte des Transporthalters reduziert werden und/oder eine höhere Dichte an ausgewählten Bauelementen auf den Ziel- trägern mit gleicher Anzahl der Arbeitsschritte erreicht werden .

Die Rasterplätze der ausgewählten Bauelemente der Rasterano- rdnung der Quellträger sind in einem Datenspeicher beispielsweise in Form einer Karte abgelegt. Somit ist für jeden

Quellträger bekannt, auf welchem Rasterplatz der Rasteranordnung ein ausgewähltes Bauelement angeordnet ist.

Abhängig von der gewählten Ausführungsform kann die Analyse für eine vorgegebene Anzahl von Quellträgern mit ausgewählten Bauelementen und für eine vorgegebene Anzahl von Zielträgern durchgeführt werden, wobei die Zielträger mit einer vorgege ^¬ benen prozentualen Anzahl von belegten Rasterplätzen mit ausgewählten Bauelementen gefüllt werden oder eine vorgegebene Anzahl von Arbeitsschritten pro Zielträger verwendet wird.

In einer weiteren Ausführungsform werden bei dem Aussortieren der ausgewählten Bauelemente von den Quellträgern zu den Zielträgern Gruppen von wenigstens zwei verschiedenfarbigen lichtemittierenden ausgewählten Bauelementen in einer Grup- penrasteranordnung auf den Zielträgern angeordnet. Die auf einem Quellträger bereitgestellten Bauelemente umfassen jeweils nur eine Lichtfarbe. Die wenigstens zwei verschieden- farbig lichtemittierenden Bauelemente können somit auf verschiedenen Quellträgern bereitgestellt werden. Das Aussortieren kann für die Gruppen von wenigstens zwei verschiedenfarbig lichtemittierenden Bauelementen jeweils separat durchgeführt werden. Auf diese Weise kann durch das Sortieren gleichzeitig eine gewünschte Gruppenverteilung von verschie ^¬ denfarbig lichtemittierenden Bauelementen auf dem Zielträger hergestellt werden. In einer weiteren Ausführungsform werden die ausgewählten Bauelemente nach dem Erreichen einer vorgegebenen Dichtenano rdnung auf ein größeres Rastermaß auseinanderbewegt. Dadurch kann ein gewünschtes Rastermaß unabhängig von der Rasterano ^¬ rdnung auf den Quellträgern und der Rasteranordnung auf den Zielträgern mit einfachen Mitteln hergestellt werden.

Weiterhin wird eine Vorrichtung zum Aussortieren von ausgewählten Bauelementen bereitgestellt.

Die oben beschriebenen Eigenschaften, Merkmale und Vorteile dieser Erfindung sowie die Art und Weise, wie diese erreicht werden, werden klarer und deutlicher verständlich im Zusammenhang mit der folgenden Beschreibung der Ausführungsbei- spiele, die im Zusammenhang mit den Zeichnungen näher erläutert werden. Dabei zeigen in jeweils schematisierter Darstellung

Fig. 1 Verfahrensschritte für ein paralleles Sortierver- fahren von ausgewählten Bauelementen von drei

Quellträgern auf zwei Zielträger,

Fig. 2 einen ersten Verfahrensschritt für einen paralle ^¬ len Transfer von ausgewählten Bauelementen von

Quellträgern auf Zielträger, wobei die Bauelemente

Klebefilmen auf dem Quellträger und auf dem

Zielträger gehalten werden,

Fig. 3 einen zweiten Verfahrensschritt für einen paralle ^¬ len Transfer von ausgewählten Bauelementen von Quellträgern auf Zielträger, Fig. 4 einen ersten Verfahrensschritt für einen paralle ^¬ len Transfer von ausgewählten Bauelementen, die in Form von Epichips ausgebildet sind, Fig. 5 einen zweiten Verfahrensschritt für einen paralle ^¬ len Transfer von ausgewählten Bauelementen,

Fig. 6 Belegungen von Quellträgern mit Bauelementen beim schrittweisen Übertragen der Bauelemente auf Ziel- träger,

Fig. 7 Belegungen von Zielträgern mit Bauelementen beim schrittweise Übertragen von ausgewählten Bauelementen von Quellträgern auf die Zielträger,

Fig. 8 Verfahrensschritte beim lateralen Nachrücken von

Bauelementen auf einem Zielträger,

Fig. 9 bis 11 ein Verfahren zum lateralen Verschieben von

Bauelementen,

Fig. 12 eine Einteilung eines runden Quellträgers in neun

Quadrate, Fig. 13 ein Umverteilungsverfahren mit zwei Quellträgern in Form von Wafern und einem rechteckigen Zielträger,

Fig. 14 ein Umverteilungsbeispiel mit sechs Quellträgern in Form von Wafern und einem rechteckigen Zielträger, und

Fig. 15 eine Vorrichtung zum Aussortieren von ausgewählten

Bauelementen von Quellträgern auf Zielträger. Fig. 1 zeigt in einer schematischen Darstellung das Grundprinzip des parallelen Sortierens von ausgewählten Bauelementen von Quellträgern auf Zielträger. In dem dargestellten Beispiel sind drei Quellträger 1, 2, 3 vorgesehen, auf denen ausgewählte Bauelemente 4 und nicht ausgewählte Bauelemente 5 angeordnet sind. Die nicht ausgewählten Bauelemente 5 sind zur Veranschaulichung mit einem Kreuz gekennzeichnet.

Das vorgegebene Merkmal kann eine technische Eigenschaft wie zum Beispiel eine gute Funktionsweise, eine schlechte Funkti ^¬ onsweise, eine vorgegebene Leistung, ein vorgegebener Wellenlängenbereich der vom Bauelement emittierten oder detektieren elektromagnetischen Strahlung, ein vorgegebener Spannungsabfall am Bauelement, eine vorgegebene Kapazität usw. darstel- len. Die Bauelemente können beispielsweise Halbleiterchips, SMD-Bauteile sein. Die Bauelemente können ferner integrierte Schaltungen, lichtemittierende Dioden, Laserdioden, Halbleiterchips, Sensoren usw. darstellen. Beispielsweise kann das vorgegebene Merkmal auch mehrere technische Eigenschaften aufweisen. Beispielsweise kann ein vorgegebenes Merkmal ein Bin bzw. einen Bin-Code einer lichtemittierenden Diode darstellen. Ein Bin-Code bezeichnet einen Satz von Eigenschaften wie zum Beispiel eine Betriebsspannung in einem vorgegebenen Bereich von beispielsweise 3,0 bis 3,1 V, eine Lichtstärke in einem vorgegebenen Bereich wie zum Beispiel zwischen 100 und 120 med, und eine Wellenlänge in einem vorgegebenen Wellenlängenbereich von beispielsweise 460 bis 462 nm.

Die Bauelemente 4, 5 sind in einer vorgegebenen Rasteranord- nung auf den Quellträgern 1, 2, 3 angeordnet. Die Rasterano ^¬ rdnung besteht in diesem Beispiel aus einer linearen Anordnung mit gleich großen Abständen zwischen den Bauelementen 4,5. Für eine vereinfachte Darstellung ist nur eine Reihe der Rasteranordnung dargestellt. Tatsächlich können die Quellträ- ger 1, 2, 3 eine flächige Rasteranordnung von Bauelementen aufweisen. Dabei sind die Bauelemente beispielsweise in Rei ^¬ hen und Spalten mit jeweils gleichen Abständen zwischen benachbarten Bauelementen angeordnet. Zudem ist in einem Daten- Speicher abgelegt, an welchem Rasterplatz der Rasteranordnung eines Quellträgers ein ausgewähltes Bauelement 4 angeordnet ist .

Ein Ziel des vorgeschlagenen Verfahrens ist es, mit einem Transporthalter mit möglichst wenig Verfahrensschritten die ausgewählten Bauelemente 4 von den Quellträgern 1, 2, 3 auf Zielträger 6, 7 zu übertragen. Die dargestellten Zielträger 6,7 weisen bereits die nach dem Verfahren aussortierten ausgewählten Bauelemente 4 auf. Die Übertragungsvorgänge sind mit Pfeilen 8 schematisch dargestellt. Dabei werden ausge ^¬ wählte Bauelemente 4 von mehreren Quellträgern 1,2,3 auf ei ^¬ nen Zielträger 6,7 übertragen. Zum Beispiel können bei den Übertragungsvorgängen 100 oder mehr Bauelemente 4 gleichzeitig übertragen werden. Ein Ziel des Verfahrens besteht darin, mit möglichst wenig Übertragungsschritten eine möglichst hohe Dichte von ausgewählten Bauelementen 4 auf den Zielträgern 6, 7 zu erreichen, wobei bei einem Übertragungsschritt möglichst viele ausgewählte Bauelemente 4 übertragen werden. In dem dargestellten Ausführungsbeispiel sind 100 % der zur Verfü- gung stehenden Rasterplätze auf den Zielträgern 6, 7 mit ausgewählten Bauelementen 4 belegt. Je nach Ausführungsform können zum Beispiel auch nur 80 % der Rasterplätze der Rasteranordnung der Zielträger 6, 7 mit ausgewählten Bauelementen 4 belegt sein.

Abhängig von der gewählten Ausführungsform der Rasteranordnungen der Quellträger und der Zielträger kann die Rastergröße zwischen zwei Rasterplätzen beispielsweise 50 ym sein. Zudem kann der Quellträger 1, 2, 3 beispielsweise als 150 mm- Wafer ausgebildet sein. Zudem können am Ende des Sortierverfahrens die nicht ausgewählten Bauelemente 5 und eventuell auch ausgewählte Bauelemente 4 auf den Quellträgern 1, 2, 3 zurückbleiben .

In Fig. 2 ist ein erster Verfahrensschritt für einen paralle ^¬ len selektiven Transfer von ausgewählten Bauelementen für einen Quellträger 1 und einen Zielträger 6 dargestellt. Der Quellträger 1 weist einen Klebefilm 9 auf, auf dem die Bau- elemente 4, 5 angeordnet sind. Der Zielträger 6 weist eben ^¬ falls einen Klebefilm 10 auf. Zu Beginn des Verfahrens sind alle Bauelemente auf dem ersten Quellträger 1 angeordnet. Es wird ein Transporthalter 11 über die Bauelemente 4, 5 des ersten Quellträgers 1 bewegt. Der Transporthalter 11 ist aus- gebildet und wird entsprechend angesteuert, um die ausgewähl ^¬ ten Bauelemente 4 auf einer Oberseite festzuhalten. Die nicht ausgewählten Bauelemente 5 werden nicht von dem Transporthal ^¬ ter 11 festgehalten. Die Informationen über die Rasterplätze der ausgewählten Bauelemente 4 sind in dem Datenspeicher ab- gelegt und werden von dem Transporthalter beziehungsweise der Steuerung des Transporthalters berücksichtigt.

Anschließend wird, wie in Fig. 3 dargestellt ist, der Trans ^¬ porthalter 11 mit den befestigten ausgewählten Bauelementen 4 von dem ersten Quellträger abgehoben und auf den ersten Zielträger 6 bewegt. Die ausgewählten Bauelemente 4 werden in der gleichen Rasteranordnung, in der sie vom Quellträger aufgenommen wurden, auf dem ersten Zielträger 6 abgelegt. Anschließend wird die Befestigung zwischen dem Transporthalter 11 und den ausgewählten Bauelementen 4 gelöst und der Transporthalter 11 entfernt. Am Ende des Sortierverfahrens bleiben die nicht ausgewählten Bauelemente 4 auf dem ersten Quellträ ^¬ ger 1 zurück. Je nach Ausführung des Verfahrens können auch ausgewählte Bauelemente 4 auf den Quellträgern zurückbleiben. Auf dem ersten Zielträger 6 sind nur ausgewählte Bauelemente 4 angeordnet. Die ausgewählten Bauelemente 4 sind mithilfe des zweiten Klebefilmes 10 an dem ersten Zielträger 6 befestigt .

Fig. 4 und 5 zeigen das gleiche Sortierverfahren, wobei jedoch bei dieser Ausführungsform der erste Quellträger 1 als Epichipträger ausgebildet ist. Fig. 4 zeigt die Ausgangsposi ^¬ tion des Verfahrens. Die nicht ausgewählten Bauelemente 5 und die ausgewählten Bauelemente 4 sind als Epichips ausgebildet und auf dem ersten Quellträger 1 angeordnet, der als

Epichipträger ausgebildet ist. Mit dem Begriff Epichip können Chips bezeichnet werden, bei denen das Aufwachssubstrat des Chips im Wesentlichen entfernt wurde. Die Chips umfassen so- mit im Wesentlichen nur noch die aufgebrachten Schichten. Die Epichips können eine dünne Beschichtung auf der Oberseite aufweisen. Die Bauelemente 4, 5 sind in dieser Ausführungs ^¬ form mit filigranen, nicht dargestellten Ankerstrukturen mit dem ersten Quellträger 1 verbunden. Der erste Zielträger 6 ist als Haftträger (Low Adhesion Carrier) zum Beispiel aus

PDMS ( Polydimethylsiloxan) gebildet. Eine Oberseite des ers ^¬ ten Zielträgers 6 ist in dieser Ausführungsform mit einzelnen Erhebungen für die Rasterplätze der Bauelemente ausgebildet. Auf diese Weise können die Haftkräfte für die Bauelemente auf dem ersten Zielträger 6 über die Größe der Fläche eingestellt werden. Es ist ein Transporthalters 11 vorgesehen, der die ausgewählten Bauelemente 4 festhält. Anschließend hebt der Transporthalter 11 die ausgewählten Bauelemente 4 von dem ersten Quellträger 1 ab, wobei die filigranen Ankerstrukturen gebrochen beziehungsweise gelöst werden.

Anschließend wird der Transporthalter 11 auf den ersten Zielträger 6 bewegt, wobei die ausgewählten Bauelemente 4 auf Er- hebungen 12 angeordnet werden. Dieser Verfahrensstand ist in Fig. 5 dargestellt.

Anschließend werden die ausgewählten Bauelemente 4 vom Trans- porthalter 11 gelöst und der Transporthalter 11 wird entfernt. Somit sind die ausgewählten Bauelemente 4 auf den ers ^¬ ten Zielträger 6 übertragen. Die nicht ausgewählten Bauelemente 5 verbleiben auf dem ersten Quellträger 1. Fig. 6 zeigt für neun Quellträger 1,2,3,14,15,16,17,18,19 verschiedene Verfahrensschritte zum Übertragen von ausgewähl ^¬ ten Bauelementen von neun Quellträgern auf neun Zielträger, die in Fig. 7 dargestellt sind. In einer ersten Reihe 81 ist die Belegung der Quellträger

1,2,3,14,15,16,17,18,19 mit ausgewählten Bauelementen 4 und nicht ausgewählten Bauelementen 5 beim Start des Sortierverfahrens dargestellt. Jeder Quellträger weist eine Rasterano ^¬ rdnung mit 5 x 5 Rasterplätzen auf. Auf jedem der Rasterplät- ze ist ein Bauelement 4, 5 angeordnet. Die ausgewählten Bau ^¬ elemente 4 sind mit einem Kreis dargestellt. Die nicht ausge ^¬ wählten Bauelemente 5 sind mit einem Kreuz dargestellt. Auf jedem der Rasterplätze der Rasteranordnungen der Quellträger ist jeweils ein nicht ausgewähltes Bauelement 5 angeordnet, wenn man alle Quellträger berücksichtigt. Ein nicht vorhande ^¬ nes Bauelement ist mit einer leeren Fläche, d.h. ohne Kreuz oder ohne Kreis in der Rasteranordnung dargestellt. Die zeit ^¬ liche Entwicklung der Belegung der Quellträger ist in Spalten von oben nach unten in den dargestellten Reihen 81,82,83,84 dargestellt.

In Fig. 7 ist in einer ersten Reihe 91 die Belegung von neun Zielträgern 21,22,23,24,25,26,27,28,29 nach einem ersten Übertragungsschritt dargestellt. Beim Start des Sortierver- fahrens ist auf keinem der Zielträger ein Bauelement angeord ^¬ net. Jeder Zielträger weist eine Rasteranordnung mit 5 x 5 Rasterplätzen auf. Ausgewählte Bauelemente 4 sind mit einem Kreis dargestellt. Nicht ausgewählte Bauelemente 5 sind mit einem Kreuz dargestellt. Ein nicht vorhandenes Bauelement ist mit einer leeren Fläche, d.h. ohne Kreuz oder ohne Kreis in der Rasteranordnung dargestellt. Die zeitliche Entwicklung der Belegung der Zielträger ist in Spalten von oben nach unten in den dargestellten Reihen 91,92,93,94 dargestellt.

Nun wieder zurück zu Figur 6. Im ersten Schritt eines ersten Verfahrens werden alle ausgewählten Bauelemente 4 des ersten Quellträgers 1 mit dem Transporthalter aufgenommen und auf den ersten Zielträger 21 übertragen, wie in Fig. 7 in der ersten Reihe 91 dargestellt ist. Somit verbleiben auf dem ersten Quellträger 1 die nicht ausgewählten Bauelemente 5, wie in Fig. 6 in der zweiten Reihe 82 dargestellt ist.

Anschließend wird in einem zweiten Schritt des ersten Verfah- rens, wenn der erste Zielträger 21 mindestens einem freien

Platz in der Rasteranordnung aufweist, die ausgewählten Bauelemente des zweiten Quellträgers 2, die auf einem Raster ^¬ platz angeordnet sind, der einem freien Rasterplatz des ersten Zielträgers 21 entspricht, mit dem Transporthalter aufge- nommen und auf den ersten Zielträger 21 übertragen. Dieser

Verfahrensstand ist in Fig. 7 in der zweiten Reihe 92 darge ^¬ stellt. Der erste Zielträger 21 ist nun vollständig mit aus ^¬ gewählten Bauelementen 4 aufgefüllt, das heißt jeder Rasterplatz der Rasteranordnung des ersten Zielträgers 21 ist mit einem ausgewählten Bauelement 4 belegt.

Auf dem zweiten Quellträger 2 verbleiben die nicht aufgenommenen, ausgewählten Bauelemente 4 und die nicht ausgewählten Bauelemente 5, wie in der zweiten Reihe 82 von Fig. 6 darge ^¬ stellt.

Anschließend werden in einem ersten Schritt eines zweiten Verfahrens die auf dem zweiten Quellträger 2 noch befindli ^¬ chen ersten Bauelemente 4 vom Transporthalter aufgenommen und auf dem zweiten Zielträger 22 in der Rasteranordnung des zweiten Quellträgeres 2 abgelegt, wie in der ersten Zeile 91 der Fig. 7 dargestellt ist. Beim dargestellten Verfahren ver- bleiben auf dem zweiten Quellträger 2 somit nur die nicht ausgewählten Bauelemente 5, so wie dies in der dritten Zeile 83 von Fig. 6 dargestellt ist.

