Durchführung des Verfahrens

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Behandlung von Objek ten sowie eine Behandlungsvorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfahrens.

Eine Behandlung der Oberflächen von Objekten mittels einer Be handlungslösung kommt in unterschiedlichen technischen Gebie ten zum Einsatz. So werden beispielsweise in der Solarzellen industrie unter anderem nasschemische Ätzverfahren für die Be handlung von Waferoberflächen genutzt.

Die Behandlung der Oberflächen von Objekten kann zum Beispiel in Form einer Tauchbehandlung realisiert werden, wobei eine bestimmte Anzahl von Objekten in ein mit der Behandlungslösung gefülltes Becken eingetaucht wird und dort für eine vorgegeben Zeitdauer verweilt. Hierbei handelt es sich um ein sogenanntes Batch-Verfahren .

Eine weitere Möglichkeit ist die Behandlung der Objekte mit tels eines sogenannten Inline-Verfahrens . Dabei werden die Ob jekte auf einer Transportvorrichtung durch ein Becken trans portiert, wobei die Behandlung der Objekte mittels der Behand lungslösung während des Transports der Objekte durch das Be cken stattfindet. Im Gegensatz zu Batch-Verfahren, bei denen Objekte systembedingt normalerweise beidseitig behandelt wer den, sind bei Inline-Verfahren auf verschiedene Weise einsei tige Behandlungen von Objekten realisierbar.

Sowohl bei Batch- als auch bei Inline-Verfahren kann die Qua lität des Behandlungsergebnisses unter anderem von der Tempe- ratur und/oder der chemischen Zusammensetzung der Behandlungs lösung im Bereich der zu behandelnden Objekte abhängen. Kommt es an den Objekten zum Beispiel zu einem Wärmestau und/oder zu einer Übersättigung mit Reaktionsprodukten, kann dies negative Auswirkungen auf die Qualität des Behandlungsergebnisses ha ben. Bei einem Ätzverfahren kann es in solch einem Fall bei spielsweise zu einer Verringerung der Ätzrate kommen.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, bei einer Be handlung von Objekten, insbesondere bei einer einseitigen Be handlung von Objekten, eine bessere Qualität des Behandlungs ergebnisses zu ermöglichen.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein Verfahren nach Anspruch 1 sowie durch eine Behandlungsvorrichtung nach Anspruch 6.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zur Behandlung von Objek ten ist vorgesehen, dass

- zu behandelnde Objekte mittels einer Transportvorrichtung durch ein Becken transportiert werden;

- mittels wenigstens einer mit nach oben gerichteten Aus

trittsöffnungen versehenen Zuführeinrichtung Behandlungslö sung in das Becken eingeleitet wird und die Behandlungslösung dabei mittels der nach oben gerichteten Austrittsöffnungen unter Ausbildung von Behandlungslösungsstrahlen nach oben ab gestrahlt wird;

- wobei die Objekte oberhalb der nach oben gerichteten Aus trittsöffnungen durch das Becken transportiert werden und

- während des Transports der Objekte durch das Becken eine nach unten weisende Oberfläche der Objekte mit den Behand lungslösungsstrahlen in Kontakt gebracht wird. Die erfindungsgemäße Behandlungsvorrichtung umfasst

- ein Becken, in welchem eine Behandlungslösung anordenbar ist ;

- eine Transportvorrichtung, mittels welcher zu behandelnde Objekte in einer Transportrichtung durch das Becken transpor tierbar sind;

- wenigstens eine in dem Becken angeordnete Zuführeinrichtung, mittels welcher Behandlungslösung in das Becken einleitbar ist ;

- wobei die wenigstens eine Zuführeinrichtung nach oben ge richtete Austrittsöffnungen zum nach oben Abstrahlen der Be handlungslösung aufweist.

Dadurch, dass mittels der wenigstens einen Zuführeinrichtung Behandlungslösung unter Ausbildung von Behandlungslösungs strahlen nach oben abgestrahlt wird, lässt sich erreichen, dass an zu behandelnden Objekten, die - wie es bei einem ein seitigen Behandlungsverfahren oftmals der Fall ist - oberhalb der wenigstens Zuführeinrichtung transportiert werden, frische bzw. unverbrauchte Behandlungslösung für die Behandlung der Objekte zur Verfügung steht. Ein Wärmestau und/oder eine Über sättigung mit Reaktionsprodukten im Bereich der zu behandeln den Objekte können bzw. kann auf diese Weise vermieden werden, insbesondere weil die über die wenigstens eine Zuführeinrich tung ins Becken eingebrachte Behandlungslösung Wärme und/oder Reaktionsprodukte abführen kann.

Mit nach unten ausgerichteten Austrittsöffnungen, die eine Ab strahlung von Behandlungslösungsstrahlen in Richtung des Be ckenbodens bewirken, lässt sich dagegen ein Wärmestau und/oder eine Übersättigung mit Reaktionsprodukten im Bereich der zu behandelnden Objekte nicht hinreichend effektiv vermeiden. Die Formulierung, dass die Objekte durch das Becken transpor tiert werden, bedeutet weder, dass sich eine Oberfläche der Objekte vollständig unterhalb eines Flüssigkeitsspiegels einer in dem Becken angeordneten Behandlungslösung befinden muss, noch, dass sich deren Oberfläche vollständig unterhalb eines Beckenrandes des Beckens befinden muss. Teile der Objektober fläche oder die gesamte Objektoberfläche können somit grund sätzlich oberhalb des Beckenrandes des Beckens oder des Flüs sigkeitsspiegels der Behandlungslösung zu liegen kommen oder transportiert werden.

