Beschreibung

Piezoelektrisches Material, Vielschicht-Aktuator und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauelements

Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches Material, das für die Herstellung von piezoelektrischen Bauelementen mit Innenelektroden geeignet ist. Darüber hinaus betrifft die Erfindung einen piezoelektrischen Vielschicht-Aktuator und ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauelements .

Aus der Druckschrift DE 102004002204 Al ist ein piezoelektrisches Keramikmaterial bekannt.

Eine zu lösende Aufgabe besteht darin, ein piezoelektrisches Material anzugeben, das gut für die Anwendung in piezoelektrischen Vielschicht-Aktuatoren geeignet ist.

Es wird ein piezoelektrisches Material beschrieben, das auf der Basis von PZT (Blei-Zirkonat-Titanat) hergestellt ist.

Die Anwendung von piezoelektrischen Bauelementen als Aktuato- ren setzt, besonders in der Automobil-Technik, hohe Anforderungen an Zuverlässigkeit sowie zeitliche und thermische Stabilität. Darüber hinaus verlangt diese Anwendung hohe dynamische Aktuatorauslenkungen in Kombination mit hoher Blockierkraft, die bei Anlegen einer elektrischen Spannung an den Ak- tuator resultieren. Besonders geeignete Materialien sind piezoelektrische Keramiken basierend auf Blei-Zirkonat-Titanat (Pb (Zr _] __yTiy) O3, PZT). Die gewünschten piezoelektrischen Materialeigenschaften werden im Fall von PZT-Keramiken zunächst erreicht durch Einstellung eines bestimmten Mengenverhältnis-

ses zwischen Zirkon (Zr) und Titan (Ti) in der Perowskit- Struktur (ABC^-Typ) von PZT entsprechend der allgemeinen Formel Pb (Zr]__yTiy) O3. Besonders vorteilhafte piezoelektrische Eigenschaften werden mit PZT-Materialien erreicht, wenn das Zr/Ti-Verhältnis im Bereich der so genannten morphotropen Phasengrenze (MPG) liegt. Es werden daher bevorzugt PZT Materialien gemäß Pb (Zr _1--y Ti _y ) O3 mit y~0,45-0,50 gewählt. Darüber hinaus lassen sich die Materialeigenschaften von PZT durch Zusatz von bestimmten Stoffen, die sich in der Perowskit- Struktur von PZT lösen können und auch als Dotierstoffe oder Dotanden bezeichnet werden, sehr weitgehend und spezifisch auf die jeweilige Anwendung einstellen. Die Modifikation eines PZT-Materials kann dabei beispielsweise durch Substitution von Blei (Pb) auf A-Plätzen (Pb-Plätze) und/oder durch Substitution von Zr/Ti auf B-Plätzen (Zr/Ti-Plätze) durch geeignete Elemente oder geeignete Kombinationen von Elementen erreicht werden. Für die thermische Stabilität der Eigenschaften von piezoelektrischen PZT-Materialien ist es dabei vorteilhaft, die vergleichsweise hohe Curietemperatur von T _Q ~360°C durch derartige Materialmodifikationen nicht zu stark abzusenken. Dies gelingt vor allem dadurch, dass die Konzentrationen der Zusatzstoffe oder Dotanden möglichst klein gehalten werden.

Das hier beschriebene piezoelektrische Material enthält neben dem PZT-Grundmaterial einen Zusatz, der in Form eines solchen Dotierstoffs vorliegt. Mit Hilfe eines Zusatzes zum PZT- Grundmaterial können Gitterplätze des PZT-Grundgitters mit anderen als den von PZT vorgegebenen Materialien besetzt werden, wodurch die elektrischen und mechanischen Eigenschaften des Materials günstig beeinflusst werden können. Vorzugsweise liegt der Dotierstoff in einem Anteil von bis zu 2,5 mol-% in dem piezoelektrischen Material vor.

Besonders bevorzugt bildet sich aus dem PZT-Grundmaterial und dem Dotierstoff ein Mischkristall, wobei das Blei-Zirkonat- Titanat und der Dotierstoff eine feste Lösung bilden. Mit Hilfe der Dotierung von PZT gelingt insbesondere der Einbau von Kationen auf B-Plätzen des PZT-Wirtsgitters, wodurch die elektrischen Eigenschaften des Materials besonders weitgehend verbessert werden können.

Besonders bevorzugt kommt als Dotierstoff ein Keramikmaterial in Betracht, das der allgemeinen Formel

[ (M ₁ O) ]__p (M ₂ COp] _a [^2^5] 1-a entspricht, wobei M ₁ für Ba _1--t Sr _t mit 0 ≤ t ≤ 1 und M ₂ für Strontium oder Kalzium steht und wobei gilt: 2/3 < a < 1 und 0 < p < 1.

Mit Hilfe der angegebenen Mischung aus PZT und dem Dotierstoff der angegebenen Formel gelingt der Einbau von M ₂ Kationen auf die formalen B-Plätze des Perowskit-Wirtsgitters . Dies gilt insbesondere deshalb, da das PZT-Grundmaterial und der Dotierstoff einen Mischkristall bilden. Als PZT-Grundmaterial kommt insbesondere die Zusammensetzung Pb (Zr]__yTiy) O3 in Betracht, wobei gilt: 0,50 ≤ 1-y ≤ 0,60, und wobei das Wirtsgitter dem Gittertyp ABO3 vom Perowskit-Typ entspricht. Mit der Wahl des Parameters 1-y zwischen 0,5 und 0,6 wird das Zirkon/Titan-Verhältnis auf den Bereich der so genannten morphotropen Phasengrenze eingestellt, was besonders gute Eigenschaften für das keramische Material bewirkt.

Gemäß einer weiteren Ausführungsform des piezoelektrischen Materials kann darüber hinaus noch eine Zusatzkomponente vom Perowskit-Strukturtyp in einem Anteil von bis zu 50 mol-% enthalten sein.

- A -

Der Dotierstoff kann den Kryolith-Strukturtyp enthalten, wodurch sich eine besonders gute Löslichkeit des Dotierstoffs beziehungsweise von Teilen des Dotierstoffs im PZT-Wirtsgit- ter ergibt.

Der Dotierstoff kann als Verbindung mit Kryolith-Struktur im Wirtsgitter in fester Lösung vorliegen.

Hinsichtlich des Dotierstoffs können drei unterschiedliche stöchiometrische Zusammensetzungen beziehungsweise Parameterbereiche unterschieden werden:

Im Parameterbereich 1 gilt: 6/7 < a < 1.

Im Parameterbereich 2 gilt: 2/3 < a < 4/5.

Im Parameterbereich 3 gilt: 4/5 < a < 6/7 und 1/4 < p < 1/3.

Im Parameterbereich 3 ergibt sich für den Dotierstoff eine Formulierung einer Verbindung mit Kryolith-Struktur für den Fall, dass sich der Parameter p korreliert mit dem Parameter a ändert und zwar gemäß der Beziehung a = 22/35 + 24p/35, die einen Zusammenhang zwischen a und p herstellt. Die allgemeine Formel für das zugrunde liegende Kryolith-System lautet dann

⁽ M ₁ ⁾ ₄ [ ⁽ M ₂ ⁾ 2-2x/3 ^N b2+2x/3]Oll+x ^v O;l-x mit 0 < x < 1,

wobei für den Zusammenhang zwischen a und dem Parameter x gilt:

a = 6/7 - 2x/35.

