以下、この発明の実施の形態を図面を参� ��して詳しく説明する。なお、図中同一また� ��相当部分には同一の符号を付しその説明は� ��り返さない。

 (実施形態1)
 図1は、この発明の実施形態1による物理量� �ンサ装置の構成例を示す。物理量センサ装� �は、物理量センサ10と、駆動回路11と、物理� ��検出回路12とを備える。物理量センサ10は、 所定周波数を有する駆動信号Sdrvが駆動回路11 から供給されるとともに、外部から与えられ た物理量(例えば、角速度,加速度など)に応じ てセンサ信号S10を出力する。センサ信号S10の 周波数は、駆動信号Sdrvの周波数に対応する� �例えば、センサ信号S10の中心周波数(搬送周� ��数)は、駆動信号Sdrvの周波数に相当する。� �お、ここでは、物理量センサ10は、音叉型角 速度センサであるものとする。駆動回路11は� ��駆動信号Sdrvを物理量センサ10に供給する。� ��た、駆動回路11は、物理量センサ10からの振 動信号Soscに応じて駆動信号Sdrvの周波数およ� ��振幅を調整する。物理量検出回路12は、物� �量センサ10からのセンサ信号S10に基づいて物 理量を検出する。

  〔物理量センサ〕
 図2のように、物理量センサ10は、音叉本体1 0aと、駆動圧電素子Pdrvと、振動検出圧電素子 Poscと、角速度検出圧電素子PDa,PDbとを有する� ��音叉本体10aは、それぞれが中央部で直角に� ��じられた一対の音叉片と、音叉片の各々の� ��端を連結する連結部と、回転軸となるよう� ��連結部に設けられた支持ピンとを有する。� ��動圧電素子Pdrvは、駆動回路11からの駆動信� ��Sdrvの周波数および振幅に応じて一方の音叉 片を振動させる。これにより、2つの音叉片� �互いに共振する。この音叉振動によって、� �動検出圧電素子Poscには、電荷が発生する(す なわち、振動信号Soscが発生する)。また、回� ��角速度が発生すると、角速度検出圧電素子P Da,PDbには、回転角速度(コリオリ力)に応じた� ��荷が発生する(すなわち、センサ信号S10が発 生する)。

  〔駆動回路〕
 駆動回路11では、モニタアンプ11aは、物理� �センサ10からの振動信号Soscを電圧に変換し� �自動利得制御増幅器(AGC)11bは、モニタアンプ 11aの出力を増幅または減衰させるものであり 、駆動アンプ11cに供給される電圧が一定値に なるように自己の増幅利得を変化させる。駆 動アンプ11cは、自動利得制御増幅器11bの出力 に応じて駆動信号Sdrvの周波数および振幅を� �御する。このように、振動信号Soscに応じて� ��動信号Sdrvが調整されることにより、物理量 センサ10の最大振動振幅および振動周波数が� ��定に保たれる。

  〔物理量検出回路〕
 図1に戻って、物理量検出回路12は、波形整� ��回路101と、逓倍回路102と、分周回路102aと、 サンプリング位相調整回路100と、分周回路102 bと、入力アンプ103と、アナログ/デジタル変� ��器(A/D)104と、デシメーションフィルタ105と� �検波信号生成器106と、乗算器107と、デジタ� �フィルタ108とを含む。

 波形整形回路101は、駆動信号Sdrvを方形波 に変換し、基準クロックCKrefとして出力する� ��例えば、波形整形回路101は、コンパレータ� ��インバータによって構成される。基準クロ� ��クCKrefの周波数は、駆動信号Sdrvの周波数(す なわち、センサ信号S10の周波数)と実質的に� �一である。逓倍回路102は、波形整形回路101� �らの基準クロックCKrefを逓倍し、基準クロッ クCKrefの周波数よりも高い周波数を有する逓� ��クロックCKxを生成する。例えば、逓倍回路1 02はPLL(Phase Locked Loop)によって構成される。� ��周回路102aは、逓倍回路102からの逓倍クロッ クCKxを分周し、所定のサンプリング周波数(� �ナログ/デジタル変換器104に要求されるサン� ��リング周波数)と同一の周波数を有する動作 クロックCKa(サンプリングクロック)を生成す� ��。すなわち、逓倍クロックCKxは、サンプリ� ��グ周波数よりも高い周波数を有する。分周� ��路102bは、分周回路102aからの動作クロックCK aを分周し、動作クロックCKaの周波数よりも� �い周波数を有する動作クロックCKbを生成す� �。

