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Patent Searching and Data


Title:
MICROMECHANICAL PRESSURE SENSOR
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2018/162228
Kind Code:
A1
Abstract:
The invention relates to a micromechanical pressure sensor (100), comprising: - a pressure sensor frame (20); - a pressure sensor core (10) attached to the pressure sensor frame (20) by means of a spring element (15); - a rear side grid (21) arranged in the pressure sensor frame (20); and - at least one attachment element (19) arranged between the rear side grid (21) and the pressure sensor core (10) for the attachment of the pressure sensor core (10) to the pressure sensor frame (20).

Inventors:
FRIEDRICH, Thomas (Lembergweg 4, Moessingen-Oeschingen, 72116, DE)
DANNENBERG, Arne (Werastrasse 5, Metzingen, 72555, DE)
Application Number:
EP2018/054196
Publication Date:
September 13, 2018
Filing Date:
February 21, 2018
Export Citation:
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Assignee:
ROBERT BOSCH GMBH (Postfach 30 02 20, Stuttgart, 70442, DE)
International Classes:
G01L19/06; G01L9/00; G01L19/14
Foreign References:
US20160187370A12016-06-30
US20170013363A12017-01-12
DE102015116353A12016-05-04
DE102004006197A12005-01-27
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Claims:
Ansprüche

1 . Mikromechanischer Drucksensor (100), aufweisend:

einen Drucksensorrahmen (20);

einen an den Drucksensorrahmen (20) mittels eines Federelements (15) angebundenen Drucksensorkern (10);

ein im Drucksensorrahmen (20) ausgebildetes Rückseitengitter (21 ); und wenigstens ein zwischen dem Rückseitengitter (21 ) und dem

Drucksensorkern (10) ausgebildetes Anbindungselement (19) zur Anbindung des Drucksensorkerns (10) an den Drucksensorrahmen (20).

2. Mikromechanischer Drucksensor (100) nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass das wenigstens eine Anbindungselement (21 ) zentral am Rückseitengitter (21 ) und zentral am Drucksensorkern (10) angebunden ist.

3. Mikromechanischer Drucksensor (100) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das wenigstens eine Anbindungselement (19) als eine runde Säule ausgebildet ist.

4. Mikromechanischer Drucksensor (100) nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das wenigstens eine Anbindungselement (19) als eine eckige Säule ausgebildet ist.

5. Mikromechanischer Drucksensor (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Anbindungselement (19) eine definierte Anzahl von runden und/oder eckigen Säulen aufweist.

6. Mikromechanischer Drucksensor (100) nach einem der vorherigen

Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Anbindungselement (19) als ein durch das Rückseitengitter (21 ) eingespritztes Verbindungselement zwischen dem Drucksensorkern (10) und dem Rückseitengitter (21 ) ausgebildet ist.

7. Mikromechanischer Drucksensor (100) nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das eingespritzte Verbindungselement ein Polymer oder ein Siliconkautschuk ist.

Mikromechanischer Drucksensor (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Anbindungselement (19) identisch geformt ist wie Durchgangslöcher des Rückseitengitters (21 ).

Mikromechanischer Drucksensor (100) einem der vorhergehenden

Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Anbindungselement (19) einen Durchmesser von ca. 5μηι bis ca. δθμηη, vorzugsweise von ca. 20μ bis ca. 30μηι aufweist.

10. Mikromechanischer Drucksensor (100) nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Federelement (15) derart ausgebildet ist, dass es eine optimierte mechanische Stressentkopplung zwischen dem Drucksensorkern (10) und dem Drucksensorrahmen (20) bereitstellt. 1 1 . Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Drucksensors (100), aufweisend die Schritte:

Bereitstellen eines Drucksensorrahmens (20);

Bereitstellen eines an den Drucksensorrahmen (20) mittels eines Federelements (15) angebundenen Drucksensorkerns (10);

- Ausbilden eines Rückseitengitters im Drucksensorrahmen (20), wobei zu einer Anbindung des Drucksensorkerns (10) an den Drucksensorrahmen (20) wenigstens ein zwischen dem Rückseitengitter (21 ) und dem Drucksensorkern (10) ausgebildetes Anbindungselement (19) bereitgestellt wird.

Description:
Beschreibung

Titel

Mikromechanischer Drucksensor

Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Drucksensor. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Drucksensors.

