Die Erfindung betrifft eine Magnetfeldmessvorrichtung zur Messung von magnetischen

Wechselfeldern mit einer Grundplatte und einem Cantilever mit wenigstens einer

magnetostriktiven Schicht. Ferner betrifft die Erfindung ein Magnetfeldmessverfahren mit einer erfindungsgemäßen Magnetfeldmessvorrichtung.

Im Sinne dieser Offenbarung werden Mikrowellenresonator-Magnetfeldmessvorrichtungen auch als magnetoelektrische Sensoren, kurz auch ME-Sensoren, verstanden bzw. bezeichnet. Ferner werden im Sinne dieser Offenbarung Cantilever auch als Biegebalken oder mit weiteren

Schichten darauf als mechanischer Schwinger bezeichnet.

Aus dem Stand der Technik sind unterschiedliche Anordnungen bekannt, bei denen konventionelle ME-Sensoren ein magnetisches Wechselfeld über ein magnetostriktives Material in eine Längenänderung umsetzen, welche in einer piezoelektrischen Schicht eine

Polarisationsänderung und damit eine Klemmenspannung als Messsignal hervorrufen. Es sind auch ME-Sensoren bekannt, bei denen die durch die Längenänderung verursachte

mechanische Auslenkung optisch detektiert wird, beispielsweise mittels Laser.

Magnetoelektrische Dünnfilme werden bisher in Verbindung mit Mikrowellen als Filter eingesetzt. Dabei wird meist ein Yttrium Eisen Granat (YIG) Film auf eine Mikrowellenleitung aufgebracht. Wird nun eine Mikrowelle mit einer Frequenz in der Nähe der ferromagnetischen Resonanz, nachfolgend auch FMR, angelegt, wird diese in das aufgebrachte Substrat eingekoppelt und bei der FMR teilweise absorbiert bzw. transmittiert, was eine Filterwirkung hervorruft, offenbart in Tsai, Chen S.; Su, Jun 1999:„A wideband electronically tunable microwave notch filter in yttrium iron garnetgallium arsenide material structure“ In Appl. Phys. Lett. 74 (14), pp. 2079-2080. DOI : 10.1063/1.123763.

Aus der Druckschrift„Millimeter-wave magnetoelectric effects in bilayers of barium hexaferrite and lead zirconate titanate” von Srinivasan, G.; Zavislyak, I.V.; Tatarenko, A. S. 2006 “Millimeter-wave magnetoelectric effects in bilayers of barium hexaferrite and lead zirconate titanate”. In Appl. Phys. Lett. 89 (15), p. 152508. DOI: 10.1063/1 .2360901 ist bekannt, dass über ein magnetisches Gleichfeld die FMR verschoben werden kann, was eine Verstimmung des Filters bewirkt. Über eine piezoelektrische Schicht kann die FMR über den inversen magnetoelektrischen Effekt auch über eine angelegte Spannung verändert werden. Ziel ist in der Regel die Abstimmbarkeit der Filter.

Ferner ist aus der Veröffentlichung„Electronically Tunable Miniaturized Antennas on

Magnetoelectric Substrates With Enhanced Performance“ von Yang, Guo-Min; Xing, X.; Daigle, A.; Liu, M.; Obi, O.; Wang, J. W. et al. 2008:“Electronically Tunable Miniaturized Antennas on Magnetoelectric Substrates With Enhanced Performance” In IEEE Trans. Magn. 44 (11), pp. 3091-3094. DOI: 10.1109/TMAG.2008.2003062 eine Anwendung der Abstimmbarkeit und Ausnutzung der Mikrowellenresonanz bei Antennen bekannt. So entstandene nano- elektromagnetische (NEMS) Resonatoren können auch als Sensoren für die Messung von kleinen magnetischen Gleichfeldern verwendet werden, vgl.„Self-biased 215 MHz

magnetoelectric NEMS resonator for ultra-sensitive DC magnetic field detection”, Nan,

Tianxiang; Hui, Yu; Rinaldi, Matteo; Sun, Nian X 2013:“Self-biased 215 MHz magnetoelectric NEMS resonator for ultra-sensitive DC magnetic field detection” In Scientific reports 3, p. 1985. DOI: 10.1038/srep01985. In Abhängigkeit eines angelegten Gleichfeldes ändert sich die Impedanz des Resonators bei der Mikrowellenfrequenz, die damit in Amplitude und Phase verstimmt wird. Dabei lässt sich auch die elektro-mechanische Resonanz des NEMS

Resonators ausnutzen, um das Ausgangssignal zu steigern. Es wird ein Sensor mit

mechanischer Resonanzfrequenz um 215 MHz beschrieben, der piezoelektrisch angeregt und ausgelesen wird. Das Messprinzip basiert auf der Veränderung der Resonanz durch eine Änderung des E-Moduls im Messmagnetfeld, dem delta E-Effekt, wobei sich dieses zur Messung von zeitlich konstanten Magnetfeldern eignet.

Ferner sind aus dem Übersichtsartikel von Patrick Pons, Herve Aubert, Manos Tentzeris, „OverView of Electromagnetic Transducers with Radar Interrogation for Passive Wireless Sensors Applications”, International Conference on Microwaves, Radar and Wireless

Communications (MIKON), Jun 2014, Gdansk, Poland <hal-01024205> fernabfragbare

Sensoren auf Basis von HF-Resonatoren (» 1 GHz) für verschiedene physikalische

Messgrößen bekannt, wobei auch als weitere Quellen die Druckschriften US 2014 049 268 A1 und US 2005 241 403 A1 zu nennen sind.

Weiter sind aus den Druckschriften US 6,404,304 B1 und US 7,339,446 B2 verstimmbare Mikrowellenfilter in MEMS-Bauweise zu entnehmen, bei denen ein biegbares Element („elastic member“) zur Kontrolle der HF-Resonanzfrequenz dient.

Das Messen von zeitabhängigen und schwachen Magnetfeldern gelingt u. a. mit

magnetoelektrischen Sensoren, kurz ME-Sensoren, die üblich einen Materialverbund mit wenigstens einer magnetostriktiven und einer piezoelektrischen Materialphase in mechanischer Kopplung miteinander umfassen. Die magnetostriktive Phase erfährt dabei durch das

Magnetfeld eine Längenänderung, die sich über die mechanische Kopplung auf die

piezoelektrische Phase überträgt und eine messbare elektrische Spannung hervorruft. Ist das Magnetfeld zeitlich periodisch oder gar harmonisch, dann vollführt der ME-Sensor eine oszillierende Bewegung, und es hat sich bewährt, ihn als Schwinger auszugestalten. Bei Anregung des Schwingers in seiner mechanischen Resonanz bewirkt die Überhöhung der Schwingungsamplitude, dass sehr schwache Magnetfelder bereits große Spannungssignale hervorrufen. Dies ist der Grund für die Empfindlichkeit z.B. eines ME-Bimorphs, der gewöhnlich aus zwei Schichten und ggf. einem Substrat besteht.

Die resonante Schwingung kann unmittelbar durch das periodische Magnetfeld angeregt werden. Miniaturisierte ME-Schwinger weisen jedoch Resonanzen im hohen Kilohertz-Bereich auf, während sich die hier interessierenden biomagnetischen Felder im Frequenzband unterhalb von 200 Hz befinden. Mittels eines Modulationsmagnetfeldes nahe der mechanischen Resonanzfrequenz des Schwingers kann ein niederfrequentes Magnetfeld in die Resonanz umgesetzt werden, offenbart in der Druckschrift EP 2 635 913 B1.

Alternativ ist dies auch, offenbart in der Druckschrift EP 3 104 186 A1 durch das Anlegen einer Drive-Spannung an die piezoelektrische Phase des ME-Sensors möglich, sofern diese eine nicht-lineare Längenänderung mit der Drive-Spannung aufweist. Die elektrisch vermittelte Frequenzumsetzung ist technisch deutlich leichter zu realisieren als ein magnetisches

Modulationsfeld, allerdings stört die Drive-Spannung als Großsignal auch das Spannungs- Messsignal des ME-Sensors.

Eine weitere Störquelle für das magnetoelektrische-Sensorsignal ist das thermische Rauschen der piezoelektrischen Phase. Ferner ist noch das diesbezügliche Problem der Sensitivität zu nennen, das insbesondere bei schwachen beispielsweise biologischen Magnetfeldern zum Tragen kommt.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Mikrowellenresonator- Magnetfeldmessvorrichtung zur Messung von magnetischen Wechselfeldern sowie ein dazugehöriges Magnetfeldmessverfahren aufzuzeigen, wobei diese eine einfachere Herstellung insbesondere auch von magnetoelektrischen Dünnschicht-Sensoren, kurz auch ME-Sensoren, zur Messung von kleinsten magnetischen Wechselfeldern unterschiedlicher Frequenz ermöglichen soll.

Ferner soll das Auslesen derartiger Mikrowellenresonator-Magnetfeldmessvorrichtung einfacher als bisher werden, wobei insbesondere Störeffekte und Rauschquellen in der Messung und / oder Auswertung eliminiert werden sollen, wobei insbesondere das thermische Rauschen der piezoelektrischen Schicht problematisch im Stand der Technik ist.

Ferner soll es möglich sein, eine weitere Miniaturisierung derartiger Mikrowellenresonator- Magnetfeldmessvorrichtungen zu ermöglichen, insbesondere derartige Sensoren zu

miniaturisieren.

Ferner sollen weitere Einstellmöglichkeiten geschaffen werden, die eine Verbesserung der Messung ermöglichen. Ein Erfindungsgedanke soll weiterhin auch darauf gerichtet sein, dass eine technologische einfache Herstellung ermöglicht wird, nämlich beispielsweise das bewusste Weglassen von Komponenten des Standes der Technik, wie beispielsweise der Piezoschicht, wobei bestimmte vorhandene Rauschquellen der konventionellen Auslesemethoden nicht mehr auftreten sollen, z.B. das Rauschen der Piezoschicht, und dass durch die Nutzung zweier unabhängiger

Resonanzen die Sensitivität beispielsweise durch die Variation der Mikrowellen-Güte variiert werden soll.

Gelöst werden diese Aufgaben mit einer Magnetfeldmessvorrichtung zur Messung von magnetischen Wechselfeldern gemäß Hauptanspruch sowie einem Magnetfeldmessverfahren mit einer erfindungsgemäßen Magnetfeldmessvorrichtung gemäß nebengeordnetem Anspruch bzw. den jeweils untergeordneten Ansprüchen.

