Titel

Mikrofluidische Vorrichtung sowie Verfahren zur Herstellung einer mikrofluidischen Vorrichtung

Stand der Technik

Die Erfindung betrifft eine mikrofluidische Vorrichtung, ein Verfahren zur Herstellung einer mikrofluidischen Vorrichtung sowie eine Verwendung einer mikrofluidischen Vorrichtung. Mikrofluidische Vorrichtungen kommen beispielsweise als Lab-on-a-Chip-Systeme im Rahmen molekulardiagnostischer Laboranwendungen zu Einsatz. Die Verwendung von derartigen mikrofluidischen Vorrichtungen ermöglicht nicht nur eine Diagnose in einem Großlabor oder einer Arztpraxis, sondern ein Patient kann beispielsweise auch mit Hilfe der mikrofluidischen Vorrichtung entsprechende Überprüfungen, beispielsweise von Markern oder des Blutzuckerspiegels, zu Hause selbst durchführen.

Derartige mikrofluidische Vorrichtungen werden beispielsweise aus Polymerplatten mit integrierten Kanälen und/oder Kavitäten hergestellt, um Flüssigkeiten und dergleichen zu transportieren und/oder zu filtern. Um die mikrofluidische Vorrichtung mit Flüssigkeiten oder Druckluft beaufschlagen zu können, kann diese über Schläuche mit einer fluidbereitstellenden Einrichtung verbunden werden. Über die Schläuche kann die fluidbereitstellende Einrichtung gezielt die Kanäle und/oder die Kavitäten mit Druck beaufschlagen und damit Flüssigkeiten bewegen. Darüber hinaus ist auch eine pneumatische Steuerung von mikrofluidischen Pumpen und/oder Ventilen möglich. Um gezielt Einzelfunktionen der mikrofluidischen Vorrichtung ausführen zu können, werden unterschiedliche Drücke oder Druckniveaus benötigt. Diese werden von einer

pneumatischen Einrichtung außerhalb der mikrofluidischen Vorrichtung erzeugt und über zusätzliche Anschlüsse der mikrofluidischen Vorrichtung bereitgestellt. Aus der WO 2007109375 A2 ist ein mikrofluidisches Sperrventil für eine mikrofluidische Vorrichtung bekannt geworden. Das mikrofluidische Sperrventil umfasst dabei einen Einlass, zumindest drei Membranventile, umfassend Ventileinlässe, Ventilauslässe, Ventilsteuerungen und Elastomer-Membranen. Bei Beaufschlagung einer Ventilsteuerung mit einem Druck oder einem Vakuum wird die Elastomer-Membran ausgelenkt, um einen Fluss einer Flüssigkeit zu modulieren. Zwei der Ventile sind mit einem dritten Ventil derart verbunden, sodass ein ausreichend großes Vakuum an einem Einlass des

mikrofluidischen Sperrventils dazu führt, dass das dritte Ventil geöffnet ist und dass ein ausreichender Druck an dem Einlass des mikrofluidischen Sperrventils bereitgestellt wird, sodass das dritte Ventil geschlossen wird. Aus der US 200770166199 A1 ist ein mikrofluidisches System umfassend einen pneumatischen Mehrfach Verteiler mit Öffnungen und einen Chip-Verteiler mit Kanälen bekannt geworden, um pneumatisch Signale von den entsprechenden Öffnungen zu druckbetätigbaren Membranen in einem mikrofluidischen Chip zu senden. Die Kanäle transportieren dabei die pneumatischen Signale entsprechend einer festgelegten Konfiguration der druckbetätigbaren Membranen in dem mikrofluidischen Chip. Der mikrofluidische Chip umfasst ebenfalls Reagenzreservoire, um fluidische Reagenzien zu speichern und Ausgangsspeicher zum Speichern von Reaktionsprodukten der fluidischen Reagenzien. Offenbarung der Erfindung

In Anspruch 1 ist eine mikrofluidische Vorrichtung definiert, umfassend zumindest zwei übereinander angeordnete Schichten, eine elastische Membran, welche zwischen den beiden Schichten angeordnet ist, eine Kavität, die in einer der beiden Schichten angeordnet ist und zumindest einen Kanal in der anderen der zumindest zwei Schichten zum Beaufschlagen der Membran mit Druck, wobei die Membran in zumindest ein vorgegebenes Verdrängungsvolumen ausdehnbar angeordnet ist.

In Anspruch 12 ist ein Verfahren zur Herstellung einer mikrofluidischen Vorrichtung gemäß zumindest einem der Ansprüche 1 bis 1 1 definiert, wobei zumindest die Kavität und/oder der Kanal mittels Fräsen, Spritzguss und/oder Heißprägen hergestellt wird.

In Anspruch 14 ist eine Verwendung einer mikrofluidischen Vorrichtung gemäß zumindest einem der Ansprüche 1 bis 1 1 als Lab-on-a-Chip-System definiert. Zu Anspruch 15 ist ein mikrofluidisches System mit einer Mehrzahl von mikrofluidischen Vorrichtungen gemäß zumindest einem der Ansprüche 1 - 1 1 definiert.

Vorteile der Erfindung

Durch die vorgegebenen Verdrängungsvolumina können auf einfache Weise

unterschiedliche Druckniveaus von Kavitäten innerhalb eines mikrofluidischen Systems mit mehreren mikrofluidischen Vorrichtungen zur Verfügung gestellt werden, wobei lediglich ein einzelnes Druckniveau von außen für das mikrofluidische System bzw. die mikrofluidischen Vorrichtungen zur Verfügung gestellt werden muss.

Die zugrunde liegende Idee der vorliegenden Erfindung besteht also darin, dass zur Begrenzung der Druckveränderung in der Kavität trotz eines durch einen von außen bereitgestellten höheren oder niedrigeren Druckes bzw. trotz Beaufschlagung der Membran mit diesem Druck sich zwar die Membran ausdehnt und so den Druck in der Kavität verändert, nicht jedoch über einen vorbestimmten Wert hinaus. Durch die Ausdehnung der Membran verringert sich das Gesamtvolumen der Kavität, wodurch der Druck in der Kavität ansteigt. Der bei Erreichen der maximalen Ausdehnung der Membran erreichte Druck in der Kavität ist dabei unabhängig von dem äußeren bereitgestellten Druck, solange das Druckniveau des äußeren Druckes groß genug ist, um die Membran vollständig in ein vorgegebenes Verdrängungsvolumen auszulenken. Der Druck in der Kavität bei vollständiger Ausdehnung der Membran ist auch dann konstant, wenn der außen angelegte Druck oberhalb des minimalen Drucks für eine vollständige Ausdehnung der Membran schwankt, beispielsweise aufgrund eines instabilen externen

Druckerzeugers. Auf diese Weise wird einerseits die Zuverlässigkeit der Bereitstellung des Druckes durch die Membran in der Kavität erhöht, andererseits sind damit auch günstigere Druckerzeuger zur Bereitstellung des äußeren Druckes für die mikrofluidische Vorrichtung möglich. Ebenso bietet die Erfindung den Vorteil, dass für ein mikrofluidisches System auf einen externen Druckerzeuger zur Bereitstellung von unterschiedlichen Drücken verzichtet werden kann, da reduzierte Drücke innerhalb des mikrofluidischen Systems mittels der Membran, Kavität und Begrenzungsmittel erzeugt werden können. Dadurch ist eine äußerst kostengünstige Steuerung des mikrofluidischen Systems und der mikrofluidischen Vorrichtung möglich. Auch kann die fluidbereitstellende Einrichtung wesentlich kompakter ausgeführt werden: Ist eine sehr genaue Vorgabe eines bestimmten Druckes in einem mikrofluidischen System notwendig, sind üblicherweise aufwendige und damit kostenintensive, externe Druckerzeuger nötig, um diesen genauen Druck bereitstellen zu können. Aufgrund des Begrenzungsmittels lässt sich ein gewünschter Druck in der Kavität insbesondere über eine vorgegebene Größe des Verdrängungsvolumens der Membran äußerst genau vorgeben.

