Mikrofluidisches Ventil und mikrofluidische Plattform

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Mikroventil zur Kontrolle von

Flüssigkeitsströmen in einem mikrofluidischen System, mikrofluidische Systeme, die diese Mikroventile enthalten, Vorrichtungen zur Ansteuerung eines mikrofluidischen Systems, das ein erfindungsgemäßes Mikroventil umfasst, und ein Verfahren zum Austausch eines in einer solchen Vorrichtung enthaltenen mikrofluidischen Systems.

Stand der Technik

Verschiedene Bauformen von Mikroventilen sind aus der Literatur bekannt.

Als Mikroventile werden Ventile bezeichnet, deren Abmessungen in mindestens einer Dimension kleiner als 1 mm sind. Als Mikroventile werden auch Ventile bezeichnet, die mit Mitteln der Mikrostrukturtechnik hergestellt werden.

In„Monolithic membrane valves and diaphragm pumps for practical large-scale Integration into glass microfluidic devices" (W. H. Grover et al., Sens. Act. B 2003, 89, 315) wird ein Mikroventil beschrieben, bei dem eine PDMS-Membran durch pneumatischen Druck auf einen Ventilsitz gedrückt wird.

Aus "Normally-closed peristaltic micropump with re-usable actuator and disposable fluidic chip" (F. Trenkle et al., Sens. Act. B 2010, im Druck) ist eine Mikropumpe bekannt, bei der eine elastische Membran mit Piezoaktoren in eine Pumpkammer ausgelenkt wird.

Aus DE 10 2006 059 459 B4 ist eine mikrofluidische Vorrichtung zur Aufnahme oder Manipulation eines Fluids, insbesondere einer Flüssigkeit, mit einem Träger, einer Deckfolie und einer zwischen dem Träger und der Deckfolie gebildeten, insbesondere kanalförmigen Kammer offenbart, wobei die ursprünglich flache und/oder nicht vorgeformte Deckfolie auf den Träger auf laminiert ist und allein durch das auf Laminieren eine dreidimensional geformte oder gewölbte

Kammerwand gebildet wird, die die Kammer partiell begrenzt.

Offenbarung der Erfindung Gegenstand der Erfindung ist ein Mikroventil zur Kontrolle von

Flüssigkeitsströmen in einem mikrofluidischen System, wobei das Mikroventil einen regulierbaren Stößel, eine elastische Folie und eine strukturierte Schicht umfasst, dadurch gekennzeichnet, dass in der Schicht mindestens zwei Kanäle strukturiert sind, die durch einen Steg getrennt sind, und die elastische Folie mit der strukturierten Schicht außerhalb des Stegs fest verbunden ist und die elastische Folie zumindest in einem Bereich des Stegs mit der strukturierten Schicht nicht verbunden ist und eine Frontfläche des regulierbaren Stößels die elastische Folie kontaktiert und den mit der strukturierten Schicht nicht verbundenen Bereich der elastischen Folie innerhalb der Abmessung des Stegs überdeckt, so dass in einem ersten Zustand durch den Stößel die elastische

Folie auf der strukturierten Schicht gehalten wird und die elastische Folie zusammen mit dem Steg als Dichtung wirkt und wobei in einem zweiten Zustand der Abstand zwischen der Frontfläche des regulierbaren Stößels und der elastischen Folie vergrößert wird, so dass die Folie durch den Stößel nicht mehr auf dem Steg gehalten wird und eine fluidische Verbindung zwischen den beiden

Kanälen hergestellt wird.

Die besonderen Vorteile der Erfindung sind, dass das erfindungsgemäße Mikroventil günstig in Massen herstellbar ist, insbesondere im Vergleich zu Mikroventilen aus Silizium. Es können viele erfindungsgemäße Mikroventile in einer Schicht realisiert werden. Die erfindungsgemäßen Mikroventile können einfach aktuiert werden (kein aufwändiger Anschluss an Druckluftleitungen). Die erfindungsgemäßen Mikroventile dichten auch bei hohen Drücken sicher ab. Eine Ausführungsform der Erfindung betrifft ein Mikroventil, dadurch

gekennzeichnet, dass sich zwischen dem regulierbaren Stößel und der elastischen Folie eine weitere elastische Schicht befindet.

