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Patent Searching and Data


Title:
METHOD FOR TREATING GREEN PARTS AND CARRIER FOR GREEN PARTS
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2015/000667
Kind Code:
A1
Abstract:
A method for treating green parts (1) is provided. The method comprises the provision of a plurality of green parts (1), a first carrier (2a) and a second carrier (2b), wherein the first carrier (2a) has two supporting areas (3) that are separated from one another by an intermediate space (5). The method also comprises the arrangement of at least one green part (1) on one of the supporting areas (3) of the first carrier (2a), the exposure of the at least one green part (1) arranged on the first carrier (2a) to a gas flow (6), which flows through the intermediate space (5) of the first carrier (2a), the relative arrangement of the first carrier (2a) and the second carrier (2b), wherein at least one further green part (1) is arranged on a supporting area (3) of the second carrier (2b) in such a way that the intermediate space (5) of the first carrier (2a) is at least partially filled by the supporting area (3) of the second carrier (2b), and the sintering of the green parts (1) arranged on the first carrier (2a) and the second carrier (2b).

Inventors:
RESZAT, Jan-Thorsten (Klara-Hiebert-Str. 7, Karlsruhe, 76137, DE)
Application Number:
EP2014/062139
Publication Date:
January 08, 2015
Filing Date:
June 11, 2014
Export Citation:
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Assignee:
EPCOS AG (St.-Martin-Str. 53, München, 81669, DE)
International Classes:
F27D5/00; H01L41/083; H01L41/273
Foreign References:
DE102011112008A1
EP1974884A1
JP2007333272A
Other References:
None
Attorney, Agent or Firm:
EPPING HERMANN FISCHER PATENTANWALTSGESELLSCHAFT MBH (Schloßschmidstr. 5, München, 80639, DE)
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Claims:
Patentansprüche

Verfahren zur Behandlung von Grünteilen (1) mit

folgenden Schritten:

Bereitstellen einer Mehrzahl von Grünteilen (1), eines ersten Trägers (2a) und eines zweiten Trägers (2b) , wobei der erste Träger (2a) zwei durch einen

Zwischenraum (5) voneinander getrennte Auflagebereiche

(3) für jeweils mindestens ein Grünteil (1) aufweist, Anordnen von mindestens einem Grünteil (1) auf einem der Auflagebereiche (3) des ersten Trägers (2a) ,

Aussetzen des auf dem ersten Träger (2a) angeordneten mindestens einen Grünteils (1) einer Gasströmung (6), welche durch den Zwischenraum (5) des ersten Trägers

(2a) strömt,

relatives Anordnen des ersten Trägers (2a) und des zweiten Trägers (2b) , wobei auf einem Auflagebereich (3) des zweiten Trägers (2b) mindestens ein weiteres

Grünteil (1) angeordnet ist, derart, dass der

Zwischenraum (5) des ersten Trägers (2a) zumindest teilweise durch den Auflagebereich (3) des zweiten

Trägers (2b) ausgefüllt wird,

Sinterung der auf dem ersten Träger (2a) und dem zweiten Träger (2b) angeordneten Grünteile (1).

Verfahren nach Anspruch 1, wobei der zweite Träger (2b) zwei durch einen Zwischenraum (5) voneinander getrennte Auflagebereiche (3) für jeweils mindestens ein Grünteil (1) aufweist, wobei nach oder zeitgleich mit dem

Aussetzen des auf dem ersten Träger (2a) angeordneten mindestens einen Grünteils (2b) , das auf dem zweiten Träger (2b) angeordnetes mindestens eine Grünteil (1) der Gasströmung (6), welche durch den Zwischenraum (5) des zweiten Trägers (2b) strömt, ausgesetzt wird und wobei bei dem relativen Anordnen des ersten Trägers (2a) und des zweiten Trägers (2b) , der Zwischenraum (5) des zweiten Trägers (2b) zumindest teilweise durch einen der Auflagebereiche (3) des ersten Trägers (2a) ausgefüllt wird .

Verfahren nach Anspruch 2, wobei die Gasströmung (6) derart beschaffen ist, dass das Aussetzen der Grünteile (1) der Gaströmung, beispielsweise einer Sauerstoff umfassenden Gasströmung, ein Entkohlen der Grünteile (1) bewirkt .

Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden

Ansprüche, wobei die Grünteile (1) der Gasströmung (6) in einem Ofen ausgesetzt werden.

Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden

Ansprüche, wobei die Auflagebereiche (3) und die

Zwischenräume (5) derart aufeinander abgestimmt sind, dass ein Anströmen der auf den Auflagebereichen

angeordneten Grünteile (1) mit der Gasströmung (6) durch die Zwischenräume (5) möglich ist.

Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden

Ansprüche, wobei die Grünteile (1) jeweils eine

Längsachse (X) und eine längliche, beispielsweise stabförmige, Form aufweisen.

Verfahren nach Anspruch 6, wobei mindestens ein Grünteil (1) liegend mit der Längsachse (X) entlang einer

Auflagefläche des ersten Trägers ausgerichtet auf dem Auflagebereich (3) des ersten Trägers (2b) angeordnet wird und wobei mindestens ein Grünteil liegend mit der Längsachse (X) entlang einer Auflagefläche des zweiten Trägers ausgerichtet auf dem Auflagebereich (3) des zweiten Trägers (2b) angeordnet wird.

Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Auflagebereiche (3) länglich ausgebildet sind.

Verfahren nach mindestens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Grünteile (1) Grünteile für mehrlagige Keramiken sind.

10. Träger (2, 2a, 2b) für Grünteile (1) mit einer Mehrzahl von durch Zwischenräume (5) voneinander getrennten

Auflagebereichen (3), wobei der Träger (2, 2a, 2b) derart ausgebildet ist, dass der Abstand benachbarter Auflagebereiche (3) mindestens so groß ist wie die Breite eines der Auflagebereiche (3) .

11. Träger (2, 2a, 2b) nach Anspruch 10, wobei der Träger (2, 2a, 2b) eine Kammstruktur umfasst und wobei die Auflagebereiche (3) die Zinken (4) der Kammstruktur bilden .

12. Träger (2, 2a, 2b) nach Anspruch 10 oder 11, wobei der Träger (2, 2a, 2b) eine hochtemperaturbeständige

Keramik, beispielsweise MgO oder AI2O3 umfassend, aufweist .

13. System (100) mit einem ersten Träger (2a) und einem

zweiten Träger (2b) nach mindestens einem der Ansprüche 9 bis 11, wobei der erste Träger (2a) und der zweite Träger (2b) derart ausgebildet sind, dass

Auflagebereiche (3) des ersten Trägers (2a) und/oder des zweiten Trägers (2b) in dem oder den Zwischenräumen (5) des jeweils anderen Trägers anordenbar sind.

14. System (100) nach Anspruch 13, wobei erster Träger (2a) und der zweiter Träger (2b) gleichartig ausgebildet sind .

15. Elektronisches Bauelement aufweisend einen stabförmigen, mehrere Lagen piezoelektrischer Schichten umfassenden Grundkörper, wobei Grünteile (1) für das elektronische Bauelement gemäß dem Verfahren nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 9 behandelt wurden.

Description:
Beschreibung

Verfahren zur Behandlung von Grünteilen und Träger für

Grünteile

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur

Behandlung von Grünteilen und einen Träger für Grünteile.

Eine zu lösende Aufgabe ist es, ein verbessertes Verfahren zur Behandlung oder zur Herstellung von Grünteilen, sowie einen verbesserten Träger für Grünteile anzugeben.

Die Aufgabe wird durch das Verfahren mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 sowie durch den Träger mit den Merkmalen des Patentanspruchs 10 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen

Patentansprüche .

