Düsenanordnungen der genannten Art sind weitläufig bekannt. So werden bei- spielsweise derartige Düsenanordnungen in Durchlaufanlagen zur naßchemischen Behandlung von Leiterplatten eingesetzt, um eine möglichst schnelle und gleich- mäßige Behandlung der durchlaufenden Leiterplatten zu erzielen. Dabei werden bekannterweise mehrere derartige Düsenanordnungen oberhalb und/oder unter- halb der Durchlaufebene der Leiterplatten sowie quer zur Durchlaufrichtung der Leiterplatten angeordnet, aus denen die entsprechende Behandlungsflüssigkeit auf die Leiterplattenoberfläche gestrahlt oder von dieser abgesaugt wird, um somit einen ständigen und gleichmäßigen Austausch der Behandlungsflüssigkeit entlang der Oberfläche der Leiterplatten zu erzielen.

In der EP 1 187 515 A2 werden diesbezüglich eine Vielzahl unterschiedlicher Dü- senanordnungen vorgeschlagen. Dabei kommen jeweils im Wesentlichen runde Rohre zum Einsatz, die unterschiedliche Düsenformen aufweisen. So können die- se Düsenanordnungen beispielsweise schräg angeordnete Schlitzdüsen, in einer Vielzahl von Reihen nebeneinander angeordnete Runddüsen oder auch in einer Vielzahl von Reihen nebeneinander angeordnete und axial verlaufende Schlitzdü- sen aufweisen.

Auch in der DE 37 08 529 A1 wird der Einsatz von Schlitzdüsen vorgeschlagen, wobei durch eine variable Schlitzbreite der entsprechenden Düse die Durchfluss- menge und der Sprühdruck des jeweiligen Mediums eingestellt werden kann.

In der DE 35 28 575 A1 wird zum Reinigen, Aktivieren und/oder Metallisieren von Bohrlöchern in horizontal durchlaufenden Leiterplatten eine unterhalb der Durch- laufebene und senkrecht zur Durchlaufrichtung angeordnete Düse verwendet, aus welcher ein flüssiges Behandlungsmittel in Form einer stehenden Welle an die Unterseite der jeweils durchlaufenden Leiterplatte gefördert wird. Die Düse ist im oberen Teil eines Düsengehäuses angeordnet, welches aus einer Vorkammer mit Einlaufstutzen gebildet ist, wobei die Vorkammer wiederum mittels einer Loch- maske von einem oberen Teil des Düseninnenraums abgetrennt ist. Mit Hilfe der Lochmaske wird eine Verteilung der Strömung des flüssigen Behandlungsmittels zur Düse erzielt. Der Düseninnenraum vor der eigentlichen (Schlitz-) Düse dient als Vorkammer für eine gleichmäßige Ausbildung des Schalls des flüssigen Behand- lungsmittels.

In der EP 0 280 078 B1 ist eine Düsenanordnung zur Reinigung oder chemischen Behandlung von Werkstücken, insbesondere Leiterplatten, mittels einer entspre- chenden Behandlungsflüssigkeit bekannt. Die Düsenanordnung umfasst einen unteren Zulaufkasten und einen Gehäusekasten, wobei durch den unteren Zulauf- kasten die Behandlungsflüssigkeit durch im Boden des Gehäusekastens befindli- che Bohrungen in das Innere des Gehäusekastens geführt wird. Der Gehäusekas- ten wiederum weist eine mittlere Trennwand in Kombination mit zwei Perforations- ebenen und darüber angeordneten Schlitzen auf, wodurch erreicht wird, dass die Behandlungsflüssigkeit zu den beiden Schlitzen fließt und sich darüber zwei gleichmäßige, sinusförmige Schwallwellenprofile ausbilden, die die Werkstücke, insbesondere die Bohrlöcher von Leiterplatten, durchströmen und durch den Ven- turi-Effekt für einen intensiven Stoffaustausch sorgen.

Bei den bekannten Schwalldüsenanordnungen ist die Strömungsgeschwindigkeit am Einlass am höchsten, da hier die größte Flüssigkeitsmenge durchtritt. Mit zu- nehmender Entfernung vom Einlass nimmt die Strömungsgeschwindigkeit ent-

sprechend ab, da über die einzelnen Düsenöffnungen jeweils nur ein Teil der Be- handlungsflüssigkeit abfließt. Dadurch kommt es neben dem vorhandenen stati- schen Druck zu einem Staudruck und ungleichmäßigen Strömungsgeschwindig- keiten an den Düsenöffnungen. Eine weitere Folge sind unterschiedlich große Austrittsmengen der Behandlungsflüssigkeit.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Düsenanord- nung zum Abgeben einer Behandlungsflüssigkeit vorzuschlagen, bei welcher eine weitgehend gleichmäßige Strömungsgeschwindigkeit und Durchflussmenge der Behandlungsflüssigkeit in Längsrichtung der Düsenanordnung erzielt werden kann. Weitere, vorzugsweise zu erfüllende Forderungen sind eine hohe Kompakt- heit des Düsenquerschnittes, um möglichst wenig Platz in Anlagen der zuvor ge- nannten Art zu verbrauchen. Außerdem sollen die Anzahl der Bauteile und damit die Fertigungskosten niedrig gehalten werden. Zusätzlich sollen die Strahlen-bzw.