Die Mikrowellenresonator-Magnetfeldmessvorrichtung zur Messung von magnetischen

Wechselfeldern umfasst eine Grundplatte mit wenigstens einem Abstütz-/Lager-/Einspannpunkt, wenigstens einen als Mikrowellen-Resonator ausgebildeten mechanischen Schwinger in Form eines Cantilevers mit wenigstens einer magnetostriktiven Schicht, wobei dieser wenigstens an einer Stelle mit der Grundplatte in dem wenigstens einen Abstütz-/Lager-/Einspannpunkt verbunden und gelagert ist, wenigstens eine Einkopplung für Mikrowellen und wenigstens eine Auskopplung für Mikrowellen wobei die Grundplatte und der als Mikrowellen-Resonator ausgebildete mechanische Schwinger wenigstens teilweise elektrisch leitfähig ausgebildet und miteinander elektrisch leitfähig verbunden sind.

Die Erfindung schlägt in einem ersten Aspekt vor, zur Signalauskopplung auf das Piezo- Elektrikum zu verzichten und stattdessen die magnetostriktive Phase als Bestandteil einer veränderlichen oder beweglichen Komponente eines verstimmbaren Mikrowellen-Resonators vorzusehen. Mikrowellen- oder HF-Resonatoren sind üblich passive elektrische Schwingkreise, in die kapazitiv oder induktiv oszillierende elektromagnetische Felder ein- und ausgekoppelt werden können. Die HF-Resonanzfrequenz dieser Schwingkreise wird durch ihre

Feldenergiespeicher, mithin durch ihre Form, bestimmt, und sie können als effektive

Frequenzfilter wirken, da sie in entsprechender Ausführung nur Signale in ihrer HF-Resonanz passieren lassen bzw. wieder aussenden.

Erfolgt nun erfindungsgemäß durch Einwirken eines zu messenden Magnetfeldes auf die magnetostriktive Phase eine Änderung wenigstens eines der Feldspeicher des HF-Resonators, so ändert sich dessen HF-Resonanzfrequenz entsprechend im Takt des einwirkenden

Magnetfeldes, wodurch sich im Prinzip hieraus bereits Amplitude und Frequenz des

Magnetfeldes ablesen lassen. Insbesondere kann in einer besonders bevorzugten Ausführungsform die Mikrowellenresonator- Magnetfeldmessvorrichtung Piezoschicht-frei auslesbar ausgebildet sein, so dass eine die piezoelektrische Schicht weggelassen werden kann, was wiederum die technologische

Komplexität verringert und das thermisch-elektrische Rauschen der piezoelektrischen Schicht vermeidet. Weiter kann zudem auf einen Ladungsverstärker verzichtet werden, dessen

Verstärkung von der Sensorkapazität abhängig ist und dessen Rückkopplungsnetzwerk entsprechend angepasst werden müsste.

Die mechanische Auslenkung wird mit Hilfe eines zusätzlich integrierten Hochfrequenz- Mikrowellen-Resonators detektiert, was sich vorteilhaft zur Empfindlichkeitssteigerung ausnutzen lässt und technologische Schritte bei der Herstellung spart.

Durch die Auslesung über die Mikrowelle wird die piezoelektrische Schicht auf dem Sensor überflüssig und das thermische Rauschen durch die piezoelektrischen Verluste entfällt vollständig.

Die Erfindung gestattet zudem die Anwendung von magnetischen

Frequenzumsetzungsverfahren, mit denen niederfrequente (z.B. biomagnetische) Signale in der mechanischen Resonanz des mechanischen Schwingers gemessen werden können. Durch das nichtlineare Verhalten der Magnetisierung des Sensors wird ein niederfrequentes Signal in die mechanische Resonanz des mechanischen Schwingers umgesetzt und dann über die

Mikrowelle ausgelesen.

Die Einkopplung für Mikrowellen und/oder die Auskopplung für Mikrowellen erfolgt besonders bevorzugt kapazitiv oder induktiv. Es sind entsprechende Einkopplungs- und

Auskopplungspunkte für die Mikrowellen vorgesehen.

In der Grundplatte kann insbesondere bevorzugt eine Abstimmschraube und/oder eine einstellbare Reaktanz und/oder eine Geometrieverstellung zur Verstimmung des als

Mikrowellen-Resonator ausgebildeten mechanischen Schwingers vorgesehen sein, so dass eine Einstellmöglichkeit des Resonators gegeben ist.

Der Gütefaktor des Resonators kann beispielsweise über die Mikrowellen-Resonanz eingestellt werden, beispielsweise durch Verstellen der Abstimm- bzw. der Stimmschraube oder Variieren der Verkopplung, was eine Abstimmung der Signalstärke ermöglicht.

Der als Mikrowellen-Resonator ausgebildete mechanische Schwinger kann in einer

bevorzugten Ausführungsvariante in genau einem Punkt an einem der Enden oder in der Mitte oder in genau zwei Punkten, dem ersten und dem zweiten Ende des als Mikrowellen-Resonator ausgebildeten mechanischen Schwingers gelagert sein. Durch die elektromagnetischen Felder fließen hochfrequente Ströme, die sich im Bereich der Skin-Eindringtiefe konzentrieren, wobei die Erfindung entsprechend optional vorsieht, die Oberfläche des Sensors in diesem Bereich möglichst leitfähig zu gestalten, was beispielsweise durch eine Ummantelung des mechanischen Schwingers mit einer Goldschicht entsprechender Dicke erfolgen kann. Hierdurch wird die Güte des Mikrowellen-Resonators gesteigert.

Es wird vorgeschlagen, den Cantilever auf seiner gesamten Oberfläche elektrisch gut leitend auszubilden, beispielsweise durch einen Goldüberzug.

Die Länge des mit einer gut leitfähigen Schicht versehenen Abschnitts des Cantilevers beträgt insbesondere sinnvollerweise ApW/2 oder ApW/4, also die Hälfte bzw. ein Viertel der

Mikrowellen- Wellenlänge. Die magnetostriktive Schicht unterhalb der gut leitfähigen Schicht kann über die volle oder auch nur einen Teil der Länge aufgebracht sein.

Die Mikrowellenresonator-Magnetfeldmessvorrichtung kann als Hohlraumresonator ausgebildet sein.

Die magnetostriktive Schicht kann insbesondere in Dünnschichttechnologie auf dem Cantilever aufgebracht sein.

Weiter bzw. alternativ kann die magnetostriktive Schicht selbst als Cantilever ausgebildet sein.

Bei diesen zuvor genannten zwei Varianten wird diesseits auf miniaturisierte Magnetfeldsonden abgezielt, bei denen die magnetostriktive Phase in Dünnschichttechnologie auf Cantilevern abgeschieden bzw. selbst als Cantilever aufgebaut wird. Hier wird vorzugsweise die

Resonanzüberhöhung der mechanischen Schwingung der Cantilever ausgenutzt werden, um auch schwache Felder zu detektieren. Die Anregung der Cantilever kann dabei elektrisch über ein Piezoelement erfolgen, welches allerdings nur als Antrieb und nicht mehr zur

Signalauskopplung dient, was die bisherigen Störungen im Stand der Technik vermeidet. Dabei kann auch die Frequenzumsetzung des zu messenden Magnetfeldes in die mechanische Resonanz des Cantilevers wie zuvor erfolgen.

Die HF-Resonanzfrequenz (> 1 GHz) liegt typisch wenigstens drei Größenordnungen über der mechanischen Resonanzfrequenz (< 1 MHz), d.h. aus Sicht des HF-Resonators erfolgt seine Verstimmung auch im„doppelt resonanten“ Betrieb durch den schwingenden Cantilever langsam.

Die Mikrowellenresonator-Magnetfeldmessvorrichtung kann besonders bevorzugt Piezoschicht- frei ausgebildet sein, wobei sich diese Piezoschicht-Freiheit auf die Signalauskoppelbarkeit bezieht. Ein Erregen mittels einer Piezo-Transducer Schicht soll weiterhin möglich sein können, so dass zwar ein Erregen möglich ist, jedoch gerade ein Auslesen über eine piezoelektrische Schicht bevorzugt nicht möglich oder gar ausgeschlossen werden sollte. Die Mikrowellenresonator-Magnetfeldmessvorrichtung kann insbesondere kontaktlos auslesbar und/oder fernauslesbar ausgebildet sein.

Der als Mikrowellen-Resonator ausgebildete mechanische Schwinger kann in einer

Ausführungsvariante über ein Piezo-Transducer-Element elektrisch anregbar ausgebildet sein.

Um die Güte der Anordnung zu erhöhen, kann die Anordnung auch als Hohlraumresonator ausgelegt werden, als dessen Deckel ein zweiseitig eingespannte Bieger fungiert. Ein angelegtes Wechselfeld wird den Bieger wiederum in Schwingung versetzen und die

Resonanzfrequenz im Resonator variieren.

Da der Sensor in einem Hohlraum eingeschlossen werden kann, können externe akustische oder elektrische Störungen bereits durch die Anordnung abgeschirmt werden.

So genannte„Stimmgabelsensoren" zur Unterdrückung von Gleichtaktstörungen sind auch möglich.

Bei dem Magnetfeldmessverfahren mit einer erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator- Magnetfeldmessvorrichtung wird die Mikrowellenresonator-Magnetfeldmessvorrichtung insbesondere in der Grundvariante in Mikrowellen-Resonanz betrieben.

In einer bevorzugten Ausführungsform wird die Mikrowellenresonator- Magnetfeldmessvorrichtung in doppelter Resonanz betrieben, wobei dies in Mikrowellen- Resonanz und in mechanischer Resonanz erfolgt, wobei hierbei ein Verstimmen des

Mikrowellen-Resonators durch den zugleich in mechanischer Resonanz schwingenden mechanischen Schwinger erfolgt.

Ein weiterer Vorteil kann sich bei Verwendung von zwei getrennten Resonanzfrequenzen derart ergeben, da beide Frequenzen individuell eingestellt werden können, was wiederum neue Abstimmungsmöglichkeiten ermöglicht.

Ferner kann ein Fernauslesen des / der Mikrowellenresonator-Magnetfeldmessvorrichtung erfolgen, wobei die Schwingung des als Mikrowellen-Resonator ausgebildeten mechanischen Schwingers ohne eigene Energieversorgung durch ein Einstrahlen von gepulster oder intensitätsmodulierter elektromagnetischer Strahlung hoher Energie angeregt wird und ein Auslesen dessen Reaktion / Antwort über Mikrowellenstrahlung erfolgt.

Als diesbezüglich weiterer Aspekt der Erfindung ergibt sich also bei der Ausgestaltung des Magnetfeldsensors als fernauslesbare Einheit ohne eigene Energieversorgung. Es ist demnach möglich, die Schwingung des Cantilevers durch die Einstrahlung von gepulster oder

intensitätsmodulierter EM-Strahlung hoher Energie anzuregen und seine Antwort über eine breitbandige Mikrowellenabfrage niedriger Energie auszulesen. Der Sensor verhält sich dabei wie ein modulierter Streukörper. Die Modulation bzw. ihr a priori unbekannter Anteil beruht dabei unmittelbar auf dem am Ort des Sensors und entlang des Cantilevers zu messenden wirksamen Niederfrequenz-Magnetfeld.

