Title:
PATTERN MATCHING METHOD, IMAGE PROCESSING DEVICE, AND COMPUTER PROGRAM
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2012/001876
Kind Code:
A1
Abstract:
In order to provide a computer program, an image processing device, and a pattern matching method that perform pattern matching at a high level of accuracy without relying on edge deformation, contrast fluctuations, etc., in one embodiment, the disclosed pattern matching method and device perform pattern matching over an image using a template produced on the basis of the belowmentioned design data. The pattern matching method and device determine the characteristic quantities of the image for an inner region and/or an outer region that are divided by a line that defines the contour of a pattern, and determine positions at which said characteristic quantities satisfy predetermined conditions to be matching positions, matching position candidates, or erroneous matching positions.
Inventors:
USHIBA, Hiroyuki (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
牛場 郭介 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社 日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
TOYODA, Yasutaka (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
豊田 康隆 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社 日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
牛場 郭介 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社 日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
TOYODA, Yasutaka (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
豊田 康隆 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社 日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
Application Number:
JP2011/002991
Publication Date:
January 05, 2012
Filing Date:
May 30, 2011
Export Citation:
Assignee:
HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION (24-14, Nishi Shimbashi 1-chome Minato-k, Tokyo 17, 〒1058717, JP)
株式会社 日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
USHIBA, Hiroyuki (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
牛場 郭介 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社 日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
TOYODA, Yasutaka (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
株式会社 日立ハイテクノロジーズ (〒17 東京都港区西新橋一丁目２４番１４号 Tokyo, 〒1058717, JP)
USHIBA, Hiroyuki (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
牛場 郭介 (〒92 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株式会社 日立製作所 日立研究所内 Ibaraki, 〒3191292, JP)
TOYODA, Yasutaka (HITACHI LTD., 1-1, Omika-cho 7-chome, Hitachi-sh, Ibaraki 92, 〒3191292, JP)
International Classes:
G06T7/00; G01B11/00; G01N23/225; G06T1/00; H01J37/22
Attorney, Agent or Firm:
INOUE, Manabu et al. (6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-k, Tokyo 20, 〒1008220, JP)
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Claims: