Title:
PAD FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING AND METHOD OF CHEMICAL MECHANICAL POLISHING USING SAME
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2011/077999
Kind Code:
A1
Abstract:
Disclosed is a pad for chemical mechanical polishing, characterized by comprising a polishing layer formed from a composition containing a thermoplastic polyurethane, the polishing layer having a specific gravity of 1.15-1.30 and a Shore D durometer hardness of 50-80.
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Inventors:
YOKOI, Katsutaka (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
横井 勝孝 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
MAEKAWA, Ayako (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
前川 亜耶子 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
SHIDA, Hirotaka (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
仕田 裕貴 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
KAMO, Satoshi (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
加茂 理 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
横井 勝孝 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
MAEKAWA, Ayako (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
前川 亜耶子 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
SHIDA, Hirotaka (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
仕田 裕貴 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
KAMO, Satoshi (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
加茂 理 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
Application Number:
JP2010/072430
Publication Date:
June 30, 2011
Filing Date:
December 14, 2010
Export Citation:
Assignee:
JSR CORPORATION (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-ku Tokyo, 40, 〒1058640, JP)
ＪＳＲ株式会社 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 Tokyo, 〒1058640, JP)
YOKOI, Katsutaka (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
横井 勝孝 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
MAEKAWA, Ayako (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
前川 亜耶子 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
SHIDA, Hirotaka (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
仕田 裕貴 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
KAMO, Satoshi (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
ＪＳＲ株式会社 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 Tokyo, 〒1058640, JP)
YOKOI, Katsutaka (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
横井 勝孝 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
MAEKAWA, Ayako (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
前川 亜耶子 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
SHIDA, Hirotaka (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
仕田 裕貴 (〒40 東京都港区東新橋一丁目９番２号 ＪＳＲ株式会社内 Tokyo, 〒1058640, JP)
KAMO, Satoshi (9-2 Higashi-shinbashi 1-chome, Minato-k, Tokyo 40, 〒1058640, JP)
International Classes:
B24B37/04; C08G18/74; H01L21/304
Attorney, Agent or Firm:
OFUCHI, Michie et al. (2nd Floor, Ogikubo TM Bldg. 26-13, Ogikubo 5-chome, Suginami-k, Tokyo 51, 〒1670051, JP)
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