In einem zweiten Schritt des zweiten Verfahrens werden an- schließend die ausgewählten Bauelemente 4 vom dritten Quell ^¬ träger 3, der in der ersten Reihe der Fig. 6 dargestellt ist, die auf einem Rasterplatz angeordnet sind, der einem freien Rasterplatz des zweiten Zielträgers 21 entspricht, vom Trans ^¬ porthalter aufgenommen und auf dem zweiten Zielträger 22 ab- gelegt, wie in der zweiten Spalte 92 der Fig. 7 dargestellt ist. Somit verbleibt im zweiten Zielträger 22 nach diesem Verfahrensschritt nur ein freier Rasterplatz.

Im dritten Quellträger 3 verbleiben ausgewählte und nicht ausgewählte Bauelemente 4, 5, wie in der zweiten Spalte 82 von Fig. 6 dargestellt ist. Der noch freie Rasterplatz des zweiten Zielträgers 22 wird mit einem ausgewählten Bauelement 4 des vierten Quellträgers 14 aufgefüllt. Dazu nimmt der Transporthalter 11 das ausgewählte Bauelemente 4 des vierten Zielträgers 14, von dem entsprechenden Rasterplatz auf und überträgt das ausgewählte Bauelement 4 auf den zweiten Ziel ^¬ träger 22, so dass der zweite Zielträger 22 vollständig mit ausgewählten Bauelementen 4 gefüllt ist, wie in der dritten Reihe 93 von Fig. 7 dargestellt ist. Der dritte Quellträger 3 weist nach diesem Schritt eine Anordnung von Bauelementen gemäß der Darstellung in der zweiten Reihe 82 der Fig. 6 auf. In einem folgenden Verfahrensschritt wird der noch leere dritte Zielträger 23 mit den im dritten Quellträger 3 noch befindlichen ausgewählten Bauelementen, wie in der zweiten Reihe 82 von Fig. 6 dargestellt ist, auf ^¬ gefüllt. Somit ergibt sich eine Anordnung von ausgewählten Bauelementen 4 im dritten Zielträger 23 gemäß der Darstellung in der ersten Reihe 91 der Fig. 7. In einem folgenden Verfah- rensschritt werden ausgewählte Bauelemente des vierten Quell ^¬ trägers 14, die auf einem Rasterplatz angeordnet sind, der einem freien Rasterplatz des dritten Zielträgers 23 entspricht, vom Transporthalter aufgenommen und auf dem dritten Zielträger 23 abgelegt, wie in der zweiten Reihe 92 der Fig. 7 dargestellt ist. Im vierten Quellträger 14 verbleiben die in der dritten Reihe der Fig. 6 dargestellten Bauelemente 4,5.

In einem folgenden Verfahrensschritt werden die auf dem drit- ten Zielträger 23 noch freien Rasterplätze gemäß der zweiten Reihe 92 der Fig. 7 mit ausgewählten Bauelementen 4 des fünften Quellträgers 15 aufgefüllt. Der fünfte Quellträger 15 ist in der ersten Reihe 81 der Fig. 6 dargestellt. Dadurch wird ein vollständig gefüllter, dritter Zielträger 23 gemäß der dritten Reihe 93 der Fig. 7 erhalten.

Der fünfte Quellträger 15 weist nach diesem Verfahrensschritt eine Belegung von Bauelementen auf, wie in der zweiten Reihe 82 der Fig. 6 dargestellt ist. In einem folgenden Verfahrens- schritt werden die auf dem vierten Quellträger 14 enthaltenen ausgewählten Bauelemente 4 auf den vierten Zielträger 24 übertragen. Dadurch verbleiben im vierten Quellträger 14 nur noch die nicht ausgewählten Bauelemente 5, wie in der dritten Reihe 83 der Fig. 6 dargestellt. Im vierten Zielträger 24 sind jetzt die ausgewählten Bauelemente 4 enthalten, wie in der ersten Reihe 91 der Fig. 7 dargestellt ist. In einem fol ^¬ genden Verfahrensschritt werden die ausgewählten Bauelemente 4 des fünften Quellträgers 15, die auf einem Rasterplatz an- geordnet sind, der einem freien Rasterplatz des vierten Zielträgers 24 entspricht, entnommen und auf den vierten Zielträ ^¬ ger 24 übertragen. Der vierte Zielträger 24 weist dann die Belegung auf, wie in der zweiten Reihe 92 der Fig. 7 dargestellt ist. Im fünften Quellträger 15 verbleiben die in der dritten Reihe 83 der Fig. 6 dargestellten Bauelemente.

Anschließend werden die im vierten Zielträger 24 freien Rasterplätze, wie in der zweiten Reihe der Fig. 7 dargestellt, mit ausgewählten Bauelementen 4 des fünften Quellträgers 15 aufgefüllt. Dadurch wird ein vollständig gefüllter vierter

Zielträger 24 gemäß der dritten Reihe 93 der Fig. 7 erhalten. Nach der Entnahme der ausgewählten Bauelemente für das Auf ^¬ füllen des vierten Zielträgers 24 weist der sechste Quellträ ^¬ ger 16 eine Belegung gemäß der zweiten Reihe der Fig. 6.

In einem folgenden Verfahrensschritt werden die verbliebenen ausgewählten Bauelemente 4 des fünften Quellträgers 15, wie in der dritten Reihe 83 von Fig. 6 dargestellt, auf einen fünften Zielträger 25 übertragen, wie in der ersten Reihe 91 der Fig. 7 dargestellt. Damit verbleiben im fünften Quellträ ^¬ ger 15 die nicht ausgewählten Bauelemente 5 gemäß der vierten Reihe 84 der Fig. 6.

In einem folgenden Verfahrensschritt werden die Bauelemente des sechsten Quellträgers 16, die auf einem Rasterplatz ange ^¬ ordnet sind, der einem freien Rasterplatz des fünften Zielträgers 25 entspricht, vom sechsten Quellträger 16 entnommen und auf dem fünften Zielträger 25 abgelegt, wie in der zwei ^¬ ten Reihe 92 der Fig. 7 dargestellt ist. Somit verbleiben im sechsten Quellträger 16 nur noch die nicht ausgewählten Bauelemente 5 gemäß der dritten Reihe der Fig. 6. Der fünfte Zielträger 25 weist nun eine Belegung gemäß der zweiten Reihe 92 der Fig. 7 auf.