Des Weiteren bedeutet die Formulierung, dass die Behandlungs lösungsstrahlen nach oben abgestrahlt werden, nicht notwendi gerweise, dass die Behandlungslösungsstrahlen entlang der Ver tikalen abgestrahlt werden. Grundsätzlich können die nach oben abgestrahlten Behandlungslösungsstrahlen mit einer Abweichung gegenüber der Vertikalen nach oben abgestrahlt werden. Vor zugsweise beträgt die Abweichung maximal 40°, besonders bevor zugt maximal 35°.

Unter „nach oben gerichteten Austrittsöffnungen" sind Aus trittsöffnungen zu verstehen, die so angeordnet sind, dass ein Fluid, wie zum Beispiel die Behandlungslösung, durch diese Austrittsöffnungen nach oben - gegebenenfalls mit einer Abwei chung des zuvor genannten Ausmaßes gegenüber der Vertikalen - austreten kann.

Bei den zu behandelnden Objekten kann es sich zum Beispiel um Substrate, insbesondere um Wafer für die Solarzellen- und/oder Halbleiterindustrie , handeln. Die zu behandelnden Objekte haben vorzugsweise eine vorgege bene Breite. Besonders bevorzugt ist es, wenn alle zu behan delnden Objekte die gleiche Breite aufweisen. Dies ermöglicht eine aufwandsgünstige Prozessierung der Objekte.

Unter der Breite eines Objekts ist dessen Erstreckung in der Transportebene sowie senkrecht zur Transportrichtung zu ver stehen, wobei unter dem Begriff „Transportebene" eine Ebene zu verstehen ist, in welcher die Objekte mittels der Transport vorrichtung transportiert werden.

Vorteilhafterweise werden die Objekte mittels der Transport vorrichtung entlang einer horizontalen Transportrichtung transportiert .

Beim Transport der Objekte durch das Becken ist das Becken vorzugsweise bis zu der nach unten weisenden Oberfläche der Objekte oder darüber hinaus mit der Behandlungslösung gefüllt.

Die Behandlung der Objekte kann insbesondere eine einseitige Behandlung sein, bei welcher die nach unten weisende Oberflä che der Objekte mit der Behandlungslösung behandelt wird. An ders ausgedrückt, das Verfahren zur Behandlung der Objekte kann ein Verfahren zur einseitigen Behandlung der nach unten weisenden Oberfläche der Objekte sein. Bei einer solchen Be handlung wird die nach oben weisende Oberfläche der Objekte vorzugsweise nicht, oder zumindest nicht gezielt, mit der Be handlungslösung in Kontakt gebracht.

In dem Fall, dass es sich bei der Behandlung um eine einsei tige Behandlung handelt, ist vorzugsweise vorgesehen, dass die Transportvorrichtung derart angeordnet und ausgebildet ist und das Becken derart mit der Behandlungslösung gefüllt ist, dass beim Transport nur die nach unten weisende Oberfläche der Ob jekte mit der Behandlungslösung in Kontakt kommt.

Ferner kann die Behandlung der Objekte beispielsweise eine Ätzbehandlung sein. In diesem Fall handelt es sich bei der Be handlungslösung zweckmäßigerweise um eine Ätzlösung. Die Be handlung kann insbesondere derart erfolgen, dass bei der Be handlung ein Ätzabtrag von mindestens 3 pm, vorzugsweise min destens 5 pm, besonders bevorzugt mindestens 6 pm, an dem je weiligen Objekt erzielt wird.

In einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung erfolgt die Behandlung der Objekte unter Ausbildung eines Meniskus der Be handlungslösung an der nach unten weisenden Oberfläche der Ob jekte .

Vorteilhafterweise wird während des Transports der Objekte durch das Becken ein jeder Punkt der nach unten weisenden Oberfläche der Objekte derart mit den Behandlungslösungsstrah len in Kontakt gebracht, dass nach Durchlaufen des Beckens je der Punkt der nach unten weisenden Oberfläche der Objekte gleich lange und eventuell gleich oft mit den Behandlungslö sungsstrahlen behandelt worden ist. Dadurch kann ein homogenes Behandlungsergebnis auf der nach unten weisenden Oberfläche der Objekte erzielt werden.

In bevorzugter Weise werden die Behandlungslösungsstrahlen in bereits in dem Becken enthaltener Behandlungslösung ausgebil det. Die Behandlungslösungsstrahlen bewirken dabei vorteilhaf terweise eine Umwälzung der bereits in dem Becken enthaltenen Behandlungslösung . Beim Durchtritt durch die bereits in dem Becken enthaltene Be handlungslösung können sich die Behandlungslösungsstrahlen ke gelförmig aufweiten. In diesem Fall kann die Formulierung, dass die Behandlungslösung mittels der nach oben gerichteten Austrittsöffnungen unter Ausbildung von Behandlungslösungs strahlen nach oben abgestrahlt wird, so verstanden werden, dass die Kegelachse des jeweiligen abgestrahlten Behandlungs lösungsstrahls eine Abweichung von vorzugsweise maximal 40°, besonders bevorzugt maximal 35°, gegenüber der Vertikalen auf weist.

Bei einer vorteilhaften Ausführungsvariante ist die wenigstens eine Zuführeinrichtung als Rohr-in-Rohr-System mit einem äuße ren Rohr und einem in dem äußeren Rohr angeordneten inneren Rohr ausgebildet. Die Behandlungslösung wird bei dieser Aus führungsvariante vorteilhafterweise über nach unten gerichtete Austrittsöffnungen des inneren Rohrs in das äußere Rohr einge leitet. Ferner werden die Behandlungslösungsstrahlen vorteil hafterweise aus dem äußeren Rohr nach oben in das Becken abge strahlt .

Nach unten gerichtete Austrittsöffnungen des inneren Rohrs er möglichen es, dass sich gasblasenreiche Behandlungslösung im oberen Teil des inneren Rohrs sammeln kann. Von dort kann die gasblasenreiche Behandlungslösung oder gezielt nur das ange sammelte Gas aus dem inneren Rohr abgeführt werden, beispiels weise über eine mit dem inneren Rohr verbundene Abführleitung . Auf diese Weise lässt sich erreichen, dass die aus dem inneren Rohr in das äußere Rohr eingeleitete Behandlungslösung gasbla senarm oder gasblasenfrei ist. Dies hat insbesondere bei einer einseitigen Behandlung der Objekte den Vorteil, dass eine Kon taminierung der nach oben weisenden Oberfläche der Objekte mit der Behandlungslösung, die zum Beispiel auf platzende Gasbla sen zurückführbar ist, vermieden werden kann. Durch eine Kombination von nach unten gerichteten Austritts öffnungen bei dem inneren Rohr und nach oben gerichteten Aus trittsöffnungen bei dem äußeren Rohr kann eine „Labyrinthwir kung" erreicht werden, die ein verbessertes Ausströmverhalten der Behandlungslösung aus der wenigstens einen Zuführeinrich tung ermöglicht. Insbesondere kann durch die Einleitung der Behandlungslösung in das äußere Rohr über nach unten gerich tete Austrittsöffnungen des inneren Rohrs und die Abstrahlung der Behandlungslösungsstrahlen aus dem äußeren Rohr eine homo genere Ausströmung der Behandlungslösung aus der wenigstens einen Zuführeinrichtung erzielt werden.

Besonders bevorzugt ist es, wenn das innere Rohr ausschließ lich nach unten gerichtete Austrittsöffnungen zur Einleitung der Behandlungslösung in das äußere Rohr aufweist.

Zweckmäßigerweise ist die wenigstens eine Zuführeinrichtung unterhalb der Transportvorrichtung angeordnet. Vorzugsweise ist die wenigstens eine Zuführeinrichtung horizontal ausge richtet .

Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung erstreckt sich die wenigstens eine Zuführeinrichtung in dem Becken zu mindest abschnittsweise, vorzugsweise vollständig, nicht pa rallel zur Transportrichtung . Mit anderen Worten, es ist vor teilhaft, wenn sich zumindest ein Teilabschnitt der wenigstens einen Zuführeinrichtung nicht parallel zur Transportrichtung erstreckt .

Des Weiteren kann vorgesehen sein, dass die wenigstens eine Zuführeinrichtung zumindest abschnittsweise eine gerade Er streckung aufweist, welche schräg zur Transportrichtung ausge richtet ist. Mit anderen Worten, zumindest ein Teilabschnitt der wenigstens einen Zuführeinrichtung kann eine gerade, schräg zur Transportrichtung ausgerichtete Erstreckung aufwei sen. In bevorzugter Weise erstreckt sich besagte gerade Er streckung über die gesamte Länge der wenigstens einen Zuführ einrichtung .

Vorteilhafterweise sind mittels der nach oben gerichteten Aus trittsöffnungen der wenigstens einen Zuführeinrichtung sich kegelförmig aufweitende Behandlungslösungsstrahlen ausbildbar.

In dem Fall, dass sich besagte gerade Erstreckung über die ge samte Länge der wenigstens einen Zuführeinrichtung erstreckt, ist es vorteilhaft, wenn die gerade Erstreckung in einem Win kel zu der Transportrichtung ausgerichtet ist, für den zu mindest näherungsweise gilt = arcsin ( (B - 2R) /L) . Dabei steht L für die Länge der wenigstens einen Zuführeinrichtung,

B für die Breite der zu behandelnden Objekte und R für den Ra dius der Behandlungslösungsstrahlen auf Höhe der Transport ebene der Transportvorrichtung. Insbesondere mit einer solchen Ausrichtung der wenigstens einen Zuführeinrichtung bezüglich der Transportrichtung kann erreicht werden, dass bei Durchlau fen des Beckens ein jeder Punkt der nach unten weisenden Ober fläche der Objekte gleich lange mit den Behandlungslösungs strahlen behandelt wird.

Der Ausdruck „zumindest näherungsweise" meint dabei, dass exakt gleich arcsin ( (B - 2R) /L) sein kann oder geringfügig, beispielsweise um höchstens 10%, vorzugsweise um höchstens 5%, von diesem Term abweichen kann.

Alternativ kann vorgesehen sein, dass die wenigstens eine Zu führeinrichtung parallel zur Transportebene und senkrecht zur Transportrichtung eine Periodizität aufweist oder Sprünge ent hält. Zum Beispiel kann die wenigstens eine Zuführeinrichtung einen Zick-Zack-Verlauf aufweisen. Auch ist eine „unterbro chene" Ausgestaltung der Zuführeinrichtung möglich, bei der die Zuführeinrichtung mehrere, insbesondere voneinander beab- standete Teilstücke umfasst, die schräg zur Transportrichtung angeordnet sind.

Einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist die wenigstens eine Zuführeinrichtung mehrere nach oben gerichtete Austrittsöffnungen auf, welche in einer Längserstreckungsrich tung der wenigstens einen Zuführeinrichtung beabstandet vonei nander angeordnet sind.

Wie zuvor erwähnt, kann die wenigstens eine Zuführeinrichtung als Rohr-in-Rohr-System ausgebildet sein. In diesem Fall weist das äußere Rohr vorteilhafterweise die nach oben gerichteten Austrittsöffnungen zum nach oben abstrahlen der Behandlungslö sung auf. Das innere Rohr kann in diesem Fall nach unten ge richtete Austrittsöffnungen aufweisen, über welche die Behand lungslösung in das äußere Rohr einleitbar ist.

Zweckmäßigerweise umfasst die Behandlungsvorrichtung mindes tens einen Abstandhalter, der zwischen dem inneren Rohr und dem äußeren Rohr angeordnet ist. Ein solcher Abstandhalter dient vorzugsweise dazu, die beiden Rohre in einem vorgegebe nen Abstand zueinander zu halten. Weiter ist es zweckmäßig, wenn ein Spalt zwischen dem inneren Rohr und dem äußeren Rohr mittels eines oder mehrerer Dichtelemente abgedichtet ist.

Unter einem Rohr ist vorliegend nicht notwendigerweise ein Hohlkörper mit einer kreisrunden Querschnittsform zu verste hen. Das jeweilige Rohr kann beispielsweise eine eckige, ins besondere dreieckige oder viereckige, Querschnittsform oder eine runde, insbesondere kreisrunde, elliptische oder ovale, Querschnittsform aufweisen. Ferner müssen das innere und das äußere Rohr nicht notwendigerweise eine gleichartige Quer schnittsform aufweisen. Zum Beispiel kann das innere Rohr eine runde Querschnittsform aufweisen, während das äußere Rohr eine rechteckige Querschnittsform aufweist.

Insbesondere im Falle einer Ausgestaltung des äußeren Rohrs mit einer rechteckigen Querschnittsform kann das äußere Rohr so breit wie die zu behandelnden Objekte sein und parallel zur Transportrichtung ausgerichtet sein. Die nach oben gerichteten Austrittsöffnungen des äußeren Rohrs können dabei derart ver teilt sein, dass im Betrieb der Vorrichtung bzw. bei der

Durchführung des Verfahrens die nach unten weisende Oberfläche der Objekte durch die Behandlungslösungsstrahlen gleichmäßig mit der Behandlungslösung beaufschlagt wird.

Zusätzlich zu den nach oben gerichteten Austrittsöffnungen kann die wenigstens eine Zuführeinrichtung nach unten gerich tete und/oder seitliche Austrittsöffnungen zum nach unten Ab strahlen und/oder zum seitlichen Abstrahlen der Behandlungslö sung aufweisen. Dies ermöglicht eine gleichmäßigere Umwälzung der Behandlungslösung im Becken. Im Falle einer Ausgestaltung der wenigstens einen Zuführeinrichtung als Rohr-in-Rohr-System kann insbesondere das äußere Rohr diese nach unten gerichteten und/oder seitlichen Austrittsöffnungen aufweisen.

Unter „nach unten gerichteten Austrittsöffnungen" sind Aus trittsöffnungen zu verstehen, die so angeordnet sind, dass ein Fluid, wie zum Beispiel die Behandlungslösung, durch diese Austrittsöffnungen nach unten - gegebenenfalls mit einer Ab weichung gegenüber der Vertikalen - austreten kann. Vorzugs weise beträgt die Abweichung maximal 40°, besonders bevorzugt maximal 35 ⁰ . Unter „seitlichen Austrittsöffnungen" sind Austrittsöffnungen zu verstehen, die so angeordnet sind, dass ein Fluid, wie zum Beispiel die Behandlungslösung, durch diese Austrittsöffnungen seitlich - gegebenenfalls mit einer Abweichung gegenüber der Horizontalen - austreten kann. Vorzugsweise beträgt die Abwei chung dabei maximal 40°, besonders bevorzugt maximal 35°.

Bei einer vorteilhaften Ausführungsform weist die wenigstens eine Zuführeinrichtung mehrere schräg oder senkrecht zur

Transportrichtung nebeneinander angeordnete nach oben ausge richtete Austrittsöffnungen zum nach oben Abstrahlen der Be handlungslösung auf. Auf diese Weise kann eine räumlich weiter ausgedehnte Abstrahlung der Behandlungslösung ins Becken und damit eine gleichmäßigere Umwälzung der Behandlungslösung im Becken erreicht werden. Im Falle einer Ausgestaltung der we nigstens einen Zuführeinrichtung als Rohr-in-Rohr-System kann insbesondere das äußere Rohr diese schräg oder senkrecht zur Transportrichtung nebeneinander angeordneten Austrittsöffnun gen aufweisen.

In bevorzugter Weise umfasst die Transportvorrichtung mehrere in Transportrichtung hintereinander angeordnete Transportrol len. Ferner ist es bevorzugt, wenn die wenigstens eine Zuführ einrichtung unterhalb der Transportrollen der Transportvor richtung angeordnet ist.

Vorteilhafterweise sind die nach oben gerichteten Austritts öffnungen der wenigstens einen Zuführeinrichtung, bezogen auf die Transportrichtung, an den Positionen der Transportrollen angeordnet. Das heißt, von oben betrachtet sind die Austritts öffnungen der wenigstens einen Zuführeinrichtung durch die Transportrollen verdeckt. Auf diese Weise kann erreicht wer den, dass die Transportrollen von den Behandlungslösungsstrah len zumindest abschnittsweise umströmt werden, wodurch eine bessere Umwälzung der Behandlungslösung im Bereich der Trans portrollen erreicht werden kann.

Die Transportrollen der Transportvorrichtung können insbeson dere derart angeordnet sein, dass deren oberster Punkt jeweils auf Höhe des Beckenrands angeordnet ist.

Zweckmäßigerweise weist die Behandlungsvorrichtung eine Ver sorgungseinrichtung zum Einleiten der Behandlungslösung in die wenigstens eine Zuführeinrichtung auf. Die Versorgungseinrich tung kann unter anderem eine mit der wenigstens einen Zuführ einrichtung verbundene Versorgungsleitung umfassen. Im Falle einer Ausgestaltung der wenigstens einen Zuführeinrichtung als Rohr-in-Rohr-System kann insbesondere das innere Rohr mit der Versorgungsleitung verbunden sein.

Bei einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weist die Behandlungsvorrichtung eine Entgasungsvorrichtung zum Entfer nen von Gasblasen und/oder gasblasenreicher Behandlungslösung aus der wenigstens einen Zuführeinrichtung auf. Die Entga sungsvorrichtung kann unter anderem eine Abführleitung aufwei sen, welche mit der wenigstens einen Zuführeinrichtung verbun den ist. Im Falle einer Ausgestaltung der wenigstens einen Zu führeinrichtung als Rohr-in-Rohr-System kann insbesondere das innere Rohr mit der Abführleitung verbunden sein.

Mittels der Entgasungsvorrichtung kann bei der Durchführung des Verfahrens gasblasenreiche Behandlungslösung oder gezielt nur das angesammelte Gas aus der wenigstens einen Zuführein richtung abgeführt werden. Wird gasblasenreiche Behandlungslö sung aus der wenigstens einen Zuführeinrichtung abgeführt, kann nach einer Entfernung der Gasblasen aus der gasblasenrei chen Behandlungslösung die Behandlungslösung wieder in die we nigstens eine Zuführeinrichtung eingeleitet werden. Vorteilhafterweise ist die Behandlungsvorrichtung dazu einge richtet, die zu behandelnden Objekte in mehreren Spuren neben einander entlang der Transportrichtung zu transportieren.

Dadurch lässt sich ein hoher Durchsatz mit der Behandlungsvor richtung erreichen. Die Behandlungsvorrichtung kann zum Bei spiel derart ausgebildet sein, dass sie einen Durchsatz von mindestens 500 Objekten pro Spur und Stunde, vorzugsweise min destens 700 Objekten pro Spur und Stunde, besonders bevorzugt mindestens 900 Objekten pro Stunde, realisieren kann. Bei spielsweise kann die Behandlungsvorrichtung dazu eingerichtet sein, die zu behandelnden Objekte in fünf Spuren nebeneinander entlang der Transportrichtung zu transportieren und einen Durchsatz von 1000 Objekten pro Spur und Stunde zu realisie ren .

Die wenigstens eine Zuführeinrichtung kann eine von mehreren, insbesondere baugleich ausgebildeten Zuführeinrichtungen sein. Ferner kann die Behandlungsvorrichtung für jede Spur jeweils eine eigene Zuführeinrichtung aufweisen.

Vorteilhafterweise ist jede der Zuführeinrichtungen an die zu vor erwähnte Abführleitung der Entgasungsvorrichtung ange schlossen. Des Weiteren ist es zweckmäßig, wenn jede der Zu führeinrichtungen an die zuvor erwähnte Versorgungsleitung der Versorgungseinrichtung angeschlossen ist.

Im Weiteren wird die Erfindung anhand von Figuren näher erläu tert. Soweit zweckdienlich, sind hierbei gleiche oder gleich wirkende Elemente mit gleichen Bezugszeichen versehen. Die Er findung ist nicht auf die in den Figuren dargestellten Ausfüh rungen beschränkt - auch nicht in Bezug auf funktionale Merk male. Die bisherige Beschreibung und die nachfolgende Figuren- beschreibung enthalten zahlreiche Merkmale, die in den abhän gigen Ansprüchen teilweise zu mehreren zusammengefasst wieder gegeben sind. Diese Merkmale wird der Fachmann jedoch auch einzeln betrachten und zu sinnvollen weiteren Kombinationen zusammenfügen. Insbesondere sind diese Merkmale jeweils ein zeln und in beliebiger geeigneter Kombination mit dem erfin dungsgemäßen Verfahren und/oder der erfindungsgemäßen Behand lungsvorrichtung kombinierbar.

