Die Erfindung betrifft eine mikromechanische Vorrichtung und ein Verfahren zu ihrer Herstellung.

Mikromechanische Vorrichtungen wie Sensoren oder Aktuatoren finden zunehmend Eingang in alle Bereiche der Technik, z. B. in Navigationssysteme und Kraftfahrzeuge, insbesondere in Verbindung mit Sicherheitssystemen. Einen großen Teil der¬ artiger Vorrichtungen bilden Druck- und Beschleunigungssen- soren. Gefragt sind zuverlässige, kleine, einfach herzustel¬ lende und dabei preiswerte Sensoren mit einer hohen Meßge¬ nauigkeit und einer guten Proportionalität zwischen Meßgröße und Ausgangssignal. Dies gilt entsprechend für Aktuatoren, so daß nachfolgend der Einfachheit halber lediglich auf Sensoren eingegangen wird.

Die meisten heute verwendeten Druck- oder Beschleunigungs- sensoren werden feinmechanisch oder mittels KOH-Ätztechnik auf Siliziumbasis (bulk-micromachining) hergestellt. Die Auswertung des bislang meist mittels des Piezoeffekts er¬ zeugten Sensorsignals erfolgt getrennt vom Sensor. Der Trend geht jedoch zum intelligenten Sensor, bei dem der Sensor so¬ wie die Schaltung zur Auswertung des Sensorsignals und gege¬ benenfalls eine Testschaltung auf Basis der Siliziumplanar- technologie auf einem Chip integriert sind. Die Auswertung des piezoresistiven oder kapazitiven Sensorsignals sowie die Linearisierung und Verstärkung erfolgen mit Halbleiter¬ schaltkreisen bekannter Technologien. Ein derartiger Sensor ist beispielsweise aus der Veröffentlichung F. Goodenough: Airbags Boom When IC Accelerometer Sees 50 G, Electronic De¬ sign, August 8, 1991, pp. 45-56 bekannt.

Während konventionell hergestellte mikromechanische Sensoren relativ groß, teuer und ungenau sind, beschreibt die vorste¬ hend genannte Veröffentlichung eine verbesserte Ausführungs¬ form. Dieser bekannte sogenannte oberflächen-mikromechanische Sensor (surface micromachining) benötigt, wie insbesondere aus der diesbezüglichen weiteren Veröffentlichung: Analog Devices Combines Micromachining and BICMOS, Semiconductor International, Okt. 1991 hervorgeht, zu seiner Herstellung- 21 Masken, nämlich 6 Masken für den Sensorprozeß und 15 Masken für einen 4 μm-BICMOS-Prozeß. Das zur Ausbildung des kapazitiven Sensors ka mförmige Sensorelement besteht aus einem 2um-dicken Polyεiliziumelement und ist über Federn, die ebenfalls aus Polysilizium sind, mit der Substratoberflache verbunden.

Eine weitere kapazitive Struktur ist aus der US-A-5 025 346 bekannt.

Das Herstellverfahren für die bekannten Sensoren bzw. Aktua- toren ist außerordentlich aufwendig und teuer. Darüberhinaus ist unsicher, ob die für die mechanisch bewegten Teile eines Sensors verwendeten Polysiliziumschichten eine ausreichende mechanische Langzeitstabilität aufweisen. Neben dieser möglichen zeitlichen Degradation sind die mechanischen Eigenschaften wie der Elastizitätsmodul oder intrinsischer Streß von Polysilizium sensibel von den jeweiligen Prozeßbedingungen während der Herstellung abhängig. Die thermische Ausheilung des intrinsischen Stresses erfordert im Herstellungsprozeß zusätzliche Temperschritte, was sich nachteilig auf die gleichzeitig in dem Sensor integrierte elektronische Schaltung auswirkt. Zudem sind im Herstel¬ lungsprozeß zusätzliche Abscheidungen von Halbleiterschichten notwendig. Bei einem denkbaren Einsatz von modernen Sub-μm- BICMOS-Schaltungen für die Auswerteschaltung des Sensors ist es aufgrund der dabei verwendeten niedrigen Prozeßtempe¬ raturen nicht mehr möglich, streßfreie Polysiliziumschichten herzustellen.

Ein Problem betrifft die Verarbeitung von mikromechanischen, gegebenenfalls integrierten mikromechanischen Vorrichtungen, die auf einem Halbleiterwafer hergestellt sind. Zum Verein- zeln der Chips wird der Wafer dünngeschliffen und anschlie¬ ßend werden die einzelnen Chips gesägt. Dabei muß das fili¬ grane Gebilde der mikromechanischen Vorrichtung auf deren Vorderseite mit einer Folie abgedeckt werden. Für die Verar¬ beitung ist ein Reinraum erforderlich, damit nicht Partikel in die mikromechanische Vorrichtung gelangen können, die deren Brauchbarkeit beeinträchtigen oder die Vorrichtung unbrauchbar lassen werden könnten. Diese Verarbeitungsweise ist teuer und auch bei großen Stückzahlen wenig praktikabel.

Eine als Chip vereinzelte mikromechanische Vorrichtung muß zum Schutz gegen äußere Einflüsse in ein Gehäuse eingebracht werden. Für bekannte Vorrichtungen scheidet ein Plastikge¬ häuse aus, da bei der Plastikummantelung des Chips die Beweg¬ lichkeit des Sensors verlorengeht. Verpressdrücke bis zu 80 bar können zur völligen Zerstörung der mikromechanischen

Vorrichtung führen. Üblicherweise wird deshalb ein mikrome¬ chanischer Chip in ein Hohlraumgehäuse eingebaut, das aller¬ dings etwa um den Faktor 10 teurer als ein Plastikgehäuse ist.

Aus den Veröffentlichungen K. Ikeda et. al. : Silicon pressure sensor with resonant strain gauge built into diaphragm, Proc. of the 7th Sensor Symp., Tokyo, Japan, 1988, pp. 55-58 und K. Ikeda et. al. : Three-dimensional micromachining of Silicon pressure sensor integrating resonant strain gauge on dia¬ phragm, Sensors and Actuators, A21-A23, 1990, pp. 1007-1010 sind mikromechanische Drucksensoren mit einem Polysilizium- Diaphragma bekannt, auf dem ein auf mechanische Spannungen reagierender Resonator angeordnet ist. Bei einer Verbiegung des Diaphragmas ändert sich die Resonanzfrequenz des Resona- tors auf Grund der mechanischen Spannungen. Damit der von außen ausgeübte Druck nicht direkt auf den Resonator wirken

und auf diese Weise zu Meßsignalverfälschungen führen kann, ist der Resonator auf dem Diaphragma mit einer Kappe abge¬ deckt. Auch ein derartiger Sensor muß zum Schutz gegen Umwelteinflüsse in ein Hohlraumgehäuse eingebaut werden.

Die Erfindung hat die Aufgabe, eine einfacher und kostengün¬ stiger herzustellende mikromechanische Vorrichtung und ein Verfahren zu deren Herstellung anzugeben.

Gemäß eines Aspekts der Erfindung sind bei einem Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Vorrichtung folgende Schritte vorgesehen:

- ein Körper, bei dem auf einem Träger eine erste Isolier¬ schicht und darüber eine Siliziumschicht angeordnet ist, wird gebildet,

- die Siliziumschicht wird strukuriert, wobei Öffnungen bis auf die erste Isolierschicht gebildet werden,

- eine Isolierschichtzone und eine flächige weitere Schicht werden aufgetragen, - die weitere Schicht wird strukturiert, wobei Öffnungen bis auf die IsoUerschichtzone gebildet werden,

- mit Hilfe der strukturierten weiteren Schicht als Maske werden die Isolierschichtzone und die darunter liegenden Bereiche der ersten Isolierschicht selektiv geätzt, - über der weiteren Schicht wird eine Deckschicht als flächi¬ ge Abdeckung unter Bildung eines abgeschlossenen Hohlraums aufgetragen.

Gemäß eines weiteren Aspekts der Erfindung ist eine mikrome- chanische Vorrichtung vorgesehen, die auf einem Träger einen mit Hilfe einer Siliziumschicht gebildeten mikromechanischen Bereich enthält, wobei auf dem Träger unter Bildung eines abgeschlossenen Hohlraums eine flächige Abdeckung des mikro- mechanischen Bereichs angeordnet ist.

Die Erfindung hat den Vorteil, daß die auf einem Chip reali¬ sierte mikromechanische Vorrichtung bereits auf dem Chip eine

Abdeckung hat, die in der Prozeßlinie in Verbindung mit der Herstellung der mikromechanischen Vorrichtung hergestellt wird. Bei der Verarbeitung des Wafers mit den mikromechani¬ schen Vorrichtungen, d.h. u.a. beim Herstellen von Anschluß- Verbindungen, beim Läppen und beim Vereinzeln der Chips ist deshalb keine Reinraumatmoεphäre mehr erforderlich. Darüber hinaus braucht der Chip nicht mehr in einem Hohlraumgehäuse montiert zu werden, sondern kann mit einem preisgünstigen Plastikgehäuse ummantelt werden. Es ergibt sich eine wesent- lieh erhöhte Zuverlässigkeit der mikromechanischen Vorrich¬ tung, da die Vorrichtung unmittelbar nach der Herstellung noch auf dem Wafer mit einer Abdeckung versehen ist und somit für die nachfolgenden Verfahrensschritte ausreichend ge¬ schützt ist. Die Beweglichkeit des Sensors bleibt erhalten, weil durch die Abdeckung ein abgeschlossener Hohlraum gebil¬ det wird, in dem die beweglichen Elemente angeordnet sind.

Die Erfindung hat den weiteren Vorteil, daß sie sich sowohl für bekannte mikromechanische Vorrichtungen, die in polykri- stallinem Silizium verwirklicht sind, als auch für Vorrich¬ tungen eignet, in denen der aktive Bereich in einkristallinem Silizium realisiert ist. Einkristallines Silizium besitzt genau bekannte mechanische Eigenschaften, die nicht von den jeweiligen Parametern des Herstellungsprozesses abhängen. Zudem sind die mechanischen Eigenschaften keiner zeitlichen Degradation unterworfen, so daß die Langzeitstabilität sehr groß ist.

