Aus DD-A-211 801 und DD-A-211 802 sind Verfahren zur Modifizierung der Oberflächeneigenschaften von Olefincopoiymeren als Halbzeuge und Formstoffe bekannt. Die Halbzeuge und Formstoffe enthalten Ethylen-Norbornen-Copolymer oder eine Kombination aus Ethylen-Norbornen-Copolymer mit Thermoplasten, Füllstoffen, Verstärkerstoffen und Plasthilfsstoffen. Die Modifizierung wird durchgeführt durch Behandlung mit ionisierender Strahlung oder durch chemische Atzung. Durch die Behandlung wird eine Verbesserung der Verklebbarkeit, Bedruckbarkeit, Metallisierbarkeit und der Haftung von Lackschichten auf der Oberfläche des Halbzeugs oder Formstoffs erreicht. Dabei wird bei einer Temperatur von 340 K bis 410 K gearbeitet.

Aus US-A-5,334,424 ist bekannt, daß bei Artikeln auf Basis von gesättigten Norbornenharzen, die Oberflächenrauhigkeit durch Polieren auf < 0,05 um reduziert werden kann.

In Journal of Photopolymer Science and Technology, Volume 10, Nr. 2 (1997) 159- 166 werden Verfahren beschrieben, die auf der Wechselwirkung von Laserstrahlung mit Polymeren basieren.

Aus Y. Nakayama, T. Matsuda in J. Biomed. Res., 29,1295 (1995) sind Abtragungsraten bei einem Energiefluß von 1 J/cm2 mit Excimer-Lasern bekannt.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung liegt darin, mikrostrukturierte Bauteile mit sehr fein abgestuftem Höhenprofil und sehr geringer Oberfiächenrauhigkeit sowie ein wirtschaftliches und umweitfreundliches Verfahren zur Herstellung von mikrostrukturierten Bauteilen bereitzustellen. Unter mikrostrukturierten Bauteilen im

Sinne der Erfindung werden Bauteile verstanden, die Strukturen im Mikrometer- Bereich und darunter aufweisen.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung wird durch mikrostrukturierte Bauteile geiöst, die Cycloolefincopolymere enthalten.

Die erfindungsgemäßen mikrostrukturierten Bauteile enthalten mindestens ein Cycloolefincopolymer, welches polymerisierte Einheiten enthält, die sich von mindestens einem cyclischen, insbesondere polycyclischen Olefin und gegebenenfalls von mindestens einem acyclischen Olefin ableiten. Der Begriff Cycloolefinpolymer umfaßt Cycloolefincopolymere wie auch Cycloolefinhomopolymere.

Die erfindungsgemäßen mikrostrukturierten Bauteile enthalten mindestens ein Cycloolefincopolymer, enthaltend 0,1 bis 100 Gew.-%, bevorzugt 0,1 bis 99,9 Gew.- %, bezogen auf die Gesamtmasse des Cycloolefincopolymers, polymerisierte Einheiten, welche sich ableiten von mindestens einem polycyclischen Olefin der Formeln l, II, II', III, IV, V oder VI

worin R', R2, R3, R4, R5, R6, R7 und R8 gleich oder verschieden sind und ein Wasserstoffatom oder einen C1-C20-Kohlenwasserstoffrest, wie einen linearen oder verzweigten C,-C8-Alkylrest, C6-C, 8-Arylrest, C7-C2o-Alkylenarylrest, einen cyclischen oder acyclischen C2-C2o-Alkenylrest bedeuten, oder einen gesättigten, ungesättigten oder aromatischen Ring bilden, wobei gleiche Reste R'bis R8 in den verschiedenen Formeln I bis VI eine unterschiedliche Bedeutung haben können, worin n Werte von 0 bis 5 annehmen kann, und enthaltend 0 bis 99,9 Gew.- %, bevorzugt 0,1 bis 99,9 Gew.-%, bezogen auf die Gesamtmasse des Cycloolefincopolymers, polymerisierte Einheiten, welche sich ableiten von einem oder mehreren acyclischen Olefinen der Formel Vil

worin R9, R'°, R"und R12 gleich oder verschieden sind und ein Wasserstoffatom, einen linearen, verzweigten, gesättigten oder ungesättigten C,-C2o- Kohlenwasserstoffrest wie einen C,-Cs-Alkylrest oder einen C6-C, 8-Arylrest bedeuten.

Außerdem können die erfindungsgemäß für mikrostrukturierte Bauteile verwendeten Cycloolefincopolymere 0 bis 45 Gew.-%, bezogen auf die Gesamtmasse des Cycloolefincopolymers, polymerisierte Einheiten enthalten, welche sich ableiten von einem oder mehreren monocyclischen Olefinen der Formel VIII worin m eine Zahl von 2 bis 10 ist.

Bevorzugt im Sinne der Erfindung sind Cycloolefincopolymere, die polymerisierte Einheiten enthalten, welche sich ableiten von polycyclischen Olefinen der Formeln I oder III, und polymerisierte Einheiten, welche sich ableiten von acyclischen Olefinen der Formel VII.

Besonders bevorzugt sind Cycloolefincopolymere, die polymerisierte Einheiten enthalten, welche sich ableiten von Olefinen mit Norbornengrundstruktur, ganz besonders bevorzugt von Norbornen und Tetracyclododecen und gegebenenfalls Vinylnorbornen oder Norbornadien. Besonders bevorzugt sind auch Cycloolefincopolymere, die polymerisierte Einheiten enthalten, welche sich ableiten von acyclischen Olefinen mit endständigen Doppelbindungen wie a-Olefinen mit 2 bis 20 C-Atomen, ganz besonders bevorzugt Ethylen oder Propylen. Au#erordentlich

bevorzugt sind Norbornen/Ethylen-und Tetracyclododecen/Ethylen-Copolymere.

Die erfindungsgemäß verwendeten Cycloolefincopolymere können hergestellt werden bei Temperaturen von-78 bis 200 °C und einem Druck von 0,01 bis 200 bar, in Gegenwart eines oder mehrerer Katalysatorsysteme, welche mindestens eine Übergangsmetattverbindung und gegebenenfalls einen Cokatalysator und gegebenenfalls ein Trägermaterial enthalten. Als Übergangsmetaliverbindungen eignen sich Metallocene, insbesondere stereorigide Metallocene. Beispiele für Katalysatorsysteme, welche für die Herstellung der erfindungsgemäßen Cycloolefincopolymere geeignet sind, sind beschrieben in EP-A-407 870, EP-A-485 893 und EP-A-503 422. Auf diese Referenzen wird hier ausdrucklich Bezug genommen.

Beispiele für eingesetzte Übergangsmetaliverbindungen sind : <BR> <BR> <BR> rac-Dimethylsilyl-bis- (1-indenyl)-zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> rac-Dimethylgermyl-bis- (1-indenyl)-zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> rac-Phenylmethylsilyl-bis- (1-indenyl)-zirkondichlorid, rac-Phenylvinylsilyl-bis-(1-indenyl)-zirkondichlorid, <BR> <BR> <BR> 1-Silacyclobutyl-bis- (1-indenyl)-zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> rac-Diphenylsilyl-bis- (1-indenyl)-hafniumdichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> rac-Phenylmethylsilyl-bis- (1-indenyl)-hafniumdichlorid, rac-Diphenylsilyl-bis-(1-indenyl)-zirkondichlorid, rac-Ethylen-1,2-bis- (1-indenyl)-zirkondichlorid, <BR> <BR> <BR> Dimethylsilyl- (9-fluorenyl)- (cyclopentadienyl)-zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> Diphenylsilyl- (9-fluorenyl)- (cyclopentadienyl)-zirkondichlorid, Bis(1-indenyl)-zirkondichlorid, Diphenylmethylen- (9-fluorenyl)-cyclopentadienyizirkondichlorid, Isopropylen- (9-fluorenyl)-cyclopentadienyl-zirkondichlorid, rac-Isopropliden-bis-(1-indenyl)zirkondichlorid, <BR> <BR> <BR> Phenylmethylmethylen- (9-fluorenyl)-cyclopentadienyl-zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> Isopropylen- (9-fluorenyl)- (1- (3-isopropyl) cyclopentadienyl)-zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> Isopropylen- (9-fluorenyl) (1- (3-methyl) cyclopentadienyl)-zirkondichlorid, Diphenylmethylen-(9-fluoroenyl)(1-(3-methyl)cyclopentadienyl )-zirkondichlorid, Methylphenylmethylen- (9-fluorenyl) (1- (3-methyl) cyclopentadienyl)-zirkondichlorid,

Dimethylsilyi- (9-fluorenyl) (1- (3-methyl)-cyclopentadienyl)-zirkondichlond.

