Title:
NON-VOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY DEVICE, PRODUCTION METHOD FOR SAME, AND CHARGE STORAGE FILM
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2012/014992
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is a non-volatile semiconductor device comprising: a tunnel insulating film (12) on top of a semiconductor substrate; a charge storage film (13) on top of the tunnel insulating film; a blocking insulating film (14) on top of the charge storage film; a control gate electrode (15) on top of the blocking insulating film; and source/drain regions (16, 17) formed on the semiconductor substrate on both sides of the control gate electrode. The film is formed in this order and the charge storage film is a silicon nitride film produced using a catalytic chemical vapor deposition method, with a ratio for the constituent elements N and Si (N/Si) of 1.2-1.4.
Inventors:
ZAMA, Hideaki (INC. 2500, Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 〒2538543, JP)
座間 秀昭 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 〒2538543, JP)
TAKAGI, Makiko (INC. 2500, Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 〒2538543, JP)
高木 牧子 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 〒2538543, JP)
KOBAYASHI, Kiyoteru (1-1 Kitakaname 4-chome, Hiratsuka-sh, Kanagawa 92, 〒2591292, JP)
座間 秀昭 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 〒2538543, JP)
TAKAGI, Makiko (INC. 2500, Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 〒2538543, JP)
高木 牧子 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 〒2538543, JP)
KOBAYASHI, Kiyoteru (1-1 Kitakaname 4-chome, Hiratsuka-sh, Kanagawa 92, 〒2591292, JP)
Application Number:
JP2011/067309
Publication Date:
February 02, 2012
Filing Date:
July 28, 2011
Export Citation:
Assignee:
TOKAI UNIVERSITY EDUCATIONAL SYSTEM (28-4, Tomigaya 2-chome Shibuya-k, Tokyo 63, 〒1510063, JP)
学校法人東海大学 (〒63 東京都渋谷区富ヶ谷二丁目２８番４号 Tokyo, 〒1510063, JP)
ULVAC, INC. (2500, Hagisono Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 〒2538543, JP)
株式会社アルバック (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 Kanagawa, 〒2538543, JP)
ZAMA, Hideaki (INC. 2500, Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 〒2538543, JP)
座間 秀昭 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 〒2538543, JP)
TAKAGI, Makiko (INC. 2500, Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 〒2538543, JP)
学校法人東海大学 (〒63 東京都渋谷区富ヶ谷二丁目２８番４号 Tokyo, 〒1510063, JP)
ULVAC, INC. (2500, Hagisono Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 〒2538543, JP)
株式会社アルバック (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 Kanagawa, 〒2538543, JP)
ZAMA, Hideaki (INC. 2500, Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 〒2538543, JP)
座間 秀昭 (〒43 神奈川県茅ヶ崎市萩園２５００番地 株式会社アルバック内 Kanagawa, 〒2538543, JP)
TAKAGI, Makiko (INC. 2500, Hagisono, Chigasaki-sh, Kanagawa 43, 〒2538543, JP)
International Classes:
H01L21/8247; C23C16/42; H01L21/318; H01L27/115; H01L29/788; H01L29/792
Attorney, Agent or Firm:
KURIHARA, Hiroyuki et al. (Kurihara International Patent Office, Iwasaki Bldg. 6F 3-15, Hiroo 1-chome, Shibuya-k, Tokyo 12, 〒1500012, JP)
Claims: