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Patent Searching and Data


Title:
OVERHEAD CONVEYING VEHICLE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2009/141976
Kind Code:
A1
Abstract:
An overhead conveying vehicle which is less likely to cause an article which is being conveyed by the vehicle to collide with a lid drop preventing member.  The overhead conveying vehicle for containing and conveying a suspended FOUP (4) having a lid (4a) removably mounted to a side face thereof is provided with a conveying vehicle body, a lifting mechanism, a lid drop preventing member (62), and a power transmitting mechanism (82).  The lifting mechanism is mounted to the conveying vehicle body and can lift and lower the FOUP (4).  The lid drop preventing member (62) is mounted in the proximity of the front face of the lid (4a).  The power transmitting mechanism (82) causes the lid drop preventing member (62) to recede from the front face of the lid (4a) when the FOUP (4) is lifted and lowered.

Inventors:
HONDA NORIAKI (JP)
IZUMI TAKANORI (JP)
Application Number:
PCT/JP2009/002106
Publication Date:
November 26, 2009
Filing Date:
May 14, 2009
Export Citation:
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Assignee:
MURATA MACHINERY LTD (JP)
HONDA NORIAKI (JP)
IZUMI TAKANORI (JP)
International Classes:
B61B3/02; B61B13/06; B65G1/00; B66C11/06; H01L21/677
Foreign References:
JP2004277066A2004-10-07
JP2006298565A2006-11-02
JP2006298566A2006-11-02
JP2005187175A2005-07-14
JP2008100635A2008-05-01
JP2004277066A2004-10-07
JP3885232B22007-02-21
Other References:
See also references of EP 2277759A4
Attorney, Agent or Firm:
Shinjyu Global IP (JP)
fresh green -- a global IP patent business corporation (JP)
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Claims:
 側面に蓋が取り外し可能に設けられた搬送物品を吊り下げた状態で収納・搬送する天井搬送車であって、
 搬送車本体と、
 前記搬送車本体に設けられ、前記搬送物品を昇降可能な昇降機構と、
 前記蓋の正面に近接して配置される蓋落下防止部材と、
 前記搬送物品の昇降時に前記蓋落下防止部材を前記蓋の正面から待避させる第1待避機構と、
を備えた天井搬送車。
 前記搬送物品の収納位置の下方に配置される搬送物品落下防止部材と、
 前記搬送物品の昇降時に前記搬送物品落下防止部材を前記搬送物品の収納位置の下方から待避させる第2待避機構と、
 前記第1待避機構と前記第2待避機構の両方を駆動するための駆動機構と、
をさらに備えた請求項1に記載の天井搬送車。
 前記蓋落下防止部材は、落下防止位置と待避位置との間で回動可能な部材であり、
 前記搬送物品落下防止部材は、落下防止位置と待避位置との間で回動可能な部材である、請求項2に記載の天井搬送車。
 前記第1待避機構と前記第2待避機構は、両者間で回転方向を変更するための動力伝達部を介して連結されている、請求項3に記載の天井搬送車。
 前記動力伝達部は、前記蓋落下防止部材の回動中心に設けられた第1シャフトと、前記搬送物品落下防止部材の回動中心に設けられた第2シャフトと、前記第1シャフトと前記第2シャフトを動力伝達可能に連結するかさ歯車とを有している、請求項4に記載の天井搬送車。
 前記蓋落下防止部材は、上下方向に離れて配置された一対の部材であり、
 前記駆動機構は、回転駆動部と、前記回転駆動部からの駆動力を前記一対の落下防止部材に伝達するための一対のリンク部材を有するリンク機構とを有している、請求項2~5のいずれかに記載の天井搬送車。
Description:
天井搬送車

 本発明は、天井搬送車、特に、側面に蓋 取り外し可能に設けられた搬送物品を吊り げた状態で収納・搬送する天井搬送車に関 る。

 従来、半導体製造工場等、塵埃の発生が 題となるクリーンルームでは、物品を搬送 るために、天井に設けられた走行レールに って天井搬送車を走行させるようにした天 搬送車システムが採用されている。