Schwallgeometrie und die Strahlrichtung vorzugsweise an allen Austrittsöffnungen immer gleich sein.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Düsenanordnung mit den Merk- malen des Anspruches 1 oder durch eine Düsenanordnung mit den Merkmalen des Anspruches 5 gelöst. Die Unteransprüche definieren jeweils bevorzugte und vorteilhafte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung.

Die erfindungsgemäße Düsenanordnung weist ein längliches Gehäuse mit min- destens einer Flüssigkeitszufuhröffnung für die Zufuhr einer Behandlungsflüssig- keit und mit mindestens einer in dem Gehäuse ausgebildeten Flüssigkeitsaus- trittsöffnung zum Abgeben der Behandlungsflüssigkeit an das zu behandelnde Werkstück auf. In dem Gehäuse ist ein Flüssigkeitskanal zum Zuführen der Be- handlungsflüssigkeit von der Flüssigkeitszufuhröffnung zu der mindestens einen Flüssigkeitsaustrittsöffnung ausgebildet. Die mindestens eine Austrittsöffnung kann schlitzförmig oder als eine Reihe hintereinander angeordneter und vonein- ander gleichmäßig beabstandeter runder Bohrungen ausgeführt sein.

Gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung nimmt der Querschnitt des Flüssigkeitskanals ausgehend von der Flüssigkeitszufuhröffnung in Längsrichtung des Gehäuses ab, wobei insbesondere eine kontinuierliche Ver- ringerung des Querschnitts des Flüssigkeitskanals in Längsrichtung und entlang der mindestens einen Flüssigkeitsaustrittsöffnung vorgesehen sein kann. Durch die Anpassung der Durchtrittsquerschnittsfläche des Flüssigkeitskanals an die Entfernung von der Flüssigkeitszufuhröffnung bzw. von dem Flüssigkeitseinlass, wo die größte Flüssigkeitsmenge durchtritt, kann eine Angleichung der Strö- mungsgeschwindigkeit über die gesamte Länge der Düsenanordnung und somit entlang der mindestens einen Flüssigkeitsaustrittsöffnung erzielt werden.

In einem Gehäuse mit gleichem Querschnitt in Längsrichtung kann ein länglicher Einsatz vorgesehen sein, dessen Querschnitt in Längsrichtung ausgehend von der Flüssigkeitszufuhröffnung zunimmt, so dass sich entsprechend der Querschnitt des Flüssigkeitskanals verringert. Bevorzugt ist der Einsatz gegenüber den Flüs- sigkeitsaustrittsöffnungen angeordnet, so dass alle Flüssigkeitsaustrittsöffnungen gleich lange Austrittskanäle aufweisen.

Ebenso ist es jedoch auch möglich, dass die Dicke der Gehäusewand an einer oder mehreren Seiten in Längsrichtung des Gehäuses ausgehend von der Flüs- sigkeitszufuhröffnung zunimmt.

Der Einsatz im Inneren der Düsenanordnung kann z. B. auch aus einzelnen Ab- schnitten bzw. Segmenten in größerer Anzahl gebildet sein. Diese können Ver- drängungskörper oder gelochte Körper sein. So werden z. B. 60 Stück pro Düsen- anordnung entsprechend der gewünschten Länge, mit unterschiedlichem Quer- schnitt, oder bei Scheiben mit unterschiedlichem Innendurchmesser aneinander- gereiht. Die einzelnen Abschnitte können verklebt, verschweißt, mit Spannstangen oder mit einer Versteifung zusammengehalten werden. Der Durchtrittsquerschnitt für die Flüssigkeit nimmt dabei von Abschnitt zu Abschnitt vom ersten Segment am Flüssigkeitseintritt zum Ende der Düsenanordnung hin ständig ab. Wenn z. B. ein Abschnitt jeweils eine Austrittsöffnung aufweist, kann der Stauraum im Ab-

schnitt zylinderförmig sein und nicht kegelförmig. Damit entsteht ein stufenförmiger Flüssigkeitskanal bei sehr niedrigen Herstellkosten.

Gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung ist der Flüssigkeitskanal über mehrere in Längsrichtung des Gehäuses voneinander beabstandete Verteileröffnungen verbunden, die eine unterschiedlich Länge auf- weisen. Wird die Länge dieser Verteileröffnungen ausgehend von der Flüssig- keitszufuhröffnung in Längsrichtung des Gehäuses zunehmend verändert, kann ebenfalls eine Angleichung der Strömungsgeschwindigkeit der Behandlungsflüs- sigkeit über die gesamte Länge der Düsenanordnung an den Düsen-bzw. Flüs- sigkeitsaustrittsöffnungen erzielt werden. Durch die unterschiedlich langen Boh- rungen bzw. Verteileröffnungen entstehen unterschiedliche Strömungswiderstän- de, die zu einer Angleichung der Strömungsgeschwindigkeit führen.

