本発明に係るノイズ評価装置の第一の実� ��形態は、図1に示す通り、基準グランド3と� �基準グランド3上に配置され、被測定モジュ� ��ル4の任意の位置に接触させる1又は複数(図1 の例では2つ)の接触端子2(2a,2b)と、接触端子2( 2a,2b)の各々に流れるノイズを測定するノイズ 検出部1(1a,1b)とを適宜有して構成される。こ� ��で、接触端子2とノイズ検出部1とからなる� �出部付き接触端子5は1つであっても複数個(� �1の例では2個:5a,5b)あってもよい。

 各接触端子2は被測定モジュール4と基準グ� �ンド3間を電気的に接続し、接触端子2を介し て被測定モジュール4から基準グランド3へと� ��出するノイズをノイズ検出部1で検出する。 ノイズ検出部1で検出したノイズは測定器10で 測定する。ノイズ検出部1を複数用いたノイ� �評価装置の場合には、切換器9を設け、この� ��換器9により任意のノイズ検出部1の検出ノ� �ズを選択して測定器10に入力すればよい。本 方式によれば、ノイズ検出部1の数と同数の� �定器10を設ける必要はなく、ノイズ検出部1� �数より少なく若しくは単一の測定器10を設け ればよいため、装置の小型化・低コスト化が 図れる。
 なお、この方式に限らず、図2に示す第二の 実施形態のように、切換器9を用いることな� �、ノイズ検出部1の数に対して同数の測定器1 0を設ける構成でもよい。例えば、図2の例で� ��、ノイズ検出部1が2つあり(1a,1b)、それぞれ� ��対応して測定器10(10a,10b)が設けられている� �この方式によれば、複数の測定器10の並列処 理が可能なため、測定処理の高速化を図るこ とができる。また、接触端子2は、被対象モ� �ュール4との接続をより確実にすべく、バネ� ��を有する構成を付加等することにより可動� ��としてもよい。

 制御部6は、測定器10を制御し、ノイズ測� ��制御および測定したデータを演算処理部7へ 転送する。また、制御部6は、切替器9が設け� ��れた場合、切換器9の制御も行う。演算処理 部7は、測定したデータをノイズ検出部1の感� ��特性を用いて補正処理を行う。また、本発� ��のノイズ評価装置には表示部8を備えており 、ノイズ測定結果および測定設定値を表示す る。

 本発明に係るノイズ評価装置によれば、� ��測定モジュール4の任意の位置に検出部付き 接触端子5を接触させてノイズを検出するこ� �ができるため、表示部8には、検出結果とし� ��、任意点におけるノイズスペクトル(図12)や 任意周波数におけるノイズ分布(図13)をユー� �に表示することができる。図12に示すノイズ スペクトルの横軸は周波数、縦軸はノイズ強 度を示す。図13に示すノイズ分布の横軸及び� ��軸はノイズ評価位置の座標、色の強弱がノ� ��ズ強度を示す。このように、本装置によれ� ��、対策すべきノイズの周波数やノイズ伝播� ��路となる位置を特定できるため、電磁不要� ��射対策に有効なノイズ評価が可能である。� ��えば、図13に示すノイズ分布は、検出部付� �接触端子5の数を増やせば増やすほど、より� ��細な分布を得ることができ、この得られた� ��イズ分布に基づいて演算処理部7にてノイズ 強度の順位付け等を行うことにより、対策す べき位置を特定することができる。

 次に、本発明に係るノイズ評価装置の検� ��部付き接触端子5の配置例について説明する 。図3は、検出部付き接触端子5を、基準グラ� ��ド3にアレイ状に複数個配置した例を示す。 本配置例によれば、被測定モジュール4の全� �に渡って検出部付き接触端子5を接触させて� ��イズ検出が可能であるため、ノイズ伝播経� ��をより正確に特定することが可能となる。� ��だし、検出部付き接触端子5の配置は、これ に限られず、格子状でも良いし、千鳥状でも 良く、また配置間隔も規則的あるいは不規則 的でも良い。

 このように複数配置された検出部付き接� ��端子5に対して、図4に示すように、被測定� �ジュール4を接触させて置き、被測定モジュ� ��ル4から基準グランド3へ流出するノイズ分� �を測定する。また、検出部付き接触端子5と� ��測定モジュールの接触を確実にするために� ��検出部付き接触端子は伸縮可能な構造を持� ��、かつ伸展方向に力を発生する機構を持つ� ��触端子を使用しても良い。また、検出部付� ��接触端子5を移動させることで被測定モジュ ール4から流出するノイズ分布を測定しても� �い。

 次に、本発明に係るノイズ評価装置のノイ� ��検出部1並びに接触端子2の実施形態につい� �、図5乃至図11を用いて説明する。
 図5は、ノイズ検出部として電流検出コイル 11を用いた例を示す。被測定モジュール4から 基準グランド3へ向かって、接触端子2を介し� ��流出するノイズ電流が作る磁界を、電流検� ��コイル11に鎖交させて検出する。図6に示す� ��うに、電磁誘導の法則により、電流検出コ� ��ル11はノイズ電流強度に比例した誘導起電� �を発生する。この誘導起電力を電圧計など� �検出することで、被測定モジュール4から流� ��するノイズ電流を測定する。なお、電流検� ��コイルはこれに限られず、ノイズ電流によ� ��磁束をより補足すべく、図7に示すような多 重コイルを用いてもよい。

