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Title:
PIEZOELECTRIC FILM SENSOR
Document Type and Number:
WIPO Patent Application WO/2009/028316
Kind Code:
A1
Abstract:
A piezoelectric film sensor is provided with a base material (1) wherein a signal electrode (2) and a ground electrode (3) formed on the surface are folded to overlap each other in plane view; a piezoelectric film (5) inserted between the signal electrode (2) and the ground electrode (3) formed on the base material (1); and an adhesive layer (6) for fixing the signal electrode (2), the ground electrode (3) and the piezoelectric film by bonding the folded base material (1).

Inventors:
ANDO MITSUHIRO (JP)
FUJIOKA EIJI (JP)
KOGURE SHUNSUKE (JP)
TAKAYANAGI HITOSHI (JP)
MORIYAMA NOBUHIRO (JP)
SUDO RYUICHI (JP)
Application Number:
PCT/JP2008/064269
Publication Date:
March 05, 2009
Filing Date:
August 08, 2008
Export Citation:
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Assignee:
AISIN SEIKI (JP)
KUREHA CORP (JP)
ANDO MITSUHIRO (JP)
FUJIOKA EIJI (JP)
KOGURE SHUNSUKE (JP)
TAKAYANAGI HITOSHI (JP)
MORIYAMA NOBUHIRO (JP)
SUDO RYUICHI (JP)
International Classes:
G01L1/16
Foreign References:
JP2001289718A2001-10-19
JP2004317403A2004-11-11
Attorney, Agent or Firm:
KITAMURA, Shuichiro (Kita-kuOsaka-shi, Osaka 05, JP)
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Claims:
 表面に形成されたシグナル電極及びグランド電極が平面視で重なり合うように折り曲げられた基材と、
 前記基材に形成された前記シグナル電極と前記グランド電極との間に挿入される圧電フィルムと、
 折り曲げられた前記基材を接着して、前記シグナル電極、前記グランド電極及び前記圧電フィルムを固定する接着層と、を有する圧電フィルムセンサ。
 前記シグナル電極及び前記グランド電極の両端子を、折り曲げられることにより区画される前記基材の複数の領域のうちの少なくとも一つの領域に集約して設けた請求項1に記載の圧電フィルムセンサ。
 前記シグナル電極及び前記グランド電極が、前記基材の同一面に形成されている請求項1又は2に記載の圧電フィルムセンサ。
 前記シグナル電極を有する面の裏面にさらに第2のグランド電極を形成した請求項1から3のいずれか一項に記載の圧電フィルムセンサ。
 前記基材を少なくとも2箇所で折り曲げることにより、前記シグナル電極がグランド電極で挟まれた状態で平面視で重なり合うように構成した請求項1から3のいずれか一項に記載の圧電フィルムセンサ。
 前記シグナル電極及び前記グランド電極の両端子を、前記基材の折り曲げ部に集約して設けた請求項1から5のいずれか一項に記載の圧電フィルムセンサ。
 前記基材は、当該基材を折り曲げることにより区画される基材第一部と基材第二部とを備え、
 前記シグナル電極が前記基材第一部に設けられ、前記グランド電極が前記基材第二部に設けられている請求項1から6のいずれか一項に記載の圧電フィルムセンサ。
 前記基材を少なくとも2箇所で折り曲げることにより、前記シグナル電極がグランド電極で挟まれた状態で平面視で重なり合うように構成され、
 前記基材は、当該基材を折り曲げることにより区画される基材第一部と、基材第二部と、基材第三部とを備え、
 前記基材第一部と前記基材第二部とは第1の折り曲げ部により区画されるとともに、前記基材第二部と前記基材第三部とは第2の折り曲げ部により区画され、
 前記シグナル電極が前記基材第一部に設けられ、前記グランド電極が前記基材第二部に設けられ、第2のグランド電極が前記基材第三部に設けられている請求項1から3のいずれか一項に記載の圧電フィルムセンサ。
 前記集約して設けられた前記シグナル電極及び前記グランド電極の両端子の周囲に切り込みが形成され、
 前記基材を折り曲げることにより前記両端子が露出する請求項6に記載の圧電フィルムセンサ。
Description:
圧電フィルムセンサ