Die zuvor erwähnten Verteileröffnungen können allesamt denselben Durchmesser aufweisen. Ebenso ist jedoch auch denkbar, die Verteileröffnungen mit unter- schiedlichen Durchmessern auszugestalten. Maßgebend für die Veränderung der Durchmesser ist eine unterschiedliche Strömungsgeschwindigkeit im Zuführkanal und die damit entstehenden unterschiedlichen Gesamt-Druckverhältnisse.

Gemäß einer weiteren Variante wird daher vorgeschlagen, die Verteileröffnungen mit unterschiedlichen Durchmessern am Flüssigkeitsaustritt und diese mit Ansen- kungen mit gleichen Durchmessern zu versehen. Wird der Durchmesser der An- senkungen gleich gewählt, erfolgt damit eine weitere Vergleichmäßigung von Vo- lumenstrom und Austrittsgeschwindigkeit.

Die obigen Verteileröffnungen können in einem Einsatz der bereits zuvor erwähn- ten Art in Form entsprechender Bohrungen ausgebildet sein. Der Einsatz kann mit Hilfe einer vorzugsweise u-förmigen Versteifung in dem Gehäuse gehalten sein.

Es wurde beobachtet, dass durch die dynamischen Kräfte der strömenden Flüs- sigkeit der Strahl an den Flüssigkeitsaustrittsöffnungen nicht im Winkel des Öff- nungskanals austritt, sondern schräg in Fließrichtung der Behandlungsflüssigkeit.

Mit zunehmender Länge des Austrittskanals nimmt dieser Effekt ab. Dies führt e- benfalls zu einem ungleichen Behandlungsergebnis am empfindlichen Behand- lungsgut.

Besonders vorteilhaft ist es daher, wenn zwischen der mindestens einen Flüssig- keitsaustrittsöffnung und dem Flüssigkeitskanal ein Stauraum, beispielsweise in Form einer entsprechenden Einfräsung oder Ausnehmung des zuvor erwähnten Einsatzes, vorgesehen ist, welche zur weiteren Druckverteilung und zum Abbau der dynamischen Kräfte dient. Die Verteileröffnungen sind in einer bevorzugten Ausführungsform so angeordnet, dass der austretende Flüssigkeitsstrahl gegen die Wand prallt, in der sich die Flüssigkeitsaustrittsöffnungen befinden. Dann wird der Strahl schräg umgelenkt und prallt gegen die Wand des ausgefrästen Einsat- zes, um dann nach einer erneuten Umlenkung durch die Flüssigkeitsaustrittsöff- nung gegen das Behandlungsgut bzw. Werkstück zu strömen.

Die Flüssigkeitszufuhröffnung bzw. der Einlass für die Behandlungsflüssigkeit kann an einer Längsseite des Gehäuses ausgebildet sein. Selbstverständlich ist jedoch auch denkbar, diese Flüssigkeitszufuhröffnung in einem mittleren Abschnitt des Gehäuses anzuordnen.

Die Flüssigkeitsaustrittsöffnungen sind vorzugsweise in Form von mehreren in Längsrichtung des Gehäuses voneinander beabstandeten Schlitzen ausgebildet, welche allesamt identische Abmessungen oder auch unterschiedliche Abmessun- gen aufweisen können. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Flüssigkeitsaus- trittsöffnungen in Form von mehreren zueinander versetzten Schlitzreihen, die je- weils in Längsrichtung des Gehäuses verlaufen, ausgestaltet sind. Es sind jedoch anstelle der versetzten Schlitzreihen auch versetzte Bohrungsreihen verwendbar.

In beiden Fällen erfolgt ein gleichmäßiges Anströmen des Behandlungsgutes.

Wichtig ist auch, dass der Abstand von den Flüssigkeitsaustrittsöffnungen zum Behandlungsgut immer gleich ist. Es sollte somit vermieden werden, dass sich die Düsenanordnung durch den Stau-oder Strahldruck der Behandlungsflüssigkeit verbiegt. Auch bei höheren Temperaturen oder durch den Anfertigungsprozess (z.

B. Schweißen) hervorgerufene Verformungen sollten vermieden werden. Die er- forderliche Stabilität kann insbesondere dadurch erreicht werden, dass längs ver- laufende versteifende Teile aus Metall an oder in der Düsenanordnung vorhanden sind.

Gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel kann die erfindungsgemäße Düsen- anordnung wiederum einen sich vorzugsweise beidseitig kontinuierlich verringern- den Querschnitt des Flüssigkeitskanals aufweisen, wobei an einer Seite des Ge- häuses eine Abdeckung bzw. ein Deckel flüssigkeitsdicht an dem Gehäuse ange- bracht ist und zusammen mit dem Gehäuse die Flüssigkeitsaustrittsöffnungen de- finiert. Gemäß diesem Ausführungsbeispiel sind die Flüssigkeitsaustrittsöffnungen insbesondere durch mehrere in Längsrichtung der Düsenanordnung voneinander beabstandet angeordnete Schlitze gebildet, welche quer zur Längsrichtung, d. h. in Breitenrichtung der Düsenanordnung, verlaufen, wobei die Flüssigkeitsaustrittsöff- nungen beidseitig der Düsenanordnung angeordnet sind. Jeder Schlitz bzw. Ver- bindungskanal steht somit einerseits mit dem Flüssigkeitskanal des Gehäuses in Verbindung und mündet andererseits in jeweils zwei Flüssigkeitsaustrittsöffnun- gen.

