Vielschichtbauelement und Verfahren zum Herstellen eines VielSchichtbauelements

Die Erfindung betrifft ein vollaktives Vielschichtbauelement, ein Verfahren zum Herstellen eines vollaktiven Stapels und ein Verfahren zum Herstellen eines vollaktiven

Vielschichtbauelements aus dem vollaktiven Stapel.

Vielschichtbauelemente umfassen unter anderem Kondensatoren und Piezoaktoren, die jeweils alternierende dielektrische Schichten und Innenelektroden enthalten. Im Falle der

Piezoaktoren sind die dielektrischen Schichten zudem

piezoelektrisch. Daher gehören Piezoaktoren zu den

Piezoelernenten .

Piezoelemente werden unter anderem für Positionierelemente, Ultraschallwandler, Sensoren und in Tintenstrahldruckern sowie in der Automobiltechnik zum Ansteuern von

Kraftstoffeinspritzvorrichtungen verwendet. Die Wirkungsweise eines Piezoelements beruht auf der Deformation

piezokeramischer Materialien, wie z. B. Blei-Zirkonat- Titanat, unter Einwirkung eines elektrischen Feldes. Wird an das Piezoelement eine elektrische Spannung angelegt, so dehnt sich dieses in senkrechter Richtung zum erzeugten

elektrischen Feld aus (inverser Piezo-Effekt ) .

Vorteile von Piezoelementen sind unter anderem deren relativ große Geschwindigkeit, deren relativ große Effektivität und, wenn als Piezoaktor verwendet, deren relativ kleiner

Stellweg . Soll jedoch mit dem Piezoaktor ein relativ großer Stellweg erreicht werden, dann wird für den Piezoaktor ein Piezostapel aus mehreren, abwechselnd aufeinander folgenden

piezoelektrischen Schichten und Innenelektrodenschichten verwendet, wie dies z. B. in der JP 03174783 A offenbart ist.

Der in der JP 03174783 A offenbarte Piezoaktor ist derart ausgeführt, dass die Innenelektrodenschichten abwechselnd mit an gegenüber liegenden Außenflächen des Piezostapels

angeordneten Außenelektroden elektrisch verbunden sind. Die Innenelektrodenschichten, die mit einer der beiden

Außenelektroden elektrisch verbunden sind, sind daher bis zu der Außenseite, an der diese Außenelektrode angeordnet ist, für die elektrische Verbindung mit der Außenelektrode

herangeführt. Damit die Innenelektrodenschichten jedoch von der anderen Außenelektrode elektrisch isoliert sind, reichen die Innenelektrodenschichten nicht bis zur Außenseite des Piezostapels heran, an der die weitere Außenelektrode

angeordnet ist. In diesen Bereichen sind die

Innenelektrodenschichten von der Außenseite zurückgesetzt. Dies wird erreicht, indem der Piezostapel in diesen Bereichen mit Silikonharz gefüllten Schlitzen versehen ist.

Durch die zurückgesetzten Innenelektrodenschichten ergeben sich in diesen Bereichen zugeordneten piezoelektrischen

Schichten so genannte inaktive Zonen. Üblicherweise werden die inaktiven Zonen bei der schichtweisen Herstellung des Piezostapels erzeugt. Durch Toleranzen der Prozesse, Stapeln, Trennen, Entbindern und Schleifen während der Herstellung des Piezostapels mit inaktiven Zonen und aufgrund der Vorgabe einer zuverlässigen elektrischen Isolierung der

Innenelektrodenschichten zur entsprechenden Außenelektrode ergeben sich relativ große inaktive Zonen von typischerweise 10 Prozent des Piezostapelquerschnitts . Die inaktiven Zonen, die bei einer an den Außenelektroden- beziehungsweise

Innenelektrodenschichten angelegten elektrischen Spannung von einer reduzierten elektrischen Feldstärke durchsetzt werden und sich daher bei angelegter elektrischer Spannung weniger stark dehnen als die übrigen so genannten aktiven Zonen der Piezoelektrischen Schichten. Dies führt zu mechanischen

Spannungen insbesondere in den inaktiven Zonen und den

Randbereichen zu den inaktiven Zonen und kann zu so genannten Polungsrissen in den inaktiven und aktiven Zonen der

Piezoelektrischen Schichten, sowie in den Außenelektroden führen. Die Gefahr von Polungsrissen ist umso größer, je größer die inaktiven Zonen sind. Die Aufgaben der Erfindung sind, ein Vielschichtbauelement und ein Verfahren zu seiner Herstellung anzugeben, bei dem die Leistung im Betrieb verbessert ist. Insbesondere einen Piezoaktor zur Verfügung zu stellen, bei dem die mechanischen Spannungen in der Piezokeramik im Betrieb des Piezoaktors wesentlich verringert sind.

