Die Erfindung betrifft ein Mikroskop mit einem optischen System, welches einen Beleuchtungsstrahlengang definiert und folgende Bauteile umfasst: eine Lichtquelle, die eine (räumlich begrenzte) Lichtverteilung bereitstellt, ein Mikroskopobjektiv mit einer Pupillenebene und einem (objektseitigen) Fokus, eine Abtastungsoptik zum Erzeugen einer zu der Pupillenebene des Mikroskopobjektivs konjugierten

Pupillenebene, mindestens zwei (hinsichtlich einer jeweiligen Ablenkrichtung) variabel einstellbare Strahlablenkeinheiten und einen Hohlspiegel zum Abbilden (mindestens) eines jeweiligen Punktes der ersten und der zweiten

Strahlablenkeinheit aufeinander, wobei das optische System mindestens einen Punkt der Lichtverteilung und einen jeweiligen Punkt des Fokus (des Mikroskopobjektivs) aufeinander abbildet, wobei optisch zwischen dem Mikroskopobjektiv und der Abtastungsoptik ein (ebenes oder zumindest im wesentlichen ebenes) erstes

Zwischenbild liegt, wobei die zweite Strahlablenkeinheit in der konjugierten

Pupillenebene angeordnet ist. Die Abbildung durch den Hohlspiegel stellt eine weitere konjugierte Pupillenebene bereit, in welcher die erste Strahlablenkeinheit angeordnet ist.

Im Sinne der Erfindung ist Licht jede mit optischen Mitteln manipulierbare

elektromagnetische Strahlung, insbesondere einschließlich infraroter und

ultravioletter Strahlung. Die Lichtquelle kann zur Bereitstellung der Lichtverteilung insbesondere einen Lichtwellenleiter und/oder einen Strahlformer umfassen. Zudem kann sie einen Intensitätsmodulator umfassen. Die Lichtverteilung der Lichtquelle kann zweidimensional oder dreidimensional sein und dabei unterschiedliche Formen aufweisen, beispielsweise eine einzelne beispielsweise punktförmige oder

linienförmige Fläche oder ein einzelnes, beispielsweise kugelförmiges oder stabförmiges Volumen oder mehrere separate beispielsweise punktförmige oder linienförmige Flächen oder entsprechende beispielsweise kugelförmige oder stabförmige Volumina. Strahlablenkeinheiten werden auch als Scanner bezeichnet

Eine Übersicht über bekannte Anordnungen von Strahlablenkeinheiten zum Rastern von Licht in Mikroskopen sind beispielsweise in„Confocal Scanning Optica!

Microscopy and Related Imaging Systems" von T. R. Code und G. S. Kino (Academic Press, 1996, S. 214) beschrieben. Da n wird die Abtastungsoptik als„scan objective" (in Abweichung vom sonst üblichen Begriff„scan lens") bezeichnet. Sie stellt eine kollimierte konjugierte Pupillenebene am Ort einer Strahlablenkeinheit bereit. Die Kombination von Abtastungsoptik und Tubuslinse wird als Transferoptik bezeichnet.

Die Anordnung der Ablenkeinheit(en) in einer (jeweiligen) konjugierten

Objektivpupille ermöglicht vorteilhafterweise die Bereitstellung eines ruhenden Strahlquerschnitts in weiteren konjugierten Pupillen. Dadurch sind wie in

US 2003/230710 A1 oder in WO 2008/037346 A1 Manipulationen der Weilenfront mit hoher Genauigkeit möglich. Zudem ist auf diese Weise die Randstrahlabblendung durch Vignettierungen an den Optiken minimal.

Die beschriebenen Mikroskope haben jedoch den Nachteil, dass die

Abtastungsoptik, die zur Erzeugung der konjugierten Pupillenebene benötigt wird, aufwendig und nicht lichteffizient ist, da sie unterschiedliche Abbildungsfehler wie Bildfeldwölbung und Farbquerfehler kompensieren muss, um eine hohe

Abbildungsqualität zu ermöglichen. Zudem ist aufgrund des geringen Abstands der konjugierten Pupillenebene von der Abtastungsoptik der für die Ablenkeinheit verfügbare Bauraum klein.

Im Stand der Technik sind Mikroskope der eingangs genannten Art mit zwei torischen Hohlspiegeln beispielsweise unter der Bezeichnung„BIO-RAD

Radiance2100" und aus WO 90/00755 A1 bekannt. Wesentliche Nachteile daran sind die begrenzte Bildgüte, die hohe Empfindlichkeit der Justage und die hohen Kosten für die Fertigung torischer Spiegel. Eine entsprechende Anordnung mit mikroelektromechanischem Antrieb der Ablenkeinheit ist beispielsweise aus

US 2013/107338 A1 bekannt.

Die in US 2010/0208319 A1 beschriebene Anordnung löst dieses Problem nur partiell und hat den Nachteil, daß der Zwischenfokus auf einem konvexen Spiegel liegt, so dass Fehler dieses Spiegels direkt in die Probe abgebildet werden. Beide vorgenannte Lösungen weisen durch die beiden Hohlspiegel beziehungsweise die doppelte Reflexion an einem einzelnen Hohlspiegel noch immer einen relativ hohen Lichtveriust auf.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Mikroskop der eingangs genannten Art zu verbessern, so dass eine höhere Bildgüte, eine einfachere Justage und ein geringerer Lichtverlust ermöglicht werden. Darüber hinaus soll in besonderen

Ausgestaltungen ein geringerer Kostenaufwand nötig sein.

Die Aufgabe wird gelöst durch ein Mikroskop, welches die in Anspruch 1

angegebenen Merkmale aufweist. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den

Unteransprüchen angegeben.

Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass der Hohlspiegel und die erste

Strahlablenkeinheit und die zweite Strahlablenkeinheit so angeordnet sind, dass der Beleuchtungsstrahlengang am Hohlspiegel genau einmal reflektiert wird und eine dabei durch den Hohlspiegel verursachte erste Verzeichnung und eine durch die erste und die zweite Strahlablenkeinheit verursachte zweite Verzeichnung der Abbildung (Lichtverteilung— Fokus) einander zumindest teilweise kompensieren.

Der Hohlspiegel wirkt achromatisch. Auf diese Weise kann mit geringem optischen Aufwand, insbesondere einer geringen Anzahl von Grenzflächen, eine weitere konjugierte Pupillenebene bereitgestellt werden. Die gegenseitige Kompensation der Verzeichnungen ermöglicht die Abbildung der konjugierten Pupillen mit den

Strahlablenkeinheiten aufeinander nahezu fehlerfrei mit nur einem abbildenden Element. Auf diese Weise kann sowohl kostengünstig und lichteffizient als auch mit einfacher Justage eine höhere Bildgüte der Beleuchtung (und in entgegengesetzter Richtung bei gekoppeltem Detektionsstrahlengang auch der mikroskopischen

Bildgebung) erreicht werden. Auf zusätzliche Korrektionsoptiken kann weitgehend verzichtet werden, was eine einfachere Justage und einen geringeren Lichtverlust ermöglicht. Zudem sind beide konjugierten Pupillen gleichberechtigt. Das bedeutet, daß beide Strahlablenkeinheiten mit individuell definierbaren

Winkelgeschwindigkeiten angesteuert werden können, wodurch jeder beliebige Bildfeidwinkel einstellbar ist. Das heißt, dass auch eine Bildfelddrehung, wie sie bislang in Anordnungen ohne Abbildung möglich ist, weiterhin durchgeführt werden kann.

Dabei ist im Beleuchtungsstrahlengang optisch zwischen diesen beiden

Strahlablenkeinheiten zweckmäßigerweise genau ein Hohlspiegel angeordnet.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn optisch zwischen diesen beiden

Strahlablenkeinheiten ausschließlich der Hohlspiegel (aber keine anderen optisch wirksamen Flächen) angeordnet ist. In diesen Ausführungsformen ist der Lichtverlust aufgrund der geringen Anzahl optischer Grenzflächen besonders niedrig.

Vorzugsweise sind der Hohlspiegel und die erste Strahlabienkeinheit und die zweite Strahlablenkeinheit zum Kompensieren der ersten und zweiten Verzeichnungen so angeordnet, dass ein ebener Reflexionswinkel einer optischen Achse des (von der Lichtquelle kommenden, ruhenden) Beleuchtungsstrahlengangs auf der ersten Strahlablenkeinheit in einer Nullstellung der ersten und der zweiten

Strahlabienkeinheit doppelt so groß ist wie ein ebener Reflexionswinkel der optischen Achse am Hohlspiegel. Die beiden Strahlablenkeinheiten stehen in Nullstellung, wenn sie die optische Achse des von der Lichtquelle kommenden, ruhenden

Beleuchtungsstrahlengangs koaxial zur optischen Achse des Mikroskopobjektivs in das Mikroskopobjektiv lenken. Mit anderen Worten: In einem dem Hohlspiegel und der ersten Strahlabienkeinheit gemeinsamen Koordinatensystem beträgt der Winkel zwischen der Drehachse der ersten Strahlabienkeinheit und der Flächennormalen des Hohlspiegels auf dessen Hauptachse beziehungsweise auf der optischen Achse des optischen Systems (zwischen der Lichtverteilung und der ersten

Strahlabienkeinheit) 90°+a/2, wobei der Winke! zwischen einfallendem und reflektiertem Strahl am Hohlspiegel ist. Diese Konfiguration ermöglicht eine besonders weitgehende gegenseitige Kompensation der Verzeichnungen, da sich nahezu identische Feldverzeichnungen mit entgegengesetztem Vorzeichen durch die Abbildung durch den Spiegel und durch den Scanvorgang ergeben.

Besonders bevorzugt sind dabei Ausführungsformen, in denen ein Krümmungsradius des Hohlspiegels (im Falle eines sphärischen Hohlspiegels der Krümmungsradius) einer optischen Weglänge zwischen dem Hohlspiegel und der ersten

Strahlabienkeinheit und einer optischen Weglänge zwischen dem Hohlspiegel und der zweiten Strahlablenkeinheit entspricht. Diese Konfiguration ermöglicht eine besonders weitgehende gegenseitige Kompensation der Verzeichnungen und minimale Abbildungsfehler für beliebige Ablenkwinkel an der ersten

Strahlablenkeinheit.

Vorteilhafterweise können der Hohlspiegel eine sphärische Form aufweisen und der Krümmungsmittelpunkt des Hohlspiegels zwischen der ersten Strahlablenkeinheit und der zweiten Strahlablenkeinheit liegen, insbesondere auf einem Kreisbogen um den zentralen Auftreffpunkt des Hohlspiegels (definiert durch die Lage der optischen Achse auf dem Hohlspiegel in der Nullstellung der ersten und zweiten

Strahlablenkeinheit), der durch die Auftreffpunkte der optischen Achse des optischen Systems auf die erste und die zweite Strahlablenkeinheit (in deren Nullstellung) verläuft, insbesondere in der Mitte dieses Kreisbogens. Sphärische Hohlspiegel sind mit besonders geringem Kostenaufwand verfügbar. Durch die spezielle Anordnung und Ausrichtung wird eine maximale Verzeichnungskompensation erreicht.

Aufgrund des schrägen Einfalls des Beleuchtungsstrahlengangs auf den Hohlspiegel resultiert bei einem sphärischem Hohlspiegel ein Astigmatismus. Um diesen zu verringern oder zu vermeiden, kann der Hohlspiegel eine torische Form

(Oberflächenform eines Torusschnittes) aufweisen. Vorzugsweise weist der

Hohlspiegel dabei einen ersten Krümmungsradius, der um einen Faktor

Cos(Einfallswinkel) kleiner als das Doppelte des Krümmungsradius des

Zwischenbilds ist, und einen zweiten Krümmungsradius, der um den Faktor

Cos(Einfallswinkel) größer als das Doppelte des Krümmungsradius des

Zwischenbilds ist, auf. Vorzugsweise verläuft die zum ersten Krümmungsradius gehörige erste Krümmung um eine Achse, die parailel zu einer Drehachse der ersten Strahlablenkeinheit ist, und die zum zweiten Krümmungsradius gehörige Krümmung orthogonal zur ersten Krümmung. Weniger kostenaufwendig sind

Ausführungsformen, in denen das optische System, insbesondere bei sphärischer Form des Hohlspiegels, zwischen der Lichtquelle und der ersten Strahlablenkeinheit eine Optik zur Kompensation von Astigmatismus, beispielsweise eine Zylinderlinse, aufweist. In einer ersten von zwei alternativen Ausführungsformen bildet die

Abtastungsoptik das erste Zwischenbild über die zweite Strahlablenkeinheit (deren reflektierende Oberfläche) in ein zweites Zwischenbild ab, welches räumlich gekrümmt ist, wobei das zweite Zwischenbild optisch zwischen dem Hohlspiegel und der zweiten Strahlablenkeinheit liegt und der Hohlspiegel so angeordnet ist, dass er kollimierte Lichtstrahlen, die ihn von der ersten Strahlablenkeinheit aus erreichen, in das zweite Zwischenbild fokusstert. Das ermöglicht eine kompakte Anordnung von Strahlablenkeinheiten und Abtastungsoptik. Durch vorzugsweise Anordnung des Hohlspiegels im Abstand seines Krümmungsradius von der ersten konjugierten Pupille kann eine hochgenaue Abbildung in derselben Entfernung unabhängig vom Feldwinkei (über ein gekrümmtes zweites Zwischenbild) bereitgestellt werden. Die Abtastungsoptik ist dabei zweckmäßigerweise frei von einer

Bildfeldwölbungskorrektur, so dass sie okularartig ausgebildet ist. Das verringert den Kostenaufwand für das Mikroskop insgesamt.

