Durch Mikrostrukturierungsverfahren hergestellte Mikroventile sind als solches bekannt und gehen beispielsweise aus der EP 0 485 739 A1 hervor. Sie verfugen in der Regel über einen Mehr- schichtenaufbau und können unter anderem durch Atz-und/oder Abformprozesse hergestellt werden.

Auf Grund der sich ständig erweiternden Anwendungsfelder fur die Mikroventiltechnik besteht ein zunehmender Bedarf für die Bereitstellung komplexerer Schaltfunktionen in Abhängigkeit von der zu lösenden Steuerungsaufgabe. Die hierzu an sich erforderliche Verschaltung mehrerer der bekannten Mikroventile ist wegen der geringen Baugröße nicht leicht zu handhaben.

Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, aufbauend auf einer Mehrfachanordnung mikromechanischer Ventile mit einfachen Maßnahmen eine bedarfsspezifische steuerungs- technische Verknüpfung zu ermöglichen.

Gelöst wird diese Aufgabe mit einer Mikroventilbatterie, die eine Mehrzahl von zu einer Baueinheit zusammengefaßten, durch Mikrostrukturierungsverfahren hergestellte Mikroventile enthält, mit einer elektronischen Steuereinrichtung zur Aktuierung der Mikroventile, die mindestens eine Funktions- vorgabeeinheit zur programmierbaren gruppenweisen funktio- nellen Verknüpfung der Mikroventile enthält, und mit einem an die Mikroventile angeschlossenen Fluidkanalsystem, dessen Fluidkanäle ausgehend von einer standardisiert vorgebenen Anordnung in Abhängigkeit von der mit der Funktionsvorgabe-

einheit vorgegebenen funktionellen Ventilverknüpfung durch Freigeben und/oder Verschließen von Durchgängen individuell verschaltet sind.

Auf diese Weise liegt eine zu einer Baueinheit zusammengefaßte Mehrfach-oder Vielfachanordnung von Mikroventilen vor, die sich ausgehend von einer Basisstruktur unter gegenseitiger Abstimmung sowohl ansteuerungstechnisch als auch fluidtech- nisch annähernd beliebig zu einer oder mehreren Funktions- gruppen verknüpfen lassen. Durch geeignete Programmierung der Funktionsvorgabeeinheit lassen sich einzelne Ventile zu Funktionsgruppen zusammenfassen, die bei Ansteuerung eine einem bestimmten Funktionsmuster entsprechende Betriebsweise an den Tag legen, so daß mit den einzelnen Funktionsgruppen beispielsweise höherwertige Ventilfunktionen simuliert oder auch Parallelschaltungen zum Zwecke einer Durchflußerhöhung realisiert werden können. Somit läßt sich mit Hilfe der Funktionsvorgabeeinheit die Ventilfunktionalitat festlegen dahingehend, daß die innerhalb einer Funktionsgruppe zusammengefaßten Mikroventile bei Ansteuerung in geeigneter Weise so zusammenwirken, daß sich diese Ventile funktionell wie ein Ventil der vordefinierten Funktionalität verhalten.

Zur Gewährleistung der funktionellen Variabilität der Mikro- ventilbatterie sind neben den auf der Steuerungsseite vor- gesehenen programmiertechnischen Möglichkeiten zusätzliche Möglichkeiten zur flexiblen Verschaltung der mit den Mikroventilen kommunizierenden Fluidkanäle vorgesehen.

Letztere umfassen ein an die Mikroventile angeschlossenes Fluidkanalsystem, also eine Vielfachanordnung von Fluid- kanälen, wobei ausgehend von einer standardmäßig vorgegebenen Kanalanordnung unter Berücksichtigung der programmiertechnisch auf elektrischem Wege vorgegebenen Funktionalität der zu Gruppen zusammengefaßten Mikroventile eine individuelle Verschaltung der Fluidkanäle durch Freigeben und/oder durch Verschließen von Durchgängen zwischen Fluidkanälen möglich ist. Eine derartige programmierbare Vielfachanordnung von Mikroventilen gestattet es, Batch-Fertigungsverfahren der

Mikrotechnik kostengünstig einsetzen zu können, indem gleichartige Mikroventilsysteme gefertigt werden, deren Ventilfunktionalität durch gegenseitige Abstimmung der steuerungstechnischen funktionellen Verknüpfung und der fluidkanalseitigen Verschaltung erst vor dem Einsatz durch Programmieren festgelegt wird.