Die Aufgabe der Erfindung wird gelöst durch ein Verfahren zur Herstellung eines vollaktiven Stapels bzw. -riegels oder dessen grünen Vorläufers, umfassend:

Bereitstellen eines gesinterten oder ungesinterten

Stapels mit den jeweils in Stapelrichtung verlaufenden Seiten A, B, C und D aus mehreren abwechselnd aufeinanderfolgenden keramischen dielektrischen Schichten und

Innenelektrodenschichten, wobei die Innenelektrodenschichten bezüglich der Seiten A und C jeweils durchgehend ausgebildet sind und bezüglich entweder der Seite B oder der Seite D jeweils nicht durchgehend ausgebildet sind, so dass ein Teil der Innenelektroden oder deren ungesinterte Vorläufer die Seite B, nicht aber die Seite D, kontaktiert und ein anderer Teil der Innenelektroden oder deren ungesinterte Vorläufer die Seite D, nicht aber die Seite B, kontaktiert;

Zusammenfassen und temporäres Kontaktieren der die jeweilige Seite kontaktierenden Innenelektroden oder deren ungesinterte Vorläufer auf einer der Seiten B oder D über einen Außenkontakt mit temporären Isozonen, so dass die die jeweilige Seite kontaktierenden Innenelektroden selektiv elektrisch angesteuert werden können;

Elektrisches Ansteuern der über die Seite B

ansteuerbaren Innenelektroden und Beschichten mindestens der elektrisch angesteuerten Innenelektroden oder deren

ungesinterte Vorläufer auf der Seite A mit Lack und

Aushärten, Aufschmelzen und gegebenenfalls Entwickeln des Lacks, so dass nach dem Entwickeln oder Aufschmelzen die über die Seite B elektrisch ansteuerbaren Innenelektroden auf der Seite A mit Lack bedeckt sind;

Elektrisches Ansteuern der über die Seite D

ansteuerbaren Innenelektroden und Beschichten mindestens der elektrisch angesteuerten Innenelektroden oder deren

ungesinterte Vorläufer auf der Seite C mit Lack und

Aushärten, Aufschmelzen und gegebenenfalls Entwickeln des Lacks, so dass nach dem Entwickeln oder Aufschmelzen die über die Seite D elektrisch ansteuerbaren Innenelektroden auf der Seite C mit Lack bedeckt sind;

Aufbringen einer Einbrandpaste auf die Seiten A und C, sowie Entbindern und Brennen der Einbrandpaste, wobei der Lack entfernt wird; Vereinzeln des Stapels zu mindestens einem vollaktiven Stapel oder dessen grünem Vorläufer mit den beschichteten Innenelektroden oder deren ungesinterte Vorläufer auf den Seiten A' und C . Soll mit dem Verfahren ein vollaktiver Piezostapel erzeugt werde, werden für die keramischen

dielektrischen Schichten keramische piezolektrische Schichten eingesetzt. Vorzugsweise umfasst der Ausgangs (stapel)

Bereiche, worin die Innenelektrodenschichten die Seiten B und D jeweils abwechselnd kontaktieren. Insbesondere bevorzugt kontaktieren im Ausgangs (stapel) alle

Innenelektrodenschichten die Seiten B und D jeweils

abwechselnd. Unter einem vollaktiven Stapel ist

erfindungsgemäß ein Stapel zu verstehen, bei dem die

Innenelektroden durchgehend sind, d.h. sich über die gesamte Querschnittsfläche des Stapels erstrecken. Durch diese

Ausgestaltung reichen die gesamten Innenelektroden bis an die Außenseite des Stapels, weshalb dieser keine inaktiven Zonen aufweist. Dadurch wird die Leistung des

Vielschichtbauelements um Betrieb verbessert und im Fall des Piezoaktors die Höhe der mechanischen Spannungen in der

Piezokeramik während des Betriebs verringert.