Die Erfindung hat den weiteren Vorteil, daß sie unter Ver- wendung bekannter und verfügbarer Grabenätz- und Auffüllver¬ fahren in vollem Umfang VLSI-kompatibel ist. Weiterhin ist die erfindungsgemäße Vorrichtung mechanisch robust, da sich die beweglichen Teile in der Siliziumschicht befinden und nicht auf der Chipoberfläche.

Wenn Elektroden des Sensors senkrecht zur Chipoberfläche stehen ergibt sich eine hohe spezifische Kapazität

(Packungsdichte) des Sensors. Gleichzeitig wird das Sticking- Problem, d. h. eine Adhäsion von Flächen beim oder nach einem Spülvorgang entschärft, da die Steifigkeit der Sensor¬ vorrichtung senkrecht zur Schwingungsrichtung sehr groß ist.

Schließlich bietet die erfindungsgemäße Vorrichtung bei einer Integration der Auswerteεchaltung den erheblichen Vorteil, daß bei der Verwendung eines bipolaren oder eines BICMOS- Prozesses die Maskenzahl zur Herstellung der Vorrichtung gegenüber einem Standardprozeß in diesen Technologien nicht oder nur unwesentlich erhöht wird.

Ausgestaltungen der Erfindung sind in Unteransprüchen ge¬ kennzeichnet.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand zweier Ausführungsbei- spiele in den Figuren der Zeichnung näher erläutert, in denen gleiche Elemente gleiche Bezugszeichen haben. Es zeigen:

Figuren 1 bis 5 Querschnitte durch eine erste erfindungsgemäße Vorrichtung bei verschiedenen Herstellungsverfahrensschritten, Figur 6 einen Querschnitt durch einen Teilbereich einer kapazitiven Vorrichtung, Figur 7 einen Schnitt durch eine kapazitive Vorrichtung gemäß Figur 6 in einem größeren Ausschnitt, Figur 8 einen Teil-Querschnitt durch eine zweite erfindungsgemäße Vorrichtung und Figur 9 einen anders liegenden Querschnitt durch die Vorrichtung von Figur 8 mit größerem Ausschnitt.

Figur 1 zeigt an einem ersten Ausführungsbeispiel einen bei der Herstellung der mikromechanischen Vorrichtung gebildeten Grundkörper. Auf einem Träger oder Substrat 1 ist eine erste Isolierschicht 2 und auf dieser Isolierschicht eine einkristalline Siliziumschicht 3 angeordnet. Das Substrat kann ebenfalls aus Silizium bestehen. Typischerweise wird die

Dicke der ersten Isolierschicht 2 zwischen 0,5 und 1 um gewählt, während die Schichtdicke der Siliziumschicht 3 z. B. zwischen 5 und 20 um betragen kann. Die Kristallorientierung und Dotierung des Substrats ist beliebig. Die Orientierung und Dotierung der Siliziumschicht 3 entspricht der bei der Herstellung der mikromechanischen Vorrichtung und einer integrierten Halbleiterschaltungsanordnung verwendeten Ba¬ sistechnologie.

Gemäß Figur 1 ist die der Isolierschicht 2 bzw. die der unteren Grenzfläche der Siliziumschicht zugewandte Seite der Siliziumschicht 3 n ⁺ -dotiert, während die von der Isolier¬ schicht 2 abgewandte Oberflächenzone der Siliziumschicht n ^~ - dotiert ist. Die Dotierung der Siliziumschicht 3 ist für das eigentliche Sensorelement nicht notwendig, sondern richtet sich ausschließlich nach der Technologie, die für die zu integrierende Schaltungsanordnung verwendet werden soll.

Der Grundkörper gemäß Figur 1 kann z. B. eine DWB-Scheibe sein, wobei DWB Direct-Wafer-Bonding bedeutet. Derartige

Scheiben sind aus zwei Halbleiterscheiben zusammengeklebt und lassen sich mit hoher Qualität mit den in Figur 1 gezeigten Schichtdicken und Dotierungen am Markt erwerben. Eine weitere Möglichkeit zur Herstellung des in Figur 1 gezeigten Grundkörpers ist die Verwendung des sogenannten SIMOX-Ver¬ fahrens (I. Rüge, H. Mader: Halbleiter-Technologie, Springer- Verlag, 3. Auflage, 1991, Seite 237). Dabei wird eine Iso¬ lierschicht aus Siliziumoxid durch tiefe Ionenimplantation von Sauerstoffatomen in einkristallines Silizium gebildet. Daran kann sich ein Epitaxieschritt anschließen. Eine dritte Möglichkeit zur Herstellung des Grundkörpers gemäß Figur 1 macht von der Rekristallisation Gebrauch, bei der eine über einer einkristallinen Siliziumschicht und einer darauf ange¬ ordneten Siliziumoxidschicht zunächst amorph oder polykri- stallin abgeschiedene Siliziumschicht durch Aufschmelzen mit einem Laserstrahl rekristallisiert wird.