 本発明は、圧電フィルムを備えた圧電フ ルムセンサに関する。

 従来、高分子材料、特にポリフッ化ビニ デン(PVDF)からなる圧電フィルムを備えた圧 センサは、例えば、ベッドやマット、シー 等の弾力性のある支持体に掛かる荷重を検 し、人や動物、物体等の存在の有無を判定 る圧力センサとして用いられる。圧電セン をこのような圧力センサとして用いる場合 は、圧電センサを支持体における荷重検出 置に正確に配置するため、圧電体を圧力セ サの支持体への配置形状に合わせて形成し その表面に電極及び配線を設けることによ 圧力センサを形成している。

 このような圧電センサとしては、圧電フィ ムの両面に銀ペーストを塗布して、一方の をシグナル電極とし、他方の側をグランド 極として形成したものが知られている(例え ば、特許文献1参照)。この圧電センサでは、 電フィルムのシグナル電極の側に、さらに 縁層とシールド層とがそれぞれ接着剤を介 て積層してあり、圧電体のグランド電極の には、絶縁層が接着剤を介して積層してあ 。

特開平10-332509号公報

 しかし、特許文献1に記載された圧電セン サは、圧電フィルム、電極層、シールド層、 接着層、絶縁層等の複数の層を積層して製造 するため、工程費用が増大し事実上製品化が できないという問題があった。また、積層す るときに各層の端子部分を精度良く位置決め するのに多大な労力及びコストを要するとい う問題があった。

 さらに、特許文献1に記載された圧電セン サでは、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)からなる 圧電フィルムの表面に銀ペーストを直接塗布 して電極を設けている。しかし、PVDFの耐熱 度は120℃以下と低く、銀ペーストを通常の 燥温度である150℃程度で乾燥しようとする PVDFの圧電特性が劣化してしまう可能性があ ため、PVDF自体に安定した電極を形成するこ とは困難である。またさらに、熱膨張率の差 に起因して剥離、断線が発生する可能性もあ り、信頼性を損なう要因を含んでいる。

 本発明は、上記課題に鑑みてなされたも であり、組立工程の簡素化が可能で、かつ 信頼性の高い圧電センサを提供することを 的とする。

 この目的を達成するための本発明に係る 電フィルムセンサの特徴構成は、表面に形 されたシグナル電極及びグランド電極が平 視で重なり合うように折り曲げられた基材 、前記基材に形成された前記シグナル電極 前記グランド電極との間に挿入される圧電 ィルムと、折り曲げられた前記基材を接着 て、前記シグナル電極、前記グランド電極 び前記圧電フィルムを固定する接着層とを する点にある。

 本構成のように、表面に形成されたシグ ル電極及びグランド電極が平面視で重なり うように折り曲げられた基材の、2つの電極 が重なり合う部分に対応させて圧電フィルム を配置することで、1枚の基材に2つの電極を 成しておいて、折り曲げ部で基材を折り曲 るだけで圧電フィルムセンサを製造するこ ができる。このため、組立工程が簡素化さ 、製造コストを低減することができる。

 また、本発明に係る圧電フィルムセンサ 、前記シグナル電極及び前記グランド電極 両端子を、折り曲げられることにより区画 れる前記基材の複数の領域のうちの少なく も一つの領域に集約して設けたことを特徴 する。

 上記の構成によれば、組立工程において 材を折り曲げる際に、シグナル電極及びグ ンド電極の多少の位置ずれが許容される。 まり、圧電フィルムセンサに両電極の端子 を形成するのに、本構成では両端子を、基 の折り曲げられることにより区画される複 の領域のうちの少なくとも一つの領域に予 形成してある。よって基材の折り曲げに際 て端子間の位置ずれは生じない。このため 圧電フィルムセンサの組立工程を大幅に簡 化することができ、製造コストを低減する とができる。

 また、本発明に係る圧電フィルムセンサ 、前記シグナル電極及び前記グランド電極 、前記基材の同一面に形成されていること 特徴とする。

 上記の構成によれば、電極の形成を基材 片面だけで済ませることができるため、電 形成の工程が簡略化され、製造コストをさ に低減することができる。

 また、本発明に係る圧電フィルムセンサ 、前記シグナル電極を有する面の裏面にさ に第2のグランド電極を形成したことを特徴 とする。

 上記の構成によれば、シグナル電極の両 を2つのグランド電極で挟むように構成する ことができる。その結果、外部からのノイズ は第2のグランド電極によって遮断されてシ ナル電極には混入しない。よって、感度の い圧電フィルムセンサを提供することがで る。しかも、シグナル電極を有する面の裏 にあらかじめ第2のグランド電極を形成して いて基材を折り曲げるだけで良いので、圧 フィルムセンサの高感度化と組立工程の簡 化とを同時に実現することができる。

 また、本発明に係る圧電フィルムセンサ 、前記基材を少なくとも2箇所で折り曲げる ことにより、前記シグナル電極がグランド電 極で挟まれた状態で平面視で重なり合うよう に構成したことを特徴とする。ここで、シグ ナル電極を挟持するグランド電極は、別々の グランド電極で構成した場合はもちろんのこ と、1つのグランド電極を折り曲げて構成し 場合をも含む。

 上記の構成によれば、シグナル電極をグ ンド電極で挟むことによって外部からのノ ズが遮断されるため、それほど高くない位 精度で基材を2度折り曲げるだけの極めて簡 素な組立工程で、高感度の圧電フィルムセン サを製造することができる。

 また、本発明に係る圧電フィルムセンサ 、前記シグナル電極及び前記グランド電極 端子を、前記基材の折り曲げ部に集約して けたことを特徴とする。

 本構成であれば、折り曲げ部に設けられた 子部へ他の領域から敷設する電極の長さを く設定することができる。よって、電極の 成を効率的に行うことができる。
 また上記の構成によれば、例えばシグナル 極及びグランド電極の端子が存在する部分 コネクタを接続すれば、端子コネクタが、 材の折り曲げ部を固定し、折り曲げられた 材が剥離する方向の力を制限するクランプ して機能することになる。これにより、よ いっそうの組立工程の簡素化及び圧電フィ ムセンサとしての信頼性の向上を図ること できる。

 なお、これまで説明してきた圧電フィル センサの構成において、前記基材は、当該 材を折り曲げることにより区画される基材 一部と基材第二部とを備え、前記シグナル 極が前記基材第一部に設けられ、前記グラ ド電極が前記基材第二部に設けられている 成とすると好適である。

 或いは、前記基材を少なくとも2箇所で折 り曲げることにより、前記シグナル電極がグ ランド電極で挟まれた状態で平面視で重なり 合うように構成され、前記基材は、当該基材 を折り曲げることにより区画される基材第一 部と、基材第二部と、基材第三部とを備え、 前記基材第一部と前記基材第二部とは第1の り曲げ部により区画されるとともに、前記 材第二部と前記基材第三部とは第2の折り曲 部により区画され、前記シグナル電極が前 基材第一部に設けられ、前記グランド電極 前記基材第二部に設けられ、前記第2のグラ ンド電極が前記基材第三部に設けられている 構成とすると好適である。

 これらの構成によれば、表面に形成され シグナル電極及びグランド電極が平面視で なり合うように折り曲げられた基材と、基 に形成されたシグナル電極とグランド電極 の間に挿入される圧電フィルムと、折り曲 られた基材を接着して、シグナル電極、グ ンド電極及び圧電フィルムを固定する接着 とを有する圧電フィルムセンサの構成を容 に実現することができる。

 また、前記集約して設けられた前記シグナ 電極及び前記グランド電極の両端子の周囲 切り込みが形成され、前記基材を折り曲げ ことにより前記両端子が露出する構成とす と好適である。
 この構成によれば、シグナル電極及びグラ ド電極の端子を、基材の折り曲げ部に集約 て設ける場合において、端子部を容易かつ 切に構成することができる。

は、第一の実施形態に係る圧電フィル センサの、電極を形成した基材の平面展開 である。 は、第一の実施形態に係る圧電フィル センサの製造過程を示す斜視図である。 は、第一の実施形態に係る圧電フィル センサの検出部の断面図である。 は、第一の実施形態に係る圧電フィル センサの端子部の斜視図である。 は、第二の実施形態に係る圧電フィル センサの、電極を形成した基材の平面展開 である。 は、第三の実施形態に係る圧電フィル センサの、電極を形成した基材の平面展開 である。

