Die Erfindung betrifft ein Mikroskop mit einem Autofokussystem mit einem in einem ersten ausgekoppelten Strahlengang angeordneten ersten Bildsensor zum Aufnehmen eines ersten Bildes und einem in einem zweiten ausgekoppelten Strahlengang angeordneten zweiten Bildsensor zum Aufnehmen eines zweiten Bildes.

Bei bekannten, aktiven Autofokussystemen wird eine Hilfsstruktur oder ein Hilfsstrahl auf die Oberfläche des zu untersuchenden Objektes projiziert und die Rückstrahlung ausgewertet. Eine Hilfsstruktur wird dabei typischerweise koaxial zur Beobachtung eingespiegelt. Damit die Hilfsstruktur für einen großen Vergrößerungsbereich der Beobachtung geeignet ist, muss die Projektion jedoch mittels zusätzlicher Optik auf das jeweilige Objektivfeld adaptiert werden. Hilfsstrahlen werden hingegen üblicherweise paraxial projiziert, beispielsweise mit Hilfe einer Triangulation. Dazu werden meist Laserlichtquellen oder Leuchtdioden (LED) verwendet. Das entsprechende Verfahren wird auch

Laserautofokus- bzw. LED-Autofokusverfahren genannt. Jedoch ist auch hierzu eine aufwendige Kollimations- und Abbildungsoptik nötig. Zudem wird bei par-axialer Abbildung meist zur Detektion und Auswertung eine zweite Optik benötigt. Die gegenseitige Ausrichtung dieser zwei Optiken beeinflusst die Präzision der Fokussierung. Um die Abbildung des Objektes für den Betrachter nicht zu beeinträchtigen, werden in der Regel Wellenlängen jenseits des sichtbaren Spektrums, üblicherweise im IR- (Infrarot-)Band, verwendet. Die überwiegende Mehrheit der Mikroskope ist hingegen für die Anwendung im sichtbaren

Wellenlängenbereich konzipiert. Dabei wird beispielsweise eine chromatische Korrektion mit Hilfe eines Apochromats durchgeführt. Bei den bekannten Verfahren führt dies zu einem Farblängsfehler der Abbildung für den IR-Hilfsstrahl, welcher sich wiederum in einem „Offset" zur vom Betrachter empfundenen Fokusposition äußert. Durch „Vorhalt" kann dieser Offset korrigiert werden. Dies gestaltet sich jedoch bei einem modularen Aufbau bzw. bei einem kontinuierlichen Zoom-System aufwendig und kann zu einer Fehlbedienung bzw. einer Fehlfunktion führen. Durch die wellenlängenabhängige Eindringtiefe, insbesondere bei Halbleitern, entsteht ein objektabhängiger Offset, der nicht bzw. nur für jeweils eine Objektart korrigiert werden kann.

Die Zuverlässigkeit aller aktiven Autofokussysteme hängt von den Reflexionseigenschaften des zu untersuchenden Objektes ab. Dadurch können insbesondere bei einer paraxialen Projektion erhebliche Unterschiede zwischen der Abbildung des Objektes und des projizierten Hilfsstrahls bzw. der projizierten Hilfsstruktur auftreten. Dies führt zu Abweichungen bei der Fokussierung und im Extremfall zum völligen Versagen.

Figuren 5 bis 7 zeigen verschiedene Ausführungen eines Mikroskops gemäß dem Stand der Technik. In Figur 5 ist eine Ausführung eines Mikroskops mit digitaler Bildaufnahme ohne Autofokussystem gezeigt. In Figur 6 ist eine Ausführung eines Mikroskops mit visueller Betrachtung ohne Autofokussystem gezeigt. In Figur 7 ist eine

Ausführung eines Mikroskops mit bildseitig konstanter numerischer Apertur und somit über den Abbildungsmaßstab in axialer Richtung konstantem Abstand zwischen einem ersten und einem zweiten Bildsensor gezeigt.

Ausgehend von dem bekannten Stand der Technik ist es Aufgabe der Erfindung, ein Mikroskop mit einem Autofokussystem anzugeben, das eine hohe Präzision, große Schnelligkeit und verbesserte Robustheit der Fokussierung ermöglicht.

Diese Aufgabe wird durch ein Mikroskop mit den Merkmalen des Anspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen sind in den abhängigen Ansprüchen angegeben.

Durch ein Mikroskop mit den Merkmalen des Anspruchs 1 wird die vorteilhafte Fokussierung erreicht, da insbesondere das

Autofokussystem ausgebildet ist, um basierend auf Kontrastwerten des von dem ersten Bildsensor aufgenommenen ersten Bildes und des von dem zweiten Bildsensor aufgenommenen zweiten Bildes eine

Kontrastdifferenz zu ermitteln, und basierend auf der ermittelten Kontrastdifferenz eine relative Lage der Schärfeebene zur Objektebene einzustellen. Dabei umfassen das erste und zweite Bild jeweils von dem jeweils als Flächensensor ausgebildeten ersten und zweiten Bildsensor bereitgestellte Bildinformationen. Somit kann die Fokussierung flexibel bzw. ohne signifikante Einschränkungen durchgeführt werden. Ferner wird die Fokussierung relativ schnell und präzise erreicht. Dies ermöglicht die hohe Präzision, große Schnelligkeit und verbesserte Robustheit der Fokussierung.

Anstatt von zwei oder mehreren Bildsensoren, kann auch nur ein Bildsensor eingesetzt werden. Dessen Fläche wird dann in wenigstens zwei Teilbereiche unterteilt. Dieser eine Bildsensor kann beispielsweise in Kombination mit zwei Strahlteilern benutzt werden. In einer alternativen Ausführungsform können die zwei Teilbereiche des Bildsensors auch durch ein Linsen-Array in nur einem Strahlengang erzeugt werden.

Die hier erläuterten Elemente und ihre Funktionen beziehen sich auf die Verwendung von zwei oder mehreren Bildsensoren. Ferner können sich diese Elemente und ihre Funktionen auch entsprechend auf die Verwendung von nur einem Bildsensor mit zwei Teilbereichen beziehen. Dabei entspricht das in einem ersten Teilbereich auf dem einen Bildsensor erzeugbare erste Bild im Wesentlichen dem von einem ersten der zwei oder mehreren Bildsensoren aufgenommenen ersten Bild, während das in einem zweiten Teilbereich auf dem einen

Bildsensor erzeugbare zweite Bild im Wesentlichen dem von einem zweiten der zwei oder mehreren Bildsensoren aufgenommenen zweiten Bild entspricht.

