Die Erfindung bezieht sich auf einen optischen Sensor zur Bestimmung des Drehwinkels einer Drehachse mit

a) einer optischen Strahlungsquelle, ersten und zweiten Strahlungsumlenkenden und abbildenden optischen Elementen, einem ortsauflösenden optoelektro¬ nischen Detektor und

b) einer im Strahlengang zwischen den ersten und zweiten optischen Elementen angeordneten strukturierten Scheibe, die mit der Drehachse drehbar ist und deren Strukturen dem Drehwinkel zugeordnet sind und deren Strukturen zumindest teilweise von der Strahlung der Strahlungsquelle beleuchtet und auf den Detektor abgebildet oder projiziert werden.

Derartige optische Sensoren werden unter anderem in geodätischen Geräten zur Winkelvermessung eingesetzt. So werden beispielsweise in einem Theodoliten die Drehwinkel der Schwenkachsen des Theodolitfernrohrs gemessen, um dadurch den Höhenwinkel und den Seitenwinkel (Azimuth) zu einem anvisierten Zielpunkt zu bestimmen. Solche Drehwinkelmessungen sind aus der EP 00 85 951 B1 bekannt. Mittels einer Projektion von optischen Marken auf eine Fotoempfängeranordnung mit einer Vielzahl von Fotoempfängern wird die Lage der optischen Marken gemessen, um daraus eine Winkelinformation zu erhalten. Dazu sind die optischen Marken radial ausgerichtet und bilden einen codierten Meßkreis. Dieser wird mittels einer Lichtquelle und einer Optik beleuchtet und mit einer weiteren Optik auf die Fotoempfängeranordnung abgebildet. Dabei bestehen die Optiken aus einzelnen optischen Bauteilen, die über mechanische Fassungen und Halterungen zueinander, zur Lichtquelle und zur

Fotoempfängeranordnung mechanisch verstellbar ausgerichtet werden müssen.

In der EP 0 417 742 B1 wird für ein Drehwinkelmeßgerät oder für die Anwendung in Drehgebern eine elektrooptische Abtasteinheit beschrieben, bei der Licht eine Kondensorlinse und eine Abtastplatte mit einer lichtdurchlässigen Teilung durchquert. Das Licht wird durch eine zur Abtastplatte bewegliche lichtdurchlässige Skala moduliert und anschließend von mindestens einem photoelektrischen Empfängerelement detektiert. Dabei ist jedes Empfängerelement mit Hilfe einer Feinjustierung einzeln nachstellbar, um eine optimale Position bezüglich der optischen Achse einstellen zu können. Eine derartige mechanische variable Einstellmöglichkeit der Empfängerelemente bedeutet einen erheblichen konstruktiven Aufwand.

Zusammengefaßt benötigen die genannten Drehwinkelmeßvorrichtungen zur optischen Strahlungsführung einzelne optische und mechanische Bauelemente, die einzeln hergestellt, gefaßt, montiert und zueinander genau justiert werden müssen. Die meisten der Bauelemente bleiben verschiebbar und justierbar. Dadurch ist der optisch-mechanische Aufbau aufwendig. Der Aufwand wird noch erhöht, wenn eine hohe optisch-mechanische oder thermische Stabilität gefordert wird.

Es ist Aufgabe der Erfindung, bei gleichbleibender oder verbesserter Meßgenauigkeit den optischen Aufbau eines Drehwinkelsensors aus Kosten-, Platzbedarfs- und Stabilitätsgründen und zur Erhöhung der Fertigungs¬ zuverlässigkeit zu miniaturisieren, wobei die Herstellung und Montage der optischen Bauteile möglichst in nur einem Arbeitsgang durchgeführt werden soll.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die optischen Elemente auf oder / und in einem Grundkörper aus optisch leitendem Material monolithisch integriert sind, wodurch die Strahlung innerhalb des Grundkörpers geführt wird, und daß der Grundkörper Oberflächenbereiche aufweist, aus denen die Strahlung nach den ersten optischen Elementen in Richtung der Scheibe austritt und in die die Strahlung nach ihrer Wechselwirkung mit den Strukturen der

Scheibe in den Grundkörper wieder eintritt.

Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Merkmalen der Unteransprüche.

