La présente invention concerne un procédé et un système pour le réglage de la situation spatiale d'une unité mobile se déplaçant par rapport à une surface de déplacement à l'aide de coussins d'air.

Dans la suite, on entend par « situation spatiale » :

- le parallélisme entre un plan de référence et une face d'une unité mobile se déplaçant sur une surface de déplacement à l'aide d'au moins un coussin d'air. La situation spatiale est alors contrôlée en tangage et/ou en roulis ;

- et/ou, lorsqu'une unité mobile se déplace le long d'au moins un rail de guidage, le positionnement latéral de ladite unité par rapport audit rail . La situation spatiale est alors contrôlée en lacet.

La présente invention est particulièrement bien adaptée, quoique non exclusivement, aux tables de positionnement en X-Y dédiées au déplacement de pièces (par exemple un circuit électronique, un disque de silicium, ...) selon deux directions orthogonales X et Y.

On sait qu'une telle table de déplacement en X-Y comporte généralement une base fixe, pourvue d'une surface de déplacement sur sa partie supérieure, et d'un chariot mobile présentant une face de réception, destinée à recevoir une ou plusieurs pièces. Ce chariot mobile est porté sur la surface de déplacement par l'intermédiaire de coussins d'air et est apte à occuper une pluralité de positions distinctes sur ladite surface.

Sur la surface de déplacement peut alors glisser, sans friction, le chariot mobile auquel sont associés des moyens de guidage l'astreignant à se déplacer selon les deux directions orthogonales X et Y. Des moteurs électriques sont usuellement prévus pour mettre en mouvement le chariot avec une très grande dynamique de déplacement et une haute précision de positionnement. Cependant, il est fréquent que la surface de déplacement de la base fixe présente, à certaines desdites positions distinctes, des imperfections de planéité à l'origine d'un défaut de parallélisme entre la face de réception du chariot mobile et un plan de référence (qui correspond par exemple à la surface de déplacement sans défaut de planéité).

Dans certaines applications (par exemple la fabrication de circuits microélectroniques) pour lesquelles le parallélisme entre la face du chariot et le plan de référence est essentiel, un défaut de parallélisme ne permet généralement pas de satisfaire aux exigences de précisions requises, de sorte que la qualité des opérations (par exemple le soudage, la réplication d'un masque) attachées à ces applications est dégradée.

Par ailleurs, on connaît également des tables de positionnement selon au moins une direction longitudinale comportant au moins un rail de guidage longitudinal le long duquel est apte à se déplacer un chariot mobile pour occuper une pluralité de positions longitudinales distinctes. Le rail de guidage étant défini par deux surfaces longitudinales parallèles, des coussins d'air montés sur le chariot mobile coopèrent avec les deux surfaces de déplacement latérales dudit rail de guidage. A chacune desdites positions longitudinales distinctes est en outre associé un positionnement latéral prédéfini du chariot mobile par rapport au rail de guidage

Cependant, la planéité des surfaces latérales du rail étant également imparfaite, pour certaines des positions longitudinales distinctes, le positionnement latéral du chariot mobile par rapport au rail de guidage peut différer du positionnement latéral prédéfini correspondant. Une telle imprécision peut notamment dégrader la qualité des opérations réalisées ultérieurement sur les pièces disposées sur le chariot mobile.

La présente invention a pour objet de remédier à ces inconvénients et, notamment, de régler la situation spatiale d'une unité mobile se déplaçant par rapport à au moins une surface de déplacement à l'aide d'au moins un coussin d'air. A cette fin, selon l'invention, le procédé pour le réglage de la situation spatiale d'une unité mobile se déplaçant par rapport à au moins une surface de déplacement à l'aide d'au moins un coussin d'air, ladite unité mobile étant apte à occuper une pluralité de positions distinctes par rapport à ladite surface de déplacement, cette dernière présentant des défauts de planéité à au moins certaines desdites positions, est remarquable en ce que l'on effectue les étapes suivantes :

