Fluidische und flüssigkeitsgefüllte Mikrosysteme besitzen zahlreiche Anwendungen in der Biochemie, Medizin und Biologie, insbesondere zur Analyse und Manipulierung von gelösten Sub- stanzen oder suspendierten Partikeln. Durch die Miniaturisie- rung und massive Parallelisierung der in Mikrosystemen (oder : Mikrochips) ablaufenden Prozesse ergeben sich besondere Vor- teile für die Analyse und Synthese von in hoher kombinatori- scher Vielfalt vorliegenden biologischen Makromolekülen (siehe G. H. W. Sanders et al. in Trends in Analytical Chemistry", Band 19/6, 2000, Seite 364 ff ; W. Ehrfeld in"Topics in Cur- rent Chemistry", Herausgeber A. Manz et al., Band 194, Sprin- ger-Verlag, 1998, Seite 233 ff). Anwendungen der fluidischen Mikrosysteme bestehen insbesondere in der Grundlagenforschung, z. B. zur DNA-oder Proteinanalyse, oder auch in der Wirk- stoffforschung (kombinatorische Chemie). Weitere Anwendungen ergeben sich bei der Analyse und Manipulierung einzelner bio- logischer Zellen oder Zellgruppen (siehe G. Fuhr et al. in "Topics in Current Chemistry", Herausgeber A. Manz et al., Band 194, Springer-Verlag, 1998, Seite 83 ff).

Zahlreiche Anwendungen fluidischer Mikrosysteme sind in der Zellbiologie, Medizin, Pharmazie und Biotechnologie darauf ge- richtet, suspendierte Partikel unter der Wirkung elektrischer Feldkräfte zu manipulieren (z. B. zu bewerten, zu vermessen, zu trennen, zu bewegen oder zu bearbeiten). Die elektrischen Feldkräfte werden mit Hilfe von Elektrodenanordnungen aus Mik- roelektroden erzeugt, die je nach Anwendung und Aufgabenstel- lung spezifisch angeordnet und geformt sind. Die Mikroelektro- den besitzen typische Dimensionen im Mikrometerbereich. Andere Anwendungen von Mikrosystemen sind auf die Erfassung von Ei- genschaften biologischer Zellen gerichtet, die in direktem Kontakt mit Mikroelektroden stehen (siehe z. B. I. Giaver et al. in"Proc. Natl. Acad. Sci.", Band 88,1991, Seite 7896, P.

Fromherz et al. in"Science", Band 252,1991, Seite 1290).

Es besteht ein Interesse, bei der Manipulierung der mikrosko- pisch kleinen Partikel zusätzliche, von den elektrischen Feld- kräften möglichst unabhängige Kräfte einzusetzen. Dies wird beispielsweise von G. Fuhr et al. in"Applied Physics A.", Band 67,1998, Seite 385 und von Th. Schnelle et al. in"Ap- plied Physics B", Band 70,2000, Seite 267, beschrieben. In der Zellbiologie und Molekularbiologie werden zunehmend mit sogenannten optischen Pinzetten (Laser-Tweezer) oder mit der UV-Laserstrahlmikrochirurgie an den Partikeln Kräfte einge- setzt, die durch fokussierte Beleuchtung generiert werden (op- tische Kräfte). Die optische Pinzette (siehe A. Ashkin et al. in"Nature", Band 330,1987, Seite 769) basiert auf dem fol- genden Prinzip. Ein hochfokussierter Laserstrahl wird durch ein Objektiv mit hoher numerischer Apertur (> 1) in einen Wechselwirkungsbereich, der beispielsweise in einem Mikrosys- tem oder einem anderen Reservoir gegeben ist, eingekoppelt.