Vorzugsweise ist das Autofokussystem derart ausgebildet, dass der Fokussierungsvorgang anhand wenigstens eines ersten Betriebsmodus und eines zweiten Betriebsmodus ausführbar ist. Dabei ist das Autofokussystem derart eingerichtet, dass es in dem ersten Betriebsmodus Kontrastwerte des von dem ersten Bildsensor aufgenommenen ersten Bildes und des von dem zweiten Bildsensor aufgenommenen zweiten Bildes und in dem zweiten Betriebsmodus Kontrastwerte des von dem ersten Bildsensor aufgenommenen ersten Bildes und des von dem zweiten Bildsensor aufgenommenen zweiten Bildes ermittelt, und basierend auf den ermittelten Kontrastwerten eine relative Lage der Schärfeebene zur Objektebene einstellt. Ferner ist das Autofokussystem ausgebildet, um die relative Lage der Schärfeebene zur Objektebene in dem ersten Betriebsmodus so einzustellen, dass die Schärfeebene innerhalb eines ersten Toleranzbereichs um die

Objektebene liegt und die relative Lage der Schärfeebene zur

Objektebene in dem zweiten Betriebsmodus so einzustellen, dass die Schärfeebene innerhalb eines zweiten Toleranzbereichs um die

Objektebene liegt. Dabei ist der zweite Toleranzbereich kleiner als der erste Toleranzbereich. Ferner wird in dem ersten Betriebsmodus eine vergleichsweise grobe Fokussierung erreicht, während in dem zweiten Betriebsmodus eine vergleichsweise feine Fokussierung erreicht wird. Dabei kann die vergleichsweise grobe Fokussierung in dem ersten Betriebsmodus relativ schnell durchgeführt werden. Ferner kann die vergleichsweise feine Fokussierung in dem zweiten Betriebsmodus relativ präzise durchgeführt werden.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn das Autofokussystem ausgebildet ist, um eine Richtungserkennung für die Einstellung der relativen Lage der Schärfeebene zur Objektebene basierend auf einem Vergleich eines ersten Kontrastwerts des von dem ersten Bildsensor aufgenommenen ersten Bildes und eines zweiten Kontrastwerts des von dem zweiten Bildsensor aufgenommenen zweiten Bildes durchzuführen. Somit liefert der erfindungsgemäße Algorithmus nicht nur die Distanz, entlang welcher das Präparat verfahren werden soll, sondern auch in welche Richtung dasselbe verfahren werden soll. Ferner kann eine

Defokussierung mit Hilfe der Kontrastauswertung festgestellt und quantifiziert werden.

Dabei ist das Autofokussystem ausgebildet, um basierend auf der Richtungserkennung die relative Lage der Schärfeebene zur

Objektebene derart einzustellen, dass die Schärfeebene in Richtung der Objektebene oder die Objektebene in Richtung der Schärfeebene verschoben wird, so dass sich der Abstand zwischen der Schärfeebene und der Objektebene verringert, wenn der erste Kontrastwert des von dem ersten Bildsensor aufgenommenen ersten Bildes größer als der zweite Kontrastwert des von dem zweiten Bildsensor aufgenommenen zweiten Bildes ist.

Ferner ist das Autofokussystem ausgebildet, um basierend auf der Richtungserkennung die relative Lage der Schärfeebene zur

Objektebene derart einzustellen, dass die Schärfeebene von der Objektebene weg oder die Objektebene von der Schärfeebene weg verschoben wird, so dass sich der Abstand zwischen der Schärfeebene und der Objektebene vergrößert, wenn der zweite Kontrastwert des von dem zweiten Bildsensor aufgenommenen zweiten Bildes größer als der erste Kontrastwert des von dem ersten Bildsensor aufgenommenen ersten Bildes ist. Ferner ist es vorteilhaft, wenn das Mikroskop durch ein

Abbildungssystem mit einemdritten Bildsensor, einem Objektiv, einem ersten Strahlteiler und einem zweiten Strahlteiler gekennzeichnet ist, wobei der erste Strahlteiler in einem Strahlengang zwischen dem Objektiv und dem dritten Bildsensor und in einem Strahlengang zwischen dem Objektiv und dem ersten Bildsensor angeordnet ist, und wobei der zweite Strahlteiler in einem Strahlengang zwischen dem Objektiv und dem dritten Bildsensor und in einem Strahlengang zwischen dem Objektiv und dem zweiten Bildsensor angeordnet ist. Dadurch können aus dem Strahlengang zwischen dem Objektiv und dem dritten Bildsensor der erste ausgekoppelte Strahlengang und der zweite ausgekoppelte Strahlengang für das Autofokussystem ausgekoppelt werden.

Optional kann anstelle des dritten Bildsensors auch ein Okular in dem Abbildungssystem des Mikroskops vorgesehen sein. Ferner kann das erfindungsgemäße Autofokussystem auch in ein klassisches Mikroskop eingebaut sein.

Vorzugsweise ist der erste Strahlteiler ausgebildet ist, um die zur Objektebene konjugierte erste Bildebene zu erzeugen, während der zweite Strahlteiler ausgebildet ist, um die zur Objektebene konjugierte zweite Bildebene zu erzeugen.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn der erste Strahlteiler und der zweite Strahlteiler in dem Strahlengang zwischen dem Objektiv und dem dritten Bildsensor beabstandet voneinander angeordnet sind, wenn zur Objektebene konjugierte erste Bildebene und die zur Objektebene konjugierte zweite Bildebene in einem Abstand voneinander liegen, und wenn der Abstand zwischen der zur Objektebene konjugierten ersten Bildebene und der zur Objektebene konjugierten zweiten Bildebene dem Abstand zwischen dem ersten Strahlteiler und dem zweiten Strahlteiler entspricht. Dadurch können der erste Bildsensor in dem ersten ausgekoppelten Strahlengang und der zweite Bildsensor in dem zweiten ausgekoppelten Strahlengang zwischen der zur

Objektebene konjugierten ersten Bildebene und der zur Objektebene konjugierten, zweiten Bildebene angeordnet werden. Vorzugsweise liegen dabei der in dem ersten ausgekoppelten Strahlengang angeordnete erste Bildsensor und der in dem zweiten ausgekoppelten Strahlengang angeordnete zweite Bildsensor in einer gleichen Ebene, die zu der zur Objektebene konjugierten ersten Bildebene und zu der zur Objektebene konjugierten zweiten Bildebene den gleichen Abstand hat.

Vorzugsweise ist der zweite Toleranzbereich kleiner oder gleich der Hälfte des ersten Toleranzbereichs.

Vorzugsweise entspricht der erste Toleranzbereich mindestens dem 2,5-fachen der Schärfentiefe des Mikroskops, während der zweite Toleranzbereich höchstens der Schärfentiefe des Mikroskops entspricht. Dadurch kann insbesondere die vergleichsweise feine Fokussierung mit einer hohen Präzision erreicht werden. Ferner ist es vorteilhaft, wenn der Bildsensor ein Flächensensor ist. Dadurch kann ein Mikroskop mit digitaler Bildgebung mit einer verbesserten Kontrastauswertung realisiert werden.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn der Benutzer auf dem Bildsensor einen Teilbereich (ROI = Region of Interest) auswählen kann, auf welchem die Fokusberechnung ausführbar ist. Dies ermöglicht die Bestimmung, auf welcher Höhe des Objekts fokussiert werden soll.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn das Autofokussystem derart ausgebildet ist, dass der anhand des ersten Betriebsmodus ausführbare

Fokussierungsvorgang nur ein einziges Mal durchgeführt wird, und der anhand des zweiten Betriebsmodus ausführbare Fokussierungsvorgang so oft wiederholt wird, bis eine vorgegebene Abbruchbedingung erfüllt ist. Somit kann eine fortlaufende Fokussierung mit einer vorgegebenen Abbruchbedingung realisiert werden.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn das Autofokussystem ausgebildet ist, um die relative Lage der Schärfeebene zur Objektebene in dem zweiten Betriebsmodus so einzustellen, dass der Abstand zwischen der Schärfeebene und der Objektebene um einen basierend auf der Kontrastdifferenz ermittelten Offset verringert wird. Dadurch kann die vergleichsweise feine Fokussierung relativ präzise und weitestgehend unabhängig von der Objektbeschaffenheit erreicht werden.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn das Autofokussystem ausgebildet ist, um während der Bildaufnahmezeit für die Aufnahme des von dem ersten Bildsensor aufgenommenen ersten Bildes und des von dem zweiten Bildsensor aufgenommenen zweiten Bildes eine relative Lage der Schärfeebene zur Objektebene mit einer Fokus-Verfahrgeschwindigkeit zu verstellen. Dabei ist die Fokus-Verfahrgeschwindigkeit gleich dem Verhältnis der Schrittweite zur Bildaufnahmezeit. Ferner ist die

Schrittweite größer als die Schärfentiefe des Mikroskops. Dadurch kann eine Verkürzung des Zeitbedarfs für die Fokussierung erreicht werden, ohne dass es zu einer wesentlichen Bewegungsunschärfe wegen der Integration des von dem ersten Bildsensor aufgenommenen ersten Bildes bzw. des von dem zweiten Bildsensor aufgenommenen zweiten

Bildes kommt.

Ferner ist es vorteilhaft, wenn die Schrittweite größer oder gleich dem 2,5-fachen der Schärfentiefe des Mikroskops ist. Vorzugsweise ist die Schrittweite kleiner oder gleich dem 10-fachen der Schärfentiefe des

Mikroskops. Dadurch kann einerseits der Zeitbedarf für die

Fokussierung erheblich verkürzt werden, und andererseits kann gleichzeitig eine Bewegungsunschärfe wegen der Bildintegration vermieden aber zumindest verringert werden.

Vorzugsweise ist die Fokus-Verfahrgeschwindigkeit konstant.

Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel umfasst das Mikroskop ein Autofokussystem zum Ausführen eines Fokussierungsvorgangs mit einem in einem ausgekoppelten Strahlengang angeordneten Bildsensor zum Aufnehmen eines ersten Bildes und eines zweiten Bildes. Dabei ist in dem ausgekoppelten Strahlengang ein Linsen-Array angeordnet, durch welches das erste Bild in einem ersten Teilbereich auf dem einen Bildsensor und das zweite Bild in einem zweiten Teilbereich auf dem einen Bildsensor erzeugbar sind. Ferner ist das Autofokussystem ausgebildet, um während der Bildaufnahmezeit für die Aufnahme des von dem Bildsensor aufgenommenen ersten Bildes und des zweiten

Bildes eine relative Lage der Schärfeebene zur Objektebene mit einer Fokus-Verfahrgeschwindigkeit zu verstellen. Dabei ist die Fokus- Verfahrgeschwindigkeit gleich dem Verhältnis einer Schrittweite zur Bildaufnahmezeit. Ferner ist die Schrittweite größer als die

Schärfentiefe des Mikroskops.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung, die die Erfindung anhand von

Ausführungsbeispielen im Zusammenhang mit den beigefügten Figuren näher erläutert. Es zeigen: eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Mikroskops mit einem Autofokussystem zur Einstellung der relativen Lage der Schärfeebene zur Objektebene; eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Mikroskops mit dem Autofokussystem nach Figur la zur Einstellung der Schärfeebene innerhalb eines ersten Toleranzbereichs und eines zweiten, kleineren Toleranzbereichs um die Objektebene; ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Durchführen einer vergleichsweisen groben Fokussierung in einem ersten Betriebsmodus des erfindungsgemäßen

Mikroskops; ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Durchführen einer vergleichsweise feinen Fokussierung in einem zweiten Betriebsmodus des erfindungsgemäßen

Mikroskops; ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Durchführen einer einmaligen Fokussierung gemäß einem

Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung; ein Flussdiagramm eines Verfahrens zum Durchführen einer fortlaufenden Fokussierung gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung; eine beispielhafte Ausführung eines Mikroskops mit digitaler Bildaufnahme ohne Autofokussystem; eine beispielhafte Ausführung eines Mikroskops mit visueller Betrachtung ohne Autofokussystem; und eine beispielhafte Ausführung eines Mikroskops mit bildseitig konstanter numerischer Apertur und somit über den Abbildungsmaßstab in axialer Richtung konstantem Abstand zwischen dem ersten und dem zweiten

Bildsensor.