In einem nächsten Schritt werden in die einkristalline Sili¬ ziumschicht 3 Gräben bis auf die Oberfläche der Isolier¬ schicht 2 geätzt, beispielsweise durch eine anisotrope Trockenätzung. Anschließend werden die Gräben mit einem do- tierenden Isolierstoff aufgefüllt. Im Ausführungsbeispiel gemäß Figur 2 kann Phosphorglas (PSG) oder Borphosphorglas (BPSG) verwendet werden. Die Erzeugung derartiger Glas- schichten ist beispielsweise aus D. Widmann, H. Mader, H. Friedrich: Technologie hochintegrierter Schaltungen, Sprin- ger-Verlag, 1988, Seite 80 ff. bekannt. Bei einer entspre¬ chenden Temperaturbehandlung diffundieren Phosphor und gege¬ benenfalls Bor aus dem Phosphorglas in das Silizium der Gra¬ benwände der Siliziumschicht 3 ein. Damit ergibt sich die in Figur 2 gezeigte Struktur, bei der die Isolierschicht 2 und die dotierende Isolierschicht 4 am Fuß der zuvor geätzten

Gräben aufeinanderstoßen. Die Grabenwände sind entsprechend der an der Isolierschicht 2 angrenzenden Zone der Silizium- schicht 3 dotiert, d. h. im Ausführungsbeispiel n ⁺ -dotiert.

Durch das Ätzen von Gräben in der Siliziumschicht und das

Dotieren der Grabenwände werden sowohl der Bereich SB, in dem der eigentliche Sensor vorgesehen ist, als auch der Bereich TB, in dem die elektronische Auswerteschaltung, zumindest aber eine Transistoranordnung für die Verarbeitung des Sen- sorsignals vorgesehen ist, strukturiert und gegeneinander isoliert. Der Bereich TB beinhaltet eine oder mehrere iso¬ lierte Wannen, in die je nach Vorgabe CMOS-, Bipolar- oder sonstige Bauelemente eingebaut werden. Wenn die im Bereich TB zu realisierende Transistoranordnung z. B. ein bipolarer Transistor ist, ist mit der in Figur 2 gezeigten Struktur des Bereichs TB bereits eine vergrabene Kollektorzone und ein niederohmiger Kollektor-Anschluß in Form der dotierten Gra¬ benwände erzeugt. Gegenüber Anordnungen aus dem Stand der Technik erfordert die Erzeugung der in Figur 2 gezeigten Struktur keine separaten Masken- und Dotierungsprozesse für die vergrabene Zone, für einen Kanalstopper und für einen Kollektor. Ein Epitaxieprozeß kann ebenfalls entfallen.

Ausgehend von der Struktur der Figur 2 werden anschließend in den Bereichen TB und SB Isolationszonen, insbesondere Feldoxidbereiche durch lokale Oxidation und eine Transi- storanordnung in dem Bereich TB erzeugt. Diese Transistoran¬ ordnung kann mit einem standardmäßigen bipolaren oder BICMOS- Prozeß hergestellt werden. Beispiele für derartige Prozesse sind z. B. aus der vorgenannten Veröffentlichung Wid¬ mann/Mader/Friedrich: Technologie hochintegrierter Schal- tungen bekannt. Bei einer bipolaren Transistorstruktur kann z. B., ausgehend von Figur 2, zunächst die Basiszone, bei einem BICMOS-Prozeß zunächst die p-bzw. n-Wanne erzeugt werden.

Selbstverständlich ist es möglich, ausgehend von der Struktur der Figur 2 auch eine MOS-Transistoranordnung in dem Grundkörper zu realisieren. Auch in diesem Fall beginnt der standardmäßige Prozeß mit der Erzeugung einer p- bzw. n-Wanne in dem für die Transistorstrukturen vorgesehenen Bereich TB.

Die Herstellung der Feldoxidbereiche durch lokale Oxidation erfolgt mit den für den Transistorprozeß vorgesehenen Pro¬ zeßschritten gleichzeitig auch im Sensorbereich SB. Die Bereiche des Sensors, in denen die beweglichen Elemente bzw. Elektroden der Vorrichtung vorgesehen sind, erhalten ein

Feldoxid IS, während die dazwischen angeordneten Bereiche von der lokalen Oxidation (LOCOS) ausgenommen werden. Gegebenen¬ falls werden vor dem LOCOS-Prozeß die Grabenfüllungen teil¬ weise wieder entfernt, so daß nach dem Oxidationsprozeß der zwischen zwei Feldoxidbereichen liegende Oberflächenbereich, in dem keine beweglichen Elemente der Vorrichtung vorgesehen sind, niedriger liegt als die Oberfläche des Feldoxids über dem beweglichen Element, aber höher als die auf diesem Ele¬ ment angeordnete untere Grenzfläche des Feldoxids, Fig. 3, Bereich SB.

Während der Erzeugung der Transistoranordnung wird der Be¬ reich SB, der für das Sensorelement vorgesehen ist, soweit erforderlich durch eine entsprechende Maske abgedeckt. Gemäß Figur 3 ergibt sich z. B. ein bipolarer Transistor, dessen Kollektor C niederohmig über die vergrabene Zone BL und die hochdotierten niederohmigen Grabenwände CA mit dem Kollek¬ toranschluß K verbunden sind. Die p-dotierte Basis ist mit dem Basisanschluß B verbunden. Entsprechend ist der Emit¬ teranschluß E über der hochdotierten n ⁺⁺ -Zone angeordnet. Basis-, Emitter- und Kollektorbereiche des Transistors sind über Isolationszonen II bis 13, vorzugsweise aus Siliziumoxid Siθ2, gegeneinander isoliert. Anschließend wird über der gesamten Anordnung, d.h. den Bereichen TB und SB, eine Passivierungsschicht P aufgebracht. Beispielsweise kann die Passivierungsschicht aus Siliziumnitrid Si3N4 bestehen.

Im Anschluß an die Erzeugung der Transistoranordnung und der Passivierungsschicht P wird die Passivierungsschicht P in den Bereichen über dem Sensorbereich SB, in denen Feldoxid gebil- det ist, mit Hilfe einer Lackmaske entfernt. Es entstehen Fenster F, Figur 4, mit einem Durchmesser von etwa 0,7 bis 1,5 um. Danach werden selektiv das Feldoxid IS, der dotie¬ rende Isolierstoff 4 in den darunter liegenden Gräben des Sensorbereichs und die Isolierschicht 2 zumindest in Teilzo- nen des Sensorbereichs SB entfernt. Dies kann z. B. durch einen naßchemischen oder einen Trocken-Ätzprozeß ohne Lackab¬ deckung unter Verwendung der Passivierungsschicht P als Maske erfolgen. Die Isolierschicht 2 wird dabei unter den bewegli¬ chen Elektroden BEI, BE2 des Senεorelements vollständig und unter den nicht beweglichen Elektroden FEI bis FE3 des Sen- sorelementε nicht vollständig entfernt, so daß letztere weiterhin mechanisch mit dem Substrat 1 über Isolierstege 2a verbunden sind, Fig. 5.

Um ein möglicherweise bei der Entfernung der Isolierschicht 2 unter dem Bereich der beweglichen Elektroden BEi auftretendes Adhäsionεproblem (Sticking) zu lösen, können sublimierende

Chemikalien, z. B. Cyclohexan oder Dichlorbenzol verwendet werden.

Es schließt sich die Abscheidung einer Abdeckschicht, z.B. aus Nitrid bzw. Plasmanitrid, Metall (Aluminium o.a.) PSG, BPSG oder Polysilizium an, z.B. mit konformer Abbildung, wobei eine schlechte Kantenbedeckung erwünscht ist, um die Fenster F zu schließen. Geringe Abscheidungen auf den Elek¬ troden BEI, BE2, FEI biε FE3 sowie der Substratoberfläche sind zulässig und erwünscht, weil eε alε Antistickingmaßnahme (Anti-Kaltverschweiß-Maßnahme) dient.

Figur 5 zeigt im Querschnitt eine Anordnung nach dem Entfer¬ nen des Isolierstoffs 4 und der Isolierschicht 2 neben und unter den beweglichen Elektroden BEI, BE2 des Sensorbereichs SB, während unter den festen Elektroden FEI, FE2 und FE3 die Isolierschicht 2a noch teilweise vorhanden ist. Über der An¬ ordnung gemäß Figur 5 ist eine flächige Abdeckung D aus (Plasma)Nitrid, Metall, PSG, BPSG oder Polysilizium vorhan- den, die die mikromechanische Vorrichtung und die integrierte Transistoranordnung vollständig gegen äußere Einflüsse schützen kann. Zur Verbesserung der mechanischen Festigkeit kann die Abdeckung D mehrschichtig aufgebaut sein, z. B. durch sukzessives Aufbringen von Schichten. Die Schichten können aus den bei der Herstellung der Schaltung ohnehin verwendeten Materialien, also z. B. Metallisierungsschichten (Aluminium) oder Intermetalldielektrika bestehen. Die Dimen¬ sionierung erfolgt so, daß die Abdeckung D den bei der Umhül¬ lung des Bauelements auftretenden Verpreßdrücken, z. B. 80 bar, standhält. Es entsteht ein abgeschlossener Hohlraum, in dem die beweglichen Elemente des Sensors angeordnet sind.

Der in Figur 5 gezeigte Querschnitt B-B stellt eine Sensor¬ struktur dar, die Figur 6 im Querschnitt A-A zeigt. In Figur 7 ist schematisch ein größerer Ausschnitt aus dem Sensorbe¬ reich skizziert. Es handelt sich um einen Beschleunigungs¬ sensor, der ein bewegliches Masseteil M hat, das über Feder-