Entsprechend der Variationsbreite 0 ≤ x ≤ 1 und dem Vorhandensein von Sauerstoffleerstellen (V _Q ) weist die Kryolith-

Verbindung eine Phasenbreite auf. Zudem entspricht die Kryo- lith-Struktur sehr gut dem eng verwandten PZT-Perowskit- Wirtsgitter. Beide Keramikmaterialien können ein Mischkristallsystem bilden, in dem sich die Bestandteile des Dotierstoffes auf den Gitterplätzen des PZT-Wirtsgitters einfügen. Sie bilden somit eine feste Lösung, das heißt in der Pe- rowskit-Phase treten im Bereich x < 1 Leerstellen auf den Sauerstoffplätzen auf und M2 wird auf den B-Plätzen der einheitlichen Perowskit-Phase eingebaut.

Für den Fall, dass M ₁ = M2 = Sr gilt, werden Strontium- Kationen auf den B-Plätzen der Perowskit-Phase eingebaut.

Im Parameterbereich 1 geht der vorhandene überschuss (M ₁ O und/oder M2O} in den Grenzen von 1/7 (für a = 1) und O (für a = 6/7) mit dem PZT-Wirtsgitter eine chemische Reaktion ein .

Für den überschuss an Erdalkalioxid kann das Verhältnis von M ₁ zu M2 entsprechend 0 < p < 1 beliebig variiert werden und es können folgende Reaktionen stattfinden:

M ₁ O + Pb (Zr _1--y Ti _y )θ3 → M ₁ (Zr _1--y Ti _y ) O ₃ + PbO

Gleichung < Ia >

M ₂ O + Pb(Zr _1--y Ti _y )θ3 ±5 M ₂ (Zr _1--y Ti _y ) O ₃ + PbO

Gleichung < Ib >

Mit Hilfe dieser Reaktionen kann das PbO aus dem PZT- Wirtsgitter verdrängt werden, und es wird eine äquivalente Menge M (Zr _1--y Ti _y ) O3 gebildet, wobei M für M ₁ oder M ₂ steht. Diese gebildeten Zirkonat-Titanate können sich im PZT- Wirtsgitter gleichfalls unter Mischkristallbildung lösen. Au-

ßerdem entsteht Bleioxid, das den Anteil am gegebenenfalls im System ohnehin vorhandenen Sinterhilfsmittel geringfügig weiter erhöht. Die genannte Reaktion kann ablaufen, solange, bis a = 6/7 erreicht ist. In diesem Fall ist ein dem Nb ₂ θ5-Gehalt äquivalenter Anteil an M ₁ O und/oder M2O in dem Material vorhanden und es ergibt sich mit p = 1/3 die feste Lösung der Kryolith-Verbindung mit der Grenzzusammensetzung (M ₁ ) 4 [ (M ₂ ) ₂ Nb ₂ ] °11 ^V O _; 1 ^im PZT-Wirtsgitter. Die feste Lösung enthält M ₂ -Kationen auf B-Plätzen des Perowskit-Mischkris- talls und Sauerstoff-Leerstellen.

Diese Grenzzusammensetzung entspricht dem Parameter x = O entsprechend der einen Seite der Phasenbreite des Kryolith- Systems. In diesem Fall ist die Sauerstoff-Leerstellenkonzentration verhältnismäßig hoch.

Für den Fall M ₁ = M ₂ = Sr besteht ein überschuss an Strontiumoxid in den Grenzen 0 < {SrO} < 1/7. Die Verdrängung von PbO aus dem PZT-Wirtsgitter verläuft gemäß der folgenden Reaktionsgleichung:

SrO + Pb (Zr]__yTiy) O3 → Sr (Zr _1--y Ti _y ) O3 + PbO

Gleichung < 2 >

Mit Hilfe dieser Reaktion wird eine äquivalente Menge an Sr (Zr _] __yTiy) O3 gebildet, das sich im PZT-Wirtsgitter unter Mischkristallbildung löst. Ein dem Nb ₂ θ5~Gehalt äquivalenter Anteil an SrO, entsprechend einem überschuss an Strontiumoxid von 0, ergibt die Ausbildung einer festen Lösung der Kryolith-Verbindung mit der Grenzzusammensetzung

Sr4 (Sr ₂ Nb ₂ ) O ₁₁ V _Q ; 1 im PZT-Wirtsgitter gemäß der anderen Seite der Phasenbreite im Kryolith-System. Die feste Lösung enthält

Sr-Kationen auf B-Plätzen des Perowskit-Mischkristalls und Sauerstoff-Leersteilen .

Im Parameterbereich 2 liegt ein überschuss von Nioboxid (Nb ₂ O ₅ I in den Grenzen 1/5 > (Nb ₂ O ₅ I > 0 vor, der infolge einer Bindung von gegebenenfalls im System vorhanden beziehungsweise dem System zuzugebendem Sinterhilfsmittel PbO gemäß

Nb ₂ O ₅ + PbO ±5 2 Pb ₀ , ₅ V _Pb . _Q^5 NbO ₃

Gleichung < 3 >

zur Bildung einer äquivalenten Menge Bleiniobat führt. Das Bleiniobat kann sich im PZT-Gitter ebenfalls unter Mischkristallbildung lösen, wobei es zur Ausbildung von Blei-Leerstellen Vp] ₃ auf den Pb-Plätzen des PZT-Wirtsgitters kommt. Für einen dem M]_O beziehungsweise M ₂ O-Gehalt äquivalenten Anteil an Nb ₂ O ₅ entsprechend a = 4/5 ergibt sich bei Einhaltung des Parameters p = 1/4 die Ausbildung einer festen Lösung der Kryolith-Verbindung mit der Grenzzusammensetzung (M _] _) 4 [ (M ₂ ) 4/3Nbg/3l 0 _] _ ₂ im PZT-Wirtsgitter gemäß der anderen Seite der Phasenbreite des Kryolith-Systems, wobei in diesem Fall weiterhin M ₂ -Kationen auf B-Plätzen des Perowskit- Mischkristalls vorhanden, die Sauerstoff-Leerstellen jedoch eliminiert sind.

Für den Fall M _] _ = M ₂ = Sr entfällt der Parameter p und es ergibt sich für den Fall eines dem Strontiumoxid-Gehalts äquivalenten Anteil an Nb ₂ O ₅ die Ausbildung einer festen Lösung der Kryolith-Verbindung mit der Grenzzusammensetzung Sr4 (Sr4/3Nbg/3) 0]_ ₂ gemäß der anderen Seite der Phasenbreite des Kryolith-Systems, wobei keine Sauerstoff-Leerstellen vorhanden sind, jedoch enthalten die B-Plätze des Perowskit- Mischkristalls weiterhin Sr-Kationen.

Ganz allgemein gilt für sämtliche hier beschriebenen piezoelektrischen Materialien, dass diese zusätzlich bis zu 5 mol-% an PbO enthalten können. Dieses Bleioxid kann beispielsweise als Hilfsmittel beim Sintern des Keramikmaterials dienen .

Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform des Materials enthält der Dotierstoff eine Kryolith-Verbindung der Formel (M]_) 4 [ (M2) 2 ^N ^2 ] O]_]_V _Q; i, die eine feste Lösung mit dem PZT-Wirtsgitter bildet.

Allgemein kann das hier beschriebene piezoelektrische Material mit der Summenformel P^- _Q -^D _Q Z^, beschrieben werden wobei gilt:

0 < c < 0, 15 und 0 < d < 0,5.

Hierbei sind für c die Unterbereiche 0 < c < 0,025 und 0,0255 < c < 0,0443 möglich. Dabei steht P für den PZT-Grundstoff, D für den Dotierstoff der allgemeinen Zusammensetzung [ (M _] _O) _] __ p (M2O) p] _a [Nb2θ5] ]__ _a und Z für eine Zusatzkomponente vom Pe- rowskit-Strukturtyp .