Dieses Ausführungsbeispiel eignet sich besonders gut zum vollkommen gleich- mäßigen Fluten von Behandlungsbädern mit einer Behandlungsflüssigkeit bzw. einem Behandlungsmedium. Bei bestimmten Verfahren, bei denen die Gefahr be- steht, dass aus der Umgebung Stoffe aufgenommen werden, wie beispielsweise Sauerstoff aus der Luft, muss das Fluten möglichst ohne Bildung von Strahlen o- der Strudeln, die die Oberfläche der Behandlungsflüssigkeit vergrößern könnten, durchgeführt werden. Diese Aufgabe erfüllt die Düsenanordnung gemäß dem zu- vor beschriebenen Ausführungsbeispiel durch eine gleichmäßige, langsame Fließgeschwindigkeit über die gesamte Wirklänge der Düsenanordnung.

Das zuletzt erläuterte Ausführungsbeispiel lässt sich mit den Merkmalen der zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiele beliebig kombinieren. Selbstverständlich ist auch eine Realisierung des zuletzt erläuterten Ausführungsbeispiels ohne die zu-

vor beschriebenen Merkmale betreffend die Ausbildung eines Stauraums oder die Verwendung von Verteileröffnungen etc. möglich.

Die erfindungsgemäße Düsenanordnung eignet sich bevorzugt zum Einsatz als Schwalldüse in naßchemischen Anlagen mit einem horizontalen Durchlauf der Leiterplatten. Selbstverständlich ist jedoch die vorliegende Erfindung nicht auf die- sen bevorzugten Anwendungsbereich beschränkt. Sie kann überall dort zum Ein- satz kommen, wo ein Werkstück über eine Düsenanordnung mit Behandlungsflüs- sigkeit, beispielsweise auch zur Reinigung oder chemischen Behandlung etc. des Werkstücks, angeströmt werden soll oder ein möglichst gleichmäßiges Fluten ei- nes Behandlungsbads mit einer derartigen Behandlungsflüssigkeit möglich sein soll. In allgemeinster Form kann daher die Erfindung überall dort eingesetzt wer- den, wo eine möglichst gleichmäßige Abgabe einer Behandlungsflüssigkeit ge- wünscht ist.

Die vorliegende Erfindung wird nachfolgend näher unter Bezugnahme auf die bei- gefügten Zeichnungen anhand eines bevorzugten Ausführungsbeispiels erläutert.

Figur 1 zeigt eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Düsenanordnung in einer einfachen Form im Teilquerschnitt entlang einer in Figur 4 dargestellten Schnittlinie B-B', Figur 2 zeigt eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Düsenanordnung als Alternative zu Figur 1 im Teilquerschnitt entlang der in Figur 4 dargestellten Schnittlinie B-B', Figur 3 zeigt eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Düsenanordnung in einer bevorzugten Ausführungsform mit zusätzlichem Stauraum zur Druckvertei- lung im Teilquerschnitt entlang der in Figur 4 dargestellten Schnittlinie B-B', Figur 4 zeigt eine Draufsicht auf die in Figur 3 dargestellte Düsenanordnung im Teilquerschnitt entlang einer in Figur 3 dargestellten Schnittlinie A-A',

Figur 5 zeigt eine Seitenansicht eines in Figur 3 und Figur 4 dargestellten Einsat- zes sowie einer Versteifung zum Halten dieses Einsatzes in der Düsenanordnung, Figur 6 zeigt eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Düsenanordnung in einer alternativen Ausführung zu Figur 3 bzw. Figur 4 im Teilquerschnitt entlang der in Figur 4 dargestellten Schnittlinie B-B', Figur 7 zeigt eine Querschnittsansicht der Düsenanordnung von Figur 3 entlang einer in Figur 3 dargestellten Schnittlinie C-C', Figur 8 zeigt eine Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Düsenanordnung ge- mäß einem weiteren Ausführungsbeispiel in Form eines Teilquerschnitts, Figur 9 zeigt eine Draufsicht auf die in Figur 8 dargestellte Düsenanordnung im Teilquerschnitt, und Figur 10 zeigt eine Querschnittsansicht der Düsenanordnung von Figur 8 und Fi- gur 9 entlang einer in Figur 8 dargestellten Schnittlinie C-C.