Ein vorgeschlagenes Verfahren zur Behandlung von Grünteilen umfasst die folgenden Schritte. Das Verfahren umfasst das Bereitstellen einer Mehrzahl von Grünteilen, das

Bereitstellen eines ersten Trägers und das Bereitstellen eines zweiten Trägers, wobei der erste Träger zwei durch einen Zwischenraum voneinander getrennte Auflagebereiche für jeweils mindestens ein Grünteil aufweist. Das Verfahren umfasst weiterhin das Anordnen von mindestens einem Grünteil auf einem der Auflagebereiche des ersten Trägers. Das

Verfahren umfasst weiterhin das Aussetzen des auf dem ersten Träger angeordneten mindestens einen Grünteils einer

Gasströmung, welche durch den Zwischenraum des ersten Trägers strömt. Die Gasströmung kann beispielsweise ein Sauerstoffgas enthalten. Weiterhin kann das Aussetzen des auf dem ersten Träger angeordneten mindestens einen Grünteils der Gasströmung bei erhöhten Temperaturen durchgeführt werden. Das Verfahren umfasst weiterhin das relative Anordnen des ersten Trägers und des zweiten Trägers, wobei auf einem

Auflagebereich des zweiten Trägers mindestens ein weiteres Grünteil angeordnet ist, derart, dass der Zwischenraum des ersten Trägers zumindest teilweise durch den Auflagebereich des zweiten Trägers ausgefüllt wird.

Das Verfahren umfasst weiterhin die Sinterung der auf den ersten Träger und den zweiten Träger angeordneten Grünteile. Die Sinterung erfolgt vorzugsweise in einem für die Sinterung geeigneten Sinterofen. Der erste und der zweite Träger werden, vorzugsweise gemeinsam, für die Sinterung im

Sinterofen angeordnet.

In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens umfasst das Verfahren auch das Anordnen von mindestens einem Grünteil auf dem Auflagebereich des zweiten Trägers. In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens weist der zweite Träger zwei durch einen Zwischenraum voneinander getrennte Auflagebereiche für jeweils mindestens ein Grünteil auf . In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens wird nach oder zeitgleich mit dem Aussetzen des auf den ersten Träger angeordneten mindestens einen Grünteils das auf dem zweiten Träger angeordnete mindestens eine Grünteil der Gasströmung, welche durch den Zwischenraum des zweiten Trägers strömt, ausgesetzt.

In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens wird bei dem relativen Anordnen des ersten Trägers und des zweiten Trägers der Zwischenraum des zweiten Trägers teilweise durch einen der Auflagebereiche des ersten Trägers ausgefüllt.

Vorzugsweise wird im Rahmen des Verfahrens mindestens ein Grünteil jeweils auf jedem Auflagebereich des ersten und des zweiten Trägers angeordnet.

Der erste und der zweite Träger können jeweils derart

ausgebildet sein, dass der erste und der zweite Träger jeweils drei, vier, fünf oder mehr Auflagebereiche aufweisen, wobei zwei benachbarte Auflagebereiche jeweils durch einen Zwischenraum voneinander getrennt sind.

Die Zwischenräume ermöglichen während des Aussetzens der Grünteile der Gasströmung die Einhaltung eines Abstands zwischen den Grünteilen. Der Abstand zwischen den Grünteilen ist vorzugsweise bei der Wechselwirkung der Grünteile mit der Gasströmung wesentlich. Zum anderen kann durch die

Zwischenräume durch „Ineinanderschieben" oder

„Ineinanderanordnen" des ersten und des zweiten Trägers eine kompakte Anordnung des ersten und des zweiten Trägers, welche insbesondere für die Sinterung wichtig sein kann, ermöglicht werden . In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens beträgt der Abstand zwischen den Grünteilen zwischen dem 0,5-fachen und dem 10-fachen der Breite der Grünteile. Durch diese

Ausgestaltung kann mit Vorteil eine effektive und/oder zweckmäßige Wechselwirkung der Grünteile mit der Gasströmung für verschiedene Größen und Formen der Grünteile erreicht werden . Beispielsweise kann der Abstand zwischen den Grünteilen, dem 2-fachen, dem 3-fachen oder dem 4-fachen der Breite der

Grünteile entsprechen. In einer Ausgestaltung des Verfahrens werden zwischen dem Aussetzen des jeweils auf dem ersten und dem zweiten Träger angeordneten mindestens einen Grünteils der Gasströmung und dem relativen Anordnen des ersten und des zweiten Trägers, die auf den Auflagebereichen angeordneten Grünteile nicht mehr - beispielsweise auf einen anderen Träger - umgelagert und/oder von den Auflagebereichen entfernt. Durch ein

Umlagern der Grünteile können diese, insbesondere in einem „entkohlten" Zustand (siehe weiter unter) , leicht brechen oder beschädigt werden. Dabei können insbesondere länglich ausgebildete Grünteile mit großen Aspektverhältnissen

umkippen und/oder brechen. Durch die vorherige Ausgestaltung kann eine Beschädigung oder eine Zerstörung der Grünteile mit Vorteil verhindert werden. In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens ist die Gasströmung derart beschaffen, dass das Aussetzen der

Grünteile der Gasströmung, beispielsweise einer Sauerstoff umfassenden Gasströmung, ein Entkohlen der Grünteile bewirkt. Bei dem Entkohlen wird den Grünteilen zweckmäßigerweise

Kohlenstoff teilweise oder vollständig entzogen. Ursache für eine solche Abnahme des Kohlenstoffgehaltes der Grünteile kann dabei die Affinität von Kohlenstoff zu Sauerstoff, insbesondere bei erhöhten Temperaturen, sein. In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens werden die Grünteile der Gasströmung in einem Ofen ausgesetzt. Bei dem Ofen handelt es sich zweckmäßigerweise um einen

Entkohlungsofen, der ausgebildet ist, die Grünteile beispielsweise einer Sauerstoff umfassenden Gasströmung, gegebenenfalls bei erhöhten Temperaturen, auszusetzen. Für das Anlegen einer erhöhten Temperatur weist der

Entkohlungsofen zweckmäßigerweise eine entsprechende

Beheizungseinrichtung auf.

In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens sind die Auflagebereiche und die Zwischenräume derart aufeinander abgestimmt, dass ein An- oder Umströmen der auf den

Auflagebereichen angeordneten Grünteile mit der Gasströmung durch die Zwischenräume möglich ist. Dabei wird mit Vorzug eine möglichst große Oberfläche der Grünteile der Gasströmung ausgesetzt, um eine möglichst effiziente Entkohlung der Grünteile zu ermöglichen.

In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens weisen die Grünteile jeweils eine Längsachse und eine längliche, beispielsweise stabförmige Form auf. Dabei können die

Grünteile jeweils eine zylindrische Form aufweisen.

Alternativ können die Grünteile eine Quaderform aufweisen.

In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens sind die Auflagebereiche länglich ausgebildet. Die Auflagebereiche können weiterhin auf die Form der Grünteile abgestimmt sein.

Die Grünteile werden vorzugsweise derart auf den

Auflagebereichen angeordnet, dass die Längsachse der

Grünteile parallel zu einer Längsachse der Auflagebereiche ausgerichtet ist.

Beispielsweise kann eine Anströmung der Grünteile mit der Gasströmung dabei von unterhalb des jeweiligen Trägers erfolgen. Alternativ oder zusätzlich kann die Anströmung aus einer paralle zur Längsachse der Grünteile oder der Auflagebereiche verlaufenden Richtung erfolgen.

In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens wird mindestens ein Grünteil liegend mit der Längsachse entlang einer Auflagefläche des ersten Trägers ausgerichtet auf dem Auflagebereich des ersten Trägers angeordnet und mindestens ein Grünteil liegend mit der Längsachse X entlang einer Auflagefläche des zweiten Trägers ausgerichtet auf dem

Auflagebereich des zweiten Trägers angeordnet.