Die Kryolith-Verbindung der Formel (M]_) 4 [ (M2) 2 ^N ^2 ] O]_]_V _Q • 1 kann Bestandteil der Komponente D sein, wobei der überschuss an MO der Komponente D mit der Komponente P zu M (Zr]__yTiy) O3 und PbO reagiert ist, wobei M für M]_ oder M2 steht.

Gemäß einer anderen Ausführungsform des Materials kann der Dotierstoff eine Kryolith-Verbindung gemäß der Formel (M]_) 4 [ (M2) 4/3 ^N bg/3] O]_2 enthalten, die eine feste Lösung mit dem PZT-Wirtsgitter bildet. Die Kryolith-Verbindung kann Bestandteil der Komponente D sein, wobei ein überschuss an

Nb2ü5 der Komponente D mit zusätzlich vorhandenem PbO in dem Keramikmaterial zu Bleiniobat reagiert ist.

Gemäß einer Ausführungsform des Materials kann in dem Material M (Zr _] __ _y Ti _y ) O3 enthalten sein als Produkt einer Reaktion des beschriebenen Kryolith-Systems mit der Komponente P, wobei M für M ₁ oder M2 steht.

Aufgrund der nur in geringen Mengen zugesetzten Dotierstoffe kann für die Kryolith-Verbindung des Dotierstoffs eine Wechselwirkung und Reaktion mit dem in großem überschuss vorhandenen PZT-Wirtsgitter zustande kommen. Auf diese Weise kann eine erhebliche änderung der Sauerstoff-Leerstellenkonzentration im gesamten Materialsystem erreicht werden.

Aufgrund der größeren Basizität der Erdalkalioxid-Komponente im Dotierstoff schließt die Mischkristallbildung des Dotierstoffs mit dem PZT-Wirtsgitter die Möglichkeit der Verdrängung von PbO aus PZT ein. Dies gilt vor allem im Bereich der Formulierung einer festen Lösung einer Verbindung aus dem beschriebenen Kryolith-System im PZT-Wirtsgitter. Die in Betracht kommenden Reaktionen lauten wie folgt:

(M ₁ ) 4 [ (M ₂ ) 2Nb ₂ ]O ₁₁ V ₀ + 8/7 Pb (Zr _1--y Ti _y ) O ₃ ±5

6/7 (M ₁ )4[(M2)5/3Nb7/3)]Oii _/5 V _0; o _/ 5 + 4/7 M ₁ (Zr _1- ^TIy)O ₃

+ 4/7 M ₂ (Zr ₁ _ _y Tiy)O ₃ + 8/7 PbO

Gleichung < 4 >

6/7 (M ₁ ) 4 [(M ₂ ) 5/3^7/3) ]Oii _/5 V _0; o,5 + 6/7 Pb (Z _ri _ _y Ti _y ) O ₃ ±5

3/4 (M ₁ )^ (M ₂ ) ₄ / ₃ Nb ₈₇₃ ]O ₁₂ + 3/7 (M ₁ ) Sr (Zr _1- ^TIy) O ₃

+ 3/7 M ₂ (Zr ₁ _ _y Tiy)O ₃ + 6/7 PbO

Gleichung < 5 >

3/4 (M ₁ ) ₄ [ (M ₂ )4/3Nb ₈ /3]O ₁₂ + 4 Pb (Zr _1--y Ti _y ) O ₃ ±j

3 M ₁ (Zr^yTIy)O ₃ + 2 Pb ₀ , ₅ ^v Pb; 0 , 5 ^N b0 ₃ + 3 PbO

+ 1 M ₂ (Z _ri _ _y Ti _y )O ₃

Gleichung < 6 >

Gleichung <6> würde bei vollständigem Ablaufen einen vollständigen übertritt der M ₂ -Kationen von den B-Plätzen des Wirtsgitters auf die A-Plätze des Wirtsgitters bedeuten.

Mit der letzten Reaktionsgleichung ist die Bildung von PbNb ₂ Og verbunden, was äquivalent ist zu 2 Formeleinheiten Pb _Q 5Vp _]3 - _Q 5NbO ₃ . Infolge einer Mischkristallbildung mit dem PZT-Wirtsgitter kommt es zur Ausbildung von Blei-Leerstellen auf den A-Plätzen der dotierten PZT-Keramik.

Entsprechend den angegebenen Reaktionsgleichungen wird ein piezoelektrisches Material angegeben, wobei (M ₁ ) 4 [ (M ₂ ) 4/ ₃ Nbg/ ₃ ] O ₁₂ mit dem PZT-Wirtsgitter zumindest teilweise zu Bleiniobat umgesetzt ist.

Darüber hinaus wird auch ein piezoelektrisches Material angegeben, wobei (M ₁ ) 4 [ (M ₂ ) 5/ ₃ Nb7/ ₃ ] O ₁₁ 5V _Q; O 5 mit dem PZT- Wirtsgitter zumindest teilweise zu (M ₁ ) 4 [ (M ₂ ) 4/ ₃ Nbg/ ₃ ] O ₁₂ umgesetzt ist.

Darüber hinaus wird auch ein piezoelektrisches Material angegeben, wobei (M ₁ ) 4 [ (M ₂ ) ₂ Nb ₂ ] O ₁₁ V _Q mit PZT-Wirtsgitter zumin ^¬ dest teilweise zu (M ₁ ) 4 [ (M ₂ ) 5/ ₃ Nb7/ ₃ ] O ₁₁ 5V _Q; O 5 umgesetzt ist .

Die angegebenen Reaktionen erlauben die Einstellung einer sehr variablen Konzentration der Sauerstoff-Leerstellen. Diese Erhöhung beziehungsweise Absenkung der Sauerstoff-Leer-

Stellenkonzentration kann temperaturabhängig erfolgen, was eine gute Möglichkeit für den vorteilhaften Einsatz der Sauerstoff-Leerstellenvariation im Sinterprozess des Keramikmaterials bietet. Dies wird im Folgenden erläutert.

Der gemäß den genannten Gleichungen stattfindenden Verdrängung von PbO aus dem PZT-Wirtsgitter kann durch die stärkere Basizität des Erdalkalioxids im Dotierstoff ein exothermer Reaktionsverlauf zugrunde gelegt werden. Dies bedeutet, dass sich die Gleichgewichte bei hohen Temperaturen in Richtung einer erhöhten Konzentration an Sauerstoff-Leerstellen verlagern, wodurch die Sinterverdichtung und das Kornwachstum der Keramik gefördert wird. Beim Abkühlen verlagern sich die Gleichgewichte auf die Seite einer Verminderung der Konzentration der Sauerstoff-Leerstellen, die bis zur vollständigen Eliminierung derartiger Defekte führen kann, was für die Funktionsstabilität der PZT-Keramik von Vorteil ist.

Auf der Basis der angegebenen Reaktionsgleichungen kann das Verteilungsmuster der durch den Dotierstoff im PZT-Wirtsgitter eingebauten Defekte im Rahmen der thermischen Prozessierung gesteuert werden. Dadurch verändert sich die Zusammensetzung der festen Lösung aus PZT-Grundmaterial und Dotierstoff.

Es wird dementsprechend auch ein piezoelektrisches Material angegeben, das eine Blei-Zirkonat-Titanat-Keramik enthält, wobei die Keramik Sauerstoff-Leerstellen an Gitterplätzen des PZT-Gitters aufweist, und wobei die Konzentration der Sauerstoff-Leerstellen temperaturabhängig ist.

Darüber hinaus wird gemäß einer Ausführungsform ein Material angegeben, wobei die Konzentration der Sauerstoff-Leerstellen mit steigender Temperatur zunimmt.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform verläuft die Sauerstoff-Leerstellenkonzentration weitgehend temperaturabhängig in einem Temperaturbereich zwischen 0 und 1200 ⁰ C. Dieses Material hat den Vorteil, dass die Temperaturabhängigkeit der Sauerstoff-Leerstellenkonzentration in einem Sinter- prozess zur Herstellung des keramischen Materials nutzbar gemacht werden kann. Dabei liegt die Sintertemperatur für die hier vorgegebenen Materialien zwischen 900 und 1200 ⁰ C.

Gemäß einer besonderen Ausführungsform des piezoelektrischen Materials wird der Bestandteil der Kationen so gewählt, dass gilt:

M ₁ = M ₂ = Sr.

Daraus resultieren Verbindungen aus dem beschriebenen Kryo- lith-System gemäß der Formel

Sr ₄ ⁽ Sr ₂ -2χ/3 ^Nb 2+2x/3 ⁾ °ll+x ^v O;l-x' wobei gilt: 0 < x < 1. Ein Teil der Strontium-Kationen besetzt dabei die formalen B- Plätze des Perowskit-Wirtsgitters der Komponente P. Das angegebene Material kann als Produkt einer Reaktion der Komponente P mit der Komponente D das Material Sr (Zr]__yTiy) O3 enthalten. Dieses Material kann in Form einer festen Lösung mit dem PZT-Wirtsgitter vorliegen.

Die Reaktionen zwischen dem Dotierstoff und dem PZT-Wirtsgitter können in diesem Fall wie folgt lauten:

Sr ₄ (Sr ₂ Nb ₂ )O ₁₁ V ₀ + 8/7 Pb (Zr _1--y Ti _y ) O ₃ ±5

6/7 Sr ₄ (Sr ₅₇₃ Nb ₇₇₃ )O _11^5 V ₀ . ₀ , ₅ + 8/7 Sr (Zr _1--y Ti _y ) O ₃ + 8/7 PbO

Gleichung < 7 >

6/7 Sr ₄ (Sr ₅₇₃ Nb ₇₇₃ )O _11^5 V ₀ . ₀ , ₅ + 6/7 Pb (Zr _1--y Ti _y ) O ₃ ^ 3/4 Sr ₄ (Sr ₄₇₃ Nb ₈₇₃ )O ₁₂ + 6/7 Sr (Zr _1--y Ti _y ) O ₃ + 6/7 PbO

Gleichung < 8 >

3/4 Sr ₄ (Sr ₄₇₃ Nb ₈₇₃ )O ₁₂ + 4 Pb (Zr _1--y Ti _y ) O ₃ ±5 4 Sr(Zr _1--y Ti _y )O ₃ + 2 Pb ₀ , ₅ V _{Pb; 0} , ₅ Nb0 ₃ + 3 PbO

Gleichung < 9 >

Gemäß einer besonderen Ausführungsform des Materials lautet die Zusammensetzung P ₁ _ _C _ _C ^D _C Z _C ^ [PbO] _m , wobei D für eine Kryo- lith-Verbindung gemäß der Formel [ (SrO) _a (Nb2θ ₅ ) i_ _a ] mit a =

29/35 steht, die durch die äquivalente Kryolith-Schreibweise

Sr ₄ (Sr ₅₇₃ Nb ₇₇₃ )O _{11 5} Vg _; o 5 wiedergegeben werden kann, wobei gilt:

0 < c < 0,15 und 0 < m < 0,05, d = 0.

Hierbei sind für c die Unterbereiche 0 < c < 0,025 und 0,0255

< c < 0, 0443 möglich.

In einer besonders speziellen Ausführungsform wird ein Material angegeben, das für 1-y = 0,53 mit c = 0,005 und m = 0,01 eine Zusammensetzung gemäß der Formel

[ ^{Pb (Zr} 0, 53 ^Ti 0, 47 ⁾ θ3lθ, 973 t ^Sr 4 ⁽ Sr ₄₇₃ Nb ₈₇₃ ⁾ O ₁₂ ] 0,00213

[ ^{Sr (Zr} 0, 53 ^Ti 0, 47 ⁾ 03 ] 0, 017 [ ^p bVp _b ⁽ Nb ₂ O ₆ ⁾ ] ₀ , 003 ^(pb ° ⁾ 0,029 auf ^¬ weist .

Bei dem Keramikmaterial der speziell angegebenen Formel besetzen etwa 10 % der Strontium-Kationen die formalen B-Plätze des PZT-Wirtsgitters.

Gemäß einer anderen Ausführungsform wird ein piezoelektrisches Material angegeben, mit der Zusammensetzung P _] __ _C _^D _C Z^ [PbO] _m , wobei D für eine Kryolith-Verbindung gemäß der Formel [ (BaO) i_ _p (CaO) _p ] _a (Nb ₂ O ₅ ) i- _a ] mit a = 29/35 und p = 7/24 steht, die durch die äquivalente Kryolith-Schreibweise Ba4 (Ca5/3Nb7/3) 0 _] _ _] _ 5V _Q;Q 5 wiedergegeben werden kann, wobei gilt:

0 < c < 0,15 und 0 < m < 0,05, d = 0.

Hierbei sind für c die Unterbereiche 0 < c ≤ 0,025 und 0,0255 < c < 0, 0443 möglich.

Gemäß einer besonders speziellen Formulierung wird ein Material angegeben, das für 1-y = 0,53 mit c = 0,005 und m = 0,01 eine Zusammensetzung gemäß der Formel

[Pb ⁽ Zr _0^ 53Ti _0^47 ⁾ O ₃ ] _0/ 973 [Ba ₄ ⁽ Ca ₄ Z ₃ Nb ₈ Z ₃ ⁾ O ₁₂ ] 0,00213 [Ba (Zr _{0^ 53} Ti _0/47 ) O ₃ ] _0/0115 [Ca (Zr _{0^ 53} Ti _0/47 ) O ₃ ] _Q^0055

[PbVp] ₃ (Nb ₂ O ₆ ) ] o,OO3 ( ^pb °) 0,029 aufweist.

In diesem Fall besetzen etwa 34 % der Calzium-Kationen formale B-Plätze des PZT-Wirtsgitters .

Im Folgenden wird noch einmal näher auf den Fall M ₁ = M ₂ = Sr eingegangen .

Gemäß einer Ausführungsform wird als Dotand für die PZT- Keramik eine Strontium-Niobat-Mischung gemäß der Formel (SrO) _a (Nb ₂ θ5) ]__ _a in den Grenzen 1 > a > 2/3 verwendet. Mit dem Einbau von Nb^ ⁺ -Kationen auf B-Plätzen der Perowskit- Struktur des PZT-Wirtsgitters ist eine Kontraktion von NbOgZ2~Oktaedern verbunden, wodurch eine Aufweitung benachbarter Sauerstoff-Oktaeder zustande kommt und damit verbunden der Einbau von vergleichsweise großen Sr-Kationen auf B-

Plätzen des PZT-Wirtsgitters mit der Koordinationszahl = 6 ermöglicht wird.

Dabei ist zu beachten, dass (SrO) _a (Nb ₂ O ₅ ) ]_-a mit dem Blei- Zirkonat-Titanat-Wirtsgitter unter Bildung von Strontium- Zirkonat-Titanat (SZT) in Wechselwirkung treten und in den Grenzen 1 > a > 2/3 Pb(Nb ₂ Og) (dies entspricht Pb _{Q 5} Vpb _; o 5 NbO ₃ ) bilden kann, das sich im PZT-Wirtsgitter mit Blei- Leerstellen (Vp _]3 ) auf den formalen A-Plätzen ebenso wie SZT unter Mischkristallbildung löst. Dies erfolgt gemäß der folgenden Reaktionsgleichung:

(SrO) _a (Nb ₂ O ₅ ) _1--a + a Pb (Zr _1--y Ti _y ) O ₃ ±5 (l-a)PbNb ₂ O ₆ + a Sr (Zr _1--y Ti _y ) O ₃ + (2a-l) PbO

Gleichung < 10 >

Im Bereich 1 > a > 6/7 reagiert (SrO) _a (Nb ₂ O ₅ ) i_ _a mit PZT bis zum Erreichen von a = 6/7 unter Freisetzung von PbO, das zu der in der Mischung ohnehin vorhandenen geringen Menge von in der Regel 0,1-5 mol-% PbO additiv hinzukommt und als Sinterhilfsmittel wirkt.

