本发明涉及半导体晶体加工过程中， 采用多线锯切割机由晶棒或晶 锭加工成晶片过程中， 将砂浆从储存罐提升经管路喷淋到切割钢线上 的 装置技术领域。

背景技术

由于多线锯切割机加工半导体晶棒或晶锭切割 成晶片， 具有加工效 率较高， 成品率较高的特点， 所以得到了广泛使用。 然而， 砂浆流量的 不均匀性逐渐暴露出来， 砂浆流量的不均匀性影响着成品率的进一步提 高。 造成流量的不均匀的主要原因有： 砂浆泵的转轮提升砂浆过程中有 波动性和压力的变化。 随着半导体晶棒或晶锭尺寸的增大， 材料本身价 值的不断提高， 通过提高或保证加工成品率来降低加工成本， 减少经济 损失， 已成为一个急待解决的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种具有压力调节机构的 砂浆供给装置， 用该 装置可以将多线切割机切割使用的砂浆供送时 提高连续性、 降低波动性， 提高压力的一致性， 有利于提高成品率和效率； 本发明特别适用于半导 体行业的多线切割机中对砂浆的提升。 也可应用于其他的需要将高粘度、 高密度的流体提升的行业中。

本发明装置的主要技术方案是： 一种具有压力调节机构的砂浆供给 装置， 包括电机、 泵， 其特征在于具有机械式压力调节机构， 其结构： 泵体的出口通过连管和罐体连通，罐体上设有 砂浆出口， 罐体上具有机械 式压力自动调节结构。

所述的机械式压力自动调节结构可为： 罐体上口外沿安装紧固有弹 性隔膜， 弹性隔膜的上方设有保护弹性隔膜的盖式压套 ， 盖式压套套在 罐体上， 盖式压套和弹簧复位及调整机构相连。 其密封性很好， 工作非 常稳定、 可靠。

所述的机械式压力自动调节结构也可活塞式结 构等， 活塞杆和盖式 压套绞联。 所述的盖式压套具有向内凸的球冠面较佳， 更有利于提高弹性隔膜 的耐用性和寿命和保证其正常工作。 具有其他形状的面也可， 但不及向 内凸的球冠面为好。

所述的盖式压套可具有轴向滑动时避开浆出口 的长条孔。

所述的弹簧复位及调整机构的结构可以为： 盖式压套上具有至少 3 个与固定在罐体连接板上的导柱滑动配合的导 孔， 导孔设在盖式压套下 部的导孔板上， 导柱上在导孔板和导柱上的限位固定板之间设 有压力弹 簧。

所述的弹簧复位及调整机构的结构也可以用拉 力弹簧式结构等。 所述的罐体为圆筒状较好， 底部为倒圆台状， 连管和倒圆台的顶部 联通。 其体积紧凑、 浆流更顺畅。

所述的泵体最好具有内腔为圆柱形的泵桶， 内腔为圆柱形的泵桶中 设有具有螺旋槽绞龙式结构的转轮。

所述的具有螺旋槽绞龙式结构的转轮内安装最 好具有有矩形方块， 矩形方块内设有与转轴配合连接的方形孔， 转轴设有矩形方块及具有螺 旋槽绞龙式结构的转轮的限位结构。

所述的泵体的固定座内安装有用于定位固定转 轴的轴承， 轴承分别 由压盖、 轴承垫圈固定； 内腔为圆柱形的泵桶与固定座焊接。

本发明的积极效果是： 本发明解决了现有技术中一直存在的人们想 解决而又一直未能解决的问题； 利用该装置， 可以将多线切割机切割使 用的砂浆供送时提高连续性、 降低波动性， 提高压力的一致性， 有利于 提高成品率和效率。 本发明特别适用于半导体行业的多线切割机中 对砂 浆的提升， 也可应用于其他需要将高粘度、 高密度的流体提升的行业中。

本发明专利将螺旋槽结构应用到砂浆泵提升砂 浆的转轮上， 使砂浆 在提升过程中具有连续性， 减小波动性， 同时增加了具有随着压力变化 而体积能够膨胀和收缩的装置来吸收压力的波 动， 使压力均匀， 保证流 量均匀。

以下结合一个较好的实施例及其附图作详述， 但本实施例不能作为 对本发明的限定。

附图说明

图 1为本发明一个较好的实施例的结构示意图。

图 2为图 1的俯视图。 图 3为图 2中的 A-A旋转剖视图。

图 4为图 1中具有螺旋槽绞龙式结构的转轮 11的立体结构示意图。 图 5为图 4中转轮 11的 B-B剖面图。

图 6为图 1中矩形方块 13的剖面图。

图中标号说明 :1-机架板， 2-固定座， 3-螺栓， 4-联轴器， 5-压盖, 6-轴 承座， 7、 8-轴承垫圈， 9-螺钉， 10-内腔为圆柱形的泵桶， 11-具有螺旋槽 绞龙式结构的转轮， 12-转轴， 13-矩形方块， 14-螺母， 15-腔体， 16-连接 嘴， 17-轴承， 18-螺钉， 19-锁母， 20-长条孔， 21-螺母， 22-盖式压套， 23-导柱， 24-压力弹簧， 25-限位固定板， 26-螺钉， 27-电机， 28-螺钉， 29-环形压套， 30-弹性隔膜， 31-罐体， 32-连接板， 33-连管， 34螺旋槽， 35-向内凸的球冠面， 36-螺栓， 37-砂浆出口。