Eine besondere Ausführungsform der Erfindung betrifft ein Mikroventil, dadurch gekennzeichnet, dass sich die weitere elastische Schicht auf der der elastischen Folie zugewandten Seite des regulierbaren Stößels befindet. Eine andere besondere Ausführungsform der Erfindung betrifft ein Mikroventil, dadurch gekennzeichnet, dass sich die weitere elastische Schicht auf der dem

regulierbaren Stößel zugewandten Seite der elastischen Folie befindet. Dabei kann die weitere elastische Schicht so groß sein, dass sie die gesamte strukturierte Schicht bzw. die darauf befindlichen elastische Folie bedeckt oder die weitere elastische Schicht kann kleinere Abmessungen haben, so dass nur Teile der gesamten strukturierten Schicht bzw. der darauf befindlichen elastischen Folie bedeckt sind.

Eine weitere besondere Ausführungsform der Erfindung betrifft ein Mikroventil, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand des regulierbaren Stößels zur elastischen Folie dadurch verändert werden kann, dass der regulierbare Stößel entweder magnetisch, piezoelektrisch, mit Formgedächtniseffekt oder mit einem Motor bewegt wird.

Als Formgedächtniseffekt bezeichnet man die Fähigkeit eines Festkörpers, seine Form bei einer Temperaturänderung spontan zu ändern. Die

Hochtemperaturform wird durch echte plastische Verformung eingeprägt, während die geänderte Tieftemperaturform durch die pseudoplastische

Verformung gegeben wird. Erwärmung durch einen spezifischen

Temperaturbereich führt zu Rückstellung der martensitischen Verformung, wobei sich das Memory-Material an seine ursprüngliche Hochtemperaturform erinnert. Die Begriffe Hochtemperatur und Tieftemperatur entsprechen dabei einem Temperaturbereich nahe der Raumtemperatur.

Eine weitere besondere Ausführungsform der Erfindung betrifft ein Mikroventil, dadurch gekennzeichnet, dass das Material für die strukturierte Schicht ein thermoplastisches Polymer, beispielsweise Polycarbonat, Polypropylen,

Polystyrol, zyklischen Polyolefinen oder Glas oder Silizium ist. Eine Ausführungsform der Erfindung betrifft ein Mikroventil, dadurch

gekennzeichnet, dass das Material für die elastische Folie und das Material für die elastische Schicht unabhängig voneinander Elastomere, thermoplastische Elastomere, andere thermoplastische Polymere oder PDMS sind.

Ein anderer Aspekt der Erfindung betrifft ein mikrofluidisches System mit mindestens einem erfindungsgemäßen Mikroventil. Eine Ausführungsform der Erfindung betrifft ein mikrofluidisches System mit mindestens einem

erfindungsgemäßen Mikroventil und mindestens einem weiteren mikrofluidischen Element.

Ein weiterer Aspekt der Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Ansteuerung eines mikrofluidischen Systems umfassend eine Auflagefläche, eine Möglichkeit zur Justierung für das mikrofluidische System und mindestens einen regulierbaren Stößel zum Schließen eines Mikroventils, wobei der regulierbare Stößel entweder Bestandteil der Vorrichtung oder Bestandteil des angesteuerten mikrofluidischen Systems sein kann, dadurch gekennzeichnet, dass das angesteuerte mikrofluidische System mindestens ein Mikroventil umfasst, das einen Flüssigkeitsstrom in dem mikrofluidischen System kontrolliert, wobei das Mikroventil eine elastische Folie und eine strukturierte Schicht mit mindestens zwei Kanälen umfasst, die durch einem Steg getrennt sind, und wobei die elastische Folie mit der strukturierten Schicht im Bereich außerhalb des Stegs fest verbunden ist und wobei die elastische Folie im Bereich des Stegs mit der strukturierten Schicht nicht verbunden ist und wobei sich der regulierbare Stößel im Ausgangszustand auf der elastischen Folie befindet und den mit der strukturierten Schicht nicht verbundenen Bereich der elastischen Folie innerhalb der Abmessung des Stegs überdeckt, so dass die elastische Folie auf das strukturierte Substrat gedrückt wird und die elastische Folie zusammen mit dem Steg als Dichtung wirkt und das Mikroventil geschlossen ist und wobei über den regulierbaren Stößel das Mikroventil regulierbar ist, indem der Abstand zwischen dem regulierbaren Stößel und der elastischen Folie vergrößert wird, so dass die Folie durch den Stößel nicht mehr auf den Steg gedrückt wird und eine fluidische Verbindung zwischen den beiden Kanälen hergestellt wird. Eine besondere Ausführungsform der Erfindung betrifft eine Vorrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass die Vorrichtung Heizelemente und/oder Kühlelemente zur Temperaturregulierung umfasst.

Ein anderer Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zum Austausch eines in einer erfindungsgemäßen Vorrichtung enthaltenen mikrofluidischen Systems, dadurch gekennzeichnet, dass der regulierbare Stößel, der mit der Vorrichtung verbunden ist, in eine Position gebracht wird, dass ein Abstand zwischen dem regulierbaren Stößeln und der elastischen Folie vorhanden ist, und dann das auf der Auflagefläche befindliche mikrofluidische System aus der Vorrichtung entfernt wird, wobei das mikrofluidische System mindestens ein Mikroventil umfasst, das einen Flüssigkeitsstrom in dem mikrofluidischen System kontrolliert, wobei das Mikroventil eine elastische Folie und eine strukturierte Schicht mit mindestens zwei Kanälen umfasst, die durch einen Steg getrennt sind, und die elastische Folie mit der strukturierten Schicht im Bereich außerhalb des Stegs fest verbunden ist und die elastische Folie im Bereich des Stegs mit der strukturierten Schicht nicht verbunden ist.

Weitere Vorteile und vorteilhafte Ausgestaltungen der erfindungsgemäßen Gegenstände werden durch die Zeichnungen veranschaulicht und in der nachfolgenden Beschreibung erläutert. Dabei ist zu beachten, dass die

Zeichnungen nur beschreibenden Charakter haben und nicht dazu gedacht sind, die Erfindung in irgendeiner Form einzuschränken. Es zeigen

Fig. 1 eine schematische Ansicht der Mikroventils, Schnittansicht quer zur Schichtebene;

Fig. 2 eine schematische Ansicht des Mikroventils, Schnittansicht längs zur Schichteben;

Fig. 3 Funktionsweise des Mikroventils, Mikroventil geschlossen

(Ausgangszustand);

Fig. 4 Funktionsweise des Mikroventils, Mikroventil geöffnet, mit fluidischer

Verbindung zwischen dem ersten Kanal 4 und dem zweiten Kanal 5; Fig. 5 Besondere Ausführungsform des Mikroventils, Mikroventil mit

zusätzlicher elastischer Schicht 7 am regulierbaren Stößel 1 ;

Fig. 6 Besondere Ausführungsform des Mikroventils, Mikroventil mit

zusätzlicher elastischer Schicht 7 auf der elastischen Folie 2; Fig. 7 Vorrichtung zur Ansteuerung eines erfindungsgemäßen mikrofluidischen

Systems, Ansicht im Querschnitt;

Fig. 8 Vorrichtung zur Ansteuerung eines erfindungsgemäßen mikrofluidischen

Systems, Ansicht in der Draufsicht;

Fig. 9 Vorrichtung zur Ansteuerung eines erfindungsgemäßen mikrofluidischen

Systems mit temperierbarem Bereich 1 1 , Ansicht im Querschnitt;

Fig. 10 Vorrichtung zur Ansteuerung eines erfindungsgemäßen mikrofluidischen

Systems mit temperierbarem Bereich 11 , Ansicht in der Draufsicht; Fig. 1 1 Vorlagerung oder Pumpen einer Flüssigkeit im mikrofluidischen System

(Schnittansicht quer zur Schichtebene wie in Figur 1 ;

Fig. 12 Vorlagerung oder Pumpen einer Flüssigkeit im mikrofluidischen System

(Schnittansicht längs zur Schichtebene wie in Figur 2).

Figur 1 zeigt eine schematische Schnittansicht eines erfindungsgemäßen Mikroventils, wobei eine Schnittansicht quer zur Ebene einer strukturierten Schicht 3 gezeigt ist.