Der in dem Verfahren zur Herstellung eines vollaktiven

Stapels bereitgestellte (Ausgangs ) stapel wird beispielsweise durch alternierendes Stapeln von mindestens zwei Teilstapeln hergestellt, wobei jeder der Teilstapel eine dielektrische Schicht und eine darauf angeordnete Innenelektrodenschicht aufweist. Der bereitgestellte Stapel wird dabei insbesondere hergestellt, indem sogenannte grüne Keramikfolien

beispielsweise im Siebdruckverfahren mit metallischen Pasten bedruckt werden. Das Bedrucken wird dabei so ausgeführt, dass die metallischen Pasten die keramische Grünfolie vollständig bedecken, wobei auf einer Seite ein unbedruckter Rand

belassen wird. Die metallischen Pasten weisen z.B. AgPd- oder Cu-Partikel, Lösungsmittel und weitere Zusätze auf. Danach werden typischerweise ca. 300 bis 600 mit der Paste versehene grüne Keramikfolien aus den beiden Teilstapeln so

übereinandergelegt , dass ein Block entsteht, in dem die metallischen Zwischenschichten zwei gegenüberliegende Seiten abwechselnd kontaktieren und jede zweite Zwischenschicht bezüglich des unbedruckten Randes identisch ausgerichtet ist. Der entstandene Stapel wird dann durch Pressen zu einem sogenannten Grünblock verarbeitet. Anschließend wird der Grünblock zur Entfernung von organischen Bestandteilen

(insbesondere Bindemittel) entbindert und gegebenenfalls gesintert. Aus einem Grünblock können durch Trennung in einzelne Stapel gegebenenfalls mehrere (Ausgangs ) Stapel bzw. -riegel erzeugt werden.

Die keramischen dielektrischen Schichten können ein

piezoelektrisches Material, z.B. Bleizirkonattitanat (PZT) , umfassen.

In dem Verfahren zur Herstellung eines vollaktiven Stapels oder dessen grünen Vorläufers kann der in dem ersten Schritt bereitgestellte (Ausgangs ) Stapel entweder gesintert oder grün sein.

Vorzugsweise wird als Lack ein Fotolack und/oder ein

Pulverlack und/oder ein stromstrukturierbarer Funktionslack (nachfolgend kurz als „Funktionslack" bezeichnet) verwendet.

Fotolacke (Englisch: „photoresist" ) sind dem Fachmann aus der fotolithografischen Strukturierung bekannt. Sie werden insbesondere in der Mikroelektronik und der Mikrosystemtechnik für die Produktion von Strukturen im

Mikro- und Submikrometerbereich sowie bei der

Leiterplattenherstellung verwendet. Die wichtigsten

Ausgangsstoffe für Fotolacke sind Polymere (z. B.

Polymethylmethacrylat , Polymethylglutarimid) bzw. Epoxidharze (z. B. SU-8), Lösungsmittel wie Cyclopentanon oder Gamma- Butyrolacton, sowie eine fotoempfindliche Komponente. Es sind Negativlacke und Positivlacke bekannt. Der Negativlack polymerisiert durch Belichtung und/oder Aushärten, das heißt, nach der Entwicklung (Entfernung der nicht-polymerisierten Bereiche durch Lösungsmittel) bleiben die belichteten

und/oder ausgehärteten Bereiche stehen. Bei Positivlacken wird der bereits verfestigte Lack durch Belichtung wieder löslich für entsprechende Entwicklerlösungen, das heißt, nach der Entwicklung bleiben nur die Bereiche übrig, welche durch eine Maske vor der Bestrahlung geschützt sind und somit nicht belichtet werden. Erfindungsgemäß können sowohl Positiv- als auch Negativlacke verwendet werden. Pulverlacke sind organische, meist duroplastische

Beschichtungspulver mit einem Festkörperanteil von 100 %. Das Beschichten mit Pulverlacken erfordert im Gegensatz zu allen anderen Beschichtungstechnologien keine Lösemittel. Zur

Produktion der Pulverlacke werden Verarbeitungsverfahren wie die Extrusion und das Vermählen eingesetzt. Pulverlacke bestehen aus Bindemitteln, Additiven, Farbmitteln und

Füllstoffen. Charakteristisch für Pulverlacke ist das Fehlen von Lösemitteln. Die chemischen Unterschiede zwischen den in Pulverlacken und konventionellen Lacken eingesetzten

Rohstoffen sind nicht groß. Die Vernetzungsmechanismen des Pulverlackfilmes ähneln denen eines Einbrennlackes, bei dem unter Temperatureinfluss zwei Reaktionspartner durch Bildung eines organischen Netzwerkes eine chemische Verbindung eingehen .