In einem folgenden Verfahrensschritt werden die im fünften Zielträger 25 freien Rasterplätze mit ausgewählten Bauelementen 4 des siebten Quellträgers 17 aufgefüllt. Somit wird ein vollständig gefüllter, fünfter Zielträger 25 gemäß der drit- ten Reihe 93 der Fig. 7 erhalten. Der siebte Quellträger 17 weist nach diesem Schritt eine Belegung gemäß der zweiten Reihe 82 der Fig. 6 auf. In einem folgenden Verfahrensschritt wird ein siebter Zielträger 27 mit den ausgewählten Bauelementen 4 des siebten Quellträgers 17 gemäß der zweiten Reihe von Fig. 6 aufgefüllt. Somit wird ein siebter Zielträger 27 gemäß der ersten Reihe 91 der Fig. 7 erhalten. Der siebte Quellträger 17 ist nach diesem Verfahrensschritt gemäß der dritten Reihe 83 der Fig. 6 belegt und weist nur noch nicht ausgewählte Bauelemente 5 auf. Der sechste Zielträger 26 bleibt bei dieser Ausführungsform unbelegt.

In einem folgenden Verfahrensschritt werden die im siebten Zielträger 27 noch freien Rasterplätze mit ausgewählten Bauelementen 4 des achten Quellträgers 18 aufgefüllt. Damit wird ein vollständig gefüllter siebter Zielträger 27 gemäß der zweiten Reihe 92 der Fig. 7 erhalten. In einem folgenden Verfahrensschritt werden die gemäß der zweiten Reihe der Fig. 6 im achten Quellträger 18 noch befindlichen ausgewählten Bauelemente 4 auf einen achten Zielträger 28 übertragen.

In einem folgenden Verfahrensschritt werden die freien Rasterplätze des achten Zielträgers 28 mit ausgewählten Bauele ^¬ menten 4 des neunten Quellträgers 19 aufgefüllt. Somit ver ^¬ bleiben im neunten Quellträger 19 die in der zweiten Reihe 82 der Fig. 6 dargestellten Bauelemente. Der achte Zielträger 28 wird dadurch vollständig aufgefüllt, wie in der zweiten Reihe der Fig. 7 dargestellt ist. Die im neunten Quellträger 19 noch befindlichen ausgewählten Bauelemente 4 werden auf einen neunten Zielträger 29 übertragen, wie in der ersten Reihe der Fig. 7 dargestellt ist. Somit verbleiben im neunten Quellträ ^¬ ger 19 die nicht ausgewählten Bauelemente 5 gemäß der dritten Reihe der Fig. 6. Mithilfe dieses Verfahrens werden ein vollständig gefüllter erster, zweiter, dritter, vierter, fünfter, siebter und achter Zielträger 21, 22, 23, 24, 25, 27, 28 erhalten. Der neunte Zielträger 29 ist nur teilweise mit ausgewählten Bauele ^¬ menten 4 gemäß der Darstellung der ersten Reihe der Fig. 7 belegt.

Versuche haben gezeigt, dass bei einer 80-prozentigen Bele ^¬ gung der Zielträger im Schnitt drei Übertragungsverfahren mithilfe des Transporthalters für einen Zielträger benötigt werden, wobei mindestens jeweils 33 % der Rasterplätze des Transporthalters bei einem Übertragungsvorgang belegt sind. Diese Annahmen gelten bei einer Gleichverteilung der nicht ausgewählten Bauelemente 5 über die Rasterplätze der zur Ver ^¬ fügung stehenden Quellträger. Für die Aussortierung der aus- gewählten Bauelemente 4 von den neun Quellträgern auf die Zielträger reichen acht Zielträger aus.

Fig. 8 zeigt in Reihen 101, 102, 103, 104 Verfahrensschritte, bei denen von drei Quellträgern 1,2,3 ausgewählte Bauelemente 4 parallel auf drei Zielträger 21, 22, 23, übertragen werden. Die Quellträger 1,2,3 weisen jeweils eine 5x5 Rasteranordnung von Bauelementen auf. Die Zielträger 21,22,23 weisen ebenfalls Platz für eine 5x5 Rasteranordnung von Bauelementen auf. In der ersten Reihe 101 sind die Quellträger 1,2,3 mit ausgewählten Bauelementen 4 dargestellt, wobei die ausgewählten Bauelemente 4 als Kreise schematisch dargestellt sind. Zudem weisen die Quellträger 1,2,3 auch nicht ausgewählte Bauelemente 5 auf. Die nicht ausgewählten Bauelemente 5 sind schematisch als Kreuze dargestellt.

Die ausgewählten Bauelemente 4 eines Quellträgers 1,2,3 wer ^¬ den in einem Schritt von dem Transporthalter aufgenommen und auf einen Zielträger 21,22,23 übertragen, wie in der zweiten Reihe 102 dargestellt ist. Die zweiten Zielträger 21,22,23 weisen einzelne freie Rasterplätze auf, die durch leere Ras ^¬ terplätze dargestellt sind. Zudem ist zwischen den Zielträ ^¬ gern 21,22,23 jeweils eine leere Spalte 30, 31 mit freien Rasterplätzen vorgesehen. Bei dieser Anordnung können durch ein laterales Verschieben des zweiten und des dritten Zielträgers 22, 23 in Richtung auf den ersten Zielträger 21 die leeren Spalten 30, 31 geschlossen werden. Dadurch wird eine Anordnung gemäß der dritten Reihe 103 der Fig. 8 erhalten. Zudem kann durch weiteres laterales Verschieben in einzelnen Reihen der Zielträger 21,22,23 wie anhand von Pfeilen schematisch in der vierten Reihe 104 dargestellt ist, eine kompakte Anordnung der ausgewählten Bauelemente 4 mit wenig oder keinen leeren Rasterplätzen in zusammen hängenden Zielträgern 21,22,23 erreicht werden.