Die (reflektierende Oberfläche der) Ablenkeinheit ist damit im Gegensatz zum Stand der Technik nicht mehr in einem kollimierten, sondern in einem konvergenten

Abschnitt des Detektionsstrahlengangs angeordnet. Die Transferoptik ist derart ausgebildet, dass bei Entnahme der zweiten Strahlablenkeinheit ein reelles gekrümmtes Abbild der ersten Zwischenbildebene entstünde. Die räumliche

Krümmung des Zwischenbildes erlaubt die Bereitstellung der konjugierten

Pupillenebene mittels einer gegenüber herkömmlichen, koliimierenden

Abtastobjektiven deutlich vereinfachten Abtastungsoptik, insbesondere ohne

Korrektur der Bildfeldwölbung, bei dennoch gleicher Abbildungsqualität des gesamten optischen Systems. Dabei können insbesondere die bisher zur Ebnung üblichen (feldnahen) Linsen mit negativer Brennweite/Brechkraft (W. J. Smith:

„Modern Lens design", McGraw-Hill, 1992, Kapitel 22, Seite 41 1 ) entfallen. Eine solche Abtastungsoptik braucht in ihren optischen Eigenschaften und ihrer Güte eher lediglich einem Okular als einem herkömmlichen Abtastobjektiv zu entsprechen. Der Krümmungsradius des zweiten Zwischenbiides entspricht dann vorzugsweise dem Abstand zwischen der Ablenkeinheit und der Fokusposition des ersten

Zwischenbilds. Zusätzlich kann auch die Korrektur des Farbquerfehlers im Sinne eines Kompensationssystems auf die Abtastungsoptik und die Tubuslinse aufgeteilt werden, was eine weitere Vereinfachung der Abtastungsoptik bedeutet. Das Mikroskop kann zweckmäßigerweise so ausgebildet sein, dass die Abtasiungsoptik und die Tubusiinse einander hinsichtlich des Farbquerfehlers kompensieren.

Besonders vorteilhaft ist diese Anordnung bei ntchtlinearer Wechselwirkung der Anregungsstrahlung mit der Probe. Hier führt die quadratische (im Falle der Zwei- Photonenanregung) oder kubische Abhängigkeit (im Falle der Anregung der dritten Harmonischen oder der Drei-Photonenanregung) der Lichtemission in der Probe von der Intensität bei herkömmlicher Anordnung mehrerer Strahiablenkeinheiten in einer jeweiligen Pupille derart, dass die Abienkeinheiten nicht aufeinander abgebildet werden, zu Problemen in der Bildfeldausleuchtung. Der physikalische Abstand der Ablenkeinheiten vor dem Scanobjektiv wird mit der axialen Vergrößerung, die quadratisch mit der lateralen Vergrößerung zunimmt, in die Objektivpupille

abgebildet. Das führt zu einer nichtstationären Pupille, die in einer feldabhängigen Anregungsintensität resultiert. Diese Probleme in der nichtlinearen Optik (NLO) können durch die Anordnung der Strahlablenkeinheit in einer nichtkollimierten Pupille vermieden werden, da hierdurch eine gute Abbildung der Ablenkeinheiten

aufeinander in einer lichteffizienten Anordnung möglich wird. Typischerweise erfolgt die Detektion der Fluoreszenz hier nicht über die Strahlablenkeinheit, sondern bereits vorher im sogenannten„nicht-descannten" Strahlengangabschnitt. Da die Anordnung aber genauso in Anregungsrichtung wirkt wie in Detektionsrichtung, wird auch in diesem Fall die saubere Abbildung der Pupillen erzielt.

Vorzugsweise ist das zweite Zwischenbild sphärisch gekrümmt oder zumindest im wesentlichen sphärisch gekrümmt, insbesondere mit einem Krümmungsradius zwischen der einfachen Brennweite und der doppelten Brennweite der

Abtastungsoptäk. Vorzugsweise ist der Krümmungsradius des Zwischenbildes identisch mit einem Abstand zwischen (einem Mittelpunkt der reflektierenden

Oberfläche) der Ablenkeinheit und dem zweiten Zwischenbild.

Vorzugsweise liegt in dieser ersten Ausführungsformen das gekrümmte zweite Zwischenbild konzentrisch um die zweite Strahlabienkeinheit. Dadurch liegt bei einem sphärisch gekrümmten Zwischenbild unabhängig von der Steifung der zweiten Strahlablenkeinheit der Fokus auf der von dem Zwischenbild gebildeten Kugelfläche. Auf diese Weise werden keine Optiken zur Korrektur einer Bildfeldwöibung, insbesondere als Teil der Abtastungsoptik, benötigt.

Vorteilhafterweise kann ein Krümmungsradius R _H des Hohlspiegels doppelt so groß wie ein Krümmungsradius R _Z B des zweiten Zwischenbilds sein, so dass nach dem Hohlspiegel (wandierseitig) ebene Wellenfronten vorliegen. Auf diese Weise liegt die zweite konjugierte Pupille in einem kollimierten Strahlengangabschnitt und die Strahldurchmesser in den beiden konjugierten Pupillen sind gleich.

Zweckmäßigerweise ist der Hohlspiegel dann so angeordnet, dass aus dem Fokus des Mikroskopobjektivs (durch das zweite Zwischenbild) kommende Strahlen nach dem Hohlspiegel parallel zueinander, vorzugsweise auch parallel zu einer Ebene, innerhalb derer die erste Ablenkeinheit einfallendes Licht ablenken kann, verlaufen und gegenüber einer Mittelachse des Hohlspiegels geneigt sind. Der Abstand A zwischen Hohlspiegel und dem gekrümmten Zwischenbild ist dann gleich dem Radius des Zwischenbildes R _H : In Verbindung mit dem gekrümmten zweiten Zwischenbild ist so eine besonders hohe Abbildungsqualität des optischen Systems mit geringem Aufwand möglich. Es können nach dem Hohlspiegel aber auch von Null verschiedene Wellenfrontkrümmungen vorliegen, wenn der

Hohlspiegel-Krümmungsradius RH vom Doppelten des Zwischenbild-Radius RZB um eine Differenz D abweicht. Für den Hohlspiegel-Radius R _h =2 RZB ⁺ D beträgt der Abstand A zwischen Hohlspiegel und Zwischenbild A=R _ZB +D. Weiterhin können die Strahldurchmesser auf der ersten Strahlablenkeinheit und auf der zweiten

Strahlablenkeinheit ungleich sein, beispielsweise bei einem Abbildungsmaßstab ungleich 1 :1 .

Der Krümmungsradius R _H des Hohlspiegels kann jedoch auch vom Doppelten des Krümmungsradius RZB des Zwischenbildes abweichen. Ein Hohlspiegel des

Krümmungsradius R _H =A wird beispielsweise im Abstand A/2 vom gekrümmten Zwischenbild angeordnet, so dass das Licht auf der optischen Achse (wenn die Strahlablenkeinheiten in ihrer Mittelstellung stehen) kollimiert wird.

In der zweiten alternativen Ausführungsform kollimiert die Abtastungsoptik

Lichtstrahlen aus dem ersten Zwischenbild und leitet sie anschließend über die zweite Strahlablenkeinheit (deren reflektierende Oberfläche) auf den Hohlspiegel, welcher so angeordnet ist, dass er derart kollimierte Lichtstrahlen in ein zweites, insbesondere um die zweite Strahlabienkeinheit konzentrisches Zwischenbild fokussiert, welches optisch zwischen dem Hohlspiegel und der ersten

Strahlabienkeinheit liegt. Diese Ausführungsform ermöglicht den Einsatz der erfindungsgemäßen Verzeichnungskompensation mit herkömmlichen

Abtastungsoptiken.

