Mikroelektronische Bauelementanordnung, System mit einer mikroelektronischen Bauelementanordnung und entsprechendes Herstellungsverfahren für eine mikroelektronische Ba uelementanordnung

Die vorliegende Erfindung betrifft eine mikroelektronische Bauelementanordnung, ein System mit einer mikroelektronischen Bauelementanordnung und ein

Herstellungsverfahren für eine mikroelektronische Bauelementanordnung.

Stand der Technik

Thermische Ferninfrarot (FI R) oder Infrarot (I R) Imager, welche insbesondere einen Sensorchip zum Erfassen von Thermographiebildern umfassen, basieren auf einem modularen Aufbau, wobei die einzelnen Komponenten derartiger thermischen Imager in einem Gehäuse verbaut bzw. integriert sind. Derartige thermische Ferninfrarot Imager oder Infrarot Imager umschließen entweder direkt als Sleeve ein Smartphone oder andere mobile Vorrichtungen. Ferner kann der thermische Ferninfrarot Imager als ein Ansteckmodul mit einem Smartphone oder einem anderen mobilen Gerät verbunden sein.

Die US 2014/0253375 AI beschreibt eine Vorrichtung mit einem Infrarot- Bildsensor.

Offenbarung der Erfindung

Die vorliegende Erfindung schafft eine mikroelektronische Bauelementanordnung nach Anspruch 1, ein System mit einer mikroelektronischen

Bauelementanordnung nach Anspruch 7 und ein entsprechendes Herstellungsverfahren für eine mikroelektronische Bauelementanordnung nach Anspruch 9.

Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand der jeweiligen Unteransprüche. Vorteile der Erfindung

Die vorliegende Erfindung ermöglicht es, mikroelektronische

Bauelementanordnungen, die zum Erfassen von Thermographiebildern eingesetzt werden können, auf Waferlevel besonders zeit- und kostensparend herzustellen. Derartige mikroelektronische Bauelementanordnungen können auch als thermal Chip-Scale-Imager bezeichnet werden.

Somit ermöglicht die mikroelektronische Bauelementanordnung eine geringe Baugröße und einfache Systemintegration. Insbesondere kann besonders zeitsparend eine flache mikroelektronische Bauelementanordnung auf Waferlevel hergestellt werden. Ferner kann die mikroelektronische Bauelementanordnung kosteneffizient hergestellt werden, da die einzelnen Komponenten der mikroelektronischen Bauelementanordnung nicht in einzelnen

Herstellungsverfahren, sondern auf Waferlevel hergestellt werden können.

Im vorliegenden Zusammenhang versteht man unter "Waferlevel" ein

Bereitstellen von funktionalen Komponenten, beispielsweise Sensorchip und Auswerteschaltung, als integrale Bestandteile eines Wafers. Dies hat den Vorteil, dass die einzelne mikroelektronische Bauelementanordnung besonders kleinbauend sein kann, da diese keine separat hergestellte

Schaltungskomponenten neben dem Sensorchip benötigen. Der Sensorchip kann insbesondere ein Pixelarray zum Detektieren von FI R und/oder I R- Strahlung umfassen.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung ist zwischen der Linse und dem

Sensorchip ein Vakuum ausgebildet. So lässt sich eine Streuung der infraroten und/oder ferninfraroten Strahlung reduzieren. Insbesondere kann durch eine höhere thermische Entkopplung von einem Imager Pixel eine höhere Sensitivität erreicht werden. Das Vakuum lässt sich beispielsweise durch Silizium- Direktbonden zwischen dem Sensorchip und der Linse konstant halten.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung sind zwischen der Linse und dem Sensorchip eine Kappe und eine Blende angeordnet, wobei sich die Blende zwischen der Linse und der Kappe befindet und entsprechende Seitenflächen der Kappe und Blende zumindest bereichsweise die Spuren des mechanischen Abtrags aufweisen. Das heißt, dass die Seitenflächen der Linse und der Blende bündig mit der Seitenfläche des Sensorchips abschließen können, wobei die Spuren des mechanischen Abtrags insbesondere auf einen

Vereinzelungsprozess zurückführbar sein können. So lässt sich insbesondere eine erforderliche Brennweite zum Sensorchip einfach einstellen.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung beträgt ein Abstand zwischen der Vorderseite des Sensorchips und einer Außenfläche der Linse zwischen 500

Mikrometer und 2,5 Millimeter. Aufgrund der integralen Bauweise basierend auf einem gemeinsamen Wafer, auf welchem der Sensorchip sowie die

Auswerteschaltung und die Linse auf Waferlevel hergestellt werden können, kann eine geringe vertikale Ausdehnung der mikroelektronischen

Bauelementanordnung erzielt werden.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung umfasst der Sensorchip einen Metallspiegel. Somit kann die I R- oder FI R-Strahlung effizient reflektiert werden. Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung umfasst die

Auswerteschaltung an einer dem Sensorchip abgewandten Seite ein BGA. So lässt sich die mikroelektronische Bauelementanordnung in ein System mit weiteren Komponenten, beispielsweise Mikrocontrollern, Speicherbausteinen oder Schaltungskomponenten (Spannungswandler) und/oder Leiterplatten, einfach elektrisch kontaktieren bzw. integrieren.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung umfasst die

mikroelektronische Bauelementanordnung eine oder mehrere Linsen aus Infrarot (I R) und/oder Ferninfrarot (FIR) transparentem Material, wobei die Linsen hinsichtlich einer Referenzebene konvex oder konkav geformt sein können. Die Linsen können beispielsweise Silizium (Si), Germanium (Ge) oder ein anderes geeignetes Halbleitermaterial umfassen. Ferner können die Linsen

beispielsweise Kunststoff und/oder Glas umfassen. Ferner können die Linsen Beschichtungen aufweisen, um beispielsweise eine Reflexion an ihrer Oberfläche zu vermindern, wobei diese Beschichtungen ein- oder doppelseitig auf der Linse aufgebracht werden können.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung umfasst die

mikroelektronische Bauelementanordnung ein Pixelarray zum Erfassen der I R- und/oder FI R-Strahlung. Mit anderen Worten umfasst der Sensorchip an der Vorderseite ein Pixelarray. Hierbei kann es sich insbesondere um ein

Mikrobolometer- Pixelarray handeln. Das Mikrobolometer- Pixelarray kann hierbei auf einem der folgenden thermoelektrischen Wandlerprinzipien basieren: resistiv, PN-Diode oder kapazitiv.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung umfasst die

Auswerteschaltung einen ASIC. Der ASIC kann insbesondere auf einem gemeinsamen Substrat lateral an dem Sensorchip angeschlossen sein oder kann den Sensorchip zumindest bereichsweise umschließen. Alternativ kann der ASIC auf einem gemeinsamen Wafer in vertikaler Richtung unterhalb des Sensorchips angeordnet sein. Der ASIC kann insbesondere auf einem weiteren Substrat angeordnet sein und über ein geeignetes Bondverfahren, beispielsweise SLID (=Solid Liquid Interdiffusion) Bonden, auf Chip- und/oder Waferlevel mit dem Sensorchip verbunden sein. Eine elektrische Kontaktierung der

mikroelektronischen Bauelementanordnung mit beispielsweise weiteren

Komponenten kann beispielsweise über das BGA an einer AS IC- Unterseite, optional über einen Interposer, realisierbar sein.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung erfolgt eine Kommunikation der mikroelektronischen Bauelementanordnung über ein Interface. Für den Einsatz als Interface kommen beispielsweise Inter-Integrated Circuit oder Ethernet in Frage.

Gemäß einer weiteren bevorzugten Weiterbildung umfasst die

mikroelektronische Bauelementanordnung Speicherbauteile, Spannungswandler oder weitere Komponenten. Das Speicherbauteil kann insbesondere eine Komponente eines Smartphones sein.

Die mikroelektronische Bauelementanordnung kann in einem System umfassend einen Interposer oder einer Leiterplatte angeordnet sein. Hierbei kann es sich bei der mikroelektronischen Bauelementanordnung um eine eigenständige in einem separaten Herstellungsverfahren auf Waferlevel hergestellte mikroelektronische Komponente handeln. Mit anderen Worten kann die mikroelektronische

Bauelementanordnung als eine in sich funktionierende Komponente des Systems angesehen werden, wobei mittels des Interposers oder der Leiterplatte zumindest ein Mikrocontroller mit der mikroelektronischen Bauelementanordnung elektrisch kontaktierbar ist.

Gemäß einer bevorzugten Weiterbildung des Systems schirmt ein drehbarer Shutter die mikroelektronische Bauelementanordnung ab und der drehbare Shutter ist auf der Leiterplatte angeordnet. So lässt sich die mikroelektronische Bauelementanordnung während einer Nicht-Inbetriebnahme vor äußeren

Beschädigungen schützen. Insbesondere kann die Linse durch den drehbaren Shutter geschützt werden. Der Shutter kann insbesondere elektrostatisch betrieben werden.

Die hier beschriebenen Merkmale der mikroelektronischen

Bauelementanordnung gelten entsprechend für das System mit einer

mikroelektronischen Bauelementanordnung und für das Herstellungsverfahren für eine mikroelektronische Bauelementanordnung sowie umgekehrt.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Weitere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend anhand von Ausführungsformen mit Bezug auf die Figuren erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische senkrechte Querschnittsansicht zum Erläutern einer mikroelektronischen Bauelementanordnung und eines entsprechenden Herstellungsverfahrens gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; eine schematische senkrechte Querschnittsansicht zum Erläutern einer mikroelektronischen Bauelementanordnung und eines entsprechenden Herstellungsverfahrens gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; weitere schematische senkrechte Querschnittsansichten zum Erläutern einer mikroelektronischen Bauelementanordnung und eines entsprechenden Herstellungsverfahrens gemäß weiterer Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung; eine schematische senkrechte Querschnittsansicht zum Erläutern eines Systems mit einer mikroelektronischen

Bauelementanordnung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; eine weitere schematische senkrechte Querschnittsansicht zum Erläutern eines Systems mit einer mikroelektronischen Bauelementanordnung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; eine weitere schematische senkrechte Querschnittsansicht zum Erläutern eines Systems mit einer mikroelektronischen Bauelementanordnung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; eine weitere schematische senkrechte Querschnittsansicht zum Erläutern eines Systems mit einer mikroelektronischen Bauelementanordnung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;

Fig. 8 eine weitere schematische senkrechte Querschnittsansicht zum

Erläutern eines Systems mit einer mikroelektronischen Bauelementanordnung gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung; und

Fig. 9 ein Flussdiagramm zum Erläutern eines Ablaufs eines

Herstellungsverfahrens für eine mikroelektronische Bauelementanordnung oder eines Systems gemäß der vorliegenden Erfindung.

Ausführungsformen der Erfindung

In den Figuren bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche bzw. funktionsgleiche Elemente.

Fig. 1 ist eine schematische senkrechte Querschnittsansicht zum Erläutern einer mikroelektronischen Bauelementanordnung und eines entsprechenden

Herstellungsverfahrens gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

In Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 100 eine mikroelektronische

Bauelementanordnung mit einem Sensorchip 1 zum Erfassen von

Thermographiebildern. Der Sensorchip 1 umfasst eine Vorderseite VS, eine Rückseite RS und eine Seitenfläche SF, welche die Vorderseite VS mit der Rückseite RS des Sensorchips 1 verbindet.

In der Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen AI ferner eine Auswerteschaltung, wobei die Auswerteschaltung AI an der Rückseite RS des Sensorchips 1 angeordnet ist. Eine Linse LI ist auf der Vorderseite VS des Sensorchips 1 angeordnet und bedeckt diesen. Auf einer dem Sensorchip 1 abgewandten Seite der Auswerteschaltung AI ist ein BGA 10 ausgebildet. In der Fig. 1 fungiert die Linse LI als eine Vakuumverkappung. Die in der Fig. 1 gezeigte Seitenfläche SF des Sensorchips 1 und eine Seitenfläche SA der Auswerteschaltung AI sowie eine Seitenfläche SL der Linse LI weisen zumindest bereichsweise Spuren eines mechanischen Abtrags auf. Die Spuren des mechanischen Abtrags sind insbesondere auf einen Vereinzelungsprozess zurückzuführen, da die in der Fig. 1 gezeigte mikroelektronische Bauelementanordnung 100 auf einem Substrat integriert bzw. auf Waferlevel basierend hergestellt werden kann.

Das Bezugszeichen A bezeichnet einen Abstand zwischen der Vorderseite VS des Sensorchips 1 und einer Außenfläche ALI der Linse LI. Der Abstand A kann zwischen 500 Mikrometer und 2,5 Millimeter betragen.

Fig. 2 ist eine schematische senkrechte Querschnittsansicht zum Erläutern einer mikroelektronischen Bauelementanordnung und eines entsprechenden

Herstellungsverfahrens gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

In Fig. 2 bezeichnen die Bezugszeichen Kl eine Kappe und Bl eine Blende. Die Fig. 2 basiert auf der Fig. 1 mit dem Unterschied, dass zwischen der Linse LI und dem Sensorchip 1 die Kappe Kl und die Blende Bl angeordnet sind, wobei sich die Blende Bl zwischen der Linse LI und der Kappe Kl befindet und entsprechende Seitenflächen der Kappe Kl und der Blende Bl zumindest bereichsweise die Spuren des mechanischen Abtrags aufweisen. Des Weiteren beträgt der Abstand A zwischen der Vorderseite VS des Sensorchips 1 und der Außenfläche ALI der Linse LI zwischen 500 Mikrometer und 2,5 Millimeter.