elemente Fl, F2 und weitere nicht dargestellte Federelemente an der Siliziumschicht 3 aufgehängt ist. Das Masseteil M hat fingerförmige bewegliche Elektroden BEI, BE2 bzw. BE10, BE11 und BEli, die frei in Bereiche zwischen festen Elektroden FEI bis FE3 bzw. FE10 bis FE13 εowie FEli, hineinragen. Zwischen den beweglichen Elektroden BEi bzw. BEij und den festen Elektroden FEi bzw. FEij sind, da die Grabenwände der Elektroden hochdotiert sind, Kapazitäten gebildet, die in den Figuren 5 bis 7 rein symbolisch dargestellt sind. Die Buch- staben i und j der Bezugselemente symboliεieren Laufvariable. Um bei der Herstellung des Sensorteils die Isolierεchicht unter dem Maεεeteil zuverläεεig entfernen zu können, enthält das Masεeteil M Löcher L. Die Lochöffnungen betragen etwa 0,7 biε 1,5 um (kreisförmig bzw. elliptisch), der Lochmittenab- stand etwa 5 bis 8 um. Grundsätzlich sind die Löcher jedoch nicht zwingend erforderlich. In Figur 7 ist der Bereich der Sondermaske, die für die Erzeugung der Sensorstrukturen verwendet wird, skizziert. Innerhalb des durch die Sonder¬ maske SM definierten Bereichs erfolgt das Entfernen des do- tierenden Isolierstoffs aus den Gräben und der Isolierschicht neben und unterhalb der beweglichen Elektroden, des Masse- teilε und der Federn vollεtändig.

Figur 7b) zeigt daε mit der Senεorstruktur von Figur 5 bzw. Figur 6 erhaltene Ersatzschaltbild. Die beweglichen Elektro¬ den BEi, d.h. BE10 bis BEli sind über das Masseteil M und die Feder Fi mit einem Anschluß BEA verbindbar. Die festen Elek¬ troden sind paarweise mit Anschlüεsen AE und CE verbunden, die den festen Platten eines Kondensators entsprechen. Die beweglichen Elektroden bilden eine bewegliche Platte des

Kondensators, so daß Figur 7b) einen Differentialkondensator darstellt.

In den Spalten S zwischen den beweglichen und festen Elek- troden wird der Isolierstoff vollständig entfernt, Figur 6. Aus den Zwischenräumen ZR zwischen zwei festen Elektroden, Figur 7, kann der dotierende Isolierεtoff entfernt werden. Eε

ist jedoch auch möglich, daß die Zwischenräume ZR der festen Elektroden und die darunterliegende Isolierschicht, die den jeweiligen festen Elektroden zugewandt ist, erhalten blei¬ ben. Voraussetzung ist eine andere Maske, mit der sich nur die Isolierεchicht und der dotierende Iεolierεtoff unterhalb und zwiεchen den beweglichen Elektroden entfernen laεεen.

Die feεten Elektroden können alternativ zu der Struktur von Figur 6 bzw. Figur 7 in ähnlicher Weiεe wie in der zuvor zi- tierten Veröffentlichung Electronic Design mit dem Substrat 1 bzw. der Isolierschicht 2 mechanisch verbunden sein. Die Befestigung über einen Anker hat freitragende Elektroden zur Konsequenz, was bedeutet, daß die festen Elektroden hin¬ sichtlich auf sie wirkender Beschleunigungεkräfte auεreichend biegesteif εein müssen, damit zusätzliche Meßfehler nicht negativ auf die Meßgenauigkeit wirken.

Die in den Figuren 6 und 7 dargestellte Sensoranordnung reagiert sensibel auf Bewegungen des Masseteils M in der angedeuteten Pfeilrichtung. Die zulässige Auslenkung der fingerförmigen kapazitiven beweglichen Elektroden beträgt weniger als der Spaltabstand zu einer festen Elektrode, d. h. weniger als etwa 0,5 bis 1,5 um. Vorzugsweise ist deshalb die Auswerteεchaltung der Senεorvorrichtung alε Regelkreiε derart ausgestaltet, daß eine Regelspannung einer Auslenkung des Maεεeteilε in dem Sinne entgegenwirkt, daß die durch den Differentialkondenεator gebildeten Teilkapazitäten jeweilε gleich sind. Dieses Verfahren hat den Vorteil, daß es ein Nullpunktverfahren ist und deshalb in der Regel genauer ist als ein absolutes Verfahren zur Bestimmung der Kapazitäts¬ änderungen.

Eine zweidimensionale Beεchleunigungεmeεsung ist möglich, wenn zwei Sensoranordnungen gemäß Figur 6 bzw. Figur 7 ver- wendet werden, die zueinander um 90°versetzt sind. Die

Schwingungsrichtung der jeweiligen Masseteile liegt dabei in der Schwingungsrichtung der Chipebene in zwei zueinander

εenkrechten Richtungen. Die beschriebene Technik läßt sich in ähnlicher Weise auf die Herstellung von Differenzdrucksenso¬ ren anwenden.

Bei größeren abzudeckenden Bereichen der Vorrichtung, für die keine freitragende Abdeckung D möglich ist, sind Stützen vorgesehen, die von den beweglichen Elektroden vollständig getrennt sind. (Zur Ausführung wird auf das zweite Auεfüh- rungsbeispiel verwiesen.)

Die Erfindung nach dem ersten Ausführungsbeispiel hat zu¬ sätzlich zu den sich mit der Abdeckung D ergebenden Vorteilen folgende weitere Vorteile:

Das Sensormasεeteil, die Elektroden und der Biegebalken, d. h. die Aufhängefedern des Sensors bestehen aus Monosilizium, so daß für die beweglichen Teile die von Polysilizium her bekannten Verbiegungen und Spannungen entfallen.

