Title:
OBJECTIVE LENS SYSTEM AND ELECTRON MICROSCOPE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/158579
Kind Code:
A1
Abstract:
Provided is an objective lens system and electron microscope capable of specimen observation using an electron beam accelerated to an ultra-high voltage state, even without using a direct current ultra-high voltage source, a direct current accelerator tube or multiple electromagnetic lenses for ultra-high voltage. a microwave accelerator (3) containing microwave cavities is provided on the injection side of a pair of objective lenses consisting of electromagnetic lenses (pre-objective electromagnetic lens (2a), post-objective electromagnetic lens (2b)), and a microwave decelerator (4) containing microwave cavities is provided on the output side of a pair of objective lenses. In addition, microwaves having mutually different phases are supplied to the cavities of the microwave accelerator (3) and the microwave decelerator (4) through a waveguide (6) from a high frequency power source (5).
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Inventors:
NAGAYAMA Kuniaki (5-1 Aza Higashiyama, Myodaiji-cho, Okazaki-sh, Aichi 87, 〒4448787, JP)
永山 國昭 (〒87 愛知県岡崎市明大寺町字東山５－１ 大学共同利用機関法人自然科学研究機構内 Aichi, 〒4448787, JP)
NAGATANI Yukinori (5-1 Aza Higashiyama, Myodaiji-cho, Okazaki-sh, Aichi 87, 〒4448787, JP)
永山 國昭 (〒87 愛知県岡崎市明大寺町字東山５－１ 大学共同利用機関法人自然科学研究機構内 Aichi, 〒4448787, JP)
NAGATANI Yukinori (5-1 Aza Higashiyama, Myodaiji-cho, Okazaki-sh, Aichi 87, 〒4448787, JP)
Application Number:
JP2011/060855
Publication Date:
December 22, 2011
Filing Date:
May 11, 2011
Export Citation:
Assignee:
INTER-UNIVERSITY RESEARCH INSTITUTE CORPORATION NATIONAL INSTITUTES OF NATURAL SCIENCES (2-21-1, Osawa Mitaka-sh, Tokyo 88, 〒1818588, JP)
大学共同利用機関法人自然科学研究機構 (〒88 東京都三鷹市大沢二丁目２１番１号 Tokyo, 〒1818588, JP)
NAGAYAMA IP HOLDINGS, LLC (Inc. 805 Third Avenue, 17th Floor, New Yor, New York ., 10022, US)
ナガヤマ アイピー ホールディングス エルエルシー (10022 ニューヨーク州ニューヨーク、８０５ サードアベニュー、１７ フロア、トヨタ ツウショー アメリカ インク内 New York, 10022, US)
NAGAYAMA Kuniaki (5-1 Aza Higashiyama, Myodaiji-cho, Okazaki-sh, Aichi 87, 〒4448787, JP)
大学共同利用機関法人自然科学研究機構 (〒88 東京都三鷹市大沢二丁目２１番１号 Tokyo, 〒1818588, JP)
NAGAYAMA IP HOLDINGS, LLC (Inc. 805 Third Avenue, 17th Floor, New Yor, New York ., 10022, US)
ナガヤマ アイピー ホールディングス エルエルシー (10022 ニューヨーク州ニューヨーク、８０５ サードアベニュー、１７ フロア、トヨタ ツウショー アメリカ インク内 New York, 10022, US)
NAGAYAMA Kuniaki (5-1 Aza Higashiyama, Myodaiji-cho, Okazaki-sh, Aichi 87, 〒4448787, JP)
International Classes:
H01J37/141; H01J37/26; H01J37/28
Attorney, Agent or Firm:
WATANABE Kaoru (KUNPU INTELLECTUAL PROPERTY AGENTS, SUCCESS-SENGAKUJI BLDG. 3F 2-20-29, Takanawa, Minato-k, Tokyo 74, 〒1080074, JP)
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