Ein erster Aspekt der vorliegenden Erfindung befasst sich mit dem Nachteil, dass die Fokussierung bei bekannten Autofokussystemen nicht effektiv genug ist.

Figur la zeigt eine schematische Darstellung eines erfindungsgemäßen Mikroskops 10 mit einem Autofokussystem 11 zur Einstellung der relativen Lage der Schärfeebene 20 zur Objektebene 22. Wie in Figur la gezeigt, umfasst das Autofokussystem 11 einen in einem ersten ausgekoppelten Strahlengang 12a angeordneten ersten Bildsensor 14a zum Aufnehmen eines ersten Bildes 16a und einen in einem zweiten ausgekoppelten Strahlengang 12b angeordneten zweiten Bildsensor 14b zum Aufnehmen eines zweiten Bildes 16b. Insbesondere ist in Figur la gezeigt, dass dem ersten Bildsensor 14a eine zur Objektebene 22 konjugierte erste Bildebene 18a zugeordnet ist und der erste Bildsensor 14a in dem ersten ausgekoppelten Strahlengang 12a

lichtstromaufwärts der zur Objektebene 22 konjugierten ersten

Bildebene 18a angeordnet ist. Ferner ist in Figur la gezeigt, dass dem zweiten Bildsensor 14b eine zur Objektebene 22 konjugierte zweite Bildebene 18b zugeordnet ist und der zweite Bildsensor 14b in dem zweiten ausgekoppelten Strahlengang 12b lichtstromabwärts der zur Objektebene 22 konjugierten zweiten Bildebene 18b angeordnet ist.

Das in Figur la gezeigte Mikroskop 10 ist gekennzeichnet durch ein Abbildungssystem 32 mit einem dritten Bildsensor 25, einem Objektiv 26, einem ersten Strahlteiler 28a und einem zweiten Strahlteiler 28b. Der erste Strahlteiler 28a ist in einem Strahlengang zwischen dem Objektiv 26 und dem dritten Bildsensor 25 und in einem Strahlengang zwischen dem Objektiv 26 und dem ersten Bildsensor 14a angeordnet. Ferner ist der zweite Strahlteiler 28b in einem Strahlengang zwischen dem Objektiv 26 und dem dritten Bildsensor 25 und in einem

Strahlengang zwischen dem Objektiv 26 und dem zweiten Bildsensor 14b angeordnet. Der dritte Bildsensor 25 des in Figur la gezeigten Mikroskops 10 dient zum Aufnehmen eines dritten Bildes 30.

Wie in Figur la gezeigt, dient der erste Strahlteiler 28a zur Erzeugung der zur Objektebene 22 konjugierten ersten Bildebene 18a. Ferner dient der zweite Strahlteiler 28b zur Erzeugung der zur Objektebene 22 konjugierten zweiten Bildebene 18b. Dabei ist der erste Strahlteiler 28a derart angeordnet, dass der erste ausgekoppelte Strahlengang 12a aus dem Strahlengang zwischen dem Objektiv 26 und dem dritten

Bildsensor 25 ausgekoppelt wird. Ferner ist der zweite Strahlteiler 28b derart angeordnet, dass der zweite ausgekoppelte Strahlengang 12b aus dem Strahlengang zwischen dem Objektiv 26 und dem dritten Bildsensor 25 ausgekoppelt wird.

Das Abbildungssystem 32 des in Figur la gezeigten Mikroskops 10 dient zur optischen Abbildung der Objektebene 22 auf die zur Objektebene 22 konjugierte erste Bildebene 18a bzw. auf die zur Objektebene 22 konjugierte zweite Bildebene 18b. Das Abbildungssystem 32 umfasst ein Zoomsystem 33, dessen Aufbau dem Fachmann bekannt ist und hier nicht näher beschrieben wird. Bei dem erfindungsgemäßen Mikroskop 10 sind der erste Strahlteiler 28a und der zweite Strahlteiler 28b in dem Strahlengang zwischen dem Objektiv 26 und dem dritten Bildsensor 25 beabstandet voneinander angeordnet. Ferner liegen die zur Objektebene 22 konjugierte erste Bildebene 18a und die zur Objektebene 22 konjugierte zweite

Bildebene 18b in einem Abstand voneinander. Dabei entspricht der Abstand zwischen der zur Objektebene 22 konjugierten ersten

Bildebene 18a und der zur Objektebene 22 konjugierten zweiten Bildebene 18b dem Abstand zwischen dem ersten Strahlteiler 28a und dem zweiten Strahlteiler 28b. Wie in Figur la gezeigt, sind der erste Bildsensor 14a und der zweite Bildsensor 14b zwischen der zur

Objektebene 22 konjugierten ersten Bildebene 18a und der zur Objektebene 22 konjugierten zweiten Bildebene 18b angeordnet.

Vorzugsweise haben der erste Bildsensor 14a und der zweite Bildsensor 14b jeweils einen gleichen Abstand zu der zur Objektebene 22 konjugierten ersten Bildebene 18a und zu der zur Objektebene 22 konjugierten zweiten Bildebene 18b.

Das Autofokussystem 11 des in Figur la gezeigten Mikroskops 10 dient zur Einstellung der relativen Lage der Schärfeebene 20 zur Objektebene 22. Dies ist in Figur la durch den Pfeil 23 schematisch dargestellt. Die Schärfeebene 20 verläuft durch den Fokus 21 des Objektivs 26 des Abbildungssystems 32. Ferner liegt die Schärfeebene 20 senkrecht zur optischen Achse des Strahlengangs zwischen dem Fokus 21 und dem dritten Bildsensor 25. In Figur la ist der perfekt fokussierte Zustand des Mikroskops 10 schematisch dargestellt. Dabei liegt die Schärfeebene 20 genau in der Objektebene 22. Die Einstellung des fokussierten Zustands wird durch eine Verschiebung der Schärfeebene 20 in Richtung der Objektebene 22 bzw. durch eine Verschiebung der Objektebene 22 in Richtung der Schärfeebene 20 erreicht. Die Verschiebung erfolgt dabei parallel zur optischen Achse 31 des Strahlengangs. In einer weiteren

Ausführungsform kann die relative Verschiebung der Objektebene 22 und der Schärfeebene 20 unter bekanntem Winkel zwischen der optischen Achse 31 und der Objektebene erfolgen. Dabei durchdringt die optische Achse 31 im fokussierten Zustand vorzugsweise das Zentrum der Objektebene.