Das Masseteil des Sensorε und die Federkonεtante deε Biege- balkenε εowie bei einem kapazitiven Sensor die Sensorkapazi¬ tät sind unabhängig voneinander einstellbar, so daß sich gut Senεorarrays realisieren lasεen. Die Senεoranordnung erlaubt eine hohe Packungεdichte deε Senεorε, da die Elektroden εenkrecht zur Chipoberfläche εtehen, εo daß sich eine große kapazitive Fläche erzielen läßt. Die Steifigkeit der Elek¬ troden senkrecht zur Schwingungsrichtung iεt sehr groß, da das Widerstandsmoment proportional zur 3. Potenz der Elek¬ trodendicke ist. Aus diesem Grund tritt gegebenenfalls kein Adhäεionε- bzw. Stickingproblem auf, εo daß gegenwirkende

Chemikalien nicht erforderlich εind.

Da εich die beweglichen Teile deε Senεors im Silizium bzw. in der Siliziumschicht befinden und nicht auf der Chipoberfläche ist der Sensor mechanisch außerordentlich robust. Durch die Anordnung der Elektroden und des Masseteils in der Chipebene

ist außerdem automatisch eine Überlastsicherung in der Chip¬ ebene gegeben.

Bei Verwendung eines bipolaren oder eines BICMOS-Standard- prozesses als Baεistechnologie für die Auswerteεchaltung des intelligenten Sensors wird die Maskenzahl nicht erhöht. Da¬ durch lassen sich erhebliche Kosten sparen und der Herstel¬ lungsprozeß insgesamt vereinfachen.

Grundsätzlich ist das erfindungsgemäße Verfahren bzw. die

Sensorvorrichtung kombinierbar mit allen bekannten Technolo¬ gien. Insbesondere ist die Sensorvorrichtung VLSI-kompatibel, so daß Strukturbreiten unter lum erzielt werden können. Verwendung bei der Herstellung können deshalb die aus der Halbleitertechnologie bekannten Grabenätz- und Auffüllver¬ fahren εowie die üblichen Halbleiterverfahren finden.

Die Figuren 8 und 9 zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Es handelt sich um einen Beschleunigungssenεor mit einem Maεεeteil MT, daε über Federelemente F 20 bzw. F21 in einem Halbleiterkörper aufgehängt iεt. Das Masseteil MT kann ähnlich wie bei der in Figur 7 gezeigten Anordnung als bewegliche Elektrode eines Differentialkondensators aufgefaßt werden. Das Masεeteil ist gemäß Figur 8 mit einem Anschluß BEA verbunden, während die beiden festen Elektroden 10 und 14 mit entsprechenden Anschlüsεen FEA 1 bzw FEA 2 verbunden sind. Die feste Elektrode 10 besteht auε einem Halbleitersubstrat, in dem eine n ⁺ - leitende Wanne 10a ein¬ gebettet ist.

Bei den vergleichsweise großen Abmesεungen des Sensors sind im Bereich deε Masseteilε MT Stützen ST für den Deckel D vorgeεehen. Die Figuren 8 und 9 zeigen entsprechende Schnitte bzw. Teilschnitte durch die markierten Ebenen. Die Stützen ST sind durch einen Luftspalt LS vollständig von dem beweglichen Masεeteil MT getrennt. In dem Maεεeteil εind Löcher L vorge-

εehen, die beim Herεtellungεprozeß zum Freiätzen des Senεor- teils dienen.

Die Sturktur gemäß Figur 8 wird folgendermaßen hergestellt: Auf einem Substrat 10 mit der hochdotierten Zone 10a wird zunächst ganzflächig eine erste Isolierschicht, beispiels¬ weise durch (lokale) Oxidation erzeugt. Danach wird eine Polysiliziumεchicht aufgetragen, auε der durch Strukturieren die Bereiche 12 und daε Maεεeteil MT entstehen. Bei der Strukturierung werden die Löcher L bzw. die Ringaussparungen LS geätzt. Anschließend wird ganzflächig ein Hilfsoxid oder ein Phosphorglas (PSG oder PBSG) als Isolierschichtzone aufgetragen. Anεchließend wird wiederum ganzflächig eine Polysiliziumschicht, Nitrid-, Metall- oder Silikatglasschicht (PSG, BPSG) abgeschieden, die so als Schicht 14 strukturiert wird, daß vorzugsweiεe über den Löchern L deε Maεεeteils gleichgeartete Löcher Lp entstehen. Die Löcher L, LS bzw. Lp in den Schichten 12, MT und 14 müssen als Durchgangslöcher ausgebildet sein. Anschließend werden durch selektive Ätzung durch die Löcher in der Schicht 14 die strukturierte Isolier- εchichtzone 13 gebildet und durch die Löcher L und LS in den Bereichen 12 (teilweiεe) und MT (vollständig) die erste Isolierεchicht entfernt. Die Zone 11 unter Bereich 12 bleibt εtehen. Dadurch wird das Masεeteil MT freigelegt, so daß es nur noch an den Federelementen F 20 und F 21 aufgehängt ist. In den Stützenbereichen ST bleibt über dem Subεtrat 10 eine Stütze bestehen, die gemäß Figur 8 aus der Schichtenfolge 11, 12 und 13 besteht. Diese Stütze ist eine durchgehende mechanische Verbindung zwischen dem Substrat 10 und der Polysiliziumschicht 14. Eine ähnliche Stützenkonstruktion iεt beim erεten Auεführungεbeiεpiel möglich.