 天井搬送車は、走行レールに沿って走行 行う走行部と、物品を収納する物品収納部 、物品を昇降可能なホイストとから構成さ ている。ホイストは、物品をつかむための ャックと、チャックを上下動可能なベルト 、ベルトを繰り出したり巻き上げたりでき ベルト駆動機構とを有している。

 天井搬送車がクリーンルームで搬送する 品としては、FOUP(Front Opening Unified Pod)があ る。FOUPは、密閉型のウェハ格納用ポッドで る。FOUPによってウェハのクリーン度を高め 、ウェハサイズの大型化に伴う微細化に対 可能になっている。FOUPは、カセットと、カ セットの側方開口部を閉鎖するための蓋とか ら構成されている。蓋は、パーティクルが内 部に侵入するのを防止するとともに、カセッ ト内でウェハの位置決めを行っている。

 天井搬送車は、ホイストがFOUPを上方に移 動させて収納部に収めた状態で、走行する。 天井搬送車は、製造装置の前にくると、ホイ ストによってFOUPを下方に移動させロードポ トのテーブル上に載置する。載置後は、FOUP 製造装置の開口部とドッキングして、次に FOUPオープナがFOUPのカセットから蓋を取り して、蓋を装置内部に引き込む。そして、 ェハが半導体製造装置に運び込まれ、所定 処理が行われる。処理後のウェハはFOUP内に され、FOUPの蓋が閉められる。天井搬送車は 、製造装置のロードポートのテーブル上に載 置されたFOUPをホイストによって保持して、 納位置まで上昇させ、FOUPを収納して走行を 始する。このようにして、天井搬送車はFOUP をロードポート間で移動させる。

 天井搬送車システムでは、走行レールの 方を無人搬送車が通過したり、作業者が移 や作業をしたりすることがある。このよう 場合に、FOUPから蓋が落下するようなことが あると、作業者や他の装置が危害を被ること がありえる。そこで、天井搬送車に蓋落下防 止部材を設けた構成が提案されている(例え 、特許文献1を参照。)。

特開2004-277066号公報(特許3885232号)

 特許文献1で示した蓋落下防止部材は、昇 降台に固定されており、昇降台と共に横移動 可能となっているが、他の方向への移動は行 わない。そのため、FOUPを収納位置から下方 降下させたり、ポートロードから上方に移 させたりする昇降動作の際に、昇降台やFOUP 蓋落下防止部材に接触する可能性がある。 にFOUPが揺れながら上昇してくるときに、FOU Pが蓋落下防止部材に衝突しやすい。両者が 触すると、それによって、天井搬送車が揺 て、FOUP内のウェハが揺動による衝撃を受け 。また、揺動した走行車が他の走行車と衝 することもあり得る。

 本発明の課題は、昇降時に搬送物品が蓋 下防止部材に衝突しにくい天井搬送車を提 することにある。

 本発明に係る天井搬送車は、側面に蓋が取 外し可能に設けられた搬送物品を吊り下げ 状態で収納・搬送する天井搬送車であって 搬送車本体と、昇降機構と、蓋落下防止部 と、第1退避機構とを備えている。昇降機構 は、搬送車本体に設けられ、搬送物品を昇降 可能である。蓋落下防止部材は、蓋の正面に 近接して配置される。第1退避機構は、搬送 品の昇降時に蓋落下防止部材を蓋の正面か 待避させる。
 この天井搬送車では、搬送車本体が搬送物 を吊り下げた状態で搬送しているときには 蓋落下防止部材は蓋の正面に近接して配置 れている。したがって、搬送物品の蓋が外 ても蓋が下方に落下しにくい。一方、搬送 本体が停止してさらに昇降機構が搬送物品 昇降させるときには、第1退避機構が蓋落下 防止部材を蓋の正面から待避させる。この結 果、昇降時に搬送物品が蓋落下防止部材に衝 突しにくい。