Diese Ausgestaltung bietet den Vorteil, dass die liegend angeordneten Grünteile während der Entkohlung, der Sinterung oder der Herstellung im Gegensatz zu einer stehenden

Anordnung nicht gegen weitere Komponenten, die am

Herstellungsverfahren oder am Verfahren zur Behandlung beteiligt sind, schlagen oder umkippen können. Dadurch wird mit Vorteil verhindert, dass die Grünteile brechen. Weiterhin kann durch die liegende Anordnung der Grünteile auf den

Auflagebereichen auf Haltegitter verzichtet werden, die eine nicht erwünschte Teilabschattung der Oberfläche der

Grünteile, beispielsweise beim Entkohlen, bewirken.

In einer alternativen Ausgestaltung des Verfahrens wird mindestens ein Grünteil stehend auf dem Auflagebereich des ersten Trägers und/oder auf dem Auflagebereich des zweiten Trägers angeordnet. Diese Ausgestaltung bietet den Vorteil, dass, unter Umständen, eine größere Oberfläche der Grünteile der Gasströmung zugänglich ist.

In einer bevorzugten Ausgestaltung des Verfahrens sind die Grünteile Grünteile für mehrlagige Keramiken. Bei diesen Keramiken handelt es sich vorzugsweise um Vielschichtpiezoaktoren, welche zweckmäßigerweise mit Innen- und Außenelektroden versehen sind. Alternativ kann es sich bei den Keramiken beispielsweise um Vielschichtvaristoren oder Vielschichtkondensatoren handeln.

Weiterhin wird ein Träger für Grünteile mit einer Mehrzahl von durch Zwischenräume voneinander getrennten

Auflagebereichen angegeben. Der Träger ist derart

ausgebildet, dass der Abstand benachbarter Auflagebereiche mindestens so groß ist wie die Breite eines der

Auflagebereiche . Zweckmäßigerweise ist der Abstand

benachbarter Auflagebereiche mindestens so groß, wie die maximale Breite der Auflagebereiche . Dies bietet den Vorteil, dass mehrere gleichartige Träger derart angeordnet werden können, dass die Auflagebereiche des einen Trägers in den Zwischenräumen des anderen Trägers angeordnet sind.

Vorzugsweise weisen die Auflagebereiche des ersten und des zweiten Trägers alle die gleiche Breite auf. Weiterhin sind die Abstände benachbarter Auflagebereiche des ersten und des zweiten Trägers vorzugsweise die gleichen.

In einer bevorzugten Ausgestaltung umfasst der Träger eine Kammstruktur oder ist kammartig ausgebildet, wobei die

Auflagebereiche die Zinken der Kammstruktur bilden. Durch diese Ausgestaltung kann mit Vorteil besonders einfach eine Trägergeometrie mit Zwischenräumen geschaffen werden, die gemäß der beschriebenen Ausgestaltungen ausgeführt ist.

In einer bevorzugten Ausgestaltung weist der Träger eine hochtemperaturbeständige Keramik, beispielsweise aus MgO oder AL2O 3 , oder diese Materialien umfassend, auf. Durch diese Ausgestaltung kann ermöglicht werden, dass sich die

Beschaffenheit des Trägers und/oder der Grünteile, beispielsweise während des Entkohlens oder Sinterns der

Grünteile nicht signifikant verändert.