Die monolithische Integration von optischen Elementen auf einem Quarzglassubstrat ist an sich bekannt. In Optics Letters, Vol. 18, No. 19 (Oct. 1 , 1993), P. 1594-1596, wird zum Beispiel ein integriertes planares optisches Abbildungssystem beschrieben, mit dem die Struktur eines Pixel-Arrays von einer Eingangsseite zu einer Ausgangsseite eines hybrid aufgebauten Abbildungssystems über einen geschlossenen Strahlengang übertragen wird.

Erfindungsgemäß wird die Strahlungsführung so gestaltet, daß die Strahlung in einem bestimmten Bereich des Grundkörpers diesen verläßt, um mit den drehwinkelabhängigen Strukturen einer Scheibe in Wechselwirkung zu treten. Anschließend tritt die Strahlung wieder in den Grundkörper ein. Dabei sind alle Lageveränderungeπ der Strahlung auf dem Detektor ausschließlich auf die Wechselwirkung mit den Strukturen der Scheibe außerhalb des Grundkörpers zurückzuführen. Die Strahlungsführung im Grundkörper durch die monolithisch integrierten optischen Elemente bleibt stabil. Die monolithische Integration eröffnet darüber hinaus eine große Vielfalt an Gestaltungsmöglichkeiten für die optischen Elemente und eine einfache Anpassung bei Verwendung unterschiedlicher Scheiben mit unterschiedlich aufgebauten Strukturen.

Der Begriff der monolithischen Integration von optischen Elementen auf oder / und in einem Grundkörper soll hier sowohl im engeren als auch in einem weiteren Sinne verstanden werden. Streng monolithisch integriert bedeutet, daß alle optischen Elemente aus ein und demselben Grundkörper hervorgehen - direkt bei der Herstellung des Grundkörpers oder bei dessen Bearbeitung. So können beispielsweise optische Elemente aus dem Grundkörper herausgeätzt, herausgefräst oder in dem Grundkörper eingeätzt, eingefräst oder

entsprechende Strukturen eingraviert, eingepreßt oder eingeprägt sein Ebenso können sie auch durch Blankpressen oder durch Spritzgußverfahren entstehen

Werden mehrere solcher Grundkorper fest und unlösbar miteinander verbunden, so soll diese Gesamtheit ebenfalls eine monolithische Einheit darstellen

Im erweiterten Sinne soll als monolithische Integration auch die Replikation von optischen Elementen gelten Dabei werden verformbare Materialien auf dem Grundkorper aufgebracht und mittels einer Abdruckform in eine bestimmte geometrische Form gebracht und dann z B durch chemische, thermische oder UV-Behandlung in ihrer Geometrie und auf dem Grundkorper fixiert Dadurch sind die optischen Elemente bereits bei ihrer Erzeugung unlösbar zueinander ausgerichtet

Schließlich sollen auch optische Elemente, die durch Aufdampfen von Materialien auf dem Grundkorper erzeugt werden, als monolithisch integriert verstanden werden

Wie in vielen Anwendungen der Photonik werden auch bei einem modernen optischen Drehwinkelsensor eine Reihe von Anforderungen an das zugehörige optische System gestellt Eine präzise Ausrichtung der optischen Komponenten untereinander und mechanische und thermische Langzeitstabilitat werden ebenso gefordert wie eine geringe Große des optischen Aufbaus und niedrige Herstellkosten Für Vorrichtungen aus frei aufgebauten einzelnen optischen

Komponenten ist es nicht möglich, alle Bedingungen gleichzeitig zu erfüllen Alle bekannten Losungen stellen Kompromisse mit Schwerpunkt auf einzelne Anforderungen dar Erfindungsgemäß fuhrt die monolithische Integration von optischen Bauelementen auf einem Grundkorper für einen Drehwinkelsensor zu einem zuverlässigen, kompakten und kostengünstigen optischen System, das nahezu alle Anforderungen gleichzeitig erfüllt

Ein optisches Element kann für sich allein auf einem Grundkorper monolithisch

integriert werden. Jedoch ergeben sich die großen Vorteile der monolithischen Integration durch die gleichzeitige Herstellung einer Vielzahl von gleichartigen oder verschiedenartigen optischen Elementen auf einem gemeinsamen Grundkörper. So können alle für den Drehwinkelsensor notwendigen abbildenden und strahlungsumlenkenden optischen Elemente als komplette Einheit in einem Herstellungsprozeß gleichzeitig entstehen. Dabei hat sich herausgestellt, daß die Fertigungszuverlässigkeit einer solchen Einheit sehr hoch ist.