Nachfolgend wird über der Polyεiliziumεchicht 14 eine Ab- deckschicht als Abdeckung D, z.B. eine Isolierschicht aufge- tragen. Diese Abdeckschichtεchicht kann aus Nitrid, d.h.

Plasmanitrid oder Pasεivierungsnitrid, aus Phophorglas (PSG oder BPSG) bestehen oder eine TEOS-Schicht sein. Weiterhin

kann eine Metall- oder Polyεiliziumεchicht vorgeεehen sein. Die Abscheidung der Schicht erfolgt beispielsweiεe durch konforme Abbildung. Entscheidend ist, daß die Löcher in der Schicht 14 durch diese Schicht verschloεεen werden. Eventu- eile Abscheidungen AS, die bei diesem Prozeßschritt auf dem Substrat 10 oder auf der beweglichen Elektrode MT entstehen, sind nicht nachteilig, sondern erwünscht, da dadurch die Eletroden deε Senεors allerhöchstenε punktuell aufliegen können und so ein Sticking-Problem ohne weitere chemische Prozeßschritte weitgehend vermieden wird.

Die auf diese Weise erzeugte Abdeckung D kann weiter ver¬ stärkt werden, indem zusätzliche Schichten, beispielsweise eine Mehrlagenmetallisierung aufgetragen bzw. abgeschieden wird. Üblicherweise wird als obere abdeckende Schicht eine

Paεεivierungεεchicht aufgetragen. Die Dicke der über Polysi- liziumschicht 14 abgeschiedenen Deckelschicht kann etwa 1 bis 4 μ betragen. Die Dimensionierung erfolgt so, daß die Ab¬ deckung D dem maximalen Verpreßdrücken standhält.

Die in Figur 8 gezeigten Abmessungen ergeben sich aus den lateralen Ätzweiten bei der selektiven Freiätzung des Masse¬ teils MT unter der Berücksichtigung, daß Stützen ST stehen¬ bleiben müssen. So ist bei einer Lochöffnung d des Lochs L von etwa 0,7 biε 1,5 μ und einer lateralen Ätzweite a ent¬ sprechend ungefähr b/2 von 3 bis 4 μm ein Lochmittenabstand von 5 bis 8 μm vorgesehen. Die Breite c des Stützenfußeε εollte etwa 3 biε 4 μm betragen, der Sützenabεtand etwa 10 biε 25 μm. Bei der Herstellung des Deckels D kann in üblicher Weise durch eine Temperaturbehandlung eine Verdichtung deε Materials erfolgen.

Die Erfindung hat den Vorteil, daß in allen drei Dimensionen eine mechanische Überlastεicherung vorhanden ist. Grundsätz- lieh eignet sich die Erfindung zum Eingraben in einem

Substrat mittels CVD-Oxid, Plasma-Nitrid, selektiver Epitaxie oder anderen Verfahren für andere Materialien, z. B. Metalle.

Damit ist eine billige Plaεtikmontage und eine Standardbehandlung vereinzelter Chpiε bei der Gehäuseherstel¬ lung möglich. Insbesondere bei einem hohen Integrationsgrad, d.h. bei einem Senεor mit Auεwertelektronik und Auεgangε- Leiεtungstranεistoren ergibt sich εo eine erhebliche Verbil- ligung deε integrierten Senεorε. Dieε iεt für Massenanwendun¬ gen, beiεpielεweiεe zur Verzögerungεmeεεung bei Airbag-Syεte- men oder bei anderen Senεorεystemen von ausschlaggebender Bedeutung.

Weiterhin eignet sich die Erfindung sowohl für bekannte Sensoranordnungen mit Polysilizium als Sensorelementen als auch für Monoεilizium-Senεorelemente. Die Erfindung iεt unter Verwendung bekannter und verfügbarer Ätz- und Auffüllverfah- ren vollεtändig VLSI-kompatibel. Sie kann grundsätzlich mit allen bekannten Halbleitertechnologien kombiniert werden. Insbeεondere bei der im ersten Ausführungsbeispiel darge¬ stellten Technologie ist eine integrierte Sensorherstellung ohne wesentliche Erhöhung der erforderlichen Maskenzahl möglich. Darauε ergeben εich weitere erhebliche Kostenvortei¬ le. Dotierungs- und Maßangaben der Beschreibung sind nur Beiεpielεangaben. Bei anderen Senεoren können andere Maße oder Dotierungen zweckmäßig sein, z. B. kann eine Dotierung der Grabenwände im Sensorbereich gegebenenfalls entfallen, wobei die Transiεtorεtruktur in an εich bekannter Technologie erzeugt wird.

Figur 5