Verfahren zur Strukturierung von Substraten von mit akusti- sehen Oberflächenwellen arbeitenden Bauelementen - OFW-Bau- elemente -

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Struktu¬ rierung von Substraten von mit akustischen Oberflächenwellen arbeitenden Bauelementen - OFW-Bauelemente - nach dem Oberbe¬ griff des Patentanspruchs 1.

Aus der DE-PS 25 05 819 iεt es bekannt, bei OFW-Bauelementen zur Unterdrückung von Volumenwellen eine Substratoberflächen- seite, welche der eine akustische Oberflächenwelle führenden Oberflächenseite abgewandt ist, mittels eines Schleifparti- kelstrahls matt zu schleifen. Dadurch entstehen auf der bear¬ beiteten Oberflächenseite Bereiche, an denen Volumenwellen gestreut werden, so daß wenn überhaupt nur noch ein vernach- lässigbarer Bruchteil dieser Volumenwellen in den die akusti¬ sche Oberflächenwelle führenden Bereich gelangt. Eine derar¬ tige Bearbeitung ist jedoch Undefiniert, da der Schleifparti- kelstrahl mehr oder weniger unkontrolliert auf die zu bear¬ beitende Substratoberfläche gerichtet wird. Ein solches Ver- fahren ist aufwendig und kann auch die Zuverlässigkeit der Bauelemente durch erhöhte Bruchempfindlichkeit gefährden.

Bessere Ergebnisse werden erzielt, wenn wie bisher bei der Anmelderin üblich in die zu bearbeitende Substratoberflache Schlitze eingesägt werden, wie dies beispielsweise in Figur 4 dargestellt ist. Ein Substrat 1 enthält gemäß dieser Ausfüh¬ rungsform in einer Oberflächenseite parallel zueinander ver¬ laufende Schlitze 2. Bei dieser Oberflächenseite des Substrats 1 handelt es sich um diejenige Seite, welche der eine akustische Oberflächenwelle führenden Oberflächenseite abgewandt ist. Das Sägen derartiger Schlitze stellt jedoch einen erheblichen Verfahrensaufwand dar.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der in Rede stehenden Art anzugeben, mit dem Substrate in weniger aufwendiger Weise strukturierbar sind.

Diese Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs genannten Art erfindungsgemäß durch die Merkmale des kennzeichnenden Teils des Patentanspruchs 1 gelöst.

Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteran¬ sprüchen.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispie¬ len gemäß den Figuren der Zeichnungen näher erläutert . Eε zeigt:

Figur 1 einen Teil eines Substrats mit erfindungsgemaß herge¬ stellten Schlitzen auf einer Substratseite; Figur 2 eine der Figur 1 entsprechende Darstellung mit einer anderen Form von erfindungsgemäß hergestellten Schlitzen;

Figur 3 eine Ausführungsform mit Schlitzen entsprechend den Figuren 1 und 2 sowie Trenngräben zur Vereinzelung von Bauelementesubstraten aus einer größeren Scheibe; und Figur 4 die Darstellung der bereits erläuterten bekannten Form von Schlitzen.

Wird erfindungsgemäß auf eine zu bearbeitende Subεtratober- fläche von OFW-Bauelementen eine auf dem Substratmaterial fest haftende Strahlmaske (in den Figuren der Zeichnung auε Übersichtlichkeitsgründen nicht eigens dargestellt) aufge¬ bracht, die an den Stellen, an denen eine Strukturierung stattfinden soll, selektiv Fenster enthält, durch die eine Sandstrahlbearbeitung durchgeführt wird, so kann durch eine solche Maske mit relativ geringem Aufwand eine hohe Positio¬ niergenauigkeit erzielt werden. Damit ist es sowohl möglich, in Substratoberflachen Schlitze zur Dämpfung von akustischen

Störwellen - Volumenwellen - alε auch Trenngräben herzustel¬ len, mit deren Hilfe durch Sägen eine Vereinzelung von OFW- Bauelementesubεtraten in Einzelbauelemente erfolgen kann. Bei einer derartigen Vereinzelung muß dann nur noch die Dicke der Substratscheibe abzüglich der durch Sandstrahlen herge¬ stellten Grabentiefe zerspannt werden. Dadurch wird die Trennzeit erheblich verkürzt und eine Verbesserung der Quali¬ tät der Schnittkanten erreicht. Außerdem wird eine in der Regel verwendete Scheibenträgerfolie nicht mehr eingeschnit- ten und es wird die Sägetiefentoleranz weit unkritischer.

Das erfindungsgemäße Verfahren bietet aufgrund der Verwendung von Strahlmasken der obengenannten Art den weiteren Vorteil, daß gleichzeitig sowohl Trenngräben als auch Störwellen eli- minierende Strukturen mit großer Gestaltungεfreiheit her- εtellbar sind. Auch kann dabei eine Beeinträchtigung der Zu¬ verlässigkeit vermieden werden, wenn die Bearbeitungsparame¬ ter so gewählt werden, daß praktisch keine bruchfördernden Mikrorisse entstehen. Dies wird dadurch erreicht, wenn ein sehr feinkörniges Strahlmittel verwendet wird. Es kann sich dabei z. B. um Al ₂ 0 ₃ -Körner SiC-Körner handeln. Das Strahl¬ mittel besitzt vorzugsweise eine Korngröße von < 50 um.

Zur Herstellung der Strahlmaεke existieren in Weiterbildung der Erfindung mehrere Möglichkeiten. Es kann sich beispiels¬ weise um eine als Strahlenmaske aufgebrachte mittels Foto¬ technik strukturierbare Kunststoffolie handeln. Weiterhin kann alε Strahlmaske eine Kunststoffschicht durch Siebdruck aufgebracht werden. Auch kann alε Strahlmaske mittels Stereo- lithographie aus einem viskosem Medium ein strukturierte Po¬ lymerfilm aufgebracht werden.

Nachfolgend werden anhand der Figuren 1 bis 3 mögliche Aus¬ führungεformen von εtrukturierten Substraten erläutert.

Figur 1 zeigt eine der Figur 4 entsprechende Ausführungsform, bei der in einem Substrat 1 durch Sandstrahlen parallele Schlitze 2 hergestellt sind.

Figur 2 zeigt eine Ausführungsform als Ausschnitt aus einem Substrat, bei dem sich kreuzende Schlitze 2 durch Sandstrah¬ len hergestellt εind.

Bei den Schlitzen 2 nach den Figuren 1 und 2 handelt es εich um Schlitze, welche zur Unterdrückung von akuεtiεchen Stör¬ wellen von OFW-Bauelementen dienen.

Figur 3 zeigt eine Ausführungsform, bei der εowohl akustische Störwellen dämpfende Schlitze 2 als auch Trenngräben 3 vorgesehen sind, wobei die Trenngräben 3 zur Vereinzelung von Bauelementesystemen durch Sägen dienen.