具体实施方式

参见图 1〜图 5，该具有压力调节机构的砂浆供给装置，包� �电机 27、 泵， 其特征在于具有机械式压力调节机构， 其结构： 泵体的出口通过连 管 33和罐体 31连通， 罐体 31上设有砂浆出口 37, 浆罐上具有机械式压 力自动调节结构。 机械式压力自动调节结构为： 罐体 31上口外沿安装紧 固有弹性隔膜 30， 弹性隔膜 30的上方设有保护弹性隔膜 30的盖式压套 22， 盖式压套 22套在罐体 31上， 盖式压套 22和弹簧复位及调整机构相 连。盖式压套 22具有向内凸的球冠面 35。弹簧复位及调整机构的结构为： 盖式压套 22上具有至少和 3个固定在罐体 31连接板 32上的导柱 23滑 动配合的导孔， 导孔设在盖式压套 22下部的导孔板上， 导柱 23上在导 孔板和导柱 23上的限位固定板 25之间设有压力弹簧 24。罐体 31为圆筒 状， 底部为倒圆台状， 连管 33和倒圆台的顶部联通。 盖式压套 22具有 轴向滑动时避开浆出口的长条孔 20。 所述的泵体具有内腔为圆柱形的泵 桶 10， 内腔为圆柱形的泵桶 10中设有具有螺旋槽绞龙式结构的转轮 11。 具有螺旋槽绞龙式结构的转轮 11内安装有矩形方块 13， 矩形方块 13内 设有与转轴 12配合连接的方形孔， 转轴 12设有矩形方块 （13 ) 及具有 螺旋槽绞龙式结构的转轮 11的限位结构。 泵体的固定座 2内安装有用于 定位固定转轴 12的轴承 17，轴承 17分别由压盖 5、轴承垫圈 7、 8固定； 内腔为圆柱形的泵桶 10与固定座 2焊接。

其他结构说明如下： 机架板 1通过螺钉紧固安装电机 27， 电机 27 安装联轴器 4与转轴 12连接， 机架板 1经螺栓 3紧固连接固定座 2， 固 定座 2内经螺钉 9紧固连接轴承座 6， 轴承座 6内安装了轴承 17和轴承 垫圈 7和轴承垫圈 8并经压盖 5和螺钉 18固定连接。 转轴 12经锁母 19 与轴承 17紧固连接， 内腔为圆柱形的泵桶 10与固定座 2焊接， 转轮 11 内紧密安装矩形块 13， 转轴 12经螺母 14将转轮 11和矩形块 13安装成 一体， 转轮 11被内腔为圆柱形的泵桶 10包含， 并形成腔体 15， 连接嘴 16与内腔为圆柱形的泵桶 10连接并与腔体 15相通， 连管 33与连接嘴 16和锥形罐体 31连接， 锥形罐体 31经螺栓 36和螺母 21与机架板 1紧 固连接， 导柱 23与螺栓 36连接， 限位固定板 25经螺钉 26与导柱 23紧 固连接， 压簧 24套在导柱 23上， 由固定板 25定位。 盖式压套 22有孔 安装在导柱 23由压簧 24下端面推压。 由环形压套 29及螺钉 26将弹性 隔膜 30紧固压装于锥形罐体 31上端面。 盖式压套 22在压簧 24及自重 作用下， 压在弹性隔膜 30上， 弹性隔膜 30经环形压套 28紧固连接在锥 形罐体 31上， 当罐体内的流体压力大时， 弹性隔膜 30受到压力作用， 可变形膨胀， 推动盖式压套 22向上移动， 压簧 24受到盖式压套 22的作 用力而收缩存储能量， 当腔体内的压力降低时， 压簧 24释放能量， 推压 盖式压套 22补充锥形罐体 31内流体的压力。

附图中显示的具有特定代表性实施例描述本发 明的结构。 本发明的 结构和方法能够有效的将高粘度、 高密度的流体如多线切割机切割使用 的砂浆进行提升并且保持连续性、 降低波动性， 同时保证压力的一致性。 本发明的具有压力补偿结构的砂浆供给装置及 其使用方法能够应用到半 导体行业的多线切割机中对砂浆的提升同时也 可应用到其他的需要将高 粘度、 高密度的流体提升的行业。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已， 并不用以限制本发明， 凡 在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、 等同替换改进等， 均应包 含在本发明的保护范围之内。