Das Mikroskop kann zweckmäßigerweise eine Beleuchtungsoptik zum Abbilden der Lichtverteilung in ein Zwischenbild, insbesondere in das zweite Zwischenbild oder in ein drittes oder weiteres Zwischenbild, und/oder eine Detektionsoptik zum Abbilden eines Zwischenbildes, insbesondere des zweiten Zwischenbildes oder eines dritten oder weiteren Zwischenbildes, auf einen optoelektronischen Wandler umfassen. insbesondere kann das optische System einen Strahlteiler umfassen, der so im Beieuchtungsstrahlengang und im Detektionsstrahlengang angeordnet ist, dass aus dem Fokus kommendes Licht zum optoelektronischen Wandler hin aus dem

Beleuchtungsstrahlengang ausgekoppelt wird.

Zweckmäßigerweise kann das optische System (im Beieuchtungsstrahlengang beziehungsweise im Detektionsstrahlengang) auf einer von der Abtastungsoptik abgewandten Seite der Strahlabienkeinheit eine Kollimationsoptik umfassen. Auf diese Weise sind weitere Manipulationen an den Strahlen und die finale Detektion mit geringem Aufwand möglich.

Zweckmäßigerweise ist die erste Strahlabienkeinheit so drehbar, dass die optische Achse des Beieuchtungsstrahlengangs aus einer Ebene, die durch eine

Einfallsrichtung der optischen Achse auf die ersten Strahlabienkeinheit und eine optische Achse des Mikroskopobjektivs aufgespannt wird, heraus ablenkbar ist.

Die Erfindung umfasst auch Mikroskope mit einer reversibel in den

Beieuchtungsstrahlengang bewegbaren dritten Strahlabienkeinheit und einer variabel einstellbaren vierten Strahlabienkeinheit, die derart angeordnet sind, dass der Beieuchtungsstrahlengang in einer im Beieuchtungsstrahlengang befindlichen Position der dritten Strahlabienkeinheit über die dritte Strahlabienkeinheit zur vierten Strahlablenkeinheit, von dort zurück zur dritten Strahlablenkeinheit und über den Hohlspiegel zur zweiten Strahlablenkeinheit verläuft. Ist die dritte Strahlablenkeinheit außerhalb des Beleuchtungsstrahlenganges positioniert, verläuft der

Beleuchtungsstrahlengang wie oben beschrieben über die erste Strahlablenkeinheit, den Hohlspiegel und die zweite Strahlablenkeinheit. Auf diese Weise kann mit geringem Aufwand zwischen verschiedenen Abtastmodalitäten gewechselt werden. Die vierte Strahlablenkeinheit kann beispielsweise ein resonant schwingender Spiegel sein, während die erste Strahlablenkeinheit ein Galvanometerspiegel ist, oder umgekehrt. Das ermöglicht den flexiblen Einsatz in der Forschung an fixierten Zellen, lebenden Zellen oder Zellverbänden und Kleintieren oder in Screening- Anwendungen. Bei Manipulationsexperimenten wie FRAP wird so eine schnelle Umschaltung von Manipulation der Probe (Bleichen) auf Bildgebung mit hoher Bildwiederholrate ermöglicht, um den schnellen Anstieg des Fluoreszenzsignals nach Ende des Bleichvorganges zu messen. Die dritte Strahlablenkeinheit kann zu diesem Zweck hinsichtlich der Ablenkrichtung variabel einstellbar sein, sie kann stattdessen aber auch eine statische Orientierung aufweisen. Sie kann durch eine Translationsund/oder Rotationsbewegung in den Beleuchtungsstrahlengang bewegbar sein, wofür sie einen entsprechenden Antrieb aufweisen kann.

Vorzugsweise verfügt nur die erste Konfiguration, in welcher der Hohlspiegel und die zweite Strahlablenkeinheit in den Beieuchtungsstrahlengang eingebunden sind, über die erfindungsgemäße Verzeichnungskompensation. Die vierte Strahlablenkeinheit kann beispielsweise einen in resonanter Schwingung betreibbaren Spiegel

(„Resonanz-Scanner") umfassen, es kann sich aber auch um einen

Galvanometerspiegel handeln.

Der Hohlspiegel, insbesondere seine reflektierende Oberfläche, weist eine torische Form (Oberflächenform eines Torusschnittes) auf, wobei die Erfindung auch andere Formen umfasst. Dadurch kann der aus schrägem Einfall resultierende

Astigmatismus verringert werden. Vorzugsweise weist der Hohlspiegel dabei einen ersten Krümmungsradius, der um einen Faktor Cos(Einfallswinkel) kleiner als das Doppelte des Krümmungsradius des Zwischenbiids ist, und einen zweiten

Krümmungsradius, der um den Faktor Cos(Einfallswinkel) größer als das Doppelte des Krümmungsradius des Zwischenbildes ist, auf. Vorzugsweise verläuft die zum ersten Krümmungsradius gehörige erste Krümmung um eine Achse, die parallel zu einer Drehachse der ersten Strahlablenkeinheit ist, und die zum zweiten

Krümmungsradius gehörige Krümmung orthogonal zur ersten Krümmung.

Besonders bevorzugt sind Ausgestaltungen, in denen ein Teil der oder die gesamte Abtastungsoptik entlang einer optischen Achse des Beleuchtungsstrahlengangs verschiebbar ist. Sie können insbesondere einen elektrischen Antrieb zur

Verschiebung des verschiebbaren Teils oder der gesamten Abtastungsoptik umfassen. Durch die axiale Verschiebung kann mit geringem Aufwand die Lage (der Abstand) der konjugierten Pupille relativ zur zweiten Ablenkeinheit eingestellt werden, wohingegen bisher die Lage der Abtastungsoptik nur einmalig zur Justierung der Fokuslage und damit zur Justierung der Kollimation auf der Strahlablenkeinheit eingestellt und fixiert wurde. Dadurch kann insbesondere eine Pupillenverschiebung, die beispielsweise beim Wechsel des Mlkroskopobjektivs auftritt, kompensiert werden. Die axiale Lage der konjugierten Pupille variiert dabei mit dem Quadrat des Abbildungsmaßstabs zwischen erster Ablenkeinheit und Objektivpupille. Die

Fokuslage in der Zwischenbildebene und damit auch in der Objektebene bleibt dabei weitgehend erhalten.

Vorzugsweise ist die Abtastungsoptik so ausgebildet, dass ihre Abbildung (vom ersten Zwischenbild in das zweite Zwischenbild} einen Vergrößerungsfaktor zwischen 0,8 und 1 ,2, insbesondere zwischen 0,9 und 1 ,1 , insbesondere von genau 1 , aufweist. Auf diese Weise bleibt die Lage des ersten Zwischenbildes und damit die probenseitige Fokalebene mit hoher Genauigkeit konstant. Am besten bleibt der Fokus bei einer 1 :1-Abbiidung der Abtastungsoptik vom virtuellen Objekt bis zum ersten Zwischenbild erhalten (parabelförmiger Verlauf der Fokusablage).