Darüber hinaus bietet die Erfindung auch den Vorteil, dass auch sehr geringe Überdrücke einfach und zuverlässig möglich sind. Durch eine Ausbildung des Begrenzungsmittels, insbesondere indem das Begrenzungsmittel ein entsprechend kleines

Verdrängungsvolumen für die Membran zur Verfügung stellt, sind auch kleinste

Überdrücke einfach und zuverlässig bereitstellbar. Schließlich bietet die Erfindung auch den Vorteil, dass die Anzahl von Schnittstellen zwischen externen Druckerzeugern und dem mikrofluidischen System verringert werden kann. Es führt nicht nur zu einer

Reduzierung der Herstellungskosten, sondern auch zu einer geringeren Fehleranfälligkeit und zu geringeren Wartungskosten.

Weitere vorteilhafte Ausführungsformen und Merkmale der Erfindung sind in den

Unteransprüchen beschrieben. Gemäß einer vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist ein Begrenzungsmittel angeordnet, welches ausgebildet ist, das zumindest eine Verdrängungsvolumen zu beschränken. Damit wird auf eine einfache und zuverlässige Weise eine Definition des Verdrängungsvolumens ermöglicht. Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist das Begrenzungsmittel zur

Begrenzung einer Ausdehnung der Membran ausgebildet. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass ein vorgegebenes Druckniveau einfach zuverlässig erreicht wird. So kann beispielsweise das Begrenzungsmittel so ausgebildet sein, sodass eine möglichst kleine Fläche zwischen Kavität und Kanal bei maximaler Ausdehnung der Membran bereitgestellt wird. So wird vermieden, dass sich die Membran beispielsweise aufgrund eines höheren Druckes weiter ausdehnt und so das Druckniveau in der Kavität erhöht wird.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist das Begrenzungsmittel als

Aussparung, insbesondere als Anschlag, in zumindest einer der beiden Schichten ausgebildet. Auf diese Weise ist eine einfache und kostengünstige Herstellung der mikrofluidischen Vorrichtung sowie des Begrenzungsmittels möglich.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist das Begrenzungsmittel durch eine Erstreckung der Festlegung der Membran an zumindest einer der zumindest zwei Schichten ausgebildet. Der damit erzielte Vorteil ist, dass somit das

Verdrängungsvolumen noch während der Herstellung der mikrofluidischen Vorrichtung verändert oder an aktuelle Randbedingungen angepasst werden kann. Damit wird eine äußerst flexible Herstellung der mikrofluidischen Vorrichtung ermöglicht.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist ein Verbindungskanal zwischen Kavität und zumindest einem Verdrängungsvolumen angeordnet. Wird die Membran, die im Wesentlichen an zumindest einer der beiden Schichten festgelegt ist, mit Druck beaufschlagt, dehnt sich diese in das vorbestimmte Verdrängungsvolumen aus. Dabei ist es möglich, dass die Festlegung durch mehrfaches Auslenken der Membran stark beansprucht wird und sich daher die Membran zumindest teilweise von der zumindest einen Schicht ablöst. Durch die Anordnung eines Kanals wird die Zuverlässigkeit der Festlegung der Membran wesentlich erhöht, da der Verbindungskanal eine Verengung bereitstellt, welche einem möglichen Ablösen der Membran von der zumindest einen Schicht entgegenwirkt.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung wird der

Verbindungskanal durch zumindest einen Steg gebildet. Der damit erzielte Vorteil ist, dass damit zum die Gefahr eines Ablösens oder Abhebens der Membran erheblich reduziert wird. Dies erhöht die Lebensdauer der mikrofluidischen Vorrichtung. Daneben kann mittels des Stegs auch kostengünstig ein Verbindungskanal bereitgestellt werden.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist zumindest eines der