SrO + Pb (Zr]__yTiy) O ₃ → Sr (Zr _1--y Ti _y ) O ₃ + PbO

Gleichung < 2 >

Für den Fall mit a = 6/7 besteht die Option einer Mischkristallbildung im PZT-Wirtsgitter mit der Kryolith-Verbindung Sr4 (Sr ₂ Nb ₂ ) O]_]_V _Q; 1, wobei Sr-Ionen auf B-Plätzen sowie Sauer ^¬ stoff-Leerstellen enthalten sind. Die Mitwirkung dieser Kryolith-Verbindung im PZT/Dotierstoff-Mischkristallsystem kommt im gesamten Bereich mit den Grenzen 1 > a > 6/7 zum Tragen, das heißt mit dem Einbau von Nb-Kationen geht stets die Mög-

lichkeit der Besetzung von B-Plätzen durch Sr-Kationen im PZT-Wirtsgitter einher.

Das Kryolith-System gemäß der Formel

Sr4 ⁽ Sr2-2χ/3 ^N b2+2χ/3 ⁾ Oll+χ ^v θ; 1-x ^m ^-^- einer Phasenbreite in ^¬ nerhalb der Grenzen 0 < x < 1 ist auf Grund einer Mischkristallbildung mit dem PZT-Perowskit-Wirtsgitter zur Dotierung von PZT-Keramiken besonders geeignet. Für Mischungen gemäß der allgemeinen Formel (SrO) _a (Nb2θ5) ]__ _a wird die Phasenbreite des Kryolith-Systems durch die Grenzen 6/7 > a > 4/5 beschrieben. Mit dieser variablen Zusammensetzung innerhalb der Phasenbreite geht eine variable Konzentration der Sauerstoff- Leerstellen V _Q einher. Mit der Grenzzusammensetzung x = 0 (in diesem Fall gilt a = 6/7) ergibt sich beispielsweise die feste Lösung von Sr ₄ (Sr2Nb2) O]_IV _Q • i im PZT-Wirtsgitter mit ver ^¬ gleichsweise hoher Sauerstoff-Leerstellenkonzentration von [V _Q ]=I. Für x = 1/2 (in diesem Fall gilt a = 34/41) folgt mit der entsprechenden Formel Sr4 (Sr5/3Nb7/3) O]_i 5 ^v θ _; 0 5 ^e i ^ne mittlere Sauerstoff-Leerstellenkonzentration von [V _Q ] =0,5. Und im Fall der Grenzzusammensetzung mit x = 1 (in diesem Fall gilt a = 4/5) was der Formel Sr ₄ (Sr ₄ / ₃ Nbg/3) O]_2 ent ^¬ spricht, sind keine Sauerstoff-Leerstellen mehr vorhanden, denn es liegt jetzt Valenzkompensation auf den B-Plätzen vor, die eine Besetzung von B-Plätzen durch Sr-Kationen einschließt .

Für den Dotierstoff mit der Zusammensetzung (SrO) _a (Nb2ü5) ]__ _a im Bereich 4/5 > a > 2/3 kommt auf Grund eines über die Grenzzusammensetzung des Kryolith-Systems hinausgehenden Anteils an Nb2θ5 die Bildung der Verbindung Pb _Q 5Vp] _3^ - _Q 5NbO ₃ mit Blei-Leerstellen (Vp _]3 ) auf den A-Plätzen des PZT- Perowskit-Mischkristalls zustande, wobei ein Teil des als Sinterhilfsmittel zugesetzten Bleioxid (PbO) gebunden wird.

Die in den Gleichungen <7>, <8> und <9> beschriebene Verdrängung von PbO durch SrO im dotierten PZT-Mischkristall-System wird durch den Basizitätsunterschied von PbO und SrO hervorgerufen. Der exotherme Charakter dieser Säure-Base-Reaktion hat zur Folge, dass mit zunehmender Temperatur (zum Beispiel beim Sintern) die beschriebenen Gleichgewichtsreaktionen zur Seite der Edukte hin verschoben werden, das heißt auf die linke Seite der Gleichgewichtsreaktionen. Ein Vorteil dieser weitgehend temperaturabhängigen Gleichgewichtsverschiebung besteht beispielsweise darin, dass beim Sintern als Folge der Dotierung mit (SrO) _a (Nb2θ5) ]__ _a in den Grenzen 1 > a > 2/3 die Ausbildung einer (zumindest temporär) erhöhten Sauerstoff- Leerstellenkonzentration gefördert wird, was sich sehr positiv auf die Sinterverdichtung und Bildung einer optimierten Gefügestruktur der Keramik auswirkt. Während der Abkühlung nach dem Sintern werden die Gleichgewichtsreaktionen unter Ausscheidung einer dem Dotierungsgrad äquivalenten Menge an PbO zur Seite der Produkte verschoben, das heißt auf die rechte Seite der Gleichgewichtsreaktionen. Besonders vorteilhaft ist dabei die gleichzeitig einhergehende erhebliche Absenkung oder sogar Eliminierung der für die Langzeitstabilität des piezeoelektrischen Materials - vor allem während einer Anwendung im elektrischen Feld - ungünstigen erhöhten Sauerstoff-Leerstellenkonzentration. Dabei kann die Wechselwirkung des Dotierstoffs in fester Lösung mit dem PZT-Wirts- gitter den vollständigen übertritt der Sr-Kationen von den formalen B-Plätzen auf die formalen A-Plätze, das heißt teilweise Substitution von Pb-Kationen mit Koordinationszahl = 12, einschließen.

Mittels hochauflösender festkörperanalytischer Messmethoden wurde der Anteil von Sr-Kationen sowohl auf den formalen A- Plätzen (Koordinationszahl = 12) als auch auf den formalen B-

Plätzen (Koordinationszahl = 6) in den hier beschriebenen piezoelektrischen Materialien nach der thermischen Prozessierung analysiert und quantifiziert. Dabei wurden bemerkenswert hohe Konzentrationen von Sr-Kationen auf den formalen B- Plätzen eindeutig nachgewiesen, beispielsweise ein Anteil in Höhe von zirka 10 % des gesamten Gehalts an Sr. Eine Schlussfolgerung dieser Untersuchungen ist, dass die angegebene Reaktion gemäß Gleichung <9> während der Abkühlung nach dem Sintern nicht vollständig zur Seite der Reaktionsprodukte hin abläuft .

Bei nahezu vollständiger Eliminierung der Sauerstoff-Leerstellen verbleibt in einer durch (SrO) _a (Nb2θ5) ]__ _a in den Grenzen 1 > a > 2/3 dotierten PZT-Keramik ein beträchtlicher Anteil des Gesamt-Strontiumgehalts auf den B-Plätzen des Pe- rowskit-Mischkristalls des piezoelektrischen Materials, wodurch die - vor allem für eine Anwendung in piezoelektrischen Vielschicht-Aktuatoren - hervorragenden Materialeigenschaften zustande kommen.