Mikropartikel und insbesondere biologische Zellen im Größenbe- reich von einigen 10 nm bis zu einigen 10 um werden im Fokus gefangen und können mit Verstellung des Laserstrahls bewegt werden. Um die Strahlenbelastung insbesondere des biologischen Materials klein zu halten, werden optische Pinzetten typi- scherweise bei Wellenlängen im Bereich von 700 nm bis 1064 nm betrieben. Optische Pinzetten werden beispielsweise für Adhä- sionsuntersuchungen an Partikeln (siehe G. Fuhr et al. in "Trends in Analytical Chemistry", Band 19/6,2000, Seite 402, zur Positionierung für Fusions-oder Porationsverfahren an biologischen Zellen (siehe K. Schütze et al. in"Cell. Mol.

Biol.", Band 44/5,1998, Seite 735) und in fluidischen Mikro- systemen mit dielektrischer Partikelmanipulation, wie z. B. dielektrischen Feldkäfigen (G. Fuhr et al., Th. Schnelle et al., siehe oben) oder in Rotationskammern (siehe De Gasperis et al. in"Meas. Sci. Technol.", Band 9,1998, Seite 518), verwendet.

Das Einstrahlen von Licht erfolgt bei Mikrosystemen nicht nur zu Manipulations-, sondern auch zu Analysezwecken. Es erfolgt beispielsweise eine Einkopplung von Laserlicht, um Fluores- zenzmarker anzuregen oder spektroskopische Messungen an den Partikeln durchzuführen.

Ein generelles Problem bei der Einstrahlung von Licht in Mik- rosysteme mit Elektrodenanordnungen besteht darin, dass sich die Elektroden durch die Beleuchtung erwärmen können. Gelangt beispielsweise ein fokussierter Infrarot-Laserstrahl in die Nähe (Mikrometerbereich) oder auf die Oberfläche von Elektro- den, so kommt es in Abhängigkeit vom Elektrodenmaterial (ins- besondere Absorptions-und Reflexionseigenschaften) zu einem Aufheizen der Elektroden und ggf. sogar zu einer lokalen Aus- bildung von Gasblasen (siehe A. Elshabini et al. in"Thin film technology handbook", McGraw-Hill Companies, 1998, ISBN 0-07- 019025-9). Besonders starke Absorptionen treten beispielsweise an Materialien wie Titan, Tantal und Platin auf. Mit den Elektroden erwärmt sich auch das angrenzende Medium, wie z. B. die Suspensionsflüssigkeit oder eine adsorbierte Zelle. Dies kann zu massiven Störungen der Funktion des jeweiligen Mikro- systems führen.

Beispielsweise verursacht in fluidischen Mikrosystemen die Er- wärmung von Elektroden, die zur dielektrischen Partikelmanipu- lation mit hochfrequenten elektrischen Spannungen zur Erzeu- gung hoher Feldgradienten (z. B. 1 kV/m, 1 kHz-10 MHz) beauf- schlagt werden, in der Suspensionsflüssigkeit elektrohydrody- namische Strömungen, die die gewünschte Partikelmanipulation durch Zusammenwirkung elektrischer und optischer Feldkräfte behindern oder sogar unmöglich machen. Zusätzlich führt die Bildung von Gasblasen zur Belastung und Zerstörung des Elekt- rodenmaterials. Es können Stoßwellen induziert werden, die die Zellen unerwünschten Druck-und Strömungseinflüssen aussetzen.

Entsprechende Probleme treten auch in Mikrosystemen auf, in denen die Partikel direkten Elektrodenkontakt besitzen. Es kann zu lokalen Aufheizungen kommen, unter deren Wirkung bei- spielsweise adsorbierte Zellen absterben.

Die Aufgabe der Erfindung ist es, ein verbessertes Mikrosystem zur Partikelmanipulierung unter der Wirkung elektrischer und optischer Feldkräfte bereitzustellen, mit dem die Nachteile der herkömmlichen Mikrosysteme überwunden werden und in dem insbesondere unerwünschte Erwärmungen der Elektroden durch ei- ne äußere Bestrahlung vermieden oder vermindert werden. Das erfindungsgemäße Mikrosystem soll ein zuverlässiges Zusammen- wirken optischer und elektrischer Feldkräfte auf suspendierte Partikel insbesondere ohne die Ausbildung störender Strömungen ermöglichen.