Unter der Bezeichnung Funktionslacke werden erfindungsgemäß Lacke verstanden, deren Vernetzung und Aushärtung über eine vorangehende lokale elektrische Ansteuerung (Durchfluss von elektrischen Strom) erfolgt. Diese Funktionslacke sind aus der Gruppe ausgewählt, die aus Lacken wie sie in der

Elektronenstrahllithografie verwendet werden (z. B. PMMA) , Lacke mit durch Bestromung bewirkter thermischer Aushärtung, indirekt über Strom vernetzende Lacke (z. B. Mischungen aus elektrolumineszierenden Polymers mit photoempfindlichen

Substanzen) und deren Mischungen besteht.

In einer erfindungsgemäßen Ausführungsform umfassen die

Funktionslacke Lacke wie sie in der

Elektronenstrahllithografie verwendet werden (z.B. PMMA). Diese werden auch als Elektronenstrahlresists bezeichnet. Der Mechanismus der „Belichtung" von Elektronenstrahlresists mit energiereichen Elektronen wird in der

Elektronenstrahllithografie zur Strukturierung verwendet. In Analogie zum Fotolack erfolgt die chemische Veränderung durch den lokalen Elektronenstrom. Um die für die " Belichtung" des Lackes (Bestromung des Lackes) mit Elektronen erforderliche kinetischer Energie der Elektronen zu generieren besitzt der Lack vorzugsweise eine hohe Bestrahlungsempfindlichkeit sowie eine Leitfähigkeit, die ausreichend groß ist, dass Ladungen transportiert werden können und eine elektrostatische

Aufladung des Lackes vermieden wird. Die elektrische

Ansteuerung erfolgt vorzugsweise über gepulste Hochspannung. In einer erfingungsgemäß besonders bevorzugten

Ausführungsform wird auf der Seite der Kathode

(Elektronenemitter) ein wenige ym großer Spalt zum Lack aufrechterhalten. Die über Feldemission aus der Kathode austretenden Elektronen werden über diesen Spalt beschleunigt und treffen dann mit höherer Energie auf den Lack. Der Spalt Kathode / Lack kann entweder auf der von der dielektrischen Schicht abgewandten Seite der Lackoberfläche zur äußeren Elektrode als auch zwischen (zurückgezogenen) Innenelektroden und appliziertem Lack realisiert werden.

In einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsform umfassen die Funktionslacke Lacke, die auf thermischer Aushärtung durch Bestromung beruhen. Bei diesen Funktionslacken wird die kinetische Energie der Elektronen in thermische Energie übergeführt, die eine lokale Aushärtung des Lackes bewirkt. Der Lack besitzt hierzu eine geeignete Leitfähigkeit, die groß genug ist, um eine elektrostatische Aufladung des Lackes bei der Bestromung zu verhindern. Um den Effekt der

thermischen Aushärtung lokal auf den Bereich der

angesteuerten Elektroden zu begrenzen, wird vorzugsweise der Wärmeleitung entgegengewirkt, d.h. die Ansteuerung erfolgt vorzugsweise über kurze Hochspannungspulse.

In einer weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsform umfassen die Funktionslacke Lacke, die indirekt über Strom vernetzt werden können. Diese Funktionslacke umfassen beispielsweise eine Kombination eines elektrolumineszierenden Lack

(enthaltend ein elektrolumineszierendes Polymer) mit einem Fototack (enthaltend photoempfindliche Komponenten) . Bei Verwendung geeigneter metallischer Kontakte wird ein

Wirkungsmechanismus wie bei einer OLED (organischen

Lechtdiode) hergestellt. In dieser Konfiguration übernimmt das stromdurchflossene elektroluminiszierende Polymer, das in dem elektrolumineszierenden Lack enthalten ist, die Funktion der lokalen Belichtung des Fotolacks, der die

photoempfindlichen Komponenten enthält. Die vorstehenden Funktionslacke können als Positiv- oder Negativlacke ausgeführt sein. Bei Negativlacken bleiben nach dem Aushärten und Entwickeln (Entfernen der nicht

polymerisierten Bereiche des Lacks durch Lösungsmittel) die Bereiche über den elektrisch angesteuerten Innenelektroden stehen, während die übrigen Bereiche bei der Entwicklung herausgelöst werden. Bei Verwendung eines Positivlacks ist dies umgekehrt.