 天井搬送車は、搬送物品落下防止部材と、 2待避機構と、駆動機構とを備えていること が好ましい。搬送物品落下防止部材は、搬送 物品の収納位置の下方に配置される。第2待 機構は、搬送物品の昇降時に搬送物品落下 止部材を搬送物品の収納位置の下方から待 させる。駆動機構は、第1待避機構と第2待避 機構の両方を駆動する。
 この天井搬送車では、搬送車本体が搬送物 を吊り下げた状態で搬送しているときには 搬送物品落下防止部材は搬送物品の収納位 の下方に配置される。したがって、搬送物 が昇降機構から外れても搬送物品が下方に 下しにくい。一方、搬送車本体が停止して らに昇降機構が搬送物品を昇降させるとき は、第2退避機構が搬送物品落下防止部材を 搬送物品の下方から待避させる。この結果、 搬送物品が搬送物品落下防止部材に衝突しに くい。
 さらに、駆動機構が第1退避機構と第2退避 構の両方を駆動するため、複数の動力源を いる必要がない。

 蓋落下防止部材は、落下防止位置と待避位 との間で回動可能な部材であり、搬送物品 下防止部材は、落下防止位置と待避位置と 間で回動可能な部材であることが好ましい
 この天井搬送車では、蓋落下防止部材と搬 物品落下防止部材とが回動可能であるため より確実に蓋及び搬送物品の落下を防止で る。

 第1待避機構と第2待避機構は、両者間で回 方向を変更するための動力伝達部を介して 結されていることが好ましい。
 この天井搬送車では、第1退避機構と第2退 機構が動力伝達部を介して連結されており 共通の動力源によって駆動される。この結 、少ない部品点数で第1退避機構と第2退避機 構を駆動することができる

 動力伝達部は、蓋落下防止部材の回動中心 設けられた第1シャフトと、搬送物品落下防 止部材の回動中心に設けられた第2シャフト 、第1シャフトと第2シャフトを動力伝達可能 に連結する一対のかさ歯車とを有しているこ とが好ましい。
 この天井搬送車では、駆動力は、第1シャフ トから一対のかさ歯車を介して第2シャフト 伝達される。

 蓋落下防止部材は、上下方向に離れて配置 れた一対の部材であることが好ましい。駆 機構は、回転駆動部と、回転駆動部からの 動力を前記一対の落下防止部材に伝達する めの一対のリンク部材を有するリンク機構 を有していることが好ましい。
 この天井搬送車では、一対の落下防止部材 リンク機構によって同時に駆動される。

 本発明に係る天井搬送車では、搬送車本 が停止してさらに昇降機構が搬送物品を昇 させるときには、第1退避機構が蓋落下防止 部材を蓋の正面から待避させる。この結果、 昇降時に搬送物品が蓋落下防止部材に衝突し にくい。

クリーンルーム内の天井走行車システ の概略模式図。 天井走行車システム及び天井走行車の 分側面図。 レール内の縦断面概略図。 天井走行車システム及び天井走行車の 分側面図。 天井走行車の落下防止カバーの下部の 断面概略図。 天井走行車の落下防止カバーの下部の 断面概略図。 駆動機構の概略平面図。

 本発明の一実施形態について、図面を参 しながら説明する。

(1)天井走行車システム
 図1は、給電線を用いた非接触給電供給方式 による天井走行車システム1の模式図である 天井走行車システム1は、半導体工場などの リーンルームなどに設けられ、後述するFOUP (Front Opening Unified Pod)を搬送する。天井走行 車システム1は、主に、レール3と、レール3に 沿って走行する天井走行車5とを有している

 半導体工場内の構成について説明する。 導体工場は、複数のベイ(工程)を有してお 、遠隔のベイ同士を接続するためにインタ ベイルート51が設けられており、さらに各ベ イはイントラベイルート53を有している。各 ート51,53はレール3により構成されている。

 イントラベイルート53に沿って、半導体 理装置などの複数の処理装置55,55が配置され ている。さらに、処理装置55,55の近傍には、 ードポート57が設けられている。ロードポ ト57は、イントラベイルート53の直下に設け れている。以上の構成において、天井走行 5はレール3を走行してロードポート57間で後 述するFOUPを搬送する。