A/ pour chacune desdites positions distinctes, on détecte un éventuel défaut de situation spatiale de ladite unité mobile par rapport à une situation spatiale de référence prédéfinie associée à ladite position ;

B/ en cas de détection d'un tel défaut, on détermine une information de réglage permettant de corriger ledit défaut ; et

CI lorsque ladite unité mobile occupe une desdites positions pour laquelle un défaut de situation spatiale est détecté, on règle, à partir de l'information de réglage correspondante, au moins un paramètre d'alimentation en air d'au moins un tel coussin d'air, afin d'obtenir la situation spatiale de référence de ladite unité mobile associée à ladite position.

Ainsi, grâce à l'invention, on utilise le ou les coussins d'air agencés entre l'unité mobile et la surface de déplacement de manière à pouvoir corriger un éventuel défaut de situation spatiale de l'unité mobile par rapport à une situation spatiale de référence prédéfinie, pour une position distincte donnée. En effet, en réglant au moins un paramètre d'alimentation en air d'au moins un coussin d'air, on peut ajuster très précisément l'épaisseur de celui- ci, ce qui permet d'aboutir à la situation spatiale de référence.

II est à noter que les étapes kl, Bl et CI peuvent être réalisées de façon itérative.

Dans un premier mode de réalisation conforme à la présente invention destiné au réglage du parallélisme entre un plan de référence et une face de ladite unité mobile se déplaçant sur ladite surface de déplacement à l'aide d'au moins un tel coussin d'air : - lors de l'étape AI, pour chacune desdites positions distinctes, on détecte un éventuel défaut de parallélisme entre ledit plan de référence et la face de ladite unité mobile ;

- lors de l'étape B/, en cas de détection d'un défaut de parallélisme, on détermine une information de réglage permettant de corriger celui-ci ; et

- lors de l'étape Cl, lorsque ladite unité mobile occupe une desdites positions distinctes pour laquelle un défaut de parallélisme a été détecté, on règle, à partir de l'information de réglage correspondante, au moins un paramètre d'alimentation en air d'au moins un tel coussin d'air, afin d'obtenir un parallélisme entre ledit plan de référence et la face de ladite unité mobile.

Ainsi, en réglant un paramètre d'alimentation en air d'au moins un coussin d'air, on peut ajuster l'épaisseur de ce dernier et ainsi réaliser le parallélisme entre le plan de référence et la face de ladite unité mobile, pour une position donnée de l'unité mobile sur la surface de déplacement. L'unité mobile est ainsi contrôlée au moins en roulis et/ou en tangage.

Dans une réalisation particulière du premier mode de réalisation, ladite unité mobile étant portée par ladite surface de déplacement au moyen de trois coussins d'air, on règle, lors de l'étape Cl, au moins un paramètre d'alimentation en air d'au moins un desdits coussins d'air.

Par ailleurs, en variante ou en complément, dans un second mode de réalisation conforme à la présente invention, ladite unité mobile étant apte se déplacer suivant au moins un rail de guidage défini par deux surfaces de déplacement latérales longitudinales parallèles entre elles, ladite unité mobile comportant au moins deux coussins d'air qui coopèrent respectivement avec lesdites surfaces latérales longitudinales, ladite unité mobile étant apte à occuper une pluralité de positions longitudinales distinctes le long dudit rail de guidage, à chacune desdites positions longitudinales distinctes étant associé un positionnement latéral prédéfini de ladite unité mobile par rapport audit rail de guidage : - lors de l'étape kl, pour chacune desdites positions longitudinales distinctes, on détecte un éventuel défaut de positionnement latéral de ladite unité mobile par rapport audit rail de guidage ;

- lors de l'étape B/, en cas de détection d'un tel défaut de positionnement latéral, on détermine une information de réglage permettant de corriger ce dernier ; et

- lors de l'étape CI, lorsque ladite unité mobile occupe une desdites positions longitudinales distinctes pour laquelle un défaut de positionnement latéral a été détecté, on règle, à partir de l'information de réglage correspondante, au moins un paramètre d'alimentation en air d'au moins un desdits coussins d'air, afin d'obtenir ledit positionnement latéral prédéfini associé à ladite position longitudinale.