Diese Aufgabe wird durch ein Mikrosystem und ein Verfahren mit den Merkmalen gemäß Anspruch 1 oder 12 gelöst. Vorteilhafte Ausführungsformen und Anwendungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.

Die Grundidee der Erfindung ist es, in einem Mikrosystem, das zur gemeinsamen Ausübung elektrischer und optischer Kräfte auf mikroskopisch kleine Partikel eingerichtet ist, an einer oder mehreren Elektroden, insbesondere an Elektrodenenden, auf die ggf. eingekoppelte elektromagnetische Strahlung (insbesondere Licht) zur Ausübung der elektrischen Kräfte fällt, mindestens eine Kühleinrichtung vorzusehen. Die Kühleinrichtung wird durch eine oder mehreren der folgenden Maßnahmen gebildet.

Erstens ist es vorgesehen, mindestens eine Reflektorschicht zur zumindest teilweisen Abschirmung von Elektrodenflächen ge- genüber mindestens einem in das Mikrosystem eingekoppelten Lichtstrahl bereitzustellen. Die mindestens eine Reflektor- schicht besitzt die vorteilhafte Wirkung, das eine Elektroden- erwärmung durch die Bestrahlung, die durch mindestens eine strahlungsdurchlässige (insbesondere transparente) Wand einge- koppelt wird, vermieden oder so stark vermindert wird, dass Störungen der jeweiligen Funktion des Mikrosystems ausge- schlossen sind. Zweitens kann als Kühleinrichtung eine Wärme- leitschicht vorgesehen sein, über die eine Elektrodenfläche mit einer Wärmesenke, z. B. einer Wand des Mikrosystems, ver- bunden ist. Drittens kann die Kühleinrichtung durch ein akti- ves Bauelement gebildet werden (z. B. Peltier-Element), das vorzugsweise in Elektrodennähe im Mikrosystem angeordnet ist.

Das Mikrosystem kann ein fluidisches oder ein flüssigkeitsge- fülltes Mikrosystem sein, in dem die erfindungsgemäße Abschir- mung von Elektrodenflächen die Ausbildung elektrohydrodynami- scher Strömungen verhindert. Das Mikrosystem auch zur Manipu- lierung suspendierter oder adsorbierter Partikel eingerichtet sein. Im letzteren Fall vermindert die erfindungsgemäße Ab- schirmung eine unerwünschte Erwärmung z. B. von Zellen, die auf Elektroden adsorbiert sind.

Die mindestens eine Reflektorschicht wird durch das Elektro- denmaterial selbst, durch zusätzliche Deck-und/oder Basis- schichten an den Elektroden und/oder Maskierungsschichten an Wänden des Mikrosystems gebildet. Das Material der Reflektor- schicht wird anwendungsabhängig so gewählt, dass im interes- sierenden Wellenlängenbereich des jeweils eingekoppelten Lichts ein hoher Reflexionskoeffizient gegeben ist. Die einge- koppelte Strahlung, insbesondere Laserlicht, dient der Bildung mindestens einer optischen Falle (optische Pinzette) im Mikro- system oder der Bestrahlung für Beobachtungs-und/oder Mess- zwecke.

Gemäß bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung werden an den Elektroden Maßnahmen getroffen, mit denen eine Erwärmung insbesondere bei Lichteinfall vermieden wird. Hierzu zählen die zumindest teilweise Bildung der Elektroden aus einem Mate- rial, das für das eingekoppelte Licht durchlässig (transmit- tierend) ist und die Bereitstellung von Wärmeleitschichten, mit denen Wärme von den Elektroden an die Umgebung, insbeson- dere an Wände des Mikrosystems und ggf. in die Suspensions- flüssigkeit, abgeleitet wird.