Als Einbrandpaste kann beispielsweise eine Glaspaste

verwendet werden. Beim Entbindern wird dann auch der Binder der Glaspaste entfernt. Die Dicke des eingebrannten Glases beträgt vorzugsweise 20 ym bis 80 ym.

In einer erfindungsgemäßen Ausführungsform wird zum Belichten bzw. Aushärten des stromstrukturierbaren Funktionslackes eine Gegenelektrode auf den Funktionslack positioniert und eine Spannung, vorzugsweise gepulste Hochspannung angelegt. Die Vernetzung bzw. Aushärtung erfolgt durch die mit dem Strom verbundene Wärmeentwicklung bzw. chemische Veränderung (wie oben beschrieben) des Lackes. Als Funktionslack kann

beispielsweise ein PMMA (Polymethylmethacrylat) basierender Dickschichtlack (typischerweise 50ym dick) verwendet werden. Der stromhärtende Funktionslack kann mit weiteren Komponenten vermischt werden, um einen definierten Widerstand

einzustellen. Wird als Funktionslack ein sogenannter

Negativlack verwendet, bleiben nach dem Aushärten und

Entwickeln (Entfernen der nicht -polymerisierten Bereich des Funktionslacks durch Lösungsmittel) die Bereiche des

Funktionslacks über den elektrisch angesteuerten

Innenelektroden stehen, während die übrigen Bereiche bei der Entwicklung herausgelöst werden. Bei Verwendung eines

Positivlacks ist dies umgekehrt.

In einer erfindungsgemäßen Ausführungsform wird statt

Funktionslack Pulverlack verwendet. Der Pulverlack wird hierzu elektrostatisch auf die elektrisch angesteuerten

Innenelektroden aufgetragen und aufgeschmolzen.

In einer erfindungsgemäßen Ausführungsform wird der

Pulverlack zusätzlich zum Fotolack verwendet. Hierzu wird der Pulverlack elektrostatisch auf eine Schicht aus Fotolack aufgetragen, wobei der Pulverlack von den elektrisch

angesteuerten Innenelektroden angezogen wird. Der

aufgeschmolzene Pulverlack kann dann als Maske verwendet und der Fotolack normal belichtet werden. Wird als Fotolack ein Negativlack verwendet, bleiben nach dem Aushärten und

Entwickeln (Entfernen der nicht-polymerisierten Bereiche des Fotolacks durch Lösungsmittel) die Bereiche des Fotolacks über den nicht-elektrisch angesteuerten Innenelektroden stehen, während die übrigen Bereiche bei der Entwicklung herausgelöst werden. Bei Verwendung eines Positivlacks ist dies umgekehrt.

In einer erfindungsgemäßen besonderen Ausführungsform sind die Fotolacke bzw. die stromhärtenden Funktionslacke mit einem Glasanteil ausgestattet. Dadurch erhält man eine mit Licht oder Strom strukturierbare Glaspaste die zur direkten Isolierung der über die Außenkontakte auf den Seiten B und D angesteuerten Elektroden verwendet werden kann. In einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ein Verfahren zur Herstellung eines vollaktiven Vielschichtelements zur

Verfügung gestellt. Das Verfahren umfasst im Einzelnen das Herstellen eines vollaktiven Stapels, wie vorstehend

beschrieben, und gegebenenfalls Sintern des vollaktiven

Stapels oder dessen grünen Vorläufers; und Aufbringen von Außenelektroden auf den Seiten A' und C des vollaktiven Stapels und Kontaktieren der unbeschichteten Innenelektroden, so dass die beiden Außenelektroden mit den unbeschichteten Innenelektrodenschichten elektrisch verbunden sind.

In einem weiteren Aspekt der Erfindung wird ein vollaktives Vielschichtelement zur Verfügung gestellt. Im Einzelnen umfasst das vollaktive Vielschichtelement einen vollaktiven Stapel aus mehreren dielektrischen Schichten und

Innenelektrodenschichten und zwei auf gegenüberliegenden Seiten des Stapels angeordneten Außenelektroden, wobei mindestens ein Teil der Innenelektrodenschichten mit einer Einbrandpaste beschichtet sind, wobei die beiden

Außenelektroden jeweils mit den unbeschichteten

Innenelektroden elektrisch verbunden sind. Das

Vielschichtelement kann beispielsweise als Aktor oder

Kondensator ausgestaltet sein.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den beigefügten schematischen Zeichnungen beispielhaft dargestellt. Es zeigen :