 サンプリング位相調整回路100は、シフト� ��ジスタ100Rと、セレクタ100Sとを含む。シフ� �レジスタ100Rは、逓倍回路102からの逓倍クロ� ��クCKxに同期して分周回路102aからの動作クロ ックCKaを順次シフトさせることにより、位相 が所定量ずつずれたn個(nは2以上の整数)の遅� ��クロックCC1,CC2,・・CCnを生成する。例えば� �シフトレジスタ100Rは、縦続接続された複数� ��フリップフロップによって構成される。セ� ��クタ100Sは、外部制御により設定された設定 値SETに応じて、遅延クロックCC1,CC2,・・・,CCn のいずれか1つを選択し、選択した遅延クロ� �クをサンプリングクロックCKsp(位相調整され たサンプリングクロック)として出力する。� �定値SETは、サンプリング位相調整回路100の� �延時間を設定するための値であり、逓倍ク� �ックCKxのパルス数を示す。例えば、設定値SE Tが“3”に設定されると、セレクタ100Sは、第 3番目の遅延クロックCC3を選択する。これに� �り、サンプリング位相調整回路100の遅延時� �は、逓倍クロックCKxの3パルスに対応する時� ��に設定される。

 例えば、図3のように、基準クロックCKref� ��逓倍(64倍)されて逓倍クロックCKxが生成され 、逓倍クロックCKxが分周(1/4)されて動作クロ� ��クCKaが生成され、動作クロックCKaが分周(1/2 )されて動作クロックCKbが生成される。また� �サンプリング位相調整回路100は、複数の遅� �クロック(図3では、3つの遅延クロックCC1,CC2, CC3)のいずれか1つ(図3では、遅延クロックCC3)� ��サンプリングクロックCKspとして出力する。

 入力アンプ103は、物理量センサ10からの� �ンサ信号S10を電圧に変換し、アナログセン� �信号Ssncとして出力する。アナログ/デジタル 変換器104は、サンプリング位相調整回路100か らのサンプリングクロックCKspに同期してア� �ログセンサ信号Ssncをサンプリングし、サン� ��リングしたアナログ値(振幅値)をデジタル� �に変換する。これにより、アナログセンサ� �号Ssncは、複数のデジタル値によって構成さ� ��たデジタルセンサ信号Dsncに変換される。デ シメーションフィルタ105は、分周回路102aか� �の動作クロックCKaに同期して動作し、アナ� �グ/デジタル変換器104によって得られたデジ� ��ルセンサ信号Dsncにデシメーション処理(サ� �プリング周波数の変換やデジタル値の間引� �等)を実行することにより、サンプリングク� ��ックCKsp(動作クロックCKa)に対応するデジタ� ��センサ信号Dsncを動作クロックCKbに対応する デジタルセンサ信号Ddcに変換する。

 検波信号生成器106は、分周回路102bからの 動作クロックCKbに同期して動作し、波形整形 回路101からの基準クロックCKrefの遷移エッジ( ここでは、立ち上がりエッジ)に応答して正� �波信号に対応するデジタル検波信号Ddetを生� ��する。デジタル検波信号Ddetは、複数の正弦 波データによって構成される。複数の正弦波 データは、それぞれ、所定クロック(例えば� �動作クロックCKa)に同期して所定周波数の正� ��波信号(例えば、駆動信号Sdrv)をサンプリン� ��することによって得られる複数のアナログ� ��(振幅値)に対応する(図4B参照)。例えば、複� ��の正弦波データは、正弦関数で表現される� ��想的な振幅値を示す。

 乗算器107は、デシメーションフィルタ105� ��らのデジタルセンサ信号Ddcに検波信号生成� ��106によって生成されたデジタル検波信号Ddet を乗算する。これにより、物理量信号(物理� �センサ10によって検知された物理量に対応す る信号)が検波される。デジタルフィルタ108� �、動作クロックCKbに同期して動作し、ノイ� �除去等のために乗算器107によって検波され� �物理量信号のうち低周波数成分のみをデジ� �ル検出信号Dphyとして通過させる。