Fig. 3a - 3c sind weitere schematische senkrechte Querschnittsansichten zum Erläutern einer mikroelektronischen Bauelementanordnung und eines entsprechenden Herstellungsverfahrens gemäß weiterer Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung.

Fig. 3a basiert auf der Fig. 2 mit dem Unterschied, dass die Auswerteschaltung AI nicht an der Rückseite RS des Sensorchips 1, sondern an der Seitenfläche SF des Sensorchips angeordnet ist. Des Weiteren ist das BGA auf einer der Linse abgewandten Seite des Sensorchips 1 und der Auswerteschaltung AI angeordnet.

Die Fig. 3b basiert auf der Fig. 3a mit dem Unterschied, dass die

Auswerteschaltung AI beidseitig an den Seitenflächen SF des Sensorchips 1 angeordnet sind. Ferner kann der Sensorchip 1 auch lateral mit der

Auswerteschaltung AI zumindest bereichsweise umschlossen sein.

Die Fig. 3c basiert auf der Fig. 3b mit dem Unterschied, dass die Kappe Kl, die Blende Bl und die Linse LI den Sensorchip 1 sowie die Auswerteschaltungen AI aus der Fig. 3b bedecken.

Fig. 4 ist eine schematische senkrechte Querschnittsansicht zum Erläutern eines Systems mit einer mikroelektronischen Bauelementanordnung gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Die Fig. 4 basiert auf der in Fig. 2 gezeigten mikroelektronischen

Bauelementanordnung 100 mit dem Unterschied, dass die mikroelektronische Bauelementanordnung 100 als eine eigenständige Komponente eines Systems 110 fungiert. Die mikroelektronische Bauelementanordnung 100 ist durch einen gestrichelten Rahmen gekennzeichnet. Die Fig. 4 basiert hierbei auf der Fig. 2 mit dem Unterschied, dass zwischen dem BGA 10 und der Auswerteschaltung AI ein Interposer II und ein MikroController MCI angeordnet sind. Hierbei ist das BGA 10 an einer Seite des Mikrocontrollers MCI angeordnet, die dem

Sensorchip 1 abgewandt ist. In der Fig. 4 sind somit der Sensorchip 1, die Auswerteschaltung AI, der Interposer II, der Mikrocontroller MCI und das BGA 10 der mikroelektronischen Bauelementanordnung vertikal integriert.

Insbesondere können entsprechende Seitenflächen des Interposers II und des Mikrocontrollers MCI zumindest bereichsweise die Spuren des mechanischen Abtrags aufweisen.

Fig. 5 ist eine weitere schematische senkrechte Querschnittsansicht zum

Erläutern eines Systems mit einer mikroelektronischen Bauelementanordnung gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Die zweite Ausführungsform des Systems 110 mit der mikroelektronischen Bauelementanordnung 100 basiert auf der Fig. 4 mit dem Unterschied, dass der Mikrocontroller MCI mittels des Interposers II lateral zu der mikroelektronischen Bauelementanordnung 100 beabstandet ist. Mit anderen Worten fungiert der Interposer II der Fig. 5 als Träger für den Mikrocontroller MCI und der mikroelektronischen Bauelementanordnung 100. Das BGA 10 ist hierbei auf einer dem Mikrocontroller MCI und der mikroelektronischen

Bauelementanordnung 100 abgewandten Seite des Interposers II durchgehend angeordnet.

Fig. 6 ist eine weitere schematische senkrechte Querschnittsansicht zum

Erläutern eines Systems mit einer mikroelektronischen Bauelementanordnung gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Bei der dritten Ausführungsform weist das System 110 anstelle des Interposers II der Fig. 5 eine Leiterplatte LPl auf, wobei zwischen der mikroelektronischen Bauelementanordnung 100 und der Leiterplatte LPl das BGA 10 ausgebildet ist.