Zwar offenbaren beispielsweise die DE 42 21 089 Al, die DE 40 03 619 A1, die US 5,322,258, die US 5,417,235, die US 5,640,995 oder die DE 36 21 331 Al Mehrfachanordnungen von Mikroventilen, die teilweise auch variabel elektrisch an- steuerbar sind. Eine variable fluidtechnische Verschaltung auf der Basis der steuerungstechnischen Vorgaben wird allerdings nicht beschrieben.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.

Aus herstellungstechnischer Sicht besonders günstig ist eine Bauform, bei der die in einer Mikroventilbatterie zuammen- gefaßten Mikroventile alle vom gleichen Typ sind, beispiels- weise vom Typ 2/2-oder 3/2-Schaltventil. Allerdings wäre es durchaus denkbar, pro Mikroventilbatterie gleichzeitig Mikro- ventile unterschiedlichen Typs vorzusehen.

Von seiten der Steuerungstechnik kann die Mikroventilbatterie so ausgelegt sein, daß sie autark arbeitet und in der Steuereinrichtung über ein vorzugsweise frei programmierbares internes Steuerprogramm verfügt, das Steuersignale erzeugt, aus welchen in Verbindung mit den zugeordneten, in der Funktionsvorgabeeinheit abgelegten Funktionsverknüpfungs- parametern die erforderlichen Betätigungssignale generiert werden, die in entsprechend abgestimmter Weise den zu einer Funktionsgruppe zusammengefaßten Mikroventilen zugeführt werden, um die gewünschte Betriebsweise hervorzurufen.

Alternativ oder zusätzlich können die Steuersignale auch über einen an die Steuereinrichtung angeschlossenen Bus herangeführt

werden, über den auch bei Bedarf eine Rückmeldung zu einer übergeordneten Steuervorrichtung erfolgen kann.

Die Programmierung der Funktionsvorgabeeinheit (en) kann zweckmäßigerweise ebenfalls über einen mit der Steuer- einrichtung der Mikroventilbatterie kommunizierenden Bus durchgeführt werden. Auch eine drahtlose ferngesteuerte Pro- grammierung wäre möglich.

Vorzugsweise umfaßt die Mikroventilbatterie einen Schicht- körper, der aus mehreren aufeinanderliegenden und fest zusammengefügten Schichtelementen besteht und in dessen Innerem die Mikroventile wie auch das Fluidkanalsystem ausgebildet sind, deren Herstellung zweckmäßigerweise durch vor dem Zusammenfügen erfolgendes mikromechanisches Prozessieren der einzelnen Schichtelemente erfolgt.

Das zum Verschalten der Fluidkanäle erfolgende Freigeben und/oder Verschließen von Durchgängen kann beispielsweise durch Einsatz einer geeigneten separaten Verschaltungs- einrichtung erfolgen. Hier könnte man sich eine Art Nadel- kissen vorstellen, das mit Nadeln einer der gewünschten Verschaltung entsprechenden Verteilung ausgestattet ist, die in einen das Fluidkanalsystem enthaltenden Grundkörper eingedrückt werden und dort Durchgänge freimachen. Bei weite- ren vorteilhaften Ausgestaltungen ist das Fluidkanalsystem an vorgegebenen Stellen mit Absperrmitteln versehen, deren Betätigung an der betreffenden Stelle eine Freigabe oder einen Verschluß eines Durchganges zwischen Fluidkanalen hervorruft.

Diese Absperrmittel könnten einfache, zum Beispiel pfropfen- ähnliche Trennwände innerhalb des Fluidkanalsystems sein, die nach Bedarf thermisch entfernt werden. Weiterhin könnten hier mikromechanische Schaltventile als Absperrmittel zum Einsatz kommen, die je nach Schaltstellung einen Durchgang freigeben oder verschließen und in der jeweiligen Schaltstellung zum Beispiel mechanisch arretiert werden können. Denkbar wären insbesondere auch Ventile, deren Funktionsprinzip auf Piezo-

elektrik, Magnetostriktion oder Memorymetall-Eigenschaften<BR> <BR> <BR> <BR> <BR> <BR> basiert.

Von Vorteil ist, wenn die fluidtechnische Verschaltung der Fluidkanäle reversibel ist, so daß ein und dieselbe Ventilbatterie bei Anderung der Einsatzbedingungen hin- sichtlich ihrer Funktionalitätsprogrammierung leicht geändert werden kann. Hier wäre insbesondere auch eine ferngesteuerte Betätigung, insbesondere unter Einsatz drahtloser Signalüber- tragungsmittel, möglich.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert. In dieser zeigen : Fig. 1 eine erste Bauform der erfindungsgemäßen Mikro- ventilbatterie in Draufsicht in schematischer Darstellung, wobei die Fluidkanäle des Fluid- kanalsystems in verdickten Linien dargestellt sind, und zwar in standardisierter Anordnung ohne Vornahme individueller Kanalverschaltungen, Fig. 2 den in Fig. 1 strichpunktiert umrahmten Ausschnitt II der Mikroventilbatterie in vergrößerter Darstellung, wobei beispielhaft eine Möglichkeit einer fluidischen Verschaltung des Fluidkanalsystems gezeigt ist und in verdickten Linien die durch die Verschaltung eröffneten Strömungswege markiert sind, Fig. 3 in Schnittdarstellung den in Fig. 2 strichpunktiert markierten Ausschnitt III in vergrößerter Darstellung und Fig. 4 einen Querschnitt durch die Mikroventilbatterie gemäß Schnittlinie IV-IV aus Fig. 2, wobei allerdings zur Vereinfachung die relevanten Fluidkanäle in einer gemeinsamen Schnittlinie liegend gezeigt sind.

Sämtliche Abbildungen in der Zeichnung sind nicht maßstabs- getreu, dies gilt auch für die Proportionen zwischen den einzelnen Bestandteilen.

Die Fig. 1 zeigt eine Mikroventilbatterie 1, die über einen beim Ausführungsbeispiel in serieller Obertragungsart ausge- führten Bus 2 an eine separate externe Steuervorrichtung 3 angeschlossen ist. An den Bus 2 können noch weitere Mikro- ventilbatterien 1 angeschlossen sein.

Die Mikroventilbatterie 1 enthält einen beispielsgemäß blockartigen Grundkörper 4. Dieser ist mit einer Vielzahl von Mikroventilen 5 und einem in seiner Gesamtheit mit Bezugs- ziffer 6 bezeichneten Fluidkanalsystem ausgestattet sowie mit einer elektronischen Steuereinrichtung 7 bestückt.

Die elektronische Steuereinrichtung 7 dient zur Aktuierung, also zur Betätigung der einzelnen Mikroventile 5, die ihrer- seits in Abhängigkeit von der gewählten Betätigung in der Lage sind, Fluidströme zu steuern, die in dem Fluidkanalsystem 6 fließen können. Ein bevorzugter Einsatz der Mikroventil- batterie 1 liegt auf dem Sektor der Pneumatik, wobei das gesteuert strömende Fluid von Druckluft gebildet ist.

Ober den Grundkörper 4 sind die Mikroventile 5 zu einer Baueinheit zusammengefaßt. Sie sind, wie zweckmäßigerweise auch das Fluidkanalsystem 6, durch ein geeignetes Mikro- strukturierungsverfahren hergestellt. Hier bietet sich insbesondere eine Atztechnik unter Verwendung von Silicium- material oder eine Abformtechnik unter Einsatz von Kunst- stoffmaterial an. Da entsprechende Herstellungsverfahren als solches bekannt sind, erübrigen sich an dieser Stelle nähere Details.

Beim Ausführungsbeispiel ist der Grundkörper 4 als Schicht- körper ausgeführt, was durch Fig. 4 verdeutlicht wird. Er umfaßt eine Mehrzahl flächig auf ei nanderl i egender Schichtelemente

8, die zum Beispiel durch Verkleben fest miteinander verbunden sind. Beim Ausführungsbeispiel bestehen sie aus Silicium- material oder einem gleichwertigen Halbleitermaterial. Die Mikroventile 5 und das Fluidkanalsystem 6 sind im Innern des Grundkörpers 4 vorgesehen. Sie resultieren aus einer geeig- neten mikromechanischen Strukturierung der Schichtelemente 8 vor ihrem Zusammenfügen. Einzelne Fluidkanäle des Fluidkanal- systems 6 sind durch Bezugsziffern 12,13 und 14 angedeutet.

Aus Gründen der übersichtlichkeit sind in der Schnittdar- stellung der Fig. 4 das dort gezeigte Mikroventil 5 und die mit ihm kommunizierenden Fluidkanäle 12,13,14 in unter- schiedlichen Schichtebenen dargestellt. Daraus resultiert eine entsprechend große Anzahl von Schichtelementen 8. In der praktischen Ausführung läßt sich die Anzahl der Schicht- elemente 8 dadurch beträchtlich reduzieren, daß die Fluid- kanäle 12,13,14 mit zueinander versetztem Verlauf teils in gleichen Schichtebenen angeordnet sind.