Darüber hinaus wird ein piezoelektrisches Material angegeben, das zusätzlich die Zusatzkomponente Z im PZT-Mischkristall- System enthält. Dadurch wird die Modifizierung und Anpassung der piezoelektrischen Eigenschaften an vorgegebene Werte ermöglicht. Die Zusatzkomponente Z kann die im Folgenden angegebenen Verbindungen umfassen:

[Pb (Fe ^{11 I} 2/3W ^VI l/3)O ₃ ] ,

[Pb (M ^i:[ i/3M ^V 2/3) O3] , wobei M ¹¹ für Mg, Zn, Co, Ni, Mn oder Cu und M ^v für Nb, Ta oder Sb steht,

[Pb (M ^III ₁ / ₂ M ^V ₁ /2)O ₃ ] , wobei M ¹¹¹ für Fe, Mn, Cr oder Ga und M ^v für Nb, Ta oder Sb steht,

[Pb (M ^III 2/3M ^VI ₁ /3)O ₃ ] , wobei M ¹¹¹ für Mn, Cr, Ga und M ^VI für W steht,

[Pb (Li ^I ₁ /4M ^V 3/4)O ₃ ] , wobei M ^v für Nb, Ta oder Sb steht.

Ferner kann das piezoelektrische Material frei von [Pb (Fe ^III 2/3W ^VI ₁ /3)O ₃ ] sein.

Es wird darüber hinaus ein piezoelektrischer Vielschicht- Aktuator angegeben, der mindestens eine dielektrische Schicht und mindestens zwei Innenelektroden umfasst, wobei mindestens eine dielektrische Schicht ein piezoelektrisches Material wie hier beschrieben enthält.

Darüber hinaus wird ein Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen Bauelements angegeben, wobei das Bauelement das hier beschriebene Material enthält, wobei die Konzentration der Sauerstoff-Leerstellen während des Sinterns des Keramikmaterials erhöht und beim Abkühlen des Keramikmaterials wieder erniedrigt wird.

Das Material wird an folgenden Ausführungsbeispielen näher erläutert .

Beispiel 1 :

Die Dotierung einer PZT-Keramik gemäß Pb(Zr _Q 53T ¹ Ig 47)03 mit beispielsweise 3,425 mol-% (SrO) 34/41 (Nb ₂ C^) 7/41 (dies ent ^¬ spricht 0,5 mol-% [Sr4 (Sr5/3Nb7/3) O]_]_ 5V _Q; O 5]) ^un d Zugabe von 1 mol-% PbO entsprechend der Formel

[ ^p b (Zr _0^ 53Ti _0^47 ) O ₃ ] o,995 [Sr ₄ (Sr ₅₇₃ Nb ₇₇₃ ) O ₁₁ , 5V ₀ . _0/ 5] _{0/ Q05} [PbO] ₀ , Ol

führt während der thermischen Prozessierung zu einer piezoelektrischen Keramik gemäß der Formel

[ Pb ⁽ Zr ₀ , ₅₃ Ti ₀ , ₄₇ ⁾ O ₃ ] o,973 [Sr ₄ ⁽ Sr ₄ / ₃ Nb ₈₇₃ ⁾ O ₁₂ ] 0,00213 [Sr ⁽ Zr ₀ , ₅₃ Ti ₀ , ₄₇ ⁾ O ₃ ] o,θl7 [PbVPb ⁽ Nb ₂ O ₆ ⁾ ] o,θO3 ⁽ PbO ⁾ o,O29

wobei die in eckigen Klammern stehenden Komponenten unter Ausbildung einer Perowskit-Mischkristallphase ineinander löslich und Sauerstoff-Leerstellen nur noch in vernachlässigbar kleinen Konzentrationen vorhanden sind. Als Folge einer graduellen Verdrängung von PbO durch SrO in Verbindung mit einer Freisetzung von Nb ₂ O ₅ kommt es in der Keramik zur Ausbildung von Blei-Leerstellen (Vp _]3 ) auf den formalen A-Plätzen (Pb- Plätze) , und zirka 10 % des Gesamt-Strontiumgehalts verbleiben auf den formalen B-Plätzen (Zr/Ti-Plätze) in Nachbarschaft zu Nb-Kationen mit Koordinationszahl 6.

Beispiel 2 :

Bezüglich des Dotierstoffs gemäß der Formel (SrO) _a (Nb ₂ O ₅ ) _1--a in den Grenzen 1 > a > 2/3 können alternativ oder auch zusätzlich verwandte Systeme eingesetzt werden, die einen ähnlichen strukturellen Aufbau aufweisen. Beispielsweise können Verbindungen gemäß der Formel [ (BaO) ]__p (CaO) p] _a [Nb ₂ O ₅ ] _1--a im Bereich 1 > a > 2/3 mit 1 < p < 0 verwendet werden. In den Grenzen 6/7 > a > 4/5 mit entsprechend zugeordnetem Parameter p in den Grenzen 1/3 > p > 1/4 kommt es in diesem Fall zur Bildung einer Mischkristall-Phase zwischen dem Kryolith- System gemäß der Formel Ba ₄ (Ca ₂ _ _2x z ₃ Nb _{2 +2x} z ₃ ) O _11+x Vo _; ]_- _x mit 0 < x < 1 als Dotierstoff und PZT als Wirtsgitter. Dabei un-

terliegt der Dotierstoff im Mischkristall den analogen temperaturabhängigen Gleichgewichtsreaktionen, wie sie in den Gleichungen <4> bis <6> beschrieben sind.

Im Bereich 1 > a > 6/7 mit 1 > p > 0 reagieren Verbindungen gemäß der Formel [ (BaO) ]__ _p (CaO) _p ] _a [M^O ₅ ] ]__ _a mit PZT analog zu den Reaktionsgleichungen <la> und <lb>, bis sich beim Erreichen von a = 6/7 mit p = 1/3 die Ausbildung einer PZT- Mischkristall-Phase mit Ba4 (Ca2Nb2) O^V _Q ergibt, einer Ver ^¬ bindung, die im Kryolith-Strukturtyp mit Ca-Kationen auf B- Plätzen auftritt und Sauerstoff-Leerstellen V _Q enthält. Die Mitwirkung dieser Kryolith-Komponente im PZT/Dotierstoff- Mischkristall-System kommt im gesamten Bereich innerhalb der Grenzen 1 > a > 6/7 zum Tragen, das heißt mit dem Einbau von Nb-Kationen auf formalen B-Plätzen geht stets die Möglichkeit der Besetzung von Ca-Kationen auf B-Plätzen einher. Dabei sind die zu den Gleichungen <4> bis <6> analogen temperaturabhängigen Reaktionen in Betracht zu ziehen.

Beispielsweise ergibt die Dotierung einer PZT-Keramik gemäß der Formel Pb (Zr _{0^ 52} Ti _{0^ 48} ) O3 mit 3,425 mol-%

[ ⁽ BaO ⁾ 12/17 ^(Ca ° ⁾ 5/17] 34/41 t ^Nb 2°5] 7/41 ⁽ dies entspricht 0,5 mol-% [Ba ₄ (Ca5/3Nb7/3) O]_]_ 5V _Q 5]) und Zugabe von 1 mol-% PbO entsprechend der Formel

[Pb (Zr _0^ 52Ti _0^48 )O ₃ ] _0/ 995 [Ba ₄ (Ca ₅ Z ₃ Nb ₇₇₃ ) O _{11^ 5} V _0/ 5] _{0/ Q05} [PbO] ₀ , Ol

während der thermischen Prozessierung eine piezoelektrische Keramik gemäß der Formel

[Pb ⁽ Zr _0^ 52Ti _0^48 ⁾ O ₃ ] _0/ 973 [Ba ₄ ⁽ Ca ₄ Z ₃ Nb ₈ Z ₃ ⁾ O ₁₂ ] 0,00213

[Ba ⁽ Zr ₀ , ₅₂ Ti ₀ , 48 ⁾ °3]θ, 0115 t ^Ca(Zr 0,52 ^Ti 0, 48 ⁾ °3] 0,0055

[PbV _Pb ⁽ Nb ₂ O ₆ ⁾ ] o, 003 ^(pb ° ⁾ 0,029

wobei zirka 34 % des Gesamt-Calciumgehalts auf den formalen B-Plätzen des Perowskit-Mischkristalls eingebaut sind.