Verdrängungsvolumen als Kanal ausgebildet. Damit ist eine besonders einfache

Fertigung der mikrofluidischen Vorrichtung möglich, da lediglich ein einziger Bereich für Kanal und Verdrängungsvolumen in der zumindest einen Schicht bereitgestellt werden muss.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung umfasst die Aussparung abgerundete Kanten. Auf diese Weise wird sichergestellt, dass die elastische Membran zum einen das gesamte Verdrängungsvolumen, definiert durch die Begrenzungsmittel, verdrängen kann, gleichzeitig wird die Gefahr einer Beschädigung der Membran bei deren wiederholter Betätigung entsprechend reduziert.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung ist eine weitere Schicht als Deckschicht zumindest für die Kavität ausgebildet. Auf diese Weise kann die Kavität auf besonders einfache Weise durch Entfernen der zweiten Schicht für die Kavität hergestellt werden. Die Deckschicht ermöglicht dann eine Abdeckung der Kavität, sodass diese druckdicht durch die Deckschicht verschlossen ist. Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung ist zumindest eine der Schichten aus einem Polymer, insbesondere einem Thermoplast hergestellt und/oder die Membran aus einem thermoplastischen Elastomer und/oder einem Thermoplasten hergestellt. Der damit erzielte Vorteil ist, dass damit eine einfache und kostengünstige Herstellung der mikrofluidischen Vorrichtung und eine ausreichende Langlebigkeit der Membran bei gleichzeitig kostengünstiger Herstellung ermöglicht wird. Als Polymer können insbesondere Thermoplaste, beispielsweise PC, PT, PE, PMMA, COP, COC und dergleichen zum Einsatz kommen.

Gemäß einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung des Verfahrens zur Herstellung einer mikrofluidischen Vorrichtung gemäß Anspruch 12 werden die zumindest zwei Schichten mittels Laserdurchstrahlschweißen, Ultraschallschweißen und/oder mittels eines

Klebeverfahrens fest miteinander verbunden. Das Fügen des Schichtaufbaus der mikrofluidischen Vorrichtung kann auf diese Weise zuverlässig und kostengünstig erfolgen.

Weiter ist es mittels der mikrofluidischen Vorrichtung auch möglich, Unterdrücke in der Kavität bereitzustellen. In diesem Fall wird das Verdrängungsvolumen, insbesondere das Begrenzungsmittel zur Begrenzung der Ausdehnung der Membran auf der der Kavität abgewandten Seite der Membran, beispielsweise auf der Seite des Kanals, bereitgestellt.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnungen. Dabei zeigt in schematischer Form Fig. 1 a eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer ersten

Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in der Draufsicht;

Fig. 1 b die mikrofluidische Vorrichtung gemäß der ersten Ausführungsform im Querschnitt;

Fig. 2a eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer zweiten

Ausführungsform;

Fig. 2b eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß der zweiten

Ausführungsform mit Druckbeaufschlagung der Membran;

Fig. 3 eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer dritten

Ausführungsform;

Fig. 4a eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer vierten

Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in der Draufsicht;

Fig. 4b die mikrofluidische Vorrichtung gemäß der vierten Ausführungsform im Querschnitt;

Fig. 5 eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer fünften

Ausführungsform;

Fig. 6 eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer sechsten

Ausführungsform; und

Fig. 7 eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer siebten

Ausführungsform;

Ausführungsformen der Erfindung

Fig. 1 zeigt eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer ersten Ausführungsform in der Draufsicht und im Querschnitt.

In den Figuren 1 a, 1 b bezeichnet Bezugszeichen M eine mikrofluidische Vorrichtung. Die mikrofluidische Vorrichtung M umfasst dabei als oberste Schicht gemäß Figuren 1 a, 1 b eine obere Polymerschicht 1 und eine untere Polymerschicht 3 (nicht gezeigt in Fig. 1 a). Elemente in der unteren Polymerschicht 3 sind in Fig. 1 a gestrichelt angedeutet. In der unteren Polymerschicht 3 ist ein Kanal 4a angeordnet, der mit einem unteren

Verdrängungsvolumen 7b, ausgebildet ebenfalls in der unteren Polymerschicht 3 pneumatisch in Verbindung steht. Das untere Verdrängungsvolumen 7b steht weiter mit einer Membran 2 in pneumatischer Verbindung, die zwischen den beiden