Insgesamt enthält das Fluidkanalsystem 6 beim Ausführungs- beispiel drei Kanalarten, und zwar Speisekanäle 12, Ent- lüftungskanäle und Arbeitskanäle 14. Diese Fluidkanäle sind in einer standardisierten Anordnung vorgegeben, wie sie exem- plarisch in Fig. 1 erscheint. Diese standardisierte Anordnung repräsentiert eine gewisse Verteilung und auch fluidische Verknüpfung der einzelnen Fluidkanäle 12,13,14.

Die in der Mikroventilbatterie 1 enthaltenen Mikroventile 5 sind zweckmäßigerweise durchgehend gleichen Typs. Beim Ausführungsbeispiel handelt es sich um 2/2-Schaltventile, die jeweils über ein Ventilglied 15 verfügen, das zwischen einer in Fig. 4 gezeigten Offenstellung und einer nicht näher dar- gestellten Schließstellung umschaltbar ist. In der Offen- stellung ermöglicht es eine fluidische Verbindung zwischen zwei Öffnungen 16,17, während es in der Schließstellung diese fluidische Verbindung unterbricht.

Der prinzipielle mechanische Aufbau der Mikroventile 5 kann dem in der EP 0 485 739 Al beschriebenen entsprechen, auf die wegen weiterer Einzelheiten verwiesen wird. Die Mikroventile 5 des Ausführungsbeispiels sind in der Bauform"normaly closed" ("normalerweise geschlossen") ausgeführt und können durch Anlegen einer elektrischen Spannung an sich gegenüberliegende Elektroden 18 durch elektrostatische Kräfte in die Offen- stellung umgeschaltet werden. Die hierzu erforderlichen Betätigungssignale werden über geeignete elektrische Leiter 22 von der ebenfalls am Grundkörper 4 angeordneten elektronischen Steuereinrichtung 7 übermittelt.

Anstelle der Mikroventile mit 2/2-Schaltprinzip wären prinzipiell auch andere Ventiltypen denkbar, beispielsweise 3/2-Schaltventile. Auch wäre es möglich, ein und dieselbe Mikroventilbatterie 1 gleichzeitig mit unterschiedlichen Mikroventiltypen auszustatten. Es hat sich jedoch erwiesen, daß auf Basis einer durchgehenden 2/2-Ventilbestückung eine bestmögliche Funktionalität verbunden mit einfacher Ferti- gungstechnologie realisiert werden kann.

Die spezifisch der Mikroventilbatterie 1 zugeordnete und vorzugsweise als Baueinheit mit dieser ausgeführte elek- tronische Steuereinrichtung 7 verfügt über eine Funktions- vorgabeeinheit 23 und eine Signal übermittlungseinheit 24.

Diese beiden Einheiten sind beim Ausführungsbeispiel getrennt ausgeführt, könnten aber auch eine integrierte Bauform besitzen. Die Signal übermittlungseinheit 24 kommuniziert über den Bus 2 mit der externen Steuervorrichtung 3 und empfängt von dieser gemäß Pfeil 25 die zur Ansteuerung der Mikrovenile 5 erforderlichen Steuersignale. Bei Bedarf kann über den Bus 2 auch eine Rückführung von Rückmeldesignalen erfolgen, die beispielsweise eine erfolgte Aktuierung bestätigen.

Des weiteren kommuniziert die Signal übermittlungseinheit 24 über die elektrischen Leiter 22 mit jedem einzelnen der Mikroventile 5. über diese elektrischen Leiter 22 werden den

Mikroventilen 5 individuell ihnen zugedachte elektrische Betätigungssignale übermittelt. Beim Ausführungsbeispiel wird während der Dauer eines anstehenden Betätigungssignals das ansonsten die Schließstellung einnehmende Ventilglied 15 des betreffenden Mikroventils 5 in der Offenstellung gehalten.

Die Signal übermittlungseinheit 24 steht des weiteren in Datenaustausch mit der Funktionvorgabeeinheit 23. In letzterer sind Funktionsverknüpfungsparameter abgespeichert, die zur gruppenweisen funktionellen Verknüpfung der Mikroventile 5 dienen. Es lassen sich somit Mikroventile beliebiger Anzahl zu einer im Grunde ebenfalls beliebigen Anzahl von Funktions- gruppen zusammenfassen, wobei die Ventile innerhalb einer jeweiligen Funktionsgruppe ein aufeinander abgestimmtes Betriebsverhalten haben, das durch die Funktionsverknüpfungs- parameter bestimmt ist.