In analoger Weise kann an Stelle von

[ (BaO) i_p (CaO)p] _a [Nb ₂ Os] i_ _a in den Grenzen 1 > a > 2/3 auch ein Materialsystem gemäß der Formel [ (BaO) ]__p (SrO) p] _a [Nb ₂ θ5] oder auch ein Materialsystem gemäß der Formel [ (SrO) ]__p (CaO) p] _a [Nb ₂ θ5] als Dotierstoff eingesetzt werden, wobei sich die in den Grenzen 6/7 > a > 4/5 mit entsprechend zugeordnetem Parameter p in den Grenzen 1/3 > p > 1/4 gebildeten Verbindungen aus den Kryolith-Systemen Ba ₄ (Ca ₂ _ _x z ₃ Nb _{2 +2x} z ₃ ) Om _x Vg. ]__ _x beziehungsweise Sr ₄ (Ca ₂ _ _2x/3 Nb _2+2x z ₃ )O _11+x V _O;1 _ _x mit 0 < x < 1 im PZT- Wirtsgitter unter Mischkristallbildung lösen und in temperaturabhängigen Gleichgewichtsreaktionen analog zu den Gleichungen <4> bis <6> mit PZT in Wechselwirkung treten können.

Zur Herstellung des hier beschriebenen piezoelektrischen Materials wird eine Mischung aus Pb ₃ O ₄ oder PbCO ₃ mit TiO ₂ und ZrO ₂ oder wahlweise einem (Zr _] __yTiy) 0 ₂ -Precursor, sowie SrCO ₃ und Nb ₂ θ5, und gegebenenfalls weiteren Zusätzen wie zum Beispiel Pb (Fe ^III ₂ / ₃ W ^VI ₁ / ₃ ) O ₃ bereit gestellt. Beispielhafte Zusammensetzungen sind in den Tabellen 1 bis 2 aufgeführt. Alternativ kann SrCO ₃ auch durch einen entsprechenden Anteil an BaCO ₃ oder CaCO ₃ ersetzt sein, beziehungsweise es wird BaCO ₃ anstelle von SrCO ₃ als Rohstoff in einer anteiligen Kombination mit SrCO ₃ beziehungsweise CaCO ₃ eingesetzt. Alternativ kann auch eine Mischung benutzt werden, in der die Erdalkali- Carbonate durch Erdalkali-Titanate wie zum Beispiel SrTiO ₃ ,

BaTiθ3 oder CaTiθ3 ersetzt sind, oder indem man die Mischung entsprechend der gewünschten Zusammensetzung mit dem jeweiligen Anteil an vorgefertigter Verbindung aus den beschriebenen Kryolith-Systemen, wie beispielsweise gemäß den Formeln

Sr ₄ ⁽ Sr ₂ - _2x /3 ^Nb 2+2x/3 ⁾ °ll+x ^v 0; l-x'

Ba ₄ ⁽ Sr ₂ - _2x /3 ^Nb 2+2x/3 ⁾ °ll+x ^v 0; 1-x'

Ba ₄ ⁽ Ca ₂ - ₂ χ/3 ^Nb 2+2x/3 ⁾ °ll+x ^v 0; l-x ^oder

Sr ₄ ⁽ Ca ₂ -2χ/3 ^Nb 2+2x/3 ⁾ °ll+x ^v O;l-x mit 0 < x < 1

versetzt .

In den Tabellen 1 bis 2 sind beispielhafte Zusammensetzungen von Materialien mit partieller Dotierung von Sr beziehungsweise Ca-Kationen auf formalen B-Plätzen in der entstehenden PZT-Mischkristall-Phase mit Perowskit-Struktur aufgeführt.

Soweit für den Parameter d zwei Zahlenwerte angegeben sind, sind diese jeweils für sich in Kombination mit den in derselben Zeile stehenden übrigen Parameterwerte als separate Ausführungsbeispiele zu sehen.

Tabelle 1:

Tabel le 2 :

[Pb (Zr _1--y Tiy ⁾ O ₃ ] !_ _c {[ (BaO) _1--p (CaO) _p ] _a [Nb2θ5] 1-alc

• o, 01 PbO

1-y = 0,53 a = 34/41 c = = 0,0255 P = 5/17

1-y = 0,53 a = 34/41 c = = 0,0342 P = 5/17

1-y = 0,53 a = 34/41 C = = 0,0443 P = 5/17

1-y = 0,535 a = 34/41 C = = 0,0255 P = 5/17

1-y = 0,535 a = 34/41 C = = 0,0342 P = 5/17

1-y = 0,535 a = 34/41 C = = 0,0443 P = 5/17

[Pb(Zr ₁ -yTi _y )O ₃ ] ₁ _ _c _ _d [Pb(Fe ^III ₂ / ₃ W ^VI i/ ₂ )O ₃ ] _d {[ (BaO) l_p(CaO) _p ] _a [Nb ₂ O ₅ ] _1--a } _c • 0,01 PbO

1-y = a = C = 0,0255 P = 5/17 d = 0, 003 oder 0,53 34/41 0,008

1-y = a = C = 0,0342 P = 5/17 d = 0, 003 oder 0,53 34/41 0,008

1-y = a = C = 0,0443 P = 5/17 d = 0, 003 oder 0,53 34/41 0,008

1-y = a = C = 0,0255 P = 5/17 d = 0, 003 oder 0,535 34/41 0,008

1-y = a = C = 0,0342 P = 5/17 d = 0, 003 oder 0,535 34/41 0,008

1-y = a = C = 0,0443 P = 5/17 d = 0, 003 oder 0,535 34/41 0,008

Derartige Mischungen werden vorzugsweise in Bezug auf das Zr- zu-Ti Verhältnis auf die morphotrope Phasengrenze (MPG) eingestellt und bei Bedarf mit einem geringen überschuss an PbO als Sinterhilfsmittel versetzt.

Nach trocken- oder nass-chemischer Homogenisierung werden die Mischungen bei typischerweise 900-1000 ⁰ C kalziniert. Mit Hilfe einer Feinmahlung lässt sich die Sinteraktivität an die gewünschte Sintertemperatur anpassen, beispielsweise im Bereich von zirka 900-1200 ⁰ C.

Das erhaltene Pulvermaterial wird unter Verwendung von Hilfsmitteln wie beispielsweise Dispergatoren und eventuell weiteren Additiven in eine Pulversuspension mit typischer Weise zirka 50-80 % Feststoffgehalt überführt. Es kann anschließend zum Beispiel durch Sprühtrocknung in ein pressfähiges Granulat überführt werden, oder es kann beispielsweise auch direkt zu keramischen Grünfolien verarbeitet werden. Zur Einstellung der für den weiteren Verarbeitungsprozess erforderlichen Eigenschaften können den Pulversuspensionen typischer Weise zum Beispiel 2-15 % an Bindern sowie bei Bedarf auch weitere Additive zugesetzt werden.

Als Probekörper werden scheibenförmige Presslinge aus Pulvergranulat hergestellt, während rechteckige Mehrlagenplättchen, im folgenden MLPs genannt, hergestellt werden durch Stapeln und Laminieren von keramischen Grünfolien. Die Probenkörper werden mit üblichen Methoden und Prozessen entbindert. Als Probenkörper dienen auch piezoelektrische Vielschicht- Aktuatoren, die bis zu mehrere Hundert Innenelektroden enthalten können. Im Fall von Innenelektroden aus Cu oder anderen unedlen Metallen ist während der thermischen Prozessierung auf eine genaue Kontrolle und Steuerung in der Ofenatmosphäre zu achten, um eine Oxidation der Innenelektroden beziehungsweise eine Reduktion der Keramik zu verhindern.