Hierbei verhält sich die Mikrowellenresonator-Magnetfeldmessvorrichtung als ein modulierter Streukörper und die Modulation bzw. der a priori unbekannte Anteil beruht unmittelbar auf dem am Ort der Mikrowellenresonator-Magnetfeldmessvorrichtung und entlang des als Mikrowellen- Resonator ausgebildeten mechanischen Schwingers wirksamen Magnetfeldes.

Eine weitere besonders bevorzugte Ausgestaltungsvariante wird in der Ausgestaltung als passives System gesehen, wobei dem System Energie durch gepulste oder

intensitätsmodulierte elektromagnetische Strahlung zugeführt wird, während gleichzeitig eine Abfrage des Sensors mit Mikrowellenstrahlung erfolgt. Die Pulsrate bzw. Modulationsfrequenz der Energie zuführenden Strahlung sind dabei auf die HF-Resonanz des Schwingkreises abgestimmt.

Diese Variante stellt jedoch eine interessante Alternative zum klassischen ME-Bimorph dar, dessen Eigenschaften auch in dieser Technologieoffenbarung die Grundlage der Auslegung bilden. Der neue Sensor kann ohne elektrische Spannungsversorgung und insbesondere ohne äußere Anschlüsse ausgestaltet sein. Vielmehr kann er als autonome Einheit in einer magnetisch neutralen Hülle, z.B. aus Kunststoff, gekapselt ausgestaltet sein. Dies lässt neue Einsatzmöglichkeiten, etwa im Außenraum unter Witterung oder sonstigen korrodierenden Bedingung oder auch im Inneren lebender Organismen zu.

Weiterhin kann eine Mehrzahl solcher Sensoren in einem Raumgebiet nach Belieben verteilt und einzeln oder zusammen von einem Nutzer abgefragt werden, der eine entsprechende EM- Strahlungsquelle ausrichtet. Die Technologie der Erfindung basiert auf der von ME-Sensoren bekannten Magnetostriktion mit Resonanzüberhöhung kombiniert mit bekannter und bereits umgesetzter HF-Resonatortechnik.

Zur Miniaturisierung oder zur Einführung eines Fernzugriffs kann das Layout des Mikrowellen- Resonators leicht verändert werden.

Die zum Auslesen benötigten Geräte sind beispielsweise Standard-Mikrowellengeräte.

Mögliche Anwendungsgebiete derartiger Magnetfeldmessvorrichtungen bzw. Sensoren sind beispielsweise bzw. auch insbesondere zerstörungsfreies Testen von Materialien, die Messung biomagnetischer Signale wie Herzsignale, beispielweise über Magnetokardiografie, oder die Lokalisation von Hirnschrittmacher-Elektroden.

Bevorzugte Ausführungsformen und Funktionsweisen:

Bei der erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldmessvorrichtung, auch als Dünnschicht-ME-Sensor bezeichnet, wird ein magnetostriktiv beschichteter Biegebalken zusätzlich als Mikrowellen-Resonator betrieben. Dazu kann der Biegebalken insbesondere als mechanischer Schwinger der Länge einer viertel oder halben Wellenlänge der Mikrowelle über einer elektrisch leitenden Fläche einseitig oder beidseitig eingespannt ausgebildet sein. Über Magnetostriktion ändert sich die Länge I oder Höhe h des so entstandenen

Mikrowellenresonators und damit dessen Resonanzfrequenz proportional zur momentanen Stärke des zu messenden Magnetfeldes. Die Höhe des Biegebalkens über der leitenden Ebene / Grundplatte wird dabei möglichst klein, aber größer als die maximale Schwingungsamplitude des Biegers bei transversaler mechanischer Bewegung gewählt. Über kapazitive oder induktive Kopplungen wird eine Mikrowelle in den Resonator eingespeist und wieder ausgekoppelt. Durch eine spezielle Anordnung der Ein- und Auskopplung kann das Mikrowellensignal durch den Sensor in Amplitude und Phasenwinkel verändert werden. Eine Abstimmschraube kann insbesondere eine zusätzliche mechanische Abstimmung der Mikrowellenresonanz erlauben. Ein schwaches magnetisches Feld kann nun dadurch gemessen werden, dass

a) der ein- oder beidseitig eingespannte ME-Sensor durch ein magnetisches Feld in seiner mechanischen Resonanz zum Schwingen mit einer erhöhten Amplitude angeregt wird;

b) ein zusätzliches magnetisches Gleichfeld kann die Bewegung des Sensors außerdem verändern;

c) die mechanische Bewegung verschiebt die Mikrowellenresonanz in Amplitude und Phase; d) Amplitude und/oder Phase der Mikrowelle kann durch günstige Ausgestaltung der

elektromagnetischen Resonanz besonders stark beeinflusst und verändert werden;

e) gleichzeitig kann sowohl in mechanischer als auch in elektromagnetischer Resonanz gearbeitet werden, wobei diese sich weitgehend unabhängig voneinander einstellen lassen, wodurch Resonanzüberhöhungen doppelt ausgenutzt werden können;

f) die Ausgestaltung der Vorrichtung kann so gewählt werden, dass die Abhängigkeit der

Verschiebung sich möglichst linear zum zu messenden magnetischen Wechselfeld verhält.