Stand der Technik

Moderne Verpackungstechniken machen es erforderlich, den drucksensitiven Teil eines Drucksensors in Form einer Drucksensormembran mittels spezieller Federdesigns zum restlichen Teil des Sensors mechanisch zu entkoppeln und damit unabhängig von AVT-Einflüssen (Aufbau- und Verbindungstechnik) zu machen. Ein neuartiger Trend innerhalb der Drucksensoren ist es, den drucksensitiven Teil in Form der Drucksensormembran mittels spezieller Federdesigns vom restlichen Teil des Sensors mechanisch zu entkoppeln und damit genauer zu machen.

Externe Einflüsse, welche den Drucksensor unter mechanischen Stress (z.B. Verbiegung) setzen, sind zum Beispiel mechanische Verspannungen aufgrund eines Moldprozesses, ein Aufbau mit mehreren Materialien mit unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten, Stress durch Lötverbindungen des aufgebauten Sensors auf einer externen Leiterplatte, usw.

Im Folgenden wird ein derartiger Aufbau als ein sogenannter„stressentkoppelter Drucksensor" bezeichnet.

Ein mikromechanischer Drucksensor, bei dem eine Druckdifferenz in Abhängigkeit von einer Verformung einer Sensormembran gemessen wird, ist z.B. aus DE 10 2004 006 197 A1 bekannt. Offenbarung der Erfindung

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen verbesserten, insbesondere einen stressrobusten mikromechanischen Drucksensor bereit zu stellen.

Die Aufgabe wird gemäß einem ersten Aspekt gelöst mit einem mikromechanischen Drucksensor, aufweisend:

einen Drucksensorrahmen;

einen an den Drucksensorrahmen mittels eines Federelements angebundenen Drucksensorkern;

ein im Drucksensorrahmen ausgebildetes Rückseitengitter; und wenigstens ein zwischen dem Rückseitengitter und dem

Drucksensorkern ausgebildetes Anbindungselement zur Anbindung des Drucksensorkerns an den Drucksensorrahmen.

Auf diese Weise wird der Drucksensorkern bei großer externer mechanischer Belastung durch das Anbindungselement vor einer Auslenkung und einem Anschlagen an das Rückseitengitter oder an den Oberseitenwafer gehindert. Vorteilhaft dadurch kann auf diese Weise für den mikromechanischen Drucksensor eine große Robustheit bereitgestellt werden.

Auf diese Weise wird eine optimierte Anbindung des Drucksensorkerns an den Drucksensorrahmen bereitgestellt, wobei eine Druckfestigkeit mit einer

Robustheit gegenüber mechanischer Stressentkopplung realisiert ist. Dadurch ist ein optimiertes Betriebsverhalten des mikromechanischen Drucksensors unterstützt. Auf diese Weise wird ein mikromechanischer Drucksensor mit einer allseitig freigestellten Drucksensormembran mit optimierter Anbindung des Drucksensorkerns bereitgestellt, wodurch eine effiziente Stressentkopp- lungsstruktur realisiert ist.

Gemäß einem zweiten Aspekt wird die Aufgabe gelöst mit einem Verfahren zum Herstellen eines mikromechanischen Drucksensors, aufweisend die Schritte:

Bereitstellen eines Drucksensorrahmens;

Bereitstellen eines an den Drucksensorrahmen mittels eines Federelements angebundenen Drucksensorkerns; Ausbilden eines Rückseitengitters im Drucksensorrahmen, wobei zu einer Anbindung des Drucksensorkerns an den Drucksensorrahmen wenigstens ein zwischen dem Rückseitengitter und dem Drucksensorkern ausgebildetes Anbindungselement bereitgestellt wird.

Bevorzugte Ausführungsformen des mikromechanischen Drucksensors sind Gegenstand von abhängigen Ansprüchen.

Eine vorteilhafte Weiterbildung des mikromechanischen Drucksensors sieht vor, dass das wenigstens eine Anbindungselement zentral am Rückseitengitter und zentral am Drucksensorkern angebunden ist. Auf diese Weise wird eine symmetrische Krafteinleitung auf den Drucksensorkern bereitgestellt, was eine mechanische Robustheit verbessert.

Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung des mikromechanischen Drucksensors ist gekennzeichnet, dass das wenigstens eine Anbindungselement als eine runde Säule ausgebildet ist. Dadurch wird eine spezifische Ausgestaltung des

Anbindungselements mit guten mechanischen Eigenschaften bereitgestellt.

Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung des mikromechanischen Drucksensors sieht vor, dass das wenigstens eine Anbindungselement als eine eckige Säule ausgebildet ist. Auf diese Weise wird eine alternative, mechanisch robuste Ausgestaltung des Anbindungselements bereitgestellt.

Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung des mikromechanischen Drucksensors ist dadurch gekennzeichnet, dass das Anbindungselement eine definierte Anzahl von runden und/oder eckigen Säulen aufweist. Auf diese Art und Weise kann die mechanische Anbindung des Drucksensorkerns an den Drucksensorrahmen noch weiter verbessert werden.

Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung des mikromechanischen Drucksensors zeichnet sich dadurch aus, dass das Anbindungselement als ein durch das Rückseitengitter eingespritztes Verbindungselement zwischen dem Drucksensorkern und dem Rückseitengitter ausgebildet ist. Dadurch ist eine einfache

Bereitstellung eines Anbindungselements mit guten mechanischen Eigenschaften realisiert. Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung des mikromechanischen Drucksensors zeichnet sich dadurch aus, dass das eingespritzte Verbindungselement ein Polymer oder ein Siliconkautschuk ist. Auf diese Art und Weise werden weitere Ausführungsformen des Anbindungselements mit günstigen mechanischen

Eigenschaften bereitgestellt, wobei Siliconkautschuk ein weicher Kleber ist, der einfach einzubringen ist.

Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung des mikromechanischen Drucksensors zeichnet sich dadurch aus, dass das Anbindungselement identisch geformt ist wie Durchgangslöcher des Rückseitengitters. Auf diese Weise wird vorteilhaft eine Periodizität des Rückseitengitters ausgenützt, wodurch die lithographischen Schritte bei der Herstellung des Anbindungselements erleichtert sind. Beispielsweise kann dadurch eine hexagonale oder quadratische Periodizität des Rück- seitengitters ausgenutzt werden.

Eine weitere vorteilhafte Weiterbildung des mikromechanischen Drucksensors zeichnet sich dadurch aus, dass das Anbindungselement einen Durchmesser von ca. 5μηι bis ca. δθμηη, vorzugsweise von ca. 20μηι bis ca. 30μηι aufweist. Auf diese Weise werden günstige geometrische Abmessungen für das

Anbindungselement bereitgestellt.

Weitere vorteilhafte Weiterbildungen des mikromechanischen Drucksensors zeichnen sich dadurch aus, dass das Federelement derart ausgebildet ist, dass es eine optimierte mechanische Stressentkopplung zwischen dem Drucksensorkern und dem Drucksensorrahmen bereitstellt. Auf diese Weise kann vorteilhaft eine Optimierung des Federelements durchgeführt werden, wobei das Federelement nicht eine mechanische Robustheit für die Anbindung des Drucksensorkerns bereitstellen muss. Im Ergebnis ist dadurch vorteilhaft eine größere Designfreiheit für das Federelement bereitgestellt.

Die Erfindung wird im Folgenden mit weiteren Merkmalen und Vorteilen anhand von mehreren Figuren im Detail beschrieben. Gleiche oder funktionsgleiche Elemente haben gleiche Bezugszeichen. Die Figuren sind insbesondere dazu gedacht, die erfindungswesentlichen Prinzipien zu verdeutlichen und sind nicht unbedingt maßstabsgetreu ausgeführt. Der besseren Übersichtlichkeit halber kann vorgesehen sein, dass nicht in sämtlichen Figuren sämtliche Bezugszeichen eingezeichnet sind.

Offenbarte Vorrichtungsmerkmale ergeben sich analog aus entsprechenden Verfahrensmerkmalen und umgekehrt. Dies bedeutet insbesondere, dass sich Merkmale, technische Vorteile und Ausführungen betreffend den mikromechanischen Drucksensor in analoger Weise aus entsprechenden Ausführungen, Merkmalen und technischen Vorteilen des Verfahrens zum Herstellen eines mikromechanischen Drucksensors ergeben und umgekehrt.

In den Figuren zeigt:

Fig. 1 eine Querschnittsansicht eines mikromechanischen

Drucksensors;

Fig 2 eine Querschnittsansicht einer Ausführungsformen des

vorgeschlagenen mikromechanischen Drucksensors;

Fig 3 eine Draufsicht auf eine Ausführungsform des vorgeschlagenen mikromechanischen Drucksensors;

Fig 4 eine prinzipielle Darstellung eines Rückseitengitters mit einem

Anbindungselement;

Fig 5 eine prinzipielle Darstellung einer Variante des Rückseitengitters mit einem Anbindungselement; und

Fig 6 einen prinzipiellen Ablauf einer Ausführungsform eines

Verfahrens zum Herstellen eines mikromechanischen

Drucksensors.

Beschreibung von Ausführungsformen

Ein Kerngedanke der vorliegenden Erfindung ist insbesondere eine Bereitstellung eines verbesserten, insbesondere eines robusten und stressentkoppelten mikromechanischen Drucksensors. Ein prinzipieller Aufbau eines bekannten mikromechanischen Drucksensors 100 ist in einer Querschnittsansicht in Fig. 1 gezeigt. Der drucksensitive Teil des Drucksensors 100, im Folgenden als Drucksensorinsel oder Drucksensorkern 10 bezeichnet, beinhaltet eine Sensormembran 14 in der Größenordnung von ca. 500μηι x ca. δθθμηη, eine Kaverne 1 1 (Vakuumreferenzkaverne) und eine umlaufende mechanische Stabilisierung (nicht dargestellt). Der Drucksensorkern 10 weist eine Sensormembran 14 auf, in der piezoresistive Elemente zum Erfassen einer Verformung der Sensormembran 14 ausgebildet sind.

Der Drucksensorkern 10 ist mit dem Drucksensorrahmen 20 elektrisch und mechanisch gekoppelt. Sämtliche genannten Elemente befinden sich in einer weiteren Kaverne 13, die auf einer Seite (unterhalb des Drucksensorkerns 10) durch einen ASIC 30 und auf einer anderen Seite (oberhalb des Drucksensorkerns 10) durch ein Rückseitengitter 21 begrenzt ist. Der Drucksensorrahmen 20 ist an ein elektronisches Bauelement in Form eines ASIC 30 gekoppelt, der über Bondelemente 40 (nicht dargestellt in Fig. 1 ) elektrisch nach außen kontaktiert ist.

Das Rückseitengitter 21 wird mittels Fotolithografie durch Erzeugen eines Lochmusters im Siliziumsubstrat und anschließendes Ätzen des Siliziumsubstrats erzeugt. Der Ätzprozess ist dabei vorzugweise als ein senkrechter bzw. anisotroper Ätzprozesses, vorzugsweise als ein reaktiver lonen-Tiefätzprozess (engl, deep reactive ion etching, DRIE) ausgebildet. Das Rückseitengitter 21 schafft Zugangsöffnungen zum ätztechnischen Erzeugen der genannten Kaverne 13.

Durch externe mechanische Anregungen (zum Beispiel bei einem Fallen und Aufschlagen des Drucksensors 100 am Boden), kann der Drucksensorkern 10 sehr stark beschleunigt und damit die stabilisierenden Federn (nicht dargestellt) sehr weit ausgelenkt und dadurch eventuell beschädigt bzw. zerstört werden.

Aus diesem Grund ist es bei der bekannten Variante des mikromechanischen Drucksensors 100 von Fig. 1 erforderlich, einen relativ dicken Drucksensorkern 10 mit einem großen Abstand zum Rückseitengitter 21 vorzusehen. Im Falle einer starken Auslenkung sind die maximalen mechanischen Belastungen auf die Federn vergleichsweise groß.

Fig. 2 zeigt eine Querschnittsansicht einer Ausführungsform des vorgeschla- genen mikromechanischen Drucksensors 100. Man erkennt, dass der Drucksensorkern 10 mittels eines einzelnen Anbindungselements 19 an das Rückseitengitter 21 angebunden ist. Aufgrund dieser Anbindung ist vorteilhaft unterstützt, dass sich der Drucksensorkern 10 nicht auslenken kann und in Kombination mit geeignet ausgebildeten Federelementen 15 nur minimaler mechanischer Stress vom Drucksensorrahmen 20 in den Drucksensorkern 10 eingekoppelt werden kann. Vorteilhaft kann durch die Realisierung des Anbindungselements 19 das Federelement 15 (nicht dargestellt) relativ weich ausgebildet werden, wodurch eine hohe Robustheit und eine hohe Stressentkopplung für den mikromechanischen Drucksensor 100 bereitgestellt werden.