〔第一の実施形態〕
 以下に、本発明に係る圧電フィルムセンサ 第一の実施形態について図1から図4を参照 て説明する。
 本実施形態に係る圧電フィルムセンサは、 り曲げ部11を有する基材1と、基材1の表面に 形成されたシグナル電極2及びグランド電極3 、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)からなる圧電 ィルム5と、折り曲げられた基材1を接着す ための接着層6とを備える。
 圧電フィルム5は圧電効果によって電荷を発 生するものであり、圧電フィルムセンサに外 力が付与されて圧電フィルムセンサが変形し た場合に、接着層6を介して設けられた電極 ら、圧電フィルム5で発生した電荷を電気信 として取り出すことができる。

 図1は、本実施形態に係る圧電フィルムセン サの、基材1に形成した電極パターンを示す 面展開図である。図1(a)は基材1の一方側の面 (表面)を示し、図1(b)は基材1の他方側の面(裏 )を示している。図1に示すように、基材1は その折り曲げ部11で折り曲げられることに り2つの領域に区画される(本明細書において は、それぞれ基材第一部、基材第二部と表現 する)。基材第一部1aの表面にはシグナル電極 2が設けられ、基材第二部1bの表面にはグラン ド電極3が設けられている。これらは基材1の 一面に設けられている。さらに、基材第一 1aのシグナル電極2が形成された面の裏面に 、第2のグランド電極4が形成されている。 れらの電極は、例えば、電極印刷やエッチ グ等の公知の方法を用いて形成される。
 このときグランド電極3は、基材第二部1bの 面全域にわたって形成されるとともに、折 曲げ部11を越えて基材第一部1aにまで伸びる ように形成されている。

 図2に示すように、基材1は、折り曲げ部11 でシグナル電極2及びグランド電極3が形成さ た面が内側となるように折り曲げられる。 り曲げによってこれらの電極は向かい合う 成となり、向かい合った2つの電極間にはポ リフッ化ビニリデン(PVDF)からなる圧電フィル ム5が挿入される。シグナル電極2と圧電フィ ム5、及びグランド電極3と圧電フィルム5は これらの間に介在させた接着層6によって固 定される。このようにして得られる圧電フィ ルムセンサの検出部9の断面を図3に示す。

 圧電フィルム5は、基材第一部1aに形成さ たシグナル電極2と基材第二部1bに形成され グランド電極3とが重なり合う領域に挿入さ れる。本実施形態においては、シグナル電極 2のうち検出部9を構成する領域に対応する大 さの圧電フィルム5が挿入されている。圧電 フィルム5の材料としては、PVDF以外にも、例 ば、面状の高分子材料であるポリプロピレ 等を用いたエレクトレット材を用いること できる。

 接着層6は、基材1の全体に形成される。す わち、接着層6は基材第一部1aと基材第二部1b とを全面にわたって接着させている。接着層 6を構成する材料としては、反応系・溶液系 ホットメルト系等の接着剤や粘着剤等が使 でき、特に限定されない。但し、接着層6は 極間に存在する構成となるため、圧電フィ ムセンサとしての感度を維持する観点から 、誘電率が高い接着剤を選択することが好 しい。また、同様の観点から接着層6は薄い 方が好ましい。
 なお、製造コスト低減のためにPVDFの使用量 を抑えるべく、圧電フィルム5を重なり合う グナル電極2とグランド電極3との間に部分的 に挿入する構成にしても良い。この場合、グ ランド電極3とシグナル電極2とが向かい合っ いる領域よりも圧電フィルム5が存在する領 域の方を小さく構成し、接着層6は基材1の大 さに合わせて構成する。この結果、接着層6 は、圧電フィルム5の存在しない領域で2つの 極間に短絡が生じることを防止する役割を たす。
 接着層6は、基材1に相当する「基材付き接 剤」により構成されていても良い。

 第2のグランド電極4はシールド電極とし 機能する。これにより外部からのノイズが グナル電極2に混入することが防止され、圧 フィルムセンサとしての感度が向上する。 だし、それほど高い感度が要求されないよ な場面で利用される場合には、第2のグラン ド電極4は必ずしも必要ではない。