Die Figuren 9 bis 11 zeigen als Beispiel eine Vorrichtung zum lateralen Verschieben von Bauelementen auf einem Zielträger, wie in Fig. 8 erläutert. Fig. 9 zeigt in einer schematischen Darstellung eine Vorrichtung 40 mit einem Träger 41, der auf einer Oberseite 45 Düsen 42 zum Ausgeben und zum Einsaugen von Flüssigkeit 43 aufweist. Dazu ist ein nicht dargestelltes Reservoir für die Flüssigkeit vorgesehen. Der Träger 41 weist eine rechteckförmige Oberseite 45 auf. Die Düsen 42 sind in einem rechteckförmigen Raster auf der Oberseite 45 des Trägers 41 angeordnet. Die Düsen 42 weisen kleinere Abstände zu ^¬ einander auf als ein Bauelement 4 breit ist. Durch Ausgeben von Flüssigkeit durch die Düsen 42 können Flüssigkeitspolster 44 aufgebaut werden, auf denen die Bauelemente 4 schwimmen. Die dargestellten Bauelemente ruhen auf den Flüssigkeitspols ^¬ tern 44. Das ganz links auf dem Träger 41 angeordnete Bauele ^¬ ment 4 ist mit einer rechten Seitenfläche 47 an einer ersten Position 46 angeordnet, die gestrichelt angedeutet ist.

Fig. 10 zeigt die Situation, bei der das Bauelement 4, das ganz links auf dem Träger 41 angeordnet ist, lateral nach rechts durch das Aufbauen von Flüssigkeitspolstern 44 bewegt wird. Dazu wird ein Flüssigkeitspolster 44 angrenzend an die rechte Seitenfläche 47 des Bauelementes 4 aufgebaut, wobei das Flüssigkeitspolster 47 teilweise rechts von der ersten Position 46 angeordnet ist. Durch die Oberflächenspannung des Flüssigkeitspolsters 44 wird das Bauelement 4 nach rechts ge ^¬ mäß den dargestellten Pfeilen bewegt. Nicht benötigte Flüs- sigkeitspolster 44 können über die Düsen 42 wieder von der Oberseite 45 abgesaugt werden.

Auf diese Weise kann das Bauelement 4 von der Position der Fig. 9 zu der Anordnung der Fig. 11 nach rechts lateral be- wegt werden. In der Anordnung der Fig. 11 ist die rechte Seitenfläche 47 des Bauelementes 4 rechts von der ersten Positi ^¬ on 46 angeordnet. Abhängig von der gewählten Ausführungsform können auch andere Vorrichtungen vorgesehen sein, um eine laterale Bewegung der Bauelemente 4 erreichen zu können.

Fig. 12 zeigt in einer schematischen Darstellung einen runden weiteren Quellträger 50, der z.B. als Wafer ausgebildet ist. Der weitere Quellträger 50 weist eine Vielzahl von nicht dargestellten Bauelementen auf seiner Oberseite auf. Die Bauele- mente sind in einem Raster mit gleichen Abständen angeordnet und gleichmäßig über den weiteren Quellträger 50 verteilt. Der weitere Quellträger 50 kann gedacht in Flächen von neun Quadraten 32 unterteilt werden. Die Quadrate 32 in den vier Eckbereichen können jeweils gedacht in zwei Dreiecke 51, 52 unterteilt werden. Die Dreiecke 51,52 können jeweils eine treppenartig abgestufte diagonale Seitenkante 54 aufweisen, die ineinander verzahnt sind. Die treppenartige Form der dia ^¬ gonalen Seitenkante 49 spiegelt die rechteckige Form der Bau- elemente wieder. Bei der Unterteilung in die Dreiecke 51,52 werden die Bauelemente nicht zerteilt. Das jeweils äußere zweite Dreieck weist kaum oder keine Bauelemente auf. Das in ^¬ nere erste Dreieck 51 ist mit Bauelementen bedeckt. Fig. 13 zeigt schematisch ein Verfahren, mit dem zwei runde weitere Quellträger 50, die eine gleiche Form aufweisen, wie in Fig. 12 erläutert umsortiert werden können. Die zwei wei ^¬ teren Quellträger 50 können mit wenigen Schritten auf einen rechteckigen weiteren Zielträger 63 mit einem Transporthalter umsortiert werden, wobei der weitere Zielträger 63 eine rechteckige Rasteranordnung 53 aufweist. Die weiteren Quell ^¬ träger 50 weisen eine Vielzahl von nicht dargestellten Bauelementen auf. Die Bauelemente sind in einem Raster mit glei ^¬ chen Abständen angeordnet und gleichmäßig über den weiteren Quellträger 50 verteilt.

Die Bauelemente, die auf zwei weiteren Quellträgern 50 ange ^¬ ordnet sind, können mithilfe des Transporthalters auf eine rechteckförmige Rasteranordnung 53 eines weiteren Zielträgers 63 übertragen werden. Dabei werden die Bauelemente der mitt ^¬ leren drei Quadrate, das obere mittlere Quadrat und die je ^¬ weils seitlich angeordneten Rechtecke als erste Teilfläche 61 auf den weiteren Zielträger 63 übertragen, wie mit dem Pfeil angedeutet ist. Die linke untere dreieckige Fläche 51 wird rechts oben angrenzend an den dreieckigen Abschnitt der ers ^¬ ten Fläche 61 angeordnet, wie mit dem Pfeil angedeutet ist. Die rechte untere erste dreieckige Fläche 51 wird links oben angrenzend an die erste Fläche 61 angeordnet, wie mit dem Pfeil angedeutet ist. Somit wird eine erste rechteckförmige Teilfläche 62 erhalten. Die zwei mittleren unteren Quadrate

64 der zwei weiteren Quellträger 50 werden übereinander und angrenzend an die erste Teilfläche 61 angeordnet, wie mit dem Pfeil angedeutet ist. Die Bauelemente des zweiten weiteren Quellträgers 50 werden in analoger Weise auf den weiteren

Zielträger 63 umsortiert. Somit wird die rechteckförmige Ras ^¬ teranordnung 53 der Bauelemente auf dem weiteren Zielträger 63 erhalten. Fig. 14 zeigt schematisch die Anordnung von sechs weiteren runden Quellträgern 50, die beispielsweise als Wafer ausge ^¬ bildet sind. Jeder weitere Quellträger 50 weist eine Vielzahl von nicht dargestellten Bauelementen auf. Die Bauelemente sind in einem Raster mit gleichen Abständen angeordnet und gleichmäßig über den weiteren Quellträger 50 verteilt. Die sechs weiteren Quellträger 50 können analog zu dem beschriebenen Verfahren von Fig. 14 zu einer rechteckförmigen Fläche

65 auf einen weiteren Zielträger 63 mithilfe eines Transport ^¬ halters umsortiert werden, wie schematisch dargestellt ist. Dabei können jeweils zwei erste Rechtecke 51 eine quadrati ^¬ sche Fläche bilden.