  〔検波信号生成器〕
 図4Aのように、検波信号生成器106は、リン� �カウンタ111と、データ格納部112と、データ� �出部113とを含む。リングカウンタ111,データ� ��出部113は、動作クロックCKbに同期して動作� ��る。リングカウンタ111は、基準クロックCKre fの遷移エッジに応答してカウント値CNTのイ� �クリメントを開始し、カウント値CNTが所定� �最大値に到達するとカウント値CNTを“0”に� ��セットする。データ格納部112は、デジタル� ��波信号Ddetの元となる複数の正弦波データDAT Aを格納する。データ読出部113は、予め設定� �れたカウント値CNTと正弦波データDATAとの対� ��関係(図4B)に基づいて、リングカウンタ111の カウント値CNTに対応する正弦波データDATAを� �み出して出力する。このようにして、正弦� �データD0,D1,D2,・・・,D15を順番に出力するに� ��って、正弦波信号に対応するデジタル検波� ��号Ddetが生成される。

  〔動作〕
 次に、図5を参照しつつ、図1に示した物理� �検出回路12による動作について説明する。な お、ここでは、動作クロックCKxの周期を“t� �とし、アナログセンサ信号Ssncの位相は基準� ��ロックCKrefの位相よりも“t”だけ進んでい� ��ものとする。また、デシメーションフィル� ��105は、デジタルセンサ信号Dsncを動作クロッ クCKbの周波数(動作クロックCKaの周波数の1/2)� ��対応させるために、デジタルセンサ信号Dsnc からデジタル値を1つおきに間引くものとす� �。

 動作クロックCKa(位相調整される前のサン プリングクロック)の遷移エッジは、アナロ� �センサ信号Ssncの所望サンプリングポイントS P0,SP1,SP2,・・・(例えば、正弦波データD0,D1,D2, ・・・に対応するポイント)に一致していな� �。ここで、設定値SETが“3”に設定されると� ��セレクタ100Sは、3番目の遅延クロックCC3を� �ンプリングクロックCKspとして選択する。こ� ��により、サンプリングクロックCKspの遷移エ ッジを所望サンプリングポイントSP0,SP1,SP2,・ ・・にそれぞれ一致させることができる。ア ナログ/デジタル変換器104は、サンプリング� �ロックCKspに同期してアナログセンサ信号Ssnc をデジタル値P0,P1,P2,P3,P4・・・に変換する。� ��シメーションフィルタ105は、デジタルセン� ��信号Dsncからデジタル値P1,P3,・・・を間引い てデジタルセンサ信号Sdcとして出力する。一 方、検波信号生成器106は、基準クロックCKref� ��遷移エッジに応答して、動作クロックCKbに� ��期した正弦波データD0,D2,・・・の出力を開� ��する。乗算器107は、デシメーションフィル� ��105からのデジタル値P0,P2,・・・に検波信号� ��成器106からの正弦波データD0,D2,・・・をそ� ��ぞれ乗算する。

 以上のように、サンプリングクロックCKsp の位相を調整することにより、サンプリング ポイント(サンプリングクロックCKspの遷移エ� ��ジの位置)を移動させることができる。その 結果、デジタルセンサ信号Dsncの位相を変更� �ることができる。このように、サンプリン� �周波数を高くすることなくデジタルセンサ� �号Dsncの位相調整の精度を向上させることが� ��きる。また、サンプリングクロックCKspの遷 移エッジの位置を所望サンプリングポイント SP0,SP1,SP2,・・・に一致させる(または近づけ� �)ことができるので、アナログ/デジタル変換 の精度を向上させることができる。

 また、逓倍クロックCKxの周期を単位とし� ��サンプリングクロックCKspの位相を設定する ことができる。逓倍クロックCKxの周波数が高 い程、サンプリングクロックCKspの位相を精� �に設定することができる。これにより、従� �よりもデジタルセンサ信号Dsncの位相を精密� ��調整することができる。

 なお、分周回路102bは、サンプリング位相 調整回路100からのサンプリングクロックCKsp� �分周して動作クロックCKbを生成しても良い� �

 (実施形態1の変形例)
 また、図6のように、検波信号生成器106およ びデジタルフィルタ108は、アナログ/デジタ� �変換器104に供給されるサンプリングクロッ� �CKspに同期して動作しても良い。図6に示した 物理量検出回路12aは、図1に示した分周回路10 2b,デシメーションフィルタ105を含んでいない 。図7のように、検波信号生成器106は、基準� �ロックCKrefの遷移に応答して、サンプリング クロックCKspに同期した正弦波データD0,D1,D2,� �・・の出力を開始する。乗算器107は、アナ� �グ/デジタル変換器104によって得られたデジ� ��ル値P0,P1,P2,・・・に検波信号生成器106から� ��正弦波データD0,D1,D2,・・・をそれぞれ乗算� ��る。このようにサンプリングクロックCKspを 物理量検出回路12aの動作クロックとして利用 した場合も図1と同様の効果を得ることがで� �る。

 (実施形態2)
 図8は、この発明の実施形態2による物理量� �ンサ装置の構成例を示す。この物理量セン� �装置は、図1に示した物理量検出回路12に代� �て、物理量検出回路22を備える。物理量検出 回路22は、図1に示したサンプリング位相調整 回路100に代えて、サンプリング位相調整回路 200を含む。その他の構成は図1と同様である� �

 サンプリング位相調整回路200は、サンプ� ��ング位相調整カウンタ201と、分周回路202(ク ロック生成回路)とを含む。サンプリング位� �調整カウンタ201は、基準クロックCKrefの遷移 エッジに応答して逓倍クロックCKxの発生パル ス数の計数を開始し、発生パルス数が外部制 御により設定された所定値SETに到達するとタ イミング信号STRを生成する。分周回路202は、 サンプリング位相調整カウンタ201からのタイ ミング信号STRの遷移エッジに応答して分周処 理を開始する(例えば、分周回路202の出力が� �期状態にリセットされる。)。そして、分周� ��路202は、逓倍クロックCKxを分周して所定の� ��ンプリング周波数を有するサンプリングク� ��ックCKspを生成する。

  〔動作〕
 次に、図9を参照しつつ、図8に示したサン� �リング位相調整回路200による処理について� �明する。なお、ここでは、動作クロックCKx� �周波数を1/4に分周するために、分周回路202� �2ビットカウンタによって構成し、その2ビッ トカウンタの出力のうちMSB(Most Significant Bit) に対応する出力をサンプリングクロックCKsp� �して供給するものとする。

 サンプリング位相調整カウンタ201は、基� ��クロックCKrefの遷移エッジに応答して逓倍� �ロックCKxの発生パルス数の計数を開始する� �ここで、設定値SETが“3”に設定されると、� ��ンプリング位相調整カウンタ201は、カウン� ��値が“3”に到達するとタイミング信号STRを 出力する。分周回路202は、サンプリング位相 調整カウンタ201からのタイミング信号STRの遷 移エッジに応答して、予め設定された初期値 (ここでは、2)からカウントを開始し、カウン ト値が最大値(ここでは、3)に到達するとカウ ント値を“0”にリセットする。分周回路202� �MSB出力は、分周回路202のカウント値が2また� ��3である場合には“1”になり、分周回路202� �カウント値が0または1である場合には“0”� �なる。

 以上のように、逓倍クロックCKxの周期を� ��位としてサンプリングクロックCKspの位相を 設定することができる。また、逓倍クロック CKxの周波数が高い程、サンプリングクロック CKspの位相を精密に設定することができる。� �れにより、従来よりもデジタルセンサ信号Ds ncの位相を精密に調整することができる。

 なお、分周回路202を、サンプリング位相� ��整カウンタ201からのタイミング信号STRに応� ��して逓倍処理を開始する逓倍回路に置き換� ��ても良い。このような逓倍回路は、所定周� ��数のクロックを逓倍し、サンプリングクロ� ��クCKspを生成する。

 (実施形態3)
 図10は、この発明の実施形態3による物理量� ��ンサ装置の構成例を示す。この物理量セン� ��装置は、図1に示した物理量検出回路12に代� ��て、物理量検出回路32を備える。物理量検� �回路32は、図1に示した構成に加えて、デジ� �ルセンサ信号Dsncの位相を調整する位相調整� ��路300と、デジタル検波信号Ddetの位相を調整 する位相調整回路400とを含む。その他の構成 は、図1と同様である。