Figur lb zeigt eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen Mikroskops 10 mit dem Autofokussystem 11 nach Figur la zur

Einstellung der Schärfeebene 20 innerhalb eines ersten

Toleranzbereichs 34 und eines zweiten, kleineren Toleranzbereichs 36 um die Objektebene 22. In Figur lb ist der nicht perfekt fokussierte Zustand, d.h., der innerhalb eines Toleranzbereichs fokussierte Zustand, des Mikroskops 10 schematisch dargestellt. Dabei liegt die

Schärfeebene 20 nicht genau in der Objektebene 22. Stattdessen liegt die Schärfeebene 20 innerhalb des ersten Toleranzbereichs 34 bzw. innerhalb des zweiten, kleineren Toleranzbereichs 36 um die

Objektebene 22.

Vorzugsweise entspricht der erste Toleranzbereich 34 mindestens dem 2,5-fachen der Schärfentiefe des Mikroskops 10, während der zweite Toleranzbereich 36 höchstens der Schärfentiefe des Mikroskops 10 entspricht. Mit anderen Worten, Figur lb zeigt den fokussierten Zustand des Mikroskops 10 innerhalb eines in etwa in der Schärfentiefe liegenden Toleranzbereichs. Die Einstellung dieses in Figur lb gezeigten fokussierten Zustands erfolgt durch eine Verschiebung der

Schärfeebene 20 in Richtung der Objektebene 22. Dabei wird die Schärfeebene 20 zunächst von einem außerhalb des ersten

Toleranzbereichs 34 liegenden Bereich in den ersten Toleranzbereich 34 verschoben. Danach wird die Schärfeebene 20 von dem ersten Toleranzbereich 34 in den zweiten, kleineren Toleranzbereich 36 verschoben. Somit wird zunächst eine vergleichsweise grobe

Fokussierung und danach eine vergleichsweise feine Fokussierung erreicht.

Alternativ kann bei dem in Figur lb gezeigten Mikroskop 10 auch die Objektebene 22 in Richtung der Schärfeebene 20 verschoben werden, um die vergleichsweise grobe Fokussierung bzw. die vergleichsweise feine Fokussierung zu erreichen. Ferner dient das Autofokussystem 11 zur Auswertung der

Bildanalysedaten, wie beispielsweise Kontrastwerte des von dem ersten Bildsensor 14a aufgenommenen ersten Bildes 16a und des von dem zweiten Bildsensor 14b aufgenommenen zweiten Bildes 16b. Basierend auf dieser Auswertung der Bildanalysedaten bzw.

Kontrastwerte wird die relative Lage der Schärfeebene 20 zur

Objektebene 22 eingestellt. Bezugnehmend auf Figur lb erfolgt die Einstellung der relativen Lage der Schärfeebene 20 zur Objektebene 22 mit dem Autofokussystem 11 derart, dass die Schärfeebene 20 in Richtung der Objektebene 22 oder die Objektebene 22 in Richtung der Schärfeebene 20 verschoben wird, wenn ein erster Kontrastwert des von dem ersten Bildsensor 14a aufgenommenen ersten Bildes 16a größer als ein zweiter Kontrastwert des von dem zweiten Bildsensor 14b aufgenommenen zweiten Bildes 16b ist.

Vorzugsweise sind der erste Bildsensor 14a und der zweite Bildsensor 14b jeweils digitale Bildsensoren mit einer zweidimensionalen

Anordnung von Pixeln. Insbesondere sind die Sensoren dem Fachmann auch als Flächensensoren bekannt. Die Flächensensoren entsprechen zweckmässigerweise in etwa dem Bildfeld, da dann eine selektive Fokussierung auf alle verschiedenen Objektbereiche durchgeführt werden kann.

Figur 2 zeigt ein Flussdiagramm eines Verfahrens 100 zum Durchführen einer vergleichsweise groben Fokussierung in einem ersten

Betriebsmodus des erfindungsgemäßen Mikroskops 10. Das in Figur 2 gezeigte Verfahren 100 wird dazu verwendet, um die relative Lage der Schärfeebene 20 zur Objektebene 22 in dem ersten Betriebsmodus so einzustellen, dass die Schärfeebene 20 innerhalb des ersten

Toleranzbereichs 34 um die Objektebene 22 liegt.

Das Verfahren 100 umfasst einen mit„Starte Fokus finden"

bezeichneten Schritt 110. Dieser Schritt 110 stellt den Beginn des Verfahrens 100 zum Durchführen der vergleichsweise groben

Fokussierung dar. Ferner umfasst das Verfahren 100 die mit

„Bildaufnahme Kamera 1" und„Bildaufnahme Kamera 2" bezeichneten Schritte 112a, 112b. Während des Schritts 112a wird das erste Bild 16a von dem ersten Bildsensor 14a aufgenommen. Während des Schritts

112b wird das zweite Bild 16b von dem zweiten Bildsensor 14b aufgenommen. Ferner umfasst das Verfahren 100 jeweils die mit „Bildanalyse A _x für 1. Betriebsmodus" bzw.„Bildanalyse A ₂ für 1.