(2)レール
 レール3は、図2に示すように、複数の支柱7 よって天井9から吊り下げられている。レー ル3は、主に、走行レール11と、走行レール11 下部に設けられた給電レール13とを有して る。

(a)走行レール
 走行レール11は、例えばアルミ製であり、 3に示すように、断面視逆U字状に構成されて おり、上面部11aと、両側面部11bとを有してい る。両側面部11bの下には、内側に延びる一対 の第1走行面11cが形成されている。さらに、 側面部11bの内側面の上部には第2走行面11dが 成され、上面部11aの下側面に第3走行面11eが 形成されている。

(b)給電レール
 給電レール13は、走行レール11の下部両側に 設けられた一対の給電線ホルダ15,15から主に 成されている。給電線ホルダ15,15には、銅 などの導電線を絶縁材料で被覆しリッツ線 らなる一対の給電線17,17が配置されている。 給電線17の一端には電力供給装置(図示せず) 設けられ、一対の給電線17,17に高周波電流が 供給されるようになっている。

(3)天井走行車
 天井走行車5は、主に、走行部21と、受電部2 3と、昇降駆動部25とを有している。走行部21 、走行レール11内に配置され、レール3上を 行するための機構である。受電部23は、給 レール13内に配置され、一対の給電線17,17か 電力を供給されるための機構である。昇降 動部25は、給電レール13の下方に配置され、 FOUP4を保持すると共に上下に昇降させるため 機構である。

(a)走行部
 走行部21は、主に、走行レール11内に配置さ れており、一対の第1ガイド輪18,18と、一対の 第2ガイド輪19,19と、走行駆動輪20と、モータ2 2とを有している。一対の第1ガイド輪18,18は 走行部21の下部両側に配置され、左右方向に 延びる車軸に回転自在に支持されている。第 1ガイド輪18,18は、走行レール11の第1走行面11c 上に載置されている。

 第2ガイド輪19,19は、走行部21の上部両側 配置され、垂直方向に延びる車軸に回転自 に支持されている。第2ガイド輪19,19は、走 レール11の第2走行面11dをガイド面として、 方向(進行方向の左右方向)の位置ズレを防止 している。

 走行駆動輪20は、走行部21の略中央に配置 され、走行レール11の第3走行面11eに、スプリ ングなどの押圧手段により押圧されている。 走行駆動輪20は、モータ22によって駆動され 。その結果、天井走行車5はレール3上を走行 する。

(b)受電部
 受電部23は、一対の給電線17,17から電力を得 るための一対のピックアップユニット27を有 ている。具体的には、一対のピックアップ ニット27,27は、給電レール13内で左右に並ん で配置されている。各ピックアップユニット 27は、断面が略E字型をしたフェライト製のコ ア29と、コア29に巻かれたピックアップコイ 31とを有している。具体的には、コア29は、 側の突出部29aと、その間の中央の突出部29b を有しており、ピックアップコイル31は中 の突出部29bに巻かれている。

 給電線ホルダ15に保持された一対の給電 17,17が、両側の突出部29aと中央の突出部29bと の間に、それぞれ配置されている。この一対 の給電線17,17に高周波電流を流すことによっ 発生する磁界がピックアップコイル31に作 して、ピックアップコイル31に誘導電流が発 生する。このようにして、一対の給電線17,17 らピックアップユニット27に非接触で電力 供給し、走行用のモータ22を駆動したり、制 御機器に電力を供給したりする。このように 給電レール13の一対の給電線17,17と天井走行 5の受電部23とによって、非接触給電部33が構 成されている。

(c)昇降駆動部
 昇降駆動部(ホイスト)25は、図2に示すよう 、主に、本体フレーム35と、横送り部37と、 ドライブ39と、ホイスト本体41と、昇降台43 を備えている。

 本体フレーム35は、受電部23の下部に固定 された部材である。本体フレーム35の前後に 、前側フレーム45および後側フレーム47が設 けられている。前側フレーム45および後側フ ーム47は、本体フレーム35から下方に延びる 部材であり、横送り部37と、θドライブ39と、 ホイスト本体41と、昇降台43を前後に挟んで る。前側フレーム45および後側フレーム47は 内部に空間を有する筐体を有している。こ 筐体内には、FOUP落下防止機構や蓋落下防止 機構が収納されている(後述)。

 横送り部37は、θドライブ39、ホイスト本体4 1および昇降台43を例えば側方に横送りし、レ ール3の側方に設けたサイドバッファ(図示せ )との間で、FOUP4を受け渡しできる。θドラ ブ39は、ホイスト本体41を水平面内で回動さ て、FOUP4の受け渡しを容易にする。ホイス 本体41内には、昇降台43を昇降させるための 降手段(図示せず)が設けられている。昇降 段は、例えば、4組の巻き取りドラムであり 巻き取りドラムにはベルト59が巻きかけら ている。ベルト59の端部には昇降台43が取り けられている。図4に、ベルト59が巻き取り ラムから繰り出されて、昇降台43がFOUP4と共 に下降している状態を示している。
 FOUP4は、内部に複数の半導体ウェハを収容 ており、前面に取り外し可能な蓋4aが設けら れている。FOUP4の上部にはフランジ49が設け れており、フランジ49は昇降台43でチャック れている。

(4)FOUP落下防止機構
 次に、FOUP落下防止機構58について説明する FOUP落下防止機構58は、搬送物品落下防止部 61と、搬送物品落下防止部材61を落下防止位 置と退避位置と回動させる駆動機構60とから 成されている。

 図2及び図4に示すように、前側フレーム45お よび後側フレーム47の下部には、FOUP4の落下 防止するための搬送物品落下防止部材61が前 後に配置されている。搬送物品落下防止部材 61は、前側フレーム45と後側フレーム47にそれ ぞれ一対ずつ左右に並んで設けられている。 図2において、FOUP4は収納位置に配置され、搬 送物品落下防止部材61はFOUP4の下方の落下防 位置にある。図4において、FOUP4はホイスト 体41によって収納位置から下方に移動してお り、搬送物品落下防止部材61はFOUP4の下方か 退避した退避位置にある。
 次に、図5~図7を用いて、駆動機構60につい 説明する。なお、駆動機構60は前側フレーム 45および後側フレーム47の両方に設けられて るが、ここでは後側フレーム47に設けられた 駆動機構60のみを説明する。なお、図6および 図7において、図左側を第1側方向として、図 側を第2側方向とする。さらに、図5の図右 及び図7の図下側を搬送方向前側として、図5 の図左側及び図7の図上側を搬送方向後側と る。

 駆動機構60は、主に、モータ63と、ギア部 材65と、リンク部材67,69とから構成されてい 。モータ63は、図6に示すように、後側フレ ム47内の第1固定プレート54に固定して設けら れ、上下方向に延びる回転軸を有している。 モータ63の回転シャフトは下方に突出し、そ 先端にはギア64が設けられている。ギア部 65は、第1固定プレート54に回転自在に支持さ れた部材であり、モータ63の回転軸と平行に びる回転軸68を有している。ギア部材65の上 部にはギア66が設けられており、ギア66はモ タ63のギア64に噛み合っている。

 リンク部材67,69は、それぞれ、搬送物品 下防止部材61,61を駆動するためのリンク機構 を構成している。なお、リンク部材67,69の構 及び動作は同じであるため、リンク部材67 ついてのみ説明する。

 リンク部材67は、ギア部材65の回転によっ て、搬送物品落下防止部材61を回動させるた の部材である。リンク部材67は、図7に示す うに、側方方向に延びる細長い板状の部材 あり、一端がギア部材65の第1支持部71に回 可能に連結され、他端が搬送物品落下防止 材61の第2支持部73に回転可能に支持されてい る。図7では、第1支持部71は、リンク部材69の 支持部に対してギア部材65の回転軸68と反対 に配置され、そのためリンク部材67は、第1 持部71からギア部材65の回転軸68を後方に迂 するように湾曲された湾曲部67aを有してい 。