Fig. 7 ist eine weitere schematische senkrechte Querschnittsansicht zum

Erläutern eines Systems mit einer mikroelektronischen Bauelementanordnung gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung

Die vierte Ausführungsform des Systems 110 basiert auf der Fig. 6 mit dem Unterschied, dass auf der Leiterplatte LPl einen drehbaren Shutter Sl aufweist. Der drehbare Shutter Sl kann insbesondere zum Abschirmen der

mikroelektronischen Bauelementanordnung 100 vorgesehen sein. Der Shutter Sl kann insbesondere elektrostatisch betrieben werden.

Fig. 8 ist eine weitere schematische senkrechte Querschnittsansicht zum

Erläutern eines Systems mit einer mikroelektronischen Bauelementanordnung gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

Die fünfte Ausführungsform des Systems 110 basiert auf dem System 110 der Fig. 5 mit dem Unterschied, dass zusätzlich die Auswerteschaltung AI an der Seitenfläche SF des Sensorchips 1 angeordnet ist und auf der der

mikroelektronischen Bauelementanordnung 100 abgewandten Seite des

Interposers II ein zusätzlicher Microcontroller MCI angeordnet ist und der zusätzliche Microcontroller MCI auf einer der mikroelektronischen

Bauelementanordnung 100 abgewandten Seite des zusätzlichen Microcontrollers MCI das BGA 10 angeordnet ist. Fig. 9 zeigt ein Flussdiagramm zum Erläutern eines Ablaufes eines

Herstellungsverfahrens für eine mikroelektronische Bauelementanordnung oder eines Systems mit einer mikroelektronischen Bauelementanordnung.

Die Verfahrensschritte der Fig. 9, die in gestrichelten Kästchen dargestellt sind, sind als optionale Verfahrensschritte zu verstehen.

Wie in der Fig. 9 gezeigt, umfasst das Herstellungsverfahren für die

mikroelektronische Bauelementanordnung 100 die Schritte A, B, C und D. Bei den Verfahrensschritten B', E, F und G handelt es sich um optionale

Verfahrensschritte des Herstellungsverfahrens für die mikroelektronische Bauelementanordnung 100 bzw. des Systems 110.

Im Schritt A wird zumindest ein Auswerteschaltungswafer AI' bereitgestellt. In dem Schritt B werden Sensoren 1' auf und/oder neben dem

Auswerteschaltungswafer AI' bereitgestellt. Optional können in dem Schritt B' zwischen den Sensoren 1' und Linsen LI, Kappen Kl und Blenden Bl angeordnet werden, wobei sich die Blenden Bl zwischen den Linsen LI und den Kappen Kl befinden. Erfolgt der optionale Schritt des Herstellungsverfahrens B' nicht, erfolgt im Schritt C ein Anordnen von Linsen jeweils auf einer Vorderseite VS' der Sensoren 1'. Anschließend wird im Schritt D die in den vorangegangenen Schritten hergestellte Anordnung in einzelne mikroelektronische

Bauelementanordnungen 100 vereinzelt. Optional können anschließend in einem Verfahrensschritt E auf der dem Sensorchip 1 abgewandten Seite einer

Auswerteschaltung AI ein BGA 10 angeordnet werden.

Zur Herstellung eines Systems 110 mit der mikroelektronischen

Bauelementanordnung 100, welches gemäß dem hier beschriebenen

Herstellungsverfahren hergestellt wurde, wird die mikroelektronische

Bauelementanordnung 100 mittels eines Interposers II oder einer Leiterplatte LP1 zumindest mit einem Mikrocontroller MCI elektrisch kontaktiert. In dem optionalen Verfahrensschritt des Herstellungsverfahrens G wird ein drehbarer Shutter Sl auf der Leiterplatte LP1 angeordnet, wobei der drehbare Shutter Sl die mikroelektronische Bauelementanordnung 100 abschirmen kann. Ferner laufen die Schritte A bis G in der wie in Fig. 9 gezeigten Reihenfolge ab.

Die hier beschriebene mikroelektronische Bauelementanordnung kann insbesondere in Smart-Phones, Mobile Devices und/oder Sensorknoten Einsatz finden. Hierbei kann der Einsatz der mikroelektronischen Bauelementanordnung autonom erfolgen, wobei die Energie zum Beispiel über eine Batterie, einem Akku und/oder Solarzellen, bereitgestellt werden kann. Eine Übertragung des Thermographiebildes an weitere Systeme kann hierbei entweder drahtlos, beispielsweise Bluetooth, WLAN oder über ein Bus-System erfolgen. Alternativ kann der Sensorknoten kabelgebunden oder festverdrahtet sein. Hierbei erfolgt die Stromversorgung über eine Festverdrahtung, beispielsweise einem

Stromkabel.