Betriebsmodus" bezeichneten Schritte 114a, 114b. Während des Schritts 114a wird eine erste Bildanalyse A _x anhand des von dem ersten Bildsensor 14a aufgenommenen ersten Bildes 16a durchgeführt. Während des Schritts 114b wird ähnlich eine Bildanalyse A ₂ anhand des von dem zweiten Bildsensor 14b aufgenommenen zweiten Bildes 16b durchgeführt. Ferner umfasst das Verfahren 100 einen Schritt 116 zur Auswertung der während der Schritte 114a, 114b ermittelten

Bildanalysedaten, wie beispielsweise Kontrastwerte. I nsbesondere wird im Schritt 116 die Differenz, D,, der Bildanalysedaten

Di = Ai - A ₂ berechnet, wobei D, die Differenz der Bildanalysedaten (wie

beispielsweise Kontrastwertdifferenz), A _x die aus Schritt 114a ermittelten ersten Bildanalysedaten (wie beispielsweise erster

Kontrastwert) und A ₂ die aus Schritt 114b ermittelten zweiten

Bildanalysedaten (wie beispielsweise Kontrastwert) sind. Dabei ist i ein ganzzahliger I ndex, der die i-te Iteration des iterativ durchführbaren Verfahrens 100 angibt. Ferner umfasst das Verfahren 100 einen Schritt 118 zum Vergleich der Bildanalysedifferenzen (wie beispielsweise Kontrastwertdifferenzen) unter Verwendung der Gleichung

Di *Di _ _! > 0 wobei D| die während der aktuellen Iteration des Verfahrens 100 ermittelte Differenz der Bildanalysedaten (Kontrastwertdifferenz) und Dj _ _! die während der vorherigen Iteration des Verfahrens 100 ermittelte Differenz der Bildanalysedaten (wie beispielsweise

Kontrastwertdifferenz) sind. Ferner umfasst das Verfahren 100 einen Schritt 120 zur Auswertung der während des Schritts 116 ermittelten Kontrastwertdifferenz. Dabei wird der Schritt 120 durchgeführt, wenn der während des Schritts 118 durchgeführte Vergleich positiv ist, d.h., wenn die Bedingung gemäß der obigen Gleichung erfüllt ist. Während des Schritts 120 wird überprüft, ob die folgende Bedingung

D| > 0 erfüllt ist. Ferner umfasst das Verfahren 100 einen mit„Präparat 2,5 x DOF anheben" (DOF, depth of field) bezeichneten Schritt 122 und einen mit„Präparat 2,5 x DOF absenken" bezeichneten Schritt 124. Dabei wird der Schritt 122 durchgeführt, wenn die während des Schritts 120 geprüfte Bedingung erfüllt ist, während der Schritt 124 durchgeführt wird, wenn die während des Schritts 120 geprüfte Bedingung nicht erfüllt ist. Während des Schritts 122 wird das Präparat um das 2,5-fache der Schärfentiefe angehoben. Während des Schritts 124 wird das Präparat um das 2,5-fache der Schärfentiefe abgesenkt. Dabei befindet sich das zu untersuchende Präparat im Wesentlichen in der in Figur la und lb gezeigten Objektebene 22. Ferner umfasst das Verfahren einen Schritt 128 zur Beurteilung des Abbruchs oder der wiederholten

Durchführung des Verfahrens 100. Während des Schritts 128 wird überprüft, ob die folgende Bedingung i <= X erfüllt ist, wobei X die Obergrenze der Anzahl der Iterationen darstellt. Die Obergrenze X kann beispielsweise auf 30 oder weniger,

vorzugsweise zwischen 15 und 20 festgelegt sein. Ferner umfasst das Verfahren 100 einen mit„Fokussierung fehlgeschlagen" bezeichneten Block 130. Dabei gibt der Block 130 an, dass die während des Schritts

128 geprüfte Bedingung nicht erfüllt ist, d.h., wenn bereits mehr als 16 Iterationen des Verfahrens 100 durchgeführt wurden. Andernfalls wird das Verfahren beginnend mit den Schritten 112a, 112b wiederholt durchgeführt.

Ferner umfasst das Verfahren 100 einen mit„Senken/Heben rückgängig machen" bezeichneten Schritt 126. Dabei wird der Schritt 126 durchgeführt, wenn der während des Schritts 118 durchgeführte Vergleich negativ ist, d.h., wenn sich die Differenz (z.B.

Kontrastwertdifferenz) der aktuellen Iteration des Verfahrens 100 und die Differenz (z.B. Kontrastwertdifferenz) der vorherigen Iteration des Verfahrens 100 unterscheiden. Während des Schritts 126 wird das während des Schritts 122 durchgeführte Heben bzw. das während des Schritts 124 durchgeführte Senken des Präparats rückgängig gemacht. D.h., das Präparat wird jeweils um das 2,5-fache der Schärfentiefe abgesenkt bzw. angehoben. Ferner umfasst das Verfahren 100 einen mit„Fokus finden abgeschlossen" bezeichneten Block 132.

Der Block 130 stellt das Ende des Verfahrens 100 dar, wobei mit dem Verfahren 100 keine sinnvolle Fokussierung möglich ist. Der Block 132 stellt das Ende des Verfahrens 100 dar, wobei die Fokussierung erfolgreich durchgeführt wurde.

Das anhand von Figur 2 beschriebene Verfahren 100 zur Durchführung der vergleichsweise groben Fokussierung stellt ein Verfahren zum Finden des Fokus während eines automatischen

Fokussierungsvorganges dar.

Figur 3 zeigt ein Flussdiagramm eines Verfahrens 200 zum Durchführen einer vergleichsweise feinen Fokussierung in einem zweiten

Betriebsmodus des erfindungsgemäßen Mikroskops 10. Das in Figur 3 gezeigte Verfahren 200 kann dazu verwendet werden, um die relative

Lage der Schärfeebene 20 zur Objektebene 22 in dem zweiten

Betriebsmodus so einzustellen, dass die Schärfeebene 20 innerhalb des zweiten im Vergleich zum ersten Toleranzbereich 34 kleineren

Toleranzbereichs 36 um die Objektebene 22 liegt.