Polymerschichten 1 , 3 angeordnet ist. Die Membran 2 bildet dabei im Wesentlichen die zweite Schicht der mikrofluidischen Vorrichtung M. Die Membran 2 kann sich dabei im Wesentlichen vollständig in das untere Verdrängungsvolumen 7b ausdehnen. Weiter ist in der oberen Polymerschicht 1 eine Kavität 6 angeordnet, die mit einem oberen

Verdrängungsvolumen 7a pneumatisch verbunden ist. Das obere Verdrängungsvolumen 7a ist dabei als Aussparung 5a in der oberen Polymerschicht 1 ausgebildet. Die Membran 2 ist dabei so zwischen den beiden Polymerschichten 1 , 3 angeordnet, dass sich die Membran 2 je nach Druckbeaufschlagung des Kanals 4a in das obere

Verdrängungsvolumen 7a oder in das untere Verdrängungsvolumen 7b ausdehnen kann. Dehnt sich die Membran 2 in das untere Verdrängungsvolumen 7b, angeordnet in der unteren Polymerschicht 3 aus, so wird der Druck in der Kavität 6 vermindert. Dehnt sich die Membran 2 in das obere Verdrängungsvolumen 7a der oberen Polymerschicht 3 aus, wird der Druck in der Kavität 6 erhöht.

Die Membran 2 gemäß Fig. 1 a und 1 b ist über eine Schweißnaht oder Klebeverbindung 2' mit der unteren Polymerschicht 1 und der oberen Polymerschicht 3 verbunden. Dabei ist die Schweißnaht oder Klebeverbindung 2' im Bereich des Kanals 4a an der oberen Polymerschicht 1 und im Bereich der Kavität 6 an der unteren Polymerschicht 3 angeordnet. Das obere Verdrängungsvolumen 7a wird dabei zum einen durch die

Aussparung 5a bestimmt, zum anderen auch durch die Erstreckung der Schweißnaht oder Klebeverbindung 2' an der unteren Polymerschicht 3. Die Kavität 6 wird somit durch den Teil der Aussparung 5a gemäß Fig. 1 b gebildet, in die sich die Membran 2 auf Grund der Festlegung an der unteren Polymerschicht 3 nicht ausdehnen kann. In das untere Verdrängungsvolumen 7b, gebildet durch die Aussparung 5b, kann sich die Membran 2 durch Unterdruckausbildung in dem Kanal 4a vollständig ausdehnen. An die Kavität 6 ist ein weiterer Kanal 4b, ausgebildet in der oberen Polymerschicht 3, angeordnet, der zum Anschluss an pneumatisch betätigbare Bauelemente, wie mikrofluidische Pumpen, Ventile, Filter, Reservoire, Kammern, Mischer und dergleichen, dient.

Allgemein wird ein Druck in dem Kanal 4a bereitgestellt, durch den sich dann die elastisch ausgebildete Membran 2 in das obere oder untere Verdrängungsvolumen 7a, 7b ausdehnen kann. Für den Druck in der Kavität 6 gemäß dem Boyle-Mariotteschen Gesetz gilt dann: γ V ₊ ^τ γ ' K ₊ ^τ γ ' R

V ' K + ^T v ' R wobei p ₂ den Druck nach einer Betätigung der Membran 2, p-ι einen Normaldruck, also einen Druck, bei dem die Membran 2 nicht gedehnt und/oder gestaucht wird, V _v das Verdrängungsvolumen 7a, 7b, V _K das Volumen der Kavität 6 und V _R alle restlichen Volumina beschreibt, die mit der Kavität 6 verbunden sind, beispielsweise Kanäle 4b oder dergleichen.