 搬送物品落下防止部材61は、落下防止部61 aと、回転支持部61bと、両者を連結する壁部61 cとから構成されている。落下防止部61aは、 平方向に延びる板部材であり、比較的長く びている。なお、落下防止部61aの角は面取 されて滑らかに連続している。回転支持部61 bは、落下防止部61aより高い位置に配置され 水平方向に延びる板部材である。回転支持 61bにはシャフト81が固定されており、シャフ ト81は後側フレーム47の第2固定プレート56に 転軸84を中心に回転自在に支持されている。 なお、シャフト81の位置は、搬送物品落下防 部材61において左右方向中心よりわずかに 側である。これにより、搬送物品落下防止 材61は、図7において、実線で示す落下防止 置と、二点鎖線で示す退避位置とで回動可 になっている。

 なお、リンク部材69は、リンク部材67に対 して、回転軸68を中心に点対称の構造及び動 を実現する。

(5)蓋落下防止機構
 次に、蓋落下防止機構80について説明する 蓋落下防止機構80は、蓋落下防止部材62と、 力伝達機構82とから構成されている。

 図2及び図4に示すように、前側フレーム45 および後側フレーム47の下部には、FOUP4の蓋4a が落下を防止するための蓋落下防止部材62が 後に配置されている。蓋落下防止部材62は 前側フレーム45と後側フレーム47にそれぞれ つ設けられている。図2において、FOUP4は収 位置に配置され、蓋落下防止部材62はFOUP4の 蓋4aの正面の落下防止位置にある。図4におい て、FOUP4はホイスト本体41によって収納位置 ら下方に移動しており、蓋落下防止部材62は FOUP4の蓋4aの正面から退避した退避位置にあ 。

 動力伝達機構82は、前述のFOUP落下防止機 58の駆動機構60からの駆動力を蓋落下防止部 材62に伝達するための機構である。動力伝達 構82は、第1シャフト85と、第1ベベルギア(か さ歯車)87と、第2ベベルギア(かさ歯車)89と、 2シャフト91とから主に構成されている。第1 シャフト85は、駆動機構60のシャフト81と一体 に又は固定されて一体回転するようになって いる。第1シャフト85は、軸受83によって回転 在に支持されてさらにシャフト81から離れ 方向に延びている。第1ベベルギア87は、第1 ャフト85の先端に固定されている。これに り、第1ベベルギア87の回転中心は第1シャフ 85の回転軸84と一致している。第2ベベルギ 89は、第1ベベルギア87の側方外側部分に噛み 合っている。この状態で、第2ベベルギア89の 回転軸は第1ベベルギア87の回転軸84に対して 角に延びている。以上より、第1ベベルギア 87と第2ベベルギア89の噛み合いにより、回転 向が変換されている。第2ベベルギア89には 第2シャフト91が固定されている。第2シャフ ト91は、側方向内側(第2側方向側)端が軸受93 回転自在に支持されており、側方向外側(第1 側方側)端に第2ベベルギア89が固定され、さ にそこから突出する先端に蓋落下防止部材62 が固定されている。図5示すように、落下防 位置において、蓋落下防止部材62は、側方向 に延びており、中間部から先端にかけての部 分が後側フレーム47から突出して、FOUP4の蓋4a の正面側に近接して配置されている。図2に すように、蓋落下防止部材62は、蓋4aの下部( 上下方向中心より下側の部分)に対応する位 に配置されている。以上の動作により、蓋 下防止部材62は、図5において、実線で示す 下防止位置と、二点鎖線で示す退避位置と 回動可能になっている。なお、図7から明ら なように、第2シャフト91の延びる方向は側 向に対して傾いており(前後方向に対して直 角ではなく)、したがって、蓋落下防止部材62 も先端が根元端より側方向外側(第1側方側)に 位置するように傾いている。ただし、別の実 施例として、第2シャフトの延びる方向が側 向に平行であり、蓋落下防止部材が前後方 に平行になっていても良い。

