Title:
PIEZOELECTRIC FILM ELEMENT AND PIEZOELECTRIC FILM DEVICE
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2012/005032
Kind Code:
A1
Abstract:
A piezoelectric film element comprising a substrate and a piezoelectric film formed on the substrate, wherein the piezoelectric film has a perovskite structure of an alkali niobium oxide compound represented by the general formula: (K1-xNax)yNbO3 (0
Inventors:
SHIBATA Kenji (C/O HITACHI CABLE, LTD. 14-1 Sotokanda 4-chome, Chiyoda-k, Tokyo 71, 〒1018971, JP)
柴田 憲治 (〒71 東京都千代田区外神田四丁目１４番１号 日立電線株式会社内 Tokyo, 〒1018971, JP)
SUENAGA Kazufumi (C/O HITACHI CABLE, LTD. 14-1 Sotokanda 4-chome, Chiyoda-k, Tokyo 71, 〒1018971, JP)
末永 和史 (〒71 東京都千代田区外神田四丁目１４番１号 日立電線株式会社内 Tokyo, 〒1018971, JP)
WATANABE Kazutoshi (C/O HITACHI CABLE, LTD. 14-1 Sotokanda 4-chome, Chiyoda-k, Tokyo 71, 〒1018971, JP)
柴田 憲治 (〒71 東京都千代田区外神田四丁目１４番１号 日立電線株式会社内 Tokyo, 〒1018971, JP)
SUENAGA Kazufumi (C/O HITACHI CABLE, LTD. 14-1 Sotokanda 4-chome, Chiyoda-k, Tokyo 71, 〒1018971, JP)
末永 和史 (〒71 東京都千代田区外神田四丁目１４番１号 日立電線株式会社内 Tokyo, 〒1018971, JP)
WATANABE Kazutoshi (C/O HITACHI CABLE, LTD. 14-1 Sotokanda 4-chome, Chiyoda-k, Tokyo 71, 〒1018971, JP)
Application Number:
JP2011/057950
Publication Date:
January 12, 2012
Filing Date:
March 30, 2011
Export Citation:
Assignee:
HITACHI CABLE, LTD. (14-1, Sotokanda 4-chome Chiyoda-k, Tokyo 71, 〒1018971, JP)
日立電線株式会社 (〒71 東京都千代田区外神田四丁目１４番１号 Tokyo, 〒1018971, JP)
SHIBATA Kenji (C/O HITACHI CABLE, LTD. 14-1 Sotokanda 4-chome, Chiyoda-k, Tokyo 71, 〒1018971, JP)
柴田 憲治 (〒71 東京都千代田区外神田四丁目１４番１号 日立電線株式会社内 Tokyo, 〒1018971, JP)
SUENAGA Kazufumi (C/O HITACHI CABLE, LTD. 14-1 Sotokanda 4-chome, Chiyoda-k, Tokyo 71, 〒1018971, JP)
末永 和史 (〒71 東京都千代田区外神田四丁目１４番１号 日立電線株式会社内 Tokyo, 〒1018971, JP)
日立電線株式会社 (〒71 東京都千代田区外神田四丁目１４番１号 Tokyo, 〒1018971, JP)
SHIBATA Kenji (C/O HITACHI CABLE, LTD. 14-1 Sotokanda 4-chome, Chiyoda-k, Tokyo 71, 〒1018971, JP)
柴田 憲治 (〒71 東京都千代田区外神田四丁目１４番１号 日立電線株式会社内 Tokyo, 〒1018971, JP)
SUENAGA Kazufumi (C/O HITACHI CABLE, LTD. 14-1 Sotokanda 4-chome, Chiyoda-k, Tokyo 71, 〒1018971, JP)
末永 和史 (〒71 東京都千代田区外神田四丁目１４番１号 日立電線株式会社内 Tokyo, 〒1018971, JP)
International Classes:
H01L41/187; C04B35/00; H01L41/08; H01L41/09; H01L41/18; H01L41/22; H01L41/24
Attorney, Agent or Firm:
YUI Tohru et al. (21 TOWA BLDG. 3F, 6-1 Iidabashi 4-chome, Chiyoda-k, Tokyo 72, 〒1020072, JP)
Claims:
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