In den Fig. 2a, 2b ist eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform ohne und mit Druckbeaufschlagung der Membran gezeigt. In den Figuren 2a, 2b ist im Wesentlichen ein analoger Aufbau der mikrofluidischen Vorrichtung M gemäß Figur 1 gezeigt. Im Unterschied zur Figur 1 ist das untere

Verdrängungsvolumen 7b wiederum als Aussparung 5b, jedoch als Kanalabschnitt des Kanals 4a ausgebildet. Auf diese Weise ist die untere Polymerschicht 3 einfacher strukturierbar bzw. herstellbar, darüber hinaus wird eine Platzersparnis für die

mikrofluidische Vorrichtung M erzielt, da die Dicke der unteren Polymerschicht 3 kleiner ist. In Figur 2a ist die Membran 2 im unbelasteten Zustand gezeigt d.h. der Druck im Kanal 4a und in der Kavität 6 sind im Wesentlichen gleich groß. Gestrichelt angedeutet ist die Grenze zwischen Kavität 6, in die sich die Membran 2 nicht ausdehnen kann, und dem oberen Verdrängungsvolumen 7a, in die sich die Membran 2 bei Druckbeaufschlagung des Zuführkanals 4a ausdehnen kann. In dem Bereich der Kavität 6 ist die Membran 2 mit einer Schweißnaht oder Klebeverbindung 2' an der unteren Polymerschicht 3 festgelegt, wohingegen die Membran 2 im Bereich ohne Schweißnaht oder

Klebeverbindung 2', also im Bereich des oberen Verdrängungsvolumens 7a, im unbelasteten Zustand lediglich an der unteren Polymerschicht 3 anliegt.

Fig. 3 zeigt eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer dritten Ausführungsform.

In Figur 3 ist eine mikrofluidische Vorrichtung M gezeigt, deren Aufbau im Wesentlichen dem Aufbau der mikrofluidischen Vorrichtung der Fig. 2a, 2b entspricht. Im Unterschied zu den Fig. 2a, 2b ist die Höhe des Verdrängungsvolumens 7a, die definiert ist als

Entfernung zwischen Membran 2 im unbelasteten Zustand und Oberkante der

Aussparung 5a des Verdrängungsvolumens, kleiner als die Höhe der Kavität 6, die als maximale Entfernung zwischen angeschweißter oder aufgeklebter Membran 2 und oberer Polymerschicht 1 definiert ist. Auf diese Weise ist eine flexiblere Wählbarkeit eines Überdrucks in der Kavität 6 möglich. Fig. 4a und Fig. 4b zeigen eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer vierten

Ausführungsform in der Draufsicht und im Querschnitt.

In den Fig. 4a und 4b ist eine mikrofluidische Vorrichtung M gezeigt, deren Aufbau analog zum Aufbau der mikrofluidischen Vorrichtung M der Fig. 3 ist. Im Unterschied zur Fig. 3 ist im Bereich zwischen Aussparung 5a des oberen Verdrängungsvolumens 7a und der Kavität 6 ein Verbindungskanal 10 ausgebildet. Der Verbindungskanal 10 verbindet pneumatisch das obere Verdrängungsvolumen 7a mit der Kavität 6. Der

Verbindungskanal 10 kann dabei durch einen in horizontaler Richtung breiten Steg 8 gebildet werden, der in senkrechter Richtung nach unten hervorstehend aus der oberen Polymerschicht 3 angeordnet ist. Auf diese Weise wird ein Ablösen der Membran 2 von der unteren Polymerschicht 3 bei wiederholter Betätigung der Membran 2 vermindert. Die Lebensdauer der mikrofluidischen Vorrichtung M wird erhöht. Fig. 5 zeigt eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer fünften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

In Fig. 5 ist im Wesentlichen ein zur Fig. 4 analog aufgebaute mikrofluidische Vorrichtung M gezeigt. Im Unterschied zur Fig. 4 ist in Fig. 5 eine Deckschicht 9 auf der Oberseite der oberen Polymerschicht 1 angeordnet. Weiter im Unterschied zur Fig. 4a und Fig. 4b ist der Steg 8 L-förmig ausgebildet und erstreckt sich senkrecht von der angeschweißten Membran 2 auf der unteren Polymerschicht 1 nach oben. Die kürzere Kante des„L" erstreckt sich nach links. Die Höhe des Stegs 8 zwischen der dritten Schicht 9 und der unteren Polymerschicht 3 ist kleiner als die Höhe der oberen Polymerschicht 1 , so dass zwischen der Oberkante des Stegs 8 und der dritten Schicht 9 ein Verbindungskanal 10 ausgebildet ist. Weiterhin erstreckt sich der kürzere Schenkel des„L" des Stegs 8 horizontal nicht vollständig bis zur oberen Polymerschicht 1 , sodass damit der