(6)FOUP落下防止機構と蓋落下防止機構の動作
 天井走行車5がFOUP4を搬送しているときには 図7に示すように搬送物品落下防止部材61が 下防止位置にあり、さらに図5に示すように 蓋落下防止部材62が落下防止位置にある。こ により、例えば昇降台43のチャック機構か FOUP4が外れた場合やFOUP4のカセットから蓋4a 外れた場合でも、それらが下方に落下しに い。このように、FOUP4や蓋4aの落下を防止で るため、レール3の下方への作業車の立ち入 り規制を無くすことができる。このため、ク リーンルームの有効利用が可能になる。

 この状態では、駆動機構60において、図7 示すように、ギア部材65は最も時計回り方 に回転しており、第1支持部71はギア部材65の 回転軸の第2側方向側に配置されている。第2 持部73は、回転軸84の前方第2側方向側に配 されている。この状態からモータ63が駆動さ れてギア部材65が反時計方向回りに回転する 、ギア部材65から搬送物品落下防止部材61に リンク部材67を介して力が伝達される。より 体的には、リンク部材67が第2支持部73に力 加えることで、搬送物品落下防止部材61が回 転軸84を中心に時計回り方向に回動する。こ 結果、搬送物品落下防止部材61は落下防止 置から退避位置に回動する。

 また、以上の動作によって、搬送物品落 防止部材61が回転軸84を中心に時計回り方向 に回動すると、シャフト81および第1シャフト 85が回転する。そして、第1ベベルギア87と第2 ベベルギア89の噛み合いにより、第2シャフト 91が回転して、その結果、蓋落下防止部材62 実線で示す落下防止位置から二点鎖線で示 退避位置に回動する。

 なお、前述の動作と反対の動作が行われ と、搬送物品落下防止部材61が退避位置か 落下防止位置に回動して、蓋落下防止部材62 が退避位置から落下防止位置に回動する。

 以上に述べたように、搬送物品落下防止 材61と蓋落下防止部材62は、落下防止位置と 退避位置の間の移動を同じタイミングで行う 。

(7)FOUP落下防止機構と蓋落下防止機構の効果
 以上に述べたように、本発明に係る実施形 では、蓋落下防止部材62と、動力伝達機構82 が設けられている。蓋落下防止部材62は、蓋4 aの正面に近接して配置される。動力伝達機 82は、FOUP4の昇降時に蓋落下防止部材62を蓋4a の正面から待避させる。この天井走行車5で 、FOUP4を吊り下げた状態で搬送しているとき には、蓋落下防止部材62は蓋4aの正面に近接 て配置されている。したがって、FOUP4の蓋4a 外れても蓋4aが下方に落下しにくい。一方 天井走行車5が停止してさらに昇降駆動部25 FOUP4を昇降させるときには、動力伝達機構82 蓋落下防止部材62を蓋4aの正面から待避させ る。この結果、昇降時にFOUP4が蓋落下防止部 62に衝突しにくい。特に、FOUP4が揺れながら 上昇してくる場合でも、FOUP4が蓋落下防止部 62に衝突しにくい。その結果、FOUP4内のウェ ハが揺動による衝撃を受けにくい。

 さらに、天井走行車5は、搬送物品落下防 止部材61と、駆動機構60を有している。搬送 品落下防止部材61は、FOUP4の収納位置の下方 配置される。駆動機構60は、FOUP4の昇降時に 搬送物品落下防止部材61をFOUP4の収納位置の 方から待避させる。駆動機構60は、駆動源で あるモータ63と、搬送物品落下防止部材61を 動させるためのギア部材65やリンク部材67を している。なお、ギア部材65やリンク部材67 等は、モータ63の動力を動力伝達機構82に伝 する機能も有している。この天井走行車5で 、FOUP4を吊り下げた状態で搬送していると には、搬送物品落下防止部材61はFOUP4の収納 置の下方に配置される。したがって、FOUP4 昇降駆動部25から外れても下方に落下しにく い。一方、天井走行車5が停止してさらに昇 駆動部25がFOUP4を昇降させるときには、駆動 構60が搬送物品落下防止部材61をFOUP4の下方 ら待避させる。この結果、昇降時にFOUP4が 送物品落下防止部材61に衝突しにくい。特に 、FOUP4が揺れながら上昇してくる場合でも、F OUP4が搬送物品落下防止部材61に衝突しにくい 。その結果、FOUP4内のウェハが揺動による衝 を受けにくい。