Die Mikroventilbatterie des Ausführungsbeispiels verfügt über insgesamt acht Mikroventile, die paarweise zu Funktionsgruppen zusammengefaßt sind, so daß insgesamt vier Funktionsgruppen 26 vorliegen, die in Fig. 1 durch strichpunktierte Umrahmungen kenntlich gemacht worden sind.

Es ist nicht erforderlich, daß zu einer Funktionsgruppe gehörende Mikroventile 5 unmittelbar benachbart sind. Eine beliebige Zuordnung unter der vorhandenen Anzahl von Mikro- ventilen 5 ist möglich. Auch können einzelne Mikroventile 5 gleichzeitig mehreren Funktionsgruppen angehören.

Im Betrieb der Mikroventilbatterie 1 werden nun die gemäß Pfeil 25 eingehenden Steuersignale zuordnungsrichtig mit den abgespeicherten Funktionsverknüpfungsparametern verknüpft, woraus funktionsgruppenspezifische Betätigungssignale erzeugt werden, die dann an die betreffenden Mikroventile 5 über- mittelt werden, welche daraufhin mit der gewünschten Funktionalität betätigt werden.

Werden die Steuersignale 25 als serielle Signale zugeführt, enthält die Signal übermittlungseinheit 24 einen geeigneten Busknoten, der in der Lage ist, die die Mikroventilbatterie betreffenden Steuersignale auszulesen.

Es versteht sich, daß die Signalübermittlungseinheit 24 auch selbst mit einem internen Steuerprogramm ausgestattet sein kann, welches autark oder in Abstimmung mit der externen Steuervorrichtung die gewünschten Steuersignale erzeugt.

Zweckmäßigerweise ist die Funktionsvorgabeeinheit 23 re- versibel programmierbar, so daß eine anwendungsbezogene flexible Programmierung bzw. Vorgabe der Funktionsver- knüpfungsparameter möglich ist. Die Programmierung kann beispielsweise über ein lösbar an die Steuereinrichtung 7 anschließbares Programmiergerät erfolgen, beispielsweise ein PC, möglich wäre aber auch eine drahtlose Programmierung oder eine Programmierung über den Bus 2 und beispielsweise unter Einschaltung der externen Steuervorrichtung.

Beim Ausführungsbeispiel ist sämtlichen Mikroventilen 5, die im übrigen innerhalb des Grundkörpers 4 auch in unter- schiedlichen Schichtebenen und unter gegenseitiger Überlappung angeordnet sein können, eine einzige Funktionsvorgabeeinheit 23 gemeinsam zugeordnet. Hier wäre es alternativ denkbar, unter Umständen auch abhängig von der Anzahl der in der Mikro- ventilbatterie vorgesehenen Mikroventile 5, mehrere Funktions- vorgabeeinheiten vorzusehen, die für die Ansteuerung unterschiedlicher Funktionsgruppen 26 zuständig sind.

Es versteht sich ferner, daß nicht notwendigerweise sämtliche Mikroventile 5 der Mikroventilbatterie 1 zu einer oder mehreren Funktionsgruppen 26 zusammengefaßt sein müssen.

Einzelne Ventile könnten auch separat und einzeln mit der ihnen eigenen Funktionscharakteristik betrieben werden.

Die Fluidkanäle 12,13,14 des Fluidkanalsystems 6 sind unter

Berücksichtigung der durch die Funktionsvorgabeeinheit 23 vorgegebenen funktionellen Verknüpfung der Mikroventile 5 so miteinander verschaltet, daß sich die pro Funktionsgruppe 26 gewünschte Ventilfunktion bezüglich der Fluidstromsteuerung auch tatsächlich einstellt. Es erfolgt also eine Abstimmung der elektronischen Ansteuerungsseite mit der fluidischen Verschaltungsseite unter Berücksichtigung der gewünschten Funktionalität.