Verbindungskanal 10 vollständig zwischen oberem Verdrängungsvolumen 7a und Kavität 6 ausgebildet wird. Das obere Verdrängungsvolumen 7a wird einerseits durch eine Aussparung 5a in der oberen Polymerschicht 1 gebildet, andererseits durch den Steg 8. Insgesamt wird dadurch die Wahrscheinlichkeit eines möglichen Ablösens der Membran 2 von der unteren Polymerschicht 2 noch weiter reduziert.

Fig. 6 zeigt eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer sechsten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. In Fig. 6 ist im Wesentlichen eine mikrofluidische Vorrichtung M gemäß Fig. 2a, 2b gezeigt. Im Unterschied zur Fig. 2a, 2b ist nun das untere Verdrängungsvolumen 7b entsprechend zum oberen Verdrängungsvolumen 7a der mikrofluidischen Vorrichtung M gemäß Fig. 2b ausgebildet. Das obere Verdrängungsvolumen 7a ist als Aussparung 5a, jedoch als Kanalabschnitt eines Kanals in der oberen Polymerschicht 1 ausgebildet. Auf diese Weise ist die obere Polymerschicht 1 einfacher strukturierbar bzw. herstellbar. In Figur 6 ist die Membran 2 im unbelasteten Zustand gezeigt d.h. der Druck im Kanal 4a und in der Kavität 6 sind im Wesentlichen gleich groß. Gestrichelt angedeutet ist die Grenze zwischen unterem Verdrängungsvolumen 7b, in die sich die Membran 2 ausdehnen kann, und einem unteren Volumen 6', in die sich die Membran 2 bei

Druckbeaufschlagung des Zuführkanals 4a nicht ausdehnen kann, im Wesentlichen somit als Teilkanal des Zuführkanals 4a ausgebildet ist. In dem Bereich 6' ist die Membran 2 mit einer Schweißnaht oder Klebeverbindung 2' an der oberen Polymerschicht 1 festgelegt, wohingegen die Membran 2 im Bereich ohne Schweißnaht oder

Klebeverbindung 2', also im Bereich des unteren Verdrängungsvolumens 7b, im unbelasteten Zustand lediglich an der oberen Polymerschicht 1 anliegt. Die

mikrofluidische Vorrichtung ist somit insbesondere zur Erzeugung von Unterdruck in der Kavität 6 geeignet. Fig. 7 zeigt eine mikrofluidische Vorrichtung gemäß einer siebten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.

In Figur 7 ist eine mikrofluidische Vorrichtung im Wesentlichen gemäß Fig. 6 gezeigt. Im Unterschied zur Fig. 6 ist die Vorrichtung besonders vorzugsweise zur