 図11のように、位相調整回路300は、シフ� �レジスタ300Rと、セレクタ300Sとを含む。シフ トレジスタ300Rは、分周回路102aからの動作ク� ��ックCKaに同期してデジタルセンサ信号Dsncを 順次シフトさせることにより、位相が所定量 ずつずれたi個(iは2以上の整数)の遅延信号D1,D 2,・・・,Diを生成する。例えば、シフトレジ� ��タ300Rは、縦続接続された複数のフリップフ ロップによって構成される。セレクタ300Sは� �外部制御により設定された設定値SET1に応じ� ��遅延信号D1,D2,・・・,Diのいずれか1つを選択 し、選択した遅延信号を遅延デジタルセンサ 信号DDsncとして出力する。設定値SET1は、位相 調整回路300の遅延時間を設定するための値で あり、動作クロックCKaのパルス数を示す。

 図12Aのように、位相調整回路400は、シフ� ��レジスタ400Rと、セレクタ400Sとを含む。シ� �トレジスタ400Rは、分周回路102bからの動作ク ロックCKbに同期して基準クロックCKrefを順次� ��フトさせることにより、位相が所定量ずつ� ��れたj個(jは2以上の整数)の遅延クロックCK1,C K2,・・・,CKjを生成する。例えば、シフトレ� �スタ400Rは、縦続接続された複数のフリップ� ��ロップによって構成される。セレクタ400Sは 、外部制御により設定された設定値SET2に応� �て遅延クロックCK1,CK2,・・・,CKjのいずれか1� ��を選択し、選択した遅延クロックを選択ク� ��ックSSSとして出力する。設定値SET2は、位相 調整回路400の遅延時間を設定するための値で あり、動作クロックCKbのパルス数を示す。な お、図10に示した位相調整回路400を図12Bに示� ��た位相調整カウンタ401に置き換えても良い� ��位相調整カウンタ401は、図8に示したサンプ リング位相調整カウンタ201と同様の構成であ る。位相調整カウンタ401は、基準クロックCKr efの遷移エッジに応答して分周回路102bからの 動作クロックCKbの発生パルス数の計数を開始 し、発生パルス数が設定値SET2に到達すると� �イミング信号TTTを出力する。検波信号生成� �106は、位相調整回路400からの選択クロックSS S(または、位相調整カウンタ401からのタイミ� ��グ信号TTT)の遷移エッジに応答してデジタル 検波信号Ddetの生成を開始する。

  〔動作〕
 次に、図13を参照しつつ、図10に示した物理 量検出回路32による動作について説明する。� ��お、ここでは、逓倍クロックCKxの周期を“t ”とし、アナログセンサ信号Ssncの位相は、� �準クロックCKrefの位相よりも“11t”だけ遅れ ているものとする。また、動作クロックCKa(� �ンプリングクロックCKsp)の周波数,動作クロ� �クCKbの周波数は、それぞれ、逓倍クロックCK xの周波数の“1/4”,“1/8”であるものとする� ��

 ここで、サンプリング位相調整回路100の� ��定値SETが“3”に設定されると、サンプリン グ位相調整回路100は、動作クロックCKaを逓倍 クロックCKxの3パルスに対応する時間“3t”だ け遅延させてサンプリングクロックCKspとし� �出力する。これにより、サンプリングクロ� �クCKspの遷移エッジを所望サンプリングポイ� ��トSP0,SP1,SP2,・・・・にそれぞれ一致させる� ��とができる。

 また、位相調整回路300の設定値SET1を“1� �に設定すると、位相調整回路300は、デジタ� �センサ信号Dsncを動作クロックCKaの1パルスに 対応する時間“4t”だけ遅延させ、遅延デジ� ��ルセンサ信号DDsncとして出力する。ここで� �、動作クロックCKaはサンプリングクロックCK spに対して位相が“t”だけずれているので、 基準クロックCKrefと遅延デジタルセンサ信号D Dsncとの位相差は“16t(=3t+8t+t+4t)”になる。ま� ��、基準クロックCKrefとデシメーションフィ� �タ105によって得られたデジタルセンサ信号Dd cとの位相差も“16t”になる。

 さらに、位相調整回路400の設定値SET2を“ 2”に設定すると、位相調整回路400は、基準� �ロックCKrefを動作クロックCKbの2パルスに対� �する時間“16t”だけ遅延させ、選択クロッ� �SSSとして出力する。検波信号生成器106は、� �択クロックSSSの遷移エッジに応答して正弦� �データD0,D2,・・・を出力する。これにより� �基準クロックCKrefとデジタル検波信号Ddetと� �位相差は“16t”になるので、デジタルセン� �信号Dsncの位相とデジタル検波信号Ddetの位相 とを互いに一致させることができる。