Fig. 15 zeigt in einer schematischen Darstellung eine Vorrichtung 70 mit einem Datenspeicher 71, in dem die Rasterpo- sitionen der ausgewählten Bauelemente 4 der Quellträger abgespeichert sind. Der Datenspeicher 71 steht mit einer Steuereinheit 72 in Verbindung. Die Steuereinheit 72 steht mit Sen ^¬ soren in Verbindung, die die Position der Quellträger und der Zielträger erfassen und die Rasterpositionen der Quellträger und der Zielträger an die Steuereinheit 72 übermitteln. Die Steuereinheit 72 steht mit einem Transporthalter 11 bei ^¬ spielsweise über einen Roboterarm in Wirkverbindung. Der Transporthalter 11 weist eine Vielzahl von Halteelementen 73 auf, die eine Befestigung zu einem Bauelement herstellen können. Zudem ist die Steuereinheit 72 ausgebildet, um den

Transporthalter 11 in eine bestimmte Position zu bewegen, um Bauelemente aufnehmen zu können. Zudem ist die Steuereinheit 72 ausgebildet, um die Haltelemente 72 in der Weise zu steu- ern, dass ein Bauelement festgehalten oder wieder gelöst wird .

Der Transporthalter 11 weist eine Transportplatte 74 auf, auf deren Unterseite die Befestigungsmittel 73 rasterartig ange- ordnet sind. Die Anordnung der Befestigungsmittel 73 kann in dem gleichen Raster vorgesehen sein wie die Rasteranordnung der Bauelemente. Zudem kann der Transporthalter 11 ausgebildet sein, um von der Steuereinheit 72 gedreht zu werden. Auf diese Weise kann der Transporthalter 11 eine Teilmenge oder alle Bauelemente eines Quellträgers aufnehmen und auf einem Zielträger wieder in der gleichen Rasteranordnung absetzen. Zudem kann durch die Drehmöglichkeit der Trägerplatte 74 eine Rotation der Anordnung der Bauelemente durchgeführt werden, bevor die Bauelemente auf dem Zielträger abgesetzt werden.

Die Steuereinheit 72 ist weiterhin ausgebildet, um folgendes Verfahren durchzuführen: Rasteranordnungen der ausgewählten Bauelemente von mehreren Quellträgern werden erfasst; die Rasteranordnungen der Bauelemente der Quellträger werden da- hingehend analysiert, welche von wenigstens zwei Gruppen von Quellträgern mit möglichst wenig Transportbewegungen des Transporthalters eine vorgegebene Dichte von Bauelementen auf den Zielträgern ermöglicht; anschließend werden die Quellträ ^¬ ger gemäß dem Ergebnis der Analyse in die wenigstens zwei Gruppen aufgeteilt, und die Bauelemente der zwei Gruppen von Quellträgern werden getrennt gemäß dem beschriebenen Verfahren auf zwei Gruppen von Zielträgern umverteilt. Die Steuereinheit 72 ist weiterhin ausgebildet, um folgendes Verfahren durchzuführen: Die Rasteranordnungen der ausgewählten Bauelemente von mehreren Quellträgern werden erfasst; die Rasteranordnungen der Bauelemente der Quellträger werden dahingehend analysiert, in welcher Reihenfolge welche Unter- gruppen von ausgewählten Bauelementen von den Quellträgern auf wenigstens einen Zielträger übertragen werden sollten, um möglichst wenig Arbeitsschritte des Transporthalters zu benö ^¬ tigen; anschließend werden die ausgewählten Bauelemente vom Transporthalter in der ermittelten Reihenfolge und in den er- mittelten Rasteranordnungen von den Quellträgern auf den wenigstens einen Zielträger übertragen.

Bauelemente, insbesondere optoelektronische Bauelemente wie zum Beispiel Leuchtdioden oder Laserdioden oder integrierte Schaltungen werden z.B. auf runden Wafern hergestellt. In der Regel sind Backend-Substrate rechteckig ausgebildet. Ebenso sind Displays zum Beispiel für Handys, Fernseher, Videowalls ebenfalls rechteckig ausgebildet. Bei einem Display liegt die Belegung von LED-Leuchtflächen eines Pixels bei nur einigen Prozent. Beim finalen parallelen Montageprozess vom Wafer zum Zielsubstrat bei einer Flächenbelegung von 1 % kann nur jeder hundertste Chip vom Wafer zum Substrat transferiert werden. Um Bauelemente eines Wafers vollständig auf das Substrat um ^¬ zusetzen, sind also hundert Schritte notwendig. Dies ist auf- wändig und teuer. Wenn zusätzlich nicht alle Bauelemente (Chips) auf dem Wafer in einem Bin liegen, das heißt eine vorgegebene Gruppe von Merkmalen aufweisen, und das Zielformat und das Quellformat unterschiedlich sind, zum Beispiel rund zu eckig, steigen die Kosten zusätzlich deutlich an. Da- her ist es vorteilhaft, mit hoher Packungsdichte die Bauele ^¬ mente parallel vorzusortieren, wie oben erläutert, und zwar sowohl bezüglich des vorgegebenen Merkmals als auch bezüglich des Formates.

Ein Kreis kann, wie in Fig. 12 dargestellt ist, in neun Quad ^¬ rate mit gleichen Katenlängen unterteilt werden. Ein Wafer hat zum Beispiel einen Durchmesser von 150 mm. In einem 3 mm- Außenbereich befinden sich kaum gute Bauelemente. Damit ergibt sich ein Durchmesser von 150 - 2 x 3 mm = 144 mm. Die rechteckförmigen Flächen des Wafers, das heißt die Rechtecke 51 werden in eine treppenförmige Seitenkante 54 unterteilt. Aus zwei Wafern kann eine rechteckige Fläche durch acht

Transferschritte erzeugt werden, wie in Fig. 13 dargestellt ist. Ausgehend von der genannten Größe des Wafers und einer beispielhaften Kantenlänge der Halbleiterchips von ca. 30 ym können zum Beispiel 1000 oder mehr Bauelemente von dem Trans ^¬ porthalter in einem einzigen Transferschritt übertragen werden. Je größer die transferierten Flächen an Bauelementen sind, umso kostengünstiger ist das Verfahren. Daher sind in diesem Fall die Flächen zu einer großen Fläche zusammenge- fasst .