An der mindestens einen Elektrode des Mikrosystems ist ein Wechselwirkungsbereich aufgespannt, in dem mindestens ein Par- tikel elektrischen und optischen Kräften ausgesetzt werden soll. Da auch ein fokussierter Laserstrahl einen endlichen Strahlquerschnitt besitzt, kann es zur teilweisen Bestrahlung von Elektroden selbst dann kommen, wenn der Fokus im Wechsel- wirkungsbereich mit Abstand von den Elektroden (insbesondere Elektrodenenden) eingestellt ist. Ein Gegenstand der Erfindung ist auch die Bereitstellung bestimmter Elektrodenformen, die einerseits die Wirkung der Teilstrahlen vermindern und ande- rerseits eine effektive Ausübung der elektrischen Kräfte im Wechselwirkungsbereich sicherstellen.

Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist die Verwendung von im infraroten Spektralbereich reflektierenden Materialien (insbesondere Metallen, Halbleitern, dielektrischen Zusammen- setzungen) zur zumindest einseitigen Abschattung von Elektro- den in Mikrosystemen.

Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein mit der mindes- tens eine Kühleinrichtung ausgebildetes Mikrosystem, das mit einer Lichtquelle zur Einkopplung von Manipulierungs-oder Messlicht in das Mikrosystem ausgestattet ist.

Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Manipulierung und/oder Analyse von Proben mit elektrischen Kräften in einem erfindungsgemäßen fluidischen Mikrosystem.

Ein wesentlicher Vorteil der Erfindung besteht in der erhöhten Funktionssicherheit der Mikrosysteme. Unerwünschte Einflüsse auf die Partikel und/oder die Suspensionsflüssigkeit im Mikro- system werden vermieden. Im Mikrosystem können die genannten Gasblasenbildungen an den Elektroden ausgeschlossen werden.

Die Lebensdauer der Elektroden wird erhöht. Die Empfindlich- keit der Mikrosysteme gegenüber Fehlbedienungen z. B. durch ein versehentliches Fokussieren einer optischen Pinzette auf eine Elektrode wird vermindert.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung der beigefügten Zeichnungen ersicht- lich. Es zeigen : Fig. 1 : eine schematische Perspektivansicht eines er- findungsgemäßen Mikrosystems, Fig. 2 : eine schematische Seitenansicht eines erfin- dungsgemäßen Mikrosystems zur Illustration ver- schiedener Maßnahmen zur Verringerung der Er- wärmung von Elektroden, Fig. 3-5 : schematische Draufsichten auf Elektrodenanord- nungen in einem erfindungsgemäßen Mikrosystem, und Fig. 6 : Kurvendarstellungen zur Illustration der Trans- mission von ITO.

Die Erfindung wird im Folgenden beispielhaft unter Bezug auf ein fluidisch durchströmtes Mikrosystem beschrieben. Die Er- findung ist jedoch auf diese Anwendung nicht beschränkt, son- dern ist auch in anderen flüssigkeitsgefüllten Mikrosystemen mit Mikroelektrodenarrays umsetzbar, z. B. auch in Mikrosyste- men mit ISFET's zur Analyse von Nervenzellen oder Krebszellen (siehe oben, P. Fromherz et al.) oder in Mikrosystemen zur Un- tersuchung von Zellspuren oder Zelladsorbaten. Die Herstellung von Mikrosystemen ist an sich bekannt und wird daher im ein- zelnen hier nicht beschrieben. Die erfindungsgemäße Kühlein- richtung an Elektroden wird vorzugsweise durch mindestens eine abschirmende Reflektorschicht gebildet. Die Reflektorschicht kann eine geschlossene oder auch eine strukturiert unterbro- chene Bedeckung des jeweils zu maskierenden Flächenbereiches oder aller zu markierenden Flächenbereiche sein.

Fig. 1 zeigt in schematischer Perspektivansicht ein Komparti- ment 10 eines erfindungsgemäßen Mikrosystems 100. Das Kompar- timent 10 ist ein Teil der im Mikrosystem gebildeten Kanal- und Reservoirstruktur und beispielsweise in einem Kanal vorge- sehen, der in Pfeilrichtung A von einer Suspensionsflüssigkeit mit suspendierten Partikeln durchströmt werden kann. Seitlich wird das Kompartiment 10 durch Wandstrukturen begrenzt, die hier die Deckfläche 12, die Bodenfläche 13 und die Seitenflä- chen 14 umfassen. Auf den Deck-und Bodenflächen 12,13 sind Elektroden 21-28 angeordnet. Die Elektrodenanordnung 20 bildet einen Oktopol, der zur Ausbildung eines dielektrischen Feldkä- figs eingerichtet ist. Hierzu sind die Elektroden 21 bis 28 über (nicht dargestellte) Anschlussleitungen mit einer Steuer- einrichtung verbunden, die insbesondere einen Hochfrequenzge- nerator zur Ausbildung hochfrequenter elektrischer Spannungen zwischen den Elektroden enthält.