Unterdruckerzeugung in der Kavität 6 geeignet. Anstelle des oberen

Verdrängungsvolumens 7a ist die Kavität 6 nun direkt oberhalb der Membran 2 angeordnet, die ausdehnbar auch in die Kavität 6 angeordnet ist. Unterhalb der Membran 2 ist wie auch in Fig. 6 ein unteres Verdrängungsvolumen 7b durch Ausbildung einer Aussparung 5b in der unteren Polymerschicht 3 angeordnet. Das Verdrängungsvolumen 7b ist mit einem Zuführkanal 4a zur Unterdruckerzeugung verbunden, zum Anschluss von weiteren pneumatischen oder mikrofluidischen Elementen an die Kavität 6 ist der Kanal 4b vorgesehen. Da die mikrofluidische Vorrichtung gemäß Fig. 7 sich insbesondere zur Unterdruckerzeugung eignet, ist eine Ausdehnung der Membran 2 in die Kavität 6 nicht vorgesehen, sondern lediglich in das untere Verdrängungsvolumen 7b. Auf diese Weise wird eine kleinere Grundfläche, d.h. im Querschnitt kleinere horizontale Erstreckung der mikrofluidischen Vorrichtung M ermöglicht. Allgemein können mit der Kavität 6 über den Kanal 4b, der mit der Kavität 6 pneumatisch verbunden ist, weitere pneumatisch betätigbare Elemente verbunden werden. Über eine Druckbeaufschlagung des Kanals 4a und damit der elastischen Membran 2 und deren Ausdehnung erfolgt eine entsprechende Druckerhöhung in der Kavität 6 und es wird eine Aktuierung der pneumatisch betätigbaren Elemente ermöglicht, die ein entsprechend angepasstes Druckniveau benötigen, beispielsweise eine Verdrängungskammer einer Membranpumpe oder Membranventile. Ebenso ist es möglich ein an die Kavität angeschlossenes Kanalnetzwerk zu betätigen, indem ein definiertes Volumen innerhalb des Kanalnetzwerks, welches von der Kavität 6 durch ein Ventil getrennt sein kann, verdrängt wird. Auf diese Weise kann die Kavität 6 analog zu einem elektrischen Kondensator "aufgeladen" werden und nach Öffnung des Ventils das Kanalnetzwerk mit einem definierten Flüssigkeitsvolumen beaufschlagen. Wird beispielsweise ein pneumatischer Widerstand eines derartigen Kanalnetzwerks als R und die pneumatische Kapazität der Kavität als C definiert, so lässt sich der zeitliche Druckverlauf des Druckes innerhalb der Kavität näherungsweise beschreiben durch die Formel p ₂ (t) = p ₂ (t=0)e* mit der charakteristischen Zeitkonstante τ = RC. Aufgrund der starken Abhängigkeit des oben definierten pneumatischen Widerstandes R beispielsweise von einem Radius des entsprechenden Kanals, welcher gemäß dem Hagen-Poiseuille proportional zu 1/r ⁴ ist, lässt sich die charakteristische Zeitkonstante τ über einen weiten Bereich vorgeben, bzw. anpassen. So sind beispielweise für Luft und typische Kanaldurchmesser zwischen 30 μηη bis 500 μπΊ Werte für die charakteristische Zeitkonstante von einer Sekunde bis 10 ⁵ Sekunden möglich. Die Dicke einer Polymerschicht einer mikrofluidischen Vorrichtung kann dabei zwischen 0,1 mm bis 5 mm, insbesondere 0,5 mm bis 3 mm betragen. Die Dicke einer elastischen Membran kann dabei eine Dicke zwischen 10 μηη und 500 μηη, insbesondere 25 bis 300 μπΊ aufweisen. Das Volumen einer Kavität einer mikrofluidischen Vorrichtung kann dabei zwischen 1 mm ³ bis 10.000 mm ³ , insbesondere zwischen 10 mm ³ und 1.000 mm ³ betragen und/oder die Abmessungen der Kavität können dabei für die Länge und/oder Breite der Kavität zwischen 10 μηη und 50mm, insbesondere zwischen 25 μηη und 25 mm betragen und die Höhe der Kavität kann dabei zwischen 25 μηι und 10 mm, insbesondere 50 μπΊ und 5mm betragen. Das Verdrängungsvolumen 7a, 7b, definiert durch die

Begrenzungsmittel 5a, 5b kann dabei in Abhängigkeit der gewünschten Druckänderung zwischen 0,1 mm ³ bis 5.000 mm ³ , insbesondere zwischen 1 mm ³ und 2.000 mm ³ betragen.

Eine mikrofluidische Vorrichtung M insbesondere gemäß den Figuren 1 -7 kann dabei laterale Abmessungen zwischen 1 mm ² und 10 ⁶ mm ² , insbesondere zwischen 100 mm ² und 10 ⁴ mm ² aufweisen.

Obwohl die vorliegende Erfindung vorstehend anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist sie nicht darauf beschränkt, sondern auf vielfältige Weise modifizierbar.