以下に、本発明の好適な実施形態につい� ��説明する。本発明に係る金属粉末は、積層� ��ラミックコンデンサの内部電極に用いる導� ��性ペースト用の導電性粉末として使用され� ��ものである。本発明に係る金属粉末の製造� ��法としては、水溶液中の金属イオンを還元� ��て、金属化合物を湿式還元処理することに� ��り作製することができる。

 より具体的には、水もしくは水と低級ア� ��コールの混合物に水溶性の金属化合物を加� ��て溶解して、金属イオンを含む水溶液を作� ��し、この水溶液に分散剤を添加した後、還� ��剤を溶解した水溶液と、錯体イオンを含む� ��溶液を加えた反応液を作製し、当該反応液� ��攪拌することにより作製できる。

 例えば、金属粉末として、ニッケル粉末� ��たはニッケルを主成分とする合金粉末を製� ��する場合は、純水に金属化合物としてのニ� ��ケル塩(例えば、塩化ニッケル)が溶解した� �属イオン(ニッケルイオン)を含み、分散剤が 添加された水溶液と、還元剤として作用する 3価のチタンイオンを含むチタンイオン水溶� �と、錯体イオンを含む水溶液を、所定の割� �で混合して反応液を作製した後、当該反応� �にpH調整剤として炭酸ナトリウム水溶液を加 えてpHを調整し、攪拌を行うことにより、ニ� ��ケルイオンを還元して、ニッケル粉末また� ��ニッケルを主成分とする合金粉末を析出さ� ��ることにより製造する。

 本発明に係る金属粉末としては、特に限� ��されないが、ニッケル粉末、ニッケルを主� ��分とする合金粉末が好適に使用される。こ� ��は、ニッケル粉末、またはニッケルを主成� ��とする合金粉末は、導電性に優れるととも� ��、銅等の他の金属に比し耐酸化性に優れる� ��め、酸化による導電性の低下も生じにくく� ��導電性材料として好適だからである。ニッ� ��ルの合金粉末としては、例えば、マンガン� ��クロム、コバルト、アルミニウム、鉄、銅� ��亜鉛、銀、およびパラジウムからなる群よ� ��選択される少なくとも1種以上の元素とニッ ケルとの合金粉末が使用できる。また、ニッ ケルを主成分とする合金粉末におけるニッケ ルの含有量は、60重量%以上、好ましくは80重� ��%以上であることが好ましい。これは、ニッ ケルの含有量が少なくなると、焼成時に酸化 されやすくなるため、電極途切れや静電容量 の低下等が起こりやすくなるためである。

 また、使用するニッケル塩は、特に限定� ��れないが、例えば、塩化ニッケル、硝酸ニ� ��ケル、硫酸ニッケル、酢酸ニッケル、スル� ��ァミン酸ニッケル、および水酸化ニッケル� ��らなる群より選ばれる少なくとも1種類を含 むものが使用できる。また、これらのニッケ ル塩のうち、還元剤である三塩化チタンと同 じ塩素イオンを含むとの観点から、塩化ニッ ケルを使用することが好ましい。

 また、反応液中のニッケル塩の濃度は、5 g/l以上100g/l以下が好ましい。これは、ニッケ ル塩の濃度が5g/l未満の場合は、十分な量の� �ッケル粉末を還元析出させることが困難に� �るため、生産性が低下し、また、ニッケル� �の濃度が100g/lより大きい場合は、ニッケル� �子同士の衝突確率が増すため粒子が凝集し� �すく、粒子径の制御が困難になるという不� �合が生じる場合があるためである。

 また、使用する還元剤としては、例えば� ��三塩化チタン、水素化ホウ素ナトリウム、� ��ドラジン等が使用できる。このうち、金属� ��オンに対する強還元性を有する三塩化チタ� ��を使用し、3価のチタンイオンを含むチタン イオン水溶液を用いて金属イオンを還元する ことが好ましい。

 また、錯体を形成する錯体イオンはニッ� ��ルイオンと錯体を形成し安定化させること� ��、反応速度を制御できる。この錯体を形成� ��る錯体イオン、およびpH調整剤は、従来、� �ッケル粉末の還元析出工程において使用さ� �ているものであれば、特に限定されない。� �り具体的には、pH調整剤としては、例えば、 炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、アンモ ニア等を使用することができ、錯体イオンと しては、例えば、クエン酸イオン、酒石酸イ オン、酢酸イオン、グルコン酸イオン、アン モニウムイオン等を使用することができる。