Um diese Abstimmung anwendungsspezifisch und sehr flexibel vornehmen zu können, wird als Basis ein Fluidkanalsystem 6 in der schon erwähnten standardisiert vorgegebenen Anordnung zugrundegelegt. Beim Ausführungsbeispiel umfaßt das Fluid- kanalsystem 6 eine Mehrzahl von Speisekanälen 12, die jeweils an eines der Mikroventile 5 angeschlossen sind und anderer- <BR> <BR> <BR> <BR> seits gemeinsam mit einem Speise-Hauptkanal 12'verbunden sein können, der den Grundkörper 4 durchzieht. über eine Anschluß- öffnung 27 an der Außenfläche des Grundkorpers 4 ist der Speise-Hauptkanal 12'an eine geeignete Druckquelle P ange- schlossen.

Des weiteren ist jedes Mikroventil 5 an einen Entiüftungskanal 13 angeschlossen, wobei alle Entiüftungskanäle 13 gemeinsam in einen Entlüftungs-Hauptkanal 13'münden, der den Grundkörper 4 parallel zum Speise-Hauptkanal 12'durchsetzt und mit einer Offnung 28 zur Außenfläche des Grundkörpers 4 ausmündet, wo ein Anschluß zu einer Drucksenke R, beispielsweise eine Ver- bindung zur Atmosphäre, erfolgt.

Schließlich ist eine der Anzahl der Mikroventile 5 ent- sprechende Anzahl von Arbeitskanälen 14 vorgesehen, die jeweils mit einem der Mikroventile 5 verbunden sind und andererseits zu einer jeweils eigenen Anschlußöffnung 29 an der Außenfläche des Grundkörpers 4 führen, wo Anschluß- möglichkeiten vorgesehen sind, um einen Verbraucher A1, A2...

A8 anzuschließen. Ein Verbindungskanal 14'stellt überdies eine Fluidverbindung sämtlicher Arbeitskanäle 14 her. Er

verläuft beim Ausführungsbeispiel parallel zum Speise-Haupt- kanal 12'und zum Entlüftungs-Hauptkanal 13'.

Um das Fluidkanalsystem 6 an die gewünschte Funktionalität der Funktionsgruppen 26 anzupassen, werden seine Fluidkanäle 12, 13,14-also einschließlich Speise-Hauptkanal 12', Entlüftungs- Hauptkanal 13'und Verbindungskanal 14'-durch Freigeben und/oder Verschließen von Durchgängen 32 (vgl. Fig. 3 und 4) individuell verschaltet.

Die Verschaltung erfolgt beim Ausführungsbeispiel unter Verwendung geeigneter Absperrmittel 33, die an den Stellen des Fluidkanalsystems 6 plaziert sind, an denen sich die Durch- gänge 32 befinden. In Fig. 2 sind die Absperrmittel 33 durch in den Kanalverlauf eingezeichnete Kreise markiert.

Es kann nun beispielsweise vorgesehen sein, daß die Ab- sperrrmittel 33 in der Standardanordnung des Fluidkanalsystems 6 alle steuerbaren Durchgänge 32 freigeben. Bei der in Fig. 3 und 4 gezeigten bevorzugten Bauform ist jedoch vorgesehen, daß die Fluiddurchgänge 32 in der Standardanordnung verschlossen sind, wobei als Absperrmittel 33 im betreffenden Fluidkanal 32,33,34 an der Stelle des eventuell freizugebenden Durch- ganges 32 plazierte Trennwände 34 vorgesehen sind. Bei den Trennwänden 34 kann es sich um einstückige Bestandteile des Grundkörpers 4 bzw. der Schichtelemente 8 handeln. Standard- mäßig sind somit die Fluidkanäle 12,13,14 des Fluidkanal- systems 6 an geeignet vorbestimmten Stellen voneinander abgetrennt, und es wird nur dann ein Durchgang 32 freigegeben, wenn dies in Abstimmung mit der vorgegebenen elektrischen Ventilverknüpfung erforderlich ist.

In Fig. 2 sind die einen Durchgang versperrenden Absperrmittel 33 mit einem Kreuz markiert. Die übrigen Absperrmittel 33 geben einen Durchgang frei. Auf diese Weise ist insgesamt eine Kanalverschaltung realisiert, die bei der in Fig. 2 gezeigten, sich aus zwei 2/2-Mikroventilen zusammengesetzten Funktions-

gruppe 26 insgesamt eine 3/2-Schaltfunktion zur Folge hat. Man hat also ausgehend von zwei Mikroventilen 5 mit einer nieder- wertigeren Schaltfunktion eine höherwertige Schaltfunktion realisiert, wobei unter Einschaltung weiterer Mikroventile 5 in die Funktionsgruppe 26 noch komplexere Ventilfunktionen realisierbar wären, beispielsweise eine 4/2-oder eine 5/3- Schaltfunktion.