Ainsi, pour une position longitudinale donnée, en réglant l'épaisseur d'au moins un des coussins d'air, on peut modifier le positionnement latéral de l'unité mobile par rapport au rail de guidage et obtenir le positionnement latéral prédéfini associé à cette position longitudinale. L'unité mobile est au moins contrôlée en lacet.

En outre, quel que soit le mode de réalisation de l'invention considéré, ledit paramètre d'alimentation peut être :

- la pression d'alimentation en air ;

- le débit d'alimentation en air.

De plus, à des fins de vérification du réglage, on peut effectuer les étapes suivantes :

- pour chacune desdites positions pour laquelle un défaut de situation spatiale est détecté, on mesure l'épaisseur au moins d'un coussin d'air;

- on compare l'épaisseur mesurée à une épaisseur de référence prédéterminée obtenue à partir de ladite information de réglage, afin de contrôler la qualité du réglage effectué lors de l'étape CI ; et

- dans le cas où l'épaisseur mesurée n'est pas égale à l'épaisseur de référence, on ajuste le réglage dudit paramètre d'alimentation en air au moins dudit coussin d'air, de sorte que l'épaisseur dudit coussin d'air soit au moins approximativement égale à ladite épaisseur de référence.

En variante ou en complément, à des fins d'étalonnage, on peut en outre effectuer les étapes suivantes :

- pour une unique position d'origine prédéfinie de ladite surface de déplacement, on mesure la distance entre un point de référence de ladite unité mobile et ladite surface de déplacement ;

- on compare la distance mesurée à une distance de référence prédéterminée ; et

- dans le cas où la distance mesurée n'est pas égale à la distance de référence, on règle au moins un paramètre d'alimentation en air d'au moins un coussin d'air, afin que la distance mesurée soit au moins approximativement égale à la distance de référence. En outre, dans le cas d'une pluralité des coussins d'air, le réglage est effectué simultanément sur l'ensemble de coussins d'air.

La présente invention concerne, de plus, un système pour le réglage de la situation spatiale d'une unité mobile se déplaçant par rapport à au moins une surface de déplacement à l'aide d'au moins un coussin d'air, ladite unité mobile étant apte à occuper une pluralité de positions distinctes par rapport à ladite surface de déplacement, cette dernière présentant des défauts de planéité à au moins certaines desdites positions. Selon l'invention, ledit système est remarquable en ce qu'il comporte :

- des moyens pour détecter, pour chacune desdites positions distinctes, un éventuel défaut de situation spatiale de ladite unité mobile par rapport à une situation spatiale de référence prédéfinie associée à ladite position ;

- des moyens pour déterminer, en cas de détection d'un tel défaut, une information de réglage permettant de corriger ledit défaut ; et

- des moyens pour régler, lorsque ladite unité mobile occupe une desdites positions pour laquelle un défaut de situation spatiale est détecté, au moins un paramètre d'alimentation en air d'au moins un tel coussin d'air, à partir de l'information de réglage correspondante. Dans le premier mode de réalisation de l'invention destiné au réglage du parallélisme entre un plan de référence et une face de ladite unité mobile se déplaçant sur ladite surface de déplacement à l'aide d'au moins un tel coussin d'air :

- lesdits moyens de détection sont formés pour détecter, pour chacune desdites positions distinctes, un éventuel défaut de parallélisme entre ledit plan de référence et la face de ladite unité mobile ;

- lesdits moyens de détermination sont formés pour déterminer, en cas de détection d'un défaut de parallélisme, une information de réglage permettant de corriger celui-ci ; et

- lesdits moyens de réglage sont formés pour régler, lorsque ladite unité mobile occupe une desdites positions distinctes pour laquelle un défaut de parallélisme a été détecté, au moins un paramètre d'alimentation en air d'au moins un tel coussin d'air, à partir de l'information de réglage correspondante.