Es wird weiterhin ein System mit einem ersten Träger und einem zweiten Träger angegeben, wobei der erste Träger und der zweite Träger derart ausgebildet sind, dass

Auflagebereiche des ersten Trägers und/oder des zweiten

Trägers in dem oder den Zwischenräumen des jeweils anderen Trägers anordenbar sind und/oder diese ausfüllen können. Mit Vorteil kann dadurch in dem Fall, dass auf den

Auflagebereichen des ersten und des zweiten Trägers jeweils Grünteile angeordnet sind, eine möglichst kompakte Anordnung der Grünteile auf dem ersten und auf dem zweiten Träger ermöglicht werden. Eine solche kompakte Anordnung der

Grünteile ist für ein Sinterverfahren von besonderem Vorteil, da ein höherer Sinterdurchsatz erreicht werden kann sowie eine homogenere Temperaturverteilung während eines

Sintervorgangs über den Bereich aller Grünteile, erzielt werden kann. Weiterhin können Sinterhilfsmittel wie

beispielsweise PbO den Grünteilen in einfacherer Weise zugänglich gemacht werden. Das PbO kann insbesondere einen Einfluss auf die Ausbildung von Korngrenzen, beispielsweise deren Größe, während des Sinterns haben. In einer bevorzugten Ausgestaltung beträgt der Abstand zwischen einem Auflagebereich des ersten Trägers und einem benachbarten Auflagebereich des zweiten Trägers, wenn die Auflagebereiche des ersten Trägers und/oder des zweiten

Trägers in dem oder den Zwischenräumen des jeweils anderen Trägers angeordnet sind, höchstens der halben Breite eines Grünteils . Alternativ kann der Abstand größer sein als die halbe Breite eines Grünteils. Beispielsweise kann der Abstand der Breite eines Grünteils entsprechen. Vorzugsweise ist der genannte Abstand kleiner als der oben beschriebene Abstand zwischen den Grünteilen.

In einer bevorzugten Ausgestaltung sind der erste Träger und der zweite Träger gleichartig ausgebildet. Durch diese

Ausgestaltung können der erste und der zweite Träger mit Vorteil einfacher und/oder durch das gleiche Verfahren hergestellt werden. Gemäß dieser Ausgestaltung können der erste Träger und der zweite Träger beispielsweise für eine Sinterung der Grünteile versetzt zueinander angeordnet werden, so dass Zwischenräume des ersten und/oder des zweiten Trägers durch Auflagebereiche des jeweils anderen Trägers ausgefüllt werden.

Alternativ zu dieser Ausgestaltung kann der erste Träger komplementär zu dem zweiten Träger ausgebildet sein. In diesem Fall sind der erste und der zweite Träger

zweckmäßigerweise nicht genau gleichartig, beispielsweise nur an einem Rand andersartig, ausgebildet. Vorzugsweise werden hier, beispielsweise während eines Sintervorgangs der

Grünteile, der erste und der zweiten Träger nicht versetzt zueinander angeordnet sondern lediglich derart, dass die Auflagebereiche des ersten oder des zweiten Trägers in den Zwischenräumen des jeweils anderen Trägers angeordnet sind oder diese ausfüllen.

Es wird weiterhin ein elektronisches Bauelement angegeben, welches einen stabförmigen, mehrere Lagen piezoelektrischer Schichten umfassenden Grundkörper aufweist, wobei Grünteile für das elektronische Bauelement gemäß dem beschriebenen Verfahren behandelt wurden.

Durch das vorgestellte Verfahren wird insbesondere ein

Herstellungsprozess der Bauteile, für welche die Grünteile behandelt werden, vereinfacht. Insbesondere kann durch das vorgestellte Verfahren sowie durch den vorgestellten Träger ein Entkohlen der auf dem ersten Träger angeordneten

Grünteile und ein Entkohlen der auf dem zweiten Träger angeordneten Grünteile separat, ein Sintern der genannten Grünteile jedoch in möglichst kompakter Anordnung zusammen erfolgen. Dabei ist weiterhin ein Umordnen der Grünteile, beispielsweise von einem auf einem weiteren Träger, nicht erforderlich, wodurch einer Beschädigung der Grünteile, wie oben beschrieben, vorgebeugt sowie der Herstellungsprozess vereinfacht werden kann.

Sämtliche für das oben beschriebene Verfahren offenbarte Merkmale können sich insbesondere auch auf das elektronische Bauelement beziehen, und umgekehrt.