Durch die aufeinander zuweisenden Elektrodenenden wird im Kom- partiment 10 ein Wechselwirkungsbereich 11 aufgespannt, in dem gleichzeitig mit den elektrischen Feldkräften auch optische Kräfte ausgeübt werden können. Allgemein wird hier ein Teilbe- reich des Mikrosystems als Wechselwirkungsbereich bezeichnet, in dem Partikel sowohl elektrischen als auch optischen Kräften ausgesetzt sind. Die Abgrenzung gegenüber der Umgebung im Mik- rosystem ist durch die Ausbildung der elektrischen Felder (Feldbarrieren) zwischen Elektroden und optischer Käfige ent- sprechend dem eingestrahlten Licht gegeben.

Beim dargestellten Beispiel ist die Deckfläche 12 des Kompar- timents 10 transparent, so dass entsprechend der Einstrahl- richtung B ein Laserstrahl in den Wechselwirkungsbereich 11 fokussiert werden kann. Ein Partikel 30 wird im Fokus 41 gehalten.

Das in Fig. 1 illustrierte Mikrosystem besitzt beispielsweise Dimensionen wie die von G. Fuhr et al. in"Applied Physics A", Band 67,1998, Seite 385, beschriebenen Mikrosysteme. Die Ka- nalbreite (Breite der Boden-und Deckflächen) beträgt bei- spielsweise 400 um. Die Kanalhöhe (Höhe der Seitenflächen) be- trägt beispielsweise 40 um. Die Deck-und Bodenflächen 12,13 bestehen aus Glas und besitzen Dicken von jeweils 170 um und 500 um. Die Elektroden 21-28 sind photolitographisch aufge- brachte Streifenelektroden, die um jeweils 90° versetzt an den Deck-und Bodenflächen 12,13 angeordnet sind. Durch die Deck- fläche 12 wird mit einem Laser ( = 700... 1064 nm) in den Wech- selwirkungsbereich 11 eingestrahlt. Hierzu wird beispielsweise eine kommerziell verfügbare optische Pinzette (z. B. Diodenla- ser oder Nd-YAG-Laser, Hersteller P. A. L. M., Bernried, Deutsch- land) mit einem Mikroskop Olympus IX 70 verwendet. Das Mikro- skop ist mit einem Öl-Immersionsobjektiv (100-fache Vergröße- rung, N. A. = 1. 3) ausgestattet. Die Laserleistung beträgt am Objektivausgang rund 30 mW.

Im Mikrosystem 100 ist an allen Elektroden 21-28 jeweils min- destens eine Reflektorschicht vorgesehen. Jede Elektrode wird zumindest an ihrem zum Wechselwirkungsbereich 11 weisenden En- de durch die Reflektorschicht gegenüber dem einfallenden La- serstrahl B abgeschirmt. Teilstrahlen oder Teile des Strah- lungsfeldes des Laserstrahls B, die auf die Elektroden gerich- tet sind, werden von der jeweiligen Reflektorschicht reflek- tiert. Erfindungsgemäß sind zumindest auf der in Einstrahl- richtung gelegenen Seite der Elektroden Reflektorschichten vorgesehen. Für besondere Bauformen kann aber auch vorgesehen sein, dass zwei-oder allseitig an den Elektroden Reflektorschichten angebracht sind. Dies ist bei- spielsweise erforderlich, wenn das Mikrosystem zur wahlweisen Bestrahlung durch die Deck-oder Bodenflächen 12,13 des Kom- partiments 10 ausgelegt ist oder auch die Wirkung von Rückre- flexionen innerhalb des Mikrosystems, z. B. von der Oberseite der unteren Elektroden 21-24 auf die Unterseite der oberen E- lektroden 25-28, ausgeschlossen werden sollen.