Bei herkömmlichen optischen Aufbauten aus Einzelelementen werden unterschiedliche Materialien für die optischen Elemente und deren Fassungen und Halterungen verwendet, die unterschiedliche Materialeigenschaften wie unterschiedliche Wärmeausdehnungskoeffizienten besitzen. Demgegenüber sind die in einem einzigen Grundkörpermaterial monolithisch integrierten optischen Elemente hinsichtlich mechanischer und thermischer Einflüsse erheblich langzeitstabiler. Zudem sind sie aufgrund ihrer Herstellung bereits gegenseitig justiert und fest "montiert". Eine Verstellung oder Dejustage ist nicht mehr möglich. Durch den Wegfall von Montage- und Justierarbeiten werden Arbeitskosten eingespart und eine Massenproduktion ermöglicht. Auch die Materialkosten sind durch die Reduzierung vieler einzelner Komponenten zu einem einzigen Bauteil erheblich geringer. Nicht zuletzt bedeutet der kompakte Aufbau einer abbildenden Optik aus monolithisch integrierten optischen Elementen auf einem kleinen Grundkörper ein äußerst geringes Gewicht und eine sehr geringe Platzbeanspruchung im Vergleich zu einer herkömmlich aufgebauten Optik. Dies ist insbesondere beim Einsatz von tragbaren Vermessungsinstrumenten wie Theodoliten oder Digital-Nivellieren von Vorteil. Ganz in Analogie zu dem in solchen Geräten vorhandenen modernen elektronischen Aufbau mit den integrierten Schaltkreisen der Mikrochips wird somit auch der optische Aufbau leicht und kompakt gestaltet.

Für die Strahlungsführung können reflektive, refraktive oder diffraktive optische Elemente verwendet werden. Als nichtabbildende optische Elemente zur

Strahlungsfuhrung innerhalb des Grundkorpers eignen sich vorteilhaft die Oberflachen des Grundkorpers selbst, an denen durch Totalreflexion eine Strahlungsumlenkung stattfinden kann Eine Strahlungsumlenkung kann auch durch reflektierende Filme erreicht werden, die an bestimmten Stellen auf der Grundkorperoberflache aufgebracht werden

Die reflektiven optischen Elemente können aber auch sphärische oder asphaπsche Oberflachen besitzen Dadurch erhalten sie zusätzlich auch abbildende Eigenschaften Somit laßt sich die gesamte Optik des Drehwinkelsensors allein mit verschiedenen reflektiven Elementen darstellen und als eine einzige monolithische Einheit herstellen

Eine solche Einheit kann beispielsweise aus Glas durch Blankpressen oder aus Kunststoff durch Spritztechnik hergestellt werden Die so hergestellte monolithische Einheit kann auf einer Tragerplatte befestigt werden oder kann selber die Rolle der Tragerplatte übernehmen Darüber hinaus können auch mehrere monolithische Einheiten - ggf auch mit verschiedenen

Grundkorpermateπalien - zu einer gesamten Einheit zusammengefaßt werden Dabei können die einzelnen Einheiten einen bestimmten Abstand voneinander besitzen oder auch direkt aufeinander aufgebaut sein Dadurch erhalt man einen größeren Spielraum für die optischen Weglangen oder für die Anordnung der integrierten optischen Elemente untereinander

In Analogie zu dem beschriebenen integrierten optischen Aufbau mit reflektiven optischen Elementen können ebenso refraktive Elemente auf einem Grundkorper oder auf mehreren Grundkorpern monolithisch integriert werden Auch mit integrierten refraktiven optischen Elementen sind sowohl strahlungsumlenkende als auch abbildende Eigenschaften zu erreichen Hierzu werden in bekannter Weise Prismen- und Linsenwirkungen ausgenutzt Selbstverständlich ist eine Kombination von refraktiven und reflektiven optischen Elementen auf einem Grundkorper möglich Aufgrund der monolithischen Integration ergeben sich für einen solchen Drehwinkelsensor Kosten- und Platzersparnisse

Der Platzbedarf der beschriebenen refraktiven bzw reflektiven Losungen kann durch Anwendung von Fresnellinsen bzw Fresnelspiegeln noch weiter reduziert werden Fresnellinsen und -spiegel sind optische Elemente, deren Flachen nur stufenweise kontinuierlich sind