Die Vorteile der Erfindung lassen sich nachfolgend zusammenfassen:

- Die Sensoren sind miniaturisierbar durch das Auslesen über Hochfrequenz (HF), was einen klaren Vorteil gegenüber im Stand der Technik üblichen Auslesemethoden wie beispielsweise optisch über Laser ergibt;

- technologisch einfach herzustellen, da auf die piezoelektrische Schicht zur Signalauskopplung verzichtet werden kann;

- die Integrierbarkeit mit HF Verstärkern ist auf einfachste Weise nunmehr möglich;

- die Ausnutzung zweier Resonanzen ergibt deutlich mehr Einstellmöglichkeiten, insbesondere ist ein präzises Einstellen der Mikrowellen (pw)-Resonanzen möglich, was bei den

konventionellen Ausleseverfahren überhaupt nicht möglich ist;

- es handelt sich um ein technologisch einfacheres Herstellverfahren für derartige Sensoren, da durch den bewussten Verzicht der piezoelektrischen Schicht einfachere Sensoren realisiert werden können;

- durch den Verzicht auf die piezoelektrische Schicht entfällt auch wenigstens eine

Rauschquelle, nämlich unter Anderem diejenige im Verstärker und in der piezoelektrischen Schicht selbst, bedingt durch das thermische Rauschen;

- ein Auslesen nach dem Sensor ist durch die HF-Technologie nicht mehr störanfällig;

- ferner ist erstmals ein Auslesen über Funkmodule mit anderem Frequenzbereich möglich;

- eine Vakuumverkapselung ist durch Anordnung als Kavität angezeigt bzw. möglich;

- das erfindungsgemäße Verfahren erlaubt auch ein Auslesen mit anderen

Ansteuerungsmethoden, wie bspw. Delta E;

- die Vorrichtung in Form des Sensors sowie das Verfahren haben ein hohes Potential zur einfachen drahtlosen Abfrage von einer Mehrzahl von Sensoren, die in einem räumlich verteilten Netzwerk angeordnet sind.

Nachfolgend werden weitere Ausführungsbeispiele bzw. -formen der Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnungen in der Figurenbeschreibung beschrieben, wobei diese die

Erfindung erläutern sollen und nicht beschränkend zu werten sind:

Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer Aufsicht;

Fig. 2 eine schematische Darstellung des ersten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 aus Fig. 1 in einem Schnitt bzw. schematischen Seitenansicht;

Fig. 3 eine schematische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer räumlichen Schrägansicht;

Fig. 4 eine schematische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer

schematischen Seitenansicht;

Fig. 5 eine schematische Darstellung eines vierten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer

schematischen Seitenansicht; Fig. 6 eine schematische Darstellung eines fünften Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer

schematischen Seitenansicht;

Fig. 7 eine schematische Darstellung eines sechsten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer

schematischen Seitenansicht;

Fig. 8 eine schematische Darstellung eines siebten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer räumlichen Schrägansicht;

Fig. 9 eine schematische Darstellung eines achten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer Aufsicht;

Fig. 10 eine schematische Darstellung des achten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer

schematischen Seitenansicht;

Fig. 11 eine schematische Darstellung eines neunten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer Aufsicht;

Fig. 12 eine schematische Darstellung des neunten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer

schematischen Seitenansicht;

Fig. 13 eine schematische Darstellung eines zehnten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer Aufsicht;

Fig. 14 eine schematische Darstellung des zehnten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer

schematischen Seitenansicht;

Fig. 15 eine schematische Darstellung eines elften Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer räumlichen Schrägansicht;

Fig. 16 eine schematische Darstellung eines zwölften Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer räumlichen Schrägansicht;

Fig. 17 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels eines Ausführungsbeispiels einer Frequenzdiskriminatorerkennung für den magnetoelektrischen pw-Resonator und Fig. 18 eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels des magnetoelektrischen pw- Resonatorsystems in einem Blockschaltbild.

An dieser Stelle soll nochmals darauf hingewiesen werden, dass die hier dargestellten

Ausführungsbeispiele die Erfindung nur erläutern und nicht in Ihrem Schutzbereich

beschränken sollen.

Zum Verständnis der Erfindung wird auf die Bezugszeichenliste verwiesen, aus der die einzelnen Elemente und Merkmale, die in den Figuren beschrieben und dargestellt werden, entsprechend entnehmbar sind.

In Fig. 1 ist eine schematische Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer Aufsicht dargestellt.

Der Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensor 1 umfasst eine Grundplatte 11 und einen daran über einen Cantilever-Abstütz-/Lager-/Einspannpunkt 111 angeordneten Cantilever 13, der eine magnetostriktive Schicht 12 aufweist. Der Cantilever 13 mit der magnetostriktiven Schicht 12 bilden zusammen einen mechanischen Schwinger 12 + 13, wobei dieser einseitig gelagert auf der Grundplatte 11 befestigt ist.

Hierbei sind in der Grundplatte 11 eine Einkopplung 161 und eine Auskopplung 162 für Mikrowellen vorgesehen.

Ferner ist noch eine Abstimmschraube 17 in der Grundplatte 11 vorgesehen.

Die Grundplatte 11 und der als Mikrowellen-Resonator ausgebildete mechanische Schwinger 12 + 13 sind wenigstens teilweise elektrisch leitfähig ausgebildet und miteinander elektrisch leitfähig verbunden.