In vergleichbarer Weise wäre es denkbar, die Verknüpfung der Fluidkanäle 12,13,14 dergestalt vorzunehmen, daß sich eine Parallelschaltung von zwei oder noch mehr Mikroventilen 5 zum Zwecke einer Vergrößerung des zur Verfügung gestellten Strömungsquerschnittes ergibt.

Somit besteht insgesamt die Möglichkeit, ausgehend von der Fertigung gleichartiger batterieähnlicher Mikroventilsysteme durch anwendungsspezifische Programmierung der elektronischen Steuerseite wie auch der fluidischen Verschaltungsseite eine individuelle Ventilfunktionalität zur Verfügung zu stellen, wobei ausgehend vom gleichartigen Aufbau und somit unter Rückgriff auf standardisierte Herstellungsverfahren sehr flexibel den verschiedenartigsten Einsatzfällen Rechnung getragen werden kann.

In Fig. 3 und 4 ist exemplarisch eine mögliche Ausgestaltung von Absperrmitteln 33 gezeigt. Sie sind so ausgestaltet, daß sie normalerweise, im unbetätigten Zustand, den Verschluß eines Durchganges 32 zwischen zwei Fluidkanälen hervorrufen.

Durch Betätigung bzw. Aktivierung wird der jeweils zugeordnete Durchgang 32 freigegeben. Sie sind von Trennwänden 34 gebildet, denen Betätigungsmittel 35 zugeordnet sind, bei deren Aktivierung sie durch Energiezufuhr thermisch entfernt werden können.

Die beim Ausführungsbeispiel einer jeweiligen Trennwand 34 zugeordneten Betätigungsmittel 35 enthalten ein in der Trennwand 34 verlaufendes, insbesondere drahtartiges Heiz-

element 36, das über zur Außenseite des Grundkörpers 4 geführte Leiter 37 an eine Spannungsquelle angeschlossen werden kann, so daß durch Hitzeeinwirkung ein Schmelzen und/oder Verdampfen der Trennwand 34 hervorgerufen wird. In Fig. 3 und 4 sind bei 34'geschmolzene Trennwände 34 ange- deutet, die einen Fluiddurchgang freigeben.

Während bei den beispielsgemäßen Absperrmitteln 33 im Rahmen der Programmierung bzw. Verschaltung die für die entsprechende Funktion erforderlichen fluidischen Verbindungen geöffnet werden, kann bei einer alternativen Ausführungsform auch vorgesehen werden, daß ausgehend von freigegebenen Durchgängen für den speziellen Anwendungsfall nicht benötigte fluidische Verbindungen beim Programmieren der Anordnung verschlossen werden. Dies könnte beispielsweise dadurch geschehen, daß in der betreffenden Stelle ein pfropfenartiges Hindernis plaziert wird oder daß wiederum durch thermische Energie ein Schmelz- vorgang erzeugt wird, der durch eine Art Schweißverbindung den zugeordneten Durchgang verschließt.

Denkbar wäre es auch, die Absperrmittel 33 in Gestalt mikro- mechanischer Schaltventile auszuführen, beispielsweise der Art, wie sie anhand der Mikroventile 5 beschrieben sind. Auf diese Weise läßt sich verhältnismäßig einfach auch eine reversible Verschaltungsmöglichkeit realisieren, die im Anschluß an eine im Rahmen einer Programmierung erfolgende Freigabe eines Durchganges bei Bedarf einen erneuten Verschluß zuläßt, oder umgekehrt.

Greift man für die Absperrmittel auf Ventile zurück, können insbesondere auch Bauformen zum Einsatz gelangen, die auf einem piezoelektrischen und/oder magnetostriktiven Funktions- prinzip basieren. Auch Ventile, bei deren Betätigung man sich die Eigenschaften des sogenannten Memorymetalls zunutze macht, könnten Verwendung finden. Diese Aufzählung ist selbstver- ständlich nicht abschließend.