Die in Figur 1 dargestellte Düsenanordnung, welche sich insbesondere als Schwalldüse für Galvanisierungsanlagen mit einem horizontalen Durchlauf von Leiterplatten eignet, umfasst ein im Wesentlichen quaderförmiges Gehäuse 2. An einer Stirnfläche des Gehäuses 2 ist ein mit einer Flüssigkeitszufuhröffnung des Gehäuses gekoppelter Anschlussstutzen 1 für die Zufuhr einer Behandlungsflüs- sigkeit vorgesehen. An einer dem zu behandelnden Werkstück bzw. dem Behand- lungsgut gegenüberliegend anzuordnenden Seitenfläche des Gehäuses 2 sind zueinander versetzte Schlitz-oder Bohrungsreihen angeordnet, die Austrittsöffnungen 8 für die Behandlungsflüssigkeit bilden. Bei den dargestellten Ausführungsbeispielen weisen alle schlitzartigen Austrittsöffnungen oder Bohrun- gen 8 die gleichen Abmessungen und demzufolge die gleiche Länge und Breite bzw. Durchmesser auf. Es können jedoch auch unterschiedliche Abmessungen gewählt werden, um ein vorbestimmtes Sprüh bzw. Schwallbild zu erzeugen.

Im Inneren des Gehäuses 2 ist ein keilförmiger Einsatz 3, welcher vorzugsweise aus Kunststoff gefertigt ist, und eine u-förmige Versteifung 4 zur Stabilisierung dieses Einsatzes 3 angeordnet, die aus einem, gegen die verwendeten Chemika- lien beständigem Metall wie z. B. Edelstahl, Titan, Niob oder dergleichen, besteht.

Wie nachfolgend näher beschrieben ist, dient der Einsatz 3 zum Vergleichmäßi- gen der Strömungsgeschwindigkeit im Flüssigkeitskanal und damit zur gleichmä- ßigen Verteilung der Behandlungsflüssigkeit über die gesamte Länge der Düsen- anordnung.

Wie insbesondere aus Figur 1 ersichtlich, ist der Einsatz 3 in Längsrichtung ko- nisch verlaufend, so dass er an seinem dem Anschlussstutzen 1 benachbart an- geordneten Ende die geringste Dicke und an seinem entgegengesetzten Ende die größte Dicke aufweist. Zwischen dem Einsatz 3 und der Versteifung 4 besteht ein als Flüssigkeitskanal 5 für die Behandlungsflüssigkeit dienender Hohlraum. An dem mit dem Anschlussstutzen 1 gekoppelten Ende ist der Durchflussquerschnitt dieses Flüssigkeitskanals 5 demzufolge am Größten und nimmt kontinuierlich zum entgegengesetzten Ende hin, wo der Durchflussquerschnitt am geringsten ist, ab.

Die Düsenanordnung weist an der dem Behandlungsgut gegenüberstehenden Fläche entlang ihrer Länge die vorzugsweise gleichmäßig voneinander beabstandete Austrittsöffnungen 8 in Form von Durchgangsbohrungen auf, welche bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel allesamt denselben Durchmesser besitzen. Anstelle der dargestellten Bohrungen können auch schlitzförmige Austrittsöffnungen verwendet werden.

Wie wiederum Figur 1 entnommen werden kann, ist die Länge dieser Austrittsöffnungen 8 über die gesamte Länge der Düsenanordnung gleich.

Die Behandlungsflüssigkeit wird der Düsenanordnung in Pfeilrichtung über den Anschlussstutzen 1 in den Flüssigkeitskanal 5 zugeführt und in Längsrichtung zu den Austrittsöffnungen 8 weitergeleitet.

Da durch den keilförmigen Einsatz 3 die Strömungsgeschwindigkeit an allen Stel- len des Flüssigkeitskanals 5 gleich hoch ist und alle Austrittsöffnungen 8 gleiche Abmessungen aufweisen, entsteht ein sehr gleichmäßiges Spritzbild.

Gemäß Figur 2 ist der keilförmige Einsatz im oberen Teil der Düsenanordnung angeordnet. Die Austrittsöffnungen 8 sind im Gehäuse 2 und im Einsatz 3 de- ckungsgleich vorhanden. Dadurch entstehen unterschiedlich lange Austrittskanäle bei gleichem Durchmesser der Austrittsöffnungen. Die unterschiedlich langen Aus- trittskanäle können zu einer weiteren Angleichung des Spritzbildes verwendet werden. In den längeren Bohrungen in größerer Entfernung vom Flüssigkeitsein- lauf entsteht ein sich zum Ende hin vergrößernder Strömungswiderstand, der für eine weitere Angleichung der Strömungsverhältnisse sorgt.

Gemäß Figur 3 ist in einem Einsatz 3 eine Einfräsung oder Ausnehmung sowie in Längsrichtung des Einsatzes 3 voneinander beabstandete Verteileröffnungen 7 ausgebildet. Durch die Einfräsung oder Ausnehmung am Einsatz 3 entsteht zwi- schen den Verteileröffnungen 7 des Einsatzes 3 und den in dem Gehäuse 2 aus- gebildeten schlitzartigen Austrittsöffnungen 8 (in dieser Figur nicht dargestellt) ein Stauraum 6 für die Behandlungsflüssigkeit, welcher zur weiteren Druckverteilung dient. Der aus jeder Verteileröffnung 7 austretende Flüssigkeitsstrahl wird zu- nächst gegen die obere Gehäusewand gestrahlt, von dort schräg nach unten ge- gen die Einsatzwand 3 gelenkt, um nach einem erneuten Richtungswechsel durch die schlitzartige Austrittsöffnung 8 zu dem Behandlungsgut 10 hin auszutreten.