Dans le second mode de réalisation de l'invention, ladite unité mobile étant apte se déplacer suivant au moins un rail de guidage défini par deux surfaces de déplacement latérales longitudinales parallèles entre elles, ladite unité mobile comportant au moins deux coussins d'air qui coopèrent respectivement avec lesdites surfaces latérales longitudinales, ladite unité mobile étant apte à occuper une pluralité de positions longitudinales distinctes le long dudit rail de guidage, à chacune desdites positions longitudinales distinctes étant associé un positionnement latéral prédéfini de ladite unité mobile par rapport audit rail de guidage :

- lesdits moyens de détection sont formés pour détecter, pour chacune desdites positions longitudinales distinctes, un éventuel défaut de positionnement latéral de ladite unité mobile par rapport audit rail de guidage ;

- lesdits moyens de détermination sont formés pour déterminer, en cas de détection d'un tel défaut de positionnement latéral, une information de réglage permettant de corriger ce dernier ; et - lesdits moyens de réglage sont formés pour régler, lorsque ladite unité mobile occupe une desdites positions longitudinales distinctes pour laquelle un défaut de positionnement latéral a été détecté, au moins un paramètre d'alimentation en air d'au moins un desdits coussins d'air, à partir de l'information de réglage correspondante.

Les figures du dessin annexé feront bien comprendre comment l'invention peut être réalisée. Sur ces figures, des références identiques désignent des éléments semblables.

La figure 1 représente un schéma synoptique d'un système de réglage conforme à la présente invention.

La figure 2 est une vue schématique du dessus d'une table de déplacement en X-Y associée au système de la figure 1 pour le réglage de parallélisme, selon un premier mode de réalisation conforme à l'invention.

La figure 3 montre, dans une vue de profil, la table de déplacement en X-Y de la figure 2.

La figure 4 est une vue schématique du dessus d'une table de déplacement selon un seul axe longitudinal associée au système de la figure 1 pour le réglage d'un positionnement latéral, selon un second mode de réalisation conforme à l'invention.

La figure 5 est une vue de profil, selon la flèche V, de la table de déplacement de la figure 4.

La figure 6, semblable à la figure 5, représente une variante du rail de guidage de la table de déplacement de la figure 4.

La figure 7 montre, dans une vue schématique de profil, une table de déplacement croisée entièrement guidée sur coussins d'air mettant en œuvre plusieurs systèmes de réglage, conformes à l'invention.

Sur la figure 1 , on a représenté un système 1A, 1 B conforme à la présente invention pour le réglage de la situation spatiale d'une unité mobile 2 se déplaçant par rapport à au moins une surface de déplacement 3, 4 à l'aide de coussins d'air 5, 6 (voir également les figures 2 et 4). L'unité mobile 2 est apte à occuper une pluralité de positions distinctes par rapport à une telle surface de déplacement 3, 4, cette dernière présentant des défauts de planéité à au moins certaines desdites positions. Le déplacement de l'unité mobile 2 est réalisé à l'aide d'au moins un moteur M commandé par des moyens de commande 7.

L'air alimentant les trois coussins d'air 5, 6 est acheminé par des conduites C reliées, en amont, à une unique source d'air S. Bien entendu, en variante, il est envisageable d'alimenter indépendamment en air chacun des coussins d'air par des sources d'air indépendantes.

Selon l'invention, le système 1A, 1 B comporte :

- des moyens 8 pour détecter, pour chacune des positions distinctes, un éventuel défaut de situation spatiale de l'unité mobile 2 par rapport à une situation spatiale de référence prédéfinie associée à ladite position. Les moyens de détection 8 peuvent ainsi réaliser un enregistrement de l'ensemble des défauts de planéité d'une surface de déplacement 3, 4. Pour cela, ils peuvent par exemple mettre en œuvre une ou plusieurs mires de référence ;

- des moyens 9 pour déterminer, en cas de détection d'un tel défaut par les moyens 8 auxquels ils sont reliés (liaison L1 ), une information de réglage permettant de corriger ce défaut ; et

- des moyens 10 pour régler, lorsque l'unité mobile 2 occupe une des positions pour laquelle un défaut de situation spatiale est détecté, au moins un paramètre d'alimentation en air (à savoir la pression et/ou le débit d'alimentation en air) d'au moins un des coussins d'air 5, 6, à partir de l'information de réglage reçue des moyens 9 par une liaison L2.

En outre, dans le cadre de la présente invention, les moyens de réglage 10 comportent :

- des composants électropneumatiques 1 1 , par exemple des vannes proportionnelles, montés respectivement sur les conduites C ; et

- des moyens 12 pour déterminer des ordres de réglage à destination des composants électropneumatiques 1 1 lorsque, pour une position donnée de l'unité mobile 2, au moins une surface de déplacement 3, 4 présente un défaut de planéité. Les moyens 12 sont aptes à recevoir la position de l'unité mobile 2 par rapport à une surface de déplacement par les moyens de commande 7 (liaison L3) et une information de réglage associée à la position considérée (liaison L2). Une fois déterminés, les ordres de réglage sont adressés aux composants électropneumatiques 1 1 par une liaison L4.

En outre, à des fins de vérification du réglage effectué par les moyens de réglage 10, le système 1A, 1 B comporte également :

- des capteurs de distance 13 associés auxdits coussins d'air 5, 6, qui sont aptes mesurer l'épaisseur e desdits coussins d'air 5, 6, pour une position donnée de l'unité mobile 2 par rapport à une surface de déplacement 3, 4 pour laquelle l'unité mobile 2 présente un défaut de situation spatiale. Ces capteurs de distance 13 peuvent mettre en œuvre tout type connu de technologie (par exemple laser, pneumatique, inductif, etc ..) ; et

- des moyens 14 pour comparer l'épaisseur mesurée e de chacun des coussins d'air 5, 6 à une épaisseur de référence prédéterminée correspondante obtenue à partir d'une information de réglage, afin de contrôler la qualité d'un réglage effectué par les moyens de réglage 10. Ces moyens de comparaison 14 sont reliés aux moyens de réglage 10 par l'intermédiaire d'une liaison L5.

Dans le cas où l'épaisseur mesurée e n'est pas égale à l'épaisseur de référence, les moyens 10 ajustent le réglage du paramètre d'alimentation en air d'au moins un des trois coussins d'air 5, 6, de manière à atteindre ladite épaisseur de référence.

En variante ou en complément, pour étalonner le système 1A, 1 B, celui-ci peut également comporter :

- un capteur de distance 15 associé à l'unité mobile 2 et formé pour mesurer la distance entre un point de référence de l'unité mobile 2 et une surface de déplacement 3, 4, pour une unique position d'origine Po prédéterminée de la surface de déplacement 3, 4 ; et - des moyens 16 pour comparer la distance mesurée à une distance de référence prédéterminée. Ces moyens 16 sont reliés aux moyens de réglage 10 par l'intermédiaire d'une liaison L6.

Dans le cas où la distance mesurée n'est pas égale à la distance de référence, les moyens 10 règlent au moins un paramètre d'alimentation en air des trois coussins d'air 5, 6, simultanément afin que la distance mesurée soit au moins approximativement égale à la distance de référence.

Dans le premier mode de réalisation de la présente invention, représenté sur les figures 2 et 3, le système 1A est destiné au réglage du parallélisme entre un plan de référence (correspondant par exemple à une surface de déplacement 3 horizontale dépourvue d'imperfections de planéité) et une face 17 d'une unité mobile 2 qui se déplace sur la surface de déplacement horizontale 3 à l'aide de trois coussins d'air 5 équi- angulairement répartis autour d'un centre O de l'unité mobile 2.