 また、本実施形態においては、ニッケル� ��末の製造工程において、反応液における還� ��反応により析出したニッケル粉末の凝集を� ��止するとともに、ニッケル粉末の粒度分布� ��シャープにするための分散剤を使用する構� ��としている。そして、本実施形態において� ��、この分散剤として、低分子量(分子量が150 以下)のアンモニア化合物を使用する構成と� �ている。

 このような構成により、反応液において� ��アンモニア化合物が、還元析出したニッケ� ��粉末の表面に吸着して、ニッケル粉末の凝� ��を防止するためのバリアとして作用するた� ��、反応液中のニッケル粉末の分散性が向上� ��、ニッケル粒子同士が凝集して、連鎖状の� ��末となるのを防止することが可能になる。� ��の結果、反応液において、還元反応を均一� ��起こすことが可能になるため、球形状を有� ��るとともに、粒度分布がシャープなニッケ� ��粉末を得ることが可能になる。

 より具体的には、本発明の製造方法を使用� ��ることにより、球形状を有するとともに、� ��均粒子径D ₅₀ が10~300nmであって、粒子径の最大値D _max との比(D _max /D ₅₀ )が3以下であるニッケル粉末、またはニッケ� ��を主成分とする合金粉末を得ることが可能� ��なる。そして、このような球形状を有する� ��ともに、粒度分布がシャープなニッケル粉� ��、またはニッケルを主成分とする合金粉末� ��、導電性ペーストへの高密度充填が容易に� ��るため、ニッケル粉末、またはニッケルを� ��成分とする合金粉末を含有する導電性ペー� ��トにより、層厚が1μm以下の内部電極を形成 する場合であっても、電極表面の平滑化が容 易になるとともに、電極途切れの発生を回避 することが可能になる。

 なお、分散剤として使用する分子量が150� ��下のアンモニア化合物としては、反応液中� ��ニッケル粉末の分散性を向上させて、ニッ� ��ル粉末同士の凝集を防止できるものであれ� ��、特に限定はされない。例えば、分子量が1 50以下の塩化アンモニウム、硫酸アンモニウ� ��、酢酸アンモニウム等が使用できる。この� ��ち、還元剤である三塩化チタンと同じ塩素� ��オンを含むとの観点から、アンモニア化合� ��として、塩化アンモニウムを使用すること� ��特に好ましい。この他、高分子分散剤と併� ��する構成としても良く、例えば、ポリビニ� ��ピロリドン、ポリカルボン酸型アニオン系� ��散剤等を使用することができる。

 また、反応液中のアンモニア化合物の濃� ��は、50g/l以上300g/l以下が好ましい。これは� �アンモニア化合物の濃度が50g/l未満の場合は 、上述したニッケル粉末の分散性の向上効果 が十分に発揮されない場合があり、また、ア ンモニア化合物の濃度が300g/lより大きい場合 は、溶解度を超えるため、溶け残りが発生し て、反応液の均一性が乱れるという不都合が 生じる場合があるためである。

 次に、積層セラミックコンデンサの内部� ��極用の導電性ペーストについて説明する。� ��発明の導電ペーストとしては、上述の本発� ��のニッケル粉末、またはニッケルを主成分� ��する合金粉末と、有機ビヒクルを主成分と� ��ている。本発明において使用される有機ビ� ��クルは、樹脂と溶剤との混合物であり、樹� ��としては、メチルセルロース、エチルセル� ��ース、ニトロセルロース、酢酸セルロース� ��プロピオン酸セルロース等のセルロース系� ��脂、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリ ル酸エチル、(メタ)アクリル酸プロピル等の� ��クリル酸エステル類、アルキッド樹脂、お� ��びポリビニルアルコール等が使用でき、安� ��性、安定性等の観点から、エチルセルロー� ��が特に好ましく使用される。また、有機ビ� ��クルを構成する溶剤としては、ターピネオ� ��ル、テトラリン、ブチルカルビトール、カ� ��ビトールアセテート等を単独でまたは混合� ��て使用することができる。