Diese Umlenkung baut die dynamische Kraft der bewegten Flüssigkeit gezielt ab.

Figur 7 zeigt als Schnitt C-C', in Figur 3 dargestellt, weitere Einzelheiten der Dü- senanordnung.

Die Verteileröffnungen 7 sind durch den keilförmigen Einsatz 3 unterschiedlich lang. Ist dieser Längenunterschied störend, können die Bohrungen zur Anpassung der Strömungsverhältnisse mit unterschiedlich langen Ansenkungen 9 gemäß Ausschnitt D (in Figur 3 dargestellt) versehen werden.

Eine Kombination des sich fortlaufend verkleinernden Flüssigkeitskanals 5 von der Zufuhröffnung zum entgegengesetzten Ende der Düsenanordnung hin in Verbin- dung mit dem Stauraum 6 und der Mehrfachumlenkung des Flüssigkeitsstromes vor dem Austritt aus den Austrittsöffnungen 8 (z. B einer Schlitzreihe) sorgt dafür, dass die Menge der austretenden Flüssigkeit pro Schlitz und die Austrittsge- schwindigkeit gleich groß sind.

Wie aus Figur 5 ersichtlich ist, verläuft die Versteifung 4 im Wesentlichen über die gesamte Länge des Einsatzes 3. Am äußeren Ende der Versteifung ist der Einsatz 3 um die Wandstärke der Versteifung verdickt. Dies dient zum dichten Abschluss des Flüssigkeitskanals 5 im Inneren des Gehäuses 2 der Düsenanordnung (vgl. auch Figur 3). Auch entlang seiner Oberseite ist der Einsatz 3 in gleicher Stärke verdickt, so dass er sicher auf der u-förmigen Versteifung 4 aufsitzt, wie dies Figur 7 entnommen werden kann. Es ist jedoch auch möglich, die u-förmige Versteifung außen am Gehäuse 2 anzubringen. Zu diesem Zweck kann die Verdickung am Einsatz 3 entfallen. Die Versteifung kann zusätzlich mittels z. B. Schrauben am Gehäuse befestigt sein. Die Schrauben sollten jedoch nicht in den Flüssigkeitska- nal 5 hineinragen.

Bei dem in den Figuren 3-7 dargestellten Ausführungsbeispielen wird eine gleich- mäßige Strömungsgeschwindigkeit der Behandlungsflüssigkeit an den Austrittsöffnungen 8 im Prinzip durch zwei Maßnahmen realisiert. Zum einen nimmt der Durchtrittsquerschnitt für die Behandlungsflüssigkeit im Inneren der Dü- senanordnung, das heißt im Flüssigkeitskanal 5, von dem Anschlussstutzen 1 zum Ende der Düsenanordnung hin durch den schräg verlaufenden Einsatz 3 kontinu- ierlich ab. Zum anderen leiten die Verteileröffnungen 7 den Flüssigkeitsstrahl nicht direkt zum Behandlungsgut. Er wird stattdessen zweimal umgelenkt, um dann erst durch die Flüssigkeitsaustrittsöffnungen 8, in diesen Beispielen sind dies Schlitz- reihen, auszutreten.

Der Strömungswiderstand in den Verteileröffnungen 7 nimmt aufgrund deren kon- tinuierlich zunehmenden Länge ständig zu. Damit dies keinen Einfluss auf die Flüssigkeitsverteilung hat, wird die Schräge des Einsatzes 3, in den Figuren 2,3,

und 5 dargestellt, vorzugsweise etwas flacher gewählt, so dass am Ende der Dü- senanordnung noch ein Spalt verbleibt. Im Beispiel der Fig. 3 beträgt die Spalthö- he am Ende etwa 4 mm.

Eine Kombination der beiden Maßnahmen (schräger Einsatz und Flüssigkeitsum- lenkung im zusätzliche Stauraum) führt zu den besten Ergebnissen, da die Quer- schnittsverkleinerung des Flüssigkeitskanals 5 alleine unter Umständen nur einen zu geringen Druckausgleich hervorrufen kann und die Strahlen schräg austreten.

Da mit dieser Kombination die Austrittsöffnungen 8 vorzugsweise alle gleiche Brei- ten bzw. Durchmesser aufweisen, strömt an allen Austrittsöffnungen auch das gleiche Flüssigkeitsvolumen pro Zeiteinheit aus.

Figur 6 zeigt ein weiteres Beispiel einer Düsenanordnung mit einem Stauraum 6.

