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Title:
MICROMECHANIC MANIPULATOR
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/1990/006587
Kind Code:
A1
Abstract:
A micromechanic manipulator has a substrate (1), heating elements and a manipulator arm (2) that works based on the principle of the bimaterial effect. Known bimaterial manipulators carry out perpendicular movements to the surface of the substrate. It is however often desirable to have manipulators that carry out movements in the direction of the surface of the substrate. In the disclosed manipulator, the surface of the substrate opposes a mechanic resistance to a deviation of the manipulator arm, warping the same, reducing its effective length and causing a displacement in the direction of the surface of the substrate. This manipulator arm is useful to drive elements movable in the plane of the substrate, such as toothed disks or joints.

Inventors:
Benecke, Wolfgang
Application Number:
PCT/DE1989/000755
Publication Date:
June 14, 1990
Filing Date:
December 06, 1989
Export Citation:
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Assignee:
Fraunhofer-gesellschaft, Zur F�rderung Der Angewandten Forschung E.
Benecke, Wolfgang
International Classes:
B23Q1/36; B25J7/00; B81B3/00; F03G7/06; F15C5/00; F16H25/02; F16K99/00; G02B7/182; H01H1/00; H01H37/52; H02N10/00; H01H61/04; (IPC1-7): B25J7/00; F03G7/06; F15C5/00; H01H1/00
Foreign References:
US4423401A1983-12-27
EP0045250A11982-02-03
Other References:
PATENT ABSTRACTS OF JAPAN vol. 8, no. 284 (M-348)(1721) 26 Dezember 1984, & JP-A-59 150983 (NIIGATA TEKKOSHO) 29 August 1984, siehe das ganze Dokument
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Claims:
P A T E N T A N S P R Ü C H E
1. Mikromechanischer Manipulator, mit einem Substrat, Heizelementen und wenigstens einem Manipulatorarm, der aus einer Platte aus einem ersten Material mit einem ersten thermischen Ausdehnungskoeffizienten und einer die Platte wenigstens teilweise überdeckenden Schicht aus einem zweiten Material mit einem zweiten thermi¬ schen Ausdehnungskoeffizienten zusammengesetzt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht einen höheren Ausdehnungskoeffizienten aufweist als die Platte, und daß der Manipulatorarm einen ersten Bereich, der fest mit der Substratoberfläche verbunden ist, und einen zweiten, losen Bereich aufweist und in geringem Abstand parallel zur Substratoberfläche derart angeordnet ist, daß der lose Bereich der Platte bei Temperaturverände¬ rung des Manipulatorarmes eine Bewegung parallel zur Substratoberfläche ausführt.
2. Mikromechanischer Manipulator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat aus einem Silizium Wafer, die Platte aus PolySilizium und die Schicht aus Metall besteht.
3. Mikromechanischer Manipulator nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Heizelemente als elektrische Widerstände ausgebildet sind und auf der " Platte oder auf der die Platte bedeckenden Schicht an¬ geordnet sind, oder daß die Platte oder die Schicht oder beide als Heizwiderstand ausgebildet sind.
4. Mikromechanischer Manipulator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß alle Elemente des Manipulators auf einem Halbleiterchip integriert sind.
5. Mikromechanischer Manipulator nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der lose Bereich des Manipulatorarmes als langgestrecktes Rechteck aus¬ gebildet ist.
6. Mikromechanischer Manipulator nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat un¬ terhalb des losen Bereiches des Manipulatorarmes eine Ventilδffnung aufweist und der lose Bereich des Mani¬ pulatorarmes so ausgestaltet ist, daß er im ungeheizten Zustand die Ventilöffnung verschließt.
7. Mikromechanischer Manipulator nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat un¬ terhalb des losen Bereiches des Manipulatorarmes we¬ nigstens eine Blendenöffnung aufweist und der lose Be¬ reich des Manipulatorarmes so ausgestaltet ist, daß er im ungeheizten Zustand die Blendenöffnung abdeckt.
8. Mikromechanischer Manipulator nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Manipulatorarm als Antrieb für ein bewegbares Element ausgebildet ist.
9. Mikromechanischer Manipulator nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß auf einem Substrat wenigstens zwei Manipulatorarme tangential um eine drehbar gelagerte ' Zahnscheibe angeordnet sind und daß die losen Bereiche der Manipulatorarme als Haken ausgebildet sind, die auf die Zähne der Zahnscheibe einwirken.
10. Mikromechanischer Manipulator nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Mikromanipulatoren senkrecht zueinander tangential um die drehbar gelagerte Zahn¬ scheibe angeordnet sind, und daß die Zahnscheibe sechs gleichmäßig über den Umfang der Scheibe verteilte Zähne aufweist, deren Länge so gewählt ist, daß ein Manipu¬ latorarm nur dann auf einen Zahn einwirken kann, wenn dieser in etwa in Richtung des Manipulatorarmes weist.
11. Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Ma¬ nipulators nach einem der Ansprüche 1 bis 7, gekenn¬ zeichnet durch folgende Verfahrensschritte: Abscheiden einer Zwischenschicht, z.B. aus Sili¬ ziumoxid auf einem SiliziumSubstrat, Abscheiden einer PolySiliziumschicht(erstes Ma¬ terial mit erster thermischer Ausdehnung) Lithographische Strukturierung und Ätzung (Platte) Abscheiden einer Metallschicht (zweites Material mit zweiter thermischer Ausdehnung) Lithographische Strukturierung und Ätzung (Schicht auf der Platte) Ätzen der auf dem Substrat abgeschiedenen Zwi¬ schenschicht (loser Bereich des Manipulatorarmes) .
Description:
MIKROMECHANISCHER MANIPULATOR

Technisches Gebiet

Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Manipulator, mit einem Substrat, Heizelementen und wenigstens einem Mani¬ pulatorarm. Der Manipulatorarm ist aus einer Platte und einer Schicht zusammengesetzt, die die Platte wenigstens teilweise überdeckt. Die Bewegung des Manipulatorarmes be¬ ruht darauf, daß die Platte und die Schicht aus verschie¬ denen Materialien mit unterschiedlichen thermischen Ausdeh¬ nungskoeffizienten gefertigt sind. Bei Veränderung der Tem¬ peratur dehnen sich die fest verbundenen Materialien unter¬ schiedlich aus, was zu einer Auslenkung des Manipulatorarmes führt (Bimetall-Effekt) .

Mit Hilfe von Mikromanipulatoren können Gegenstände über mikroskopisch kleine Entfernungen bewegt werden. Sie eignen sich deshalb zur Präzisions ustierung. Mikromanipulatoren können als Mikro-Ventilklappen, Mikro-Schalter oder Mikro¬ Spiegel zur Lichtablenkung eingesetzt werden.

Stand der Technik

Solche Mikromanipulatoren sind z. B. in der Schrift "Micromechanical Membran Switches on Silicon" (IBM Journal Research Development, Vol. 23, 1979, S. 376 - 285) oder in "Thermally Excited Silicon Microactuators" (IEEE Transactions on Electron Device, Vol. 35, 1988, S. 758 - 763) beschrieben. Den bekannten Mikromanipulatoren ist ge¬ meinsam, daß die Bewegung der Manipulatorarme aus der Sub¬ stratoberfläche heraus führt; eine Bewegung in der Oberflä¬ chenebene ist bisher nicht möglich.

Aus mehreren Veröffentlichungen, beispielsweise in der Pa¬ tentschrift der US 4740410, oder in der Veröffentlichung "Micro gears and Turbines etched fro Silicon" (Sensors and Actuators, 12, (1987), S. 341 - 348) sind bewegbare mikro¬ mechanische Elemente wie Gelenke oder Turbinenräder bekannt. Bisher fehlt allerdings ein Antrieb, der mit auf demselben Chip integriert ist. Die Elemente werden z. B. mit Hilfe eines von außen zugeführten Luftstromes bewegt.

Darstellung der Erfindung

Aufgabe der Erfindung ist es, einen mikromechanischen Mani¬ pulator mit einem Manipulatorarm auf Bimaterialbasis anzu¬ geben, der einfach herstellbar ist und als Antrieb für be¬ wegbare mikromechanische Elemente dient, die in einer Sub- stratoberfläche integriert sind.

Diese Aufgabe wird durch einen Manipulator mit einem Mani¬ pulatorarm, der aus einer Platte aus einem ersten Material mit einem ersten thermischen Ausdehnungskoeffizienten und einer die Platte wenigstens teilweise überdeckenden Schicht aus einem zweiten Material mit einem zweiten thermischen

Ausdehnungskoeffizienten zusammengesetzt ist, dadurch ge¬ löst, daß die Schicht einen höheren Ausdehnungskoeffizienten aufweist als die Platte, und daß der Manipulatorarm einen ersten Bereich, der fest mit der Substratoberfläche verbun¬ den ist, und einen zweiten, losen Bereich aufweist und in geringem Abstand parallel zur Substratoberfläche derart an¬ geordnet ist, daß der lose Bereich der Platte bei Tempera¬ turveränderung des Manipulatorarmes eine Bewegung parallel zur Substratoberfläche ausführt.

Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfin¬ dung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.

Fertigungstechnische Vorteile bietet die Ausgestaltung nach Anspruch 2, da hier ein in der Mikroelektronik häufig ver¬ wendetes Ausgangsmaterial als Substrat dient.

Die Platte wird aus Polysilizium und die Schicht aus Metall gefertigt. Metall, z. B. Gold besitzt einen wesentlich hö¬ heren thermischen Ausdehnungskoeffizienten als Poly-Sili- ziu . Die Kombination dieser beiden Materialien bewirkt ei¬ nen stark ausgeprägten Bimaterial-Effekt. Als Heizelement dienen nach Anspruch 3 elektrische Widerstände, die auf der Platte oder der Schicht aufgebracht werden. Besonders vor¬ teilhaft ist eine Ausgestaltung, bei welcher die Platte selbst oder die Schicht oder beide als Heizwiderstand die¬ nen. Wie in Anspruch 4 gekennzeichnet, werden alle Elemente des mikromechanischen Manipulators auf einen Halbleiterchip integriert. Auf demselben Chip können bei dieser Ausgestal¬ tung auch die Stromversorgung für die Heizelemente und weitere elektronische Schaltungen integriert werden.

Nach Anspruch 5 ist die Platte des Manipulatorarmes als langgestrecktes Rechteck ausgebildet. Mit dieser Form wird

eine optimale Wirkung der unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten erreicht. Nach Anspruc 6 kann der mikromechanische Manipulator zu einem Ventil weitergebildet werden. Das Substrat weist bei dieser Weiterbildung eine Ventilöffnung auf, die vom losen Ende des Manipulatorarmes verschlossen wird, solange der Arm nicht geheizt wird. Bei Einschalten des Heizstromes gibt der Arm die Öffnung frei und schaltet das Ventil auf Durchlaß. Analog kann der Mani¬ pulator nach Anspruch 7 als schließbare Blendenöffnung für Teilchen- und Lichtstrahlen dienen. Besonders vorteilhafte Weiterbildungen sind in den Ansprüchen 8 bis 10 gekenn¬ zeichnet. Ein oder mehrere Mikromanipulatoren dienen dabei als Antrieb für bewegbare mikromechanische Elemente, wie Gelenke, Scheiben oder Zahnräder.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile liegen insbesondere darin, daß eine Bewegung in der Substratebene erfolgt. Damit können in dieser Ebene bewegbar angeordnete mechanische Elemente angetrieben werden. Mit dem mikromechanischen Ma¬ nipulator wird ein Antrieb angegeben, der mikromechanische Maschinen von einem externen Antrieb unabhängig macht. Der Manipulator ist sehr vielseitig einsetzbar als optisches Element (variable Blende, variabler Spiegel) , als Ventil für Gase und Flüssigkeiten, als Schalter und Relais, als Antrieb für translatorische -Bewegungen und Rotationsbewegungen. Da passiv bewegbare mikromechanische Elemente bereits verwirk¬ licht sind, werden aktive Antriebe zunehmend an Bedeutung gewinnen. Sie können vorteilhaft in der Mikrorobotik, in der Medizintechnik und als Werkzeug zur Herstellung mikromecha¬ nischer Elemente Verwendung finden.