 なお、図3では、折り曲げられた基材1の外 (基材第一部1aでは第2のグランド電極4の外側 )に固定剤7を介して保護フィルム8を設けた例 を示している。本例では折り曲げられた基材 1の上下各面にそれぞれ保護フィルム8を設け 例を示したが、1枚の保護フィルム8を折り げて構成してあっても良い。保護フィルム8 、絶縁フィルムであれば特に限定されない 、ポリエチレンテレフタレート(PET)やポリ チレンナフタレート(PEN)等の樹脂フィルムで あれば、機械的強度も高いため好ましく用い ることができる。特に、保護フィルム8を基 1と同一の材質のものを使用すれば、両者を 定する際に熱処理を行ったとしても、熱膨 率が同一であるため反り等の発生を防止す ことができる。また、固定剤7は、接着層6 構成する接着剤と同様のものが使用できる 、同じであっても異なっていてもよい。
 保護フィルム8は基材1を外部の機械的応力 ら保護するためのものであって、設けるの 好ましいが、必ずしも必要ではない。

 図1及び図2に示すように、基材第一部1aには 端子部10が形成してある。グランド電極3は基 材1の折り曲げ部11の内側面を通して基材第一 部1aに導通し、端子部10まで至っている。こ ように、シグナル電極2及びグランド電極3の 端子を基材第一部1aに集約することにより、 立工程において基材1のシグナル電極2及び ランド電極3が形成された面が内側となるよ に折り曲げられる際の位置ずれが許容され 。つまり、端子どうしの位置合わせ作業が 要となるため、組立工程を簡素化すること できる。
 本実施形態においては、図4に示すように、 グランド電極3はさらに基材1の側面を通じて 2のグランド電極4とも導通しており、第2の ランド電極4の端子も基材第一部1aに集約さ た構成となっている。
 なお、検出部9以外の部分には圧電フィルム 5は挿入されない。そのため、その部分にお ては感度を有することがなくなり、ノイズ 発生を防止することができる構成となる。

 このような圧電センサは、例えば、車両 シートや映画館、劇場などの座席あるいは ッドなど、人と接する面に取り付けること 、人間の様々な情報を取得するシステムに 用することができる。

〔第二の実施形態〕
 次に本発明に係る圧電フィルムセンサの第 の実施形態につき、図5に基づいて説明する 。
 本実施形態に係る圧電フィルムセンサは、 一の実施形態に係る圧電フィルムセンサと ぼ同様の構成であるが、端子部10を基材1の り曲げ部11に設けた点に特徴を有する。

 図5は、本実施形態に係る圧電フィルムセン サの、基材1に形成した電極パターンを示す 面展開図である。本実施形態においては、 り曲げ部11の中央部から基材第二部1bの側に の字型の切り込み13が形成されている。シ ナル電極2は、折り曲げ部11を越えて切り込 13で分離された領域内まで伸びている。一方 、グランド電極3は基材第二部1bのうち切り込 み13で分離された領域以外の全域及び切り込 13で分離された領域内の端部に形成される ともに、これらを接続して一体の電極を形 すべく折り曲げ部11から基材第一部1aの側に わずかに形成されている。このようにして 切り込み13で分離された領域に、シグナル 極2及びグランド電極3の両端子が集約して設 けられている。この場合、基材1を折り曲げ ことによってシグナル電極2及びグランド電 3の両端子が露出し、図示しないコネクタに 接続されることになる。
 このような構成とすることによって、圧電 ィルムセンサの端子部10が折り曲げ部11に集 約される。これにより、折り曲げ部11に対し 他の領域から敷設する電極の長さを短く設 することができる。よって、電極の形成を 率的に行うことができる。また、端子部10 折り曲げ部11に設ける構成とすることによっ て、例えば端子部10にコネクタを接続したと に、端子コネクタが、基材1の折り曲げ部11 固定し、折り曲げられた基材1が剥離する方 向の力を制限するクランプとして機能するこ とになる。これにより、圧電フィルムセンサ としての信頼性の向上を図ることができる。

 さらなる戻り防止を図るために、例えば 折り曲げ部11に切り欠きを設けて剥離応力 低減させることや、折り曲げ部11自体を溶着 してしまうこと等も有効である。

〔第三の実施形態〕
 次に本発明に係る圧電フィルムセンサの第 の実施形態につき、図6に基づいて説明する 。
 本実施形態に係る圧電フィルムセンサは、 一の実施形態に係る圧電フィルムセンサと ぼ同様の構成であるが、基材1が2箇所の折 曲げ部11、12を有する点に特徴がある。

 図6は、本実施形態に係る圧電フィルムセン サの、基材1に形成した電極パターンを示す 面展開図である。本実施形態において基材1 、2箇所の折り曲げ部11、12で折り曲げられ ことにより3つの領域に区画される(本明細書 においては、それぞれ基材第一部、基材第二 部、基材第三部と表現する)。ここで、基材 一部1aと基材第二部1bとは第1の折り曲げ部11 より区画され、基材第二部1bと基材第三部1c とは第2の折り曲げ部12により区画される。基 材第一部1aの表面にはシグナル電極2が設けら れ、基材第二部1bの表面にはグランド電極3が 設けられ、基材第三部1cの表面には第2のグラ ンド電極4が設けられている。これらは基材1 同一面に設けられている。
 基材1は、他の実施形態同様、折り曲げ部11 シグナル電極2及びグランド電極3が形成さ た面が内側となるように折り曲げられる。 り曲げによってこれらの電極は重なり合う 成となり、シグナル電極2とグランド電極3と の間にはポリフッ化ビニリデン(PVDF)からなる 圧電フィルム5が挿入される。さらに基材1は グランド電極3と第2のグランド電極4とでシ ナル電極2を挟み込むように第2の折り曲げ 12で折り曲げられる。その結果、基材1は2箇 で折り曲げられることにより、シグナル電 2がグランド電極3と第2のグランド電極4とで 挟まれた状態で平面視で重なり合うことにな る。第2のグランド電極4はシールド電極とし 機能する。折り曲げられた基材1は、接着層 6により固定される。
 このように、基材1に2箇所の折り曲げ部11、 12を設けることで、電極形成を片面のみにす ことが可能となる。それにより、製造コス をさらに低く抑えつつ、組み立てが簡易で しかも高感度な圧電フィルムセンサを製造 ることが可能となる。

〔その他の実施形態〕
(1)上記の各実施形態においては、シグナル電 極2とグランド電極3とを基材1の同一面に形成 して、これらの電極が形成された面が内側と なるように基材1を折り曲げる例を示した。 かしながら、基材1が折り曲げられたときに 基材第一部1aに形成されたシグナル電極2と 材第二部1bに形成されたグランド電極3との に圧電フィルム5が挿入される構成となるも のであれば、同一面に形成されたこれらの電 極が外側となるように基材1を折り曲げても く、また、2つの電極をそれぞれ異なる面に 成して折り曲げても良い。

(2)上記の第三の実施形態においては、シグ ナル電極2、グランド電極3及び第2のグランド 電極4を基材1の同一面に形成して基材1を折り 曲げる例を示した。しかしながら、基材1が2 所で折り曲げられたときに、基材第一部1a 形成されたシグナル電極2と基材第二部1bに 成されたグランド電極3との間に圧電フィル 5が挿入される構成となるものであれば、こ れらの電極は必ずしも同一面に形成されてい る必要はない。

(3)上記の第一及び第三の実施形態において は、グランド電極3を基材第二部1bの表面全域 にわたって形成するとともに、折り曲げ部11 越えて基材第一部1aにまで伸びるように形 することにより端子を基材第一部1aに集約す る例を示した。しかしながら、端子を基材第 一部1aに集約する手段はこれに限定されるも ではなく、例えば、基材1の側面を通じて導 通させたり、別の部材を用いて導通させたり 、あらかじめ基材第一部1a及び基材第二部1b 対向する電極を形成しておいて接着層6を介 ずにこれらを直接接触させて導通させたり る等の手段を利用することができる。

(4)上記の第一及び第三の実施形態において は、グランド電極3を基材第一部1aにまで伸び るように形成して基材第一部1aに端子を集約 る例を示したが、必ずしも基材第一部1aに 約する必要はなく、例えばシグナル電極2を 材第二部1bにまで伸びるように形成するな して、基材第二部1bに端子を集約する構成と しても良い。

(5)上記の各実施形態においては、シグナル 電極2及びグランド電極3の端子を近接する位 に集約して端子部10を形成する例を示した 、基材1の第1部又は第2部のいずれか一方に けられているのであれば、各電極の端子の 置が離れていても良い。

(6)上記の各実施形態においては、基材1を1 所または2箇所で折り曲げる例を示した。し かしながら、基材1が折り曲げられたときに 基材1に形成されたシグナル電極2とグランド 電極3との間に圧電フィルム5が挿入される構 となるものであれば、基材1を3箇所以上で り曲げる構成としてあっても良い。

 本発明は、例えば、人や動物、物体等の 在の有無を判定するための圧力センサに好 に利用することができる。