Diphenyisilyl-(-fluorenyl)(1-(3-methyl)cyclopentadienyl)- zirkondichlorid, <BR> <BR> <BR> Diphenyimethylen- (9-fluorenyl) (1- (3-tert.-butyl) cyclopentadienyl)-zirkcndichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> Isopropylen- (9-fluorenyl) (1- (3-tert.-butyl) cyclopentadienyl)-zirkondichlorid, Isopropylen-(cyclopentadienyl)-(1-indenyl)-zirkondichlorid, <BR> <BR> <BR> Diphenylcarbonyl- (cyclopentadienyl)- (1-indenyl)-zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> Dimethylsilyl- (cyclopentadienyl)- (1-indenyl)-zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> Isopropylen- (methylcyclopentadienyl)- (I-indenyl)-zirkondichlorid, 4- (7,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> cyclopentadienyl)-4,7,7-trimethyl-(#5-4,5,6,7-tetrahydroinde nyl-zirkoncichlorid, [4-(#5-cyclopentadienyl)-4,7,7-triphenyl-(#5-4,5,6,7- tetrahydroindenyl)] zirkondichlorid, [4-(#5-cyclopentadienyl)-4,7-dimethyl-7-phenyl-(#5-4,5,6,7- tetrahydroindenyl)] zirkondichlorid, [4- (#5-3'-tert.-butylcyclopentadienyl)-4, 6,7- <BR> <BR> <BR> <BR> tetrahydroindenyl)] zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> [4-(#5-3'-tert.-butylcyclopentadienyl)-4,7-dimethyl-7-phenyl -(#5-4,5,6,7-<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <BR> tetrahydroindenyl)] zirkondichlorid, [4-(#5-3'-methylcyclopentadienyl)-4,7,7-trimethyl-(#5-4,5,6, 7- tetrahydroindenyl)] zirkondichlorid, [4-(#5-3'-methylcyclopentadienyl)-4,7,7-trimethyl-(#5-4,5,6, 7- tetrahydroindenyl)]zirkondichlorid, <BR> <BR> <BR> [4-(#5-3'-methylcyclopentadienyl)-4,7-dimethyl-7-phenyl-(#5- 4,5,6,7-<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> tetrahydroindenyl)] zirkondichlorid, [4-(#5-3'-isopropylcyclopentadienyl)-4,7,7-trimethyl-(#5-4,5 ,6,7- tetrahydroindenyl)]zirkondichlorid, [4-(#5-3'-isoproplycyclopentadienyl)-4,7,7-triphenyl-(#5-4,5 ,6,7- tetrahydroindenyl)] zirkondichlorid, [4- (#5-3'-isopropylcyclopentadienyl)-4,7-dimethyl-7-phenyl-(#5- 4, 5,6.7- <BR> <BR> <BR> tetrahydroindenyl)] zirkondichlorid.<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <P>[4-(#5-cyclopentadienyl)(#5-4,5-tetrahydropentalen) ]zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> [4-(#5-cyclopentadienyl)-4-methyl-(#5-4,5-tetrahydropentalen )]zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <BR> [4-(#5-cyclopentadienyl)-4-methyl-(#5-4,5-tetrahydropentalen )]zirkondichlorid,

[4-(#5-cyclopentadienyl)-4-methyl-(#5-4,5-tetrahydropentalen )]zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <BR> [4-(#5-3'-methyl-cyclopentadienyl)(#5-4,5-tetrahydropentalen )]zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <BR> [4-(#5-3'-isopropylcyclopentadienyl)(#5-4,5-tetrahydropental en)]zirkondichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <BR> [4-(#5-3'-benzyl-cyclopentadienyl)(#5-4,5-tetrahydropentalen )]zirkondichlorid.<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <P>[2,2,4Trimethyl-4-(#5-cyclopentadienyl)-(#5-4,5-tet rahydropentalen)]-<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <BR> zirkoniumdichlorid,<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <BR> [2,2,4Trimethyl4-(m5-(3, 4-Di-isopropyl) cyclopentadienyl)-(m5-4,5- tetrahydropentalen)]-zirkoniumdichlorid.

Die Herstellung der Cycloolefincopolymere geschieht durch eine heterogene oder homogene Katalyse mit metallorganischen Verbindungen und ist in einer Vielzahl von Patenten beschrieben. Katalysatorsysteme basierend auf Mischkatalysatoren aus Titansalzen und Aluminiumorganylen werden in DD-A-109 224 und DD-A-237 070 beschreiben. EP-A-156 464 beschreibt die Herstellung mit Katalysatoren auf Vanadiumbasis. EP-A-283 164, EP-A-407 870, EP-A-485 893 und EP-A-503 422 beschreiben die Herstellung von Cycloolefinpolymeren mit Katalysatoren basierend auf iösiichen Metallocenkomplexen. Auf die in diesen Patenten zur Herstellung von Cycloolefincopolymeren beschriebenen Herstellungsverfahren und verwendeten Katalysatorsysteme wird hiermit ausdrücklich hingewiesen.

Die Herstellung erfindungsgemäß verwendeter Cycloolefincopolymere kann durch Homo-und/oder Copolymerisation cyclischer, bevorzugt polycyclicher Olefine unter Ringerhalt erfolgen.

Die Cycloolefincopolymere können auch durch ringöffnende Polymerisation mindestens eines der Monomere der Formeln I bis VI und anschließende Hydrierung der erhaltenen Produkte hergestellt werden. Gegebenenfalls können die Cycloolefincopolymere auch durch ringöffnende Copolymerisation mindestens eines der Monomere der Formeln I bis VI mit weiteren, z. B. monocyclischen Monomeren der Formel VIII und anschließende Hydrierung der erhaltenen Produkte hergestellt werden. Die Herstellung der Cycloolefincopolymere ist in den japanischen Patenten 3-14882,3-122137,4-63807,2-27424 und 2-276842 beschrieben. Auf die in diesen Patenten zur Herstellung von Cycloolefincopolymeren beschriebenen

Herstellungsverfahren und verwendeten Katalysatorsysteme wird hiermit ausdrücklich hingewiesen. Eingeschlossen sind ebenfalls Derivate dieser cyclischen Olefine mit polaren Gruppen, wie Halogen-, Hydroxyl-, Ester-, Alkoxy-, Carboxy-, Cyano-, Amido-, Imido-oder Silylgruppen Die Polymerisation kann auch mehrstufig erfolgen, wobei auch Blockcopolymere entstehen können (DE-A-42 05 416).

Cycloolefincopolymere sind bevorzugt amorphe, transparente Werkstoffe. Die Wärmeformbeständigkeiten der Cycloolefincopolymere lassen sich in einem weiten Bereich einstellen. Als Anhaltspunkt für die Wärmeformbeständigkeit, wie sie nach ISO 75 Teil 1 und Teil 2 an Spritzgußformkörpern bestimmt werden kann, läßt sich für Cycloolefincopolymere die Glasübergangstemperatur heranziehen. Die beschriebenen Cycloolefincopolymere weisen Glasübergangstemperaturen zwischen -50 und 220 °C auf. Bevorzugt sind Glasübergangstemperaturen zwischen 0 und 180 °C, besonders bevorzugt sind Glasübergangstemperaturen zwischen 40 und 180 °C.

Die mittlere Molmasse der Cycloolefincopolymere täßt sich durch Wasserstoff- Dosierung, Variation der Katalysatorkonzentration oder Variation der Temperatur in bekannter Weise steuern. Die in den erfindungsgemäßen mikrostrukturierten Bauteilen enthaltenen Cycloolefincopolymere weisen massenmittlere Molmassen Mw zwischen 1.000 und 10.000.000 g/mol auf. Bevorzugt sind massenmittlere Molmassen Mw zwischen 5.000 und 5.000.000 g/mol, besonders bevorzugt sind massenmittlere Molmassen Mw zwischen 10.000 und 1.200.000 g/mol.

Die in den erfindungsgemäßen mikrostrukturierten Bauteilen enthaltenen Cyclooiefincopolymere weisen Viskositätszahlen zwischen 5 und 1.000 ml/g auf.

Bevorzugt sind Viskositätszahlen zwischen 20 und 500 mi/g, besonders bevorzugt sind Viskositätszahlen zwischen 30 und 300 ml/g.

Die erfindungsgemäßen mikrostrukturierten Bauteile können auch Legierungen aus mindestens einem Cycloolefincopolymer und mindestens einem weiteren Polymer in beliebigem Mischungsverhältnissen enthalten.

Für die Legierungen mit Cycloolefincopolymeren sind bevorzugt folgende Polymere einsetzbar : Polyethylen, Polypropylen, Ethylen-Propyien-Copolymere, Polybutylen, Poly (4- methyl-1-penten), Polyisopren, Polyisobutylen, Naturkautschuk, Poly (1- methylenmetacrylat), weitere Polymetacrylate, Polyacrylat, Acrylat-Metacrylat- Copolymere, Polystyrol, Styrol-Acryinitril-Copolymer, Bisphenol-A- Polycarbonat, weitere Polycarbonate, aromatische Polyestercarbonate, Polyethylenterephthalat, Polybutylenterephthalat, amorphe Polyacrylat, Nylon-6, Nylon-66, weiter Polyamide, Polyaramide, Polyetherketone, Polyoxymethylen, Polyoxyethylen, Polyurethane, Polysulfone, Polyethersulfone, Polyvinyledenfluorid.

Für Legierungen von Cycloolefincopolymeren und Polyolefinen werden bevorzugt folgende Polyolefine eingesetzt : Homopolymere des Ethylens und Propylens sowie Copolymere aus diesen beiden Monomeren, Copolymere auf der Basis von Ethylen mit linearen oder verzweigten Olefinen, wie Buten, Penten, Hexen, Hepten, Octen, Nonen, Decen, Undecen und Dodecen, Copolymere auf der Basis von Propylen mit linearen oder verzweigten Olefinen, wie Buten, Penten, Hexen, Hepten, Octen, Nonen, Decen, Undecen und Dodecen, Terpolymere aus Ethylen, Propylen und linearen oder verzweigten Olefinen, wie Buten, Penten, Hexen, Hepten, Octen, Nonen, Decen, Undecen und Dodecen.

Die Herstellung der Legierungen kann durch übliche Verfahren erfolgen, z. B. durch gemeinsame Extrusion der Polymerkomponenten aus der Schmelze, gegebenenfalls unter Verwendung weiterer Additive, und anschließende Granulierung.

Cycloolefincopolymere lassen sich aus der Schmelze oder auch aus der Lösung verarbeiten. Geeignete Lösungsmittel sind aprotische unpolare Kohlenwasserstoffe wie Dekalin oder Gemische aus linearen und verzweigten Kohlenwasserstoffen.

Die Herstellung der erfindungsgemäßen mikrostrukturierten Bauteile kann durch Herstellung des eigentlichen Bauteils und gleichzeitige Mikrostrukturierung erfolgen, z. B. durch thermoplastische Verarbeitungsverfahren wie Spritzguß. Damit eignet sich auch das LlGA-Verfahren, eine Kombination von Lithographie, Galvanoformung und

Abformung zur Herstellung solcher Mikrostrukturbauteile. Eine andere Möglichkeit ist die Mikrostrukturierung des bereits vorgefertigten Bauteils z. B. durch Ätzprozesse wie naßchemisches Ätzen oder Trockenätzprozesse, durch Prägeprozesse wie Heißprägen, durch Materiaibearbeitung durch Laserstrahlung wie Laserablation durch Excimer-Laser oder Mikroschwei#en, durch Verfahren der Feinmechanik wie spanabhebende Bearbeitung oder Funkenerosion oder durch Photolithographie.

Es wurde überraschend gefunden, da# Cycloolefincopolymere bei der Herstellung der erfindungsgemäßen mikrostrukturierten Bauteile durch Laserablation besonders niedrige Abtragungsraten zeigen. Cycloolefincopolymere sind somit überraschenderweise besonders für mikrostrukturierte Bauteile mit sehr feinen Profilen geeignet. Ganz besonders geeignet sind Cycloolefincopolymere für mikrostrukturierte Bauteile mit Profiten, deren Höhenunterschieden kleiner 500 nm sind.

Eine wichtige Größe für mikromechanische Anwendungen ist der Wandwinkel a der ablatierten Struktur. Der Winkel wird als positiv bezeichnet, wenn die in der Tiefe erzeugte Fläche kleiner als die an der Oberfläche ist, und als negativ, wenn die Verhältnisse umgekehrt sind. Senkrechte Wände sind in der Mikrostrukturierung besonders von Bedeutung. Gegebenenfalls sind jedoch auch positive Wandwinkel gefordert, da positive Wandwinkel a das Entformen in den sich der Galvanoformung anschließenden Replikationsprozessen erleichtern.

Es wurde überraschenderweise festgestellt, da# sich Cycloolefincopolymere besonders für mikrostrukturierte Bauteile eignen, da sowohl Wandwinkel a=0 wie auch positive Wandwinkel durch Wahl geeigneter Herstellungsbedingungen erhalten werden können. Hier zeichnen sich Cycloolefincopolymere ebenfalls gegenüber anderen Werkstoffen wie z. B. PMMA aus.

Bevorzugt wird das Laserablatieren von Cycloolefinpolymeren mittels Laserstrahlung einer Energiedichte grö#er gleich 1, 0 J/cm2, besonders bevorzugt mit einer Energiedichte größer gleich 1,5 J/cm2, durchgeführt. Bis diesen Energiedichten liegt die Abtragsrate pro Laserpuls im sogenannten Sättigungsbereich, d. h. die maximale Abtragung pro Laserpuls ist gewährieistet. Das Laserablatieren im Sättigungsbereich

hat den Vorteil, daß insbesondere bei Energiedichten größer gleich 1, 0 J/cm2 die erzielten Abtragungsergebnisse sehr gut reproduzierbar sind und insbesondere bei Energiedichten größer gleich 1,5 J/cm2 Strukturen mit senkrechten Wänden erzielt werden. Beim Laserablatieren herkömmlicher polymerer Materialien, wie PMMA, können ebenfalls geringe Abtragungsraten erhalten werden, jedoch ist hierzu mit Energiedichten deutlich unter den im Sättigungsbereich liegenden Energiedichten zu arbeiten. Dies führt jedoch zu vergleichsweise schlecht reproduzierbaren Abtragungsergebnissen, sowie zu Strukturen mit geneigten Wänden.

Bei kurzwelliger ultravioletter Bestrahlung eines polymereren Werkstoffs, wird oberhalb einer kritischen Energiedichte durch photoinduzierte und thermische Zersetzung Materie von der Oberfläche entfernt. Beim Laserablatieren von Cycloolefinpolymeren wird vorzugsweise mit Laserstrahlung kleiner gleich 350 nm gearbeitet. Ein gewisser Anteil der abgetragenen Materie lagert sich wieder auf der Oberfläche ab, die sogenannte Debris.

Erfindungsgemäße mikrostrukturierte Bauteile, die durch Laserablation hergestellt wurden, zeigten bei Untersuchungen mit dem Rasterelektronen-und dem Lichtmikroskop überraschenderweise fast keine Debris, wenn die erzeugten Löcher weniger als 200 µm tief waren. Erst bei tieferen Strukturen wurden Partikel mit einem Durchmesser kleiner 100 nm in der Nähe der erzeugten Strukturen beobachtet. Die Oberflachenrauhigkeit der erfindungsgemäßen mikrostrukturierten Bauteile ist insbesondere an den Strukturwänden vergleichsweise gering.

Die erfindungsgemäß hergestellten Bauteile weisen stark verbesserte Gebrauchseigenschaften, wie niedrige Dichte, hohe Transparenz bis < 300 nm, hohe Abbe-Zahl, geringe Doppelbrechung, au#erordentlich geringe Wasseraufnahme, überragende Wasserdampfsperrwirkung, abgestufte Wärmeformbestädigkeit (HDT/B) bis zu 170 °C, hohe Steifheit, Festigkeit und Härte, geringe Alterung bei Einwirkung von Wärme oder energiereicher Strahlung, gute Blutverträglichkeit, hervorragende Biokompatibilität, gute Sterilisierbarkeit mittels Heißdampf, Heißluft, Ethylenoxidgas und energiereicher Strahlung (Gamma-und Elektronenstrahlen), sehr gute elektrische Isolationseigenschaften, hohe Beständigkeit gegenüber

Säuren, Laugen und polaren Lösungsmittein, gute Einfärbbarkeit sowie sehr gute thermoplastische Verarbeitbarkeit/Ftießfähigkeit auf.

Durch ihre hohe chemische Reinheit sind die erfindungsgemäßen mikrostrukturierten Bauteile hervorragend für mikrooptische oder beugungsoptische Anwendungen und für medizinische und biotechnische Bauteile oder Apparaturen wie die Kapillarelektrophorese geeignet. Hierzu weist das mikrostrukturierte Bauteil mindestens eine mikrooptische Struktur, wie beispielsweise Mikrolinsen, Wellenleiter oder Beugungsgitterstrukturen, bzw. mindestens eine Fluidführungsstruktur, wie beispielsweise kapillarartige Kanäle, Küvettenstrukturen, Reaktionsräume, Mischer- oder Filterstrukturen, auf.

Cycloolefinpolymere sind daher ganz besonders für die Herstellung von Mikrostrukturkörpem als Prototypen geeignet, die mit Hilfe der sogenannten Laser-LIGA-Technik die mit Hilfe der LIGA Technik vervielfältigt werden können, vgl.

Arnold et al, Appi. Surface Sci. 86,251 (1995). Hiemach wird eine Schicht aus einem Polymer mittels Laserstrahlung mikrostrukturiert, wobei zusätzlich eine feinwerk- oder/und mikrotechnische Bearbeitung stattfinden kann. Nach Aufbringen einer dünnen metallischen Schicht auf die mikrostrukturierte Oberfläche wird ein Metall oder eine Legierung in einer ausreichenden Dicke galvanisch abgeschieden. Der so abgeschiedene metallische Körper kann, ggf. nach einer Oberflächenbearbeitung, als Formeinsatz zur abformtechnischen Herstellung von Mikrostrukturkörpern in großen Stückzahlen, beispielsweise unter Verwendung thermoplastischer Materialien mittels Spritzgießen, eingesetzt werden.

Es wurde überraschend festgestellt, da# Cycloolefincopolymere besonders geeignet sind für mikrostrukturierte Bauteilse mit sehr fein abgestuftem Höhenprofil. Ganz besonders gut geeignet sind Cycloolefincopolymere für mikrostrukturierte Bauteile mit feinen Profile, deren Höhenunterschiede kleiner 500 nm sind. Dies ist vor allem für die Herstellung beugungsoptischer Elemente von Interesse, deren Eigenschaften mit zunehmender Anzahl an Strukturierungsschritten besser werden.