Es zeigen:

Figur 1 ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Be handlungsvorrichtung zur Durchführung des erfindungs gemäßen Verfahrens in einer Draufsicht;

Figur 2 einen Schnitt durch die Behandlungsvorrichtung ent lang der Schnittebene A-A aus Figur 1;

Figur 3 eine Draufsicht einer Zuführeinrichtung der Behand- lungs _V orrichtung;

Figur 4 eine Seitenansicht der Zuführeinrichtung aus Figur 3;

Figur 5 einen Schnitt durch die Zuführeinrichtung entlang der

Schnittebene B-B aus Figur 4 (Längsschnitt);

Figur 6 einen Schnitt durch die Zuführeinrichtung entlang der

Schnittebene C-C aus Figur 4 (Querschnitt);

Figur 7 einen vergrößerten Ausschnitt der Schnittdarstellung aus Figur 5 (Detail-Längsschnitt) . Figur 1 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Behandlungsvorrichtung 1 zur einseitigen Behandlung von Objek ten 2 in einer Ansicht von oben.

Bei den zu behandelnden Objekten 2 (vgl. Figur 2) kann es sich beispielsweise um Substrate, insbesondere um Wafer für die So larzellen- und/oder Halbleiterindustrie, handeln, wobei die Objekte 2 in Figur 1 einer besseren Übersichtlichkeit halber nicht dargestellt sind.

Die Behandlungsvorrichtung 1 umfasst ein Becken 3 zur Aufnahme einer Behandlungslösung 4, wie zum Beispiel einer Ätzlösung (vgl. Figur 2) . Ferner umfasst die Behandlungsvorrichtung 1 eine Transportvorrichtung 5, mittels welcher die zu behandeln den Objekte 2 entlang einer horizontalen Transportrichtung 6 durch das Becken 3 transportierbar sind.

Des Weiteren ist die Behandlungsvorrichtung 1 dazu eingerich tet, die zu behandelnden Objekte 2 mittels der Transportvor richtung 5 in mehreren Spuren 7 nebeneinander entlang der Transportrichtung 6 zu transportieren. In Figur 1 kennzeichnen gestrichelte Linien die seitlichen Ränder der jeweiligen Spur 7.

Wie aus Figur 1 ersichtlich ist, umfasst die Transportvorrich tung 5 mehrere in Transportrichtung 6 hintereinander angeord nete Transportrollen 8 zum Transportieren der Objekte 2. Die Transportrollen 8 sind senkrecht zur Transportrichtung 6 aus gerichtet und vorzugsweise äquidistant zueinander angeordnet.

Außerdem weist die Behandlungsvorrichtung 1 mehrere Zuführein richtungen 9 auf, mittels welcher Behandlungslösung 4 in das Becken 3 einleitbar ist. Die Zuführeinrichtungen 9 sind unter- halb der Transportrollen 8 angeordnet. Zudem sind die Zuführ einrichtungen 9 vorzugsweise auf gleicher Höhe, parallel zuei nander sowie äquidistant zueinander angeordnet. Für jede der Spuren 7 weist die Behandlungsvorrichtung 1 jeweils eine ei gene Zuführeinrichtung 9 auf. Da die Behandlungsvorrichtung 1 im vorliegenden Ausführungsbeispiel dazu eingerichtet ist, die zu behandelnden Objekte 2 mittels der Transportvorrichtung 5 in fünf Spuren 7 nebeneinander zu transportieren, weist die Behandlungsvorrichtung 1 entsprechend fünf Zuführeinrichtungen 9 auf .

Die jeweilige Zuführeinrichtung 9 weist eine gerade Erstre ckung 10 auf, die sich über die gesamte Länge L der jeweiligen Zuführeinrichtung 9 erstreckt (vgl. Figuren 3 bis 5), und ist schräg zur Transportrichtung 6 ausgerichtet. Zudem ist jede der Zuführeinrichtungen 9 als Rohr-in-Rohr-System mit einem äußeren Rohr 11 und einem in dem äußeren Rohr 11 angeordneten inneren Rohr 12 ausgebildet (vgl. Figuren 5 bis 7) .

Das äußere Rohr 11 der jeweiligen Zuführeinrichtung 9 weist mehrere nach oben ausgerichtete Austrittsöffnungen 13 zum nach oben Abstrahlen der Behandlungslösung 4 auf (vgl. insbesondere Figuren 3, 4, 6 und 7) . Die Austrittsöffnungen 13 sind je weils, bezogen auf die Transportrichtung 6, an den Positionen der Transportrollen 8 angeordnet, wobei das jeweilige äußere Rohr 11 bei jeder Transportrolle 8 mehrere nebeneinander ange ordnete nach oben ausgerichtete Austrittsöffnungen 13 auf weist. Da die Transportrollen 8 oberhalb der Zuführeinrichtun gen 9 angeordnet sind, sind die Austrittsöffnungen 13 des je weiligen äußeren Rohrs 11 in Figur 1 durch die Transportrollen 8 verdeckt und somit nicht sichtbar. Das innere Rohr 12 der jeweiligen Zuführeinrichtung 9 weist mehrere nach unten ausge richtete Austrittsöffnungen 14 zum Einleiten der Behandlungs lösung 4 in das zugehörige äußere Rohr 11 auf (vgl. Figur 7) . Weiter umfasst die Behandlungsvorrichtung 1 eine Versorgungs einrichtung 15 zum Einleiten der Behandlungslösung 4 in das innere Rohr 12 der jeweiligen Zuführeinrichtung 9. Die Versor gungseinrichtung 15 umfasst eine Versorgungsleitung 16, an welche die Zuführeinrichtungen 9, genauer gesagt die inneren Rohre 12 der Zuführeinrichtungen 9, jeweils mittels einer An schlusseinheit 17 angeschlossen sind (vgl. Figur 2) .

Darüber hinaus umfasst die Behandlungsvorrichtung 1 eine Ent gasungsvorrichtung 18 zum Entfernen von Gasblasen und/oder gasblasenreicher Behandlungslösung aus den Zuführeinrichtungen 9. Die Entgasungsvorrichtung 18 weist eine Abführleitung 19 auf, an welche die Zuführeinrichtungen 9, genauer gesagt die inneren Rohre 12 der Zuführeinrichtungen 9, jeweils mittels einer Anschlusseinheit 20 angeschlossen sind (vgl. Figur 2) .

Figur 2 zeigt einen Schnitt durch die Behandlungsvorrichtung 1 entlang der Schnittebene A-A aus Figur 1.

Aus Figur 2 ist ersichtlich, dass die Transportrollen 8 der Transportvorrichtung 5 auf gleicher Höhe angeordnet sind. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel sind die Transportrollen 8 derart angeordnet, dass deren oberster Punkt jeweils auf Höhe eines Beckenrands 21 des Beckens 3 angeordnet ist. Das heißt, die Transportebene 22, in welcher die Objekte 2 mittels der Transportvorrichtung 5 transportiert werden, befindet sich auf Höhe des Beckenrands 21. Dadurch wird erreicht, dass auf den Transportrollen 8 transportierte Objekte 2 nur an ihrer nach unten weisenden Oberfläche 23 mit der Behandlungslösung 4, mit welcher das Becken 3 bis zu seinem Beckenrand 21 gefüllt ist, in Kontakt kommen. Die Behandlung der Objekte 2 mittels der Behandlungslösung 4 erfolgt während des Transports der Objekte 2 durch das Becken 3. Bei der Behandlung kommen die Objekte 2 an ihrer nach unten weisenden Oberfläche 23 mit der Behandlungslösung 4 in Kon takt .

Über die Versorgungsleitung 16 der Versorgungseinrichtung 15 wird Behandlungslösung 4 in die inneren Rohre 12 der Zuführ einrichtungen 9 eingeleitet. Aus dem inneren Rohr 12 der je weiligen Zuführeinrichtung 9 wird die Behandlungslösung 4 über dessen nach unten gerichteten Austrittsöffnungen 14 in das zu gehörige äußere Rohr 11 eingeleitet. Aus dem äußeren Rohr 11 der jeweiligen Zuführeinrichtung 9 wiederum wird die Behand lungslösung 4 über dessen nach oben gerichtete Austrittsöff nungen 13 unter Ausbildung von Behandlungslösungsstrahlen 24, von denen in Figur 2 exemplarisch einige schematisch darge stellt sind, nach oben abgestrahlt.

Die Behandlungslösungsstrahlen 24 bilden sich in der bereits in dem Becken 3 enthaltenen Behandlungslösung 4 und kommen mit den zu behandelnden Objekten 2 in Kontakt. Beim Durchtritt durch die bereits in dem Becken 3 enthaltene Behandlungslösung 4 weiten sich die Behandlungslösungsstrahlen 24 kegelförmig auf .

Wie zuvor erwähnt ist die jeweilige Zuführeinrichtung 9 schräg zur Transportrichtung 6 ausgerichtet. Für den Winkel , in dem die jeweilige Zuführeinrichtung 9 zur Transportrichtung 6 steht, gilt zumindest näherungsweise = arcsin ( (B - 2R) /L) , wobei L die Länge der jeweiligen Zuführeinrichtung 9 ist, B die Breite der zu behandelnden Objekte 2 ist und R der Radius der Behandlungslösungsstrahlen 24 auf Höhe der Transportebene 22 ist. Insbesondere durch eine solche Ausrichtung der Zuführ einrichtungen 9 relativ zur Transportrichtung 6 kann erreicht werden, dass während des Transports der Objekte 2 durch das Becken 3 ein jeder Punkt der nach unten weisenden Oberfläche 23 der Objekte 2 derart mit den Behandlungslösungsstrahlen 24 in Kontakt gebracht wird, dass nach Durchlaufen des Beckens 3 jeder Punkt der nach unten weisenden Oberfläche 23 der Objekte 2 gleich lange mit den Behandlungslösungsstrahlen 24 behandelt worden ist .

Gasblasen, die in der den inneren Rohren 12 der Zuführeinrich tungen 9 zugeleiteten Behandlungslösung 4 enthalten sind, sam meln sich im oberen Teil des jeweiligen inneren Rohrs 12. Über die mit den inneren Rohren 12 der Zuführeinrichtung 9 verbun dene Abführleitung 19 der Entgasungsvorrichtung 18 kann gas blasenreiche Behandlungslösung oder gegebenenfalls nur das an gesammelte Gas abgeführt werden. Über die nach unten gerichte ten Austrittsöffnungen 14 des jeweiligen inneren Rohrs 12 tritt nur gasblasenarme oder gasblasenfreie Behandlungslösung 4 in das zugehörige äußere Rohr 11 aus, sodass aus Letzterem nur gasblasenarme oder gasblasenfreie Behandlungslösung 4 nach oben abgestrahlt wird. Auf diese Weise wird der Eintrag von Gasblasen in die im Becken 3 befindliche Behandlungslösung 4 vermieden oder zumindest reduziert.

Figur 3 zeigt exemplarisch eine Draufsicht einer der Zuführ einrichtungen 9 der Behandlungsvorrichtung 1. Da die Zuführ einrichtungen 9 der Behandlungsvorrichtung 1 zueinander bau gleich ausgebildet sind, gelten die nachfolgenden Ausführungen analog auch für die anderen Zuführeinrichtungen 9 der Behand lungsvorrichtung 1.