En particulier, le système de réglage 1A peut être associé, mais non exclusivement, à une table T de déplacement en X-Y. Ainsi, comme le montrent les figures 2 et 3, la table T de déplacement en X-Y comporte une base fixe 18, dont la partie supérieure forme la surface de déplacement 3, et l'unité mobile 2 (sous la forme d'un chariot), dont la partie supérieure destinée à recevoir une ou plusieurs pièces à traiter (non représentées) définie la face 17.

Par ailleurs, comme le montre la figure 2, la table T de déplacement en X-Y comporte également des moyens de guidage 19 usuels qui astreignent l'unité mobile 2 à se déplacer selon les deux directions orthogonales X-X et Y- Y. On notera que le déplacement de l'unité mobile 2 est effectué sans friction sur la surface de déplacement horizontale 3. A ces moyens de guidage 19 sont associés des moteurs électriques M destinés à mettre en mouvement l'unité mobile 2 avec une très grande dynamique de déplacement et une haute précision de positionnement. Les moteurs M sont commandés par les moyens de commande 7.

En outre, conformément à ce premier mode de réalisation : - les moyens de détection 8 sont formés pour détecter, pour chacune des positions distinctes, un éventuel défaut de parallélisme entre le plan de référence et la face 17 de l'unité mobile 2 ;

- les moyens de détermination 9 sont formés pour déterminer, en cas de détection d'un défaut de parallélisme, une information de réglage permettant de corriger celui-ci ; et

- les moyens de réglage 10 sont formés pour régler, lorsque l'unité mobile 2 occupe une des positions distinctes pour laquelle un défaut de parallélisme a été détecté, au moins un paramètre d'alimentation en air d'au moins un des trois coussins d'air 5, à partir de l'information de réglage correspondante.

Ainsi, en réglant la pression et/ou le débit d'alimentation en air comprimé d'au moins un des coussins d'air 5, on peut modifier précisément l'épaisseur e respective dudit coussin d'air 5 correspondant. Ainsi faisant, on peut obtenir le parallélisme entre la face 17 de l'unité mobile 2 et le plan de référence pour une position distincte considérée pour laquelle un défaut de parallélisme est observé. Dans ce cas, on peut contrôler en roulis et/ou en tangage l'unité mobile 2.

Dans le second mode de réalisation conforme à la présente invention, illustré sur les figures 4 et 5, une unité mobile 2 est désormais astreinte à se déplacer sur une table de déplacement T suivant un rail de guidage longitudinal 20 en forme de nervure, en saillie par rapport à une surface de déplacement horizontale 3.

De la même façon que pour le premier mode de réalisation, l'unité mobile 2 est portée par la surface de déplacement 3 à l'aide de trois coussins d'air 5, qui sont pilotés conformément au premier mode de réalisation par le système de réglage 1A (non représenté sur la figure 4 pour des raisons de clarté).

En outre, le rail de guidage 20 est défini par deux surfaces de déplacement latérales 4, longitudinales et verticales, parallèles entre elles. L'unité mobile 2 comporte trois coussins d'air auxiliaires 6 parmi lesquels deux coopèrent avec une desdites surfaces de déplacement latérales 4 et l'autre coopère avec l'autre surface 4.

Ainsi, l'unité mobile 2 est apte à occuper une pluralité de positions longitudinales distinctes le long dudit rail de guidage 20. En outre, on associe, à chacune desdites positions longitudinales distinctes, un positionnement latéral prédéfini de l'unité mobile 2 par rapport audit rail de guidage 20.

On notera que le déplacement de l'unité mobile 2 le long du rail de guidage 20 est réalisé par un moteur électrique M commandé par les moyens de commande 7.

En outre, conformément à ce second mode de réalisation :

- les moyens de détection 8 sont formés pour détecter, pour chacune des positions longitudinales distinctes, un éventuel défaut de positionnement latéral de l'unité mobile 2 par rapport audit rail de guidage 20 ;

- les moyens de détermination 9 sont formés pour déterminer, en cas de détection d'un tel défaut de positionnement latéral, une information de réglage permettant de corriger ce dernier ; et

- les moyens de réglage 10 sont formés pour régler, lorsque ladite unité mobile 2 occupe une desdites positions longitudinales distinctes pour laquelle un défaut de positionnement latéral a été détecté, au moins un paramètre d'alimentation en air d'au moins un des trois coussins d'air auxiliaires 6, à partir de l'information de réglage correspondante reçue des moyens de détermination 9.

Ainsi, pour une position longitudinale donnée, en réglant l'épaisseur d'au moins un des trois coussins d'air auxiliaires 6, on peut modifier le positionnement latéral de l'unité mobile 2 par rapport au rail de guidage 20 et obtenir le positionnement latéral prédéfini associé à cette position longitudinale.

Dans ce second mode de réalisation, grâce aux systèmes de réglage 1A et 1 B, on peut contrôler ladite unité mobile 2 en roulis et/ou tangage (par les coussins d'air 5), ainsi qu'en lacet (par les coussins d'air 6). Dans une variante du second mode de réalisation illustrée sur la figure 6, le rail de guidage 20 peut avoir la forme d'une rainure ménagée dans la partie supérieure de la base fixe 18.

Selon une autre variante du second mode de réalisation représentée sur la figure 7, l'unité mobile 2 d'une table de déplacement croisée T comporte un premier et un second éléments mobiles P1 et P2. L'élément P1 est porté par une surface de déplacement horizontale 3A de l'élément P2, par l'intermédiaire de trois coussins d'air 5A, et est apte à se déplacer par rapport à celui-ci selon un premier rail de guidage rectiligne longitudinal 20A (définissant la direction X) saillant par rapport à la surface de déplacement 3A. Les trois coussins d'air sont pilotés par un premier système de réglage 1A (non représenté sur la figure 7), décrit précédemment et conforme à l'invention.

En outre, le rail de guidage 20A est défini par deux surfaces de déplacement latérales 4A longitudinales, parallèles entre elles. Ces deux surfaces 4A sont verticales. L'élément P1 comporte de plus trois coussins d'air auxiliaires 6A, parmi lesquels deux coopèrent avec une desdites surfaces de déplacement 4A et l'autre coopère avec l'autre surface 4A. Ces trois coussins d'air 6A sont contrôlés par un premier système de réglage 1 B (non représenté sur la figure 7) du type décrit ci-dessus.

De plus, l'élément mobile P2 est porté par une surface de déplacement horizontale 3B en partie supérieure d'une base fixe 18, par l'intermédiaire de trois coussins d'air 5B, et est apte à se déplacer par rapport à celle-ci selon un second rail de guidage rectiligne longitudinal 20B (définissant la direction Y), orthogonal au rail 20A et saillant par rapport à la surface de déplacement 3B. Les trois coussins d'air 5B sont pilotés par un second système de réglage 1A (non représenté sur la figure 7).

Le rail de guidage 20B est également défini par deux surfaces de déplacement latérales 4B longitudinales parallèles entre elles. Ces deux surfaces sont verticales. L'élément P2 comporte trois coussins d'air auxiliaires 6B parmi lesquels deux coopèrent avec une desdites surfaces de déplacement 4B et l'autre coopère avec l'autre surface 4B. Ces trois coussins d'air 6B sont contrôlés par un second système de réglage 1 B (non représenté sur la figure 7) du type décrit ci-dessus.

Les premier et second systèmes de réglage 1A sont indépendants l'un de l'autre, de même que les premier et second système de réglage 1 B.

Dans cette autre variante, l'unité mobile 2 est contrôlable en tangage et/ou en roulis (par les coussins d'air 5A et 5B), ainsi qu'en lacet selon la direction X (par les coussins d'air 6A) et/ou la direction Y (par les coussins d'air 6B).