Vorteilhaft sind Ausführungsformen, in denen das Mikroskopobjektiv entlang der optischen Achse verschiebbar und/oder in einem Objektivwechsler angeordnet ist, insbesondere umfassend einen elektrischen Antrieb zur Verschiebung des

Mikroskopobjektivs und/oder zum Wechseln des Mikroskopobjektivs. Dadurch wird in Verbindung mit der Anpassbarkeit an die unterschiedlichen Pupillenlagen

verschiedener Objektive eine große Flexibilität bei der Messung bei gleichbleibend hoher Abbildungsqualität ermöglicht. Vorzugsweise weisen die erste Strahlablenkeinheit und/oder die zweite Strahiablenkeinheit zur Einstellung der Strahiablenkung ein

mikroeiektromechanisches System auf. Dieses kann wie in US 7,295,726 B1 eine Drehbarkeit um zwei verschiedene Achsen bereitstellen, insbesondere mit Lage des (ortsfesten) Schnittpunkts dieser Achsen in einer reflektierenden (den von der Abtastungsoptik kommenden Strahl ablenkenden) Oberfläche, insbesondere mit Anordnung dieses Schnittpunkts auf der optischen Achse des

Detektionsstrahlengangs. MEMS-basierte Scanner weisen eine signifikant geringere Spiegefmasse auf und haben dadurch den Vorteil, schnell in beliebiger Weise und mit hoher Genauigkeit verkippt werden zu können. Beispielsweise kann die eine Strahlablenkeinheit ein ausschließlich um genau eine Drehachse verstellbarer MEMS-basierter Spiegel und die andere Strahlablenkeinheit ein

Galvanometerscanner sein. Dabei kann der Galvanometerscanner auch resonant betrieben werden.

Die Lichtquelle ist zweckmäßigerweise ein Laser. Es kann sich beispielsweise um einen durchstimmbaren Laser handeln.

Das optische System kann vorteilhafterweise eine Übertragungsoptik (engl,„relay optics") zum Erzeugen einer weiteren (dritten) konjugierten Pupillenebene umfassen. In dieser können Mittel zum Erzeugen einer vorgegebenen und vorzugsweise veränderlichen Pupillenverteilung des Lichtes angeordnet sein. Dadurch können Modifikationen in Amplitude und/oder Phase in die Pupillenebene des

Mikroskopobjektivs übertragen werden. Alternativ kann das optische System Mittel zum Erzeugen einer Feldverteilung in einer fouriertransformierten Ebene umfassen, welche über die abbildende Anordnung des Hohlspiegels und der ersten und zweiten Strahlablenkeinheiten in die Probe übertragbar ist. Bezogen auf das Zwischenbild sind hierbei große Werte bis ca. 1/3 der nominellen Bildfeldgröße im nicht

auskorrigierten Zwischenbild zwischen Abtastungsoptik und Tubusoptik möglich. Durch solche Mittel können nicht nur 1 bis N separate Lichtstrahlenbündel, sondern auch andere eindimensionale oder zweidimensionale Lichtverteilungen wie Bilder oder Anregungsmuster in die Probe übertragen werden. In bevorzugten Ausführungsformen ist in einer weiteren (dritten) konjugierten Pupillenebene ein variabel einstellbarer Wellenfrontmodulator, beispielsweise wie in WO 2008/037346 A1 , angeordnet. Damit können Phasenmanipulationen des Beleuchtungsstrahls vorgenommen werden, da der Leuchtfleck in der Pupillenebene während des Rastervorganges ortsfest ist. Mittels des Wellenfrontmodulators ist innerhalb des von ihm bereitgestellten maximalen Modulationshubes beispielsweise eine Verstellung der probenseitigen Fokalebene längs der optischen Achse (in z- Richtung) und damit ein Rastern einer Probe in der Tiefe möglich. In Verbindung mit einer zweidimensional variablen ersten Strahlablenkeinheit ermöglicht das eine dreidimensionale Verschiebung des Messorts und damit ein dreidimensionales Abrastern der Probe.

Alternativ zur Verschiebung des Fokus längs der optischen Achse können mittels eines ortsaufgelöst einstellbaren Wellenfrontmodulators auch ortsabhängige

Abbildungsfehler, die beispielsweise aus lokalen Variationen einer oder mehrerer Probeneigenschaften herrühren, kompensiert werden. Zu diesem Zweck kann das Mikroskop eine Steuereinheit umfassen, die mindestens ein Bild einer Probe aufnimmt und anhand mindestens einer vorgegebenen, das Bild beeinflussenden Eigenschaft der Probe, insbesondere einer tatsächlichen Verteilung einer

Eigenschaft in der Probe, und anhand des Bildes Stellwerte für den

Wellenfrontmodulator ermittelt (und den Wellenfrontmodulator entsprechend einstellt). Insbesondere kann die Steuereinheit anhand des Bildes eine gemessene Verteilung der Probeneigenschaft ermitteln und die Stellwerte derart ermitteln, dass eine Abweichung zwischen der gemessenen Verteilung und der tatsächlichen Verteilung minimal ist, beispielsweise mittels einer Ausgleichsrechnung.

Vorzugsweise ist eine Drehachse der ersten Strahlablenkeinheit (30A) orthogonal oder zumindest näherungsweise orthogonal zu einer Drehachse der zweiten

Strahlablenkeinheit (30B) .

Das Mikroskop ist vorzugsweise ein Lichtrastermikroskop, insbesondere ein konfokales Lichtrastermikroskop, oder ein Lichtblattmikroskop, beispielsweise wie in US 7,787,179 beschrieben. Sowohl bei einem Lichtrastermikroskop als auch bei einem Lichtblattmikroskop kann der Detektionsstrahlengang durch dasselbe Mikroskopobjektiv, beispielsweise mit Separation vom Beleuchtungsstrahlengang mittels eines Strahlteilers, oder durch ein separates Detektionsobjektiv verlaufen.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.

In den Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 ein Lichtrastermikroskop mit erfindungsgemäßer Transferoptik,

Fig. 2 und Fig. 3 Details der Transferoptik,

Fig. 4 die Winkelverhältnisse innerhalb der Transferoptik,

Fig. 5 die zu kompensierende Verzeichnung des Hohlspiegels und die Wirkung der Kompensation,

Fig. 6 weitere Details der Transferoptik,

Fig. 7 eine erweiterte Transferoptik mit dritter konjugierter Pupille und

Fig. 8 eine alternatives Lichtrastermikroskop mit herkömmlicher Abtastungsoptik.

In allen Zeichnungen tragen übereinstimmende Teile gleiche Bezugszeichen.

Fig. 1 ist eine schematische Darstellung eines Lichtrastermikroskops 10 („LSM"), das mittels einer Steuereinheit 34 gesteuert wird. Das LSM 10 ist modular aus zwei Beleuchtungsmodulen L mit Lasern 23, einem Abtastmodul S (engl,„scanning module"), einem Detektionsmodul D und der Mikroskopeinheit M mit dem

Mikroskopobjektiv 21 zusammengesetzt. Die Mikroskopeinheit M verfügt

beispielsweise über einen Objektivrevolver zum Einschwenken unterschiedlicher Mikroskopobjektive 21.

Das Licht der Laser 23 kann durch Lichtklappen 24 und Abschwächer 25,

beispielsweise ausgeführt als AOTF, von der Steuereinheit 34 beeinflusst werden, bevor es über Lichtleitfasern 22 und Koppeloptiken 20, beispielsweise in Form von Kollimationsoptiken, in die Abtasteinheit S eingespeist und vereinigt wird. Jeder Laser 23 zusammen mit den Optiken bis hin zu der jeweiligen Lichtleitfaser 22 kann als eine jeweilige Lichtquelle angesehen werden, die am Ende der betreffenden Lichtleitfaser 22 eine konfokale, punktförmige Lichtverteilung bereitstellt, die entlang eines Beleuchtungsstrahlengangs in die Probe P abgebildet wird. Über den

Hauptstrahlteiler 33, eine schwache Zylinderoptik 41 , eine in X-Rtchtung variabel einstellbare erste Strahlablenkeinheit 30A, einen beispielsweise sphärischen

Hohlspiegel 36 und die in Y-Richtung (orthogonal zur X-Richtung) variabel einstellbare zweite Strahiablenkeinheit 30B gelangt das Anregungslicht zum

Mikroskopobjektiv 21 , welches das Licht in der Probe P in den Messort fokussiert.

Der Hohlspiegel 36 bildet die beiden Strahlablenkeinheiten 30A und 30B aufeinander ab. Der Hohlspiegel 36 und die Strahlablenkeinheiten 30A, 30B sind so angeordnet, dass der Beleuchtungsstrahiengang am Hohlspiegel 36 genau einmal reflektiert wird und eine dabei durch den Hohlspiegel 36 verursachte erste Verzeichnung und eine durch die erste und die zweite Strahlablenkeinheit 30A, 30B verursachte zweite Verzeichnung der Abbildung einander kompensieren. Die Zylinderoptik 41

kompensiert den Astigmatismus, der durch den achsenfernen Einfall auf den

Hohlspiegel 36 entsteht.

Von der Probe P rückgestreutes Anregungslicht und emittiertes Fluoreszenzlicht gelangt durch das Mikroskopobjektiv 21 , die Tubusiinse 27 und die

Abtastungsoptik 35 über die Strahlablenkeinheiten 30A und 30B sowie den

Hohlspiegel 36 durch die Zylinderoptik 41 und den Hauptstrahlteiler 33 in das

Detektionsmodul D.

Das Mikroskopobjektiv 21 weist eine unendliche Ausgangsschnittweite auf, so dass bis zur Tubuslinse 27 ein koilimierter Strahlengang vorliegt. Innerhalb des

Mikroskopobjektivs 21 liegt dessen (Austritts-) Pupillenebene PE. Die Tubusoptik 27 erzeugt ein erstes Zwischenbild Zb1 , das von der Abtastungsoptik 35 in ein zweites Zwischenbild Zb2 abgebildet wird. Die zweite Strahiablenkeinheit 30B liegt dadurch in einem konvergenten Abschnitt des Detektionsstrahlengangs. Dabei liegt eine zur Pupillenebene PE konjugierte Pupillenebene PE' auf der zweiten Strahlablenkeinheit 30B. Die erste Strahlablenkeinheit 30A ist so drehbar, dass die optische Achse des Beleuchtungsstrahlengangs aus einer Ebene, die durch eine Einfallsrichtung der optischen Achse auf die ersten Strahtablenkeinheit 30A und eine optische Achse des Mikroskopobjektivs aufgespannt wird, heraus ablenkbar ist.

Der Hohlspiegel 36 bildet das zweite Zwischenbild Zb2 anschließend nach unendlich ab, so dass am Hauptstrahlteiler 33 ausschließlich kollimierte Strahlenbündel vorliegen. In alternativen Ausführungsformen (nicht abgebildet) können am

Hauptstrahiteiler 33 konvergente oder divergente Strahlenbündel vorliegen. Die Koppelopttken 20 im Abtastmodul S und die Detektionsoptik 29 sind dann

entsprechend anzupassen.

Die Abtastungsoptik 35 ist beispielsweise mittels eines Antriebs längs der optischen Achse des vereinigten Detektions- und Beleuchtungsstrahlengangs verschiebbar. Damit kann die Lage der konjugierten Pupillenebene PE' auch bei einer Änderung der Pupillenebene PE im Falle eines Wechsels oder einer axialen Verschiebung des ikroskopobjektivs 21 axial auf der Strahlablenkeinheit 30 gehalten werden.

Zur Fluoreszenzdetektion kann der Hauptstrahlteiler 33 beispielsweise als dichroitischer Farbteiler {„Hauptfarbteiler") ausgebildet sein, so dass das

rückgestreute Anregungslicht in Richtung der Laser 23 ausgespiegelt wird.

Das Detektionsmodul D weist nach einer Detektionsoptik 38, beispielsweise einer Sammellinse, mehrere Detektionskanäle mit jeweils einer Lochblende 31 , einem Filter 28 und einem Photovervielfacher 32 als optoelektronischen Wandler auf, die durch Farbteiler 29 („Nebenfarbteiier") spektral separiert sind. Anstelle von

Lochblenden 31 können, beispielsweise bei linienförmiger Beleuchtung, auch Schlitzblenden (nicht abgebildet) verwendet werden. Die Detektionsoptik 38 fokussiert die bis dahin kollimierten Strahlenbündel auf die konfokalen

Lochblenden 31 . Die konfokalen Loch- oder Schlitzblenden 31 dienen der

Diskriminierung von Probenlicht, das nicht aus dem Fokusvolumen am Messort stammt. Die Photovervielfacher 32 delektieren daher ausschließlich Licht aus dem Fokusvolumen und definieren so den Messort in der Probe P, von dem Licht aufgenommen und am Detektionsort in der jeweiligen lichtempfindlichen Schicht der Photovervielfacher 32 nachgewiesen wird. Alternativ können auch andere lichtempfindliche, aus dem Stand der Technik bekannte Sensoren wie

Lawinendioden (engl,„avalanche diodes") verwendet werden.

Das konfokal beleuchtete und aufgenommene essvolumen der Probe P kann mittels der Strahlablenkeinheiten 30A und 30B über die Probe P bewegt werden, um pixelweise ein Bild aufzunehmen, indem die Spiegel der Ablenkeinheiten 30A B gezielt verdreht werden. Sowohl diese Bewegungen als auch das Schalten der Beleuchtung mittels der Lichtklappen 24 oder der Abschwächer 25 werden unmittelbar von der Steuereinheit 34 gesteuert. Die Datenaufnahme von den Photovervielfachern 32 erfolgt ebenfalls durch die Steuereinheit 34.

An einen von einem Strahlteiler 39 (auch als„NLO-Strahlteiler" bezeichnet) bereitgestellten zusätzlichen Ausgang ist ein Modul N („NLO-Detektionsmodul") zur Detektion von Fluoreszenz nach nichtlinearer Wechselwirkung bei der Anregung angeschlossen. Es ist möglich, das NLO-Detektionsmodul N alternativ oder zusätzlich zum Detektionsmodul D anzuschließen und zur Messung zu verwenden. In alternativen Ausführungsformen (nicht abgebildet) kann alternativ oder zusätzlich zum NLO-Detektionsmodul N auf der entgegengesetzten Seite der Probe ein eigenständiges NLO-Detektionsmodul mit eigenem Mikroskopobjektiv angeordnet sein und zur Detektion genutzt werden.

In Fig. 2 sind die Strahlengänge um die Abtastungsoptik 35, die ein herkömmliches aufwendiges Abtastobjektiv ersetzt, indem sie das erste Zwischenbild Zb1 in ein räumlich gekrümmtes zweites Zwischenbild Zb2 abbildet, im Detail für drei verschiedene Stellungen der Strahlablenkeinheit 30 dargestellt. Die

Abtastungsoptik 35 ist beispielsweise frei von einer Bildfeldwölbungskorrektur und weist einen Abbildungsmaßstab von 1 :1 auf. Anhand der unterbrochen gezeichneten Linien ist erkennbar, dass die Abtastungsoptik so ausgebildet ist, dass bei Entnahme der zweiten Strahlablenkeinheit 30B ein reelles gekrümmtes Abbild der ersten Zwischenbildebene entstünde. Mit der in der konjugierten Pupille PE' angeordneten zweiten Strahlabienkeinheit 30B ist stattdessen das zweite Zwischenbild Zb2 räumlich gekrümmt. Fig. 3 zeigt einen erweiterten Teil der Transferoptik, die neben der

Abtastungsoptik 35, dem Hohlspiegel 36 (hier nicht dargestellt) und den

Strahlablenkeinheiten 30A (hier nicht dargestellt) und 30B aus Fig. 2 auch eine Tubusoptik 27 umfasst. Die Strahlengänge von der eigentlichen Pupillenebene PE des Mikroskopobjektivs (hier nicht dargestellt) bis zum zweiten Zwischenbild Zb2 sind wiederum für drei verschiedene Stellungen der zweiten Ablenkeinheit 30B

dargestellt. Die Tubusoptik 27 fokussiert die aus der Pupille PE kommenden kollimierten Strahlenbündel in das erste Zwischenbild Zb , welches die

Abtastungsoptik 35 über die zweite Strahlablenkeinheit 30B, die in der konjugierten Pupille PE ¹ angeordnet ist, in das räumlich gekrümmte zweite Zwischenbild Zb2 abbildet.

In Fig. 4 sind in zwei verschiedenen schematischen Ansichten (pseudoperspektivisch in Fig. 4A und in Draufsicht in Fig. 4B) die Strahlablenkeinheiten 30A und 30B sowie die Abtastungsoptik 35 und der Hohlspiegel 36 dargestellt. Der Hohlspiegel weist eine sphärische Form auf. Sein Krümmungsmittelpunkt liegt auf einem Kreis um den zentralen Auftreffpunkt Q (Austrittspunkt der Hauptachse) des Hohlspiegels 36, welcher die beiden Auftreff punkte der optischen Achse auf die Drehachsen der beiden Strahlablenkeinheiten 30A und 30 B (in deren Nullstellung) enthält. Dabei halbiert der Krümmungsmittelpunkt den Kreisbogen zwischen den Auftreffpunkten auf den beiden Drehachsen.

Der Hohlspiegel 36 und die Strahlablenkeinheiten 30A, 30B sind so angeordnet, dass der ebene Reflexionswinkel der optischen Achse OA des

Beleuchtungsstrahiengangs auf der ersten Strahlablenkeinheit 30A in einer

Nullstellung der ersten Strahlablenkeinheit 30A und der zweiten

Strahlablenkeinheit 30B doppelt so groß ist wie der ebene Reflexionswinkel der optischen Achse OA am Hohlspiegel 36. Der Winkel zwischen der Drehachse der ersten Strahlablenkeinheit 30A und der Flächennormalen des Hohlspiegels 36 in dessen zentralem Auftreffpunkt auf der optischen Achse des Systems bei

Nullstellung der Strahlablenkeinheiten 30A und 30B beträgt 90°+0.5a.

Das zweite Zwischenbild Zb2 liegt konzentrisch um die zweite

Strahlablenkeinheit 30B. Zudem entspricht der Krümmungsradius des Hohlspiegels 36 einer optischen Weglänge zwischen dem Hohlspiegel 36 und der ersten Strahlablenkeinheit 30A und einer optischen Wegiänge zwischen dem

Hohlspiegel 36 und der zweiten Strahlablenkeinheit 30B. Dadurch kompensieren sich die Verzeichnungen des Hohlspiegels 36 und der beiden Strahlablenkeinheiten 30A, 30B maximal möglich.

Die Verzeichnung des Hohlspiegels 36 und ihre Kompensation sind für den exemplarischen Fall eines torischen Hohlspiegel 36 aus Fig. 5 ersichtlich. In überzeichneter Darstellung zeigen Fig. 5A die Hohlspiegelverzeichnung (Abweichung der Kreuze von den Parallelen zur y-Richtung) und Fig. 5B die residuale

Verzeichnung in Verbindung mit der erfindungsgemäßen Anordnung der

Strahlablenkeinheiten derart, dass der Reflexionswinkel an der ersten

Strahlablenkeinheit 30A doppelt so groß ist wie der Reflexionswinkel am

Hohlspiegel 36.

In Fig. 6 ist in drei verschiedenen Ansichten (Fig. 6A, 6B, 6C) die vollständige Transferoptik dargestellt. Sie ersetzt beispielsweise die aus der Literatur bekannten afokalen Übertragungsoptiken (engl,„afocal relay optics") nach Kessler wie beispielsweise in US 2010/0208319 A1 oder WO 90/00755 A1 beschrieben.

Die zweite Strahlablenkeinheit 30B ist beispielsweise ein einzelner Spiegel mit ME S-Antrieb, der um zwei zueinander orthogonale, feststehende Achsen drehbar ist. Eine dieser beiden Drehachsen ist parallel zur y-Achse. Der ortsfeste Drehpunkt des Spiegels liegt in der reflektierenden Oberfläche des Spiegels auf der optischen Achse der Transferoptik 35. Die erste Strahlablenkeinheit 30A ist beispielsweise ein einzelner Spiegel mit Galvanometerantrieb, weist also nur genau eine Drehachse auf, die in der x-z-Ebene liegt. Er kann beispielsweise in resonanter Schwingung betrieben werden. Alternativ können auch in beiden konjugierten Pupillenebenen PE' und PE" Galvanometer-Strahlablenkeinheiten eingesetzt werden, von denen eine das Licht in der Probe in x-Richtung, und der andere in y-Richtung bewegen kann.