Das Verfahren 200 umfasst einen mit„Starte Fokus halten"

bezeichneten Schritt 210. Der Schritt 210 stellt den Beginn des Verfahrens 200 zur Durchführung der vergleichsweise feinen

Fokussierung dar. Ferner umfasst das Verfahren 200 einen mit „Bildaufnahme Kamera 1" bezeichneten Schritt 212a und einen mit „Bildaufnahme Kamera 2" bezeichneten Schritt 212b. Während des Schritts 212a wird das erste Bild 16a von dem ersten Bildsensor 14a aufgenommen. Während des Schritts 212b wird das zweite Bild 16b von dem zweiten Bildsensor 14b aufgenommen. Ferner umfasst das Verfahren 200 jeweils einen mit„Bildanalyse im 2. Betriebsmodus" bezeichneten Schritt 214a, 214b. Während des Schritts 214a, 214b werden Bildanalysedaten, wie beispielsweise ein erster Kontrastwert Bl des von dem ersten Bildsensor 14a aufgenommenen ersten Bildes 16a ermittelt. Während des Schritts 214b werden weitere

Bildanalysedaten, z.B. ein zweiter Kontrastwert B2 des von dem zweiten Bildsensor 14b aufgenommenen zweiten Bildes 16b ermittelt. Ferner umfasst das Verfahren 200 einen mit„Fokus Offset, 0=f(Bl, B2), bestimmen aus Bildanalysedaten" bezeichneten Schritt 218. Während des Schritts 218 wird ein Wert für die auch als Offset bezeichnete Verschiebung des Präparats unter Verwendung des folgenden funktionalen Zusammenhangs

0 = f(Bl, B2) ermittelt, wobei O der Offset und Bl und B2 die Bildanalysewerte sind Ferner umfasst das Verfahren 200 einen Schritt 220 zum Ü berprüfen der folgenden Bedingung

O > DOF/2 wobei O der Offset und DOF die Schärfentiefe des Mikroskops 10 sind. Ferner umfasst das Verfahren 200 einen mit„Präparat um den Offset verfahren" bezeichneten Schritt 222 und einen mit„Fokus halten abgeschlossen" bezeichneten Block 224. Dabei wird der Schritt 222 durchgeführt, wenn die während des Schritts 220 überprüfte

Bedingung erfüllt ist. Während des Schritts 222 wird das Präparat um den während des Schritts 218 ermittelten Offset verfahren. Dabei liegt das zu untersuchende Präparat im Wesentlichen in der in Figur la und lb gezeigten Objektebene 22. Nach der Durchführung des Schritts 222 wird das Verfahren 200 beginnend mit den Schritten 212a, 212b wiederholt durchgeführt. Wenn die während des Schritts 220 überprüfte Bedingung nicht erfüllt ist, folgt der Block 224. Der Block 224 stellt das Ende des Verfahrens 200 dar.

Das anhand von Figur 3 beschriebene Verfahren 200 zur Durchführung der vergleichsweise feinen Fokussierung stellt ein Verfahren zum Halten des Fokus während eines automatischen Fokussierungsvorgangs dar.

Bezugnehmend auf Figur 2 und 3 wird der automatische Vorgang zur Fokussierung in zwei verschiedene Phasen bzw. Verfahren 100, 200 aufgeteilt. Dabei wird das in Figur 2 gezeigte Verfahren 100 zum Finden des Fokus verwendet, während das in Figur 3 gezeigte Verfahren 200 zum Halten des Fokus verwendet wird. Beim Verfahren 100 zum Finden des Fokus ist ein großer Fangbereich vorrangig. Dabei ist der

Fangbereich definiert als die größte Entfernung von der Fokusposition, bei der noch eine Richtungserkennung zum Anfahren der Fokusposition möglich ist. Beim Verfahren 200 zum Halten des Fokus ist die Präzision entscheidend, mit der die Fokusebene bestimmt werden kann. Die Präzision ist in diesem Zusammenhang definiert als die verbleibende Abweichung der angefahrenen Fokusposition zur idealen Fokusposition.

Es ist anzumerken, dass bei beiden Bildanalysen eine zweidimensionale Bildfläche bewertet wird. Dabei ist es vorteilhaft, dass die

Kontrastauswertung bzw. Bildanalyse nicht nur entlang einer Linie erfolgt. Ferner wird die Kontrastauswertung auch nicht nur auf das nächste Nachbarpixel bezogen durchgeführt.

Figur 4a zeigt ein Flussdiagramm eines Verfahrens 300 zum

Durchführen einer einmaligen Fokussierung gemäß einem

Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Das Verfahren 300 umfasst den mit„Starte Einmal Fokussierung" bezeichneten Schritt 310, das mit„Fokus finden" bezeichnete Verfahren 100, das mit„Fokus halten" bezeichnete Verfahren 200 und einen mit„Fokussierung abgeschlossen" bezeichneten Block 340. Während des Schritts 310 wird eine einmalige Fokussierung mit dem Autofokussystem 11 des

Mikroskops 10 begonnen. Danach wird das Verfahren 100 zum Finden des Fokus, wie anhand von Figur 2 beschrieben, durchgeführt. Danach wird das Verfahren 200 zum Halten des Fokus, wie anhand von Figur 3 beschrieben, durchgeführt. Der Block 340 stellt das Ende der

Fokussierung dar. Bei dem in Figur 4a gezeigten Verfahren 300 zur Durchführung der einmaligen Fokussierung werden das Verfahren 100 zum Finden des Fokus und das Verfahren 200 zum Halten des Fokus jeweils nur ein einziges Mal durchgeführt.

Figur 4b zeigt ein Flussdiagramm eines Verfahrens 400 zum

Durchführen einer fortlaufenden Fokussierung gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Das Verfahren 400 umfasst den mit„Starte fortlaufende Fokussierung" bezeichneten Schritt 410, das Verfahren 100 zum Finden des Fokus, das Verfahren 200 zum Halten des Fokus, einen Schritt 440 zum Überprüfen einer Bedingung für einen Abbruch des Verfahrens und einen mit

„Fokussierung beendet" bezeichneten Block 450. Während des Schritts 410 wird eine fortlaufende Fokussierung mit dem Autofokussystem 11 des Mikroskops 10 begonnen. Danach wird das Verfahren 100 zum Finden des Fokus durchgeführt. Danach wird das Verfahren 200 zum Halten des Fokus durchgeführt. Während des Schritts 440 wird überprüft, ob die Bedingung für den Abbruch des Verfahrens erfüllt ist. Dabei ist die Bedingung für den Abbruch des Verfahrens derart vorgegeben, dass sich die gewünschte Präzision der Fokussierung ergibt. Für den Fall, dass die während des Schritts 440 überprüfte Bedingung erfüllt ist, findet der Abbruch des Verfahrens statt, so dass die Fokussierung beendet ist. Andernfalls wird das Verfahren 200 zum Halten des Fokus und der Schritt 440 zum Überprüfen der Bedingung für den Abbruch wiederholt durchgeführt. Bei dem in Figur 4b gezeigten Verfahren 400 zur Durchführung der fortlaufenden

Fokussierung wird das Verfahren 100 zum Finden des Fokus nur ein einziges Mal durchgeführt, während das Verfahren 200 zum Halten des Fokus so oft wiederholt wird, bis die vorgegebene Abbruchbed erfüllt ist.