Es ist des weiteren vorteilhaft, wenn eine externe Verschal- tungseinrichtung 38 zum Programmieren der Fluidverbindungen vorgesehen ist, wie sie in Fig. 4 strichpunktiert schematisch und exemplarisch angedeutet ist. Die dortige Verschaltungs- einrichtung 38 ist ein Programmiergerät. Es läßt sich bei- spielsweise an die zu den Heizelementen 36 führenden Leiter 37 anschließen und ermöglicht zweckmäßigerweise eine gleich- zeitige Herstellung sämtlicher gewünschter Fluidkanal- verschaltungen, beispielsweise durch Anlegen entsprechender Spannungen oder durch Obermittlung sonstiger Signale. Durch flexible Programmierung der Verschaltungseinrichtung 38 kann problemlos dem gewünschten Anwendungsfall Rechnung getragen werden.

Bei einer nicht näher dargestellten Ausführungsform der Verschaltungseinrichtung 38 ist eine Art Nadelkissen vorgesehen, das in den Grundkörper 4 eingedrückt werden kann und dessen Nadeln beheizbar sind, so daß an der Stelle der eingedrückten Nadeln ein Schmelzvorgang zum Verschließen und/oder Freigeben von Kanaldurchgängen hervorgerufen werden kann. Auch hier ist vorzugsweise eine flexibel programmierbare Ausführungsform möglich, beispielsweise derart, daß die einzelnen Nadeln an einem Nadelträger angeordnet sind und sich bezüglich diesem in einer eingefahrenen und einer ausge- fahrenen Stellung positionieren lassen, wobei nur diejenigen in die ausgefahrene Stellung verbracht werden, die in den Grundkörper 4 eingeführt werden sollen.

Es wäre auch denkbar, mit verlorenen Nadeln zu arbeiten, derart, daß die Nadeln, vorzugsweise unter Wärmezufuhr, in den Grundkörper 4 eingedrückt werden und dort als Absperrmittel im Bereich der zu verschließenden Durchgänge 32 verbleiben.

Es versteht sich, daß auch noch andere geeignete Mittel zur Vornahme der gewünschten fluidischen Verschaltung eingesetzt werden können. Möglich wäre auch eine ferngesteuerte, insbe-

sondere drahtlose Betätigung der Absperrmittel.

Es sei ferner nochmals darauf hingewiesen, daß die Anzahl der pro Mikroventilbatterie vorgesehenen Mikroventile 5 im Prinzip beliebig ist und durchaus auch in einer Größenordnung von 100 Stück vorgesehen werden kann. Durch geeignete Batch-Ferti- gungsverfahren, wie sie aus der Mikrotechnik bekannt sind, lassen sich die erforderlichen Strukturen auf kostengünstige Weise herstellen.

Bei einer weiteren, in der Zeichnung nicht näher dargestellten Ausführungsform enthält die Mikroventilbatterie zusätzlich zu den beschriebenen Bestandteilen eine Mehrzahl von Sensoren.

Diese Sensoren sind in standardisierter Verteilung angeordnet und können durch Freigeben und/oder Verschließen von Durch- gängen individuell mit den Fluidkanälen 12,12' ; 13,13' ; 14, 14'verschaltet werden. Das Freigeben und/oder Verschließen der Durchgänge kann in einer Art und Weise realisiert werden, wie sie auch innerhalb des Fluidkanalsystems bezüglich der Fluidkanäle zur Anwendung gelangt. Somit ist es möglich, einen oder mehrere Sensoren nach Bedarf mit einem oder mehreren Fluidkanälen zu verbinden, um dem betreffenden Fluidkanal zugeordnete Zustandsgrößen zu erfassen. Die Sensoren können beispielsweise zur Messung des herrschenden Druckes oder des Durchflusses eingesetzt werden.

Die Sensoren sind ferner vergleichbar den einzelnen Mikro- ventilen elektrisch mit der Funktionsvorgabeeinheit 7 gekoppelt und in der Lage, Sensorsignale an diese Funk- tionsvorgabeeinheit zu übermitteln. Auf diese Weise kann die Ansteuerung der Mikroventile in Abhängigkeit von den in einem oder mehreren der Fluidkanäle herrschenden und erfaßten Gegebenheiten erfolgen. Man kann auf diese Weise sehr einfach Regelungs-und Anzeigevorgänge durchführen, ohne auf zusätz- liche externe Bauteile angewiesen zu sein. Durch die inte- grierte Sensorik erübrigen sich außerdem umfangreiche Anschlußmaßnahmen, und es läßt sich eine kompakte Bauweise

realisieren. Dabei ist es möglich, die Sensoren in die gegebenenfalls vorhandenen Schichtelemente 8 zu integrieren.

Bei Bedarf können sämtliche Sensoren in einem gemeinsamen Schichtelement untergebracht werden.