Figur 2 zeigt den schematischen Aufbau des Mikroventils in der Seitenansicht. Dargestellt ist eine Schnittansicht längs zur Ebene der strukturierten Schicht 3. Das Mikroventil besteht aus einem Aufbau mit zwei Schichten

(Zweischichtaufbau) aus der strukturierten Schicht 3 und einer elastischen Folie 2. In der Schicht sind zwei Kanäle 4, 5 strukturiert, die durch einen Steg 6 getrennt sind. Die elastische Folie 2 ist mit der strukturierten Schicht 3 fest verbunden, bis auf den Bereich auf dem Steg 6 sowie gegebenenfalls in dessen unmittelbarer Umgebung. Im Bereich des Stegs 6 wirkt ein Stößel 1 auf die elastische Folie 2. Der Stößel 1 überdeckt mindestens den nicht mit dem

Substrat verbundenen Bereich der elastischen Folie 2. Der Abstand 13 zwischen der Frontfläche des regulierbaren Stößels 1 und der elastischen Folie 2 kann verändert werden.

Die Funktionsweise der Erfindung ist in den Figuren 3 und 4 dargestellt. Während der regulierbare Stößel 1 auf die elastische Folie 2 wirkt, ist die Verbindung zwischen den beiden Kanälen 4, 5 verschlossen. Die elastische Folie 2 wirkt dabei als Dichtung. Wenn der regulierbare Stößel 1 die elastische Folie freigibt, kann ein in einem Kanal 4, 5 herrschender fluidischer Druck diese nach oben auslenken und eine fluidische Verbindung zwischen beiden Kanälen 4, 5 wird hergestellt. Das Mikroventil ist geöffnet. Eine Flüssigkeit kann durch das geöffnete Mikroventil strömen.

Das Mikroventil kann die Zustände geschlossen (Ausgangszustand) und geöffnet einnehmen. Im geschlossenen Ausgangszustand fließt keine Flüssigkeit durch das Mikroventil. Im geöffneten Zustand fließt Flüssigkeit durch das Mikroventil. Daneben sind Zwischenzustände des Mikroventils möglich, bei denen der regulierbare Stößel 1 so eingestellt wird, dass die gewünschte Flüssigkeitsmenge durch das Mikroventil fließen kann.

Mögliche Prinzipien der Aktuierung für den Stößel 1 sind magnetisch,

piezoelektrisch, mit Motor, pneumatisch, hydraulisch oder mit

Formgedächtniseffekt. Ein nach dem Formgedächtniseffekt arbeitender Aktuator wird beispielsweise mit zwei Temperaturniveaus beaufschlagt, wobei dieser Aktuator z.B. als Hebel ausgeführt sein kann, der auf den Stößel wirkt. Der regulierbare Stößel 1 kann jede beliebige Form haben, solange die Form dazu geeignet ist, dass der regulierbare Stößel 1 seine Funktion erfüllen kann.

Beispielsweise ist die der elastischen Folie 2 zugewandte Seite rund, rechteckig oder quadratisch. Die Grundfläche des Stößels hat einen Durchmesser zwischen 1 und 10 mm bzw. eine Länge zwischen 1 und 10 mm und eine Breite zwischen

1 und 10 mm, beispielsweise einen Durchmesser von 5 mm bzw. eine Länge von 5 mm und eine Breite von 5 mm. Die Breite der Kanäle 4, 5 beträgt zwischen 0.1 und 2 mm, beispielsweise zwischen 0.2 und 0.5 mm, beispielsweise 0.3 mm, und die Tiefe beträgt zwischen 0.05 und 2 mm, beispielsweise zwischen 0.1 und 0.5 mm, beispielsweise 0.3 mm. Der Steg 6 befindet sich zwischen dem ersten

Kanal 4 und dem zweiten Kanal 5. Die Breite des Stegs 6 ist durch die Breite der Kanäle vorgegeben. Die Länge des Stegs 6 beträgt zwischen 0.05 und 2 mm, beispielsweise zwischen 0.2 und 0.5 mm, beispielsweise 0.3 mm. Der Bereich, in dem die elastische Folie 2 nicht fest mit der strukturierten Schicht 3 verbunden ist, ist je nach Form des Stößels 1 beispielsweise rund, rechteckig oder quadratisch ausgeführt und hat einen Durchmesser zwischen 0.1 und 9 mm bzw. eine Länge zwischen 0.1 und 9 mm und eine Breite zwischen 0.1 und 9 mm , beispielsweise einen Durchmesser von 2 mm bzw. eine Länge von 2 mm und eine Breite von 2 mm, und wird vom regulierbaren Stößel 1 an jeder Seite überragt, beispielsweise um 0.1 bis 1 mm, beispielsweise um 0.5 mm. Mit der Länge ist die Dimension in Flussrichtung gemeint (also von links nach rechts in Figur 4).

Der Schichtaufbau kann beispielsweise durch Ultraschallschweißen,

Laserdurchstrahlschweißen, Thermokompressionsschweißen, Kleben oder Lamination gefügt werden. Der Mehrschichtaufbau kann aus mehreren unterschiedlichen Schichten bestehen. In einer anderen besonderen

Ausführungsform handelt es sich um einen Mehrschichtaufbau, der aus mehreren gleichen Schichten aufgebaut ist. Ein Mehrschichtaufbau umfasst beispielsweise zwei bis zehn oder mehr Schichten, beispielsweise 15, 20, 25 oder 50 Schichten oder mehr. Die Schichten können strukturiert sein,

beispielsweise mittels Spritzguss, Heißprägen, Fräsen, Sandstrahlen oder Ätzen. Einzelne Schichten können deformierbar sein. Beispielsweise kann eine Schicht eine Folie sein, besonders bevorzugt eine elastische Folie, beispielsweise ein Elastomer, PDMS, ein thermoplastisches Polymer oder ein thermoplastisches Elastomer, insbesondere ein Polyurethan-basiertes thermoplastisches

Elastomer. In bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung sind einzelne Schichten 0,025 bis 10 mm dick. Vorzugsweise haben einzelne Schichten eine Dicke von 0,1 mm, 0,5 mm, 1 mm, 1 ,5 mm, 2 mm, 2,5 mm, 3 mm, 3,5 mm, 4 mm, 4,5 mm, 5 mm. Mögliche Materialien für die strukturierte Schicht sind Polykarbonat, Polystyrol, ein zyklisches Polyolefin, andere thermoplastische Polymere, Glas oder Silizium. Mögliche Materialien für die elastische Schicht sind thermoplastische Elastomere, andere thermoplastische Polymere, PDMS

(Polydimethylsiloxan) oder Elastomere.

Die Figuren 5 und 6 zeigen eine besondere Ausführungsform der Erfindung. Das erfindungsgemäße Mikroventil kann noch dadurch verbessert werden, dass zwischen die elastische Folie 2 und den Stößel 1 eine weitere elastische Schicht 7 aufgebracht wird. In einer Variante (Figur 5) befindet sich auf dem Stößel eine zusätzliche elastische Schicht 7. Diese Schicht sorgt für ein homogeneres Einwirken der Kraft auf die elastische Folie. Dadurch wird die Dichtigkeit des Ventils verbessert und eine Beschädigung der elastischen Folie vermieden. Die zusätzliche elastische Schicht 7 kann auch flächig ausgeführt sein und die gesamte mikrofluidische Schicht überdecken (Figur 6). Gegenstand der Erfindung sind auch mikrofluidische Systeme, die ein oder mehrere erfindungsgemäße Mikroventile enthalten können. Die

erfindungsgemäße Ventiltechnologie bietet sich zur Realisierung eines integrierten mikrofluidischen Systems an. In diesem Fall befinden sich auf der strukturierten Schicht ein oder mehrere Mikroventile sowie ein oder mehrere zusätzliche mikrofluidische Elemente. Zusätzliche mikrofluidische Elemente können beispielsweise Mischer, Kammern, Filter etc. sein. Insbesondere kann das Mikroventil zusammen mit einem Filter zum blasenfreien Befüllen einer mikrofluidischen Filterkammer eingesetzt werden.