Figur 1 eine perspektivische Seitenansicht eines

Piezostapels mit den Seiten A, B, C und D entlang der Stapelrichtung, Figur 2 einen Piezostapel mit einer Schicht Funktionslack über der Seite A, Figur 3A den Piezostapel aus Figur 2 im Querschnitt mit aufgelegter Elektrodenplatte,

Figur 3B eine zu Figur 3A alternative Ausführungsform mit auf eine Fotolackschicht elektrostatisch beschichtetem und aufgeschmolzenem Pulverlack und anschließender Belichtung,

Figur 4 die nach einer der Ausführungsformen 3A oder 3B

gehärtete Fotolackschicht bzw. Funktionslackschicht nach Entwicklung,

Figur 5 der Piezostapel aus Figur 4 nach Aufbringen einer

Einbrennpaste ohne Metallanteil nach Trocknen und Einbrand,

Figur 6 der Piezostapel aus Figur 5 nach Aufbringen einer

Metallisierungspaste,

Figur 7 einen vereinzelten, vollaktiven Piezostapel mit den

Seiten A' , B' , C und D' entlang der

Stapelrichtung .

In einem Ausführungsbeispiel ist der Prozessablauf wie folgt: a) Es wird ein gesinterter Piezostapel (1) mit den Seiten A, B, C und D entlang der Stapelrichtung bereitgestellt. Der Piezostapel besitzt (temporäre) Isozonen und

Außenkontaktierungen (3) , sodass über die Außenkontaktierung (3) jede zweite Innenelektrode (2) auf der Seite B sowie über die entsprechende Außenkontaktierung (3' , nicht gezeigt) auf der Seite D jede zweite Innenelektrode (2') elektrisch angesteuert werden kann (vgl. Figur 1) . b) Der Piezostapel (1) wird auf der Seite A mit einer Schicht Funktionslack (4), in diesem Beispiel ein Negativlack, versehen (vgl. Figur 2) . Beispielsweise wird ein PMMA- Dickschichtlack, typischerweise 50 ym, dessen Widerstand durch zusätzliche Komponenten in geeigneteter Weise

eingestellt wurde, verwendet. c) Es wird eine Elektrode (5) auf die Funktionslackschicht (4) aufgelegt. Dann wird eine gepulste Hochspannung an die

Außenkontaktierung (3) auf der Seite B und die Elektrode (5) angelegt, sodass der Bereich über jeder zweiten

Innenelektrode (2) durch den Wärmeeintrag gehärtet wird.

Alternativ kann Pulverlack auf die eine Fotolackschicht über der elektrisch angesteuerten Innenelektrode (2) aufgebracht werden, indem die Pulverlackteilchen mit der

entgegengesetzten Polarität aufgeladen werden. Der Pulverlack wird dann aufgeschmolzen und als Maske für die Belichtung (6) verwendet . d) In Figur 4 ist der gehärtete Fotolack bzw. Funktionslack (8) nach Entwicklung, d. h. Herauslösen der nicht gehärteten bzw. polymerisierten Bestandteile zu sehen. e) In Figur 5 wurde eine Einbrandpaste ohne Metallanteil (9) aufgebracht, entbindert und eingebrannt. Der restliche

Pulverlack wurde beim Entbindern verbrannt und damit

entfernt . f) Figur 6 zeigt den Piezostapel aus Figur 5 nach dem

Aufbringen, Trocknen und Einbrennen der Metallisierungspaste für die Außenkontakte. g) In Figur 7 ist die Trennung des voll aktiven Piezostapels in Einzelaktoren mit den Seiten A' , B' , C und D' gezeigt. Das Aufbringen der Metallisierungspaste (10), wie anhand von Figur 6 erläutert, kann vor oder nach der Trennung in

Einzelaktoren (11) erfolgen.

Bezugs zeichenliste

A, B, C, D Seiten des Piezostapels in Stapelrichtung

I Piezostapel

2, 2 ' Innenelektroden

3 Außenkontaktierung mit temporären Isozonen

4 ungehärtete Fotolackschicht

5 Gegenelektrode

6 Licht

7 elektrostatisch aufgebrachter und

aufgeschmolzener Pulverlack

8 gehärteter Fotolack nach Entwicklung (d. h.

Herauslösen oder Verbrennen der nichtgehärteten Bereiche)

9 Einbrandpaste ohne Metallanteil nach

Aufbringen, Entbindern und Einbrennen

10 Metallisierungspaste nach Aufbringen, Trocknen und Einbrennen

II Einzelaktor mit den Seiten A' , B' , C und D'