Vorzugsweise ist das Anbindungselement 19 als eine zentrale Aufhängung des Drucksensorkerns 10 an das Rückseitengitter 21 ausgebildet, wobei das

Anbindungselement 19 zentral am Rückseitengitter 21 und zentral am Drucksensorkern 10 angeordnet ist. In Kombination mit einem geeignet ausgebildeten Federelement 15, welches eine gute mechanische Entkopplung ermöglicht und eine stabile Unterlage für elektrische Leiterbahnen (nicht dargestellt) bereitstellt, kann auf diese Weise ein mechanisch robuster und stressentkoppelter mikromechanischer Drucksensor 100 realisiert werden. Die genannten elektrischen Leiterbahnen können zum Beispiel in das Federelement 15 eindiffundiert oder als Metallleiterbahnen ausgebildet sein.

Die mechanische Stressentkopplung bleibt trotz der starren Anbindung des Drucksensorkerns 10 an das Rückseitengitter 21 erhalten, da bei einer Verlegung des mikromechanischen Drucksensors 100, die zum Beispiel durch unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten von unterschiedlichen

Materialien hervorgerufen werden kann, aufgrund der punktuellen, vorzugweise zentralen Aufhängung des Drucksensorkerns 10 an das Rückseitengitter 21 die Verbiegung nicht an den Drucksensorkern 10 weitergegeben wird.

Vorteilhaft wird auf diese Art und Weise eine Entkopplung des Drucksensorkerns 10 vom Rest des mikromechanischen Drucksensors 100 mittels Federn und der zentralen Anbindung 19 am Rückseitengitter 21 eine Erhöhung der Fallfestigkeit bereitgestellt.

Auf diese Weise kann eine hohe Robustheit des Drucksensors 100 gegenüber Beschleunigungen realisiert werden, die zum Beispiel beim Aufschlagen eines in einem mobilen Endgerät (z.B. Smartphone) verbauten Drucksensors 100 auf dem Boden nach freiem Fall auftreten können. Das Anbindungselement 19 verhindert hierbei eine Auslenkung des Drucksensorkerns 10 gegenüber dem restlichen Teil des mikromechanischen Drucksensors 100 und vermeidet hierdurch große mechanische Verspannungen im Federelement 15 bzw. in den Federelementen 15.

Ein weiterer Vorteil des Anbindungselements 19 liegt in einer dadurch möglichen größeren Designfreiheit der Federelemente 15, da diese für die mechanische Stressentkopplung optimiert werden können und keinen Einschränkungen hinsichtlich großem mechanischem Stress aufgrund von Beschleunigungen unterliegen.

Vorteilhaft ist dadurch das Anbindungselement 19 mit jeglichem Federdesign (z.B. betreffend Form und Größe) kombinierbar. Aus diesem Grunde werden die Federelemente 15 derart ausgebildet bzw. dimensioniert, dass sie eine maximale Stressentkopplung des Drucksensorkerns 10 vom Drucksensorrahmen 20 bereitstellen.

Es hat sich herausgestellt, dass bei einer Dimensionierung des Anbindungselements mit einem Durchmesser von ca. 5μηι bis ca. δθμηη, vorzugsweise von ca. 20μηι bis ca. 30μηι eine optimierte Stressentkopplung realisiert werden kann.

Fig. 3 zeigt eine Draufsicht auf eine Ausführungsform des vorgeschlagenen mikromechanischen Drucksensors 100 von unten, d.h. in einer Richtung vom ASIC 30 (nicht dargestellt) zum Rückseitengitter 21 (nicht dargestellt). Man erkennt den Drucksensorrahmen 20, der mittels eines Federelements 15 an den Drucksensorkern 10 angebunden ist. Dabei ist ein Anbindungselement 16 zur Anbindung des Federelements 15 an den Drucksensorkern 10 vorgesehen. Ein weiteres Anbindungselement 17 ist vorgesehen, um das Federelement 15 an den Drucksensorrahmen 20 anzubinden. Der Drucksensorrahmen 20 ist außen um- laufend als eine schwarze Umrandung des restlichen Teils des mikromechanischen Drucksensors 100 angedeutet, wobei der Drucksensorrahmen 20 das mechanische Festland repräsentiert. Vorteilhaft kann mit Hilfe des vorzugsweise zentralen Anbindungselements 19, welches den Drucksensorkern 10 an das Rückseitengitter 21 (nicht dargestellt) anbindet, eine mechanische Stressent- kopplungswirkung des Federelements 15 optimiert ausgebildet werden. Das Federelement 15 kann zu diesem Zweck derart weich ausgebildet werden, dass es möglichst kein Moment auf den Drucksensorkern 10 einkoppelt. Fig. 3 zeigt ein beispielhaftes Federdesign samt zentralem Anbindungselement