Ein zweiter Aspekt der vorliegenden Erfindung befasst sich mit dem weiteren Nachteil, dass die Kontrastverläufe der von den Bildsensoren

14a, 14b aufgenommenen Bilder 16a, 16b für verschiedene zu untersuchende Objekte jeweils unterschiedlich sind.

Bei dem in Figur 3 gezeigten Verfahren 200 zur Durchführung der vergleichsweise feinen Fokussierung wird basierend auf Kontrastwerten des von dem ersten Bildsensor 14a aufgenommenen ersten Bildes 16a und des von dem zweiten Bildsensor 14b aufgenommenen zweiten Bildes 16b die Kontrastdifferenz ermittelt. Ferner wird basierend auf der ermittelten Kontrastdifferenz die relative Lage der Schärfeebene 20 zur Objektebene 22 eingestellt.

Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung befasst sich mit dem weiteren Nachteil, dass es bei bekannten Autofokussystemen zu einer Bewegungsunschärfe wegen der Bildintegration kommt.

Vorzugsweise ist das Autofokussystem 11 des Mikroskops 10 derart ausgebildet, dass während der Bildaufnahmezeit für die Aufnahme des von dem ersten Bildsensor 14a aufgenommenen ersten Bildes 16a und des von dem zweiten Bildsensor 14b aufgenommenen zweiten Bildes 16b die relative Lage der Schärfeebene 20 zur Objektebene 22 mit einer bestimmten Schrittweite und einer bestimmten Fokus- Verfahrgeschwindigkeit eingestellt wird. Dabei ist die Fokus- Verfahrgeschwindigkeit gleich dem Verhältnis der Schrittweite zur Bildaufnahmezeit. Ferner ist die Schrittweite größer als die

Schärfentiefe des Mikroskops 10. Vorzugsweise ist die maximale Fokus- Verfahrgeschwindigkeit, mit der die Fokussierung zuverlässig durchgeführt werden kann, durch die folgende Gleichung

AT gegeben, wobei v die maximale Fokus-Verfahrgeschwindigkeit, DOF die Schärfentiefe und AT die Bildaufnahmezeit („Image Acquisition Time") sind, und wobei ST ein Vielfaches der Schärfentiefe angibt. Dabei entspricht das Produkt DOF · ST der Schrittweite während der

Fokussierung.

Vorzugsweise ist die Schrittweite größer oder gleich dem 2,5-fachen der Schärfentiefe des Mikroskops 10. Dadurch kann der Zeitbedarf für die Fokussierung erheblich verkürzt werden.

Ferner kann bis zu einer Schrittweite gleich dem 10-fachen der

Schärfentiefe des Mikroskops 10 eine zuverlässige Fokussierung durchgeführt werden.

Vorzugsweise wird die Einstellung der Fokussierung mit einer konstanten Fokus-Verfahrgeschwindigkeit durchgeführt. Zur

Verkürzung des Zeitbedarfs für die Fokussierung kann somit auch während der Bildaufnahme die Fokusebene mit konstanter

Geschwindigkeit weiter verfahren werden. Dies führt zwar zu einer gewissen Bewegungsunschärfe in den aufgenommenen Bildern. Es wurde jedoch erkannt, dass bis zu einer Verfahrstrecke von der 10- fachen Schärfentiefe pro Bildaufnahmezeit keine wesentliche

Reduktion der Präzision festzustellen ist.

Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Multisensor-Mikroskop zur automatischen Fokussierung realisiert. Dabei ist das Mikroskop ausgestattet mit mehreren Bildsensoren zur Erfassung der

flächenausgedehnten Helligkeits- und Farbinformation eines Bildes des Objekts zur automatischen Fokussierung auf die Oberfläche des Objektes. Ferner wird gemäß der vorliegenden Erfindung ein entsprechendes Verfahren zur schnellen, präzisen und verlässlichen Fokussierung mit dem Mikroskop realisiert.

Vorteilhaft ist die Verwendung einer Optik mit bildseitig konstanter numerischer Apertur über den ganzen Vergrößerungsbereich. Dadurch kann die bauseitig vorzuwählende Distanz wischen den Sensoren zur nominellen Bildebene auf ein optimales Maß abgestimmt werden. Als optimal gilt der Abstand zum Wendepunkt der Kontrastkurve, da dort die höchste Steigung und somit die höchste Präzision für die

Autofokusregelung vorliegt.

Das System kann insbesondere für ein handgehaltenes Mikroskop verwendet werden. In diesem Fall erfolgt die Bewegung der

Fokusebene nicht notwendigerweise motorisiert. Durch geeignetes Feedback an den Bediener kann dieser auch selbständig den Fokus finden und/oder halten. Dabei kann das Halten des Fokus auch motorisch erfolgen. Mit einem kleinen Verfahrbereich, kurzen

Aufnahme- und Auswertezeiten und möglichst kleiner bewegter Masse sind sehr kleine Regelzeiten erreichbar. Somit kann eine zuverlässige Stabilisierung der Fokuslage bis zu einer ca. 80-fachen Vergrößerung erreicht werden.

Auch kann durch eine Kompensation der Vignettierung bzw. dem seitlichen Versatz der beiden Sensoren 14a, 14b die Präzision des Systems noch weiter gesteigert werden.

Bezugszeichenliste

10 Mikroskop

11 Autofokussystem 12a, 12b Strahlengang

14a, 14b, 25 Bildsensor

16a, 16b, 30 Bild

18a, 18b Bildebene

20 Schärfeebene 22 Objektebene

26 Objektiv

28a, 28b Strahlteiler

32 Abbildungssystem

33 Vorrichtung zur stufenlosen Verstellung des

Abbildungsmaßstabes („Zoom")

34, 36 Toleranzbereich

100, 200, 300, 400 Verfahren

110 bis 132, 210 bis 224 Verfahrenskomponenten

310, 340, 410, 440, 450 Verfahrenskomponenten