 以上のように、位相調整回路300によって� ��動作クロックCKaの周期を単位としてデジタ� ��センサ信号Dsncの位相を設定することができ る。また、位相調整回路400(または、位相調� �カウンタ401)によって、動作クロックCKbの周� ��を単位としてデジタル検波信号Ddetの位相を 設定することができる。このように、デジタ ルセンサ信号Dsncの位相およびデジタル検波� �号Ddetの位相を精密に設定することができる� ��

 また、動作クロックCKbは動作クロックCKa� ��りも周波数が低いので、位相調整回路400の� ��相調整の精度は、位相調整回路300の位相調� ��の精度よりも低い。このように、位相調整� ��精度がそれぞれ異なる位相調整回路300,400に 位相調整処理を分担させることにより、位相 調整処理に要する回路規模および消費電力を 低減することができる。例えば、動作クロッ クCKaの周期“t”を単位として最大遅延時間� �“16t”に設定するために、位相調整回路400� �みを使用する場合では16個のフリップフロッ プを設ける必要があるが、図10の場合では位� ��調整回路300,400にフリップフロップを4個ず� �設ければ良い。

 なお、位相調整回路300,400は、それぞれ、 基準クロックCKrefの周波数よりも高い周波数� ��有する別の動作クロック(動作クロックCKaと は異なる周波数を有するクロック)に同期し� �動作しても良い。

  〔検波信号生成器の変形例〕
 また、図14Aのように、リングカウンタ111は� ��基準クロックCKrefの遷移エッジに応答して� �ウント値CNTのインクリメントを開始しても� �い。この場合、データ読出部113におけるカ� �ント値CNTと正弦波データDATAとの対応関係は� ��外部制御CTRLによって設定可能である。デー タ読出部113は、選択クロックSSSの遷移エッジ に応答して、カウント値CNTに対応する正弦波 データDATAの読み出しを開始する。例えば、� �相調整回路300の設定値SETが“3”に設定され� ��と、カウント値CNTと正弦波データDATAとの対 応関係は、図14Bのように設定される。このよ うに設定することにより、検波信号生成器106 は、選択クロックSSSの遷移エッジに応答して 正弦波データD0,D1,D2,・・・を順番に出力する ことができる。

 (実施形態3の変形例1)
 また、図15に示した物理量検出回路32aのよ� �に、図10に示したサンプリング位相調整回路 100を図8に示したサンプリング位相調整回路20 0に置き換えた場合も、図10の場合と同様の効 果を得ることができる。

 (その他の実施形態)
 なお、以上の各実施形態における物理量セ� ��サ10は、音叉型に限らず、円柱型,正三角柱� ��,正四角柱型,リング型や、その他の形状で� �っても良い。また、図16のように、物理量セ ンサ10は、静電容量式加速度センサであって� ��良い。物理量センサ10は、固定部10bと、可� �部10cと、可動電極Pma,Pmbと、検出電極Pfa,Pfbと 、差動増幅器10dとを有する。可動部10cは、加 速度に応じて変位するように固定部10bに連結 される。可動電極Pma,Pmbは、可動部10cに配置� �れる。検出電極Pfa,Pfbは、それぞれ、可動電� ��Pma,Pmbに対向するように、固定部10bに配置さ れる。すなわち、可動電極Pma,検出電極Pfaに� �って容量素子Caが構成され、可動電極Pmb,検� �電極Pfbによって容量素子Cbが構成される。ま た、容量素子Ca,Cbには、それぞれ、発振回路1 1dからの駆動信号Sdrvが供給される。差動増幅 器10dは、検出電極Pfa,Pfbのそれぞれに発生す� �電荷量の差に対応するセンサ信号S10を出力� �る。加速度が発生すると、可動部10cの変位� �起因して容量素子Caの静電容量および容量素 子Cbの静電容量のうち一方が増加し他方が減� ��する。これにより、検出電極Pfa,Pfbのそれぞ れにおける電荷量に差が生じ、この差に対応 するセンサ信号S10が出力される。

 また、以上の各実施形態において設定値S ET,SET1,SET2は変更可能な値として説明したが、 設定値SET,SET1,SET2は固定値であっても良い。