Bei Stufenabmessungen in der Größenordnung der verwendeten optischen Wellenlange ändert sich der physikalische Mechanismus der Strahlungs¬ ablenkung Anstelle refraktiver, resp reflektiver Wirkung wird die Strahlungs¬ beeinflussung nunmehr durch Beugungsphanomene physikalisch beschrieben

Mit Hilfe derartiger diffraktiver Strukturen werden gleichfalls strahlungsumlen- kende und abbildende optische Elemente hergestellt, wie z B mit einer Fresnel - Zonenplatte oder mit einem holographischen Element, also einem Element mit lokal variabler Gitterstruktur

Derartige Mikrogitterstrukturen sind auf verschiedene Weise in der Oberflache eines Grundkorpers implementierbar Zum einen können die Strukturen dort durch Atzen oder Prägen hergestellt werden Zum anderen können sie auf die Grundkorperoberflache aufgebracht, z B aufgedampft oder aufgeklebt werden Verschiedene Lithografie-, Atz- und Aufdampfverfahren sind bekannt Insbeson¬ dere werden mit optischer Lithografie und reaktivem lonenatzen Strukturen auf Glassubstraten hergestellt

Eine andere Gruppe von Verfahren zur Herstellung integrierter optischer Elemente sind holografische Verfahren, bei denen sich durch Interferenz mehrerer Lichtverteilungen Gebiete mit raumlich variierender Intensität erzeugen lassen Bringt man eine, mit lichtempfindlichem Lack bestrichene Glasplatte in das Interferenzgebiet, kommt es zu einer entsprechend räumlich variablen Belichtung, die nach Entwicklung des Lacks als beugende Gitterstruktur im Sinne der oben gemachten Ausfuhrungen wirkt

Bei dem erfindungsgemaßen optischen Drehwinkelsensor wird mittels der

Strahlungsquelle und ersten Strahlungsumlenkenden und abbildenden monolithisch integrierten optischen Elementen die strukturierte Scheibe teilweise oder vollständig beleuchtet Dazu verlaßt die Strahlung den Grundkorper in einem dafür vorgesehenen Oberflachen be reich Die beleuchteten Strukturen entwerfen ein Intensitatsmuster auf dem Detektor Dazu tritt die von den

Strukturen kommende Strahlung wieder in den Grundkorper ein und wird mittels zweiter optischer Elemente auf den Detektor gefuhrt Der ortsempfindliche optoelektronische Detektor setzt das Intensitatsmuster in entsprechende elektrische Signale zur weiteren Auswertung um Da je nach Drehwinkellage der Scheibe ein verändertes Intensitatsmuster auf dem Detektor erscheint, kann daraus die Drehwinkellage der Scheibe ermittelt werden Somit ist der Azimuthwmkel der Drehachse der Scheibe bestimmt

Die Intensitatsmuster können durch unterschiedliche Arten von Strukturen erzeugt werden So können auf der Scheibe ortsabhangig unterschiedlich reflektierende Strukturen aufgebracht sein Die daran reflektierte Strahlung bildet ein entsprechendes Intensitatsmuster auf dem Detektor

Ebenso kann die Scheibe mit ortsabhangig transmissiven Strukturen versehen sein und im Durchlicht verwendet werden Dabei kann sich beispielsweise em Teil der Scheibe durch einen Spalt im Grundkorper drehen und der Strahlungsaustritt aus dem Grundkorper oberhalb der Scheibe und der Strahlungseintritt in den Grundkorper unterhalb der Scheibe befinden Die ortsabhängige Transmission der Scheibe fuhrt ebenfalls zu entsprechenden Intensitatsmustern auf dem Detektor Solche transmissiven Strukturen werden ebenso wie die oben genannten reflektiven Strukturen auf den Detektor projiziert oder abgebildet

Andererseits können auf der Scheibe aber auch Strukturen mit anderen optischen Mechanismen implementiert werden So können durch Brechung oder Beugung die Wellenfronten der Strahlung räumlich beeinflußt werden Durch unterschiedlich brechende Strukturen auf der Scheibe wird die Strahlung in

unterschiedliche Richtungen gelenkt. Durch Beugungsstrukturen entstehen Beugungsmaxima verschiedener Ordnungen. Somit können auch mit refraktiven oder diffraktiven Strukturen zweidimensionale Intensitätsmuster auf dem Detektor erzeugt werden.

Vorteilhafterweise werden die Strukturen auf der Scheibe monolithisch integriert. Dabei können die Strukturen eine Kreisringfläche oder die gesamte Fläche der Scheibe bedecken und sie können sogar derart ausgestaltet werden, daß sie neben der Erzeugung von Intensitätsmustern zugleich auch abbildende Eigenschaften aufweisen.

Die Auswertung des gemessenen Intensitätsmusters erfolgt beispielsweise mit der bekannten Methode der Mittelwertbildung oder durch Fit-Algorithmen.

Eine besondere Meßempfindlichkeit ergibt sich aus einem Intensitätsmuster, dessen Ortsgrundfrequenz oder eine seiner harmonischen Ortsoberfrequenzen mit der Ortsgrundfrequenz der strahlungsempfindlichen Strukturen des Detektors ein niederfrequentes Überlagerungsmuster bildet. Das niederfrequente

Überlagerungsmuster wirkt in derselben Art und Weise wie ein Moiremuster. Von Moiremustern ist bekannt, daß sie sehr empfindlich auf eine Verschiebung der sie erzeugenden Strukturen reagieren. Dies bedeutet hier, daß bereits bei einer sehr geringen Veränderung des Intensitätsmusters auf dem Detektor gegenüber dessen Pixelstruktur sich das niederfrequente Überlagerungsmuster in seiner Ortsfrequenz stark ändert. Die Änderung des Überlagerungsmusters ist somit ein sehr empfindlich reagierender Indikator für Veränderungen des Drehwinkels der Scheibe, der dadurch sehr genau gemessen werden kann.

Zur Erzeugung eines solchen Überlagerungsmusters ist die monolithische Integration der Strukturen auf der Scheibe von entscheidender Bedeutung, da sie dadurch in ihren geometrischen Ausmaßen den sehr kleinen strahlungs¬ empfindlichen Strukturen des Detektors entsprechend angepaßt und hergestellt werden können.

Im folgenden werden mehrere Ausfuhrungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung naher erläutert Es zeigt

Fig 1 eine schematische Querschnittsdarstellung eines optischen

Drehwinkelsensors mit reflektiven optischen Elementen, die im strengen Sinne monolithisch integriert sind,

Fig 2 eine Variante von Fig 1 mit einer zusatzlichen Grundplatte,

Fig 3 eine schematische Querschnittsdarstellung eines optischen

Drehwinkelsensors mit reflektiven optischen Elementen, die auf einem Grundkorper aufgebracht und mit diesem unlösbar verbunden sind, Fig 4 eine Variante von Fig 3, bei der die optischen Elemente auf zwei verschiedenen Flachen des Grundkorpers angeordnet sind,

Fig 5 eine Variante von Fig 3, bei der die optischen Elemente mittels einer zusätzlichen Grundplatte auf zwei verschiedenen Flachen angeordnet sind, Fig 6 eine schematische Querschnittsdarstellung eines optischen

Drehwinkelsensors mit monolithisch integrierten refraktiven optischen Elementen,

Fig 7a eine schematische Querschnittsdarstellung eines optischen

Drehwinkelsensors mit monolithisch integrierten diffraktiven optischen Elementen und

Fig 7b eine zu Fig 7a zugehörige schematische raumliche Darstellung des optischen Drehwinkelsensors

In Fig 1 ist ein erfindungsgemaßer optischer Drehwinkelsensor 50 schematisch im Querschnitt dargestellt Er ist mit reflektiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b ausgestattet, deren Reflexionseigenschaften für die Strahlungsfuhrung ausgenutzt werden Die optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b sind gemäß der Definition zu Beginn der Beschreibung im strengen Sinn monolithisch integriert,

d.h. sie bestehen aus ein und demselben Grundkörper 1 und sind bei dessen Herstellung oder Bearbeitung aus einem Stück hervorgegangen.

Die reflektiven optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b sind in diesem Ausführungs¬ beispiel mit gekrümmten Oberflächen ausgebildet, weshalb sie abbildende Eigenschaften besitzen. Mittels einer Strahlungsquelle 6 und der ersten optischen Elemente 2a und 3a werden die Strukturen 11 einer Scheibe 10 teilweise beleuchtet. Dazu verläßt die Strahlung den Grundkörper in Richtung der Scheibe 10. Die Scheibe 10 ist mit der Drehachse 12 drehbar, die sich bezüglich des Grundkörpers 1 in einer festen räumlichen Lage befindet. Die Drehachse 12 kann z.B. jeweils die Schwenkachsen eines Theodoliten oder Tachymeters zur Höhen- und Seitenwinkelvermessung darstellen. Die Strukturen 11 der Scheibe 10 sind dem Drehwinkel α der Drehachse 12 zugeordnet.

Nach der Wechselwirkung der Strahlung mit den Strukturen 11 tritt die Strahlung wieder in den Grundkörper 1 ein und wird durch die zweiten optischen Elemente 3b und 2b auf einen ortsempfindlichen optoelektronischen Detektor 7 fokussiert. Durch die Strukturen 11 wird ein Intensitätsmuster 21 auf dem Detektor 7 er¬ zeugt. Die zugehörigen Detektorsignale werden in einer hier nicht dargestellten Auswerteelektronik verarbeitet.

Die ebene Fläche 9 des Grundkörpers 1 dient der Strahlungsreflexion, um insgesamt einen kontinuierlichen Strahlengang zu gewährleisten. Zu diesem Zweck kann die Fläche 9 mit reflektierenden Materialien beschichtet oder bedampft sein. Diese Möglichkeit gibt es auch für die Oberflächen der reflektiven optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b. Ebenso kann aber auch die Totalreflexion ausgenutzt werden.

Die Darstellung in Fig.1 zeigt alle Elemente des Drehwinkelsensors 50 wie die Strahlungsquelle 6, die Scheibe 10, den Detektor 7 und die optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b linear hintereinander angeordnet. Dies ist für die Gesamtfunktion des Drehwinkelsensors 50 aber nicht zwingend notwendig. Die genannten

Elemente können auch seitlich versetzt zueinander auf bzw. in dem Grundkörper 1 monolithisch integriert sein, wobei die Strahlungsführung entsprechend ausgelegt wird.

Die Strukturen 11 der Scheibe 10 können für die auftreffende Strahlung reflektiv, refraktiv oder diffraktiv sein. Es können auch transmissive Strukturen 11 verwendet werden, wenn der Grundkörper eine entsprechende Form für den Betrieb der Scheibe 10 in Transmission aufweist, wie oben bereits beschrieben. Da die Strukturen 11 in Abhängigkeit des Drehwinkels α ein unterschiedliches Intensitätsmuster 21 erzeugen, kann mit Hilfe einer vorangegangenen Kalibrierung oder durch die Kenntnis der Lage der Strukturen 11 auf der Scheibe 10 der augenblickliche Drehwinkel α der Scheibe 10 aus dem vom Detektor 7 aufgenommenen Intensitätsmuster 21 bestimmt werden. Über die Erzeugung eines Intensitätsmusters 21 hinausgehend können die vorzugsweise monolithisch integrierten reflektiven, refraktiven oder diffraktiven Strukturen 1 1 so gestaltet werden, daß sie zusätzlich auch abbildende Eigenschaften besitzen. Die nachfolgenden zweiten optischen Elemente 3b, 2b müssen natürlich darauf abgestimmt sein, gegebenenfalls können sie sogar entfallen.

Der Strahlengang gemäß Fig.1 verläuft - von seinem Weg zwischen Grundkörper 1 und Scheibe 10 abgesehen - ausschließlich innerhalb des Grundkörpers 1. Deshalb kann diese Anordnung in hohem Maße kompakt gestaltet werden. Somit zeichnet sie sich auch durch eine hohe Stabilität aus. Allerdings werden an den Grundkörper 1 hohe Anforderungen hinsichtlich der optischen Homogenität gestellt.

Diese Anforderungen können mit einem dünneren Grundkörper 1 verringert werden. So zeigt Fig. 2 eine Variante des Drehwinkelsensors 50 von Fig. 1 , bei der zusätzlich eine Grundplatte 15 auf dem Grundkörper 1 aufgekittet oder aufgesprengt ist. Die Grundplatte 15 dient zum einen als Trägerplatte. Dadurch kann der Grundkörper 1 mit den monolithisch integrierten optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b vorteilhafterweise dünn gehalten werden. Über die Dicke der

Grundplatte 15 wird zudem ein Anpassungsfreiheitsgrad, z B für eine Nachfokussierung gewonnen Die Grundplatte 15 kann aus dem gleichen Material bestehen wie der Grundkorper 1 Die Gesamtfunktion der Anordnung gemäß Fig 2 ist dieselbe wie unter Fig 1 beschrieben

Fig 3 zeigt eine schematische Querschnittsdarstellung eines Drehwinkelsensors 50 mit reflektiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b, die durch Replikation auf einer Flache 4 auf dem Grundkorper 1 erzeugt wurden Bei der Replikation werden verformbare Materialien auf dem Grundkorper 1 aufgebracht und mit Hilfe eines Werkzeugs, z B einer Negativform, zu geeigneten, die optischen Eigenschaften bestimmenden Strukturen gepreßt Diese Strukturen werden durch chemische, thermische oder UV-Behandlung fixiert Die optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b sind damit bereits bei ihrer Erzeugung zueinander aus¬ gerichtet und unlösbar mit dem Grundkorper 1 verbunden Sie sind auf einer einzigen Flache 4 des Grundkorpers 1 angeordnet Die Funktionsweise ist die gleiche wie unter Fig 1 beschrieben

In Fig 4 ist eine Variante der Darstellung von Fig 3 zu sehen, bei der die optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b auf zwei verschiedenen Flachen 9 und 4 angeordnet sind

Ebenso sind auch in Fig 5 die optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b auf zwei unterschiedlichen Flachen 4 und 5 angeordnet, die zu den Grundkorpern 1a und 1b gehören Die Grundkörper 1a und 1b sind als Platten mit ebenen Oberflachen ausgebildet Grundsätzlich können die Flachen 4, 5 und 9 bei allen Ausfuhrungsbeispielen auch gekrümmt sein Sie können sogar als Linsenoberflächen dienen Die Grundkörper 1a und 1b können aus verschiedenen Materialien bestehen

Über die Darstellung gemäß Fig 5 hinausgehend können natürlich auch mehr als zwei der in Fig 5 gezeigten Grundkorper 1a und 1b verwendet werden, um so einen mehrstockigen Drehwinkelsensor aufzubauen Ebenso können auch

zusätzliche optische Elemente 2a, 2b, 3a und 3b sowohl auf den Flächen 4 und 5 als auch auf der Fläche 9 monolithisch integriert werden. Damit lassen sich optische Abbildungseigenschaften verbessern. Weiterhin können auch an den Flächen 4 und 5 selbst zusätzliche Reflexionen stattfinden derart, wie sie an der

5 Fläche 9 in Fig.5 dargestellt sind. Durch die Anzahl der Reflexionen werden die Längen der optischen Wegstrecken zwischen der Strahlungsquelle 6, den optischen Elementen 2a, 3a, den Elementen 3b, 2b und dem Detektor 7 be¬ stimmt. Somit ergibt sich ein zusätzlicher Freiheitsgrad für die optischen Abstände der abbildenden Elemente 2a, 2b, 3a, 3b. Dies kann auch durch l o unterschiedliche Dicken der Grundkörper 1 a und 1 b oder durch Verwendung unterschiedlichen optischen Materials der Grundkörper 1a und 1 b geschehen.

Selbstverständlich sind alle unter der Figurenbeschreibung von Fig.4 und Fig.5 genannten Variationssmöglichkeiten in Analogie auch mit den Drehwinkelsensoren 50 gemäß der Figuren 1 oder 2 realisierbar.

15 Fig. 6 zeigt eine schematische Querschnittsdarstellung eines Drehwinkelsensors 50 mit refraktiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b, die in einem Grundkörper 1c monolithisch integriert sind. Bei diesen optischen Elementen werden deren Brechungseigenschaften für die Strahlungsführung ausgenutzt. Der Grundkörper 1c ist mit einer Platte 1d über eine mechanische Halterung 18 starr verbunden.

20 Die Strahlungsquelle 6 und der Detektor 7 befinden sich auf der Unterseite der Platte 1d. Das Medium 17 zwischen dem Grundkörper 1c und der Platte 1d besteht im einfachsten Fall aus Luft, kann aber auch aus anderen gasförmigen, flüssigen oder festen Substanzen mit geeignetem Brechungsindex bestehen.