Das Mikrowellen-Signal kann beispielsweise kapazitiv mit Standard-SMA-Steckverbindungen über die Einkopplung 161 eingekoppelt werden, wobei der entsprechende Innenleiter über die Oberfläche der Grundplatte 11 hinausragen kann und dessen überstehende Länge die

Kopplungsstärke beeinflusst.

Die Grundplatte 11 kann beispielsweise aus Kupfer gefertigt sein.

Zur Herstellung einer durchgängigen elektrischen Verbindung können insbesondere elektrisch leitfähige Kleber verwendet werden, um den mechanischen Schwinger 12 + 13 in dem

Cantilever-Abstütz-/Lager-/Einspannpunkt 111 zu befestigen.

Die vorgesehene Abstimmschraube 17 wird bevorzugt in der Nähe des maximalen elektrischen Feldes des Resonators positioniert, wobei je kleiner der Abstand zwischen Abstimmschraube 17 und mechanischen Schwinger 12 + 13 ist, desto geringer ist die Resonanz-Frequenz des Resonators und umso höher der gemessene Q-Faktor. Die Abstimmschraube 17 kann manuell auf den nächstgelegenen Abstand zum mechanischen Schwinger 12 + 13 eingestellt werden, wobei der Stromkreis nicht kurzgeschlossen werden darf.

Als mögliche Materialien des mechanischen Schwingers 12 + 13 können Si-Freischwinger verwendet werden, die beispielsweise vollständig mit Ta und verschiedenen Au-Dicken beschichtet sein können.

Insbesondere kann der Cantilever 13 vollständig mit einem leitfähigen Material wie Gold bedeckt sein, wobei dessen Dicke größer als die Leitschichtdicke (Skin-Effekt) sein kann.

An dieser Stelle sei darauf hingewiesen, dass die Position der pw-Kopplung frei gewählt werden kann.

Fig. 2 zeigt eine schematische Darstellung des ersten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 aus Fig. 1 in einem Schnitt bzw. schematischen Seitenansicht.

Fig. 3 zeigt eine schematische Darstellung eines zweiten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer räumlichen

Schrägansicht.

Hierbei ist der mechanische Schwinger 12 + 13 zweiseitig auf der Grundplatte 11 gelagert.

Die entsprechende transversale Oszillation T ₀ ist ebenso dargestellt. Ebenso sind die entsprechenden elektrischen Felder / E-Feld E und magnetischen Felder / H-Held H dargestellt.

Es ist quasi ein magnetoelektrischer Resonator mit Mikrowellenstreifenleitung ausgebildet.

In Fig. 4 ist eine schematische Darstellung eines dritten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer schematischen Seitenansicht gezeigt.

Hierbei ist eine beidseitige Lagerung des mechanischen Schwingers 12 + 13 auf der

Grundplatte 11 vorgesehen. In der Mitte ist die entsprechende Abstimmschraube 17

angeordnet.

Ferner sind die E-Felder und H-Felder dargestellt.

Fig. 5 zeigt eine schematische Darstellung eines vierten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer schematischen Seitenansicht.

Hierbei ist ebenfalls eine beidseitige Lagerung des mechanischen Schwingers 12 + 13 auf der Grundplatte 11 vorgesehen. In der Mitte ist alternativ zur Abstimmschraube 17 eine einstellbare Reaktanz 171 angeordnet. In Fig. 6 wird eine schematische Darstellung eines fünften Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer schematischen Seitenansicht gezeigt.

Hierbei ist eine mittige Lagerung des mechanischen Schwingers 12 + 13 vorgesehen, wobei im Außenbereich des Cantilevers 13 eine kapazitive Ein- 161 bzw. Auskopplung 162 für

Mikrowellen vorgesehen ist.

Die entsprechenden E-Felder und H-Felder sind dazugehörig dargestellt.

Fig. 7 zeigt eine schematische Darstellung eines sechsten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer schematischen Seitenansicht.

Hierbei sind zwei mechanische Schwinger 12 + 13 mit zueinander ausgerichteten

magnetostriktiven Schichten 12 auf der jeweiligen Cantilever-Oberfläche 13 dargestellt, wobei diese über eine Cantilever-Beabstandung 131 zueinander derart beabstandet sind, dass diese frei schwingen können und sich dabei nicht berühren.

Hierdurch werden Gleichtaktstörungen unterdrückbar, da quasi eine Stimmgabelsensorik ausgebildet ist.

Fig. 8 zeigt eine schematische Darstellung eines siebten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer räumlichen

Schrägansicht.

Hierbei handelt es sich um eine im Vergleich zu Fig. 7 um 90° gedrehte

Stimmgabelresonatoranordnung mit Mikrowellenbandleitung.

Fig. 9 erläutert eine schematische Darstellung eines achten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer Aufsicht.

Hierbei ist eine erste Ausführungsform eines miniaturisierten Mikrowellenresonators 1 dargestellt. Es handelt sich um einen einseitig gelagerten Cantilever 13 mit magnetostriktiver Schicht 12, der an einer Grundplatte 11 in einem Cantilever- Abstütz-/Lager-/Einspannpunkt 111 angeordnet ist.

Es sind entsprechende Mittel zur Einkopplung 161 und Auskopplung 162 vorgesehen. Ferner ist ein entsprechender Mikrowellenresonator in Mikrostreifenleitertechnik 15 vorgesehen. Eine mögliche Realisierung ist hierbei in Form eines Split-Ring Resonators gegeben.