Drei Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeich¬ nungen dargestellt und werden im folgenden näher beschrie¬ ben.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Es zeigen:

Fig. 1 Schematische Darstellung eines mikromechanischen Manipulators a) im Grundriß; b) Schnitt durch den Manipulator bei nicht geheiztem Manipulatorarm; c) Schnitt durch den Manipulator bei geheiztem Manipulatorarm;

Fig. 2 Schnitt durch einen mikromechanischen Manipulator, der als Blende (bzw. Ventil) ausgebildet ist a) bei geschlossener Blende (Ventil) ; b) bei geöffneter Blende (Ventil) ;

Fig. 3 einen mikromechanischen Manipulator, bei welchem zwei Manipulatorarme als Antrieb .für eine Zahn¬ scheibe dienen, wobei in Fig. 3 A - Fig. 3 E der Bewegungsablauf für eine Drehung von 60° darge¬ stellt ist.

Wege zur Ausführung der Erfindung

Als Substrat 1 des in Fig. 1 dargestellten mikromechanischen Manipulators dient ein Quader, der aus einem Siliziumwafer gefertigt ist. Länge und Breite des Quaders betragen einige hundert Mikrometer, die Dicke entspricht der Waferdicke von 500 μ ~ \. Der Manipulatorarm ist aus einer T-förmig ausgebil¬ deten, etwa 0,5 μm starken Platte 2 aus Poly-Silizium und einer Metall-Schicht 3 (z. B. aus Gold) etwa derselben Stär¬ ke zusammengesetzt. Die Metallschicht bedeckt teilweise den

langgestreckten Teil der T-förmigen Platte, beide sind fest miteinander verbunden.

Im Bereich des Querstückes 4 ist die Platte 2 über eine etwa 0,5 μ dünne Zwischenschicht 5 fest mit der Substratoberflä¬ che verbunden. Das Längsstück 6 der T-förmigen Platte ist lose.

Die Materialien der Platte und der Schicht sind so gewählt, daß die Auslenkung des Manipulatorarmes bei Temperaturer¬ höhung in Richtung der Substratoberfläche erfolgt. Entschei¬ dend für die Funktion des Manipulators ist, daß dieser Bewe¬ gung senkrecht zur Substratoberfläche ein mechanischer Wi¬ derstand entgegenwirkt. Das Auftreten des mechanischen Wi¬ derstandes führt zu einer Wölbung des Manipulatorarmes und zu einer Bewegung des freien Endes des Manipulatorarmes ent- lang der Oberfläche in Richtung des festen Endes. Diese Be¬ wegung ist durch Pfeile in Fig. 1 a und Fig. 1 c angedeutet.

Bei Abkühlung des Manipulatorarmes verläuft die Bewegung entlang der Oberfläche in entgegengesetzter Richtung.

Fig. 2 zeigt die schematische Darstellung einer Weiterbil¬ dung des mikromechanischen Manipulators zu einer verschlie߬ baren Blende für Licht- oder Teilchenstrahlen. Am losen Ende des Manipulatorarmes 2 ist eine Abdeckplatte 11 angebracht, die eine Blendenöffnung 12 im Substrat 1 abdeckt (Fig. 2a) . Durch Erwärmung des Manipulatorarmes wird die Blendenöffnung freigegeben (Fig. 2b) .

In Fig. 3 ist eine Weiterbildung des Manipulators darge¬ stellt, bei der zwei Manipulatorarme als Antrieb für eine bewegbare Zahnscheibe dienen. Die beiden Manipulatorarme 21,

22, sind tangential zu der Kreisscheibe 23 angeordnet und schließen einen Winkel von 90° ein. Die losen Enden der Ma¬ nipulatorarme sind als Haken 24 ausgebildet und können auf die Zahnscheibe einwirken. Die Zahnscheibe weist sechs stiftför ige Zähne 25 auf, deren Länge so gewählt ist, daß ein Manipulatorarm nur dann auf einen Zahn einwirken kann, wenn dieser in etwa in Richtung des Manipulatorarmes weist. Fig. 3 A zeigt die Ausgangslage; beide Manipulatorarme sind gestreckt, der mit einer Pfeilspitze bezeichnete Zahn der Zahnscheibe weist auf den Manipulatorarm 21.

Durch Erwärmung des Manipulatorarmes 21 bewegt sich dessen zum Haken 24 ausgebildetes, loses Ende entlang der Substrat¬ oberfläche und führt den bezeichneten Zahn so lange mit, bis dieser durch die Drehbewegung der Zahnscheibe aus dem Ein¬ flußbereich des Armes gedreht ist. Wie in Fig. 3 B darge¬ stellt, weist nach dieser Drehbewegung ein anderer Zahn auf den Manipulatorarm 22. Durch Abkühlung nimmt der Manipula¬ torarm 21, wie in Fig. 3 C gezeigt, seine Ausgangsstellung ein, ohne die Zahnscheibe zu bewegen.

In einem nächsten Schritt, desse'n Ergebnis in Fig. 3 D dar¬ gestellt ist, wird die Zahnscheibe durch Einwirkung des Ma¬ nipulatorarmes 22 ein weiteres Stück gedreht. Nach Abkühlung des Armes ist die Grundstellung wieder erreicht, mit dem Unterschied, daß die Zahnscheibe um 60° gedreht ist (Fig. 3 F) . Durch kontinuierliches Durchlaufen der beschrie¬ benen Schritte wird die Zahnscheibe in Rotation versetzt.

Durch Anbringen mehrerer Manipulatorarme und Zähne werden höhere Drehgeschwindigkeiten der Scheibe und ein besserer Gleichlauf erreicht.

In einer nicht näher ausgeführten Weiterbildung dient der Mikromanipulator als Blende für Teilchen- oder Lichtstrahlen mit wählbarer Blendenöffnung. Die Zahnscheibe 23 ist mit Blendenöffnungen unterschiedlicher Durchmesser versehen, die auf einem Kreis um den Scheibenmittelpunkt angeordnet sind. Im selben Abstand vom Scheibenmittelpunkt weist das Substrat eine Öffnung auf, die durch Drehung der Scheibe mit einer Blendenöffnung von gewünschtem Durchmesser zur Deckung ge¬ bracht wird.

Bei einer weiteren Ausführung werden an der Zahnscheibe bei¬ spielsweise Schneide- oder Fräswerkzeuge angebracht, so daß sich der Manipulator zur Materialbearbeitung eignet.

Die Drehbewegungen einer oder mehrerer Zahnscheiben werden durch eine vorteilhafte Ausbildung des Manipulators wieder in Translationsbewegungen umgesetzt. Die Zähne der Zahn¬ scheibe greifen in die Zähne einer gezahnten Rechteckplatte und verschieben diese Platte in der Substratoberfläche. Da¬ durch sind Translationen über Entfernungen erreichbar, die die Verschiebung eines Manipulatorarmes um ein Vielfaches übertrifft.

Alle beschriebenen Ausführungen eignen sich zur Herstellung mit den üblichen Verfahren der Mikrostrukturtechnik und Mi¬ kroelektronik. Dadurch können auf einem Chip sowohl der Ma¬ nipulator als auch eine erforderliche Steuer- oder Auswer¬ teelektronik integriert werden. Auf einem Wafer können wäh¬ rend eines Herstellungsprozesses gleichzeitig mehrere iden¬ tische mikromechanische Manipulatoren hergestellt werden.




 
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