Cycloolefincopolymere sind daher ganz besonders für die Herstellung von Prototypen geeignet.

Die erfindungsgemäßen mikrostrukturierten Bauteile sind für eine Vielzahl von Anwendungen geeignet, wie z. B. im Bereich Automobil für Sensoren und Regelungssyteme, im Bereich Information und Kommunikation für Systeme zur optischen Datenübertragung und-verarbeitung wie Koppler, Verbindungselemente, Elemente zur Verzweigung von Strahlengängen und optische Schalter, für Datenspeicher, Systeme zur Bewegtbildprojektion, Mikrolinsen, im Bereich Medizintechnik für diagnostische Systeme, Zerstäubersysteme für Inhalatoren, Mikropumpen für lnfusionssysteme, verschiedenste Implantate, Systeme zur minimal invasiven Chirurgie sowie im Bereich chemische Verfahrenstechnik/Biotechnologie für Mikroreaktoren, statische Mischer, Pumpen, Dosier-, Filtrationssysteme, Ventile usw.

Die Erfindung wird anhand der folgenden Beispiele näher erläutert.

Beispiele Beispiel 1 Herstellung des Cycloolefincopolymeren In einem 70 dm3-Autoklav, der vorher mit Ethylen gespült wurde, wurde eine 50 Gew.-% ige Lösung von Norbomen in Exxsol vorgelegt. Durch mehrfaches Aufdrücken von Ethylen wurde die Lösung mit Ethylen gesättigt. In den vorbereiteten Reaktor wurde im Gegenstrom eine toluolische Methylaluminiumoxanibsung (10 Gew.-% ige Methylaluminiumoxaniösung der Molmasse 1300g/mol, nach kryoskopischer Bestimmung) dosiert und 30 Minuten bei 70 °C geruhrt. Eine toluolische Lösung von insgesamt 100 mg Isopropylen- (cyclopentadienyl)- (1- indenyl)-zirkondichlorid wurde nach 30 minutier Voraktivierung zugegeben. Unter Ruhren wurde eine Stunde polymerisiert, wobei der Ethylendruck von 20 bar durch Nachdosieren konstant gehalten wurde. Die Menge an Wasserstoff betrug 500 ppm.

Nach Ende der Reaktionszeit wurde das Polymerisationsgemisch in ein Gefäß abgelassen und sofort in 300 dm3 Aceton eingetragen und 30 Minuten gerührt. Das ausgefallene Produkt wurde anschließend filtriert. Der Filterkuchen wurde je dreimal abwechselnd mit 10%-iger Salzsäure und Aceton gewaschen. Der Rückstand wurde

in Aceton aufgeschiämmt und erneut filtriert. Das gereinigte Produkt wurde bei 70 °C im Vakuum (0,2bar) 24 Stunden getrocknet. Es wurde ein farbloses Polymer mit einer Vikositätszaht von 52 ml/g, einer Glasumwandlungstemperatur von 134 °C und einer mittleren Molmasse Mw = 30000g/mol erhalten. Das Polymer wird im folgenden als COC1 bezeichnet.

Beispiel 2 Herstellung der mikrostrukturierten Bauteile und Bestimmung der Abtragungsrate Die erfindungsgemäße Herstellung von mikrostrukturierten Bauteilen erfolgte mit einer kommerziellen Excimerlaser-Bearbeitungsanlage (Exitech Serie7000). Die Arbeitsstation war mit einer Stahlungshomogenisierungsoptik und einem reflektierenden Schwarzschild-Objektiv zur Abbildung einer quadratischen Apertur ausgestattet. Die numerische Apertur betrug 0,28. Die gesamte Apparatur wurde computergesteuert. Ein ArF-Excimeriaser der Wellenlänge x = 193 nm von Lambda Physik LPX 1 oui wurde verwendet. Die Ablationstiefe und die Oberflächenrauhigkeit der erzeugten Strukturen sowie der Wandwinkel wurden mit einem Wyco- Interferometer und einem Leica Lichtmikroskop vermessen, welches mit einer Mikrometerjustierung ausgestattet war. Die Ablationsempfindlichkeit wurde durch Korrelation der Ablationstiefe mit der Pulszahl und der Energiedichte ermittelt. Der Anteil an wiederabgelagertem Material (Debris) und dessen Struktur wurde qualitativ mit einem Leica Lichtmikroskop und einem Rasterelektronenmikroskop bestimmt.

Zunächst wurde aus dem COC1 eine 1 mm dicke Platte hergestellt. In die Platte wurde eine Matrix von 80 gleichartigen quadratischen Löchern von 300 KLm * 300 m strukturiert. Jedes Quadrat wurde mit der Excimer-Laserstrahlung bei einer variable Zahl von Pulsen und Energiedichte bei einer konstanten Wiederholungsrate von 10 Hz bestrahlt. Die Pulsdauer betrug etwa 17 ns. Die Zahl der Pulse betrug 2,5,10, 20,50,100,200,500,1000 und 3000. Die Energiedichten betrugen 0,2/ 0, 4/ 0, 6/ 0,8/ 1/1,2/ 1,4/ 1, 8 J/cm2. Auf diese Weise wurden die nachfolgend angegebenen Werte für die Ablationseigenschaft erhaiten.

Vergleichsbeipiel 1 Eine Probe Polymethyimethacrylat (PMMA) wurde zum Vergleich unter identischen Bedingungen wie im Beispiel 2 verarbeitet.

Tabelle 1 Beispiele Polymersubstrat Abtragungsrate bei # =1 J/cm2 [µm/Puls] COC10,17Beispeil2 (Cycloolefincopolymer) Vergleichsbeispiel 1 PMMA 0,58 (Polymethylmethacrylat)

Für beide polymere Materialien wurde eine Energiedichte, unterhalb der keine Abtragung erfolgt, (Abtragsschwelle) von etwa 0,05 Jtcm2 gemessen.

Der Vergleich zwischen dem erfindungsgemäßen Material gemäß Beispiel 1 und der Vergleichsprobe PMMA gemäß Vergleichsbeispiel 1 zeigt, da# im Bereich geringer Energiedichte die Abtragungsrate pro Puls bei COC1 mit dem Energiefluß sehr viel weniger ansteigt als bei PMMA. Der Plateauwert, der die maximale Abtragungsrate pro Puls darstellt, wird für COC1 sowie PMMA erst bei höheren Energiedichten ab etwa 0, 7 J/cm2 erreicht. Gemäß Tabelle 1 ist die maximale Abtragungsrate pro Puls bei COC1 mit 0,17 am/Puls im Vergleich zu PMMA mit 0,58 am/Puls sehr viel geringer.

Beispiel 3 Bestimmung des Wandwinkels a Durchführung wie in Beispiel 2 beschrieben. Im Falle von COC1 ist der Wandwinkel unter den gegebenen Versuchsbedingungen eine Funktion der Energiedichte : Für kleine Energiedichten ist a positiv und nähert sich bei hohen Energiedichten zu null. Es bilden sich daher senkrechte Wände. Ab einer Energiedichte von 1,5J/cm2 wird der Wandwinkel null.

Die Untersuchungen ergaben, daß keine Verzerrungen an den Ecken auftraten und die Wände der erzeugten Löcher eben waren.

Vergleichsbeispiel 2 Eine Probe Polymethylmethacrylat (PMMA) wurde zum Vergleich unter identischen Bedingungen wie in Beispiel 3 verarbeitet. Im Gegensatz zu Beispiel 3 sind hier bei höheren Energiedichten negative Wandwinkel feststellbar.

Vergleichswerte für PMMA : a = 0° für E =0,8 J/cm2 und a =-1° für E >0, 8 J/cm2 Beispiel 4 Bestimmung abgetragenen Materie und der Oberflächenrauhigkeit Durchführung wie in Beispiel 2 beschrieben. Im Falle von COC1 zeigten die Untersuchungen mit dem Rasterelektronen-und dem Lichtmikroskop fast keine Debris, wenn die erzeugten Löcher weniger als 200 am tief waren. Erst bei tieferen Strukturen wurden Partiel mit einem Durchmesser kleiner 100 nm in der Nähe der erzeugten Strukturen beobachtet.

Tabelle 3 zeigt, daß mit COC im Vergleich mit bisher verwendeten Polymeren geringe Oberflächenrauhigkeiten erhalten werden. PET (Polyethylenterphthalat) PET (Polyethylenterphthalat) Tabelle 2 RauhigkeitPolymersubstratMaximale (maximaler Höhenunterschied) [nm] COC1 (Cycloolefincopolymer) <190 PC(Polycarbonat) 130 PS (Polystyrol) 130 PET (Polyethylenterphthalat) 390 PMMA630 Zeonex* 250

Werte aus eigenen Vergleichsmessungen.

(* Zeonex : ein Cyclo-olefin Polymer der Nippon Zeon Co. Ltd.) Die Oberflächenrauhigkeiten der durch optische Methoden zugänglichen Mikrostrukturen von PC, PS und PET wurden Roberts et al. Anal. Chem., 69,2035 (1997) entnommen.