Die beschriebenen piezoelektrischen Materialien ermöglichen eine hohe Sinterverdichtung zu Keramiken mit einer für die

piezoelektrischen und elektromechanischen Eigenschaften sehr vorteilhaften Gefügestruktur. Nach dem Kontaktieren der Probenkörper zum Beispiel durch Sputtern von Gold-Elektroden werden die dielektrischen und speziell die piezoelektrischen Eigenschaften gemessen. Bei piezoelektrischen Vielschicht- Aktuatoren erfolgt das Kontaktieren vorteilhafter Weise durch Aufbringen und Einbrennen von geeigneten Metallpasten. Die Polung der piezoelektrischen Materialien mit einer Curie- Temperatur im Bereich von zirka T _Q ~250-380 ⁰ C erfolgt typischer Weise mit zirka 2 kV/mm.

Einige der mit derartigen verschiedenen Probekörpern erhaltenen Messwerte und Eigenschaften sind in Tabellen 3 bis 7 für piezoelektrische Materialien beispielhaft zusammengestellt.

Neben der Dielektrizitätskonstante ε wurde entsprechend der für den piezoelektrischen Effekt geltenden Beziehung S3 = d33XE3 die Dehnung S unter Einwirkung der elektrischen Feldstärke E zur Ermittlung der piezoelektrischen Konstante d ₃₃ gemessen, wobei hier der Index "3" die Richtung der durch Polung eingestellten polaren Achse sowie der angelegten Feldstärke beschreibt. Ferner sind die Messwerte für den dielektrischen Verlust angegeben. Der Verlust ist dabei das Verhältnis aus elektrischer Verlustenergie zur elektrischen Gesamtenergie und wird der von der gemessenen Hysteresekurve eingeschlossenen Fläche entnommen.

Tabelle 3:

Kleinsignal- und Großsignal-Messwerte für scheibenförmige MLP-Proben (Durchmesser: 13 mm, Höhe: 1 mm) und für Viel- schicht-Aktuatoren (350 Ag/Pd-Innenelektroden, Dicke der dielektrischen Schichten: 80 μm, Aktuatorflache :

3,5 x 3,5 mm2) mit erfindungsgemäßem piezoelektrischen Material gemäß der Formel

[ Pb ⁽ Zr _1--y Ti _y ⁾ O ₃ J ₀ , 973 [ ^Sr 4 ⁽ Sr ₄ Z ₃ Nb ₈₇₃ ⁾ O ₁₂ ] 0,00213 [Sr ⁽ Z _ri _ _y Ti _y ⁾ O ₃ ] ₀ ,017[ ^pbv Pb ^(Nb 2θ6 ⁾ ]0,003 ^(pbo) 0,029

Tabelle 4:

Klein- und Großsignal-Messwerte für scheibenförmige MLP- Proben (Durchmesser: 13 mm, Höhe: 1 mm) mit piezoelektrischem Material gemäß der Formel

[ Pb (Z _ri _ _y Ti _y ) O ₃ ] ₀ , 974 [ ^Sr 4 ⁽ Sr ₄ / ₃ Nb ₈ / ₃ ⁾ O ₁₂ ] 0,00183 [ Sr ⁽ Zr _1--y Ti _y ⁾ O ₃ ] o,θl46 [ ^pbv Pb ^(Nb0 3 ⁾ ] 0,0097 ^(p b0 ⁾ o,Ol

Tabel le 5 :

Klein- und Großsignal-Messwerte für scheibenförmige MLP- Proben (Durchmesser: 13 mm, Höhe: 1 mm) mit piezoelektrischem Material gemäß der Formel

[ Pb ⁽ Zr _1--y Ti _y ⁾ O ₃ J ₀ , 973 [ ^Sr 4 ⁽ Sr ₄ Z ₃ Nb ₈₇₃ ⁾ O ₁₂ ] 0,0020

[ Sr ⁽ Zr _1--y Ti _y ⁾ O ₃ ] o,θl 61 t ^pbv Pb ^(Nb0 3 ⁾ ] 0,0117 ^(p b0 ⁾ o,OO78

Tabelle 6:

Klein- und Großsignal-Messwerte für scheibenförmige MLP- Proben (Durchmesser: 13 mm, Höhe: 1 mm) mit piezoelektrischem Material gemäß der Formel

[ Pb ⁽ Zr _1--y Ti _y ⁾ O ₃ ] ₀ , 973 [ ^Sr 4 ⁽ Sr ₄ / ₃ Nb ₈ / ₃ ⁾ O ₁₂ ] 0,0020

[Sr ⁽ Zr _1--y Ti _y ⁾ O ₃ ] ₀ , 0161 [ ^pbv Pb ⁽ NbO ₃ ⁾ ] 0,0093 ^(p b0 ⁾ 0,010

1- Y Probe Feldstärke ε d33 [pm/V] Verlust [V/mm]

0, 535 MLP 2000 2870 674 0, 497

0, 535 MLP 1 1698 0, 0167

Tabelle 7:

Klein- und Großsignal-Messwerte für scheibenförmige MLP- Proben (Durchmesser: 13 mm, Höhe: 1 mm) mit piezoelektrischem Material gemäß der Formel

[ Pb ⁽ Zr _1--y Ti _y ⁾ O ₃ ] o,973 [Sr ₄ ⁽ Sr _4/3 Nb _8/3 ⁾ O ₁₂ ] 0,0020

[ Sr ⁽ Zr _1--y Ti _y ⁾ O ₃ ] o,θl 61 [ ^p bVp _b ⁽ NbO ₃ ⁾ ] o,θθ 93 ⁽ PbO ⁾ ₀ , 010

1-y Probe Feldstärke ε d33 [pm/V] Verlust [V/mm]

0, 535 MLP 2000 2881 722 0, 469

0, 535 MLP 1 1727 0, 0181

Tabelle

Klein- und Großsignal-Messwerte für scheibenförmige MLP- Proben (Durchmesser: 13 mm, Höhe: 1 mm) mit piezoelektrischem Material gemäß der Formel

[ Pb ⁽ Zr _1--y Ti _y ⁾ O ₃ J ₀ , 973 [ ^ßa 4 ⁽ Ca ₄ Z ₃ Nb ₈₇₃ ⁾ O ₁₂ ] 0,00213

[Ba ⁽ Zr _1--y Ti _y ⁾ O ₃ ] o,θll5 [Ca ^{( (} Zr _1--y Ti _y ⁾ O ₃ ] ₀ , 0055 [ ^p bθ,5 ^v Pb; 0,5

⁽ NbO ₃ ⁾ ] ₀ , 006 ^(pb ° ⁾ 0,02

Durch die entsprechende Wahl der Ionen für Mi bzw. M ₂ und der Parameter a, p und c konnten für die Dielektrizitätskonstante ε und die piezoelektrische Konstante d33 Werte erzielt werden, wie sie zuvor in ähnlichen Materialien nur durch Zusatz einer weiteren Komponente erreicht wurden. Als weitere Komponente wurden beispielsweise KNbθ3 oder Komplexe benutzt, welche zusätzliche (Schwer-) Metalle, wie beispielsweise Fe, enthalten .

Die für die Messungen der Tabelle 3 bis 8 verwendeten Materialien hingegen bestehen vorzugsweise ausschließlich aus der Komponente P, D, PbO und deren Reaktionsprodukten. Auf den Zusatz einer weiteren Komponente Z konnte in diesen Fällen gänzlich verzichtet werden (d = 0) .