Beim in Fig. 1 dargestellten Ausführungsbeispiel bestehen die Elektroden 21-28 selbst aus im infraroten Spektralbereich re- flektierendem Material, z. B. Gold, Kupfer oder Aluminium. Die Elektrodenstreifen sind mit einer Dicke von rund 1000 nm bis 1 um direkt auf den Deck-und Bodenflächen aus Glas aufge- bracht.

Ein Test des Mikrosystems 100 erfolgte unter Verwendung von Latex-Beads (Durchmesser 1 um, Hersteller : Polyscience) als Strömungsmarker und Hefezellen (Durchmesser rund 5 um, Gluta- raldehyd-fixiert), als Fangobjekte mit destilliertem Wasser als Suspensionsflüssigkeit. Bei Ansteuerung der Elektroden 21- 28 zur Erzeugung des dielektrischen Feldkäfigs im Rotationsmo- dus zeigte sich in mikroskopischer Beobachtung, dass das Kom- partiment 10 ungestört von den Latex-Beads durchströmt wurde (keine Verwirbelung), während die Hefezellen sicher im die- lektrischen Feldkäfig gehalten und im Fokus 41 der optischen Pinzette verschoben werden konnten. Auch bei direkter Bestrah- lung der Elektroden erfolgte keine Bildung von Gasblasen.

Weitere Ausführungsbeispiele erfindungsgemäßer Kühleinrichtun- gen sind in der schematischen Seitenansicht eines Mikrosystems 100 in Fig. 2 illustriert. Die verschiedenen Varianten können gleichzeitig oder einzeln vorgesehen sein.

In der Seitenansicht in Kanallängsrichtung (y-Richtung) sind lediglich die Deck-und Bodenflächen 12, 13 des Kompartiments gezeigt. Die schichtförmige Anbringung der Elektroden 21,22 und 25,26 ist schematisch illustriert. Bei der in Fig. 2 dar- gestellten Ausführungsform ist die Einkoppelung des Laser- strahls B durch die Bodenfläche 13 vorgesehen. Das Bezugszei- chen 40 bezeichnet das Objektiv des Mikroskops zur Einkoppe- lung des Laserstrahls.

Die in Fig. 2 illustrierten Elektroden besitzen einen Mehr- schichtaufbau. Beispielsweise besteht die Elektrode 21 aus der Elektrodenschicht 21a und einer Basisschicht 21b (sogenannte "plating base"). Die Dicken der Elektroden-und Basisschichten 21a, 21b betragen beispielsweise 130 nm und 20 nm. Gemäß einer Ausführungsform der Erfindung wird die Basisschicht 21b als Reflektorschicht ausgebildet. Als Material für die Basis- schicht wird beispielsweise Gold, Aluminium oder eine die- lektrische Zusammensetzung mit einem passenden Brechungsindex verwendet.

Bei der Elektrode 26 ist eine weitere Variante einer Reflek- torschicht illustriert. Die Elektrodenschicht 26a trägt auf der zum Kompartiment weisenden Seite eine Deckschicht 26b, die vorzugsweise wie die oben genannte Basisschicht 21b ausgebil- det ist. Bei Bereitstellung der reflektierenden Deck-und/oder Basisschichten können die Elektrodenschichten aus einem nicht reflektierenden Material hergestellt sein. Dies ist in Bezug auf die Verwendung von gegebenenfalls teuren oder schwierig prozessierbaren Schichtmaterialien vorteilhaft, da die Deck- und Basisschichten dünner als die Elektrodenschichten ausge- führt werden können.