 図8は、ノイズ検出部として電圧検出プロ ーブ12を用いた例を示す。本形態では、接触� ��子2に電圧検出素子13を埋め込み、この電圧� ��出素子13の両端電圧を電圧検出プローブ12で 検出することで、被測定モジュール4から流� �するノイズ電圧を測定できる。電圧検出素� �13としては、抵抗、容量、インダクタなどの 受動素子を用いればよい。

 また、他の形態として、能動素子を用い� ��ノイズ検出部を利用してもよい。例えば、� ��9に示す構成のように、被測定モジュール4� �基準グランド3間の電位を検出するためのノ� ��ズ検出部1を設けてもよい。図9はバイアス� �圧源17に一端が接続されたトランジスタ15と� ��該トランジスタとグランドとを接続する調� ��素子16とで構成したノイズ検出部1を示す。� ��イズ検出部1は被測定モジュール4と基準グ� �ンド3間の電位差に応じた電圧を検出する。� ��の他、能動素子を用いたノイズ電流検出回� ��や、ノイズ電圧検出回路を適宜構成しても� ��い。

 図10は、ノイズ検出部と基準グランドと接� �端子とを多層プリント基板により一体化し� �形成した例を示す。本形態では、多層プリ� �ト基板内部のビアにより形成した接触端子2� ��周辺部に、同じく多層プリント基板の内層� ��形成した電流検出コイル11を形成する構成� �することで、接触端子2に流れる電流を電流� ��出コイル11により測定できる。ここで、ビ� �は基準グランドであるグランド層に接続し� �おり、表層で被対象モジュール4と接続する� ��ビアに流れるノイズ電流により、電流検出� ��イル11で発生する誘導電圧は、配線層に形� �した伝送線路構造の引出し配線を経由して� �配線層に設置したコネクタに導かれ、高周� �ケーブルなどを介して測定器で検出する。� �お、ビアと被対象モジュール4の接続を確実� ��するために、表層にバネ性を持つ接触端子� ��設置してもよい。
 本形態によれば、ノイズ検出部が接触端子2 と一体化した構造となっているため、複数の 接触端子と被測定モジュール4との接触面の� �ち、電圧検出プローブなどの配置が難しい� �接触面の中央付近の接触箇所についても、� �易にノイズ検出が可能となる。

 また、図11は、被測定モジュール4の近傍� ��結合パッド14を設け、被測定モジュール4と� ��合パッド14との間の容量結合によりノイズ� �定を行うノイズ検出部を示す。被測定モジ� �ール4から流出するノイズは、容量結合によ� ��基準グランド3に流れ、そのノイズをノイズ 検出部1により検出することができる。本形� �の場合、他の形態とは異なり、被測定モジ� �ールと接触端子と電気的に接続する構成で� �ないため、接触端子2の磨耗等の問題が生じ� ��、ノイズ評価装置の長寿命化が図れる。

 次に、これまで示したノイズ評価装置の装� ��筐体に実装する被測定モジュールの実装形� ��について、図14乃至図16を用いて説明する。
 図14は、装置筐体31の底面上に被測定モジュ ール4が実装された形態を示す。本形態では� �被測定モジュール4から装置筐体31へのノイ� �流出経路は、被測定モジュール4と装置筐体3 1が接する被測定モジュール底面であるから� �この接触面21にノイズ検出部付き接触端子5� �適宜配置する。これにより、図13A,13Bに示す� ��に、モジュール実装形態におけるモジュー� ��から流出するノイズを測定することができ� ��。

 図15は、被測定モジュール4の両側面と装� ��筐体31が接触する形態で実装された、モジ� �ール実装形態を示している。この場合、被� �定モジュール4から装置筐体31へのノイズ流� �経路は、被測定モジュールと装置筐体が接� �る被測定モジュール両側面であるから、こ� �接触面21にノイズ検出部付き接触端子5を配� �する。これにより図14に示すモジュール実装 形態におけるモジュールから流出するノイズ を測定することができる。

 図16は装置筐体31の側面に付けられたステー 32を用いて、被測定モジュール4が装置筐体21� ��実装された形態を示している。この場合、� ��測定モジュール4から装置筐体31へのノイズ� ��出経路は、被測定モジュール4とステー32が� ��する場所であるから、この接触面21にノイ� �検出部付き接触端子5を配置する。これによ� ��図15に示すモジュール実装形態におけるモ� �ュールから流出するノイズを測定すること� �できる。
 上記した実装形態は、被測定モジュール4の 種類に応じて適宜選択すればよい。なお、実 施形態はこれに限られるものではなく、被測 定モジュール4と装置筐体31との接触面21にノ� ��ズ検出部付き接触端子5を配置さえすればよ い。

 以上、本発明者によってなされた発明を� ��施形態に基づき具体的に説明したが、本発� ��は上記実施形態に限定されるものではなく� ��その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能� ��あることはいうまでもない。また、各実施� ��態で示した構成は、その要旨を逸脱しない� ��囲でそれぞれ置き換え・組合せ可能である� ��例えば、接触端子2を可動式とする構成は、 いずれの実施形態にも適用可能である。また 、複数のノイズ検出部1としてそれぞれ異な� �実施形態のものを組み合わせて一のノイズ� �価装置を構成しても構わない。

 上記記載は実施例についてなされたが、� ��発明はそれに限らず、本発明の精神と添付� ��請求の範囲の範囲内で種々の変更および修� ��をすることができることは当業者に明らか� ��ある。