 導電性ペーストを作製する際には、例え� ��、セルロース系樹脂の有機バインダーをタ� ��ピネオールに溶解させた有機ビヒクルを作� ��し、次いで、本発明のニッケル粉末、また� ��ニッケルを主成分とする合金粉末と有機ビ� ��クルを混合し、三本ロールやボールミル等� ��よって混練・分散することにより、本発明� ��積層セラミックコンデンサの内部電極用の� ��電性ペーストを得ることができる。なお、� ��電性ペーストには、誘電体材料や焼結調整� ��の添加剤等を加えることもできる。

 次に、上述の導電性ペーストを使用した� ��層セラミックコンデンサの製造方法につい� ��説明する。積層セラミックコンデンサは、� ��ラミックグリーンシートからなる複数の誘� ��体層と、導電性ペーストからなる複数の内� ��電極層とを、圧着により交互に積層させて� ��層体を得た後、当該積層体を焼成して一体� ��することにより。セラミック本体となる積� ��セラミック焼成体を作製したのち、当該セ� ��ミック本体の両端部に一対の外部電極を形� ��することにより製造される。

 より具体的には、まず、未焼成のセラミ� ��クシートであるセラミックグリーンシート� ��用意する。このセラミックグリーンシート� ��しては、例えば、チタン酸バリウム等の所� ��のセラミックの原料粉末に、ポリビニルブ� ��ラール等の有機バインダーとターピネオー� ��等の溶剤とを加えて得た誘電体層用ペース� ��を、PETフィルム等の支持フィルム上にシー� ��状に塗布し、乾燥させて溶剤を除去したも� ��等が挙げられる。なお、セラミックグリー� ��シートからなる誘電体層の厚みは、特に限� ��されないが、積層セラミックコンデンサの� ��型化の要請の観点から、0.05μm~3μmが好まし� ��。

 次いで、このセラミックグリーンシート� ��片面に、スクリーン印刷法等の公知の方法� ��よって、上述の導電性ペーストを印刷して� ��布し、導電性ペーストからなる内部電極層� ��形成したものを複数枚、用意する。なお、� ��電性ペーストからなる内部電極層の厚みは� ��当該内部電極層の薄層化の要請の観点から� ��1μm以下とすることが好ましい。

 次いで、支持フィルムから、セラミック� ��リーンシートを剥離するとともに、セラミ� ��クグリーンシートからなる誘電体層とその� ��面に形成された導電性ペーストからなる内� ��電極層とが交互に配置されるように、加熱� ��加圧処理により積層して、積層体を得る。� ��お、当該積層体の両面に、導電性ペースト� ��塗布していない保護用のセラミックグリー� ��シートを配置する構成としても良い。

 次いで、積層体を所定サイズに切断してグ� ��ーンチップを形成した後、当該グリーンチ� ��プに対して脱バインダー処理を施し、還元� ��囲気下において焼成することにより、積層� ��ラミック焼成体を製造する。なお、脱バイ� ��ダー処理における雰囲気は、大気またはN ₂ 雰囲気にすることが好ましく、脱バインダー 処理を行う際の温度を200℃~400℃とすること� �好ましい。また、脱バインダー処理を行う� �の、上記温度の保持時間を0.5時間~24時間と� �ることが好ましい。また、焼成は、内部電� �層に用いる金属の酸化を抑制するために還� �雰囲気で行われ、焼成を行う際の雰囲気は� �N ₂ またはN ₂ とH ₂ との混合ガスの雰囲気にすることが好ましく 、また、積層体の焼成を行う際の温度を1250� �~1350℃とすることが好ましい。また、焼成を 行う際の、上記温度の保持時間を0.5時間~8時� ��とすることが好ましい。

 グリーンチップの焼成を行うことにより� ��グリーンシート中の有機バインダーが除去� ��れるとともに、セラミックの原料粉末が焼� ��されて、セラッミック製の誘電体層が形成� ��れる。また内部電極層中の有機ビヒクルが� ��去されるとともに、ニッケル粉末、または� ��ッケルを主成分とする合金粉末が焼結もし� ��は溶融、一体化されて、内部電極が形成さ� ��、誘電体層と内部電極層とが複数枚、交互� ��積層された積層セラミック焼成体が形成さ� ��る。

 なお、酸素を誘電体層の内部に取り込んで� ��気的特性を高めるとともに、内部電極の再� ��化を抑制するとの観点から、焼成後のグリ� ��ンチップに対して、アニール処理を施すこ� ��が好ましい。なお、アニール処理における� ��囲気は、N ₂ 雰囲気にすることが好ましく、アニール処理 を行う際の温度を800℃~950℃とすることが好� �しい。また、アニール処理を行う際の、上� �温度の保持時間を2時間~10時間とすることが� ��ましい。

 そして、作製した積層セラミック焼成体� ��対して、一対の外部電極を設けることによ� ��、積層セラミックコンデンサが製造される� ��なお、外部電極の材料としては、例えば、� ��やニッケル、またはこれらの合金が好適に� ��用できる。

 以上に説明した本実施形態によれば、以下� ��効果を得ることができる。
 (1)本実施形態においては、ニッケル粉末、� ��たはニッケルを主成分とする合金粉末が、� ��形状を有するとともに、平均粒子径D ₅₀ が10~300nmであり、かつ平均粒子径D ₅₀ と粒子径の最大値D _max との比(D _max /D ₅₀ )が3以下である構成としている。従って、金� ��粉末であるニッケル粉末、またはニッケル� ��主成分とする合金粉末の粒度分布がシャー� ��であるため、ニッケル粉末、またはニッケ� ��を主成分とする合金粉末を、積層セラミッ� ��コンデンサの内部電極用の導電性ペースト� ��使用する場合に、導電性ペーストへの高密� ��充填が容易になる。従って、ニッケル粉末� ��またはニッケルを主成分とする合金粉末を� ��有する導電性ペーストにより、層厚が1μm以 下の薄層化された内部電極を形成する場合で あっても、電極表面の平滑化が容易になると ともに、電極途切れの発生を回避することが 可能になる。

 (2)本実施形態においては、ニッケル粉末� ��またはニッケルを主成分とする合金粉末を� ��造する際に、ニッケルイオンと、還元剤と� ��分散剤とを含む反応液中で、還元剤により� ��ッケルイオンを還元させて、ニッケル粉末� ��またはニッケルを主成分とする合金粉末を� ��出させる構成としている。そして、分散剤� ��して、分子量が150以下のアンモニア化合物� ��使用する構成としている。従って、反応液� ��おいて、アンモニア化合物が還元析出した� ��ッケル粉末、またはニッケルを主成分とす� ��合金粉末の表面に吸着して、ニッケル粉末� ��またはニッケルを主成分とする合金粉末の� ��集を防止するためのバリアとして作用する� ��め、反応液中のニッケル粉末、またはニッ� ��ルを主成分とする合金粉末の分散性が向上� ��、ニッケル粉末、またはニッケルを主成分� ��する合金粉末同士が凝集して、連鎖状の粉� ��となるのを防止することが可能になる。従� ��て、反応液において、還元反応を均一に起� ��すことが可能になるため、球形状を有する� ��ともに、粒度分布がシャープなニッケル粉� ��、またはニッケルを主成分とする合金粉末� ��得ることが可能になる。その結果、ニッケ� ��粉末、またはニッケルを主成分とする合金� ��末を、積層セラミックコンデンサの内部電� ��用の導電性ペーストに使用する場合に、導� ��性ペーストへの高密度充填が容易になるた� ��、ニッケル粉末、またはニッケルを主成分� ��する合金粉末を含有する導電性ペーストに� ��り、層厚が1μm以下の内部電極を形成する場 合であっても、電極表面の平滑化が容易にな るとともに、電極途切れの発生を回避するこ とが可能になる。

 (3)本実施形態においては、アンモニア化� ��物として、塩化アンモニウムを使用する構� ��としている。従って、反応液中のニッケル� ��末、またはニッケルを主成分とする合金粉� ��の分散性をより一層向上させることができ� ��ニッケル粉末、またはニッケルを主成分と� ��る合金粉末同士が凝集して、連鎖状の粉末� ��なるのを確実に防止することが可能になる� ��その結果、球形状を有するとともに、粒子� ��が均一なニッケル粉末、またはニッケルを� ��成分とする合金粉末を得ることが可能にな� ��。

 (4)本実施形態においては、還元剤として� ��強還元性を有する三塩化チタンを使用する� ��成としている。従って、反応液中のニッケ� ��イオンを容易に還元することが可能になる� ��