Die zusätzliche Pupillenebene PE" wird durch den beispielsweise torischen

Hohlspiegel bereitgestellt, der optisch zwischen der ersten Strahlablenkeinheit 30A und der zweiten Strahlablenkeinheit 30B angeordnet ist. Der erste Krümmungsmittelpunkt des Hohlspiegels 36 liegt im Abstand der ersten konjugierten Pupiilenebene PE' auf der reflektierenden Oberfläche der ersten

Strahlablenkeinheit 30A (Abstand R zwischen Hohlspiegel und konjugierter Pupille PE') und der zugehörige Krümmungsradius des Hohlspiegels ist doppelt so groß wie der Krümmungsradius des zweiten Zwischenbilds Zb2. Dadurch liegt einerseits (im identischen Abstand R) in der zweiten konjugierten Pupille PE" unabhängig vom jeweiligen Feldwinkel eine perfekte, ebene Abbildung der ersten konjugierten

Pupille PE' vor und andererseits sind die Strahlen in der zweiten konjugierten Pupille PE" kollimiert, so dass dort ebene Wellenfronten vorliegen. Dadurch ist die Handhabung der Strahlen im weiteren Verlauf des Detektionsstrahlengangs einfach. In alternativen Ausführungsformen (nicht abgebildet) können die Krümmungsradien von Hohlspiegel und zweitem Zwischenbild voneinander abweichen, so dass in der zweiten Pupille PE" nichtebene Wellenfronten vorliegen.

Da der Hohlspiegel 36 bei senkrechtem Lichteinfall die erste konjugierte Pupille PE' auf sich selbst abbilden würde, ist er senkrecht zu der Ebene, in der die zweite Strahlablenkeinheit 30B wirkt, um eine zu y parallele Achse durch den zentralen Auftreffpunkt des Hohlspiegeis, wie oben definiert, gedreht. Durch den schrägen Lichteinfall auf den Hohlspiegel erzeugt dieser Astigmatismus, was durch die torische Form maximal kompensiert wird. Zu diesem Zweck ist der Krümmungsradius entlang der y-Achse gegenüber dem Krümmungsradius des zweiten Zwischenbilds Zb2 um den Faktor cos(Einfallswinkel) verkleinert und der Krümmungsradius entlang der x- Achse gegenüber dem Krümmungsradius des zweiten Zwischenbilds Zb2 um denselben Faktor vergrößert. Eine zusätzliche Zylinderoptik ist hier nicht erforderlich.

Alternativ zur torischen Form kann der Hohlspiegel 36 eine sphärische Form aufweisen, in der erster und zweiter Krümmungsmittelpunkt, und damit auch die entsprechenden Krümmungsradien, identisch sind. Dann kann auf der von der Abtastungsoptik 35 abgewandten Seite des Hohlspiegels 36 eine Zylinderoptik 41 , beispielsweise in Form einer schwachen Zylinderlinse, zur Kompensation des aus dem schrägen Einfall auf den Hohlspiegel 36 resultierenden Astigmatismus angeordnet sein. Vorzugsweise kann die Zylinderoptik 41 auf der von der

Abtastungsoptik 35 abgewandten Seite der ersten Strahlablenkeinheit 30A, also im sogenannten„descannten" Strahlengangabschnitt, angeordnet sein. Der Krümmungsmittelpunkt des Hohlspiegels 36 liegt in der Mitte eines Kreisbogens um den zentralen Auftreffpunkt des Hohlspiegels 36, der die Auftreffpunkte der optischen Achse auf die erste und zweite Strahlablenkeinheit 30A und 30B in deren

Nullstellung umfasst.

Fig. 7 zeigt in einer Fig. 4A entsprechenden, leicht gedrehten Darstellung einen Ausschnitt einer um eine Übertragungsoptik 42 erweiterten Transferoptik. Die Übertragungsoptik 42 dient dazu, eine dritte konjugierte Pupillenebene PE'" bereitzustellen. In ihr kann beispielsweise ein variabel einstellbarer

Wellenfrontmodulator (nicht dargestellt) angeordnet sein.

Schließlich zeigt Fig. 8 ein Lichtrastermikroskop 10, das weitgehend dem in Fig. 1 dargestellten entspricht. Die Transferoptik liegt jedoch in einer alternativen

Ausführungsform vor. Die Abtastungsoptik 35 bildet auf herkömmliche Weise unter Bildfeldwölbungskorrektur das erste Zwischenbild Zb1 nach unendlich ab. Der Beleuchtungsstrahlengang ist dadurch im Bereich der ersten konjugierten

Pupille PE', in welcher die zweiten Strahlablenkeinheit 30B angeordnet ist, kollimiert. Der Hohlspiegel 36 fokussiert ihn in das zweite Zwischenbild Zb2, welches in dieser Ausführungsform zwischen dem Hohlspiegel 36 und der ersten

Strahlablenkeinheit 30A liegt und eben ist. Der Hohlspiegel 36 bildet wie in Fig. 1 die beiden Strahlablenkeinheiten 30A und 30B aufeinander ab.

Eine Kollimationsoptik 37 bildet das zweite Zwischenbild Zb2 anschließend über den Hauptstrahlteiler 33 nach unendlich ab.

Der Hohlspiegel weist eine sphärische Form auf. Sein Krümmungsmittelpunkt liegt in der Mitte eines Kreisbogens um den zentralen Auftreffpunkt des Hohlspiegels 36, der die Auftreffpunkte der optischen Achse auf die erste und zweite

Strahlablenkeinheit 30A und 30B in deren Nullstellung umfasst.

Der Hohlspiegel 36 und die Strahlabienkeinheiten 30A, 30B sind wiederum so angeordnet, dass der ebene Reflexionswinkel der optischen Achse OA des

Beleuchtungsstrahlengangs auf der ersten Strahlablenkeinheit 30A in einer

Nullstellung der ersten und der zweiten Strahlablenkeinheit 30A, 30B doppelt so groß ist wie der ebene Reflexionswinkel der optischen Achse OA am Hohlspiegel 36. Zudem entspricht der Krümmungsradius des Hohlspiegels 36 einer optischen Weglänge zwischen dem Hohlspiegel 36 und der ersten Strahlablenkeinheit 30A und einer optischen Weglänge zwischen dem Hohlspiegel 36 und der zweiten

Strahlablenkeinheit 30B. Dadurch kompensieren sich die Verzeichnungen des Hohlspiegels 36 und der beiden Strahlablenkeinheiten 30A, 30B maximal möglich.

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Bezugszeichenliste

10 Lichtrastermikroskop

20 Koppeloptik

21 Mikroskopobjektiv

22 Lichtleitfaser

23 Laser

24 Lichtklappe

25 Abschwächer

26 Faserkoppler

27 Tubuslinse

28 Filter

29 Farbteiler

30 A/B/C Erste/Zweite/Dritte Strahlablenkeinheit

31 Blende

32 Photovervielfacher

33 Hauptstrah!teiier

34 Steuereinheit

35 Abtastungsoptik

36 Hohlspiegel

37 Kollimationsoptik

38 Detektionsoptik

39 NLO-Strahlteiler

40 NLO-Detektor

41 Zylinderoptik

42 Übertragungsoptik

D Detektionsmoduf

L Beleuchtungsmodul

M Mikroskopeinheit

N NLO-Detektionsmodul

P Probe

PE(' /"/'") (konjugierte) Pupillenebene

R Abstand

S Scanmodui

V Virtuelles Objekt

Zb1/2 Zwischenbildebene