In Figur 3 sind die nach oben gerichteten Austrittsöffnungen 13 der dargestellten Zuführeinrichtung 9, genauer gesagt ihres äußeren Rohrs 11 (vgl. Figur 5), sichtbar. Die nach oben ge richteten Austrittsöffnungen 13 der Zuführeinrichtung 9 sind, wie aus Figur 3 ersichtlich ist, in Längserstreckungsrichtung 25 der Zuführeinrichtung 9 im Wesentlichen über die gesamte Länge L der Zuführeinrichtung 9 verteilt.

Ferner sind in Figur 3 zwei Anschlusseinheiten 17, 20 abgebil det, mittels welcher die Zuführeinrichtung 9 in der Behand lungsvorrichtung 1 an die Abführleitung 19 der Entgasungsvor richtung 18 bzw. an die Versorgungsleitung 16 der Versorgungs einrichtung 15 angeschlossen ist. Die Anschlusseinheit 20, mittels welcher die Zuführeinrichtung 9 an die Abführleitung 19 der Entgasungsvorrichtung 18 angeschlossen ist, ist in Fi gur 3 am rechten Ende der Zuführeinrichtung 9 angeordnet, wo hingegen die Anschlusseinheit 17, mittels welcher die Zuführ einrichtung 9 an die Versorgungsleitung 16 der Versorgungsein richtung 15 angeschlossen ist, am linken Ende der Zuführein richtung 9 angeordnet ist.

Figur 4 zeigt eine Seitenansicht der Zuführeinrichtung 9 aus Figur 3. Außerdem sind in Figur 4 auch noch die beiden besag ten Anschlusseinheiten 17, 20 dargestellt.

Ferner sind in Figur 4 zwei Schnittebenen ( Schnittebenen B-B und C-C) eingezeichnet, auf welche sich die Schnittdarstellun gen der Figuren 5 bis 7 beziehen.

Figur 5 zeigt einen Schnitt durch die Zuführeinrichtung 9 aus Figur 3 sowie durch die an dieser Zuführeinrichtung 9 angeord neten Anschlusseinheiten 17, 20 entlang der Schnittebene B-B.

In Figur 5 ist außer dem (in Figur 3 und Figur 4 bereits sichtbaren) äußeren Rohr 11 der Zuführeinrichtung 9 auch deren inneres Rohr 12 sichtbar. Figur 6 zeigt einen Schnitt durch die Zuführeinrichtung 9 aus Figur 3 entlang der Schnittebene C-C.

In Figur 6 sind das äußere Rohr 11 und das innere Rohr 12 der Zuführeinrichtung 9 im Querschnitt abgebildet. Auf der 1-Uhr- Position ist eine der nach oben gerichteten Austrittsöffnungen

13 des äußeren Rohrs 11 zu sehen. Darüber hinaus ist in Fi gur 6 ein zwischen dem inneren Rohr 12 und dem äußeren Rohr 11 angeordneter Abstandshalter 26 sichtbar, der die beiden Rohre 11, 12 der Zuführeinrichtung 9 in einem vorgegebenen Abstand zueinander hält.

Figur 7 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt der Schnittdar stellung aus Figur 5.

In Figur 7 sind ein Teil des inneren Rohrs 12 sowie ein Teil des äußeren Rohrs 11 der Zuführeinrichtung 9 dargestellt, wo bei mehrere der nach unten ausgerichteten Austrittsöffnungen

14 des inneren Rohrs 12 sowie einige der nach oben ausgerich teten Austrittsöffnungen 13 des äußeren Rohrs 11 sichtbar sind .

Durch die nach unten gerichteten Austrittsöffnungen 14 des in neren Rohrs 12 wird die Behandlungslösung 4 unter Separierung von Gasblasen in das äußere Rohr 11, genauer gesagt in den Spalt zwischen dem inneren Rohr 12 und dem äußeren Rohr 11, eingeleitet. Die Gasblasen sammeln sich im oberen Teil des in neren Rohrs 11. Zu den nach oben gerichteten Austrittsöffnun gen 13 gelangt somit gasblasenarme oder gasblasenfreie Behand lungslösung 4.

Die Erfindung wurde anhand des dargestellten Ausführungsbei spiels detailliert beschrieben. Dennoch ist die Erfindung nicht auf oder durch das offenbarte Beispiel beschränkt. An dere Varianten können vom Fachmann aus diesem Ausführungsbei spiel abgeleitet werden, ohne von den der Erfindung zugrunde liegenden Gedanken abzuweichen.

Bezugs zeichenliste

1 BehandlungsVorrichtung

2 Objekt

3 Becken

4 Behandlungslösung

5 TransportVorrichtung

6 Transportriehtung

7 Spur

8 Transportrolle

9 Zuführeinrichtung

10 gerade Erstreckung

11 äußeres Rohr

12 inneres Rohr

13 nach oben gerichtete Austrittsöffnung

14 nach unten gerichtete Austrittsöffnung

15 Versorgungseinrichtung

16 Versorgungsleitung

17 Anschlusseinheit

18 Entgasungseinrichtung

19 Abführleitung

20 Anschlusseinheit

21 Beckenrand

22 Transportebene

23 nach unten weisende Oberfläche

24 Behandlungslösungsstrahl

25 Längserstreckungsriehtung

26 Abstandshalter

L Länge