Eine Reduzierung der Anzahl der Übertragungsschritte und eine Maximierung der Anzahl der transferierten Bauelemente pro Arbeitsschritt kann mithilfe einer statistischen Analyse der Anordnung der ausgewählten Bauelemente auf den Quellträgern vor dem Sortierprozess erreicht werden. Die Wafer werden dann so zueinander sortiert, dass ein geringster Aufwand bezie- hungsweise eine geringste Anzahl von Arbeitsschritten zum Transferieren der Bauelemente nötig ist.

Zudem können die Rasteranordnungen auf dem Zielträger um ein, zwei oder mehrere Rasterplätze in einer x- oder y-Richtung verschoben werden. Weiterhin kann die Anordnung der aufgenommenen Bauelemente vor dem Absetzen auf dem Zielträger um eine vorgegebene Winkelzahl rotiert werden, z. B. 90°, 180°, 270°, um eine Optimierung der Anordnung der ausgewählten Bauelemen- te auf dem Zielträger zu erreichen.

Mithilfe des beschriebenen Verfahrens kann durch eine ent ^¬ sprechende vorteilhafte Kombination von Sortierprozessen ein RGB-LED-Chipdisplay mit einem einfachen Verfahren erstellt werden. Zuerst werden von Quellträgern, insbesondere Quell- wafern ausgewählte Bauelemente, die ein vorgegebenes Merkmal, insbesondere ein vorgegebenes Bin aufweisen, zu einem recht ^¬ eckigen Zielträger zusammengesetzt. Dabei wird eine vorgege ^¬ bene prozentuale Anzahl von guten Chips transferiert. An- schließend werden die Lücken durch paralleles Sortieren oder Nachrücken geschlossen. Nachdem die beschriebenen Prozesse für jede Farbe extra durchgeführt wurden, werden drei Quell- wafer (RGB) mit 100 % guten Chips zu einem temporären Zielträger mit hochdichter Packung zusammengeführt. Die Bauele- mente liegen jetzt in Gruppen von RGB-Leuchtdioden direkt nebeneinander. Abschließend wird mit geringer Packungsdichte zum Beispiel jedes hundertste Bauelement der des temporären Zielträgers auf ein finales Substrat parallel montiert. Weiterhin kann durch eine Kombination von parallelen Sortier- und Montageprozessen folgendes Verfahren durchgeführt werden: 1. Sortieren von Bauelementen von runden Quellwafern zu eckigen Zielsubstraten, wobei nur ausgewählte Bauelemente übertragen werden.

2. Schließen der Lücken durch paralleles Sortieren (eckig zu eckig). Dadurch wird eine erhöhte Packungsdichte erreicht. 3. Kombinieren verschiedener Bauelemente mit verschiedenen vorgegebenen Merkmalen. Dabei können zum Beispiel optoelektronische Bauelemente, die ausgebildet sind, um ver- schiedenfarbiges Licht, wie zum Beispiel Rot, Grün, Blau, zu erzeugen, mit einer hohen Packungsdichte zu Gruppen mit einem vorgegebenen Raster sortiert werden.

4. Paralleles Expandieren der Bauelemente, wobei die Bauele- mente mit einer geringen Packungsdichte angeordnet werden.

Dabei kann beispielsweise jedes zehnte, jedes sechzehnte oder jedes fünfundzwanzigste Bauelement auf ein Zielsub ^¬ strat umgesetzt werden. Die Erfindung wurde anhand der bevorzugten Ausführungsbei ^¬ spiele näher illustriert und beschrieben. Dennoch ist die Erfindung nicht auf die offenbarten Beispiele eingeschränkt. Vielmehr können hieraus andere Variationen vom Fachmann abgeleitet werden, ohne den Schutzumfang der Erfindung zu verlas- sen.

Diese Patentanmeldung beansprucht die Priorität der deutschen Patentanmeldung 102016221264.8, deren Offenbarungsgehalt hiermit durch Rückbezug aufgenommen wird.

Bezugs zeichenliste

1 erster Quellträger

2 zweiter Quellträger

3 dritter Quellträger

4 ausgewähltes Bauelement

5 nicht ausgewähltes Bauelement

6 erster Zielträger

7 zweiter Zielträger

8 Übertragungsschritt

9 erster Klebefilm

10 zweiter Klebefilm

11 Transporthalter

12 Erhebung

14 vierter Quellträger

15 fünfter Quellträger

16 sechster Quellträger

17 siebter Quellträger

18 achter Quellträger

19 neunter Quellträger

21 erster Zielträger

22 zweiter Zielträger

23 dritter Zielträger

24 vierter Zielträger

25 fünfter Zielträger

26 sechster Zielträger

27 siebter Zielträger

28 achter Zielträger

29 neunter Zielträger

30 erste leere Spalte

31 zweite leere Spalte

32 Quadrat

40 Vorrichtung

41 Träger 42 Düse

43 Flüssigkeit

44 Flüssigkeitspolster

45 Oberseite

46 erste Position

47 rechte Seitenfläche

50 weiterer Quellträger

51 erstes Rechteck

52 zweites Rechteck

53 Rasteranordnung

54 Seitenkante

61 erste Teilfläche

62 zweite Teilfläche

63 weiterer Zielträger

64 Quadrat

65 rechteckförmige Fläche

70 Vorrichtung

71 Datenspeicher

72 Steuereinheit

73 Befestigungsmittel

74 Trägerplatte

81 erste Reihe Quellträger

82 zweite Reihe Quellträger

83 dritte Reihe Quellträger

84 vierte Reihe Quellträger

91 erste Reihe Zielträger

92 zweite Reihe Zielträger

93 dritte Reihe Zielträger

101 erste Reihe parallel Verschieben 102 zweite Reihe parallel Verschieben

103 dritte Reihe parallel Verschieben

104 vierte Reihe parallel Verschieben