In Fig. 10 ist eine schematische Darstellung des achten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer schematischen Seitenansicht gezeigt. Fig. 11 zeigt eine schematische Darstellung eines neunten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer Aufsicht.

Hierbei ist ergänzend ein Piezo-Transducer 14 auf dem Cantilever 13 vorgesehen, wobei dieser gerade nicht zum Auslesen verwendet wird, sondern ausschließlich zum Anregen des als Mikrowellen-Resonator ausgebildeten mechanischen Schwingers 12 + 13 dient, so dass der Cantilever 13 in Schwingungen versetzt wird. Mögliche Ausbildungsformen für den Piezo- Transducer 14 umfassen unter anderen IDT Elektroden und Plattenkondensator Elektroden.

Fig. 12 zeigt eine schematische Darstellung des neunten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer schematischen Seitenansicht.

In Fig. 13 ist eine schematische Darstellung eines zehnten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer Aufsicht gezeigt.

Hierbei ist ein Ferrit-Element 18 auf der Unterseite des Cantilevers 13 angeordnet.

Fig. 14 zeigt eine schematische Darstellung des zehnten Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer schematischen Seitenansicht.

Fig. 15 zeigt eine schematische Darstellung eines elften Ausführungsbeispiels des

erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer räumlichen

Schrägansicht.

Hierbei ist ein kontaktloses Auslesen gezeigt, bei dem eine Auslesevorrichtung 19 mit einer Antenne entsprechend auf den Mikrowellenresonator 1 gerichtet ist. Hierbei ist der

Mikrowellenresonator 1 als modulierter Streukörper ausgebildet.

Durch unterschiedliche Mikrowellenresonanzfrequenzen einzelner Mikrowellenresonatoren 1 können eine Vielzahl von Mikrowellenresonatoren 1 unterschieden werden.

In Fig. 16 ist eine schematische Darstellung eines zwölften Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensors 1 in einer räumlichen

Schrägansicht dargestellt.

Ergänzend zu Fig. 15 ist in diesem Beispiel ein magnetostriktiver Schwinger 12 + 13 mit einem zusätzlichen Piezo-Transducer 14 ausgestattet, wobei zusätzlich zu dessen Ansteuerung ein Dipol für pulsmodulierte Mikrowellen f _m0d 22 sowie ein Hüllkurvengleichrichter 23 vorgesehen sind, so dass über eine zusätzliche Antenne 21 eine Einstrahlung einer pulsmodulierten Mikrowelle f _m0d zur Schwingungsanregung vorgesehen ist. Fig. 17 zeigt eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels eines

Ausführungsbeispiels einer Frequenzdiskriminatorerkennung für den magnetoelektrischen pw- Resonator 1. Systemrauschenquellen sind durch gestrichelte Kästchen dargestellt.

Umgebungslärmquellen sind mit gestrichelten Kästchen gekennzeichnet.

Das Sensorsignal 47 moduliert die pw-Resonanz des Resonators 1 , angezeigt durch den Steuerpfeil. Abhängig von der eingestellten pw-Signalfrequenz werden Phase und Amplitude der Mikrowelle moduliert, die als Seitenbänder im Ausgangsspektrum zu sehen sind.

Fig. 18 stellt eine schematische Darstellung eines Ausführungsbeispiels des

magnetoelektrischen pw-Resonatorsystems 1 in einem Blockschaltbild dar.

Für dieses Erkennungsschema wird das pw-Auslesesignal durch einen 3-dB-Leistungsteiler 44 in einen Sensor 45 und einen Referenzpfad 46 unterteilt. Es wird eine statische

Phasenverschiebung fME ohne angelegtes Signal Bs eingeführt. Im Referenzpfad 46 fügt ein in den Signalpfad eingefügter Phasenschieber 48 eine eingestellte Phase cpPS ein, wobei dieser die Einstellung der relativen Phasendifferenz AcpFD= fME cpPS am Phasendiskriminator ohne angelegtes Magnetsignal BS ermöglicht.

Bezugszeichenliste

I Mikrowellenresonator-Magnetfeldmessvorrichtung

Mikrowellenresonator-Magnetfeldsensor, kurz auch mnn-Sensor

I I Grundplatte

I I I Cantilever- Abstütz-/Lager-/Einspannpunkt

12 magnetostriktive Schicht

13 Cantilever

131 Cantilever-Beabstandung

14 Piezo-Transducer

15 Split-Ring Resonator

161 Einkopplung

162 Auskopplung

17 Abstimmschraube

171 einstellbare Reaktanz

18 Ferrit

19 Auslesevorrichtung, Antenne

21 Einstrahlantenne

22 Dipol für pulsmodulierte Mikrowelle fmod

23 Hüllkurvengleichrichter

30 Magnetisches Umgebungsrauschen

31 Magnetisches Signal

32 Magnetischer Bias

33 Magnetisches Rauschen

34 Magnetostriktion

35 Thermischmechanisches Rauschen

36 Mechanische Kopplung

37 Akustisches Rauschen

38 Mechanische Resonanz

39 HF-Resonanz / pw-Resonanz

40 HF-Signal / pw-Resonanz

41 Rauschen Signalverarbeitung

42 Analoge Signalverarbeitung

43 Phasenrauschen

44 3 dB Teiler

45 Sensor Zweig

46 Referenz Zweig 47 Sensorsignal

48 Phasenschieber

49 Rauschen Spektrumanalysator

50 Spektrumanalysator

E E-Feld

H H-Feld

f Frequenz

To Transversale Oszillation

Lo Longitudinale Oszillation