Die Strahlung der Strahlungsquelle 6 wird bei Übergängen zwischen dem 25 Medium 17 und dem Grundkörper 1c gebrochen. Durch die gekrümmten Oberflächen der refraktiven optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b ergeben sich abbildende Eigenschaften. Dabei werden an die Krümmung der Oberflächen geringere Genauigkeitsanforderungen gestellt als es bei den oben beschrie¬ benen reflektiven optischen Elementen erforderlich ist.

Die Oberflache 9a der Platte 1d reflektiert die Strahlung, so daß sich ein fortlaufender Strahlengang ergibt Auch in diesem Ausfuhrungsbeispiel werden die Strukturen 11 der Scheibe 10 beleuchtet und die Strukturen 1 1 liefern auf dem Detektor 7 ein Intensitatsmuster 21

Natürlich kann die Platte 1d durch einen dem Grundkorper 1c ähnlichen

Grundkorper mit weiteren optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b ersetzt werden, so daß die monolithisch integrierten refraktiven Elemente 2a, 2b, 3a, 3b auf zwei unterschiedlichen Flachen angeordnet sind Darüber hinaus sollen für den Drehwinkelsensor 50 mit refraktiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b auch alle Ausfuhrungsformen in Analogie zu den Vaπanten der Darstellungen in den Figuren 2 bis 5 gelten

Fig 7a zeigt eine schematische Querschnittsdarstellung eines Drehwinkelsensors 50 mit monolithisch integrierten diffraktiven optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b, die auf einer Flache 4 angeordnet sind Bei diesen optischen Elementen werden deren beugende Eigenschaften zur

Strahlungsfuhrung ausgenutzt Aufgrund dieser Eigenschaften erzeugt jedes der diffraktiven Elemente 2a, 2b, 3a, 3b eine Strahlung mit mehreren Beugungsordnungen Die verschiedenen Beugungsordnungen unterscheiden sich durch ihre Strahlungsrichtung Ein jeweils nachfolgendes diffraktives optisches Element ist dabei so angeordnet, daß es die Strahlung mehrerer Beugungsordnungen - zumindest aber die Strahlung einer Beugungsordnung - empfangen kann Dies wird mit den durchgezogenen Linien in Fig 7a symbolisiert Die Strahlung der übrigen Beugungsordnungen wird entweder absorbiert oder verläßt den Drehwinkelsensor 50 anderweitig ohne dabei auf den Detektor 7 zu gelangen Diesen Fall repräsentieren die gestrichelten Linien

Zur Fig 7a korrespondierend zeigt Fig 7b eine schematische räumliche Darstellung des Drehwinkelsensors 50 Hierbei wird die versetzte Anordnung der Strahlungsquelle 6, der optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b, der Scheibe 10 und

des Detektors 7 zueinander deutlich Dadurch erreicht beispielsweise die vom optischen Element 2a erzeugte und gestrichelt dargestellte Strahlung der Beugung 0 Ordnung das optische Element 3a nicht, jedoch die Strahlung mindestens einer höheren Beugungsordnung (durchgezogene Linien) Aufgrund der Beugung gehorchen Einfallswinkel und Ausfallswinkel der Strahlung an den diffraktiven Elementen 2a, 2b, 3a, 3b nicht dem bekannten Reflexionsgesetz an spiegelnden Flachen Den Beugungswinkeln entsprechend werden die diffraktiven Elemente 2a, 2b, 3a, 3b auf dem Grundkorper 1 angeordnet Dabei soll letztlich den Detektor 7 die Strahlung vorzugsweise nur einer Beugungs¬ ordnung erreichen

Die diffraktiven optischen Elemente 2a, 2b, 3a, 3b können auch in verschiedenen Flachen des Grundkorpers 1 monolithisch integriert sein analog zu den Darstellungen der Fig 4 und 5 (Flachen 9, 4, 5) Auch eine analoge Ausfuhrungsform gemäß Fig 2 mit einer zusätzlichen Grundplatte 15 soll für einen Drehwinkelsensor 50 mit diffraktiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b gelten

Im übrigen kann für jede der in den Figuren dargestellten Ausfuhrungsformen auch eine Kombination von reflektiven, refraktiven und diffraktiven optischen Elementen 2a, 2b, 3a, 3b auf dem Grundkorper 1 monolithisch integriert sein