Weitere Vorteile, vorteilhafte Ausgestaltungen und

Zweckmäßigkeiten der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele in Verbindung mit den Figuren.

Figur 1 zeigt eine perspektivische schematische Ansicht eines Trägers und eines Grünteils. Figur 2A zeigt eine schematische Aufsicht auf den Träger, auf dem Grünteile angeordnet sind. Figur 2B zeigt eine schematische Seitenansicht eines Trägers auf dem Grünteile angeordnet sind.

Figur 3A zeigt eine schematische Aufsicht auf ein System von Trägern auf denen Grünteile angeordnet sind.

Figur 3B zeigt eine schematische Seitenansicht eines Systems von Trägern auf denen Grünteile angeordnet sind. Gleiche, gleichartige und gleich wirkende Elemente sind in den Figuren mit gleichen Bezugszeichen versehen. Die Figuren und die Größenverhältnisse der in den Figuren dargestellten Elemente untereinander sind nicht als maßstäblich zu

betrachten. Vielmehr können einzelne Elemente zur besseren Darstellbarkeit und/oder zum besseren Verständnis übertrieben groß dargestellt sein.

Figur 1 zeigt einen Träger 2. Der Träger 2 ist kammartig ausgebildet. Dahingehend weist der Träger 2 Zinken 4 auf. Die Zinken 4 weisen jeweils Auflagebereiche 3 auf. Die

Auflagebereiche 3 können die Zinken 4 bilden. Beispielhaft sind in Figur 1 für den Träger 2 drei Zinken 4 und

entsprechend drei Auflagebereiche 3 dargestellt. Der Träger 2 weist vorzugsweise eine hochtemperaturbeständige Keramik, beispielsweise aus MgO oder AL 2 O 3 , oder diese Materialien umfassend, auf. Jeweils zwei Auflagebereiche 3 sind durch einen Zwischenraum 5 voneinander getrennt. Auf einem der Auflagebereiche 3 (ganz links in Figur 1) ist ein Grünteil 1 angeordnet. Das Grünteil 1 ist liegend auf dem genannten Auflagebereich 3 angeordnet. Das Grünteile 1 und die

Auflagebereiche 3 weisen jeweils eine längliche Form auf. Das Grünteil 1 weist eine Quaderform auf. Das Grünteil 1 weist weiterhin eine Längsachse X auf. Das Grünteil 1 ist derart angeordnet, das die Längsachse X parallel zu einer Längsachse der Auflagebereiche (nicht explizit dargestellt) verläuft oder mit dieser zusammenfällt. Das Grünteil 1 ist

vorzugsweise ein Grünteil für mehrlagige Keramiken, wie beispielsweise mehrlagige Piezoaktoren, Varistoren und/oder Kondensatoren .

Figur 2A zeigt einen Träger 2 gemäß dem in Figur 1

dargestellten Ausführungsbeispiel des Trägers 2. Auf jedem der Auflagebereiche 3 ist ein Grünteil 1 angeordnet. Die

Pfeile, welche um einen der Zinken 4 des Trägers 2 verlaufen, deuten eine Gasströmung 6 um den jeweiligen Zinken 4 an. Die Gasströmung verläuft weitgehend parallel zur Längsachse X der Grünteile .

Obwohl dies nicht explizit dargestellt ist sollen

vorzugsweise alle gezeigten Zinken 4 von der Gasströmung 6 umströmt werden. Die Gasströmung 6 ist vorzugsweise eine Gasströmung, welche die Grünteile während eines Verfahrens zur Behandlung der Grünteile, insbesondere während einer Entkohlung der Grünteile, umströmt. Bei der Gasströmung 6 handelt es sich vorzugsweise um eine Sauerstoff umfassende Gasströmung, welche insbesondere bei erhöhten Temperaturen durch die Affinität von Sauerstoff und Kohlenstoff ein

Entkohlen der Grünteile, d.h. einen Entzug von Kohlenstoff aus den Grünteilen, bewirkt.