Die Ansteuerung des mikrofluidischen Systems kann beispielsweise mit der in den Figuren 7 und 8 dargestellten Vorrichtung geschehen. Diese Vorrichtung stellt eine Auflagefläche 8 mit einer Möglichkeit zur Justierung 9 für das mikrofluidische System zur Verfügung. Über dem mikrofluidischen System befinden sich ein oder mehrere Stößel 1 , die auf die Mikroventile des

mikrofluidischen Systems einwirken können und die entweder alle zusammen oder aber getrennt voneinander angesteuert werden können. In einer

Ausführungsform der Erfindung sind die regulierbaren Stößel 1 Bestandteil des mikrofluidischen Systems.

In einer anderen besonderen Ausführungsform der Erfindung sind die regulierbaren Stößel 1 Bestandteil der Vorrichtung zur Ansteuerung des mikrofluidischen Systems. Die regulierbaren Stößel 1 wirken dann mit den Mikroventilen in dem mikrofluidischen System zusammen. In dieser

Ausführungsform umfasst die Vorrichtung vorzugsweise mehrere regulierbare

Stößel 1 zur Ansteuerung mehrerer Mikroventile, wobei die regulierbaren Stößel 1 beispielsweise alle zusammen oder unabhängig voneinander reguliert werden können. Beispielsweise sind die regulierbaren Stößel 1 in der Vorrichtung in Figur 8 als Array ausgeführt und in einem bestimmten Raster angeordnet.

Dadurch können beliebige mikrofluidische Systeme, deren Mikroventile in diesem

Raster angeordnet sind, mit der Vorrichtung angesteuert werden.

In einer weiteren besonderen Ausführungsform der Erfindung ist die Vorrichtung zur Ansteuerung des mikrofluidischen Systems so gestaltet, dass das mikrofluidische System einfach ausgetauscht werden kann, z.B. durch seitliches

Einschieben in die Vorrichtung. Die regulierbaren Stößel 1 können zum Austauschen des mikrofluidischen Systems nach oben gefahren werden. Es ist möglich, in diesem Fall einen oder mehrere regulierbare Stößel 1 vorzusehen, die auf inaktive Bereiche des mikrofluidischen Systems wirken und lediglich zur mechanischen Arretierung dienen.

In einer weiteren Ausführungsform der Erfindung umfasst die Vorrichtung temperierbare Bereiche. Beispielsweise können ein oder mehrere regulierbare Stößel 1 sowie gegebenenfalls Teilbereiche der Auflagefläche mit Heiz- und/oder Kühlelementen, z.B. Peltier, Leiterbahn, ausgestattet sein. Dadurch können bestimmte Bereiche des mikrofluidischen Systems auf definierte

Temperaturniveaus gebracht werden. Dies kann z.B. für die Durchführung einer Polymerase-Kettenreaktion (PCR) vorteilhaft sein.

In einer weiteren besonderen Ausführungsform der Erfindung umfasst die Vorrichtung temperierbare Bereiche, wobei der vordere Bereich eines

temperierten regulierbaren Stößels 1 vom hinteren Bereich eines temperierten regulierbaren Stößels 1 , insbesondere vom Aktor, thermisch isoliert ist. Dies kann beispielsweise durch Einbringen eines thermisch schlecht leitfähigen Materials erfolgen. Dies hat den Vorteil, dass die thermische Masse reduziert und ein schnelleres Aufheizen bzw. Abkühlen ermöglicht wird.

In einer weiteren besonderen Ausführungsform der Erfindung kann neben dem mikrofluidischen System ein Ventilator angebracht sein, um eine schnellere Abkühlung der beheizten Bereiche zu erreichen. In einer Ausführungsform der Erfindung können das mikrofluidische System und die Auflagefläche im temperierbaren Bereich 11 dünner sein als im übrigen Bereich der strukturierten Schicht 3. In einer weiteren besonderen

Ausführungsform der Erfindung können das mikrofluidische System und die Auflagefläche im temperierbaren Bereich 1 1 mit Nuten 10, freigestellt sein, wie in Figur 9 gezeigt. In einer weiteren besonderen Ausführungsform der Erfindung kann das mikrofluidische System oder die Auflagefläche im temperierbaren Bereich 1 1 dünner sein als im übrigen Bereich der strukturierten Schicht 3. In einer weiteren besonderen Ausführungsform der Erfindung kann das

mikrofluidische System oder die Auflagefläche im temperierbaren Bereich 11 freigestellt sein, beispielsweise mit Nuten 10, wie in Figur 10 gezeigt. Dies bietet den Vorteil, dass die thermische Masse reduziert und ein schnelleres Aufheizen bzw. Abkühlen ermöglicht wird. Die gestrichelten Linien deuten die Position der regulierbaren Stößel 1 an.

In einer weiteren besonderen Ausführungsform der Erfindung umfasst die strukturierte Schicht 3 eine Kammer 12, gegenüber der ein regulierbarer Stößel 1 liegt, wie in den Figuren 11 und 12 gezeigt. Durch Aktuierung des regulierbaren Stößels 1 kann die elastische Folie 2 in die Kammer 12 hinein ausgelenkt werden und Flüssigkeit aus der Kammer 12 verdrängt werden. Ein solches

mikrofluidisches System kann z.B. zur Vorlagerung und kontrollierten Abgabe von Flüssigkeiten ausgenutzt werden.

In mikrofluidischen Systemen kann eine Pumpe dadurch realisiert werden, dass mehrere, beispielsweise zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, fünfzehn, zwanzig oder mehr (aktuierbare) Kammern 12 hintereinander geschaltet werden. In mikrofluidischen Systemen kann eine Pumpe auch dadurch realisiert werden, dass eine Reihenschaltung aus mehreren,

beispielsweise zwei, drei, vier, fünf, sechs, sieben, acht, neun, zehn, fünfzehn, zwanzig oder mehr Bausteinen bestehen, wobei die Bausteine ein Mikroventil, eine Kammer 12 und noch ein Mikroventil hintereinander umfassen. Mit einer solchen mikrofluidischen Pumpe können Flüssigkeiten im mikrofluidischen System gepumpt werden.

Das mikrofluidische Ventil ist in allen fluidischen Systemen einsetzbar, in denen ein Ventil oder eine Pumpe benötigt wird, beispielsweise in polymeren Lab-on- Chip (LOC)- und Micro-Total-Analysis-Systemen (μΤΑ-Systemen) zur

molekularen Diagnostik.

Das erfindungsgemäße Mikroventil und mikrofluidische Systeme, die dieses Mikroventil umfassen, sind für Herstellungstechnologien geeignet, die auf die Massenfertigung solcher Systeme abzielen. Silizium-Mikroventile benötigen beispielsweise komplexe Fertigungsprozesse. Aus Kostengründen werden sie deshalb oft nicht mit mikrofluidischen Elementen, die größere Flächen benötigen, integriert. Kern der vorliegenden Erfindung ist ein Zweischichtaufbau aus einem strukturierten Substrat und einer elastischen Folie. Ein oder mehrere Stößel wirken auf die elastische Folie. Ein Vorteil des vorliegenden Mikroventils und von mikrofluidischen Systemen, die dieses Mikroventil umfassen, ist, dass der (Zwei-) Schichtaufbau kostengünstig ist und in Massen hergestellt werden kann. Auch können auf einer strukturierten Schicht 3 bzw. in einem mikrofluidischen System eine Vielzahl von Mikroventilen realisiert werden. Die Mikroventile dichten auch bei hohen fluidischen Drücken sicher ab. Die erfindungsgemäßen Mikroventile enthalten keine aufwändigen Anschlüsse. Bei den bekannten pneumatischen Mikroventilen beispielsweise ist der Anschluss an die Pilotventile sehr aufwändig (es wird eine Vielzahl von Druckluftleitungen benötigt). Bei den

erfindungsgemäßen Mikroventilen ist die Anbindung an den Aktor/die Aktoren sehr einfach. Neben den Mikroventilen können auf derselben strukturierten Schicht 3 oder in demselben mikrofluidischen System auch weitere fluidische Elemente realisiert werden. Ein mikrofluidisches System, das ein

erfindungsgemäßes Mikroventil umfasst, kann beispielsweise in eine Vorrichtung zum Ansteuern des mikrofluidischen Systems eingelegt werden, in dem sich die Aktoren und Stößel befinden. Damit ist ein solches mikrofluidisches System für Routineanalysen einsetzbar.