Hier sind zwei Einsätze 3 und 3'vorhanden. Der Einsatz 3 ist, wie schon be- schrieben, keilförmig und im unteren Teil der Düsenanordnung eingebaut. Der Einsatz 3'im oberen Teil der Düsenanordnung hat über die gesamte Länge den gleichen Querschnitt. Im Einsatz 3'befinden sich Verteilerbohrungen 7. Sie haben alle die gleiche Länge. Dementsprechend verläuft der keilförmige Flüssigkeitska- nal am Ende spitzer aus als in den Figuren 2,3, und 5 dargestellt.

Dennoch kann bereits gegebenenfalls durch Realisierung lediglich einer der bei- den zuvor beschriebenen Maßnahmen eine für den jeweiligen Anwendungsfall ausreichend gleichmäßige Strömungsgeschwindigkeit der Behandlungsflüssigkeit an den Austrittsöffnungen 8 erzielt werden.

Selbstverständlich sind eine Reihe von Modifikationen der in den Figuren darge- stellten Ausführungsbeispiele denkbar, ohne von dem Grundgedanken der vorlie- genden Erfindung abzuweichen. So könnte beispielsweise der Anschlussstutzen 1 in die Mitte des Gehäuses 2 der Düsenanordnung verlegt werden, so dass die Zu- fuhr der Behandlungsflüssigkeit mittig erfolgt. Bei dieser Abwandlung würde dann der Durchtrittsquerschnitt des Flüssigkeitskanals 5 im Inneren des Gehäuses 2 ausgehend von dem mittigen Anschlussstutzen 1 zu den beiden Enden des Ge- häuses 2 hin, das heißt beidseitig, abnehmen und sich die Dicke des Einsatzes 3

entsprechend ausgehend von dem mittigen Anschlussstutzen 1 zu den beiden Enden hin verbreitern, so dass auch die Länge der Verteilerbohrungen 7 in dem Einsatz 3 beidseitig zunimmt.

Des Weiteren wird bei den dargestellten Ausführungsbeispielen der sich kontinu- ierlich reduzierende Durchtrittsquerschnitt des Flüssigkeitskanals 5 alleine durch die zunehmende Breite des Einsatzes 3 realisiert. Selbstverständlich ist auch denkbar, dass mehrere Seitenflächen des Flüssigkeitskanals 5 in Längsrichtung des Gehäuses 2 zunehmend verbreitert werden. Darüber hinaus kann gegebenen- falls auf den Stauraum 6 zur weiteren Druckverteilung verzichtet werden.

Zur Verbesserung der Gleichmäßigkeit der Strömungsgeschwindigkeit können die schlitzartigen Austrittsöffnungen 8 auch mit einer unterschiedlichen Breite verse- hen werden, wobei die Breite insbesondere in Längsrichtung des Gehäuses 2 ausgehend von dem Einlassstutzen 1 abnehmen kann. Dies führt in der Regel zu unterschiedlichen Volumenströmen, die ungleiche Ergebnisse am Behandlungsgut erbringen können.

Abweichend von den dargestellten Ausführungsbeispielen können die Verteileröff- nungen 7 auch mit unterschiedlichen Durchmessern ausgestaltet sein, wobei zur Realisierung eines kontinuierlich zunehmenden Strömungswiderstands insbeson- dere eine kontinuierliche Reduzierung der Durchmesser der Verteileröffnungen 7 denkbar ist, da zum Ende der Düsenanordnung hin der Gesamtdruck am höchsten ist.

An der an den Flüssigkeitskanal 5 angrenzenden Seite der Verteileröffnungen 7 können diese mit Ansenkungen 9 mit einem größeren Durchmesser versehen werden (vgl. Figur 3). Zur Realisierung eines in Längsrichtung des Gehäuses 2 kontinuierlich zunehmenden Strömungswiderstands können diese Ansenkungen mit einer unterschiedlichen Tiefe, insbesondere mit einer in Längsrichtung des Gehäuses 2 kontinuierlich zunehmenden Tiefe, versehen werden.

Auf die in der Zeichnung dargestellte Versteifung 4 kann gegebenenfalls auch ver- zichtet werden. Ebenso ist denkbar, dass der Einsatz 3 und das Gehäuse 2 eintei- lig ausgestaltet sind. Schließlich sollte auch darauf hingewiesen werden, dass bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel zwar eine Vielzahl von in Längsrichtung des Gehäuses 2 beabstandeten Austrittsöffnungen 8 vorgesehen sind, welche insbesondere gleichmäßig beabstandet und in zwei zueinander versetzten Schlitz- reihen angeordnet sind, wobei jedoch im Prinzip eine ordnungsgemäße und zu- frieden stellende Funktionsfähigkeit der Düsenanordnung auch bereits bei lediglich einer insbesondere länglichen Austrittsöffnung 8, beispielsweise bei lediglich einer sich in Längsrichtung des Gehäuses 2 schlitzartig erstreckenden Austrittsöffnung 8, gewährleistet ist.