Die erfindungsgemäße Reflektorschicht kann auch als von den Elektroden unabhängige Maskierung ausgebildet sein. Dies ist bei den Elektroden 22 und 25 illustriert. Als Maskierung ist auf der Seite, von der eine Bestrahlung des Wechselwirkungsbe- reiches 11 möglich ist, eine Außenschicht 22b oder eine Innen- schicht 25b vorgesehen. Die maskierenden Innen-und Außen- schichten auf den Deck-oder Bodenflächen 12,13 besitzen in Einstrahlrichtung B vorzugsweise eine größere Fläche als die jeweils abgeschirmten Elektroden. Die Maskierung kann auch als zusammenhängende Schicht ausgebildet sein, die lediglich ein Eintrittsfenster 42 zur Einkoppelung des Laserstrahls frei- lässt. Die Innen-und Außenschichten besitzen eine Dicke von z. B. 50... 100 nm und bestehen aus einem Material mit hohem Reflexionskoeffizienten.

Fig. 2 illustriert bei Elektrode 22 eine weitere erfindungsge- mäße Maßnahme zur Reduzierung der Wärmebelastung von Elektro- den. Es ist als Kühleinrichtung eine Wärmeleitschicht 50 vor- gesehen, die mit der Elektrodenschicht 22a in thermisch gut leitender Verbindung steht. Die Verbindung erfolgt über die seitlichen Grenzen der Elektroden-und Wärmeleitschichten 22a, 50 oder flächig durch eine dünne Zwischenschicht 51, die aus demselben Material wie die Wärmeleitschicht 50 (z. B. Gold) besteht. Die Wärmeleitschicht 50 und gegebenenfalls die Zwi- schenschicht 51 sind durch dielektrische Schichten (nicht ein- gezeichnet) von der Elektrodenschicht 22a elektrisch isoliert.

Für Präzisionsanwendungen oder bei schräger Einstrahlung (Pfeil C) kann es erforderlich sein, dass an den Elektroden auch seitliche Reflektorschichten angebracht sind. Dies ist bei Elektrode 26 mit der Seitenschicht 26c illustriert, die im Wesentlichen wie die Deck-oder Basisschichten 21b, 26b aufge- baut ist.

Bei Elektrode 21 ist als weitere erfindungsgemäße Kühleinrich- tung beispielhaft ein in der Bodenfläche 13 angeordnetes Kühl- element 21c gezeigt. Das Kühlelement 21c steht in thermischem Kontakt mit der Elektrode 21 und befindet sich unter dieser oder seitlich versetzt. Das Kühlelement 21c ist bspw. ein Pel- tier-Element. Alternativ zur Integration in die Bodenfläche 13 kann das Kühlelement 21c auch von außen (nach Art eines Kühl- fingers) auf die Wand des Kompartiments aufgesetzt werden.

Abweichend von den in den Fign. 1 und 2 illustrierten Ausfüh- rungsformen kann in einem erfindungsgemäßen Mikrosystem die Elektrodenanordnung auch lediglich einseitig auf einer Wand des Kompartiments 10 positioniert sein, während auf der ge- genüberliegenden Seite lediglich ein unmetallisiertes Dünnglas vorgesehen ist.

Zur Verminderung der Wärmebelastung der Elektroden kann erfin- dungsgemäß auch eine Optimierung der geometrischen Eigenschaf- ten der Elektrodenanordnung vorgesehen sein. Dies ist beson- ders bei Quadrupol-und Oktopol-Elektrodenanordnungen von In- teresse. Je kleiner die Elektroden sind und je größer ihr Ab- stand vom Wechselwirkungsbereich 11 bzw. ihr gegenseitiger Ab- stand ist, desto geringer ist die teilweise Bestrahlung der Elektrodenenden oder der entsprechenden Reflektorschichten.

Allerdings dürfen die Abstände auch nicht zu groß werden, wenn die elektrischen Feldkräfte im Wechselwirkungsbereich effektiv ausgeübt werden sollen. Größere Abstände der Elektroden können nur in gewissen Grenzen durch höhere Spannungen kompensiert werden. Die Erfinder haben festgestellt, dass für typische An- wendungen bei der dielektrischen Manipulation biologischer Partikel bei gleichzeitiger Verwendung optischer Pinzetten un- ter den o. a. Bedingungen die geometrischen Parameter (Größen, Formen) der Elektroden optimierbar sind. Dies ist in den Figu- ren 3 und 4 illustriert.

In Fig. 3 ist die Streifenform eines Quadrupols oder einer Elektrodenebene eines Oktopols dargestellt. Optimale Elektro- denparameter betragen für die Elektrodenbreite b 20... 25 um, den Abstand a gegenüberliegende Elektrodenenden 35-45 um, vor- zugsweise 40 um, und den Abstand c benachbarter Elektroden 20- 25 um. Unter diesen geometrischen Bedingungen ist ein sicheres dielektrisches Halten von Partikeln im dielektrischen Feldkä- fig bei geringen lichtinduzierten Strömungen möglich.

Besitzen die Elektroden nicht die rechteckige Streifenform, sondern die bei den Elektroden 21 und 23 gestrichelt einge- zeichnete Form mit sich verbreiternden Elektrodenenden, so sind die folgenden Parameterbereiche optimal. Breite des Elektrodenendes d : 30-35 um. Abstand f benachbarter Elektro- den : 15-20 um, Abstand gegenüberliegender Elektrodenenden (entsprechend a) : 35-45 um, vorzugsweise 40 um. Damit wird die Funktion des dielektrischen Feldkäfigs gegenüber den streifen- förmigen Elektroden noch verbessert.

Eine optimierte Elektrodenform ist in Fig. 4 illustriert. Die zum Wechselwirkungsbereich 11 weisenden Endflächen der Elekt- roden 21-24 sind durchbrochen als Rahmen aus Elektrodenstrei- fen gebildet, so dass die in Projektion der Einstrahlrichtung aufgespannte Elektrodenfläche vermindert ist. Die folgenden Parameterbereiche haben sich für ein wirksames dielektrisches Manipulieren von Partikeln im Feldkäfig als optimal erwiesen : Länge g der Endflächen : rund 20 um, Breite h der Elektroden- streifen : rund 5-10 um, Seitenlänge i der Elektrodenstreifen rund 20 um, senkrechter Abstand k der Rahmen : rund 15 um, Ab- stand 1 gegenüberliegender Rahmen : rund 40 um. Die Ausbildung der Elektrodenenden als durchbrochene Rahmen besitzt den Vor- teil, das bei gleichbleibender elektrischer Feldwirkung die effektiv absorbierende Elektrodenfläche verringert ist. An- stelle der gezeigten Rahmenform können die Elektrodenenden auch in Gestalt von Pfeilspitzen gebildet sein.

Fig. 5 illustriert die Anordnung von maskierenden Außenschich- ten 22b (siehe auch Fig. 2) in schematischer Draufsicht. Die Außenschichten 22b sind auf der dem Objektiv zugewandten Seite z. B. der Bodenfläche des Kompartiments angeordnet. Es ist nicht erforderlich, dass die Außenschichten 22b die gesamten Elektroden (z. B. 21) abdecken. Vielmehr ist es ausreichend, wenn eine Abschirmung im Wechselwirkungsbereich gegeben ist, der hier mit dem Kreis 42 umrissen dargestellt ist und in dem das elektrische Feld der Elektroden und der Arbeitsbereich der optischen Pinzette effektiv wirksam sind.

Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung werden die Elektroden selbst aus einem im jeweils verwendeten Spekt- ralbereich transmittierenden Material hergestellt. Bei Kombi- nation dielektrischer Feldkäfige mit optischen Pinzetten wird vorzugsweise Indium-Zinn-Oxid (ITO) verwendet, das für Wellen- längen oberhalb 400 nm und insbesondere im infraroten Spekt- ralbereich eine hohe Transmission besitzt, die nahezu dem Transmissionsverlauf von Glas entspricht. Dies ist in den schematischen Kurvendarstellungen gemäß Fig. 6 illustriert.

Die in der vorstehenden Beschreibung, den Zeichnungen und den Ansprüchen offenbarten Merkmale können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen Ausgestaltungen von Bedeutung sein.