 蓋落下防止部材62は、FOUP4の両側部(この 施形態では前後方向両側)に配置され、落下 止位置と待避位置との間で回動可能な一対 部材である。また、搬送物品落下防止部材6 1は、FOUP4の両側部に配置され落下防止位置と 待避位置との間で回動可能な一対の部材であ る。なお、この実施形態では、搬送物品落下 防止部材61は前側フレーム46および後側フレ ム47それぞれで左右方向に並んで一対ずつ設 けられているが、前側フレーム45および後側 レーム47に一つずつ設けられていても良い この天井走行車5では、蓋落下防止部材62と 送物品落下防止部材61とがそれぞれ搬送物品 の両側部に配置されているため、より確実に 蓋4a及びFOUP4の落下を防止できる。

 動力伝達機構82と駆動機構60は、両者間で回 転方向を変更するための第1ベベルギア87およ び第2ベベルギア89を介して連結されている。 この天井走行車5では、動力伝達機構82と駆動 機構60の動力伝達部が、共通のモータ63によ て駆動される。この結果、少ない部品点数 動力伝達機構82と駆動機構60を駆動すること できる。
 動力伝達機構82は、蓋落下防止部材62の回動 中心に設けられた第1シャフト85と、搬送物品 落下防止部材61の回動中心に設けられた第2シ ャフト91と、第1シャフト85と第2シャフト91を 力伝達可能に連結する第1ベベルギア87およ 第2ベベルギア89とを有している。この結果 駆動力は、第1シャフト85から第1ベベルギア 87および第2ベベルギア89を介して第2シャフト 91に伝達される。
 蓋落下防止部材62は、上下方向に離れて配 された一対の部材である。駆動機構60は、モ ータ63と、モータ63からの駆動力を一対の蓋 下防止部材62に伝達するための一対のリンク 部材67、69を有するリンク機構とを有してい 。この結果、一対の蓋落下防止部材62がリン ク機構によって同時に駆動される。

(8)他の実施例
 以上、本発明の一実施形態について説明し が、本発明は上記実施形態に限定されるも ではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で 々の変更が可能である。

 前記実施形態では、半導体製造工場のクリ ンルーム内の走行車システムを説明したが 本発明は他の種類の工場にも適用可能であ 。
 前記実施形態では、搬送物品はFOUPであった が、他の部材であっても良い。

 本発明は、軌道上を走行する天井走行車 ステムに広く適用可能である。

1   天井走行車システム
3   レール
4   FOUP
4a  蓋
5   天井走行車
11  走行レール
13  給電レール
15  給電線ホルダ
17  給電線
21  走行部(搬送車本体)
23  受電部
25  昇降駆動部(昇降機構)
27  ピックアップユニット
29  コア
31  ピックアップコイル
33  非接触給電部
35  本体フレーム
37  横送り部
39  θドライブ
41  ホイスト本体
43  昇降台
45  前側フレーム
47  後側フレーム
58  FOUP落下防止機構
60  駆動機構(第2退避機構)
61  搬送物品落下防止部材
62  蓋落下防止部材
63  モータ
64  ギア
65  ギア部材
67  リンク部材
69  リンク部材
68  回転軸
71  第1支持部
73  第2支持部
80  蓋落下防止機構
81  シャフト
82  動力伝達機構(第1退避機構)
85  第1シャフト
87  第1ベベルギア
89  第2ベベルギア
91  第2シャフト