19. Man erkennt den Drucksensorkern 10 bestehend aus der Sensormembran 14, vier piezoresistiven Elementen 12, die eine Verformung der Sensormembran 14 erfassen und den umlaufenden Drucksensorrahmen 20. Erkennbar sind von den piezoresistiven Elementen 12 abgehende elektrische Leiterbahnen 18, die elektrische Signale der piezoresistiven Elemente 12 nach außen an den ASIC 30 zuführen. Der besseren Übersichtlichkeit halber ist der Verlauf der Leiterbahnen 18 am Federelement 15 nicht dargestellt. Ferner erkennbar ist das zentral ausgebildete Anbindungselement 19 zur mechanisch starren Kopplung des Drucksensorkerns 10 mit dem Rückseitengitter 21 .

Die Figuren 4 und 5 zeigen zwei mögliche Varianten des Rückseitengitters 21 und daraus resultierende, mögliche Ausführungsformen eines zentral ausgebildeten Anbindungselements 19. Aus Darstellbarkeitsgründen sind Durchgangsöffnungen des Rückseitengitters 21 dunkel dargestellt, sodass Substrat- material (z.B. Silizium), in welchem die Durchgangsöffnungen des Rückseitengitters 21 ausgebildet sind, in den Figuren hell dargestellt ist.

In beiden Fällen wird eine Periodizität (Fig. 4: hexagonale Periodizität, Fig. 5: rechteckige bzw. quadratische Periodizität) der Durchgangslöcher des

Rückseitengitters 21 im Bereich des zentralen Anbindungselements 19 ausgespart, sodass dort der Drucksensorkern 10 an das Rückseitengitter 21 angebunden bleibt. Eine Form und eine Größe des zentralen Anbindungselements 19 sind dabei im Rahmen der Gitterperiodizität des Rückseitengitters 21 beliebig ausführbar.

Statt eine einzelne Säule als Anbindungselement 19 im Substratmaterial stehen zu lassen, kann auch vorgesehen sein, dass lokal durch das Rückseitengitter 21 hindurch ein Polymer eingespritzt wird, welches als zentrales Anbindungs- element 19 fungiert. Denkbar ist für eine derartige Realisierung des Anbindungs- elements 19 z.B. ein weiches Siliconkautschuk oder ein Polymer, für deren spritztechnische Einbringung bekannte Siebdruckverfahren verwendet werden können.

Darüber hinaus sind für das Anbindungselement 19 folgende weitere, nicht in Figuren dargestellte Varianten denkbar: - mehrere runde/rechteckige Säulen des Typs, wie sie in Fig. 4 bzw. Fig. 5 dargestellt sind

- runde/reckrechteckige Säule mit einer Aussparung in der Säulenmitte - mehrere runde/rechteckige Säulen mit/ohne Aussparung in der Säulenmitte

- runde/rechteckige Säule(n) mit/ohne Aussparung in der Säulenmitte, die wenigstens zum Teil außerhalb der Mitte des Rückseitengitters 21 angeordnet sind und auf diese Art wenigstens teilweise eine dezentrale Anbindung des Drucksensorkerns 10 an das Rückseitengitter 21 realisieren. Diese Variante kann insbesondere für einseitig aufgehängte Federelemente 15 (nicht dargestellt) Vorteile bieten.

Fig. 6 zeigt einen prinzipiellen Ablauf eines Verfahrens zum Herstellen eines mikromechanischen Drucksensors 100.

In einem Schritt 200 wird ein Drucksensorrahmen 20 bereitgestellt.

In einem Schritt 210 wird ein an den Drucksensorrahmen 20 mittels eines Federelements 15 angebundener Drucksensorkern 10 bereitgestellt.

In einem Schritt 220 wird ein Ausbilden eines Rückseitengitters 21 im Drucksensorrahmen 20 durchgeführt, wobei zu einer Anbindung des Drucksensorkerns 10 an den Drucksensorrahmen 20 wenigstens ein zwischen dem Rückseiten- gitter 21 und dem Drucksensorkern 10 ausgebildetes Anbindungselement 19 bereitgestellt wird. Obwohl vorgehend die Erfindung anhand eines piezoresistiven mikromechanischen Drucksensors beschrieben wurde, ist es auch denkbar, dass der mikromechanische Drucksensor kapazitiv ausgebildet ist.

Der Fachmann kann also vorgehend auch nicht oder nur teilweise offenbarte Ausführungsformen der Erfindung realisieren, ohne vom Kern der Erfindung abzuweichen.