Figur 2B zeigt analog zu Figur 2A eine schematische

Seitenansicht, vorzugsweise eine Unterseite des in Figur 2A dargestellten Trägers.

Die in Figur 2A und 2B dargestellten auf dem Träger 2

angeordneten Grünteile 1 werden vorzugsweise gemeinsam der Gasströmung 6 ausgesetzt beziehungsweise entkohlt. Dies erfolgt zweckmäßigerweise in einem Entkohlungsofen (nicht explizit dargestellt) . Ein weiterer Träger 2, auf dessen Auflagebereichen analog zur den Figuren 2A und 2B Grünteile 1 angeordnet sind kann anschließend analog in dem

Entkohlungsofen angeordnet werden, um die entsprechenden Grünteile der Gasströmung auszusetzen.

Figur 3A zeigt ein System 100 mit einem ersten Träger 2a und einem zweiten Träger 2b. Die Träger 2a, 2b entsprechen vorzugsweise den bisher beschriebenen Ausführungsformen des Trägers. Die Träger 2a, 2b sind gleichartig ausgebildet. Die Träger 2a, 2b sind derart relativ zueinander angeordnet, dass die Zwischenräume 5 beider Träger 2a, 2b durch die

Auflagebereiche 3 des jeweils anderen Trägers 2b, 2a

ausgefüllt sind. Der erste Träger 2a und der zweite Träger 2b sind dabei in einer Richtung senkrecht zu der Längsrichtung X der Grünteile 1 versetzt zueinander angeordnet. Bei dieser Anordnung beträgt der Abstand Y zwischen einem Auflagebereich des ersten Trägers 2a und einem benachbarten Auflagebereich des zweiten Träger 2b circa ein Sechstel der Breite eines Grünteils 1.

Der erste Träger 2a und der zweite Träger 2b sind in Figur 3A derart angeordnet, dass der erste oder der zweite Träger 2a, 2b eine Positivform und der jeweils andere Träger 2b, 2a eine der Positivform entsprechende Negativform des Systems 100 bildet . Figur 3B zeigt eine schematische Seitenansicht gemäß der in Figur 3A dargestellten Aufsicht. Alternativ zu den beschriebenen Ausführungsformen können der oder die Träger auch derart ausgebildet sein, dass sie eine größere Anzahl von Auflagebereichen und Zwischenräumen aufweisen .

Der erste und der zweite Träger können ebenfalls andersartig ausgebildet sein, beispielsweise komplementär zueinander oder derart, dass die Breiten der Auflagebereiche des einen

Trägers kleiner sind als die Zwischenräume des anderen

Trägers.

Vorzugsweise sind die Auflagebereiche derart ausgebildet, dass der Abstand der Auflagebereiche nur gerade soviel größer ist als die Breite der Auflagebereiche, dass ein

Ineinanderschieben oder Ineinanderanordnen der Träger 2a und 2b möglich ist.

Die wie oben beschrieben entkohlten Grünteile 1 (vgl. Figur 2A und 2B) können nach dem Entkohlen in einem gemeinsamen Prozessschritt gemäß der in Figur 3A und 3B gezeigten

Anordnung gesintert werden. Das in Figur 3A und 3B

dargestellte System 100 beschreibt vorzugsweise eine

Anordnung der Träger 2a und 2b, gemäß welcher die Grünteile 1 in einem Sinterofen (nicht dargestellt) für die Sinterung angeordnet werden.

Die Erfindung ist nicht durch die Beschreibung anhand der Ausführungsbeispiele beschränkt. Vielmehr umfasst die

Erfindung jedes neue Merkmal sowie jede Kombination von

Merkmalen was insbesondere jede Kombination von Merkmalen in den Patentansprüchen beinhaltet, auch wenn dieses Merkmal oder diese Kombination selbst nicht explizit in den

Patentansprüchen oder Ausführungsbeispielen angegeben ist.

100 System X Längsachse