In Figur 8-10 ist eine weitere Düsenanordnung gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung dargestellt, wobei Figur 8 eine Seitenansicht der Dü- senanordnung im Teilquerschnitt, Figur 9 eine Draufsicht der Düsenanordnung im Teilquerschnitt und Figur 10 eine Querschnittsansicht der Düsenanordnung ent- lang einer in Figur 8 gezeigten Schnittlinie C-C darstellt.

Bei der in Figur 8-10 gezeigten Düsenanordnung handelt es sich um ein Ausfüh- rungsbeispiel, welches besonders gut zum gleichmäßigen Fluten von Behand- lungsbädern mit einer Behandlungsflüssigkeit geeignet ist. Bei bestimmten Verfah- ren, bei denen die Gefahr besteht, dass aus der Umgebung Stoffe, wie beispiels- weise Sauerstoff aus der Luft, aufgenommen werden, muss das Fluten möglichst ohne Bildung von Strahlen oder Strudel, die die Oberfläche der Behandlungsflüs- sigkeit vergrößern könnten, durchgeführt werden. Dies erfüllt die in Figur 8-10 dargestellte Düsenanordnung durch eine gleichmäßige, langsame Fließgeschwin- digkeit über die gesamte Wirklänge der Düsenanordnung.

Die in Figur 8-10 dargestellte Düsenanordnung umfasst wie die zuvor beschriebe- nen Ausführungsformen einen Anschlussstutzen 1 und ein längliches, im Wesent- lichen quaderförmiges Gehäuse 2, in dem eine Einsatz 3 eingebaut ist, welcher einen Flüssigkeitskanal 5 mit in Längsrichtung der Düsenanordnung bzw. des Ge- häuses 2 kontinuierlich abnehmendem Querschnitt definiert. Aus Figur 9 ist dies-

bezüglich ersichtlich, dass insbesondere der Einsatz 3 beidseitig den Querschnitt des Flüssigkeitskanals 5 verringert, wobei der Querschnitt des Flüssigkeitskanals 5 vom Anschlussstutzen 1 bis zum Ende der Düsenanordnung kontinuierlich und gleichmäßig verkleinert wird, so dass im Flüssigkeitskanal 5 selbst stets annä- hernd die gleiche Fließgeschwindigkeit der Behandlungsflüssigkeit vorhanden ist.

An einer Seite des Gehäuses 2 ist eine Abdeckung bzw. ein Deckel 11 flüssig- keitsdicht durch eine geeignete Fügetechnik, wie beispielsweise durch Schweißen oder Kleben, an dem Gehäuse 2 angebracht. Wie aus Figur 8 und Figur 9 ersicht- lich ist, weist die Abdeckung 11 an ihrer Unterseite eine Vielzahl von quer zur Längsrichtung der Düsenanordnung verlaufende Schlitze oder Verbindungskanäle auf, welche insbesondere gleichmäßig über die gesamte Wirkungslänge der Dü- senanordnung voneinander beabstandet verteilt sind. Diese Schlitze der Abde- ckung 11 bilden zusammen mit dem Gehäuse 2 Flüssigkeitsaustrittsöffnungen 8 für die Behandlungsflüssigkeit.

Wie Figur 10 entnommen werden kann, kann bei dieser Ausführungsform die über den Anschlussstutzen 1 der Düsenanordnung zugeführte Behandlungsflüssigkeit von dem Flüssigkeitskanal 5 über die in der Abdeckung 11 ausgebildeten Schlitze an den beidseitig der Düsenanordnung bzw. des Gehäuses 2 vorgesehenen Flüs- sigkeitsaustrittsöffnungen 8 austreten.

Selbstverständlich kann die in Figur 8-10 dargestellte Düsenanordnung auch mit den Merkmalen der zuvor anhand von Figur 1-7 beschriebenen Düsenanordnun- gen kombiniert werden.

Die Beschreibung der erfindungsgemäßen Düsenanordnung bezieht sich in allen Ausführungsbeispielen auf das Fördern der Behandlungsflüssigkeit von der Dü- senanordnung zum Behandlungsgut. Die Düsenanordnung funktioniert in gleicher Weise auch für das Absaugen der Behandlungsflüssigkeit vom Behandlungsgut in die Düsenanordnung hinein. Wenn während der Behandlung Abbauprodukte ent- stehen oder Feststoffe abgetragen werden, ist diese Form der Elektrolytförderung besonders vorteilhaft. Mit dem Einsaugen der Behandlungsflüssigkeit in die Dü-

senanordnung werden die Abbauprodukte oder Feststoffe mitgerissen und gelan- gen so auf dem schnellsten Wege zu einer Regenerationseinheit oder z. B. einem Filter der die Feststoffe entfernt. Eine Beeinträchtigung des Behandlungsergebnis- ses durch diese Stoffe ist damit nahezu ausgeschlossen.

Bezugszeichenliste 1. Anschlussstutzen 2. Gehäuse 3. Einsatz 4. Versteifung 5. Flüssigkeitskanal 6. Stauraum 7. Verteileröffnungen (Verteilerbohrungen) 8. Flüssigkeitsaustrittsöffnungen 9. Ansenkungen 10. Behandlungsgut 11. Abdeckung